KR20160018598A - 압전 액츄에이터 디바이스 및 압전 액츄에이터 디바이스가 제공된 밸브 - Google Patents

압전 액츄에이터 디바이스 및 압전 액츄에이터 디바이스가 제공된 밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR20160018598A
KR20160018598A KR1020157037109A KR20157037109A KR20160018598A KR 20160018598 A KR20160018598 A KR 20160018598A KR 1020157037109 A KR1020157037109 A KR 1020157037109A KR 20157037109 A KR20157037109 A KR 20157037109A KR 20160018598 A KR20160018598 A KR 20160018598A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrodes
sub
electrode
piezoelectric
divided
Prior art date
Application number
KR1020157037109A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102294810B1 (ko
Inventor
기노 팔레르모
옌스 안데를레
한네스 비르틀
게르트 호이츠
Original Assignee
페스토 악티엔 게젤샤프트 운트 코. 카게
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 페스토 악티엔 게젤샤프트 운트 코. 카게 filed Critical 페스토 악티엔 게젤샤프트 운트 코. 카게
Publication of KR20160018598A publication Critical patent/KR20160018598A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102294810B1 publication Critical patent/KR102294810B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H01L41/09—
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • F16K31/005—Piezoelectric benders
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • F16K31/007—Piezoelectric stacks
    • H01L41/042—
    • H01L41/047—
    • H01L41/094—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/202—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2041—Beam type
    • H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

적어도 하나의 압전 본체 (4), 및 이러한 압전 본체 (4) 에 할당된 전극 유닛 (14) 으로서, 상기 전극 유닛 (14) 은 두개의 서로 반대쪽에 놓여진 전극들 (12, 13) 로 구성되고 전체 캐퍼시턴스를 포함하는, 상기 전극 유닛을 갖는 적어도 하나의 압전 변환기 (2) 를 구비하는 압전 액츄에이터 디바이스 (1) 가 제안된다. 두개의 전극들 (12, 13) 중 적어도 하나는 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할되고, 상기 서브 전극들 (12a, 13a) 은 반대쪽에 놓여진 전극 (13, 12) 과 함께 전체 캐퍼시턴스의 부분 캐퍼시턴스를 각각 규정하는 다수의 서브 전극 쌍들 (18) 을 형성한다. 각각의 서브 전극 쌍 (18) 에는 전하 유동시에 활성인 고유한 한류 저항기 (25a, 25b, 25c) 가 직렬로 연결된다. 그러한 액츄에이터 디바이스 (1) 가 구비된 유체를 제어하기 위한 역할을 하는 밸브가 또한 제안된다.

Description

압전 액츄에이터 디바이스 및 압전 액츄에이터 디바이스가 제공된 밸브{PIEZOELECTRIC ACTUATING DEVICE AND VALVE EQUIPPED THEREWITH}
본 발명은 적어도 하나의 압전 본체, 및 이러한 압전 본체에 할당되는 전극 유닛으로서, 압전 본체의 양측들 상에 배열된 두개의 전극들로 구성되고 전체 캐퍼시턴스를 포함하는, 상기 전극 유닛을 갖는 적어도 하나의 압전 변환기를 구비한 압전 액츄에이터 디바이스에 관한 것이다.
본 발명은 추가로 그러한 압전 액츄에이터 디바이스가 제공된, 유체를 제어하기 위한 역할을 하는 밸브에 관한 것이고, 상기 밸브에서 압전 변환기는 밸브 부재 또는 밸브 부재를 위한 구동 요소를 형성한다.
DE 20 2005 006 126 Ul 으로부터 공지된 이러한 유형의 압전 액츄에이터 디바이스는 압전 활성 재료로 이루어진 압전 본체 및 대향하는 종방향 측들 상에서 압전 본체를 플랭킹 (flanking) 하는 두개의 전극들을 갖는 굽힘 액츄에이터로 실시되는 압전 변환기를 포함하고, 상기 전극들은 공통적으로 전극 유닛을 형성하고, 상기 전극 유닛은 전극들의 베이스 영역에 의해 결정된 전체 캐퍼시턴스를 포함한다. 압전 액츄에이터 디바이스의 작동 시에, 전극 유닛에는 구동 전압이 인가되고, 이는 두개의 전극들로의 전하 유입을 발생시키고, 그로부터 우선 압전 본체의 길이 변경을 발생시킨다. 압전 본체가 압전 비활성 기재 상에 배치되기 때문에, 압전 본체의 길이 변경은 굽힘 액츄에이터의 벤딩을 야기하고, 이는 예를 들면 밸브를 조작하도록 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 유형의 압전 변환기는 또한 겹쳐서 적층되고 각각 전극 유닛에 의해 플랭킹된 압전 본체를 갖는 다수의 스택 액츄에이터로서 구성될 수 있다. 이 경우 특히 역압전 효과에 기인하는 압전 본체의 두께 변경은 조작 목적을 위해 사용될 수 있다.
WO 02/089160 A2 는 소위 다층-구조를 갖는 압전 변환기를 설명하고, 여기서 얇은 압전 본체 층은 전극들과 교대로 겹쳐서 적층되고, 이는 상대적으로 낮은 구동 전압들로써 이미 허용 가능한 압전 재료의 연신들 및 이에 상응하는 적절한 압전 변환기의 변형들이 달성될 수 있다는 이점을 갖는다.
US 2011/0057543 A1 으로부터는 압전 층들 및 내부의 양전극과 음전극 층들의 스택된 배열로 이루어지는 액츄에이터 본체를 포함하는 진동 드라이브가 공지되어 있다. 각각의 전극 층은 다수의 분할된 전극들로 이루어지고, 따라서 가변적으로 전기 구동될 수 있는 양전극 및 음전극이 쌍으로 반대쪽에 놓여서 액츄에이터 본체를 보다 높은 주파수로써 변형시키고 진동을 생성하고 이로써 변위 가능하게 장착되는 요소는 전후로 이동시키는 데 사용될 수 있다. 각각의 전극 쌍은 코일의 중간 삽입 하에서 고유의 전압원에 연결된다.
기본적으로 압전 본체의 연신 및 이로부터 기인하는 그에 속한 압전 변환기의 기계적인 리프팅 작동은 인가된 구동 전압에 종속된다. 특히, 소정의 폭발 보호 및 이와 관련된 표준들의 준수가 필수적인 적용예에서, 그러나 보다 높은 구동 전압들은 사용시에 제한되도록 설정된다. 높은 구동 전압들은 전극들로 그리고 전극들로부터 전하들의 유입 및 유출 시에 높은 전류들로 되고, 이는 상응하는 환경에서 스파크 오버로 인해 위험한 폭발을 발생시킬 수 있다. 이를 회피하도록, 압전 변환기는 상응하는 환경에서 소위 고유의 안전 작동으로만 그리고 따라서 제한적인 구동 전압으로만 작동될 수 있다. 이는 작동 시에 목표 가능한 기계적인 리프팅 작동을 방해한다. 압전 변환기가 예를 들면 밸브 조작을 위해 액츄에이터로서 사용된다면, 이는 일반적으로 제어 가능한 관류 속도의 제한을 발생시킨다.
본 발명의 목적은 또한 폭발 보호 규정들의 준수 하에서 보다높은 효율성으로 작동하게 하는 압전 액츄에이터 디바이스를 제조하는 것에 기초한다.
이러한 목적은 압전 액츄에이터 디바이스에서 뿐만 아니라 이러한 디바이스가 제공된 밸브에서 전극 유닛의 두개의 전극들 중 적어도 하나가 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들로 분할되고, 상기 서브 전극들이 반대쪽에 놓여진 전극과 함께 전체 캐퍼시턴스의 부분 캐퍼시턴스를 각각 규정하는 다수의 서브 전극 쌍들로 구성되고, 전하 유동 시에 활성인 고유한 한류 저항기가 각각의 서브 전극 쌍에 직렬로 연결됨으로써 해결된다.
본 발명의 구성은 압전 본체에 할당된 전극 유닛의 전체 캐퍼시턴스를 전체 캐퍼시턴스와 비교하여 다수의 보다 작은 각각의 부분 캐퍼시턴스들로 분할하고 전하 유동 시에 발생하는 전류 강도를 제한하도록 각각의 부분 캐퍼시턴스에 한류 저항기로서 나타낸 시리즈 저항기를 할당하는 것에 기초된다. 이를 위해 서브 전극들은 또한 서로 이격되어 배열되므로, 각각의 부분 캐퍼시턴스에 대해 고유의 안전 회로가 보장될 수 있다.
폭발 보호 환경에서 압전 변환기들에 의한 작동 시에, 허용 가능한 구동 전압이 증가하는 캐퍼시턴스와 함께 떨어지는 소위 이그니션 리미트 커브 (ignition limit curve) 가 일반적으로 관찰될 수 있다. 기본적으로 그러나 전극 유닛의 가능한 한 최대 전하 밀도를 달성하고 그에 상응하여 큰 기계적인 리프팅 작동을 행할 수 있도록 높은 구동 전압이 추구된다. 본 발명은 압전 본체에 할당된 전체 캐퍼시턴스가 한 쌍의 상응하는 큰 전극들로써만 형성되지 않고, 오히려 말하자면 다수의 보다 작은 서브 전극들로 적어도 하나의 큰 전극의 세분화에 기초됨으로써 이러한 밸런싱 작용을 고려한 것이고, 상기 서브 전극들은 서로 나란히 배열되고 각각 반대쪽에 놓여진 대향 전극과 서브 전극 쌍을 형성하고, 부분 캐퍼시턴스로서 나타낸 그 캐퍼시턴스는 전체 캐퍼시턴스보다 작고, 전체 캐퍼시턴스는 제공된 부분 캐퍼시턴스들의 합으로 이루어진다. 보다 작은 부분 캐퍼시턴스들은 허용 가능한 방식으로 큰 캐퍼시턴시보다 더 높은 구동 전압들에 의해 작동될 수 있고, 따라서 전극 유닛 상에는 단일의 휠씬 큰 전극 쌍일 때보다 보다 큰 전하가 인가될 수 있다. 모든 부분 캐퍼시턴스들이 바람직하게 단일 부분으로 및 특히 단편으로 구성된 할당된 압전 본체를 통해, 기계적으로 서로 함께 커플링되기 때문에, 서브 전극 쌍들 및 압전 본체로 구성된 압전 유닛은 양쪽 측들에서 각각 단지 하나의 전극에 의해 플랭킹되는 통상적인 압전 변환기와 같이 거동한다. 서브 전극 쌍들들과 함께 회로 방식으로 직렬로 배열된 한류 저항기들은 전류 강도가 전하 유동 시에 허용 가능한 레벨을 초과하지 않게 하고, 이와 관련하여 서브 전극 쌍들의 완전 충전까지 보다 약간 높아지는 시간 상수 (time constant) 가 매우 작게되고 작동 거동에 상당한 영향을 주지 않도록 보장한다. 본 발명에 따른 압전 변환기는 부가적인 저항기 및 보다 높은 구동 전압을 제외하고 일반적으로 할당된 구동 일렉트로닉스에 어떠한 추가의 요구 조건들도 요구하지 않기 때문에, 범용 적용예가 이전에 통상적으로 구성된 압전 변환기들이 사용되는 거의 모든 경우에서 보장될 수 있다.
본 발명에 따른 원리는 임의의 타입의 압전 변환기들에서 구현될 수 있다. 단지 예시적으로 적용예는 모노몰픽 (monomorphic) 압전 변환기들, 트라이몰픽 (trimorphic) 압전 굽힘 액츄에이터들 및/또는 다층-구조를 갖는 압전 굽힘 액츄에이터들에서 언급된다. 또한 본 발명에 따른 원리는 특히 굽힘 액츄에이터들에서 뿐만 아니라 또한 스택 액츄에이터들에서 적절하다.
유리한 본 발명의 개선예가 종속항에 제공된다.
특히 비용 효율적인 구조는 압전 본체에 제공된 전극 유닛의 두개의 전극들 중 하나만이 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들로 분할되는 한편, 압전 본체의 다른 측에 놓인 전극이 일체형으로, 즉 관련되어 그리고 특히 단편의 전극으로서 실시되도록 제공된다. 여기서 그 경우 개별적인 서브 전극들에 반대쪽에 놓여진 일체형 전극의 전극 섹션들은 이들 측 상에 배열된 서브 전극들을 형성한다.
압전 본체가 상응하는 압전 변환기의 구조에서 압전 비활성 기재에 배열된다면, 이 경우 일체형 전극으로서 직접 사용될 수 있는 전기 전도성 기재를 사용하는 것이 유리할 수 있다.
그러나 또한 본 발명에 따른 효과는 전극 유닛의 두개의 전극들이 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들로 분할되어 두개의 전극들의 개별적인 서브 전극들이 개별적인 서브 전극 쌍들을 형성하도록 쌍으로 반대쪽에 놓인다면 유리하게 달성될 수 있다. 이러한 관계로, 압전 본체의 두개의 측들 상에 제공된 서브 전극들의 수가 동일하고 일측의 각각의 개별적인 서브 전극이 다른 측의 단일한 개별적인 서브 전극에 반대쪽에 놓인다면 유리하다.
개별적인 서브 전극 쌍들의 형성 하에서 각각의 경우에 반대쪽에 놓여진 개별적인 서브 전극들이 전극들 표면에 관해서 각각 동일한 크기라면 또한 유리하다.
바람직하게는 각각 동일한 전극에 속한 개별적인 서브 전극들은 공통된 평면 내에 배열된다.
바람직한 형상에서 개별적인 서브 전극들은 스트립 형상으로 구성되고 횡방향 클리어런스를 갖도록 종방향 측으로 서로 나란히 배열된다. 이는 압전 변환기의 형태에서 세장형 굽힘 액츄에이터일 경우 특히 유리하고, 이 경우 개별적인 서브 전극들은 특히 굽힘 액츄에이터의 종방향에 대해 횡방향으로 클리어런스를 갖도록 서로 배열된다.
그러나 본 발명에 따른 효과는 각각 서브 전극 쌍들의 임의의 분배 패턴에서 달성된다. 따라서 예를 들면 세장형 형상을 갖는 굽힘 액츄에이터에서 다수의 서브 전극 쌍들은 또한 굽힘 액츄에이터의 종방향으로 서로 클리어런스를 갖도록 연속적으로 배열될 수 있다.
이미 언급된 바와 같이, 압전 본체는 특히 압전 변환기가 굽힘 액츄에이터로서 구성될 때에 압전 비활성 및 바람직하게 스프링 탄성 기재 상에 배열된다. 이러한 기재는 전기 전도성일 경우에, 부분 캐퍼시턴스를 형성하도록 압전 본체의 반대 측 상에서 개별적인 서브 전극들과 섹션마다 상호 작용하는 전극 유닛의 일체형 전극을 형성할 수 있다.
바람직하게 각각의 서브 전극 쌍은 전기 전하 전송의 역할을 하는 고유의 전기 공급 리드와 접촉하고, 그 경로에는 직렬로 연결된 할당된 한류 저항기가 삽입된다.
압전 액츄에이터 디바이스의 바람직한 형태는 적어도 하나의 압전 변환기를 제외하고 모든 서브 전극 쌍들들과 동시에 연결되거나 연결될 수 있는 적어도 하나의 압전 굽힘 액츄에이터(들) 의 조작을 가능하게 하는 구동 전압을 제공하는 전압원을 포함한다.
다음에 본 발명은 첨부된 도면에 의해 보다 상세하게 설명된다.
도 1 은 압전 액츄에이터 디바이스의 바람직한 실시형태를 개략적인 등각도로 도시하고,
도 2 는 압전 변환기의 단부 측 상에서 화살표 II 에 따른 관점으로 도 1 로부터의 액츄에이터 디바이스의 다른 도면을 도시하고,
도 3 은 도 2 에 상응하는 도면에서 압전 액츄에이터 디바이스의 추가의 실시형태를 도시한다.
전체적으로 도면 부호 1 로써 도시된 압전 액츄에이터 디바이스는 적어도 하나의 그리고 두개의 실시형태들에서 각각 명백하게 하나의 압전 변환기 (2) 를 포함하고, 상기 압전 변환기는 전기 에너지를 기계적인 에너지로 변환할 수 있다. 압전 변환기 (2) 는 예를 들면 임의의 원하는 장비를 조작하기 위해 액츄에이터로서 사용될 수 있다. 유리한 적용예는 유체를 제어하기 위한 역할을 하는 밸브 내에서 그리고 그곳에서 밸브 부재로서 또는 밸브 부재를 위한 구동 요소로서 사용된다.
바람직하게는 밸브로서의 적용예에서 압전 변환기 (2) 에 의해 형성되거나 또는 구동되는 밸브 부재는 적어도 하나의 밸브 시트와 상호 작용하고 이로써 유체의 유동에 영향을 주도록 압전 변환기 (2) 의 조작을 통해 이동될 수 있다. 바람직하게 밸브 시트는 밸브 통로의 입구를 둘러싸고, 상기 밸브 통로의 입구는 밸브 부재가 밸브 시트에 피팅될 때에 폐쇄되고 밸브 부재가 밸브 시트로부터 리프팅될 때에 개방된다. 밸브 시트는 바람직하게는 밸브 부재가 연장되는 밸브 챔버를 규정하는 밸브의 밸브 하우징에 배열되고, 밸브 부재는 밸브 시트와 관련하여 상대 위치를 변경하도록 밸브 하우징에 대해 적어도 임의의 영역에서 압전 변환기 (2) 의 조작을 통해 이동될 수 있다.
압전 변환기 (2) 의 형상은 본 발명의 관점에서 기본적으로 중요하지 않다. 실시형태에서 압전 변환기는 종축 (3) 을 구비한 세장형 형상을 갖는다. 이 이외에도 압전 변환기는 예를 들면 또한 플레이트형 또는 디스크형으로 구성될 수 있다.
또한 도면은 바람직하게 굽힘 액츄에이터로서 구성된 압전 변환기 (2) 를 도시한다. 그러나 본 발명은 또한 다른 압전 변환기 유형에, 예를 들면 소위 스택 액츄에이터들 (stack actuators) 에 적용될 수 있다.
압전 변환기 (2) 는 압전 활성 재료로 그리고 특히 압전 세라믹으로 이루어지는 적어도 하나의 압전 본체 (4) 를 갖는다. 이러한 압전 본체 (4) 는 실시형태들에서 스트립 형상으로 구성되고, 그러나 또한 압전 변환기 (2) 의 타입에 따라 플레이트형 또는 디스크형의 형상으로 구성될 수 있다.
압전 본체 (4) 는 두개의 서로 떨어지게 마주보는, 서로 반대로 배향된 넓은 표면들을 갖고, 상기 넓은 표면들은 다음에 보다 양호한 구별을 위해 상부 측 (5) 및 하부 측 (6) 으로서 도시되고, 이는 임의의 제한을 의미하지 않는다. 압전 변환기 (2) 는 상부 측 (5) 및 하부 측 (6) 의 임의의 원하는 배향으로써 용이하게 작동될 수 있다.
압전 본체 (4) 는 상부 측 (5) 및 하부 측 (6) 이 평행하게 진행하는 메인 연장 평면 (7) 을 갖는다. 예시적으로 스트립 형상의 압전 본체 (4) 는 압전 변환기 (2) 의 종축 (3) 과 동일하게 배향되고 메인 연장 평면 (7) 에 평행하게 진행하는 종축 (8) 을 갖는다.
압전 본체 (4) 는 다음에 보다 양호한 구별을 위해 제 1 및 제 2 전극들 (12, 13) 로서 도시되는 두개의 전극들 (12, 13) 사이에서 샌드위치 유형으로 배열된다. 제 1 전극 (12) 은 상부 측 (5) 에 할당되고, 제 2 전극 (13) 은 하부 측 (6) 에 할당된다. 각각의 전극 (12, 13) 은 전기 전도성 재료로 이루어진다.
바람직하게 적어도 하나의 및 바람직하게는 각각의 전극 (12, 13) 은 압전 본체 (4) 상에 직접 적용된다. 실시형태에서 제 1 전극 (12) 은 상부 측 (5) 에 부착되고 제 2 전극 (13) 은 하부 측 (6) 에 부착된다. 두개의 전극들 (12, 13) 중 적어도 하나는 예를 들면 압전 본체 (4) 상에서 금속화로서 적용될 수 있다.
두개의 전극들 (12, 13) 은 전체 캐퍼시턴스로서 나타낸 소정의 전하 캐퍼시턴스를 규정하는 전극 유닛 (14) 을 공통적으로 형성한다. 바람직하게는 압전 액츄에이터 디바이스 (1) 에 속하는 전기 전도체 배열체 (15) 를 통해, 두개의 전극들 (12, 13) 은 바람직하게 마찬가지로 압전 액츄에이터 디바이스 (1) 에 속한 전압원 (16) 과 연결되거나 또는 연결될 수 있다. 예시적으로 이는 선택적으로 구동 전압을 전극 유닛 (14) 에 인가하거나 또는 전극 유닛 (14) 으로부터 차단하는 것이 가능한 적절한 스위칭 수단 (16a) 을 갖는 스위칭 가능한 전압원이다. 바람직하게는 전압원 (16) 에는 또한 추가로 상세하게 도시되지 않은 전기 및/또는 전자 스위칭 수단이 할당되고, 상기 스위칭 수단은 특히 구동 일렉트로닉스를 형성하고 필요시에 바람직하게는 또한 전체 캐퍼시턴스를 다시 방전하도록 전극 유닛 (14) 의 전하 유출을 야기할 수 있다.
전극 유닛 (14) 에 구동 전압이 인가되는 경우에, 두개의 전극들 (12, 13) 상에서 전하들은 유동하고, 두개의 전극들 (12, 13) 사이에서 그 메인 연장 평면 (7) 에 횡방향으로 압전 본체 (4) 를 관통하는 이중 화살표로 나타낸 전기장 (19) 을 발생시킨다. 이는 실시형태에서 특히 또한 종방향 (8) 으로의 변형을 발생시키는 역압전 효과에 따른 압전 본체 (4) 의 형상 변경을 발생시킨다. 이는 차례로 두개의 실시형태에서 메인 연장 평면 (7) 에 수직인 압전 변환기 (2) 의 벤딩을 발생시킨다.
압전 변환기 (2) 의 벤딩 거동은 두개의 실시형태들에서 압전 본체 (4) 가 압전 본체 (4) 의 종방향 연장을 동반할 수 없는 압전 비활성 기재 (17) 상에서 그 하부 측 (6) 에 의해서 고정된다는 사실로부터 기인한다. 기재는 바람직하게 스프링 탄성 재료, 예를 들면 금속, 플라스틱 재료 또는 복합 재료로 이루어진다. 바람직하게 이는 압전 본체 (4) 와 같이 구성되고 따라서 실시형태에서 스트라이프 형태이다.
기재 (17) 는 휨을 통해 압전 본체 (4) 의 종방향 연장을 보상한다. 이는 전체적으로 에너지가 제공되는 동안 이미 언급된 압전 변환기 (2) 의 새깅 (sagging) 을 발생시킨다.
압전 변환기 (2) 가 스택 액츄에이터로서 구성된다면, 일반적으로 기재 (17) 는 제외된다. 이러한 경우에 다수의 압전 본체들 (4) 은 메인 연장 평면 (7) 에 수직으로 겹쳐서, 각각의 경우에 전극과 교대로 스택된다. 이러한 방식으로 또한 각각의 압전 본체 (4) 는 전극 유닛 (14) 을 형성하는 두개의 전극들 (12, 13) 에 의해 플랭킹되고, 그러나 두개의 압전 본체 (4) 사이에 배열된 각각의 전극은 동시에 두개의 인접한 전극 유닛들 (14) 의 전극을 형성한다. 이는 그 밖에 또한 그 압전 활성 섹션이 소위 다층-구조로 구성되고 다수의 교대로 겹쳐서 적층된 압전 본체들 (4) 및 전극들 (12, 13) 로 구성된 압전 변환기 (2) 에도 적용된다.
도시되고 언급된 압전 액츄에이터 디바이스 (1) 의 모든 실시형태들에서 유리한 효과는 전극 유닛 (14) 이 모두 기계적으로 압전 본체 (4) 와 커플링되고 특히 고정 연결되는 다수의 서브 전극 쌍들 (18) 로 분할된다는 사실로부터 기인한다. 압전 본체 (4) 에서 바람직하게는 서로 전기 절연된 이러한 다수의 서브 전극 쌍들 (18) 의 각각은 상기 언급된 전체 캐퍼시턴스보다 작고 따라서 부분 캐퍼시턴스로서 나타낸 전하 캐퍼시턴스를 규정한다. 제공된 다수의 서브 전극 쌍들 (18) 의 부분 캐퍼시턴스들의 합은 전극 유닛 (14) 의 전체 캐퍼시턴스가 된다.
도시된 각각의 실시형태들에서 세개의 서브 전극 쌍들 (18) 이 구현된다. 그러나 본 발명에 따른 효과는 또한 이미 단지 두개의 서브 전극 쌍들 (18) 에서도 달성된다. 압전 본체에는 세개보다 많은 서브 전극 쌍들들 (18) 이 또한 용이하게 제공될 수 있다.
서브 전극 쌍들 (18) 은 두개의 전극들 (12, 13) 의 적어도 하나가 다수의 개별적인 부분 전극들 또는 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할되고 상기 서로 이격된 다수의 개별적인 부분 전극들 또는 서브 전극들이 각각의 반대쪽에 놓여진 다른 전극과 부분 전극 쌍 또는 서브 전극 쌍 (18) 을 형성하는 사실로부터 기인한다. 동일한 전극 (12 또는 13) 에 속한 서브 전극들 (12a 또는 13a) 은 서로 대향하여 바람직하게 전기 절연된다.
개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 은 각각의 전극 (12, 13) 에 대해 바람직하게는 서로 나란히 클리어런스를 갖도록 메인 연장 평면 (7) 내에 놓인다. 동일한 전극 (12 또는 13) 에 속한 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 은 바람직하게 공통된 평면 내에 놓인다.
동일한 전극 (12, 13) 의 인접한 서브 전극들 (12a, 13a) 사이에 제공된 공간 (22) 은 작동에서 누출 전류들 또는 스파크 오버의 발생을 배제하도록 충분히 크게 정해진다. 공간 (22) 은 공기로 채워지거나 또는 전기 비전도성 재료로 채워질 수 있다. 동일한 전극 (12, 13) 의 인접한 서브 전극들 (12a, 13a) 사이에 클리어런스는 관련된 폭발 보호 표준들에 따라 고유의 안정성을 보장하도록 각각 충분히 크다.
도 3 의 실시형태에서 전극 유닛 (14) 의 두개의 전극들 (12, 13) 은 각각 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할된다. 동시에 두개의 전극들 (12, 13) 의 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 은 서브 전극 쌍들 (18) 을 쌍으로 형성하면서 압전 본체 (4) 의 두께 방향으로, 즉 메인 연장 평면 (7) 에 수직으로 서로 반대쪽에 놓인다.
바람직하게 전극 유닛 (14) 은 동수의 개별적인 서브 전극들 (12a 및 13a) 을 포함한다. 이러한 관계로 하나의 전극 (12) 의 각각 개별적인 서브 전극 (12a) 에는 다른 전극 (13) 의 개별적인 서브 전극 (13a) 이 반대쪽에 놓인다. 반대쪽에 놓여진 서브 전극들 (12a, 13a) 은 바람직하게는 동일한 크기이고 특히 동일한 아웃 라인을 갖고, 따라서 압전 본체 (4) 의 두께 방향에서 압전 변환기 (2) 를 봤을 때에 서브 전극들은 서로 오버레이 (overlay) 된다.
동일한 서브 전극 쌍 (18) 에 속한 서브 전극들 (12a, 13a) 이 동일한 크기일 경우일지라도, 여전히 서브 전극들 (12a, 13a) 의 크기를 다수의 서브 전극 쌍들 (18) 에서 상이하게 선택할 가능성이 존재한다. 따라서 예를 들면 제 1 서브 전극 쌍들 (18) 의 서브 전극들 (12a, 13a) 의 베이스 영역이 적어도 하나의 추가의 서브 전극 쌍들 (18) 의 서브 전극들 (12a, 13a) 의 베이스 영역보다 넓을 수 있다.
도 1 및 도 2 에 예시된 실시형태에서 제 1 전극 (12) 만이 다수의 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 이루어진다. 다른 한편으로 제 2 전극 (13) 은 일체형 전극 (23) 으로서 구성되고, 상기 일체형 전극은 서브 분할부를 포함하지 않고 특히 관련된 평면형 연장부를 포함하고, 상기 평면형 연장부는 바람직하게 다른 측 상에 배열된 개별적인 서브 전극들 (12a) 및 이에 할당된 공간들 (22) 의 베이스 영역들의 합과 적어도 동일한 크기이다.
이러한 경우에 각각 서브 전극 쌍 (18) 은 하나의 전극 (12) 의 개별적인 서브 전극들 (12a) 중 하나 및 이러한 개별적인 서브 전극 (12a) 에 반대쪽에 놓여진, 도 2 에 점선으로 도시된, 일체형 전극 (23) 의 전극 섹션 (24) 에 의해 형성된다. 이러한 구조는 압전 본체 (4) 의 일측에서 개별적인 서브 전극들의 제공이 필요없게 되므로 특히 간단하게 제조된다는 이점을 갖는다.
경우에 따라, 제공된 압전 비활성 기재 (17) 가 전기 전도성으로 구성되는 경우가 이점을 갖는 데, 왜냐하면 이때 이러한 기재 (17) 는 자체적으로 직접 일체형 전극 (23) 으로서 사용될 수 있기 때문이다. 이러한 경우에 상응하는 전극의 분리 적용의 필요가 없다. 이는 도 1 및 도 2 의 실시형태에서의 경우이다.
그러나 제 2 전극 (13) 은 압전 비활성 기재 (17) 에 부가적으로 용이하게 제공될 가능성이 존재한다. 그러한 구조는 도 3 의 실시형태에 제공된다. 이러한 경우에 제 2 전극 (13) 은 바람직하게는 압전 본체 (4) 와 압전 비활성 기재 (17) 사이에 배열된다. 이러한 구조는 무엇보다 또한 제 1 전극 (12) 과 같이 제 2 전극 (13) 이 다수의 개별적인 서브 전극들 (13a) 의 형태로 구현될 경우에 특히 유용하다.
압전 본체 (4) 는 바람직하게는 단일 부분으로 그리고 특히 단편으로 구성된다.
특히 굽힘 액츄에이터로 구성된 압전 변환기 (2) 와 함께, 다수의 그리고 특히 모든 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 을 세장형 형상을 갖는 스트립 형상으로 구성하고 상기 서브 전극들이 그 종축 (8) 의 축 방향으로 연장되고 횡방향 클리어런스를 갖도록 종방향 측으로 서로 나란히 배열되는 방식으로 압전 본체 (4) 에 배열되는 것이 유리하다. 이는 두개의 실시형태들에 적용된다.
각각의 서브 전극 쌍 (18) 에는 고유한 한류 저항기 (25a, 25b, 25c) 가 직렬로 연결되고, 따라서 각각의 한류 저항기 (25a, 25b, 25c) 에는 특히 전하 유입 시에 서브 전극 쌍들들 (18) 로, 바람직하게 그러나 또한 전하 유출 시에 전류가 이러한 서브 전극 쌍들들 (18) 로부터 관류된다. 이러한 방식으로 각각의 부분 캐퍼시턴스에 대해 전류 강도의 제한은 압전 액츄에이터 디바이스 (1) 의 적용을 또한 폭발 위험 영역들에서 허용하는 수준으로 행해진다. 한류 저항기들 (25a, 25b, 25c) 의 각각은 전적으로 오옴 저항기이다. 이는 따라서 또한 저항 전류 제한기로 칭할 수 있다. 저항값은 각각의 한류 저항기 (25a, 25b, 25c) 에 대해 바람직하게는 몇 킬로 오옴에 달한다.
예시적으로 각각의 서브 전극 쌍 (18) 은 전기 전하 전송의 역할을 하는 고유의 전기 공급 리드 (26a, 26b, 26c) 와 접촉되고, 그 경로에서 할당된 한류 저항기 (25a, 25b, 25c) 가 연결되고 상기 고유의 전기 공급 리드는 이미 언급된 전기 전도체 배열체 (15) 의 구성 요소이다. 이들 전기 공급 리드 (26a, 26b, 26c) 는 바람직하게는 전압원 (16) 에 공통적으로 연결된다. 따라서 모든 서브 전극 쌍들 (18) 은 동일한 전압원 (16) 에 연결된다. 전압원 (16) 이 스위칭 가능하기 때문에, 모든 서브 전극 쌍들 (18) 이 동시에 구동 전압으로 인가되거나 또는 구동 전압으로부터 차단될 가능성이 존재한다. 액츄에이터 디바이스 (1) 는 바람직하게 모든 서브 전극 쌍들 (18) 에 각각 동시에 동일한 구동 전압이 인가되는 방식으로 작동된다.

Claims (16)

  1. 압전 액츄에이터 디바이스로서,
    적어도 하나의 압전 본체 (4), 및
    이러한 압전 본체 (4) 에 할당된 전극 유닛 (14) 으로서, 상기 전극 유닛은 상기 압전 본체 (4) 의 양측들 상에 배열된 두개의 전극들 (12, 13) 로 구성되고 전체 캐퍼시턴스를 포함하는, 상기 전극 유닛
    을 갖는 적어도 하나의 압전 변환기 (2) 를 구비하고,
    상기 전극 유닛 (14) 의 두개의 상기 전극들 (12, 13) 중 적어도 하나는 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할되고, 상기 서브 전극들은 반대쪽에 놓여진 상기 전극 (13, 12) 과 함께 다수의 서브 전극 쌍들 (18) 을 형성하고, 다수의 상기 서브 전극 쌍들 (18) 은 전체 캐퍼시턴스의 부분 캐퍼시턴스를 각각 규정하고,
    전하 유동 시에 활성인 고유한 한류 저항기 (current-limiting resistor : 25a, 25b, 25c) 가 각각의 상기 서브 전극 쌍 (18) 에 직렬로 연결되는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전극 유닛 (14) 의 두개의 상기 전극들 중 하나의 전극 (12) 만이 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들 (12a) 로 분할되는 한편, 반대쪽에 놓여진 다른 전극 (13) 은 일체형 전극 (23) 이고 개별적인 상기 서브 전극들 (12a, 13a) 에 반대쪽에 놓여진 상기 일체형 전극 (23) 의 전극 섹션들 (24) 은 각각의 경우에 상기 서브 전극 쌍 (18) 을 형성하기 위해 기여하는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 전극 유닛 (14) 의 두개의 상기 전극들 (12, 13) 은 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할되고,
    두개의 상기 전극들 (12, 13) 의 개별적인 상기 서브 전극들 (12a, 13a) 은 상기 서브 전극 쌍들들 (18) 을 형성하도록 쌍으로 반대쪽에 놓이는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  4. 제 3 항에 있어서,
    두개의 상기 전극들 (12, 13) 은 동수의 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할되고, 하나의 상기 전극 (12, 13) 의 각각 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 은 서브 전극 쌍 (18) 을 형성하도록 다른 상기 전극 (13, 12) 의 개별적인 서브 전극 (13a, 12a) 에 반대쪽에 놓이는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    서브 전극 쌍들 (18) 을 형성하도록 반대쪽에 놓여진 개별적인 상기 서브 전극들 (12a, 13a) 은 각각 동일한 크기인 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    동일한 전극 (12, 13) 에 속한 개별적인 상기 서브 전극들 (12a, 13a) 은 공통된 평면 내에 놓이는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할된 각각의 전극 (12, 13) 의 다수의 그리고 바람직하게는 모든 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 은 스트립 형상으로 형성되고 횡방향 클리어런스를 갖도록 종방향 측으로 서로 나란히 배열되는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압전 변환기 (2) 는 세장형 형상을 갖는 굽힘 액츄에이터로서 형성되고,
    개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할된 각각의 전극 (12, 13) 의 개별적인 상기 서브 전극들 (12a, 13a) 은 굽힘 액츄에이터의 종방향에 대해 횡방향으로 클리어런스를 갖도록 서로 나란히 배열되는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 하나의 압전 본체 (4) 는 단일 부분으로 그리고 특히 단편으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압전 본체 (4) 는 압전 비활성, 바람직하게는 스프링 탄성 기재 (17) 상에 배열되는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 압전 비활성 기재 (17) 는 전기 전도성 특성을 갖고 상기 전극 유닛 (14) 의 일체형 전극 (23) 을 직접 형성하는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각각의 서브 전극 쌍 (18) 은 전기 전하 전송의 역할을 하는 고유의 전기 공급 리드 (26a, 26b, 26c) 와 접촉하고, 상기 전기 공급 리드의 경로에는 직렬로 연결된 할당된 상기 한류 저항기 (25a, 25b, 25c) 가 삽입되는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압전 액츄에이터 디바이스는, 모든 상기 서브 전극 쌍들 (18) 이 동시에 연결되거나 또는 연결될 수 있는, 적어도 하나의 압전 변환기 (2) 를 조작하는 역할을 하는 구동 전압을 제공하기 위해 전압원 (16) 을 포함하는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  14. 제 13 항에 있어서,
    동일한 상기 전압원 (16) 으로부터 모든 서브 전극 쌍들 (18) 에는 전류가 공급되어, 모든 서브 전극 쌍들 (18) 에는 동시에 동일한 구동 전압이 인가될 수 있는 것을 특징으로 하는, 압전 액츄에이터 디바이스.
  15. 유체를 제어하기 위한 밸브로서,
    적어도 하나의 압전 변환기 (2) 를 포함하는 압전 액츄에이터 디바이스 (1) 를 갖고,
    적어도 하나의 상기 압전 변환기 (2) 는,
    적어도 하나의 압전 본체 (4), 및
    이러한 압전 본체 (4) 에 할당된 전극 유닛 (14) 으로서, 상기 전극 유닛은 상기 압전 본체 (4) 의 양측들 상에 배열된 두개의 전극들 (12, 13) 로 구성되고 전체 캐퍼시턴스를 포함하는, 상기 전극 유닛
    을 구비하고,
    상기 압전 변환기 (2) 는 밸브 부재 또는 밸브 부재를 위한 구동 요소를 형성하고,
    상기 전극 유닛 (14) 의 두개의 상기 전극들 (12, 13) 중 적어도 하나는 서로 이격된 다수의 개별적인 서브 전극들 (12a, 13a) 로 분할되고, 상기 서브 전극들은 반대쪽에 놓여진 상기 전극 (13, 12) 과 함께 다수의 서브 전극 쌍들 (18) 을 형성하고, 다수의 상기 서브 전극 쌍들 (18) 은 상기 전체 캐퍼시턴스의 부분 캐퍼시턴스를 각각 규정하고,
    전하 유동 시에 활성인 고유한 한류 저항기 (25a, 25b, 25c) 가 각각의 상기 서브 전극 쌍 (18) 에 직렬로 연결되는 것을 특징으로 하는, 유체를 제어하기 위한 밸브.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 압전 액츄에이터 디바이스 (1) 는 제 2 항 내지 제 14 항 중 하나 이상의 특징들에 따라 구성되는 것을 특징으로 하는, 유체를 제어하기 위한 밸브.
KR1020157037109A 2013-06-08 2014-05-22 압전 액츄에이터 디바이스 및 압전 액츄에이터 디바이스가 제공된 밸브 KR102294810B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013009646.4A DE102013009646A1 (de) 2013-06-08 2013-06-08 Piezoelektrische Aktoreinrichtung
DE102013009646.4 2013-06-08
PCT/EP2014/001376 WO2014194986A1 (de) 2013-06-08 2014-05-22 Piezoelektrische aktoreinrichtung und damit ausgestattetes ventil

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160018598A true KR20160018598A (ko) 2016-02-17
KR102294810B1 KR102294810B1 (ko) 2021-08-26

Family

ID=50841736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020157037109A KR102294810B1 (ko) 2013-06-08 2014-05-22 압전 액츄에이터 디바이스 및 압전 액츄에이터 디바이스가 제공된 밸브

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9698335B2 (ko)
EP (1) EP2984689B1 (ko)
KR (1) KR102294810B1 (ko)
CN (1) CN105378956B (ko)
DE (1) DE102013009646A1 (ko)
WO (1) WO2014194986A1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016112115A1 (de) * 2016-07-01 2018-01-04 Bürkert Werke GmbH Ventillinearantrieb sowie Ventil
DE102016015207A1 (de) * 2016-12-21 2018-06-21 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Betätigungseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Betätigungseinrichtung sowie Membranpumpe mit einer Betätigungseinrichtung und einer Membranpumpeneinrichtung und eine Blutbehandlungsvorrichtung mit einer Membranpumpe
JP6761761B2 (ja) * 2017-01-19 2020-09-30 株式会社サタケ 圧電アクチュエータ、異常検出回路、および圧電式バルブシステム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010053351A (ko) * 2001-01-10 2001-06-25 민병이 가요성 보강된 나선관
KR20050039176A (ko) * 2003-10-24 2005-04-29 장점수 스피커용 진동판의 제조방법
KR20050051840A (ko) * 2003-11-28 2005-06-02 주식회사 일진씨피에스 무기계 중공입자를 이용한 건축용 조성물

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2109063C3 (de) * 1971-02-25 1979-07-19 Braun Ag Piezoelektrischer Antrieb
US4670682A (en) * 1984-12-21 1987-06-02 General Electric Company Piezoelectric ceramic switching devices and systems and method of making the same
FR2687258A1 (fr) * 1992-02-06 1993-08-13 Asulab Sa Dispositif comportant un transducteur piezo-electrique.
JP3419356B2 (ja) * 1999-08-13 2003-06-23 株式会社村田製作所 圧電体の分極処理方法
DE10120517B4 (de) 2001-04-26 2013-06-06 Epcos Ag Elektrischer Vielschicht-Kaltleiter und Verfahren zu dessen Herstellung
US6876135B2 (en) * 2001-10-05 2005-04-05 Sri International Master/slave electroactive polymer systems
TWI237439B (en) * 2002-10-16 2005-08-01 Wac Data Service Co Ltd Driving device of a piezoelectric actuator
EP1427031B1 (en) * 2002-12-03 2013-05-08 Panasonic Corporation Manufacturing method of a thin film piezoelectric element
CN100553105C (zh) * 2002-12-16 2009-10-21 Wac资料服务株式会社 压电致动器的驱动器
US20040164647A1 (en) * 2003-02-26 2004-08-26 Micko Eric Scott Piezoelectric transducer circuit with improved shock recovery
JP4344554B2 (ja) * 2003-07-29 2009-10-14 京セラ株式会社 圧電アクチュエータの製造方法及び印刷ヘッドの製造方法
DE202005006126U1 (de) 2005-04-08 2005-07-07 Festo Ag & Co. Piezo-Biegewandler und damit ausgestattetes Piezoventil
JP5467821B2 (ja) * 2009-09-07 2014-04-09 パナソニック株式会社 振動型アクチュエータ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010053351A (ko) * 2001-01-10 2001-06-25 민병이 가요성 보강된 나선관
KR20050039176A (ko) * 2003-10-24 2005-04-29 장점수 스피커용 진동판의 제조방법
KR20050051840A (ko) * 2003-11-28 2005-06-02 주식회사 일진씨피에스 무기계 중공입자를 이용한 건축용 조성물

Also Published As

Publication number Publication date
KR102294810B1 (ko) 2021-08-26
EP2984689A1 (de) 2016-02-17
CN105378956B (zh) 2018-01-02
US9698335B2 (en) 2017-07-04
EP2984689B1 (de) 2017-07-05
DE102013009646A1 (de) 2014-12-11
US20160118573A1 (en) 2016-04-28
CN105378956A (zh) 2016-03-02
WO2014194986A1 (de) 2014-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7046500B2 (en) Laminated ceramic capacitor
US9536709B2 (en) Plasma generator
KR20190049707A (ko) 햅틱 피드백 생성 장치
JP2010258482A (ja) 負の温度係数を有する電気デバイス
KR102294810B1 (ko) 압전 액츄에이터 디바이스 및 압전 액츄에이터 디바이스가 제공된 밸브
JPWO2012057271A1 (ja) イオン風発生体及びイオン風発生装置
KR20130113153A (ko) 전자부품 및 전자부품 제조방법
JP4149773B2 (ja) 圧電素子
KR20160026510A (ko) 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈
US7786824B2 (en) Multilayer filter
CN102457057A (zh) 积层式静电及突波保护元件
US10916691B2 (en) Mother piezoelectric element, laminated piezoelectric element, and manufacturing method for laminated piezoelectric element
US7567151B2 (en) Multilayer filter
KR102057914B1 (ko) 적층 세라믹 커패시터
KR20060097722A (ko) 압전 액추에이터
KR20160072605A (ko) 회로 보호 소자
KR102499735B1 (ko) 낮은 종횡비 배리스터
KR101454059B1 (ko) 전기적 다층 소자
JP2013211432A (ja) 積層型圧電素子
US20090236948A1 (en) Piezoelectric Transformer
JP4586352B2 (ja) 積層型圧電素子
ATE510289T1 (de) Elektrisches bauelement und schaltungsanordnung
JP2022546809A (ja) バリスタ
JPH04138082A (ja) 電歪式アクチユエータ
JP3421292B2 (ja) 積層型電子部品

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant