KR20160018330A - Scribing tool - Google Patents

Scribing tool Download PDF

Info

Publication number
KR20160018330A
KR20160018330A KR1020150042923A KR20150042923A KR20160018330A KR 20160018330 A KR20160018330 A KR 20160018330A KR 1020150042923 A KR1020150042923 A KR 1020150042923A KR 20150042923 A KR20150042923 A KR 20150042923A KR 20160018330 A KR20160018330 A KR 20160018330A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
scribing
rollers
groove
pair
scribe
Prior art date
Application number
KR1020150042923A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
아키라 에지마타니
키요시 다카마츠
아키라 모리
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20160018330A publication Critical patent/KR20160018330A/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/71Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
    • H01L21/76Making of isolation regions between components

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)

Abstract

The present invention provides a scribing tool capable of forming a crack having an enough depth on a substrate when a scribe line is formed directly above or under a sealing material. The scribing tools (30, 40) have: holders (303, 403); grooves (303a, 403a) formed on lower surfaces of the holders (303, 403); a pair of grooves (303b, 403b) formed on the lower surfaces of the holders (304, 404) to insert the grooves (303a, 403a) therebetween; scribing wheels (301,401) mounted into the grooves (303a, 403a) to be rotated; and a pair of rollers (302, 402) mounted into a pair of grooves (303b, 403b) to be rotated individually. Axes (301a, 401a) of the scribing wheels (301, 401) and axes (302a, 402a) of the rollers (302, 402) are separated from each other at a certain distance in a scribe direction.

Description

스크라이빙 툴{SCRIBING TOOL}Scribing tool {SCRIBING TOOL}

본 발명은, 기판에 스크라이브 라인(scribing line)을 형성할 때에 이용되는 스크라이빙 툴에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing tool used when a scribing line is formed on a substrate.

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)은 분단(dividing)은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠(scribing wheel)의 날끝이, 기판 표면에 밀어붙여지면서, 소정의 라인을 따라 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는, 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.Conventionally, a brittle material substrate such as a glass substrate is divided into a scribe process for forming a scribe line on the substrate surface and a braking process for applying a predetermined force to the substrate surface along the scribe line Lt; / RTI > In the scribing step, the edge of the scribing wheel is moved along a predetermined line while being pressed against the surface of the substrate. For forming the scribe line, a scribe apparatus having a scribe head is used.

이하의 특허문헌 1에는, 마더 기판(mother substrate)으로부터 액정 패널을 잘라내기 위한 방법이 기재되어 있다. 이 방법에서는, 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 기판과, 컬러 필터(CF)가 형성된 기판을 시일재를 개재하여 접합시킴으로써, 마더 기판이 형성된다. 이 마더 기판이 분단됨으로써 개개의 액정 패널이 취득된다.The following Patent Document 1 discloses a method for cutting a liquid crystal panel from a mother substrate. In this method, a mother substrate is formed by bonding a substrate on which a thin film transistor (TFT) is formed and a substrate on which a color filter CF is formed, with a sealing material interposed therebetween. This mother substrate is divided so that individual liquid crystal panels are obtained.

시일재는, 2개의 기판이 접합된 상태에서 액정 주입 영역이 되는 공간이 남도록 배치된다.The sealing material is arranged such that a space to be a liquid crystal injection region remains in a state in which two substrates are bonded.

상기 구성의 마더 기판을 분단하는 경우에는, 2개의 스크라이브 헤드를 이용하여, 마더 기판의 양면에, 동시에 스크라이브 라인을 형성하는 방법이 이용될 수 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). 이 경우, 2개의 스크라이브 헤드가 마더 기판을 사이에 끼우도록 배치된다. 2개의 스크라이빙 휠은, 마더 기판을 평면에서 봤을 때에 동일한 위치에 위치된다. 이 상태에서, 2개의 스크라이빙 휠이 동일한 방향으로 동시에 이동되어, 마더 기판의 각 면에 스크라이브 라인이 형성된다.When dividing the mother substrate of the above configuration, a method of simultaneously forming scribe lines on both sides of the mother substrate by using two scribe heads can be used (see, for example, Patent Document 2). In this case, two scribe heads are arranged to sandwich the mother substrate. The two scribing wheels are located at the same position when viewed from the plane of the mother substrate. In this state, the two scribing wheels are simultaneously moved in the same direction, and scribe lines are formed on each surface of the mother substrate.

일본공개특허공보 2006-137641호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-137641 일본공개특허공보 2012-240902호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-240902

상기 특허문헌 1에도 나타나는 바와 같이, 종전의 마더 기판에는, 서로 이웃하는 액정 주입 영역의 사이에, 시일재가 개재되지 않는 영역이 존재하고 있었다. 따라서, 상기와 같이 2개의 스크라이브 헤드에 의해 마더 기판의 양면에 동시에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에는, 시일재가 개재되지 않는 영역에, 스크라이브 라인을 형성할 수 있었다. 이와 같이 스크라이브 라인을 형성하여 마더 기판을 분단하면, 액정 패널에는, 액정 주입 영역의 주위에 소정 폭의 테두리 영역이 남게 된다.As shown in Patent Document 1, there was a region in the mother substrate of the prior art in which no sealing material is interposed between adjacent liquid crystal injection regions. Therefore, when the scribe lines are simultaneously formed on both sides of the mother substrate by the two scribing heads as described above, the scribe lines can be formed in the area where the sealing material does not intervene. When the scribe line is formed and the mother substrate is thus divided, a frame region of a predetermined width remains around the liquid crystal injection region in the liquid crystal panel.

그러나, 최근, 특히 모바일용의 액정 패널에 있어서, 상기 테두리 영역을 극한까지 좁히는 것이 주류가 되고 있다. 이 요구에 부응하기 위해서는, 마더 기판에 있어서 시일재가 개재되지 않는 영역이 생략되어, 서로 이웃하는 액정 주입 영역은, 시일재에 의해서만 구분되도록 구성될 필요가 있다. 이 경우, 스크라이브 라인은, 시일재의 바로 위 및 바로 아래에 형성되게 된다.However, in recent years, particularly in mobile liquid crystal panels, it has become mainstream to narrow the edge region to the limit. In order to meet this demand, a region where the sealing material is not interposed in the mother substrate is omitted, and the adjacent liquid crystal injection regions need to be configured to be separated only by the sealing material. In this case, the scribe line is formed just above and below the sealing material.

그런데, 이와 같이 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하면, 2개의 유리 기판에 크랙이 충분히 들어가지 않는 바와 같은 문제가 본원 발명자들에 의해 확인되었다. 이와 같이 크랙이 불충분한 상태에서 브레이크 공정이 실행되면, 브레이크 후의 기판의 단연(端緣)에 미세한 균열이나 파손이 발생하여, 유리 기판의 강도가 저하될 우려가 있다.However, when the scribe lines are formed just above and below the sealing material, the inventors of the present invention have confirmed that the cracks do not sufficiently enter the two glass substrates. If the breaking process is performed in such a state that the cracks are insufficient, slight cracks or breakage may occur at the edge of the substrate after breaking, which may lower the strength of the glass substrate.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이빙 툴을 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a scribing tool capable of forming a crack of a sufficient depth on a substrate when a scribe line is formed immediately above and below the seal material .

본원 발명자들은, 시행 착오 끝에, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 함으로써, 각 기판에 보다 깊은 크랙이 들어가는 것을 발견했다. 본 발명은, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 하면서, 스크라이빙 휠과 반대측의 면을 롤러로 누르는 것이 가능한 스크라이빙 툴에 관한 것이다.The inventors of the present invention have found that by scribing the upper and lower scribe positions of the mother substrate by a predetermined distance in the scribing direction when the scribe lines are formed immediately above and below the sealing material after trial and error, I found deep cracks. The present invention relates to a scribing tool capable of pressing a surface opposite to a scribing wheel with a roller while shifting the scribing positions on the upper and lower surfaces of the mother substrate by a predetermined distance in a scribing direction.

본 발명의 주된의 실시 형태는, 제1 기판과 제2 기판을 시일재에 의해 접합하여 이루어지는 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성할 때에 이용되는 스크라이빙 툴에 관한 것이다. 본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴은, 홀더와, 상기 홀더의 하면에 형성된 제1홈과, 상기 제1홈을 사이에 끼우도록 상기 홀더의 하면에 형성된 한 쌍의 제2홈과, 상기 제1홈에 회전 가능하게 장착된 스크라이빙 휠과, 상기 한 쌍의 제2홈에 각각 회전 가능하게 장착된 한 쌍의 롤러를 구비한다. 상기 스크라이빙 휠의 회전축과 상기 롤러의 회전축이 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 서로 떨어져 있다.A main embodiment of the present invention relates to a scribing tool used when a scribe line is formed on a mother substrate formed by bonding a first substrate and a second substrate with a sealing material. The scribing tool according to the present embodiment includes a holder, a first groove formed on the lower surface of the holder, a pair of second grooves formed on the lower surface of the holder so as to sandwich the first groove, A pair of rollers rotatably mounted on the pair of second grooves, respectively, and a scribing wheel rotatably mounted on the first grooves. The rotation axis of the scribing wheel and the rotation axis of the roller are apart from each other by a predetermined distance in the scribe direction.

본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴을 이용함으로써, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 하면서, 스크라이빙 휠과 반대측의 면을 롤러로 누르는 것이 가능해진다. 이에 따라, 크랙의 깊이를 깊게 하면서, 크랙의 형성 상황을 안정화시킬 수 있다.By using the scribing tool according to the present embodiment, it is possible to press the surface opposite to the scribing wheel with a roller while shifting the scribing positions on the upper and lower surfaces of the mother substrate by a predetermined distance in the scribing direction. Thus, it is possible to stabilize the formation of cracks while deepening the crack depth.

본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴은, 상기 한 쌍의 롤러의 일부가 상기 스크라이빙 휠의 일부를 사이에 끼우도록, 상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러가 배치되도록 구성될 수 있다. 이 구성에 의하면, 스크라이빙 휠과 롤러와의 사이의 거리를 스크라이브 방향으로 단축할 수 있다.The scribing tool according to the present embodiment can be configured such that the scribing wheel and the pair of rollers are disposed such that a part of the pair of rollers sandwich a part of the scribing wheel . According to this configuration, the distance between the scribing wheel and the roller can be shortened in the scribing direction.

본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴에 있어서, 상기 홀더는, 자성 재료로 이루어져 있고, 원기둥의 측면을 비스듬하게 절결(cut-away)하여 경사면이 형성된 형상으로 될 수 있다. 이렇게 하면, 스크라이브 헤드의 홀더가 장착되는 구멍에 자석을 설치함으로써, 스크라이빙 툴을 원활하게 스크라이브 헤드에 장착할 수 있다. 또한, 이 구멍에 상기 경사면이 맞닿음하는 핀을 배치함으로써, 스크라이빙 툴을 정규의 위치에 위치결정할 수 있다.In the scribing tool according to the present embodiment, the holder may be formed of a magnetic material, and may have a shape in which an oblique surface is formed by obliquely cutting off the side surface of the cylinder. In this case, the scribing tool can be smoothly attached to the scribe head by providing a magnet in the hole through which the holder of the scribe head is mounted. Further, the scribing tool can be positioned at a regular position by disposing a pin which abuts against the inclined surface in the hole.

이 경우, 상기 제1홈과 상기 제2홈은 상기 홀더의 2개의 측면에 연통(communication)하여 형성되고, 상기 경사면은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 연통하는 2개의 상기 측면 중 한쪽의 측면에 형성되고, 상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러는, 상기 스크라이빙 휠이 상기 한 쌍의 롤러보다도 상기 경사면이 형성된 상기 측면에 가까워지도록 형성된다.In this case, the first groove and the second groove are formed in communication with the two side surfaces of the holder, and the inclined surface is formed so that the first groove and the second groove communicate with each other, Wherein the scribing wheel and the pair of rollers are formed such that the scribing wheel is closer to the side surface on which the inclined surface is formed than the pair of rollers.

혹은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 상기 홀더의 2개의 측면에 연통하여 형성되고, 상기 경사면은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 연통하는 2개의 상기 측면 중 한쪽의 측면에 형성되고, 상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러는, 상기 한 쌍의 롤러가 상기 스크라이빙 휠보다도 상기 경사면이 형성된 상기 측면에 가까워지도록 형성된다.Alternatively, the first groove and the second groove are formed so as to communicate with the two side surfaces of the holder, and the inclined surface is formed on one of the two side surfaces communicating the first groove and the second groove Wherein the scraping wheel and the pair of rollers are formed such that the pair of rollers is closer to the side surface on which the inclined surface is formed than the scraping wheel.

이와 같이, 스크라이빙 휠과 한 쌍의 롤러의 배열 순서가 경사면을 기준으로 하여 서로 상이한 2종류의 스크라이빙 툴을 미리 준비해 둠으로써, 마더 기판을 상하로 사이에 끼우는 한 쌍의 스크라이브 헤드에 상이한 종류의 스크라이빙 툴을 각각 장착하는 것만으로, 상측의 스크라이빙 휠과 하측의 롤러를 서로 대향시키고, 또한, 하측의 스크라이빙 휠과 상측의 롤러를 서로 대향시키는 것이 가능해진다.Thus, by preparing two types of scribing tools that are different from each other with respect to the order of arranging the scribing wheel and the pair of rollers, a pair of scribe heads sandwiching the mother substrate between the upper and lower sides It is possible to make the scraping wheel on the upper side and the roller on the lower side oppose each other and to face the scraping wheel on the lower side and the roller on the upper side by simply mounting different types of scraping tools.

본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴에 있어서, 상기 소정 거리는, 0.5㎜ 이상으로 설정되는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 크랙의 깊이를 효과적으로 깊게 할 수 있다.In the scribing tool according to the present embodiment, it is preferable that the predetermined distance is set to 0.5 mm or more. In this way, the depth of the crack can be effectively deepened.

또한, 본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴에 있어서, 상기 스크라이빙 휠은, 원판의 외주(外周)에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 상기 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖고 형성될 수 있다. 이하에 나타내는 실시 형태에서는, 이런 종류의 스크라이빙 휠에 의해 실험이 행해져, 크랙이 깊게 들어가는 것이 확인되고 있다.Further, in the scribing tool according to the present embodiment, the scribing wheel may be formed by forming a V-shaped blade edge on the outer periphery of the disk and forming a groove at a predetermined interval on the ridge line of the blade edge . In the embodiments described below, it has been confirmed that an experiment is conducted by this kind of scraping wheel, and the crack enters deeply.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이빙 툴을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribing tool capable of forming a crack of a sufficient depth on a substrate when scribe lines are formed immediately above and below the sealing material.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타내는 실시 형태의 설명에 의해 더욱 분명해질 것이다.The effect or significance of the present invention will become more apparent from the description of the embodiments described below.

단, 이하에 나타내는 실시 형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은 이하의 실시 형태에 기재된 것에 하등 제한되는 것은 아니다.It should be noted, however, that the embodiments described below are merely illustrative of the embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to those described in the following embodiments.

도 1은 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 스크라이브 방법 1을 설명하는 도면이다.
도 5는 스크라이브 방법 1에 의한 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 6은 실시 형태에 따른 스크라이브 방법 2를 설명하는 도면이다.
도 7은 실시 형태에 따른 다른 스크라이브 방법 2에 의한 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 8은 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 9는 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 10은 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 11은 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 장착 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 12는 변경예에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a view schematically showing the configuration of a scribing apparatus according to an embodiment. FIG.
2 is an exploded perspective view showing a structure of a scribe head according to the embodiment.
3 is a perspective view showing a configuration of a scribe head according to the embodiment.
4 is a diagram for explaining the scribe method 1.
5 is a view showing an experimental result by the scribing method 1. Fig.
6 is a diagram for explaining the scribe method 2 according to the embodiment.
Fig. 7 is a diagram showing an experimental result by another scribing method 2 according to the embodiment. Fig.
8 is a perspective view showing a configuration of a scribing tool according to the embodiment.
Fig. 9 is a perspective view showing a configuration of a scribing tool according to the embodiment. Fig.
10 is a perspective view showing a configuration of a scribing tool according to the embodiment.
11 is a view schematically showing a mounting method of a scribing tool according to the embodiment.
Fig. 12 is a view schematically showing a configuration of a scribing tool according to a modified example.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기(附記)되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직 방향이다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other for convenience. The X-Y plane is parallel to the horizontal plane, and the Z-axis direction is the vertical direction.

<스크라이브 장치><Scribe device>

도 1(a), 도 1(b)는, 스크라이브 장치(1)의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1(a)는, Y축 정측으로부터 스크라이브 장치(1)를 본 도면, 도 1(b)는 X축 정측으로부터 스크라이브 장치(1)를 본 도면이다.Fig. 1 (a) and Fig. 1 (b) schematically show the configuration of the scribe apparatus 1. Fig. Fig. 1 (a) is a view showing the scribe device 1 from the positive Y-axis side, and Fig. 1 (b) is a view showing the scribe device 1 from the X-axis positive side.

도 1(a)를 참조하여, 스크라이브 장치(1)는, 컨베이어(11)와, 지주(12a, 12b)와, 가이드(13a, 13b)와, 가이드(14a, 14b)와, 슬라이딩 유닛(15, 16)과, 2개의 스크라이브 헤드(2)를 구비한다.1 (a), the scribe apparatus 1 includes a conveyor 11, struts 12a and 12b, guides 13a and 13b, guides 14a and 14b, a sliding unit 15 , 16, and two scribe heads (2).

도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 컨베이어(11)는, 스크라이브 헤드(2)가 배치되는 개소를 제외하고, Y축 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 컨베이어(11) 상에는, 마더 기판(G)이 올려놓여진다. 마더 기판(G)은, 한 쌍의 유리 기판이 서로 접합된 기판 구조를 갖는다. 마더 기판(G)은, 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이송된다.As shown in Fig. 1 (b), the conveyor 11 is formed so as to extend in the Y-axis direction except for a portion where the scribe head 2 is disposed. On the conveyor 11, the mother substrate G is placed. The mother substrate (G) has a substrate structure in which a pair of glass substrates are bonded to each other. The mother substrate (G) is conveyed in the Y-axis direction by the conveyor (11).

지주(12a, 12b)는, 스크라이브 장치(1)의 베이스에 컨베이어(11)를 사이에 끼우고 수직으로 형성되어 있다. 가이드(13a, 13b) 및 가이드(14a, 14b)는, 각각, X축 방향에 평행이 되도록, 지주(12a, 12b)의 사이에 걸쳐지게 설치되어 있다. 슬라이딩 유닛(15, 16)은, 각각, 가이드(13a, 13b), 가이드(14a, 14b)에 슬라이딩이 자유롭게 형성되어 있다. 가이드(13a, 13b) 및 가이드(14a, 14)에는, 각각, 소정의 구동 기구가 형성되어 있고, 이 구동 기구에 의해, 슬라이딩 유닛(15, 16)이 X축 방향으로 이동된다.The supports 12a and 12b are vertically formed by sandwiching the conveyor 11 between the base of the scribe device 1. [ The guides 13a and 13b and the guides 14a and 14b are provided so as to extend between the pillars 12a and 12b so as to be parallel to the X axis direction. The sliding units 15 and 16 are slidably formed on the guides 13a and 13b and the guides 14a and 14b, respectively. Each of the guides 13a and 13b and the guides 14a and 14 is provided with a predetermined driving mechanism and the sliding units 15 and 16 are moved in the X axis direction by the driving mechanism.

슬라이딩 유닛(15, 16)에는, 각각, 스크라이브 헤드(2)가 장착되어 있다. Z축 정측의 스크라이브 헤드(2)와 Z축 부측의 스크라이브 헤드(2)에는, 각각, 마더 기판(G)에 대향하도록 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)에 지지(holding)된 스크라이빙 휠이 마더 기판(G)의 표면에 밀어붙여진 상태에서 스크라이브 헤드(2)가 X축 방향으로 이동한다. 이에 따라, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인이 형성된다.Each of the sliding units 15 and 16 is provided with a scribe head 2. Scribing tools 30 and 40 are attached to the scribe head 2 on the positive Z-axis side and the scribe head 2 on the Z-axis side so as to face the mother substrate G, respectively. The scribe head 2 moves in the X axis direction in a state in which the scribing wheel held by the scribing tools 30 and 40 is pushed against the surface of the mother substrate G. [ Thus, a scribe line is formed on the surface of the mother substrate (G).

<스크라이브 헤드><Scribe head>

도 2는, 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타내는 일부 분해 사시도, 도 3은, 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타내는 사시도이다.Fig. 2 is a partially exploded perspective view showing the structure of the scribe head 2, and Fig. 3 is a perspective view showing the structure of the scribe head 2. Fig.

도 2를 참조하여, 스크라이브 헤드(2)는, 승강 기구(21)와, 스크라이브 라인 형성 기구(22)와, 베이스 플레이트(base plate; 23)와, 톱 플레이트(top plate; 24)와, 보텀 플레이트(bottom plate; 25)와, 고무 틀(26)과, 커버(27)와, 서보 모터(28)를 구비한다.2, the scribe head 2 includes a lifting mechanism 21, a scribing line forming mechanism 22, a base plate 23, a top plate 24, A bottom plate 25, a rubber frame 26, a cover 27, and a servo motor 28. [

승강 기구(21)는, 서보 모터(28)의 구동축에 연결된 원통 캠(cam; 21a)과, 승강부(21b)의 상면에 형성된 캠 팔로어(cam follower; 21c)를 구비한다. 승강부(21b)는, 슬라이더(도시하지 않음)를 통하여 베이스 플레이트(23)에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 스프링(21d)에 의해 Z축 정방향으로 탄성지지되어 있다. 스프링(21d)의 탄성지지에 의해, 캠 팔로어(21c)는 원통 캠(21a)의 하면에 밀어붙여지고 있다. 승강부(21b)는 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 연결되어 있다. 서보 모터(28)에 의해 원통 캠(21a)이 회동(回動)하면, 원통 캠(21a)의 캠 작용에 의해 승강부(21b)가 승강하고, 이에 수반하여, 스크라이브 라인 형성 기구(22)가 승강한다. 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에, 스크라이빙 툴(30, 40)이 장착된다.The lifting mechanism 21 includes a cylindrical cam 21a connected to the drive shaft of the servo motor 28 and a cam follower 21c formed on the upper surface of the lifting portion 21b. The elevating portion 21b is supported on the base plate 23 in a vertically movable manner via a slider (not shown) and is elastically supported in the Z-axis direction by a spring 21d. By the elastic support of the spring 21d, the cam follower 21c is pushed against the lower surface of the cylindrical cam 21a. The elevating portion 21b is connected to the scribing line forming mechanism 22. When the cylindrical cam 21a is rotated by the servomotor 28, the elevating portion 21b is lifted and lowered by the cam action of the cylindrical cam 21a. As a result, the scribing line forming mechanism 22, . At the lower end of the scribing line forming mechanism 22, scribing tools 30 and 40 are mounted.

고무 틀(26)은, 공기를 통하게 하지 않는 탄성 부재이다. 고무 틀(26)은, 베이스 플레이트(23)의 홈(23a), 톱 플레이트(24)의 홈(24a) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(25a)에 끼워넣은 형상을 갖고 있다. 고무 틀(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 장착된 상태에서, 고무 틀(26)의 표면은, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 측면보다도 근소하게 외측으로 돌출한다.The rubber frame 26 is an elastic member that does not allow air to pass therethrough. The rubber frame 26 has a shape fitted into the groove 23a of the base plate 23, the groove 24a of the top plate 24 and the groove 25a of the bottom plate 25. The surface of the rubber mold 26 is slightly smaller than the side surfaces of the base plate 23, the top plate 24 and the bottom plate 25 with the rubber mold 26 mounted on the grooves 23a, 24a, .

커버(27)는, 전면부(前面部; 27a), 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 3개의 판부가 절곡된 형상을 갖는다. 전면부(27a)의 상하의 단연에는, 2개의 구멍(27f)이 형성되어 있다.The cover 27 has a shape in which three plate portions of the front surface portion 27a, the right side surface portion 27b, and the left side surface portion 27c are bent. Two holes 27f are formed on the upper and lower edges of the front portion 27a.

고무 틀(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 끼워넣어진 상태에서, 커버(27)의 우측면부(27b)와 좌측면부(27c)가 외측으로 휘도록 변형되어, 커버(27)가 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 부착된다. 이 상태에서, 전면부(27a)의 상하의 단연에 형성된 2개의 구멍(27f)을 통하여, 나사가 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 나사장착된다. 또한, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(23a, 24a, 25a)의 약간 외측에 형성된 나사 구멍에, 나사가 나사장착된다. 이에 따라, 커버(27)가, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)와 나사의 머리부에 의해 사이에 끼워져, 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 주연부가 고무 틀(26)로 밀어붙여진다. 이렇게 하여, 도 3과 같이 스크라이브 헤드(2)가 조립된다.The right side face portion 27b and the left side face portion 27c of the cover 27 are deformed so as to bend outward in a state in which the rubber frame 26 is fitted in the grooves 23a, 24a, 25a, The base plate 23, the top plate 24, and the bottom plate 25, respectively. In this state, the screws are screwed to the top plate 24 and the bottom plate 25 through the two holes 27f formed on the upper and lower edges of the front portion 27a. Screws are screwed to the screw holes formed slightly outside the grooves 23a, 24a, 25a of the base plate 23, the top plate 24, and the bottom plate 25. The cover 27 is sandwiched between the base plate 23, the top plate 24 and the bottom plate 25 by the head of the screw and the peripheral edge of the right side face portion 27b and the left side face portion 27c, The additional rubber frame 26 is pushed. Thus, the scribe head 2 is assembled as shown in Fig.

도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 2개의 스크라이브 헤드(2)가 마더 기판(G)의 상하에 각각 배치된다. 2개의 스크라이브 헤드(2)는 동일한 구성으로 되어 있다. 2개의 스크라이브 헤드(2)에 장착되는 스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이브 방법에 따라서 변경된다. 이하에 나타내는 2개의 스크라이브 방법 중, 스크라이브 방법 1에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)만을 지지(holding)하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다. 또한, 스크라이브 방법 2에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)를 지지하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다.As shown in Fig. 1 (a), two scribe heads 2 are arranged above and below the mother substrate G, respectively. The two scribe heads 2 have the same configuration. The scribing tools 30 and 40 mounted on the two scribe heads 2 are changed according to the scribing method. Among the two scribing methods shown below, scribing method 1 uses scribing tools 30 and 40 that hold only scribing wheels 301 and 401. In scribe method 2, scribing tools 30 and 40 that support scribing wheels 301 and 401 and rollers 302 and 402 are used.

이하, 이들 2개의 스크라이브 방법에 대해서 설명한다. 이들 2개의 스크라이브 방법 중 스크라이브 방법 2가, 실시 형태에 따른 것이다.Hereinafter, these two scribing methods will be described. Among these two scribing methods, the scribing method 2 is according to the embodiment.

<스크라이브 방법 1><Scribe method 1>

도 4(a)∼도 4(c)는, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 도면이다. 도 4(a)는 Y축 부측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 4(b)는 X축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 4(c)는 Z축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도이다.4 (a) to 4 (c) are diagrams for explaining a scribing method according to the present embodiment. Fig. 4 (a) is a schematic view of the vicinity of the scribe position from the Y-axis side, Fig. 4 (b) is a schematic view of the vicinity of the scribe position from the X- It is a schematic diagram when I look around.

도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 상측(Z축 정측)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(301)이, 하측(Z축 부측)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(401)보다도, 스크라이브 방향(X축 정방향)으로 거리(W1)만큼 선행하도록 하여, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)이 이동된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각 축(301a, 401a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다.4 (a), in this scribing method, the scribing wheel 301 of the scribe head 2 on the upper side (Z-axis positive side) is located on the lower side (Z-axis side) of the scribe head 2 The two scribing wheels 301 and 401 are moved such that the scribing wheel 401 precedes the scribing direction by a distance W1 in the scribing direction (X-axis normal direction). The two scribing wheels 301 and 401 are attached with scribing tools 30 and 40 so as to be rotatable about axes 301a and 401a, respectively.

도 4(b)를 참조하여, 마더 기판(G)은, 시일재(SL)를 통하고 2개의 유리 기판(G1, G2)을 접합하여 구성되어 있다. 유리 기판(G1)에는 컬러 필터(CF)가 형성되고, 유리 기판(G2)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다. 시일재(SL)와 2개의 유리 기판(G1, G2)에 의해, 액정 주입 영역(R)이 형성되고, 이 액정 주입 영역(R)에 액정이 주입된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, Y축 방향으로 서로 어긋나는 일 없이 위치된다. 스크라이빙 휠(301)은, 시일재(SL)의 바로 위의 위치에 있어서 유리 기판(G1)의 표면으로 밀어붙여지고, 스크라이빙 휠(401)은, 시일재(SL)의 바로 아래의 위치에 있어서 유리 기판(G2)의 표면으로 밀어붙여진다.Referring to Fig. 4 (b), the mother substrate G is constituted by joining two glass substrates G1 and G2 through a sealing material SL. A color filter CF is formed on the glass substrate G1 and a thin film transistor TFT is formed on the glass substrate G2. A liquid crystal injection region R is formed by the sealing material SL and the two glass substrates G1 and G2 and the liquid crystal is injected into the liquid crystal injection region R. The two scribing wheels 301 and 401 are positioned without deviating from each other in the Y-axis direction. The scribing wheel 301 is pushed to the surface of the glass substrate G1 at a position just above the sealing material SL and the scribing wheel 401 is pressed against the surface of the glass substrate G1 directly below the sealing material SL To the surface of the glass substrate G2.

도 4(c)에 나타내는 바와 같이, 시일재(SL)는 격자 형상으로 배치되어 있다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 시일재(SL)를 따라 X축 정방향으로 이동된다. 이에 따라, 도 4(b), 도 4(c)에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(G1, G2)의 표면에, 각각, 스크라이브 라인(L1, L2)이 형성된다.As shown in Fig. 4 (c), the sealing materials SL are arranged in a lattice form. The two scribing wheels 301 and 401 are moved in the X-axis normal direction along the seal material SL. Thus, as shown in Figs. 4 (b) and 4 (c), scribe lines L1 and L2 are formed on the surfaces of the glass substrates G1 and G2, respectively.

도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러는 형성되어 있지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러도 형성되어 있지 않다.In the scribing method shown in Figs. 4 (a) to 4 (c), no rollers for pressing the surface of the mother substrate G on the side opposite to the scribing wheel 301 (Z-axis side) are formed, No rollers for pressing the surface of the mother substrate G on the opposite side (Z-axis positive side) to the scribing wheel 401 are formed.

<실험 1><Experiment 1>

본원 발명자들은, 도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법에 따라 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행했다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.The inventors of the present invention conducted an experiment for forming scribe lines on the mother substrate G according to the scribing method shown in Figs. 4 (a) to 4 (c). Hereinafter, these experiments and experimental results will be described.

실험에서는, 두께가 각각 0.2㎜의 유리 기판(G1, G2)을 시일재(SL)를 통하여 접합한 기판(마더 기판)을 이용했다. 접합 기판(마더 기판)의 사이즈는 118㎜×500㎜이다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 미츠보시다이아몬드고교 가부시키가이샤 제조, 마이크로 페네트(Micro Penett)(미츠보시다이아몬드고교 가부시키가이샤의 등록상표)를 이용했다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 원판의 외주에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖는 구조로 되어 있다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 직경 3㎜, 날끝 각도 110°, 홈 개수 550, 홈 깊이 3㎛이다.In the experiment, a substrate (mother substrate) obtained by bonding glass substrates G1 and G2 each having a thickness of 0.2 mm via a sealing material SL was used. The size of the bonded substrate (mother substrate) is 118 mm x 500 mm. The scribing wheels 301 and 401 were manufactured by Micro Penett (registered trademark of Mitsubishi Diamond High School) manufactured by Mitsubishi Diamond High School. Each of the scribing wheels 301 and 401 has a structure in which a V-shaped blade edge is formed on the outer periphery of the disk and a groove is formed at a predetermined interval on the ridge line of the blade edge. The scribing wheels 301 and 401 have a diameter of 3 mm, a blade edge angle of 110, a groove number of 550, and a groove depth of 3 占 퐉.

이 구성의 스크라이빙 휠(301, 401)을, 각각, 도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 바와 같이 유리 기판(G1, G2)에 밀어붙이면서 이동시켜 스크라이브 동작을 행했다.The scribing wheels 301 and 401 of this configuration were moved while being pressed against the glass substrates G1 and G2 as shown in Figs. 4 (a) to 4 (c), respectively.

스크라이브 동작시에 스크라이빙 휠(301, 401)에 부여되는 하중은 6.5N으로 제어했다. 또한, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 했다.During the scribing operation, the load applied to the scribing wheels 301 and 401 was controlled to 6.5N. In addition, the moving speed of the scribing wheels 301 and 401 was fixed (200 mm / sec).

이상의 조건하에, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)를 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측했다. 비교예로서, 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 0인 경우의 크랙의 침투량도 계측했다. 각 측정에서는, 크랙의 침투량의 외에, 리브 마크(rib mark)량도 아울러 계측했다.Under the above conditions, the penetration amount of the cracks in the glass substrates G1 and G2 was measured while changing the distance W1 between the two scribing wheels 301 and 401. As a comparative example, the amount of crack penetration when the distance W1 between the scribing wheels 301 and 401 was 0 was also measured. In each measurement, in addition to the amount of crack penetration, the amount of rib mark was also measured.

도 5(a)∼도 5(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 5(a)는, 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타내는 도면, 도 5(b)∼도 5(e)는, 스크라이브 라인상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진으로, 각각, 거리(W1)가 0.4㎜, 0.6㎜, 0.8㎜, 1.0㎜의 경우인 것이다. 도 5(b)∼도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.5 (a) to 5 (e) show experimental results. 5B is a cross-sectional photograph of a mother substrate G on a scribe line, and Fig. 5B is a cross-sectional view of the mother substrate G. Fig. 5B is a cross- , And the distances W1 are 0.4 mm, 0.6 mm, 0.8 mm, and 1.0 mm, respectively. 5 (b) to 5 (e), D1 and D3 indicate the amount of rib marks, and D2 and D4 indicate the amount of crack penetration.

도 5(a)를 참조하면, 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 거리(W1)가 0㎜의 경우에 비해, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 커지고 있다. 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적정하게 분단할 수 있다.Referring to Fig. 5 (a), when the distance W1 exceeds 0.6 mm, the penetration amount of cracks in the glass substrate G1 becomes larger than in the case where the distance W1 is 0 mm. When a crack is introduced into any one of the glass substrates G1 and G2 with a large infiltration amount, the mother substrate G can be appropriately divided in the breaking process.

예를 들면, 비교예(W1=0㎜)와 같이, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙량이 모두 유리 기판(G1, G2)의 두께(0.2㎜)의 절반 정도이면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)의 양측에서 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크할 필요가 있다. 이와 같이 마더 기판(G)의 양측에서 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크하는 동작이 행해지면, 유리 기판(G1, G2)의 단연에 미세한 균열이나 파손이 발생하여, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 저하될 우려가 있다.For example, if the amount of cracks in the glass substrates G1 and G2 is about half the thickness (0.2 mm) of the glass substrates G1 and G2, as in the comparative example (W1 = 0 mm) , It is necessary to break the glass substrates G1 and G2 on both sides of the mother substrate G, respectively. When the operations of breaking the glass substrates G1 and G2 on both sides of the mother substrate G are performed in this way, the glass substrates G1 and G2 are slightly cracked or broken at the edge of the glass substrate G1 and G2 May be lowered.

이에 대하여, 거리(W1)가 0.6㎜∼1.4㎜인 경우에는, 유리 기판(G2)에 있어서의 크랙의 침투량은 작기는 하지만, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 크다. 이와 같이 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 큰 경우, 브레이크 공정에서는, 크랙의 침투량이 작은 유리 기판(G2)을 마더 기판(G)의 한쪽측에서만 브레이크하는 동작이 행해지면 좋고, 이 브레이크 동작시에, 깊은 크랙이 들어간 유리 기판(G1)도 동시에 크랙을 따라 분단된다. 이와 같이 마더 기판(G)의 한쪽측에서만 유리 기판(G1, G2)을 브레이크하면, 유리 기판(G1, G2)의 단연에 미세한 균열이나 손상이 발생하는 일이 없어, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 높게 유지된다.On the other hand, when the distance W1 is 0.6 mm to 1.4 mm, the penetration amount of cracks in the glass substrate G2 is small, but the amount of crack penetration in the glass substrate G1 is large. When the amount of crack penetration in the glass substrate G1 is large in this manner, in the breaking step, it is only necessary to perform an operation of braking the glass substrate G2 having a smaller crack penetration amount on only one side of the mother substrate G At the time of breaking operation, the glass substrate G1 having a deep crack is simultaneously divided along the crack. When the glass substrates G1 and G2 are broken only on one side of the mother substrate G in this way, no microscopic cracks or damage are generated on the edge of the glass substrates G1 and G2, Is maintained at a high level.

이상의 이유로부터, 마더 기판(G)의 분단에 있어서는, 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가 있는 것이 바람직하다. 본 실험에서는, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 비교예(W1=0㎜)에 비해, 유리 기판(G1)의 크랙 침투량이 커지고 있다. 이 점에서, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)는, 0.6㎜ 이상인 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이와 같이 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)를 설정함으로써, 마더 기판(G)의 브레이크를 적정하게 행할 수 있다.For the above reasons, it is preferable that at the division of the mother substrate G, a crack is introduced into one of the glass substrates G1 and G2 with a large penetration amount. 5A, when the distance W1 between the two scribing wheels 301 and 401 exceeds 0.6 mm, as compared with the comparative example (W1 = 0 mm) The amount of crack penetration of the core G1 is increased. In this respect, it can be said that the distance W1 between the two scribing wheels 301, 401 is preferably 0.6 mm or more. By setting the distance W1 between the two scribing wheels 301 and 401 as described above, it is possible to appropriately perform the braking of the mother substrate G.

<스크라이브 방법 2><Scribe method 2>

도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법(스크라이브 방법 1)에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면이 롤러로 눌려 있지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면도 롤러로 눌려 있지 않다. 이에 대하여, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면과, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면이, 각각, 롤러에 의해 눌려 있다.In the scribing method (scribing method 1) shown in Figs. 4 (a) to 4 (c), the surface of the mother substrate G on the side opposite to the scribing wheel 301 , And the surface of the mother substrate G on the opposite side (the Z-axis positive side) to the scribing wheel 401 is not pressed by the roller. On the contrary, in this scribing method, the surface of the mother substrate G on the side opposite to the scribing wheel 301 (on the Z axis side) and the mother substrate G on the side opposite to the scribing wheel 401 G are pressed by the rollers, respectively.

도 6(a), 도 6(b)는, 스크라이브 방법 2를 설명하는 도면이다. 도 6(a)는 Y축 부측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 6(b)는 X축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도이다.6 (a) and 6 (b) are diagrams for explaining the scribe method 2. Fig. 6 (a) is a schematic view of the vicinity of the scribe position from the Y-axis side, and Fig. 6 (b) is a schematic view of the vicinity of the scribe position from the X-axis positive side.

도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면이 2개의 롤러(402)로 눌리고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면도 2개의 롤러(302)로 눌려 있다. 2개의 롤러(302)는, 스크라이빙 휠(301)을 사이에 끼우도록 배치되고, 축(302a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 되어 있다. 또한, 2개의 롤러(402)는, 스크라이빙 휠(401)을 사이에 끼우도록 배치되고, 축(402a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 되어 있다.6 (a), in this scribing method, the surface of the mother substrate G on the opposite side (Z-axis side) to the scribing wheel 301 is pressed by the two rollers 402, The surface of the mother substrate G on the opposite side (the Z-axis positive side) to the crying wheel 401 is also pressed by the two rollers 302. [ The two rollers 302 are arranged so as to sandwich the scribing wheel 301, and are rotatable about the axis 302a as a rotation axis. The two rollers 402 are disposed so as to sandwich the scribing wheel 401, and are rotatable about the axis 402a as a rotation axis.

스크라이브 방법 1과 동일하게, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 스크라이브 방향(X축 방향)으로 거리(W1)만큼 어긋나 있다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 유리 기판(G1, G2)에 밀어붙여지면서, 시일재(SL)를 따라 이동한다. 스크라이빙 휠(301)과 2개의 롤러(302)와의 사이에는 Y축 방향의 간극(gap)이 있고, 스크라이빙 휠(401)과 2개의 롤러(402)와의 사이에도 Y축 방향의 간극(gap)이 있다. 이 때문에, 롤러(302, 402)는, 스크라이빙 휠(301, 401)에 의해 형성되는 스크라이브 라인(L1, L2)을 걸치도록 하여 X축 정방향으로 이동한다.Similarly to the scribing method 1, the two scribing wheels 301 and 401 are displaced by a distance W1 in the scribing direction (X-axis direction). The two scribing wheels 301 and 401 are moved along the sealing material SL while being pressed against the glass substrates G1 and G2, respectively. There is a gap in the Y axis direction between the scribing wheel 301 and the two rollers 302 and a gap in the Y axis direction between the scribing wheel 401 and the two rollers 402 (gap). Therefore, the rollers 302 and 402 move in the X-axis normal direction so as to cover the scribe lines L1 and L2 formed by the scribing wheels 301 and 401.

<실험 2><Experiment 2>

본원 발명자들은, 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 스크라이브 방법에 따라 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행했다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.The inventors of the present invention conducted an experiment to form scribe lines on the mother substrate G according to the scribing method shown in Figs. 6 (a) and 6 (b). Hereinafter, these experiments and experimental results will be described.

본 실험에서 이용한 마더 기판(G)과 스크라이빙 휠(301, 401)은, 상기 실험 1과 동일하게 했다. 본 실험에서는, 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 2.2㎜로 설정되었다. 또한, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 했다. 상측의 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(301)의 편심량은 1.0㎜이며, 하측 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(401)의 편심량은 3.2㎜였다.The mother substrate (G) and the scribing wheels (301, 401) used in this experiment were the same as those of Experiment 1. In this experiment, the distance W1 between the scribing wheels 301 and 401 was set at 2.2 mm. In addition, the moving speed of the scribing wheels 301 and 401 was fixed (200 mm / sec). The amount of eccentricity of the scribing wheel 301 with respect to the load center of the upper scribing head 2 was 1.0 mm and the amount of eccentricity of the scribing wheel 401 with respect to the load center of the lower scribing head 2 was 3.2 mm .

스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치는, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와, Z축 방향에 있어서 일치하고, 롤러(302, 402)의 직경은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경과 동일하게 3㎜로 설정했다.The center positions of the axes 301a and 401a of the scribing wheels 301 and 401 coincide with the center positions of the axes 302a and 402a of the rollers 302 and 402 in the Z axis direction, The diameter of each of the scribing wheels 302 and 402 is set to 3 mm, which is equal to the diameter of the scribing wheels 301 and 401, respectively.

이상의 조건하에, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측했다.Under the above conditions, the amount of penetration of the cracks in the glass substrates G1 and G2 was measured while changing the load applied to the scribing tools 30 and 40.

도 7(a)∼도 7(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 7(a)는, 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타내는 도면, 도 7(b)∼도 7(e)는, 스크라이브 라인상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진으로, 각각, 하중이 6N, 7N, 8N, 9N의 경우인 것이다. 도 5(b)∼도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.Figs. 7 (a) to 7 (e) show experimental results. Figs. 7 (a) to 7 (e) are cross-sectional photographs of a mother substrate G on a scribe line, and Figs. 7 , And the loads are 6N, 7N, 8N, and 9N. 5 (b) to 5 (e), D1 and D3 indicate the amount of rib marks, and D2 and D4 indicate the amount of crack penetration.

도 7(a)를 참조하면, 하중이 5N에서 6N으로 변화하면, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 급격하게 증가하는 것을 알 수 있다. 또한, 하중이 6N을 초과하면, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 유리 기판(G1)의 두께(0.2㎜)의 80%를 초과하고, 유리 기판(G1)에 큰 침투량으로 크랙이 들어간다. 상기와 같이, 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적정하게 분단할 수 있다. 따라서, 스크라이브 방법 2에 있어서는, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 6N 이상으로 설정하는 것이 바람직하다고 할 수 있다.Referring to Fig. 7 (a), it can be seen that when the load changes from 5N to 6N, the amount of crack penetration in the glass substrate G1 sharply increases. If the load exceeds 6N, the amount of penetration of the cracks of the glass substrate G1 exceeds 80% of the thickness (0.2 mm) of the glass substrate G1, and cracks enter the glass substrate G1 with a large penetration amount. As described above, when a crack is introduced into any one of the glass substrates G1 and G2 with a large penetration amount, the mother substrate G can be appropriately divided in the breaking process. Therefore, in the scribe method 2, it can be said that it is preferable to set the load applied to the scribing tools 30, 40 to 6N or more.

또한, 본 실험에서는, 상기 실험 1에 비해, 유리 기판(G1)에 대한 크랙의 침투량이 더욱 커져 있다. 따라서, 크랙의 침투량을 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성하려면, 스크라이브 방법 2와 같이, 마더 기판(G)의 스크라이빙 휠(301, 401)과 반대측의 면을 롤러(402, 302)로 누르도록 하는 것이 바람직하다고 할 수 있다.Further, in this experiment, the penetration amount of cracks to the glass substrate G1 is larger than that of Experiment 1 above. Therefore, in order to form a crack stably while increasing the amount of penetration of cracks, it is necessary to press the surface of the mother substrate G opposite to the scribing wheels 301 and 401 with the rollers 402 and 302 as in the scribing method 2 It is desirable to do so.

<스크라이빙 툴><Scribing tool>

도 8(a), 도 8(b)는, 각각, 스크라이빙 툴(30, 40)의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 9(a)∼도 9(c)는, 스크라이빙 툴(30)의 구성을 나타내는 좌측면도, 정면도, 우측면도이다. 도 10(a)∼도 10(c)는, 스크라이빙 툴(30)의 구성을 나타내는 좌측면도, 정면도, 우측면도이다.8 (a) and 8 (b) are perspective views showing the configuration of scribing tools 30 and 40, respectively. Figs. 9 (a) to 9 (c) are a left side view, a front view, and a right side view showing the configuration of the scribing tool 30. Fig. 10 (a) to 10 (c) are a left side view, a front view, and a right side view showing the structure of the scribing tool 30.

스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 배열 순서를 제외하고 동일한 구성을 구비하고 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)를 지지하는 홀더(303, 403)를 구비한다. 홀더(303, 403)는 강자성체로 구성되어 있다.The scribing tools 30 and 40 have the same configuration except for the order of arrangement of the scribing wheels 301 and 401 and the rollers 302 and 402. [ The scribing tools 30 and 40 have holders 303 and 403 for supporting the scribing wheels 301 and 401 and the rollers 302 and 402, respectively. The holders 303 and 403 are made of a ferromagnetic material.

홀더(303, 403)는, 스크라이빙 휠(301, 401)이 장착되는 홈(303a, 403a)과, 롤러(302, 402)가 장착되는 홈(303b, 403b)과, 경사면(303c, 403c)을 구비한다. 홈(303a, 403a)과 홈(303b, 403b)은, 홀더(303, 403)의 전후의 측면에 연통되어 있다. 경사면(303c, 403c)은 홀더(303, 403)의 원기둥 형상의 측면을 앞측으로부터 비스듬하게 절결(cut-away)하여 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 축(301a, 401a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워넣음으로써 장착된다. 롤러(302, 402)는, 축(302a, 402a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워넣음으로써 장착된다.The holders 303 and 403 are provided with grooves 303a and 403a on which the scribing wheels 301 and 401 are mounted and grooves 303b and 403b on which the rollers 302 and 402 are mounted and slopes 303c and 403c ). The grooves 303a and 403a and the grooves 303b and 403b communicate with the front and rear sides of the holders 303 and 403, respectively. The inclined surfaces 303c and 403c are formed by obliquely cutting away the cylindrical side surfaces of the holders 303 and 403 from the front side. The scribing wheels 301 and 401 are mounted by inserting the shafts 301a and 401a into the holes of the holders 303 and 403. The rollers 302 and 402 are mounted by inserting the shafts 302a and 402a into the holes of the holders 303 and 403.

도 11(a), 도 11(b)는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 대한 스크라이빙 툴(30)의 부착 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 11(a), 도 11(b)에서는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 내부가 투시된 상태가 나타나 있다.11 (a) and 11 (b) schematically show a method of attaching the scribing tool 30 to the scribing line forming mechanism 22. Fig. 11 (a) and 11 (b) show a state in which the inside of the scribing line forming mechanism 22 is viewed.

스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에는, 스크라이빙 툴(30)을 지지하는 지지부(221)가 형성되고, 이 지지부(221)에, 스크라이빙 툴(30)을 삽입 가능한 구멍(222)이 형성되어 있다. 구멍(224)의 바닥에는 자석(224)이 설치되고, 구멍(224)의 중간 위치에 핀(223)이 형성되어 있다. 상기와 같이, 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)는 강자성체로 구성되어 있다.A support portion 221 for supporting the scribing tool 30 is formed at the lower end of the scribing line forming mechanism 22. A hole 222 into which the scribe tool 30 can be inserted is formed in the support portion 221, Respectively. A magnet 224 is provided at the bottom of the hole 224 and a pin 223 is formed at an intermediate position of the hole 224. As described above, the holder 303 of the scribing tool 30 is made of a ferromagnetic material.

스크라이브 라인 형성 기구(22)에 스크라이빙 툴(30)을 부착하는 경우, 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)가 지지부(221)의 구멍(222)에 삽입된다. 홀더(303)의 상단이 자석(224)에 접근하면 홀더(303)가 자석(224)에 흡착된다. 이때, 홀더(303)의 경사면(303c)이 핀(223)에 맞닿음하여, 홀더(303)가 정규의 위치에 위치결정된다. 이렇게 하여, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 툴(30)이 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다.The holder 303 of the scribing tool 30 is inserted into the hole 222 of the support portion 221 when attaching the scribing tool 30 to the scribing line forming mechanism 22. [ When the upper end of the holder 303 approaches the magnet 224, the holder 303 is attracted to the magnet 224. At this time, the inclined surface 303c of the holder 303 comes into contact with the pin 223, and the holder 303 is positioned at a regular position. Thus, as shown in Fig. 11 (b), the scribing tool 30 is mounted on the lower end of the scribing line forming mechanism 22.

스크라이빙 툴(40)도 동일하게 하여 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다. 이렇게 하여, 스크라이빙 툴(30, 40)이, 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착되면, 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)에 대응하는 위치에 롤러(402)가 위치되고, 스크라이빙 휠(401)에 대응하는 위치에 롤러(302)가 위치된다. 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하면, 스크라이빙 툴(30, 40)을 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착하는 것만으로, 스크라이빙 휠(301)과 스크라이빙 휠(401)과의 거리(W1)를 소정의 거리로 유지하면서, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(402, 302)를 서로 마주시킬 수 있다.The scribing tool 40 is also mounted on the lower end of the scribing line forming mechanism 22 in the same manner. 6 (a) and 6 (b), when the scribing tools 30 and 40 are mounted on the scribing line forming mechanism 22 of the corresponding scribe head 2, , The roller 402 is positioned at a position corresponding to the scribing wheel 301 and the roller 302 is positioned at a position corresponding to the scribing wheel 401. By using the scribing tools 30 and 40 having the configurations shown in Figs. 8 (a) and 8 (b), the scribing tools 30 and 40 are respectively disposed on the scribe line 2 of the corresponding scribe head 2 The scribing wheels 301 and 401 and the scribing wheels 401 and 402 are rotated while keeping the distance W1 between the scribing wheel 301 and the scribing wheel 401 at a predetermined distance, The rollers 402 and 302 can face each other.

또한, 상기 실험 2는, 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하여 행했다. 또한, 상기 실험 1은, 홀더(303, 403)에서 홈(303b, 403b)이 생략되어, 홈(303a, 403a)만을 갖는 홀더(303, 403)에, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)이 장착된 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하여 행했다.In Experiment 2, the scribing tools 30 and 40 having the structures shown in Figs. 8 (a) and 8 (b) were used. In Experiment 1, the grooves 303b and 403b were omitted from the holders 303 and 403, and the scribing wheels 301 and 401 were respectively attached to the holders 303 and 403 having only the grooves 303a and 403a, ) Equipped with scribing tools (30, 40).

<실시 형태의 효과>&Lt; Effect of Embodiment >

본 실시 형태에 의하면, 이하의 효과가 나타난다.According to the present embodiment, the following effects are obtained.

도 8∼도 10에 나타내는 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용함으로써, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 하면서, 스크라이빙 휠과 반대측의 면을 롤러로 누르는 것이 가능해진다. 이에 따라, 실험 2에서 나타낸 바와 같이, 시일재(SL)의 바로 위의 위치에, 깊은 크랙으로 스크라이브 라인(L1)을 형성할 수 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)에 롤러(302, 402)를 형성함으로써, 크랙의 침투량을 더욱 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.By using the scribing tools 30 and 40 shown in Figs. 8 to 10, the scribing positions on the upper and lower surfaces of the mother substrate are shifted by a predetermined distance in the scribing direction, . &Lt; / RTI &gt; Thus, as shown in Experiment 2, the scribe line L1 can be formed at a position immediately above the seal material SL with a deep crack. By forming the rollers 302 and 402 on the scribing tools 30 and 40, it is possible to stably form a crack while increasing the penetration amount of the crack.

도 8∼도 10에 나타내는 스크라이빙 툴(30, 40)에서는, 한 쌍의 롤러(302, 402)의 일부가 스크라이빙 휠(301,401)의 일부를 사이에 끼우도록, 스크라이빙 휠(301, 401)과 한 쌍의 롤러(302, 402)가 배치되어 있다. 이 구성에 의하면, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)와의 사이의 거리를 스크라이브 방향으로 단축할 수 있다.In the scribing tools 30 and 40 shown in Figs. 8 to 10, a part of the pair of rollers 302 and 402 is fixed to a scribing wheel (not shown) so as to sandwich a part of the scribing wheels 301 and 401 301 and 401 and a pair of rollers 302 and 402 are disposed. According to this configuration, the distance between the scribing wheels 301 and 401 and the rollers 302 and 402 can be shortened in the scribing direction.

도 8∼도 10에 나타내는 스크라이빙 툴(30, 40)은, 홀더(303, 403)가 자성 재료로 이루어져 있고, 원기둥의 측면을 비스듬하게 절결하여 경사면(303c, 403c)이 형성된 형상으로 되어 있다. 이 때문에, 스크라이브 헤드(2)의 홀더(303, 403)가 장착되는 구멍(222)에 자석(224)을 설치함으로써, 스크라이빙 툴(30, 40)을 원활하게 스크라이브 헤드(2)에 장착할 수 있다. 또한, 이 구멍(222)에 경사면(303c, 403c)이 맞닿음하는 핀(223)을 배치함으로써, 자석(224)에 의한 흡착력을 이용하여 스크라이빙 툴(30, 40)을 정규의 위치에 위치결정할 수 있다.The scribing tools 30 and 40 shown in Figs. 8 to 10 are configured such that the holders 303 and 403 are made of a magnetic material, and the side faces of the cylinder are slanted obliquely to form the inclined faces 303c and 403c have. Therefore, by installing the magnets 224 in the holes 222 in which the holders 303 and 403 of the scribe head 2 are mounted, the scribing tools 30 and 40 can be smoothly mounted on the scribe heads 2 can do. It is also possible to arrange the scribing tools 30 and 40 at regular positions by using the attraction force by the magnet 224 by disposing the pins 223 that the slopes 303c and 403c abut on the holes 222 Can be positioned.

또한, 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 2종류의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용함으로써, 스크라이빙 툴(30, 40)을 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착하는 것만으로, 스크라이빙 휠(301)과 스크라이빙 휠(401)과의 거리(W1)를 소정의 거리로 유지하면서, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(402, 302)를 서로 마주시킬 수 있다.By using the two kinds of scribing tools 30 and 40 shown in Figs. 8 (a) and 8 (b), the scribing tools 30 and 40 can be respectively provided to the corresponding scribe heads 2, Only the scribing line forming mechanism 22 of the scribing line 301 and the scribing wheel 401 can be fixed to the scribing line forming apparatus 22 while keeping the distance W1 between the scribing wheel 301 and the scribing wheel 401 at a predetermined distance, 401 and the rollers 402, 302 can be opposed to each other.

<변경예><Example of change>

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 하등 제한되는 것은 아니며, 또한, 본 발명의 실시 형태도 상기 이외에 여러 가지 변경이 가능하다.Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made to the embodiments of the present invention.

예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 날끝의 능선에 일정 간격으로 홈이 형성된 스크라이빙 홀이 이용되었지만, 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 스크라이빙 휠을 이용해도 동일한 효과가 나타나는 것이 상정(想定)될 수 있다. 스크라이빙 휠(날끝)의 크기나 형상은, 상기 실시 형태에 기재된 것에 한정되는 것은 아니고, 다른 크기나 형상, 종류의 날끝을 적절하게 이용할 수 있다.For example, in the above-described embodiment, scribing holes having grooves formed at regular intervals on the ridgelines of the edge portions are used, but it is assumed that the same effect can be obtained even when a scribing wheel having no grooves formed on the ridgeline is used ). The size and shape of the scribing wheel (edge) are not limited to those described in the above embodiment, but other sizes, shapes, and types of edges can be suitably used.

또한, 상기 실시 형태에서는, 마더 기판(G)의 상측의 스크라이빙 휠(301)을 하측의 스크라이빙 휠(401)에 대하여 스크라이브 방향으로 선행시켰지만, 마더 기판(G)의 하측의 스크라이빙 휠(301)을 상측의 스크라이빙 휠(401)에 대하여 스크라이브 방향으로 선행시켜도 좋다. 이 경우도, 상기와 동일한 효과가 나타날 수 있다.Although the scribing wheel 301 on the upper side of the mother substrate G is preceded in the scribing direction with respect to the scribing wheel 401 on the lower side in the above embodiment, The ice wheel 301 may be preceded in the scribing direction with respect to the scribing wheel 401 on the upper side. In this case as well, the same effect as described above can be obtained.

또한, 도 6(a), 도 6(b) 및 도 8(a), 도 8(b)의 구성에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치가, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와, Z축 방향에 있어서 일치하고, 스크라이빙 휠(301,401)의 직경이, 각각, 롤러(302, 402)의 직경과 동일하게 되었다. 그러나, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 관계는, 이에 한정되는 것이 아니며, 이 외에 다양한 변경이 가능하다.6A, 6B, 8A and 8B, the center positions of the axes 301a, 401a of the scribing wheels 301, The diameters of the scribing wheels 301 and 401 coincide with the diameters of the rollers 302 and 402 and the diameters of the rollers 302 and 402 respectively correspond to the center positions of the axes 302a and 402a of the rollers 302 and 402, It became the same. However, the relationship between the scribing wheels 301, 401 and the rollers 302, 402 is not limited to this, and various other changes are possible.

예를 들면, 도 12(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 직경이 롤러(302)의 직경보다도 Δd1만큼 커도 좋고, 혹은, 도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 직경이 롤러(302)의 직경보다도 Δd2만큼 작아도 좋다. 또한, 도 12(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 축(301a)의 중심 위치가 롤러(302)의 축(302a)의 중심 위치보다도 Δd3만큼 Z축 부방향으로 어긋나 있어도 좋고, 혹은, 도 12(d)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 축(301a)의 중심 위치가 롤러(302)의 축(302a)의 중심 위치보다도 Δd4만큼 Z축 정방향으로 어긋나 있어도 좋다. 스크라이빙 휠(401)과 롤러(402)에 대해서도 동일하게 변경될 수 있다.For example, as shown in Fig. 12 (a), the diameter of the scribing wheel 301 may be larger than the diameter of the roller 302 by? D1, or, as shown in Fig. 12 (b) The diameter of the ice wheel 301 may be smaller than the diameter of the roller 302 by? D2. 12 (c), even if the center position of the shaft 301a of the scribing wheel 301 deviates by Δd3 from the center position of the shaft 302a of the roller 302 in the Z axis direction 12 (d), the center position of the shaft 301a of the scribing wheel 301 is shifted in the Z-axis direction by Δd4 from the center position of the shaft 302a of the roller 302 There may be. The same can be applied to the scribing wheel 401 and the roller 402 as well.

또한, 도 12(b), 도 12(d)의 구성예에서는, 롤러(302)의 하단이 스크라이빙 휠(301)의 하단보다도 하측에 있기 때문에, 스크라이브 동작시에, 롤러(302a)가 보다 강하게 유리 기판(G1)에 밀어붙여진다. 이와 같이 롤러(302a)가 강하게 밀어붙여지면, 유리 기판(G1)이 Z축 부방향으로 휘고, 이에 따라, 유리 기판(G1)의 이면(裏面)에 크랙을 벌리는 방향의 인장력이 가해진다. 이 때문에, 롤러(302)가 밀어붙여진 유리 기판(G1)의 부분의 이면에 다른 한쪽의 스크라이빙 휠(401)의 날끝이 밀어붙여지면, 이 인장력에 의해 크랙이 깊게 들어가기 쉬워진다. 따라서, 도 12(b), 도 12(d)의 구성예에서는, 롤러(302a)에 대응하는 이측의 스크라이빙 휠(401)에 의해, 보다 깊은 크랙이 형성된다는 작용이 상정될 수 있다.12 (b) and 12 (d), since the lower end of the roller 302 is lower than the lower end of the scribing wheel 301, the rollers 302a And is pressed against the glass substrate G1 more strongly. When the roller 302a is strongly pressed in this manner, the glass substrate G1 is bent in the direction of the Z axis, thereby applying a tensile force in the direction of cracking the back surface of the glass substrate G1. Therefore, when the blade edge of the other scraping wheel 401 is pushed against the back surface of the portion of the glass substrate G1 on which the roller 302 is pushed, the crack tends to get deeper due to this tensile force. Therefore, in the configuration example of Figs. 12 (b) and 12 (d), it can be assumed that a deeper crack is formed by the scraping wheel 401 on the side corresponding to the roller 302a.

이 외에, 마더 기판(G)의 구성, 두께, 재질 등은, 상기 실시 형태에 나타내는 것에 한정되는 것이 아니라, 다른 구성의 마더 기판(G)의 절단에도, 스크라이브 툴(30, 40)을 이용할 수 있다.The configuration, thickness, material, and the like of the mother substrate G are not limited to those shown in the above-described embodiment, but scribing tools 30 and 40 can be used for cutting the mother substrate G of another configuration have.

본 발명의 실시 형태는, 특허 청구의 범위에 나타난 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절하게, 다양한 변경이 가능하다.The embodiments of the present invention can be modified in various ways as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.

30, 40 : 스크라이빙 툴
301, 401 : 스크라이빙 휠
302, 402 : 롤러
303, 403 : 홀더
303a, 403a : 홈(제1홈)
303b, 403b : 홈(제2홈)
303c, 403c : 경사면
30, 40: Scribing tool
301, 401: scribing wheel
302, 402: rollers
303, 403: Holder
303a, 403a: groove (first groove)
303b, 403b: grooves (second grooves)
303c, and 403c:

Claims (7)

제1 기판과 제2 기판을 시일재에 의해 접합하여 이루어지는 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성할 때에 이용되는 스크라이빙 툴로서,
홀더와,
상기 홀더의 하면에 형성된 제1홈과,
상기 제1홈을 사이에 끼우도록 상기 홀더의 하면에 형성된 한 쌍의 제2홈과,
상기 제1홈에 회전 가능하게 장착된 스크라이빙 휠과,
상기 한 쌍의 제2홈에 각각 회전 가능하게 장착된 한 쌍의 롤러를 구비하고,
상기 스크라이빙 휠의 회전축과 상기 롤러의 회전축이 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 서로 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.
As a scribing tool used when a scribe line is formed on a mother substrate formed by bonding a first substrate and a second substrate by a sealing material,
A holder,
A first groove formed in a lower surface of the holder,
A pair of second grooves formed on the lower surface of the holder so as to sandwich the first grooves therebetween,
A scribing wheel rotatably mounted on the first groove,
And a pair of rollers rotatably mounted on the pair of second grooves,
Wherein the rotation axis of the scribing wheel and the rotation axis of the roller are separated from each other by a predetermined distance in the scribing direction.
제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 롤러의 일부가 상기 스크라이빙 휠의 일부를 사이에 끼우도록, 상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.
The method according to claim 1,
Wherein the scribing wheel and the pair of rollers are disposed so that a part of the pair of rollers sandwich a part of the scribing wheel.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 홀더는, 자성 재료로 이루어져 있고, 원기둥의 측면을 비스듬하게 절결(cut-away)하여 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the holder is made of a magnetic material and has an oblique surface formed by obliquely cutting off the side surface of the cylinder.
제3항에 있어서,
상기 제1홈과 상기 제2홈이 상기 홀더의 2개의 측면에 연통하여 형성되고,
상기 경사면은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 연통하는 2개의 상기 측면 중 한쪽의 측면에 형성되고,
상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러는, 상기 스크라이빙 휠이 상기 한 쌍의 롤러보다도 상기 경사면이 형성된 상기 측면에 가까워지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.
The method of claim 3,
The first groove and the second groove are formed so as to communicate with two side surfaces of the holder,
Wherein the inclined surface is formed on one of two side surfaces of the first groove and the second groove communicating with each other,
Wherein the scribing wheel and the pair of rollers are formed such that the scribing wheel is closer to the side surface on which the inclined surface is formed than the pair of rollers.
제3항에 있어서,
상기 제1홈과 상기 제2홈이 상기 홀더의 2개의 측면에 연통하여 형성되고,
상기 경사면은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 연통하는 2개의 상기 측면 중 한쪽의 측면에 형성되고,
상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러는, 상기 한 쌍의 롤러가 상기 스크라이빙 휠보다도 상기 경사면이 형성된 상기 측면에 가까워지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.
The method of claim 3,
The first groove and the second groove are formed so as to communicate with two side surfaces of the holder,
Wherein the inclined surface is formed on one of two side surfaces of the first groove and the second groove communicating with each other,
Wherein the scribing wheel and the pair of rollers are formed so that the pair of rollers is closer to the side surface on which the slope is formed than the scraping wheel.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 소정 거리는, 0.5㎜ 이상으로 설정되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the predetermined distance is set to 0.5 mm or more.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 스크라이빙 휠은, 원판의 외주(外周)에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 상기 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖고 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the scribing wheel is formed with a V-shaped edge at an outer periphery of the disk and a groove at a predetermined interval on a ridge line of the edge of the edge.
KR1020150042923A 2014-08-07 2015-03-27 Scribing tool KR20160018330A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2014-161252 2014-08-07
JP2014161252A JP6435698B2 (en) 2014-08-07 2014-08-07 Scribing equipment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160018330A true KR20160018330A (en) 2016-02-17

Family

ID=55369641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150042923A KR20160018330A (en) 2014-08-07 2015-03-27 Scribing tool

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6435698B2 (en)
KR (1) KR20160018330A (en)
CN (1) CN105366932B (en)
TW (1) TWI650293B (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101727543B1 (en) * 2016-02-22 2017-04-17 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Rotating apparatus of scribe head for cutting substrate
CN108623141A (en) * 2018-07-18 2018-10-09 安徽锐利玻璃机械有限公司 A kind of glass cutting machine

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006137641A (en) 2004-11-12 2006-06-01 Sanyo Electric Co Ltd Cutting method of glass substrate
JP2012240902A (en) 2011-05-24 2012-12-10 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Scribing apparatus

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4226153A (en) * 1979-05-17 1980-10-07 The Fletcher-Terry Company Compensating glass scoring head
JPH07138039A (en) * 1993-11-12 1995-05-30 Fuji Xerox Co Ltd Scribing apparatus
JP3810127B2 (en) * 1996-04-25 2006-08-16 京セラ株式会社 Glass substrate cutting method
JP2003313036A (en) * 2002-04-17 2003-11-06 Sharp Corp Method for dividing glass and apparatus for the same
JP2008156151A (en) * 2006-12-22 2008-07-10 Sharp Corp Severing blade unit, apparatus equipped with it for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing liquid crystal display panel
JPWO2015137161A1 (en) * 2014-03-12 2017-04-06 旭硝子株式会社 Cutter device, cutting line forming method, and brittle plate cutting method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006137641A (en) 2004-11-12 2006-06-01 Sanyo Electric Co Ltd Cutting method of glass substrate
JP2012240902A (en) 2011-05-24 2012-12-10 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Scribing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016037414A (en) 2016-03-22
JP6435698B2 (en) 2018-12-12
TWI650293B (en) 2019-02-11
CN105366932A (en) 2016-03-02
CN105366932B (en) 2019-12-17
TW201605751A (en) 2016-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI641466B (en) Scribing head and scribing device
KR20160018329A (en) Scribing method and scribing apparatus
CN105700205B (en) Substrate dividing method and scribing apparatus
JP6384264B2 (en) Scribing method and scribing apparatus
TW201339112A (en) Scribing wheel, scribing device, scribing method , manufacturing method for display panel and display panel
KR20160018330A (en) Scribing tool
JP2016047787A (en) Scribing tool and scribing device
JP2016108167A (en) Scribing tool and scribing device
JP2016121037A (en) Scribe device
JP6493512B2 (en) Cutting method and device
JP2016108169A (en) Scribing tool and scribing device
CN105523710B (en) Scribing method and scribing device
WO2018016038A1 (en) Cutting device and cutting method
JP2016108168A (en) Scribing tool and scribing device
JP2016060684A (en) Substrate parting method and scribing device
TW201922645A (en) Scribing method and cutting method capable of forming a crack that is deep enough on a substrate under the condition that a scribe line is formed at a position directly above and below a sealing element
KR20160111604A (en) Scribing apparatus
JP2008191432A (en) Method and device for manufacturing liquid crystal panel
KR20190049441A (en) Scribing method and dividing method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application