KR20160018330A - Scribing tool - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 기판에 스크라이브 라인(scribing line)을 형성할 때에 이용되는 스크라이빙 툴에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing tool used when a scribing line is formed on a substrate.
종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)은 분단(dividing)은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠(scribing wheel)의 날끝이, 기판 표면에 밀어붙여지면서, 소정의 라인을 따라 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는, 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.Conventionally, a brittle material substrate such as a glass substrate is divided into a scribe process for forming a scribe line on the substrate surface and a braking process for applying a predetermined force to the substrate surface along the scribe line Lt; / RTI > In the scribing step, the edge of the scribing wheel is moved along a predetermined line while being pressed against the surface of the substrate. For forming the scribe line, a scribe apparatus having a scribe head is used.
이하의 특허문헌 1에는, 마더 기판(mother substrate)으로부터 액정 패널을 잘라내기 위한 방법이 기재되어 있다. 이 방법에서는, 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 기판과, 컬러 필터(CF)가 형성된 기판을 시일재를 개재하여 접합시킴으로써, 마더 기판이 형성된다. 이 마더 기판이 분단됨으로써 개개의 액정 패널이 취득된다.The following
시일재는, 2개의 기판이 접합된 상태에서 액정 주입 영역이 되는 공간이 남도록 배치된다.The sealing material is arranged such that a space to be a liquid crystal injection region remains in a state in which two substrates are bonded.
상기 구성의 마더 기판을 분단하는 경우에는, 2개의 스크라이브 헤드를 이용하여, 마더 기판의 양면에, 동시에 스크라이브 라인을 형성하는 방법이 이용될 수 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). 이 경우, 2개의 스크라이브 헤드가 마더 기판을 사이에 끼우도록 배치된다. 2개의 스크라이빙 휠은, 마더 기판을 평면에서 봤을 때에 동일한 위치에 위치된다. 이 상태에서, 2개의 스크라이빙 휠이 동일한 방향으로 동시에 이동되어, 마더 기판의 각 면에 스크라이브 라인이 형성된다.When dividing the mother substrate of the above configuration, a method of simultaneously forming scribe lines on both sides of the mother substrate by using two scribe heads can be used (see, for example, Patent Document 2). In this case, two scribe heads are arranged to sandwich the mother substrate. The two scribing wheels are located at the same position when viewed from the plane of the mother substrate. In this state, the two scribing wheels are simultaneously moved in the same direction, and scribe lines are formed on each surface of the mother substrate.
상기 특허문헌 1에도 나타나는 바와 같이, 종전의 마더 기판에는, 서로 이웃하는 액정 주입 영역의 사이에, 시일재가 개재되지 않는 영역이 존재하고 있었다. 따라서, 상기와 같이 2개의 스크라이브 헤드에 의해 마더 기판의 양면에 동시에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에는, 시일재가 개재되지 않는 영역에, 스크라이브 라인을 형성할 수 있었다. 이와 같이 스크라이브 라인을 형성하여 마더 기판을 분단하면, 액정 패널에는, 액정 주입 영역의 주위에 소정 폭의 테두리 영역이 남게 된다.As shown in
그러나, 최근, 특히 모바일용의 액정 패널에 있어서, 상기 테두리 영역을 극한까지 좁히는 것이 주류가 되고 있다. 이 요구에 부응하기 위해서는, 마더 기판에 있어서 시일재가 개재되지 않는 영역이 생략되어, 서로 이웃하는 액정 주입 영역은, 시일재에 의해서만 구분되도록 구성될 필요가 있다. 이 경우, 스크라이브 라인은, 시일재의 바로 위 및 바로 아래에 형성되게 된다.However, in recent years, particularly in mobile liquid crystal panels, it has become mainstream to narrow the edge region to the limit. In order to meet this demand, a region where the sealing material is not interposed in the mother substrate is omitted, and the adjacent liquid crystal injection regions need to be configured to be separated only by the sealing material. In this case, the scribe line is formed just above and below the sealing material.
그런데, 이와 같이 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하면, 2개의 유리 기판에 크랙이 충분히 들어가지 않는 바와 같은 문제가 본원 발명자들에 의해 확인되었다. 이와 같이 크랙이 불충분한 상태에서 브레이크 공정이 실행되면, 브레이크 후의 기판의 단연(端緣)에 미세한 균열이나 파손이 발생하여, 유리 기판의 강도가 저하될 우려가 있다.However, when the scribe lines are formed just above and below the sealing material, the inventors of the present invention have confirmed that the cracks do not sufficiently enter the two glass substrates. If the breaking process is performed in such a state that the cracks are insufficient, slight cracks or breakage may occur at the edge of the substrate after breaking, which may lower the strength of the glass substrate.
이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이빙 툴을 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a scribing tool capable of forming a crack of a sufficient depth on a substrate when a scribe line is formed immediately above and below the seal material .
본원 발명자들은, 시행 착오 끝에, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 함으로써, 각 기판에 보다 깊은 크랙이 들어가는 것을 발견했다. 본 발명은, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 하면서, 스크라이빙 휠과 반대측의 면을 롤러로 누르는 것이 가능한 스크라이빙 툴에 관한 것이다.The inventors of the present invention have found that by scribing the upper and lower scribe positions of the mother substrate by a predetermined distance in the scribing direction when the scribe lines are formed immediately above and below the sealing material after trial and error, I found deep cracks. The present invention relates to a scribing tool capable of pressing a surface opposite to a scribing wheel with a roller while shifting the scribing positions on the upper and lower surfaces of the mother substrate by a predetermined distance in a scribing direction.
본 발명의 주된의 실시 형태는, 제1 기판과 제2 기판을 시일재에 의해 접합하여 이루어지는 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성할 때에 이용되는 스크라이빙 툴에 관한 것이다. 본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴은, 홀더와, 상기 홀더의 하면에 형성된 제1홈과, 상기 제1홈을 사이에 끼우도록 상기 홀더의 하면에 형성된 한 쌍의 제2홈과, 상기 제1홈에 회전 가능하게 장착된 스크라이빙 휠과, 상기 한 쌍의 제2홈에 각각 회전 가능하게 장착된 한 쌍의 롤러를 구비한다. 상기 스크라이빙 휠의 회전축과 상기 롤러의 회전축이 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 서로 떨어져 있다.A main embodiment of the present invention relates to a scribing tool used when a scribe line is formed on a mother substrate formed by bonding a first substrate and a second substrate with a sealing material. The scribing tool according to the present embodiment includes a holder, a first groove formed on the lower surface of the holder, a pair of second grooves formed on the lower surface of the holder so as to sandwich the first groove, A pair of rollers rotatably mounted on the pair of second grooves, respectively, and a scribing wheel rotatably mounted on the first grooves. The rotation axis of the scribing wheel and the rotation axis of the roller are apart from each other by a predetermined distance in the scribe direction.
본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴을 이용함으로써, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 하면서, 스크라이빙 휠과 반대측의 면을 롤러로 누르는 것이 가능해진다. 이에 따라, 크랙의 깊이를 깊게 하면서, 크랙의 형성 상황을 안정화시킬 수 있다.By using the scribing tool according to the present embodiment, it is possible to press the surface opposite to the scribing wheel with a roller while shifting the scribing positions on the upper and lower surfaces of the mother substrate by a predetermined distance in the scribing direction. Thus, it is possible to stabilize the formation of cracks while deepening the crack depth.
본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴은, 상기 한 쌍의 롤러의 일부가 상기 스크라이빙 휠의 일부를 사이에 끼우도록, 상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러가 배치되도록 구성될 수 있다. 이 구성에 의하면, 스크라이빙 휠과 롤러와의 사이의 거리를 스크라이브 방향으로 단축할 수 있다.The scribing tool according to the present embodiment can be configured such that the scribing wheel and the pair of rollers are disposed such that a part of the pair of rollers sandwich a part of the scribing wheel . According to this configuration, the distance between the scribing wheel and the roller can be shortened in the scribing direction.
본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴에 있어서, 상기 홀더는, 자성 재료로 이루어져 있고, 원기둥의 측면을 비스듬하게 절결(cut-away)하여 경사면이 형성된 형상으로 될 수 있다. 이렇게 하면, 스크라이브 헤드의 홀더가 장착되는 구멍에 자석을 설치함으로써, 스크라이빙 툴을 원활하게 스크라이브 헤드에 장착할 수 있다. 또한, 이 구멍에 상기 경사면이 맞닿음하는 핀을 배치함으로써, 스크라이빙 툴을 정규의 위치에 위치결정할 수 있다.In the scribing tool according to the present embodiment, the holder may be formed of a magnetic material, and may have a shape in which an oblique surface is formed by obliquely cutting off the side surface of the cylinder. In this case, the scribing tool can be smoothly attached to the scribe head by providing a magnet in the hole through which the holder of the scribe head is mounted. Further, the scribing tool can be positioned at a regular position by disposing a pin which abuts against the inclined surface in the hole.
이 경우, 상기 제1홈과 상기 제2홈은 상기 홀더의 2개의 측면에 연통(communication)하여 형성되고, 상기 경사면은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 연통하는 2개의 상기 측면 중 한쪽의 측면에 형성되고, 상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러는, 상기 스크라이빙 휠이 상기 한 쌍의 롤러보다도 상기 경사면이 형성된 상기 측면에 가까워지도록 형성된다.In this case, the first groove and the second groove are formed in communication with the two side surfaces of the holder, and the inclined surface is formed so that the first groove and the second groove communicate with each other, Wherein the scribing wheel and the pair of rollers are formed such that the scribing wheel is closer to the side surface on which the inclined surface is formed than the pair of rollers.
혹은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 상기 홀더의 2개의 측면에 연통하여 형성되고, 상기 경사면은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 연통하는 2개의 상기 측면 중 한쪽의 측면에 형성되고, 상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러는, 상기 한 쌍의 롤러가 상기 스크라이빙 휠보다도 상기 경사면이 형성된 상기 측면에 가까워지도록 형성된다.Alternatively, the first groove and the second groove are formed so as to communicate with the two side surfaces of the holder, and the inclined surface is formed on one of the two side surfaces communicating the first groove and the second groove Wherein the scraping wheel and the pair of rollers are formed such that the pair of rollers is closer to the side surface on which the inclined surface is formed than the scraping wheel.
이와 같이, 스크라이빙 휠과 한 쌍의 롤러의 배열 순서가 경사면을 기준으로 하여 서로 상이한 2종류의 스크라이빙 툴을 미리 준비해 둠으로써, 마더 기판을 상하로 사이에 끼우는 한 쌍의 스크라이브 헤드에 상이한 종류의 스크라이빙 툴을 각각 장착하는 것만으로, 상측의 스크라이빙 휠과 하측의 롤러를 서로 대향시키고, 또한, 하측의 스크라이빙 휠과 상측의 롤러를 서로 대향시키는 것이 가능해진다.Thus, by preparing two types of scribing tools that are different from each other with respect to the order of arranging the scribing wheel and the pair of rollers, a pair of scribe heads sandwiching the mother substrate between the upper and lower sides It is possible to make the scraping wheel on the upper side and the roller on the lower side oppose each other and to face the scraping wheel on the lower side and the roller on the upper side by simply mounting different types of scraping tools.
본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴에 있어서, 상기 소정 거리는, 0.5㎜ 이상으로 설정되는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 크랙의 깊이를 효과적으로 깊게 할 수 있다.In the scribing tool according to the present embodiment, it is preferable that the predetermined distance is set to 0.5 mm or more. In this way, the depth of the crack can be effectively deepened.
또한, 본 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴에 있어서, 상기 스크라이빙 휠은, 원판의 외주(外周)에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 상기 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖고 형성될 수 있다. 이하에 나타내는 실시 형태에서는, 이런 종류의 스크라이빙 휠에 의해 실험이 행해져, 크랙이 깊게 들어가는 것이 확인되고 있다.Further, in the scribing tool according to the present embodiment, the scribing wheel may be formed by forming a V-shaped blade edge on the outer periphery of the disk and forming a groove at a predetermined interval on the ridge line of the blade edge . In the embodiments described below, it has been confirmed that an experiment is conducted by this kind of scraping wheel, and the crack enters deeply.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이빙 툴을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribing tool capable of forming a crack of a sufficient depth on a substrate when scribe lines are formed immediately above and below the sealing material.
본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타내는 실시 형태의 설명에 의해 더욱 분명해질 것이다.The effect or significance of the present invention will become more apparent from the description of the embodiments described below.
단, 이하에 나타내는 실시 형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은 이하의 실시 형태에 기재된 것에 하등 제한되는 것은 아니다.It should be noted, however, that the embodiments described below are merely illustrative of the embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to those described in the following embodiments.
도 1은 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 스크라이브 방법 1을 설명하는 도면이다.
도 5는 스크라이브 방법 1에 의한 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 6은 실시 형태에 따른 스크라이브 방법 2를 설명하는 도면이다.
도 7은 실시 형태에 따른 다른 스크라이브 방법 2에 의한 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 8은 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 9는 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 10은 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 11은 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 장착 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 12는 변경예에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a view schematically showing the configuration of a scribing apparatus according to an embodiment. FIG.
2 is an exploded perspective view showing a structure of a scribe head according to the embodiment.
3 is a perspective view showing a configuration of a scribe head according to the embodiment.
4 is a diagram for explaining the
5 is a view showing an experimental result by the
6 is a diagram for explaining the
Fig. 7 is a diagram showing an experimental result by another
8 is a perspective view showing a configuration of a scribing tool according to the embodiment.
Fig. 9 is a perspective view showing a configuration of a scribing tool according to the embodiment. Fig.
10 is a perspective view showing a configuration of a scribing tool according to the embodiment.
11 is a view schematically showing a mounting method of a scribing tool according to the embodiment.
Fig. 12 is a view schematically showing a configuration of a scribing tool according to a modified example.
(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기(附記)되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직 방향이다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other for convenience. The X-Y plane is parallel to the horizontal plane, and the Z-axis direction is the vertical direction.
<스크라이브 장치><Scribe device>
도 1(a), 도 1(b)는, 스크라이브 장치(1)의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1(a)는, Y축 정측으로부터 스크라이브 장치(1)를 본 도면, 도 1(b)는 X축 정측으로부터 스크라이브 장치(1)를 본 도면이다.Fig. 1 (a) and Fig. 1 (b) schematically show the configuration of the
도 1(a)를 참조하여, 스크라이브 장치(1)는, 컨베이어(11)와, 지주(12a, 12b)와, 가이드(13a, 13b)와, 가이드(14a, 14b)와, 슬라이딩 유닛(15, 16)과, 2개의 스크라이브 헤드(2)를 구비한다.1 (a), the
도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 컨베이어(11)는, 스크라이브 헤드(2)가 배치되는 개소를 제외하고, Y축 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 컨베이어(11) 상에는, 마더 기판(G)이 올려놓여진다. 마더 기판(G)은, 한 쌍의 유리 기판이 서로 접합된 기판 구조를 갖는다. 마더 기판(G)은, 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이송된다.As shown in Fig. 1 (b), the
지주(12a, 12b)는, 스크라이브 장치(1)의 베이스에 컨베이어(11)를 사이에 끼우고 수직으로 형성되어 있다. 가이드(13a, 13b) 및 가이드(14a, 14b)는, 각각, X축 방향에 평행이 되도록, 지주(12a, 12b)의 사이에 걸쳐지게 설치되어 있다. 슬라이딩 유닛(15, 16)은, 각각, 가이드(13a, 13b), 가이드(14a, 14b)에 슬라이딩이 자유롭게 형성되어 있다. 가이드(13a, 13b) 및 가이드(14a, 14)에는, 각각, 소정의 구동 기구가 형성되어 있고, 이 구동 기구에 의해, 슬라이딩 유닛(15, 16)이 X축 방향으로 이동된다.The supports 12a and 12b are vertically formed by sandwiching the
슬라이딩 유닛(15, 16)에는, 각각, 스크라이브 헤드(2)가 장착되어 있다. Z축 정측의 스크라이브 헤드(2)와 Z축 부측의 스크라이브 헤드(2)에는, 각각, 마더 기판(G)에 대향하도록 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)에 지지(holding)된 스크라이빙 휠이 마더 기판(G)의 표면에 밀어붙여진 상태에서 스크라이브 헤드(2)가 X축 방향으로 이동한다. 이에 따라, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인이 형성된다.Each of the sliding
<스크라이브 헤드><Scribe head>
도 2는, 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타내는 일부 분해 사시도, 도 3은, 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타내는 사시도이다.Fig. 2 is a partially exploded perspective view showing the structure of the
도 2를 참조하여, 스크라이브 헤드(2)는, 승강 기구(21)와, 스크라이브 라인 형성 기구(22)와, 베이스 플레이트(base plate; 23)와, 톱 플레이트(top plate; 24)와, 보텀 플레이트(bottom plate; 25)와, 고무 틀(26)과, 커버(27)와, 서보 모터(28)를 구비한다.2, the
승강 기구(21)는, 서보 모터(28)의 구동축에 연결된 원통 캠(cam; 21a)과, 승강부(21b)의 상면에 형성된 캠 팔로어(cam follower; 21c)를 구비한다. 승강부(21b)는, 슬라이더(도시하지 않음)를 통하여 베이스 플레이트(23)에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 스프링(21d)에 의해 Z축 정방향으로 탄성지지되어 있다. 스프링(21d)의 탄성지지에 의해, 캠 팔로어(21c)는 원통 캠(21a)의 하면에 밀어붙여지고 있다. 승강부(21b)는 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 연결되어 있다. 서보 모터(28)에 의해 원통 캠(21a)이 회동(回動)하면, 원통 캠(21a)의 캠 작용에 의해 승강부(21b)가 승강하고, 이에 수반하여, 스크라이브 라인 형성 기구(22)가 승강한다. 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에, 스크라이빙 툴(30, 40)이 장착된다.The
고무 틀(26)은, 공기를 통하게 하지 않는 탄성 부재이다. 고무 틀(26)은, 베이스 플레이트(23)의 홈(23a), 톱 플레이트(24)의 홈(24a) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(25a)에 끼워넣은 형상을 갖고 있다. 고무 틀(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 장착된 상태에서, 고무 틀(26)의 표면은, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 측면보다도 근소하게 외측으로 돌출한다.The
커버(27)는, 전면부(前面部; 27a), 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 3개의 판부가 절곡된 형상을 갖는다. 전면부(27a)의 상하의 단연에는, 2개의 구멍(27f)이 형성되어 있다.The
고무 틀(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 끼워넣어진 상태에서, 커버(27)의 우측면부(27b)와 좌측면부(27c)가 외측으로 휘도록 변형되어, 커버(27)가 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 부착된다. 이 상태에서, 전면부(27a)의 상하의 단연에 형성된 2개의 구멍(27f)을 통하여, 나사가 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 나사장착된다. 또한, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(23a, 24a, 25a)의 약간 외측에 형성된 나사 구멍에, 나사가 나사장착된다. 이에 따라, 커버(27)가, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)와 나사의 머리부에 의해 사이에 끼워져, 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 주연부가 고무 틀(26)로 밀어붙여진다. 이렇게 하여, 도 3과 같이 스크라이브 헤드(2)가 조립된다.The right
도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 2개의 스크라이브 헤드(2)가 마더 기판(G)의 상하에 각각 배치된다. 2개의 스크라이브 헤드(2)는 동일한 구성으로 되어 있다. 2개의 스크라이브 헤드(2)에 장착되는 스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이브 방법에 따라서 변경된다. 이하에 나타내는 2개의 스크라이브 방법 중, 스크라이브 방법 1에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)만을 지지(holding)하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다. 또한, 스크라이브 방법 2에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)를 지지하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다.As shown in Fig. 1 (a), two
이하, 이들 2개의 스크라이브 방법에 대해서 설명한다. 이들 2개의 스크라이브 방법 중 스크라이브 방법 2가, 실시 형태에 따른 것이다.Hereinafter, these two scribing methods will be described. Among these two scribing methods, the
<스크라이브 방법 1><
도 4(a)∼도 4(c)는, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 도면이다. 도 4(a)는 Y축 부측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 4(b)는 X축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 4(c)는 Z축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도이다.4 (a) to 4 (c) are diagrams for explaining a scribing method according to the present embodiment. Fig. 4 (a) is a schematic view of the vicinity of the scribe position from the Y-axis side, Fig. 4 (b) is a schematic view of the vicinity of the scribe position from the X- It is a schematic diagram when I look around.
도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 상측(Z축 정측)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(301)이, 하측(Z축 부측)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(401)보다도, 스크라이브 방향(X축 정방향)으로 거리(W1)만큼 선행하도록 하여, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)이 이동된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각 축(301a, 401a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다.4 (a), in this scribing method, the
도 4(b)를 참조하여, 마더 기판(G)은, 시일재(SL)를 통하고 2개의 유리 기판(G1, G2)을 접합하여 구성되어 있다. 유리 기판(G1)에는 컬러 필터(CF)가 형성되고, 유리 기판(G2)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다. 시일재(SL)와 2개의 유리 기판(G1, G2)에 의해, 액정 주입 영역(R)이 형성되고, 이 액정 주입 영역(R)에 액정이 주입된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, Y축 방향으로 서로 어긋나는 일 없이 위치된다. 스크라이빙 휠(301)은, 시일재(SL)의 바로 위의 위치에 있어서 유리 기판(G1)의 표면으로 밀어붙여지고, 스크라이빙 휠(401)은, 시일재(SL)의 바로 아래의 위치에 있어서 유리 기판(G2)의 표면으로 밀어붙여진다.Referring to Fig. 4 (b), the mother substrate G is constituted by joining two glass substrates G1 and G2 through a sealing material SL. A color filter CF is formed on the glass substrate G1 and a thin film transistor TFT is formed on the glass substrate G2. A liquid crystal injection region R is formed by the sealing material SL and the two glass substrates G1 and G2 and the liquid crystal is injected into the liquid crystal injection region R. The two
도 4(c)에 나타내는 바와 같이, 시일재(SL)는 격자 형상으로 배치되어 있다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 시일재(SL)를 따라 X축 정방향으로 이동된다. 이에 따라, 도 4(b), 도 4(c)에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(G1, G2)의 표면에, 각각, 스크라이브 라인(L1, L2)이 형성된다.As shown in Fig. 4 (c), the sealing materials SL are arranged in a lattice form. The two
도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러는 형성되어 있지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러도 형성되어 있지 않다.In the scribing method shown in Figs. 4 (a) to 4 (c), no rollers for pressing the surface of the mother substrate G on the side opposite to the scribing wheel 301 (Z-axis side) are formed, No rollers for pressing the surface of the mother substrate G on the opposite side (Z-axis positive side) to the
<실험 1><
본원 발명자들은, 도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법에 따라 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행했다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.The inventors of the present invention conducted an experiment for forming scribe lines on the mother substrate G according to the scribing method shown in Figs. 4 (a) to 4 (c). Hereinafter, these experiments and experimental results will be described.
실험에서는, 두께가 각각 0.2㎜의 유리 기판(G1, G2)을 시일재(SL)를 통하여 접합한 기판(마더 기판)을 이용했다. 접합 기판(마더 기판)의 사이즈는 118㎜×500㎜이다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 미츠보시다이아몬드고교 가부시키가이샤 제조, 마이크로 페네트(Micro Penett)(미츠보시다이아몬드고교 가부시키가이샤의 등록상표)를 이용했다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 원판의 외주에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖는 구조로 되어 있다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 직경 3㎜, 날끝 각도 110°, 홈 개수 550, 홈 깊이 3㎛이다.In the experiment, a substrate (mother substrate) obtained by bonding glass substrates G1 and G2 each having a thickness of 0.2 mm via a sealing material SL was used. The size of the bonded substrate (mother substrate) is 118 mm x 500 mm. The
이 구성의 스크라이빙 휠(301, 401)을, 각각, 도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 바와 같이 유리 기판(G1, G2)에 밀어붙이면서 이동시켜 스크라이브 동작을 행했다.The
스크라이브 동작시에 스크라이빙 휠(301, 401)에 부여되는 하중은 6.5N으로 제어했다. 또한, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 했다.During the scribing operation, the load applied to the
이상의 조건하에, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)를 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측했다. 비교예로서, 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 0인 경우의 크랙의 침투량도 계측했다. 각 측정에서는, 크랙의 침투량의 외에, 리브 마크(rib mark)량도 아울러 계측했다.Under the above conditions, the penetration amount of the cracks in the glass substrates G1 and G2 was measured while changing the distance W1 between the two scribing
도 5(a)∼도 5(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 5(a)는, 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타내는 도면, 도 5(b)∼도 5(e)는, 스크라이브 라인상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진으로, 각각, 거리(W1)가 0.4㎜, 0.6㎜, 0.8㎜, 1.0㎜의 경우인 것이다. 도 5(b)∼도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.5 (a) to 5 (e) show experimental results. 5B is a cross-sectional photograph of a mother substrate G on a scribe line, and Fig. 5B is a cross-sectional view of the mother substrate G. Fig. 5B is a cross- , And the distances W1 are 0.4 mm, 0.6 mm, 0.8 mm, and 1.0 mm, respectively. 5 (b) to 5 (e), D1 and D3 indicate the amount of rib marks, and D2 and D4 indicate the amount of crack penetration.
도 5(a)를 참조하면, 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 거리(W1)가 0㎜의 경우에 비해, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 커지고 있다. 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적정하게 분단할 수 있다.Referring to Fig. 5 (a), when the distance W1 exceeds 0.6 mm, the penetration amount of cracks in the glass substrate G1 becomes larger than in the case where the distance W1 is 0 mm. When a crack is introduced into any one of the glass substrates G1 and G2 with a large infiltration amount, the mother substrate G can be appropriately divided in the breaking process.
예를 들면, 비교예(W1=0㎜)와 같이, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙량이 모두 유리 기판(G1, G2)의 두께(0.2㎜)의 절반 정도이면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)의 양측에서 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크할 필요가 있다. 이와 같이 마더 기판(G)의 양측에서 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크하는 동작이 행해지면, 유리 기판(G1, G2)의 단연에 미세한 균열이나 파손이 발생하여, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 저하될 우려가 있다.For example, if the amount of cracks in the glass substrates G1 and G2 is about half the thickness (0.2 mm) of the glass substrates G1 and G2, as in the comparative example (W1 = 0 mm) , It is necessary to break the glass substrates G1 and G2 on both sides of the mother substrate G, respectively. When the operations of breaking the glass substrates G1 and G2 on both sides of the mother substrate G are performed in this way, the glass substrates G1 and G2 are slightly cracked or broken at the edge of the glass substrate G1 and G2 May be lowered.
이에 대하여, 거리(W1)가 0.6㎜∼1.4㎜인 경우에는, 유리 기판(G2)에 있어서의 크랙의 침투량은 작기는 하지만, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 크다. 이와 같이 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 큰 경우, 브레이크 공정에서는, 크랙의 침투량이 작은 유리 기판(G2)을 마더 기판(G)의 한쪽측에서만 브레이크하는 동작이 행해지면 좋고, 이 브레이크 동작시에, 깊은 크랙이 들어간 유리 기판(G1)도 동시에 크랙을 따라 분단된다. 이와 같이 마더 기판(G)의 한쪽측에서만 유리 기판(G1, G2)을 브레이크하면, 유리 기판(G1, G2)의 단연에 미세한 균열이나 손상이 발생하는 일이 없어, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 높게 유지된다.On the other hand, when the distance W1 is 0.6 mm to 1.4 mm, the penetration amount of cracks in the glass substrate G2 is small, but the amount of crack penetration in the glass substrate G1 is large. When the amount of crack penetration in the glass substrate G1 is large in this manner, in the breaking step, it is only necessary to perform an operation of braking the glass substrate G2 having a smaller crack penetration amount on only one side of the mother substrate G At the time of breaking operation, the glass substrate G1 having a deep crack is simultaneously divided along the crack. When the glass substrates G1 and G2 are broken only on one side of the mother substrate G in this way, no microscopic cracks or damage are generated on the edge of the glass substrates G1 and G2, Is maintained at a high level.
이상의 이유로부터, 마더 기판(G)의 분단에 있어서는, 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가 있는 것이 바람직하다. 본 실험에서는, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 비교예(W1=0㎜)에 비해, 유리 기판(G1)의 크랙 침투량이 커지고 있다. 이 점에서, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)는, 0.6㎜ 이상인 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이와 같이 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)를 설정함으로써, 마더 기판(G)의 브레이크를 적정하게 행할 수 있다.For the above reasons, it is preferable that at the division of the mother substrate G, a crack is introduced into one of the glass substrates G1 and G2 with a large penetration amount. 5A, when the distance W1 between the two scribing
<스크라이브 방법 2><
도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법(스크라이브 방법 1)에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면이 롤러로 눌려 있지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면도 롤러로 눌려 있지 않다. 이에 대하여, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면과, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면이, 각각, 롤러에 의해 눌려 있다.In the scribing method (scribing method 1) shown in Figs. 4 (a) to 4 (c), the surface of the mother substrate G on the side opposite to the
도 6(a), 도 6(b)는, 스크라이브 방법 2를 설명하는 도면이다. 도 6(a)는 Y축 부측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 6(b)는 X축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도이다.6 (a) and 6 (b) are diagrams for explaining the
도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면이 2개의 롤러(402)로 눌리고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면도 2개의 롤러(302)로 눌려 있다. 2개의 롤러(302)는, 스크라이빙 휠(301)을 사이에 끼우도록 배치되고, 축(302a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 되어 있다. 또한, 2개의 롤러(402)는, 스크라이빙 휠(401)을 사이에 끼우도록 배치되고, 축(402a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 되어 있다.6 (a), in this scribing method, the surface of the mother substrate G on the opposite side (Z-axis side) to the
스크라이브 방법 1과 동일하게, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 스크라이브 방향(X축 방향)으로 거리(W1)만큼 어긋나 있다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 유리 기판(G1, G2)에 밀어붙여지면서, 시일재(SL)를 따라 이동한다. 스크라이빙 휠(301)과 2개의 롤러(302)와의 사이에는 Y축 방향의 간극(gap)이 있고, 스크라이빙 휠(401)과 2개의 롤러(402)와의 사이에도 Y축 방향의 간극(gap)이 있다. 이 때문에, 롤러(302, 402)는, 스크라이빙 휠(301, 401)에 의해 형성되는 스크라이브 라인(L1, L2)을 걸치도록 하여 X축 정방향으로 이동한다.Similarly to the
<실험 2><
본원 발명자들은, 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 스크라이브 방법에 따라 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행했다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.The inventors of the present invention conducted an experiment to form scribe lines on the mother substrate G according to the scribing method shown in Figs. 6 (a) and 6 (b). Hereinafter, these experiments and experimental results will be described.
본 실험에서 이용한 마더 기판(G)과 스크라이빙 휠(301, 401)은, 상기 실험 1과 동일하게 했다. 본 실험에서는, 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 2.2㎜로 설정되었다. 또한, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 했다. 상측의 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(301)의 편심량은 1.0㎜이며, 하측 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(401)의 편심량은 3.2㎜였다.The mother substrate (G) and the scribing wheels (301, 401) used in this experiment were the same as those of
스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치는, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와, Z축 방향에 있어서 일치하고, 롤러(302, 402)의 직경은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경과 동일하게 3㎜로 설정했다.The center positions of the
이상의 조건하에, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측했다.Under the above conditions, the amount of penetration of the cracks in the glass substrates G1 and G2 was measured while changing the load applied to the
도 7(a)∼도 7(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 7(a)는, 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타내는 도면, 도 7(b)∼도 7(e)는, 스크라이브 라인상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진으로, 각각, 하중이 6N, 7N, 8N, 9N의 경우인 것이다. 도 5(b)∼도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.Figs. 7 (a) to 7 (e) show experimental results. Figs. 7 (a) to 7 (e) are cross-sectional photographs of a mother substrate G on a scribe line, and Figs. 7 , And the loads are 6N, 7N, 8N, and 9N. 5 (b) to 5 (e), D1 and D3 indicate the amount of rib marks, and D2 and D4 indicate the amount of crack penetration.
도 7(a)를 참조하면, 하중이 5N에서 6N으로 변화하면, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 급격하게 증가하는 것을 알 수 있다. 또한, 하중이 6N을 초과하면, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 유리 기판(G1)의 두께(0.2㎜)의 80%를 초과하고, 유리 기판(G1)에 큰 침투량으로 크랙이 들어간다. 상기와 같이, 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적정하게 분단할 수 있다. 따라서, 스크라이브 방법 2에 있어서는, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 6N 이상으로 설정하는 것이 바람직하다고 할 수 있다.Referring to Fig. 7 (a), it can be seen that when the load changes from 5N to 6N, the amount of crack penetration in the glass substrate G1 sharply increases. If the load exceeds 6N, the amount of penetration of the cracks of the glass substrate G1 exceeds 80% of the thickness (0.2 mm) of the glass substrate G1, and cracks enter the glass substrate G1 with a large penetration amount. As described above, when a crack is introduced into any one of the glass substrates G1 and G2 with a large penetration amount, the mother substrate G can be appropriately divided in the breaking process. Therefore, in the
또한, 본 실험에서는, 상기 실험 1에 비해, 유리 기판(G1)에 대한 크랙의 침투량이 더욱 커져 있다. 따라서, 크랙의 침투량을 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성하려면, 스크라이브 방법 2와 같이, 마더 기판(G)의 스크라이빙 휠(301, 401)과 반대측의 면을 롤러(402, 302)로 누르도록 하는 것이 바람직하다고 할 수 있다.Further, in this experiment, the penetration amount of cracks to the glass substrate G1 is larger than that of
<스크라이빙 툴><Scribing tool>
도 8(a), 도 8(b)는, 각각, 스크라이빙 툴(30, 40)의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 9(a)∼도 9(c)는, 스크라이빙 툴(30)의 구성을 나타내는 좌측면도, 정면도, 우측면도이다. 도 10(a)∼도 10(c)는, 스크라이빙 툴(30)의 구성을 나타내는 좌측면도, 정면도, 우측면도이다.8 (a) and 8 (b) are perspective views showing the configuration of
스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 배열 순서를 제외하고 동일한 구성을 구비하고 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)를 지지하는 홀더(303, 403)를 구비한다. 홀더(303, 403)는 강자성체로 구성되어 있다.The
홀더(303, 403)는, 스크라이빙 휠(301, 401)이 장착되는 홈(303a, 403a)과, 롤러(302, 402)가 장착되는 홈(303b, 403b)과, 경사면(303c, 403c)을 구비한다. 홈(303a, 403a)과 홈(303b, 403b)은, 홀더(303, 403)의 전후의 측면에 연통되어 있다. 경사면(303c, 403c)은 홀더(303, 403)의 원기둥 형상의 측면을 앞측으로부터 비스듬하게 절결(cut-away)하여 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 축(301a, 401a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워넣음으로써 장착된다. 롤러(302, 402)는, 축(302a, 402a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워넣음으로써 장착된다.The
도 11(a), 도 11(b)는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 대한 스크라이빙 툴(30)의 부착 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 11(a), 도 11(b)에서는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 내부가 투시된 상태가 나타나 있다.11 (a) and 11 (b) schematically show a method of attaching the
스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에는, 스크라이빙 툴(30)을 지지하는 지지부(221)가 형성되고, 이 지지부(221)에, 스크라이빙 툴(30)을 삽입 가능한 구멍(222)이 형성되어 있다. 구멍(224)의 바닥에는 자석(224)이 설치되고, 구멍(224)의 중간 위치에 핀(223)이 형성되어 있다. 상기와 같이, 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)는 강자성체로 구성되어 있다.A
스크라이브 라인 형성 기구(22)에 스크라이빙 툴(30)을 부착하는 경우, 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)가 지지부(221)의 구멍(222)에 삽입된다. 홀더(303)의 상단이 자석(224)에 접근하면 홀더(303)가 자석(224)에 흡착된다. 이때, 홀더(303)의 경사면(303c)이 핀(223)에 맞닿음하여, 홀더(303)가 정규의 위치에 위치결정된다. 이렇게 하여, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 툴(30)이 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다.The
스크라이빙 툴(40)도 동일하게 하여 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다. 이렇게 하여, 스크라이빙 툴(30, 40)이, 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착되면, 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)에 대응하는 위치에 롤러(402)가 위치되고, 스크라이빙 휠(401)에 대응하는 위치에 롤러(302)가 위치된다. 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하면, 스크라이빙 툴(30, 40)을 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착하는 것만으로, 스크라이빙 휠(301)과 스크라이빙 휠(401)과의 거리(W1)를 소정의 거리로 유지하면서, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(402, 302)를 서로 마주시킬 수 있다.The
또한, 상기 실험 2는, 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하여 행했다. 또한, 상기 실험 1은, 홀더(303, 403)에서 홈(303b, 403b)이 생략되어, 홈(303a, 403a)만을 갖는 홀더(303, 403)에, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)이 장착된 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하여 행했다.In
<실시 형태의 효과>≪ Effect of Embodiment >
본 실시 형태에 의하면, 이하의 효과가 나타난다.According to the present embodiment, the following effects are obtained.
도 8∼도 10에 나타내는 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용함으로써, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 하면서, 스크라이빙 휠과 반대측의 면을 롤러로 누르는 것이 가능해진다. 이에 따라, 실험 2에서 나타낸 바와 같이, 시일재(SL)의 바로 위의 위치에, 깊은 크랙으로 스크라이브 라인(L1)을 형성할 수 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)에 롤러(302, 402)를 형성함으로써, 크랙의 침투량을 더욱 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.By using the
도 8∼도 10에 나타내는 스크라이빙 툴(30, 40)에서는, 한 쌍의 롤러(302, 402)의 일부가 스크라이빙 휠(301,401)의 일부를 사이에 끼우도록, 스크라이빙 휠(301, 401)과 한 쌍의 롤러(302, 402)가 배치되어 있다. 이 구성에 의하면, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)와의 사이의 거리를 스크라이브 방향으로 단축할 수 있다.In the
도 8∼도 10에 나타내는 스크라이빙 툴(30, 40)은, 홀더(303, 403)가 자성 재료로 이루어져 있고, 원기둥의 측면을 비스듬하게 절결하여 경사면(303c, 403c)이 형성된 형상으로 되어 있다. 이 때문에, 스크라이브 헤드(2)의 홀더(303, 403)가 장착되는 구멍(222)에 자석(224)을 설치함으로써, 스크라이빙 툴(30, 40)을 원활하게 스크라이브 헤드(2)에 장착할 수 있다. 또한, 이 구멍(222)에 경사면(303c, 403c)이 맞닿음하는 핀(223)을 배치함으로써, 자석(224)에 의한 흡착력을 이용하여 스크라이빙 툴(30, 40)을 정규의 위치에 위치결정할 수 있다.The
또한, 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 2종류의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용함으로써, 스크라이빙 툴(30, 40)을 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착하는 것만으로, 스크라이빙 휠(301)과 스크라이빙 휠(401)과의 거리(W1)를 소정의 거리로 유지하면서, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(402, 302)를 서로 마주시킬 수 있다.By using the two kinds of
<변경예><Example of change>
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 하등 제한되는 것은 아니며, 또한, 본 발명의 실시 형태도 상기 이외에 여러 가지 변경이 가능하다.Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made to the embodiments of the present invention.
예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 날끝의 능선에 일정 간격으로 홈이 형성된 스크라이빙 홀이 이용되었지만, 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 스크라이빙 휠을 이용해도 동일한 효과가 나타나는 것이 상정(想定)될 수 있다. 스크라이빙 휠(날끝)의 크기나 형상은, 상기 실시 형태에 기재된 것에 한정되는 것은 아니고, 다른 크기나 형상, 종류의 날끝을 적절하게 이용할 수 있다.For example, in the above-described embodiment, scribing holes having grooves formed at regular intervals on the ridgelines of the edge portions are used, but it is assumed that the same effect can be obtained even when a scribing wheel having no grooves formed on the ridgeline is used ). The size and shape of the scribing wheel (edge) are not limited to those described in the above embodiment, but other sizes, shapes, and types of edges can be suitably used.
또한, 상기 실시 형태에서는, 마더 기판(G)의 상측의 스크라이빙 휠(301)을 하측의 스크라이빙 휠(401)에 대하여 스크라이브 방향으로 선행시켰지만, 마더 기판(G)의 하측의 스크라이빙 휠(301)을 상측의 스크라이빙 휠(401)에 대하여 스크라이브 방향으로 선행시켜도 좋다. 이 경우도, 상기와 동일한 효과가 나타날 수 있다.Although the
또한, 도 6(a), 도 6(b) 및 도 8(a), 도 8(b)의 구성에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치가, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와, Z축 방향에 있어서 일치하고, 스크라이빙 휠(301,401)의 직경이, 각각, 롤러(302, 402)의 직경과 동일하게 되었다. 그러나, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 관계는, 이에 한정되는 것이 아니며, 이 외에 다양한 변경이 가능하다.6A, 6B, 8A and 8B, the center positions of the
예를 들면, 도 12(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 직경이 롤러(302)의 직경보다도 Δd1만큼 커도 좋고, 혹은, 도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 직경이 롤러(302)의 직경보다도 Δd2만큼 작아도 좋다. 또한, 도 12(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 축(301a)의 중심 위치가 롤러(302)의 축(302a)의 중심 위치보다도 Δd3만큼 Z축 부방향으로 어긋나 있어도 좋고, 혹은, 도 12(d)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 축(301a)의 중심 위치가 롤러(302)의 축(302a)의 중심 위치보다도 Δd4만큼 Z축 정방향으로 어긋나 있어도 좋다. 스크라이빙 휠(401)과 롤러(402)에 대해서도 동일하게 변경될 수 있다.For example, as shown in Fig. 12 (a), the diameter of the
또한, 도 12(b), 도 12(d)의 구성예에서는, 롤러(302)의 하단이 스크라이빙 휠(301)의 하단보다도 하측에 있기 때문에, 스크라이브 동작시에, 롤러(302a)가 보다 강하게 유리 기판(G1)에 밀어붙여진다. 이와 같이 롤러(302a)가 강하게 밀어붙여지면, 유리 기판(G1)이 Z축 부방향으로 휘고, 이에 따라, 유리 기판(G1)의 이면(裏面)에 크랙을 벌리는 방향의 인장력이 가해진다. 이 때문에, 롤러(302)가 밀어붙여진 유리 기판(G1)의 부분의 이면에 다른 한쪽의 스크라이빙 휠(401)의 날끝이 밀어붙여지면, 이 인장력에 의해 크랙이 깊게 들어가기 쉬워진다. 따라서, 도 12(b), 도 12(d)의 구성예에서는, 롤러(302a)에 대응하는 이측의 스크라이빙 휠(401)에 의해, 보다 깊은 크랙이 형성된다는 작용이 상정될 수 있다.12 (b) and 12 (d), since the lower end of the
이 외에, 마더 기판(G)의 구성, 두께, 재질 등은, 상기 실시 형태에 나타내는 것에 한정되는 것이 아니라, 다른 구성의 마더 기판(G)의 절단에도, 스크라이브 툴(30, 40)을 이용할 수 있다.The configuration, thickness, material, and the like of the mother substrate G are not limited to those shown in the above-described embodiment, but
본 발명의 실시 형태는, 특허 청구의 범위에 나타난 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절하게, 다양한 변경이 가능하다.The embodiments of the present invention can be modified in various ways as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.
30, 40 : 스크라이빙 툴
301, 401 : 스크라이빙 휠
302, 402 : 롤러
303, 403 : 홀더
303a, 403a : 홈(제1홈)
303b, 403b : 홈(제2홈)
303c, 403c : 경사면30, 40: Scribing tool
301, 401: scribing wheel
302, 402: rollers
303, 403: Holder
303a, 403a: groove (first groove)
303b, 403b: grooves (second grooves)
303c, and 403c:
Claims (7)
홀더와,
상기 홀더의 하면에 형성된 제1홈과,
상기 제1홈을 사이에 끼우도록 상기 홀더의 하면에 형성된 한 쌍의 제2홈과,
상기 제1홈에 회전 가능하게 장착된 스크라이빙 휠과,
상기 한 쌍의 제2홈에 각각 회전 가능하게 장착된 한 쌍의 롤러를 구비하고,
상기 스크라이빙 휠의 회전축과 상기 롤러의 회전축이 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 서로 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.As a scribing tool used when a scribe line is formed on a mother substrate formed by bonding a first substrate and a second substrate by a sealing material,
A holder,
A first groove formed in a lower surface of the holder,
A pair of second grooves formed on the lower surface of the holder so as to sandwich the first grooves therebetween,
A scribing wheel rotatably mounted on the first groove,
And a pair of rollers rotatably mounted on the pair of second grooves,
Wherein the rotation axis of the scribing wheel and the rotation axis of the roller are separated from each other by a predetermined distance in the scribing direction.
상기 한 쌍의 롤러의 일부가 상기 스크라이빙 휠의 일부를 사이에 끼우도록, 상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.The method according to claim 1,
Wherein the scribing wheel and the pair of rollers are disposed so that a part of the pair of rollers sandwich a part of the scribing wheel.
상기 홀더는, 자성 재료로 이루어져 있고, 원기둥의 측면을 비스듬하게 절결(cut-away)하여 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the holder is made of a magnetic material and has an oblique surface formed by obliquely cutting off the side surface of the cylinder.
상기 제1홈과 상기 제2홈이 상기 홀더의 2개의 측면에 연통하여 형성되고,
상기 경사면은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 연통하는 2개의 상기 측면 중 한쪽의 측면에 형성되고,
상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러는, 상기 스크라이빙 휠이 상기 한 쌍의 롤러보다도 상기 경사면이 형성된 상기 측면에 가까워지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.The method of claim 3,
The first groove and the second groove are formed so as to communicate with two side surfaces of the holder,
Wherein the inclined surface is formed on one of two side surfaces of the first groove and the second groove communicating with each other,
Wherein the scribing wheel and the pair of rollers are formed such that the scribing wheel is closer to the side surface on which the inclined surface is formed than the pair of rollers.
상기 제1홈과 상기 제2홈이 상기 홀더의 2개의 측면에 연통하여 형성되고,
상기 경사면은, 상기 제1홈과 상기 제2홈이 연통하는 2개의 상기 측면 중 한쪽의 측면에 형성되고,
상기 스크라이빙 휠과 상기 한 쌍의 롤러는, 상기 한 쌍의 롤러가 상기 스크라이빙 휠보다도 상기 경사면이 형성된 상기 측면에 가까워지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.The method of claim 3,
The first groove and the second groove are formed so as to communicate with two side surfaces of the holder,
Wherein the inclined surface is formed on one of two side surfaces of the first groove and the second groove communicating with each other,
Wherein the scribing wheel and the pair of rollers are formed so that the pair of rollers is closer to the side surface on which the slope is formed than the scraping wheel.
상기 소정 거리는, 0.5㎜ 이상으로 설정되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the predetermined distance is set to 0.5 mm or more.
상기 스크라이빙 휠은, 원판의 외주(外周)에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 상기 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖고 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 툴.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the scribing wheel is formed with a V-shaped edge at an outer periphery of the disk and a groove at a predetermined interval on a ridge line of the edge of the edge.
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