JP2008156151A - Severing blade unit, apparatus equipped with it for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing liquid crystal display panel - Google Patents

Severing blade unit, apparatus equipped with it for manufacturing liquid crystal display panel and method for manufacturing liquid crystal display panel Download PDF

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JP2008156151A JP2006345724A JP2006345724A JP2008156151A JP 2008156151 A JP2008156151 A JP 2008156151A JP 2006345724 A JP2006345724 A JP 2006345724A JP 2006345724 A JP2006345724 A JP 2006345724A JP 2008156151 A JP2008156151 A JP 2008156151A
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Michihiko Sawara
充彦 佐原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To securely sever at a specified position a pair of glass substrates which are bonded face to face in putting a sealing material between them. <P>SOLUTION: The severing blade unit 5 includes a disk-shaped cutter wheel 1 and a shaft 4 for rotatably bearing the cutter wheel 1, which is for severing a CF mother substrate 12 by rotating the cutter wheel 1 along the surface of the CF mother substrate 12 in pressing the outer periphery R1 of the cutter wheel 1 to the surface of the CF mother substrate 12 where a TFT array mother substrate 11 and the CF mother substrate 12 are bonded via a sealing material 13. A pair of pressing rollers 2 are installed at the shaft 4 so as to be rotatable in holding the cutter wheel 1 between them and each pressing roller 2 is structured to abut the outer periphery R2 on the surface of the CF mother substrate 12 when the outer periphery R1 of the cutter wheel 1 is pressed to the surface of the CF mother substrate 12. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、分断刃ユニット、それを備えた液晶表示パネル製造装置、及び液晶表示パネルの製造方法に関し、特に、薄型の液晶表示パネルを構成するガラス基板を分断する技術に関するものである。   The present invention relates to a cutting blade unit, a liquid crystal display panel manufacturing apparatus including the cutting blade unit, and a liquid crystal display panel manufacturing method, and more particularly to a technique for cutting a glass substrate constituting a thin liquid crystal display panel.

液晶表示パネルは、例えば、薄膜トランジスタ(以下、「TFT」と称する)などが形成されたTFTアレイ基板と、そのTFTアレイ基板に対向するように配置され、カラーフィルター(以下、「CF」と称する)などが形成されたCF基板と、それらの両基板の間に設けられた液晶層とを備えている。ここで、上記TFTアレイ基板及びCF基板は、一般的に、ガラス基板上に種々の薄膜を形成するなどしてそれぞれ作製されるので、液晶表示パネルの製造工程においては、ガラス基板を所定サイズに分断する分断工程が不可欠な工程になっている。   The liquid crystal display panel is disposed, for example, so as to face a TFT array substrate on which a thin film transistor (hereinafter referred to as “TFT”) is formed, and a color filter (hereinafter referred to as “CF”). And the like, and a liquid crystal layer provided between the two substrates. Here, since the TFT array substrate and the CF substrate are generally produced by forming various thin films on the glass substrate, the glass substrate is made to have a predetermined size in the manufacturing process of the liquid crystal display panel. The dividing process of dividing is an indispensable process.

上記分断工程では、例えば、ガラス基板の表面に線状のスクライブラインを形成した後に、そのガラス基板をスクライブラインに沿って両側に分断するスクライブ方式が従来より広く利用されている。   In the dividing step, for example, a scribe method in which a linear scribe line is formed on the surface of a glass substrate and then the glass substrate is divided on both sides along the scribe line has been widely used.

例えば、特許文献1には、ガラス基板を第1ステージ及び第2ステージの各吸着面に吸着保持させた状態で、ステージ移動機構によって、第1ステージ及び第2ステージを互いに接近又は離間させると共に、ステージの移動方向と直交する方向に沿って、スクライブライン形成手段を走査させるように構成された基板分断装置が開示されている。そして、この基板分断装置によれば、第1ステージ及び第2ステージの各吸着面の平坦度に影響されることなく、ガラス基板にスクライブライン形成手段の走査方向に沿って一直線状のスクライブラインを形成することができ、そのスクライブラインに沿って確実にガラス基板を分断することができる、と記載されている。
特開2006−199553号公報
For example, in Patent Document 1, in a state where the glass substrate is sucked and held on the suction surfaces of the first stage and the second stage, the stage moving mechanism causes the first stage and the second stage to approach or separate from each other, A substrate cutting apparatus configured to scan a scribe line forming unit along a direction orthogonal to the moving direction of the stage is disclosed. And according to this board | substrate cutting device, without being influenced by the flatness of each adsorption | suction surface of a 1st stage and a 2nd stage, a linear scribe line is formed on the glass substrate along the scanning direction of a scribe line formation means. It is described that it can be formed and the glass substrate can be reliably cut along the scribe line.
JP 2006-199553 A

ところで、液晶表示パネルは、携帯電話などの種々のモバイル機器に搭載されており、このようなモバイル用途の液晶表示パネルでは、近年、パネル本体を軽量化するために、パネル本体を構成するガラス基板の薄型化が求められている。しかしながら、ガラス基板を薄型化した場合には、貼り合わされたTFTアレイ基板及びCF基板(以下、「貼合体」と称する)を分断する分断工程において、以下のような分断不良が発生するおそれがある。   By the way, the liquid crystal display panel is mounted on various mobile devices such as mobile phones. In recent years, in such a liquid crystal display panel for mobile use, in order to reduce the weight of the panel body, a glass substrate constituting the panel body is used. Thinning is required. However, when the glass substrate is thinned, there is a possibility that the following separation failure may occur in the dividing step of dividing the bonded TFT array substrate and CF substrate (hereinafter referred to as “bonded body”). .

図5は、従来の分断装置120を用いて貼合体115に対しスクライブラインを形成する際の貼合体115の状態を示す断面模式図である。   FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the state of the bonded body 115 when a scribe line is formed on the bonded body 115 using the conventional cutting device 120.

この分断装置120は、例えば、外周部の刃先が焼結ダイヤモンドにより形成された円盤状のカッターホイール101と、カッターホイール101を回転可能に軸支するためのシャフト104と、シャフト104の両端部を軸受けすると共にカッターホイール101の上側を収容するためのカッターホルダー103とを含む分断刃ユニット115を備えている。また、貼合体115は、例えば、厚さ0.4mm程度のTFTアレイ母基板111と厚さ0.2mm程度のCF母基板112とを各セル単位毎に枠状のシール材113を介して貼り合わせることにより構成されている。そして、CF母基板112を各セル単位毎に分断するために、分断装置120を用いて、例えば、CF母基板112の表面にスクライブラインを形成する際には、カッターホイール101の刃先を貼合体115のCF母基板112の表面に押し当てるので、CF母基板112が図5に示すように撓んでしまう。そうなると、カッターホイール101の刃先による圧縮応力がCF母基板112の表面に安定して加わらなくなるので、スクライブラインが所定位置に形成されなくなると共に、CF母基板112を所定位置で分断することが困難になって、分断不良が発生することになる。   This cutting device 120 includes, for example, a disc-shaped cutter wheel 101 whose outer peripheral edge is formed of sintered diamond, a shaft 104 for rotatably supporting the cutter wheel 101, and both ends of the shaft 104. A cutting blade unit 115 including a cutter holder 103 for receiving a bearing and accommodating the upper side of the cutter wheel 101 is provided. The bonding body 115 is formed by, for example, bonding a TFT array mother substrate 111 having a thickness of about 0.4 mm and a CF mother substrate 112 having a thickness of about 0.2 mm via a frame-shaped sealing material 113 for each cell unit. It is configured by combining them. And in order to cut | disconnect the CF mother board | substrate 112 for every cell unit, when forming a scribe line on the surface of the CF mother board | substrate 112 using the cutting device 120, for example, the cutting edge of the cutter wheel 101 is bonded. The CF mother substrate 112 is bent as shown in FIG. Then, the compressive stress due to the cutting edge of the cutter wheel 101 is not stably applied to the surface of the CF mother substrate 112, so that the scribe line is not formed at a predetermined position and it is difficult to cut the CF mother substrate 112 at a predetermined position. As a result, a division failure occurs.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することにある。   The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to reliably divide a pair of glass substrates bonded to each other through a sealing material at a predetermined position. .

上記目的を達成するために、本発明は、分断刃をガラス基板の表面に沿って転動させるときに、ガラス基板における分断刃の両側方の表面を押圧するようにしたものである。   In order to achieve the above object, according to the present invention, when the cutting blade rolls along the surface of the glass substrate, the surfaces on both sides of the cutting blade in the glass substrate are pressed.

具体的に本発明に係る分断刃ユニットは、円盤状の分断刃と、上記分断刃を回転可能に軸支するための支持軸とを備え、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板の一方の表面に上記分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記一方のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該一方のガラス基板を分断する分断刃ユニットであって、上記支持軸には、各々円盤状の一対の当接体が上記分断刃を挟んで回転可能に設けられ、上記各当接体は、上記分断刃の外周部を上記一方のガラス基板の表面に押し当てたときに、外周部が上記一方のガラス基板の表面に当接するように構成されていることを特徴とする。   Specifically, the cutting blade unit according to the present invention includes a disk-shaped cutting blade and a support shaft for rotatably supporting the cutting blade, and is bonded to each other via a sealing material. A cutting blade for cutting the one glass substrate by rolling the cutting blade along the surface of the one glass substrate while pressing the outer periphery of the cutting blade against one surface of the pair of glass substrates The support shaft is provided with a pair of disk-like contact bodies rotatably on the parting blade, and each contact body has an outer peripheral part of the parting blade on the one of the one side. When pressed against the surface of the glass substrate, the outer peripheral portion is configured to come into contact with the surface of the one glass substrate.

上記の構成によれば、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板における一方のガラス基板の表面に分断刃の外周部を押し当てたときに、支持軸に沿って分断刃の両側に設けられた各当接体の外周部が一方のガラス基板の表面に当接してそのガラス表面を押圧するので、一対のガラス基板における分断刃の外周部が押し当てられた部分、及び各当接体の外周部が当接された部分では、他方のガラス基板の表面から一方のガラス基板の表面までの距離が、各当接体の外周部が当接する部分の間で揃うことになる。そのため、一方のガラス基板の表面に対して分断刃の外周部(刃先)による圧縮応力が安定して加わることになる。これにより、一方のガラス基板の表面にスクライブライン、又は、一方のガラス基板にクラックが所定位置に形成されるので、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することが可能になる。   According to said structure, when the outer peripheral part of a cutting blade is pressed on the surface of one glass substrate in a pair of glass substrate bonded so that it may mutually oppose through a sealing material, it cuts along a support shaft. Since the outer peripheral portion of each contact body provided on both sides of the blade contacts the surface of one glass substrate and presses the glass surface, the portion where the outer peripheral portion of the cutting blade in the pair of glass substrates is pressed, And in the part where the outer peripheral part of each contact body is in contact, the distance from the surface of the other glass substrate to the surface of one glass substrate is aligned between the parts where the outer peripheral part of each contact body contacts. become. Therefore, the compressive stress by the outer peripheral part (blade edge) of a parting blade is stably added with respect to the surface of one glass substrate. As a result, a scribe line is formed on the surface of one glass substrate or a crack is formed on one glass substrate at a predetermined position. Therefore, a pair of glass substrates bonded so as to face each other through a sealing material is arranged at a predetermined position. It becomes possible to divide reliably.

また、本発明に係る液晶表示パネル製造装置は、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を載置するための分断ステージと、上記分断ステージの上方に配置された分断刃ユニットとを備え、上記分断ステージに載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板を上記分断刃ユニットによって分断して、液晶表示パネルを製造する製造装置であって、上記分断刃ユニットは、円盤状の分断刃と、該分断刃を回転可能に軸支するための支持軸とを備え、上記分断ステージに載置された上側のガラス基板の表面に上記分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記上側のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該上側のガラス基板を分断するように構成され、上記支持軸には、各々円盤状の一対の当接体が上記分断刃を挟んで回転可能に設けられ、上記各当接体は、上記分断刃の外周部を上記上側のガラス基板の表面に押し当てたときに、外周部が上記上側のガラス基板の表面に当接するように構成されていることを特徴とする。   In addition, the liquid crystal display panel manufacturing apparatus according to the present invention includes a dividing stage for placing a pair of glass substrates bonded so as to face each other via a sealing material, and a dividing arranged above the dividing stage. A manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel by cutting an upper glass substrate of a pair of glass substrates placed on the cutting stage by the cutting blade unit, the cutting blade unit comprising: a blade unit; A disc-shaped cutting blade and a support shaft for rotatably supporting the cutting blade, and press the outer peripheral portion of the cutting blade against the surface of the upper glass substrate placed on the cutting stage. However, it is configured to sever the upper glass substrate by rolling the parting blade along the surface of the upper glass substrate. The abutting body is rotatably provided across the cutting blade, and each of the abutting bodies is configured such that when the outer peripheral portion of the cutting blade is pressed against the surface of the upper glass substrate, the outer peripheral portion is the upper side. It is comprised so that it may contact | abut on the surface of this glass substrate.

上記の構成によれば、分断ステージ上に載置され、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に、分断刃ユニットを構成する分断刃の外周部を押し当てたときに、分断刃ユニットの支持軸に沿って分断刃の両側に設けられた各当接体の外周部が上側のガラス基板の表面に当接してそのガラス表面を押圧するので、一対のガラス基板における分断刃の外周部が押し当てられた部分、及び各当接体の外周部が当接された部分では、下側(分断ステージ側)のガラス基板の表面から上側のガラス基板の表面までの距離が、各当接体の外周部が当接する部分の間で揃うことになる。そのため、上側のガラス基板の表面に対して分断刃の外周部(刃先)による圧縮応力が安定して加わることになる。これにより、上側のガラス基板の表面にスクライブライン、又は、上側のガラス基板にクラックが所定位置に形成されるので、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することが可能になる。   According to said structure, it is the cutting blade which comprises a cutting blade unit on the surface of the upper glass substrate in a pair of glass substrate which was mounted on the cutting stage and bonded together through the sealing material. When the outer peripheral part is pressed, the outer peripheral part of each contact body provided on both sides of the cutting blade along the support shaft of the cutting blade unit contacts the surface of the upper glass substrate and presses the glass surface. Therefore, in the part where the outer peripheral part of the cutting blade in the pair of glass substrates is pressed and the part where the outer peripheral part of each contact body is in contact, the upper side from the surface of the lower (parting stage side) glass substrate. The distance to the surface of the glass substrate is uniform between the portions where the outer peripheral portions of the respective contact bodies abut. Therefore, the compressive stress by the outer peripheral part (blade edge) of the cutting blade is stably applied to the surface of the upper glass substrate. As a result, a scribe line is formed on the surface of the upper glass substrate or a crack is formed on the upper glass substrate at a predetermined position, so that the pair of glass substrates bonded to face each other through the sealing material is positioned at the predetermined position. It becomes possible to divide reliably.

さらに、本発明に係る液晶表示パネルの製造方法は、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を分断ステージに載置する載置工程と、上記載置工程で載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に、円盤状の分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記上側のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該上側のガラス基板を分断する分断工程を備える液晶表示パネルの製造方法であって、上記分断工程では、上記上側のガラス基板における上記分断刃の両側方の表面を押圧しながら、該分断刃を転動させることを特徴とする。   Furthermore, the method for manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention includes placing a pair of glass substrates that are bonded together so as to face each other via a sealing material, and placing the pair of glass substrates on the dividing stage. By rolling the cutting blade along the surface of the upper glass substrate while pressing the outer peripheral portion of the disk-shaped cutting blade against the surface of the upper glass substrate in the pair of glass substrates, A method of manufacturing a liquid crystal display panel comprising a dividing step of dividing the glass substrate, wherein the dividing blade rolls while pressing the surfaces on both sides of the cutting blade in the upper glass substrate. It is characterized by making it.

上記の方法によれば、載置工程において分断ステージ上に載置され、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に、分断工程において分断刃ユニットを構成する分断刃の外周部を押し当てたときに、上側のガラス基板における分断刃の両側方の表面を押圧するので、一対のガラス基板における分断刃の外周部が押し当てられた部分、及び分断刃の両側方の押圧された部分では、下側(分断ステージ側)のガラス基板の表面から上側のガラス基板の表面までの距離が揃うことになる。そのため、上側のガラス基板の表面に対して分断刃の外周部(刃先)による圧縮応力が安定して加わることになる。これにより、上側のガラス基板の表面にスクライブライン、又は、上側のガラス基板にクラックが所定位置に形成されるので、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することが可能になる。   According to the above method, the cutting blade in the dividing step is placed on the surface of the upper glass substrate in the pair of glass substrates that are placed on the dividing stage in the placing step and bonded to each other via the sealing material. When pressing the outer peripheral part of the cutting blade that constitutes the unit, the surface on both sides of the cutting blade in the upper glass substrate is pressed, so the outer peripheral part of the cutting blade in the pair of glass substrates is pressed, And in the pressed part of the both sides of the cutting blade, the distance from the surface of the glass substrate on the lower side (the cutting stage side) to the surface of the upper glass substrate is uniform. Therefore, the compressive stress by the outer peripheral part (blade edge) of the cutting blade is stably applied to the surface of the upper glass substrate. As a result, a scribe line is formed on the surface of the upper glass substrate or a crack is formed on the upper glass substrate at a predetermined position, so that the pair of glass substrates bonded to face each other through the sealing material is positioned at the predetermined position. It becomes possible to divide reliably.

上記分断工程では、上記分断刃を押し当てて転動させることにより上記上側のガラス基板の表面にスクライブラインを形成した後に、該スクライブラインに沿って上記上側のガラス基板を分断してもよい。   In the dividing step, the upper glass substrate may be divided along the scribe line after the scribe line is formed on the surface of the upper glass substrate by pressing and rolling the dividing blade.

上記の方法によれば、分断ステージ上に載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面にスクライブラインを形成することにより、その上側のガラス基板を2段階で分断することになり、本発明の作用効果が具体的に奏される。   According to the above method, by forming a scribe line on the surface of the upper glass substrate in the pair of glass substrates placed on the cutting stage, the upper glass substrate will be divided in two stages, The effects of the present invention are specifically demonstrated.

上記分断工程では、上記分断刃を押し当てて転動させることにより、上記上側のガラス基板に表面から裏面に達するクラックを形成して、該上側のガラス基板を分断してもよい。   In the dividing step, the upper glass substrate may be divided by pressing and rolling the dividing blade to form a crack reaching the back surface from the front surface to the upper glass substrate.

上記の方法によれば、分断ステージ上に載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に裏面に達するクラックを形成することにより、その上側のガラス基板を1段階で分断することになり、本発明の作用効果が具体的に奏される。   According to said method, in forming the crack which reaches a back surface in the surface of the upper glass substrate in a pair of glass substrate mounted on the cutting | disconnection stage, in cutting the upper glass substrate in one step. Thus, the effects of the present invention are specifically demonstrated.

本発明によれば、分断刃をガラス基板の表面に沿って転動させるときに、ガラス基板における分断刃の両側方の表面を押圧することになるので、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することができる。   According to the present invention, when the cutting blade rolls along the surface of the glass substrate, the surfaces on both sides of the cutting blade in the glass substrate are pressed, so that they face each other via the sealing material. A pair of bonded glass substrates can be reliably cut at a predetermined position.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiments.

《発明の実施形態1》
図1〜図4は、本発明に係る分断刃ユニット、それを備えた液晶表示パネル製造装置、及び液晶表示パネルの製造方法の実施形態1を示している。具体的に、図1は、本実施形態の分断刃ユニット5を備えた液晶表示パネル製造装置20の断面図であり、図2は、液晶表示パネル製造装置20の斜視図である。
Embodiment 1 of the Invention
1 to 4 show Embodiment 1 of a cutting blade unit according to the present invention, a liquid crystal display panel manufacturing apparatus including the same, and a method for manufacturing a liquid crystal display panel. Specifically, FIG. 1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20 including the cutting blade unit 5 of the present embodiment, and FIG. 2 is a perspective view of the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20.

液晶表示パネル製造装置20は、図1及び図2に示すように、貼合体15を載置するための分断ステージ10と、分断ステージ10の上方に移動可能に配置された分断ユニット5とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20 includes a cutting stage 10 for placing the bonded body 15, and a cutting unit 5 that is movably disposed above the cutting stage 10. ing.

分断ユニット5は、図1に示すように、円盤状の分断刃として設けられたカッターホイール1と、カッターホイール1を回転可能に軸支するための支持軸として設けられた棒状のシャフト4と、各々円盤状の当接体として設けられ、カッターホイール1を挟むようにシャフト4に回転可能に支持された一対の押圧ローラー2と、シャフト4の両端部を軸受けすると共にカッターホイール1及び各押圧ローラー2の上側を収容するように設けられたカッターホルダー3とを備えている。   As shown in FIG. 1, the cutting unit 5 includes a cutter wheel 1 provided as a disk-shaped cutting blade, a rod-like shaft 4 provided as a support shaft for rotatably supporting the cutter wheel 1, A pair of pressing rollers 2 each provided as a disc-shaped contact body and rotatably supported by the shaft 4 so as to sandwich the cutter wheel 1, and both ends of the shaft 4 are supported while the cutter wheel 1 and each pressing roller 2 and a cutter holder 3 provided so as to accommodate the upper side of 2.

カッターホイール1は、例えば、タングステンカーバイドなどの超硬合金により、直径2.0mm、厚さ0.65mm、及び刃先150度で、側面が厚さ方向の中央に向かってテーパー状に突出して横断面が六角形状に構成されている。また、カッターホイール1の外周部(刃先)には、ダイヤモンドが焼結されていてもよい。   The cutter wheel 1 is made of a cemented carbide such as tungsten carbide, for example, having a diameter of 2.0 mm, a thickness of 0.65 mm, and a cutting edge of 150 degrees, and the side surface protrudes in a tapered shape toward the center in the thickness direction. Is configured in a hexagonal shape. Further, diamond may be sintered on the outer peripheral portion (blade edge) of the cutter wheel 1.

各押圧ローラー2は、例えば、PE(ポリエチレン、PolyEthylene)樹脂などにより、直径2.0mm及び厚さ0.5mmで円盤状に構成されている。なお、カッターホイール1及び各押圧ローラー2の間隔は、例えば、0.5mm程度である。   Each pressing roller 2 is configured in a disk shape with a diameter of 2.0 mm and a thickness of 0.5 mm, for example, of PE (polyethylene, PolyEthylene) resin. In addition, the space | interval of the cutter wheel 1 and each press roller 2 is about 0.5 mm, for example.

カッターホルダー3及びシャフト4は、例えば、タングステンカーバイドなどの超硬合金により構成されている。   The cutter holder 3 and the shaft 4 are made of a cemented carbide such as tungsten carbide, for example.

分断ステージ10は、例えば、ステンレスやセラミックなどにより構成され、その表面に、真空排気系の配管を介して真空ポンプに接続された多数の吸着孔10を有している。   The dividing stage 10 is made of, for example, stainless steel or ceramic, and has a large number of suction holes 10 connected to a vacuum pump via a vacuum exhaust system pipe on the surface thereof.

貼合体15は、例えば、TFTアレイ母基板11及びCF母基板12(一対のガラス基板)を各セル単位毎に枠状のシール材13を介して貼り合わせることにより構成されている。   The bonding body 15 is configured, for example, by bonding the TFT array mother substrate 11 and the CF mother substrate 12 (a pair of glass substrates) via a frame-shaped sealing material 13 for each cell unit.

TFTアレイ母基板11は、例えば、厚さ0.2mm〜0.4mmのマザーガラス基板上に、各セル単位毎に、互いに平行に延びるように設けられた複数のゲート線(不図示)と、各ゲート線と直交する方向に互いに平行に延びるように設けられた複数のソース線(不図示)と、各ゲート線及び各ソース線の交差部分にそれぞれ設けられた複数のTFT(不図示)と、各TFTに対応してそれぞれ設けられた複数の画素電極(不図示)と、各画素電極を覆うように設けられた配向膜(不図示)とを備えている。   The TFT array mother substrate 11 includes, for example, a plurality of gate lines (not shown) provided on a mother glass substrate having a thickness of 0.2 mm to 0.4 mm so as to extend in parallel with each cell unit, A plurality of source lines (not shown) provided so as to extend in parallel to each other in a direction orthogonal to each gate line, and a plurality of TFTs (not shown) provided respectively at the intersections of each gate line and each source line A plurality of pixel electrodes (not shown) provided corresponding to each TFT, and an alignment film (not shown) provided so as to cover each pixel electrode are provided.

上記TFTは、上記ゲート線の側方に突出した部分であるゲート電極と、そのゲート電極を覆うように設けられたゲート絶縁膜と、そのゲート絶縁膜上でゲート電極に対応する位置に島状に設けられた半導体層と、その半導体層上で互いに対峙するように設けられたソース電極及びドレイン電極とを備えている。ここで、上記ソース電極は、上記ソース線の側方に突出した部分である。また、上記ドレイン電極は、上記画素電極に電気的に接続されている。   The TFT includes a gate electrode that protrudes to the side of the gate line, a gate insulating film provided to cover the gate electrode, and an island shape on the gate insulating film at a position corresponding to the gate electrode. And a source electrode and a drain electrode provided so as to face each other on the semiconductor layer. Here, the source electrode is a portion protruding to the side of the source line. The drain electrode is electrically connected to the pixel electrode.

CF母基板12は、例えば、厚さ0.1mm〜0.15mmのマザーガラス基板上に、各セル単位毎に、TFTアレイ母基板11上の各画素電極に対応して設けられ、例えば、各々、赤色、緑色又は青色に着色された複数の着色層(不図示)と、各着色層の間に格子状に設けられたブラックマトリクス(不図示)と、各着色層上に設けられた共通電極(不図示)と、共通電極を覆うように設けられた配向膜(不図示)とを備えている。   The CF mother substrate 12 is provided, for example, on a mother glass substrate having a thickness of 0.1 mm to 0.15 mm in correspondence with each pixel electrode on the TFT array mother substrate 11 for each cell unit. A plurality of colored layers (not shown) colored in red, green or blue, a black matrix (not shown) provided in a lattice shape between the colored layers, and a common electrode provided on each colored layer (Not shown) and an alignment film (not shown) provided so as to cover the common electrode.

また、液晶表示パネル製造装置20は、分断ユニット5が図2に示すように分断ステージ10上を移動することにより、分断ステージ10の上面に吸着して載置された貼合体15のCF母基板12の表面にカッターホイール1の外周部(刃先)R1及び各押圧ローラー2の外周部R2を当接させた状態で、カッターホイール1及び各押圧ローラー2がCF母基板12の表面に沿って転動して、スクライブラインLが形成されるように構成されている。このとき、液晶表示パネル製造装置20では、図3に示すように、貼合体15のカッターホイール1の外周部R1が押し当てられた部分、及び各押圧ローラー2の外周部R2が当接された部分において、TFTアレイ母基板11の表面からCF母基板12の表面までの距離が、各押圧ローラー2の外周部R2が当接する部分の間で揃っているので、CF母基板12の表面に対してカッターホイール1の外周部R1の刃先による圧縮応力を安定して(ほぼ垂直に)加えることができ、CF母基板12の表面にスクライブラインLを所定位置に形成することができる。ここで、図3は、図1に対応する液晶表示パネル製造装置20の使用状態を示す断面図である。   In addition, the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20 has a CF mother substrate of the bonded body 15 that is adsorbed and placed on the upper surface of the dividing stage 10 by moving the dividing unit 5 on the dividing stage 10 as shown in FIG. The cutter wheel 1 and each pressing roller 2 roll along the surface of the CF mother board 12 in a state where the outer peripheral portion (blade edge) R1 of the cutter wheel 1 and the outer peripheral portion R2 of each pressing roller 2 are in contact with the surface of 12. The scribe line L is formed by moving. At this time, in the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20, as shown in FIG. 3, the outer peripheral portion R1 of the cutter wheel 1 of the bonded body 15 and the outer peripheral portion R2 of each pressing roller 2 were brought into contact with each other. In this portion, the distance from the surface of the TFT array mother substrate 11 to the surface of the CF mother substrate 12 is uniform between the portions where the outer peripheral portions R2 of the respective pressing rollers 2 are in contact with each other. Thus, the compressive stress due to the cutting edge of the outer peripheral portion R1 of the cutter wheel 1 can be applied stably (substantially perpendicularly), and the scribe line L can be formed at a predetermined position on the surface of the CF mother substrate 12. Here, FIG. 3 is a sectional view showing a usage state of the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20 corresponding to FIG.

次に、図1〜図4を参照して、液晶表示パネルの製造方法について一例を挙げて説明する。ここで、図4は、本実施形態の製造方法で製造される液晶表示パネルPの断面図である。なお、本実施形態の液晶表示パネルの製造方法は、TFTアレイ母基板作製工程、CF母基板作製工程、貼り合わせ工程、エッチング工程、載置工程、分断工程、液晶注入工程及び封止工程を備える。   Next, with reference to FIGS. 1-4, an example is given and demonstrated about the manufacturing method of a liquid crystal display panel. Here, FIG. 4 is a cross-sectional view of the liquid crystal display panel P manufactured by the manufacturing method of the present embodiment. In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display panel of this embodiment includes a TFT array mother substrate manufacturing process, a CF mother board manufacturing process, a bonding process, an etching process, a placing process, a dividing process, a liquid crystal injecting process, and a sealing process. .

<TFTアレイ母基板作製工程>
まず、厚さ0.7mm程度のガラス基板の基板全体に、アルミニウムなどの金属膜を厚さ1500Å程度でスパッタリング法により成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、ゲート線及びゲート電極を形成する。
<TFT array mother substrate manufacturing process>
First, a metal film such as aluminum is formed on the entire glass substrate having a thickness of about 0.7 mm by a sputtering method to a thickness of about 1500 mm, and then patterned by photolithography to form gate lines and gate electrodes. To do.

続いて、上記ゲート線及びゲート電極が形成された基板全体に、CVD(Chemical Vapor Deposition)法により窒化シリコン膜などを厚さ4000Å程度で成膜し、ゲート絶縁膜を形成する。   Subsequently, a silicon nitride film or the like is formed to a thickness of about 4000 mm on the entire substrate on which the gate line and the gate electrode are formed by a CVD (Chemical Vapor Deposition) method to form a gate insulating film.

さらに、上記ゲート絶縁膜が形成された基板全体に、CVD法により真性アモルファスシリコン膜、及びリンがドープされたn+アモルファスシリコン膜を、それぞれ、厚さ1500Å及び400Å程度で連続して成膜し、その後、フォトリソグラフィによりゲート電極上に島状にパターニングして、真性アモルファスシリコン層及びn+アモルファスシリコン層からなる半導体層を形成する。   Further, an intrinsic amorphous silicon film and an n + amorphous silicon film doped with phosphorus are continuously formed on the entire substrate on which the gate insulating film is formed by a CVD method at a thickness of about 1500 mm and 400 mm, respectively. Thereafter, patterning in an island shape on the gate electrode by photolithography is performed to form a semiconductor layer composed of an intrinsic amorphous silicon layer and an n + amorphous silicon layer.

そして、上記半導体層が形成された基板全体に、チタンなどの金属膜を厚さ1500Å程度でスパッタリング法により成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、ソース線、ソース電極及びドレイン電極を形成する。   Then, a metal film such as titanium is formed on the entire substrate on which the semiconductor layer is formed by a sputtering method with a thickness of about 1500 mm, and then patterned by photolithography to form a source line, a source electrode, and a drain electrode. To do.

続いて、上記ソース電極及びドレイン電極をマスクとして半導体層のn+アモルファスシリコン層をエッチングすることにより、チャネル部をパターニングして、TFTを形成する。   Subsequently, by etching the n + amorphous silicon layer of the semiconductor layer using the source electrode and the drain electrode as a mask, the channel portion is patterned to form a TFT.

さらに、上記TFTが形成された基板全体に、スピンコーティング法を用いて、感光性アクリル樹脂などの有機絶縁膜を厚さ3μm程度で成膜し、その後、フォトリソグラフィによりドレイン電極上にコンタクトホールをパターニングして、保護絶縁膜を形成する。   Furthermore, an organic insulating film such as a photosensitive acrylic resin is formed with a thickness of about 3 μm on the entire substrate on which the TFT is formed by using a spin coating method, and then a contact hole is formed on the drain electrode by photolithography. A protective insulating film is formed by patterning.

そして、上記保護絶縁膜上の基板全体に、ITO(Indium Tin Oxide)膜を厚さ1000Å程度でスパッタリング法により成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、画素電極を形成する。   Then, an ITO (Indium Tin Oxide) film having a thickness of about 1000 mm is formed on the entire substrate on the protective insulating film by a sputtering method, and then patterned by photolithography to form a pixel electrode.

最後に、上記画素電極が形成された基板全体に、印刷法により、ポリイミド樹脂を厚さ500Å程度で塗布し、その後、ラビング処理を行うことにより、配向膜を形成する。   Finally, a polyimide resin is applied with a thickness of about 500 mm on the entire substrate on which the pixel electrodes are formed by a printing method, and then a rubbing process is performed to form an alignment film.

以上のようにして、TFTアレイ母基板を作製することができる。   As described above, a TFT array mother substrate can be produced.

<CF母基板作製工程>
まず、厚さ0.7mm程度のガラス基板の基板全体に、スパッタリング法により、例えば、クロム薄膜を厚さ1000Å程度で成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、ブラックマトリクスを形成する。
<CF motherboard fabrication process>
First, for example, a chromium thin film with a thickness of about 1000 mm is formed on the entire glass substrate having a thickness of about 0.7 mm by sputtering, and then patterned by photolithography to form a black matrix.

続いて、上記ブラックマトリクスの格子間のそれぞれに、例えば、赤、緑又は青に着色された感光性レジスト材料などを厚さ1〜3μm程度で塗布した後に、フォトリソグラフィによりパターニングして、選択した色の着色層を形成する。さらに、他の2色についても同様な工程を繰り返して、他の2色の着色層を形成する。   Subsequently, for example, a photosensitive resist material colored in red, green, or blue is applied to each of the black matrix lattices in a thickness of about 1 to 3 μm, and then selected by patterning by photolithography. A colored layer of color is formed. Further, the same process is repeated for the other two colors to form colored layers of the other two colors.

さらに、上記各着色層上に、スパッタリング法により、例えば、ITO膜を厚さ1000Å程度で成膜して、共通電極を形成する。   Further, a common electrode is formed on each colored layer by sputtering, for example, by forming an ITO film with a thickness of about 1000 mm.

最後に、上記共通電極が形成された基板全体に、印刷法により、ポリイミド樹脂を厚さ500Å程度で塗布し、その後、ラビング処理を行うことにより、配向膜を形成する。   Finally, a polyimide resin is applied to the entire substrate on which the common electrode is formed with a thickness of about 500 mm by a printing method, and then a rubbing process is performed to form an alignment film.

以上のようにして、CF母基板を作製することができる。   As described above, a CF mother substrate can be manufactured.

<貼り合わせ工程>
まず、例えば、上記CF母基板作製工程で作製されたCF母基板に対し、スクリーン印刷法により、熱硬化型のエポキシ樹脂などを各セル単位毎に液晶注入口を有する枠状に塗布することにより、シール材13を形成する。
<Lamination process>
First, for example, by applying a thermosetting epoxy resin or the like in a frame shape having a liquid crystal inlet for each cell unit to the CF mother substrate produced in the CF mother substrate production step by a screen printing method. The sealing material 13 is formed.

続いて、シール材13が形成されたCF母基板の各シール材13の内側に、例えば、直径3μm程度のプラスチック製のビーズなどからなるスペーサーを散布する。   Subsequently, spacers made of, for example, plastic beads having a diameter of about 3 μm are sprayed inside each sealing material 13 of the CF mother substrate on which the sealing material 13 is formed.

さらに、上記スペーサーが散布されたCF母基板と、上記TFTアレイ母基板作製工程で作製されたTFTアレイ母基板とを貼り合わせた後に、加熱によりシール材13を硬化させて、TFTアレイ母基板及びCF母基板を接合することにより、貼合体を作製する。   Further, after bonding the CF mother substrate on which the spacers are dispersed and the TFT array mother substrate manufactured in the TFT array mother substrate manufacturing step, the sealing material 13 is cured by heating, and the TFT array mother substrate and A bonded body is produced by bonding the CF mother substrate.

<エッチング工程>
上記貼り合わせ工程で作製された貼合体をエッチング液に浸漬して、TFTアレイ母基板及びCF母基板を構成する各ガラス基板の外面をエッチングすることにより、TFTアレイ母基板11が0.2mm〜0.4mmに、CF母基板12が0.1mm〜0.15mmにそれぞれ薄肉化された貼合体15を作製する。
<Etching process>
The TFT array mother substrate 11 has a thickness of 0.2 mm to 0.2 mm by immersing the bonded body produced in the bonding step in an etching solution and etching the outer surface of each glass substrate constituting the TFT array mother substrate and the CF mother substrate. A bonded body 15 in which the CF mother substrate 12 is thinned to 0.4 mm and 0.1 mm to 0.15 mm, respectively, is produced.

<載置工程>
液晶表示パネル製造装置20の分断ステージ10上に、上記エッチング工程で作製された貼合体15をそのCF母基板12が上側になるように載置した後に、吸着孔10hに接続された真空ポンプを作動させることにより、分断ステージ10の表面に貼合体15を吸着させる。
<Installation process>
After placing the bonded body 15 produced in the etching process on the cutting stage 10 of the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20 so that the CF mother substrate 12 is on the upper side, a vacuum pump connected to the suction hole 10h is provided. By operating, the bonding body 15 is adsorbed on the surface of the dividing stage 10.

<分断工程>
まず、上記載置工程で分断ステージ10上に載置された貼合体15のCF母基板12の表面に、図2に示すように、カッターホイール1の外周部R1及びその両側の押圧ローラー2の外周部R2を押し当てながら、カッターホイール1及び各押圧ローラー2がCF母基板12の表面に沿って転動するように、分断刃ユニット5を移動させることにより、CF母基板12の表面にスクライブラインLを形成する。
<Division process>
First, as shown in FIG. 2, the outer peripheral portion R1 of the cutter wheel 1 and the pressing rollers 2 on both sides of the CF mother substrate 12 of the bonded body 15 placed on the dividing stage 10 in the placing step described above. While pressing the outer peripheral portion R2, the cutting blade unit 5 is moved so that the cutter wheel 1 and each pressing roller 2 roll along the surface of the CF mother substrate 12, thereby scribing on the surface of the CF mother substrate 12. Line L is formed.

続いて、分断ステージ10上の貼合体15を表裏反転させて、貼合体15をそのTFTアレイ母基板11が上側になるように載置した後に、上記と同様に、分断刃ユニット5を移動させることにより、TFTアレイ母基板11の表面にスクライブラインLを形成する。   Subsequently, after the bonding body 15 on the cutting stage 10 is reversed so that the bonding body 15 is placed so that the TFT array mother substrate 11 is on the upper side, the cutting blade unit 5 is moved in the same manner as described above. Thus, a scribe line L is formed on the surface of the TFT array mother substrate 11.

さらに、ブレークマシンを用いて、スクライブラインLが形成された貼合体15をスクライブラインLに沿って分断する。   Furthermore, the bonding body 15 in which the scribe line L is formed is divided along the scribe line L using a break machine.

なお、本実施形態の分断工程では、貼合体15が各セル単位に分割されるまで繰り返されるが、複数のセル単位が連設された短冊状の状態で分断を中断して、短冊状の貼合体に対して後述する液晶注入工程及び封止工程を行った後に、その短冊状の貼合体を各セル単位に分割してもよい。   In addition, in the dividing process of this embodiment, although it repeats until the bonding body 15 is divided | segmented into each cell unit, a cutting is interrupted in the strip-shaped state by which the several cell unit was arranged continuously, and strip-shaped bonding is carried out. After performing the liquid crystal injecting step and the sealing step, which will be described later, for the combined body, the strip-shaped bonded body may be divided into cell units.

<液晶注入工程>
上記分断工程で分断された貼合体15に対し、減圧法により、液晶材料をシール材13の液晶注入口から注入する。
<Liquid crystal injection process>
A liquid crystal material is injected from the liquid crystal injection port of the sealing material 13 into the bonded body 15 divided in the above-described dividing step by a decompression method.

<封止工程>
上記液晶注入工程で液晶材料が注入された貼合体15の端面に、シール材の液晶注入口を塞ぐように、刷毛などによってUV硬化型の樹脂を塗布した後に、UV光を照射することにより、液晶材料を封止して、液晶層14を形成する。
<Sealing process>
By applying UV light after applying a UV curable resin with a brush or the like so as to close the liquid crystal injection port of the sealing material on the end face of the bonded body 15 into which the liquid crystal material has been injected in the liquid crystal injection step, The liquid crystal material 14 is sealed to form the liquid crystal layer 14.

以上のようにして、図4に示すように、互いに対向して配置されたTFTアレイ基板11a及びCF基板12aと、両基板11a及び12aの間に設けられた液晶層14と、両基板11a及び12aの間で液晶層14を包囲するように設けられたシール材13とを備えた液晶表示パネルPを製造することができる。   As described above, as shown in FIG. 4, the TFT array substrate 11a and the CF substrate 12a arranged to face each other, the liquid crystal layer 14 provided between the substrates 11a and 12a, the substrates 11a and The liquid crystal display panel P provided with the sealing material 13 provided so as to surround the liquid crystal layer 14 between 12a can be manufactured.

以上説明したように、本実施形態の分断刃ユニット5、液晶表示パネル製造装置20及び液晶表示パネルPの製造方法によれば、分断ステージ10上に載置され、シール材13を介して互いに対向するように貼り合わされたTFTアレイ母基板11及びCF母基板12におけるCF母基板12の表面に、分断刃ユニット5を構成するカッターホイール1の外周部R1を押し当てたときに、分断刃ユニット5のシャフト4に沿ってカッターホイール1の両側に設けられた各押圧ローラー2の外周部R2がCF母基板12の表面に当接してそのガラス表面を押圧するので、TFTアレイ母基板11及びCF母基板12におけるカッターホイール1の外周部R1が押し当てられた部分、及び各押圧ローラー2の外周部R2が当接された部分では、TFTアレイ母基板11の表面からCF母基板12の表面までの距離が、各押圧ローラー2の外周部R2が当接する部分の間で揃うことになる。そのため、CF母基板12の表面に対してカッターホイール1の外周部(刃先)R1による圧縮応力が安定して加わることになる。これにより、CF母基板12の表面にスクライブラインL1が所定位置に形成されるので、シール材13を介して互いに対向するように貼り合わされたTFTアレイ母基板11及びCF母基板12を所定位置で確実に分断することができる。   As described above, according to the cutting blade unit 5, the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20, and the liquid crystal display panel P manufacturing method of the present embodiment, they are placed on the cutting stage 10 and face each other via the sealing material 13. When the outer peripheral portion R1 of the cutter wheel 1 constituting the cutting blade unit 5 is pressed against the surface of the CF mother substrate 12 in the TFT array mother substrate 11 and the CF mother substrate 12 that are bonded together, the cutting blade unit 5 Since the outer peripheral portion R2 of each pressing roller 2 provided on both sides of the cutter wheel 1 along the shaft 4 contacts the surface of the CF mother substrate 12 and presses the glass surface thereof, the TFT array mother substrate 11 and the CF mother substrate In the portion where the outer peripheral portion R1 of the cutter wheel 1 is pressed against the substrate 12 and the portion where the outer peripheral portion R2 of each pressing roller 2 is in contact, T Distance from the surface of the T array mother substrate 11 to the surface of the CF mother substrate 12, the outer peripheral portion R2 of the pressing roller 2 so that the aligned between the abutting portions. Therefore, the compressive stress by the outer peripheral part (blade edge) R1 of the cutter wheel 1 is stably applied to the surface of the CF mother substrate 12. As a result, the scribe line L1 is formed at a predetermined position on the surface of the CF mother substrate 12, so that the TFT array mother substrate 11 and the CF mother substrate 12 bonded so as to face each other through the sealant 13 are placed at a predetermined position. It can be surely divided.

また、本実施形態では、カッターホイールなどの回転刃による分断を例示したが、本発明は、固定刃による分断にも適用することができる。   Moreover, in this embodiment, although the division | segmentation by rotary blades, such as a cutter wheel, was illustrated, this invention is applicable also to the division | segmentation by a fixed blade.

さらに、本実施形態では、TFTアレイ母基板11及びCF母基板12を各セル単位毎に分断する方法を例示したが、本発明は、TFTアレイ基板及びCF基板の周囲の余分な部分を分断除去する際にも適用することができる。   Furthermore, in the present embodiment, the method of dividing the TFT array mother substrate 11 and the CF mother substrate 12 for each cell unit has been exemplified. However, the present invention divides and removes excess portions around the TFT array substrate and the CF substrate. It can also be applied to.

また、本実施形態では、固定された分断ステージ10に対し分断刃ユニット5を移動させる液晶表示パネル製造装置20を例示したが、固定された分断ユニットに対し分断ステージを移動させるような装置構成であってもよい。   Moreover, in this embodiment, although the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20 which moves the cutting blade unit 5 with respect to the fixed cutting stage 10 was illustrated, it is an apparatus structure which moves a cutting stage with respect to the fixed cutting unit. There may be.

さらに、本実施形態では、液晶表示パネルの製造方法を例示したが、本発明は、一対のガラス基板を所定間隔で貼り合わせることにより製造される他の表示パネルにも適用することができる。   Furthermore, although the manufacturing method of the liquid crystal display panel is illustrated in the present embodiment, the present invention can also be applied to other display panels manufactured by bonding a pair of glass substrates at a predetermined interval.

以上説明したように、本発明は、薄型化されたガラス基板を確実に分断することができるので、モバイル用途の液晶表示パネルについて有用である。   As described above, the present invention can be surely divided into a thin glass substrate, and thus is useful for a liquid crystal display panel for mobile use.

実施形態1に係る分断刃ユニット5を備えた液晶表示パネル製造装置20の断面図である。It is sectional drawing of the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20 provided with the parting blade unit 5 which concerns on Embodiment 1. FIG. 液晶表示パネル製造装置20の斜視図である。3 is a perspective view of a liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20. FIG. 液晶表示パネル製造装置20の使用状態を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a usage state of the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20. FIG. 液晶表示パネル製造装置20で製造される液晶表示パネルPの断面図である。4 is a cross-sectional view of a liquid crystal display panel P manufactured by the liquid crystal display panel manufacturing apparatus 20. FIG. 従来の分断装置120を用いて貼合体115に対しスクライブラインを形成する際の貼合体115の状態を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the state of the bonding body 115 at the time of forming a scribe line with respect to the bonding body 115 using the conventional parting apparatus 120. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

L スクライブライン
P 液晶表示パネル
R1,R2 外周部
1 カッターホイール(分断刃)
2 押圧ローラー(当接体)
4 シャフト(支持軸)
5 分断刃ユニット
10 分断ステージ
11 TFTアレイ母基板(一対のガラス基板の他方)
11a TFTアレイ基板(一対のガラス基板の他方)
12 CF母基板(一対のガラス基板の一方)
12a CF基板(一対のガラス基板の一方)
13 シール材
20 液晶表示パネル製造装置
L Scribe line P Liquid crystal display panel R1, R2 Outer peripheral part 1 Cutter wheel (parting blade)
2 Press roller (contact body)
4 Shaft (support shaft)
5 Dividing blade unit 10 Dividing stage 11 TFT array mother substrate (the other of a pair of glass substrates)
11a TFT array substrate (the other of a pair of glass substrates)
12 CF mother substrate (one of a pair of glass substrates)
12a CF substrate (one of a pair of glass substrates)
13 Seal material 20 Liquid crystal display panel manufacturing equipment

Claims (5)

円盤状の分断刃と、
上記分断刃を回転可能に軸支するための支持軸とを備え、
シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板の一方の表面に上記分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記一方のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該一方のガラス基板を分断する分断刃ユニットであって、
上記支持軸には、各々円盤状の一対の当接体が上記分断刃を挟んで回転可能に設けられ、
上記各当接体は、上記分断刃の外周部を上記一方のガラス基板の表面に押し当てたときに、外周部が上記一方のガラス基板の表面に当接するように構成されていることを特徴とする分断刃ユニット。
A disc-shaped parting blade,
A support shaft for rotatably supporting the cutting blade,
The cutting blade is rolled along the surface of the one glass substrate while pressing the outer peripheral portion of the cutting blade against one surface of the pair of glass substrates bonded to face each other through a sealing material. A cutting blade unit for cutting the one glass substrate,
Each of the support shafts is provided with a pair of disk-like contact bodies so as to be rotatable with the dividing blade interposed therebetween,
Each said contact body is comprised so that an outer peripheral part may contact | abut the surface of said one glass substrate, when the outer peripheral part of the said cutting blade is pressed on the surface of said one glass substrate. A cutting blade unit.
シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を載置するための分断ステージと、
上記分断ステージの上方に配置された分断刃ユニットとを備え、
上記分断ステージに載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板を上記分断刃ユニットによって分断して、液晶表示パネルを製造する製造装置であって、
上記分断刃ユニットは、円盤状の分断刃と、該分断刃を回転可能に軸支するための支持軸とを備え、上記分断ステージに載置された上側のガラス基板の表面に上記分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記上側のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該上側のガラス基板を分断するように構成され、
上記支持軸には、各々円盤状の一対の当接体が上記分断刃を挟んで回転可能に設けられ、
上記各当接体は、上記分断刃の外周部を上記上側のガラス基板の表面に押し当てたときに、外周部が上記上側のガラス基板の表面に当接するように構成されていることを特徴とする液晶表示パネル製造装置。
A cutting stage for placing a pair of glass substrates bonded together so as to face each other via a sealing material;
A cutting blade unit disposed above the cutting stage,
A manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel by cutting the upper glass substrate in the pair of glass substrates placed on the cutting stage by the cutting blade unit,
The cutting blade unit includes a disk-shaped cutting blade and a support shaft for rotatably supporting the cutting blade, and the cutting blade unit is provided on a surface of the upper glass substrate placed on the cutting stage. It is configured to sever the upper glass substrate by rolling the parting blade along the surface of the upper glass substrate while pressing the outer periphery.
Each of the support shafts is provided with a pair of disk-like contact bodies so as to be rotatable with the dividing blade interposed therebetween,
Each said contact body is comprised so that an outer peripheral part may contact | abut the surface of the said upper glass substrate, when the outer peripheral part of the said cutting blade is pressed on the surface of the said upper glass substrate. Liquid crystal display panel manufacturing equipment.
シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を分断ステージに載置する載置工程と、
上記載置工程で載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に、円盤状の分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記上側のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該上側のガラス基板を分断する分断工程を備える液晶表示パネルの製造方法であって、
上記分断工程では、上記上側のガラス基板における上記分断刃の両側方の表面を押圧しながら、該分断刃を転動させることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
A placing step of placing a pair of glass substrates bonded to face each other via a sealing material on a cutting stage;
While pressing the outer periphery of the disk-shaped parting blade against the surface of the upper glass substrate in the pair of glass substrates placed in the placing step, the parting blade is moved along the surface of the upper glass substrate. A liquid crystal display panel manufacturing method comprising a dividing step of dividing the upper glass substrate by moving,
In the dividing step, the dividing blade is rolled while pressing the surfaces on both sides of the dividing blade in the upper glass substrate.
請求項3に記載された液晶表示パネルの製造方法において、
上記分断工程では、上記分断刃を押し当てて転動させることにより上記上側のガラス基板の表面にスクライブラインを形成した後に、該スクライブラインに沿って上記上側のガラス基板を分断することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
In the manufacturing method of the liquid crystal display panel described in Claim 3,
In the cutting step, the scribe line is formed on the surface of the upper glass substrate by pressing and rolling the cutting blade, and then the upper glass substrate is cut along the scribe line. A manufacturing method of a liquid crystal display panel.
請求項3に記載された液晶表示パネルの製造方法において、
上記分断工程では、上記分断刃を押し当てて転動させることにより、上記上側のガラス基板に表面から裏面に達するクラックを形成して、該上側のガラス基板を分断することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
In the manufacturing method of the liquid crystal display panel described in Claim 3,
In the dividing step, a crack reaching the back surface from the front surface is formed on the upper glass substrate by pressing and rolling the cutting blade, and the upper glass substrate is divided. Panel manufacturing method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016037414A (en) * 2014-08-07 2016-03-22 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribing tool
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