KR20150143492A

KR20150143492A - 유지부 부착 유리 기판, 유리 기판의 열처리 방법, 및 유리 기판 지지 유닛

Info

Publication number: KR20150143492A
Application number: KR1020157029355A
Authority: KR
Inventors: 야스오 테라니시; 히로미치 우메무라; 나오토시 이나야마
Original assignee: 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2013-04-10
Filing date: 2014-04-08
Publication date: 2015-12-23
Also published as: TWI638789B; WO2014168149A1; CN105121368B; KR102160928B1; JP2014205579A; TW201512115A; JP6065722B2; CN105121368A

Abstract

직사각형 평판 형상의 유리 기판에 열처리를 실시할 때, 쓸데 없는 응력을 부가하지 않고 유리 기판을 지지할 수 있어, 유리 기판에 변형이나 왜곡이나 상처 등이 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능한 유리 기판, 유리 기판의 열처리 방법, 및 유리 기판 지지 유닛을 제공한다.
유리 기판(1)의 변 가장자리부(10a)에는 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부(11)를 형성하고, 유지부(11)를 통해서 유리 기판(1)을 유지하면서 유리 기판(1)에 열처리를 실시하고, 열처리의 종료 후 유지부(11)를 포함하는 소정의 영역을 유리 기판(1)으로부터 제거한다.

Description

유지부 부착 유리 기판, 유리 기판의 열처리 방법, 및 유리 기판 지지 유닛{GLASS SUBSTRATE WITH HOLDING PART, METHOD FOR HEAT TREATING GLASS SUBSTRATE, AND GLASS SUBSTRATE SUPPORTING UNIT}

본 발명은 유지부를 갖는 유지부 부착 유리 기판, 유리 기판에 열처리를 실시할 때의 유리 기판의 열처리 방법, 및 유리 기판과 그 유리 기판을 지지하는 지지 수단을 구비하는 유리 기판 지지 유닛의 기술에 관한 것이다.

최근, 디스플레이의 고선명화는 점점 진행되어, 그 디스플레이에 사용되는 유리 기판에 있어서는 왜곡이나 콤팩션(열수축)을 저감하기 위해서 열처리(어닐 처리)가 실시되는 경우가 많다.

여기에서, 유리 기판에 열처리를 실시할 때에는 그 열처리의 실시에 의해서 오히려 유리 기판에 변형이나 왜곡이 발생하지 않도록, 불필요한 응력을 부가하지 않고 유리 기판을 지지할 필요가 있다. 또한, 유리 기판을 지지할 때에는 상처 등이 발생하지 않도록 최대한 주의하지 않으면 안된다.

이러한 점을 근거로 하여, 열처리를 실시할 때의 유리 기판을 지지하기 위한 기술이 「특허문헌 1」 및 「특허문헌 2」에 의해 나타내어져 있다.

구체적으로는, 상기 「특허문헌 1」에는 유리제의 디스플레이 패널의 제조에 있어서, 유리 패널(유리 기판)을 열처리(소성)할 때에 직교하는 2개의 축방향으로 회전 가능한 폭이 좁은 복수의 지지 부재에 의해서 플랫하고 견뢰한 지지 플레이트(세터)를 하방으로부터 지지하고, 이 지지 플레이트 상에 유리 패널을 수평 자세로 적재하여 지지 플레이트에 의해 유리 패널을 전면적으로 지지하는 패널 지지 어셈블리, 및 지지 플레이트를 사용하지 않고 상기 폭이 좁은 복수의 지지 부재에 유리 패널을 직접 수평 자세로 적재하여 상기 복수의 지지 부재에 의해 유리 패널을 국부적으로 지지하는 패널 지지 어셈블리가 개시되어 있다.

또한, 상기 「특허문헌 2」에는 소성로(열처리로) 내에 있어서 유리 기판의 하측 가장자리부를 롤러의 홈부로 지지하면서 상측 가장자리부를 한쌍의 가이드 롤러로 협지해서 수직 자세로 반송하는 반송 수단, 및 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 쌍방을 롤러의 홈부로 지지해서 수직 자세로 반송하는 수단, 및 유리 기판의 상측 가장자리부를 매달기 금구에 의해 매달아 지지하면서 하측 가장자리부를 한쌍의 가이드 롤러로 협지해서 반송하는 반송 수단이 개시되어 있다.

일본 특허공표 2000-501373호 공보 일본 특허공개 2006-029597호 공보

상기 「특허문헌 1」 및 「특허문헌 2」에 의해 나타내어지는 기술에 의하면, 유리 기판에 열처리를 실시할 때에 쓸데 없는 응력을 부가하지 않고 유리 기판을 지지할 수 있어, 유리 기판에 변형이나 왜곡이나 상처 등이 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능하다고도 생각된다.

그러나, 상기 「특허문헌 1」에 개시되는 패널 지지 어셈블리에 있어서는 수평 자세의 유리 패널(유리 기판)이 단지 지지 플레이트(세터) 상에 적재된 채의 상태에서 지지되기 때문에, 유리 패널과 지지 플레이트의 접촉면에서의 슬라이딩 등에 의해 상처가 발생하여 유리 패널의 품위 저하나 불량품 발생을 초래할 우려가 있었다.

또한, 동 문헌에 개시되는 다른 패널 지지 어셈블리에 있어서는 수평 자세의 유리 패널이 폭이 좁은 복수의 지지 부재 상에 직접 적재되고, 유리 패널과 각 지지 부재가 국부적으로 접촉하기 때문에, 예를 들면 0.7[㎜] 이하의 두께를 갖는 초박막의 유리 패널을 반송하면 과대한 변형(휘어짐)이 생기고, 그 상태에서 열처리하면 유리 패널의 품위 저하나 불량품 발생의 문제가 더한층 현저하게 될 염려가 있었다.

한편, 상기 「특허문헌 2」에 개시되는 반송 수단에 있어서는 유리 기판을 수직 자세로 반송하는 구성으로 되어 있지만, 예를 들면 상술한 초박판의 유리 기판에서는 변형(휘어짐)을 충분하게 억제할 수 없을 뿐만 아니라, 애당초 좌굴에 의해서 수직 자세를 유지할 수 없기 때문에 유리 기판을 지지하는 것이 불가능하다.

또한, 동 문헌에 개시되는 다른 반송 수단에 있어서는 유리 기판의 상측 가장자리부를 매달기 금구로 협지하면서 매달아 지지하고, 또한 하단부를 한쌍의 가이드 롤러로 협지함으로써 유리 기판의 수직 자세를 유지하면서 반송하는 구성으로 되어 있지만, 예를 들면 상술한 초박판의 유리 기판에서는 강도가 높지 않기 때문에 매달기 금구에 의한 협지 개소에 크랙 등이 발생하여 열처리 중에 유리 기판이 파손될 가능성이 있었다.

본 발명은 이상에 나타낸 현 상태의 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 직사각형 평판 형상의 유리 기판에 열처리를 실시할 때에 쓸데 없는 응력을 부가하지 않고 유리 기판을 지지할 수 있어, 유리 기판에 변형이나 왜곡이나 상처 등이 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능한 유지부 부착 유리 기판, 유리 기판의 열처리 방법, 및 유리 기판 지지 유닛을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명이 해결하려고 하는 과제는 이상과 같으며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.

즉 ,본 발명의 유리 기판의 열처리 방법은 직사각형 평판 형상의 유리 기판에 열처리를 실시할 때의 유리 기판의 열처리 방법으로서, 유리 기판의 변 가장자리부에 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부를 형성하고, 그 유지부를 통해서 상기 유리 기판을 유지하면서 상기 유리 기판에 열처리를 실시하고, 그 열처리의 종료 후 상기 유지부를 포함하는 소정의 영역을 상기 유리 기판으로부터 제거하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 있어서, 상기 유지부는 상기 유리 기판에 띠 형상의 판유리를 부착함으로써 형성되고, 상기 유리 기판과 상기 판유리는 직접 면접촉되는 것이 바람직하다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유지부는 상기 유리 기판보다 외부로 돌출되어 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유리 기판은 상기 유지부를 협지함으로써 유지되는 것이 바람직하다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유리 기판은 상기 유지부를 걸어 고정함으로써 유지되는 것이 바람직하다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유리 기판은 매달린 상태로 유지되는 것이 바람직하다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유리 기판은 복수개 구비되고, 상기 유리 기판의 판면과 직교하는 방향을 따라서 일직선 형상으로 병설되는 것이 바람직하다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유리 기판의 하단 근방은 상기 유리 기판의 판면과 직교하는 방향을 따라서 병설되는 한쌍의 가이드 부재의 간극에 배치되는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명의 유리 기판은 유지부 부착 유리 기판으로서, 직사각형 평판 형상의 유리 기판과, 그 유리 기판의 변 가장자리부에 다른 영역에 비해서 판두께가 두껍게 형성되고, 상기 유리 기판의 열처리시에 유지되는 유지부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유지부는 상기 유리 기판의 한 변의 변 가장자리부에 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유리 기판과 상기 판유리는 동일한 재질에 의해 형성되는 것이 바람직하다.

또한 본 발명의 유리 기판 지지 유닛은, 청구항 9∼청구항 13 중 어느 한 항에 기재된 유리 기판과, 클램프 기구부를 갖고, 그 클램프 기구부에 의해서 상기 유지부를 협지하거나, 또는 그 클램프 기구부에 상기 유지부를 걸어서 고정함으로써 상기 유리 기판을 유지하는 유지 지그를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 구성에 있어서, 상기 유지부는 상기 유리 기판에 있어서 대향하는 2변의 변 가장자리부, 또는 4변 모든 변 가장자리부에 형성되고, 상기 유지부를 통해서 상기 유리 기판은 세로 자세, 또는 수평 자세에 의해서 유지되는 것이 바람직하다.

(발명의 효과)

본 발명의 효과로서, 이하에 나타나 있는 바와 같은 효과를 갖는다.

즉, 청구항 1에 있어서의 유리 기판의 열처리 방법에 의하면, 직사각형 평판 형상의 유리 기판에 열처리를 실시할 때에 쓸데 없는 응력을 부가하지 않고 유리 기판을 지지할 수 있어, 유리 기판에 변형이나 왜곡이나 상처 등이 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 유리 기판의 품위 향상 및 불량품의 저감을 꾀할 수 있다.

또한 청구항 2에 있어서의 유리 기판의 열처리 방법에 의하면, 유리 기판과 판유리의 접착을 접착제 등을 사용하지 않고 상온에서 용이하게 행하여 유지부를 형성할 수 있다.

또한 청구항 3에 있어서의 유리 기판의 열처리 방법에 의하면, 유지부의 돌출된 개소를 통해서 유지 지그에 의해 유지하는 것이 가능해지고, 유리 기판의 평면부와 유지 지그가 간섭하여, 그 유리 기판에 상처나 파손 등이 생길 우려를 저감할 수 있다.

또한 청구항 4에 있어서의 유리 기판의 열처리 방법에 의하면, 직사각형 평판 형상의 유리 기판에 있어서 다른 평면부의 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부를 협지함으로써 유리 기판을 유지하게 되어, 협지 개소에 크랙 등이 발생하여 열처리 중에 유리 기판이 파손될 가능성을 저감할 수 있다.

또한 청구항 5에 있어서의 유리 기판의 열처리 방법에 의하면, 유지 지그에 의해 유리 기판을 유지할 때에 유지부를 협지하지 않기 때문에, 유지 지그에 대한 유리 기판의 위치가 그다지 견고하게 고정되는 일도 없어 불의의 외력에 의해서 유리 기판에 상처나 파손 등이 생길 우려를 저감할 수 있다.

또한 청구항 6에 있어서의 유리 기판의 열처리 방법에 의하면, 유지부를 통해서 유리 기판을 매달아 세로 자세로 유지하기 때문에, 예를 들면 초박판의 유리 기판이여도 변형(휘어짐)의 발생을 충분하게 억제할 수 있다.

또한 청구항 7에 있어서의 유리 기판의 열처리 방법에 의하면, 예를 들면 열처리로 내에 있어서 복수의 유리 기판을 컴팩트하게 효율적으로 수용할 수 있다.

또한 청구항 8에 있어서의 유리 기판의 열처리 방법에 의하면, 가이드 부재에 의해 유리 기판의 하단 근방을 규제하기 때문에 열처리로 내의 기류에 의해서 인접하는 유리 기판끼리가 접촉하여 상처가 나는 사태를 효과적으로 방지할 수 있다.

한편, 청구항 9에 있어서의 유지부 부착 유리 기판에 의하면, 직사각형 평판 형상의 유리 기판에 열처리를 실시할 때에 쓸데 없는 응력을 부가하지 않고 유리 기판을 지지할 수 있어, 유리 기판에 변형이나 왜곡이나 상처 등이 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한 청구항 10에 있어서의 유지부 부착 유리 기판에 의하면, 유리 기판과 판유리의 접착을 접착제 등을 사용하지 않고 상온에서 용이하게 행하여 유지부를 형성할 수 있다.

또한 청구항 11에 있어서의 유지부 부착 유리 기판에 의하면, 유지부의 형성되는 위치가 유리 기판의 변 가장자리부이기 때문에 열처리 후에 제거되는 영역(유지부)을 가능한 한 작게 하여 수율의 향상을 꾀할 수 있다.

또한 청구항 12에 있어서의 유지부 부착 유리 기판에 의하면, 유지부의 돌출된 개소를 통해서 유지 지그에 의해서 유지하는 것이 가능해지고, 유리 기판의 평면부와 유지 지그가 간섭하여 그 유리 기판에 상처나 파손 등이 생길 우려를 저감할 수 있다.

또한 청구항 13에 있어서의 유지부 부착 유리 기판에 의하면, 유리 기판과 판유리의 열팽창율이 실질적과 같아지기 때문에, 예를 들면 열처리로 내에서 가열될 때에 있어서도 열팽창 차에 의해 생긴 상기 유리 기판 및 상기 판유리의 휘어짐이나 왜곡에 의해서 유리 기판으로부터 판유리가 박리되거나, 또는 유리 기판이나 판유리가 파손되는 사태를 효과적으로 방지할 수 있다.

또한 청구항 14에 있어서의 유리 기판 지지 유닛에 의하면, 직사각형 평판 형상의 유리 기판에 열처리를 실시할 때에 쓸데 없는 응력을 부가하지 않고 유리 기판을 지지할 수 있어, 유리 기판에 변형이나 왜곡이나 상처 등이 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한 청구항 15에 있어서의 유리 기판 지지 유닛에 의하면, 유지 지그에 의해 유리 기판의 변 가장자리부로부터 장력을 부여하면서 상기 유리 기판을 세로 자세(수직 자세), 또는 가로 자세(수평 자세)로 유지할 수 있기 때문에, 예를 들면 초박판의 유리 기판이여도 휨 등이 생기는 일도 없이 확실하게 유지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 사시도.
도 2는 제 1 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛이 설치된 열처리로를 나타낸 단면 정면도.
도 3은 마찬가지로, 열처리로를 나타낸 단면 측면도.
도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 사시도.
도 5는 마찬가지로, 제 2 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛을 나타낸 도면으로서, 클램프 기구부를 갖는 유지 지그를 구비하는 것으로 한 유리 기판 지지 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 사시도.
도 7은 제 3 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛에 있어서 유리 기판의 유지부의 근방을 나타낸 확대 측면도.
도 8은 마찬가지로, 제 3 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛을 나타낸 도면으로서, 클램프 기구부를 갖는 유지 지그를 구비하는 것으로 한 유리 기판 지지 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 사시도.
도 9는 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 도면으로서, (a)부분은 유리 기판이 수직 자세로 유지된 상태를 나타낸 사시도, (b)부분은 유리 기판이 수평 자세로 유지된 상태를 나타낸 사시도.
도 10은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 도면으로서, (a)부분은 유리 기판이 수직 자세로 유지된 상태를 나타낸 사시도, (b)부분은 유리 기판이 수평 자세로 유지된 상태를 나타낸 사시도.
도 11은 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛의 전체적인 구성을 나타낸 도면으로서, (a)부분은 유리 기판이 수직 자세로 유지된 상태를 나타낸 사시도, (b)부분은 유리 기판이 수평 자세로 유지된 상태를 나타낸 사시도.

이어서, 발명의 실시형태를 설명한다.

[유리 기판(1)(제 1 실시형태)]

우선, 본 발명을 구현화하는 제 1 실시형태에 의한 유리 기판(1)의 구성에 대해서, 도 1 내지 도 3을 사용하여 설명한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 1 내지 도 3의 상하 방향을 유리 기판(1)[또는 열처리로(50)]의 상하 방향으로 규정하여 기술한다.

또한, 도 1 및 도 3에 있어서는 화살표 A의 방향을 전방으로 규정해서 기술한다.

본 실시형태에 있어서의 유리 기판(1)은, 예를 들면 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 및 유기 EL 등으로 대표되는 플랫 패널 디스플레이나, 솔라 패널등에 사용되는 것이다.

유리 기판(1)은 유지부 부착 유리 기판이며, 도 1에 나타내는 바와 같이 기판 본체(10)를 구비하고, 그 기판 본체(10)에는 유지부(11)가 형성된다.

기판 본체(10)는 0.7[㎜] 이하(보다 구체적으로는, 10[㎛]∼700[㎛])의 판두께로 이루어지는 직사각형 평판 형상의 초박판의 판유리로 형성된다.

또한, 기판 본체(10)는 유리 기판(1)에 대하여 어닐 처리(열처리)를 실시할 때, 후술하는 유지 지그(2)에 의해서 유지부(11)를 유지함으로써 매달리고, 전후 방향(화살표 A와의 평행 방향)으로 판면을 향하면서 상하 방향(측면으로 볼 때에 화살표 A와의 직교 방향)으로 연장되는 세로 자세(수직 자세)로 유지된다.

그리고, 기판 본체(10)의 표면[화살표 A의 방향측(앞측)의 판면] 및 이면[화살표 A의 대향 방향측(뒷측)의 판면]에 있어서, 그 기판 본체(10)의 한 변의 변 가장자리부인 상변측의 변 가장자리부(이하, 「상측 변 가장자리부」라고 기재)(10a·10a)에는, 띠 형상의 판유리(11a·11a)가 상기 상변을 따라서 상온에서 각각 부착(접착)된다.

이러한, 기판 본체(10)의 표면 및 이면의 상측 변 가장자리부(10a·10a)에 각각 설치되는 판유리(11a·11a)에 의해 유지부(11)가 구성된다.

환언하면, 기판 본체(10)의 상단 근방[상측 변 가장자리부(10a)]에는 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부(11)가 형성된다.

또한, 유지부(11)의 형성 수단에 대해서는 본 실시형태에 나타내어지는 바와 같은 판유리(11a)를 사용하는 것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 예를 들면 유리 기판의 제조 공정에 있어서는 「오버플로우 다운드로우법」 및 「플로트법」의 어느 경우라도, 유리 리본(띠 형상의 박판 유리)이 냉각 롤러나 톱 롤 등에 의해서 폭 방향으로 신장되면서 성형된다.

이 때, 유리 리본의 측단부는 다른 영역에 비해서 두께 치수가 증가하게 되고, 이러한 측단부를 유지부(11)로서 이용하는 것도 가능하다.

그런데, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판(1)에 있어서 기판 본체(10)로의 판유리(11a)의 접착에 대해서는, 양 부재(10·11a)간의 면접촉에 따라 발현하는 접착력이 이용된다.

여기에서, 이러한 면접촉부에 생기는 접착력은 양 부재(10·11a)의 표면간에 있어서의 수소 결합, 또는 반데르왈스력으로부터 유래되는 것으로 생각되고 있고, 양 부재(10·11a)간의 접촉면의 표면 거칠기(Ra)가 2.0[㎚] 이하(바람직하게는, 0.5[㎚] 이하, 더욱 바람직하게는 0.2[㎚])인 경우에 발현되어지는 것이 알려져 있다.

또한, 기판 본체(10)로의 판유리(11a)의 접착에 대해서는 이러한 면접촉에 따라 발현되는 접착력을 이용하는 형태에 한정되는 것은 아니고, 기존의 접착제를 사용해도 관계없다.

또한, 기판 본체(10) 및 판유리(11a)의 재질에 대해서는 동일한 재질에 한정되는 것은 아니지만, 후술하는 바와 같이 열처리로(50)(도 2를 참조) 내에 있어서 열처리를 실시하는 것을 고려하면, 열팽창율이 실질적으로 상이하지 않고, 각각의 승온시 또는 강온시의 열팽창량에 차가 발생하기 어렵기 때문에 동일 재질로 하는 것이 바람직하다.

이러한 구성으로 이루어지는 유리 기판(1)의 상방에는 복수개(본 실시형태에 있어서는 2개)의 유지 지그(2·2)가, 유리 기판(1)을 지지하는 지지 수단으로서 기판 본체(10)의 상변을 따라 설치된다.

그리고, 유지 지그(2)에는 클램프 기구부(21)가 구비되고, 그 클램프 기구부(21)에 의해 기판 본체(10)의 유지부(11)를 전후 방향 양측으로부터 협지함으로써 유리 기판(1)은 유지 지그(2)에 의해 매달린다.

이상과 같은 구성으로 이루어지는 유리 기판(1) 및 유지 지그(2)에 의해 유리 기판 지지 유닛(100)이 구성된다.

또한, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판 지지 유닛(100)에 있어서 유지 지그(2)의 개수는 1개이여도 좋고, 3개 이상이어도 좋다.

그런데, 상술한 바와 같이 상온 상태의 유리 기판 지지 유닛(100)에 있어서 유지 지그(2)에 의해 협지되는 유지부(11)는 기판 본체(10)에 대하여 상온에서 접착되는 판유리(11a)에 의해서 구성된다.

여기에서, 유지부(11)가 기판 본체(10)에 대하여 상온에서 접착된 후에, 기판 본체(10) 및 판유리(11a)의 면접촉부가 어닐 공정을 거침으로써 300[℃] 이상으로 가열될 경우, 예를 들면 그 가열 온도가 기판 본체(10) 및 판유리(11a)의 왜점 중 낮은 쪽의 왜점 미만이면, 양자의 접착 상태는 융착은 되지 않지만 「박리 불능인 접착 상태」로 된다.

또한, 상기 가열 온도가 기판 본체(10) 및 판유리(11a)의 각각의 왜점 및 연화점 중 낮은 쪽의 왜점 이상이며 또한 낮은 쪽의 연화점 미만이면, 양자의 접착 상태는 「박리 불능이며, 또한 보다 강고한 접착 상태」로 된다.

이와 같이, 기판 본체(10) 및 판유리(11a)의 면접촉부가 300[℃] 이상으로 가열됨으로써 양자의 접착 상태가 「박리 불능인 접착 상태」, 또는 「박리 불능이며, 또한 보다 강고한 접착 상태」로 되었을 경우, 유지부(11)를 박리 제거할 수 없기 때문에 기판 본체(10)의 상측 변 가장자리부(10a)의 하방에 위치하는 절단 예정선(10b)을 따라서 기판 본체(10)를 절단함으로써 유지부(11)를 포함하는 소정의 영역이 제거되게 되어 있다.

한편, 기판 본체(10)의 하변측의 변 가장자리부(이하, 「하측 변 가장자리부」라고 기재)(10c)이 있어서, 예를 들면 유리 블록으로 이루어지는 추(도시하지 않음)를 설치하는 것은, 유지 지그(2)에 의해 매달리는 유리 기판(1)의 매달림 자세를 유지하는 점에서 보다 바람직하다.

여기에서, 상기 추의 기판 본체(10)로의 부착 방법으로서는, 예를 들면 추인 유리 블록의 소정 영역의 표면 거칠기(Ra)를 2.0[㎚](바람직하게는 0.5[㎚] 이하)로 하고, 상술한 면접촉에 따르는 접착력을 이용하여 상기 소정 영역을 기판 본체(10)의 하측 변 가장자리부(10c)에 직접 부착하는 방법이 생각된다.

단, 기판 본체(10)에 추를 부착할 때에는 그 추가 직접 부착되는 부위를 기판 본체(10)의 비유효 영역으로 하고, 도시하지 않는 절단 예정선을 따라서 어닐 공정 후에 그 비유효 영역을 절단하는 것이 바람직하다.

유리 기판 지지 유닛(100)에 있어서 유리 기판(1)의 하부에는 그 유리 기판(1)의 전후 방향으로의 위치 어긋남을 규제하기 위한 가이드 부재로서 가이드 핀(3)이 부설된다.

구체적으로는, 기판 본체(10)의 하단 근방(비유효 영역)의 좌우 방향(평면으로 볼 때 화살표 A와의 직교 방향) 양측에 있어서, 한쌍의 가이드 핀(3·3)이 각각 부설된다.

이 때, 이들 한쌍의 가이드 핀(3·3)은, 도 3에 나타내는 바와 같이 기판 본체(10)의 하단 근방의 표면측 및 이면측에 그 기판 본체(10)의 판면과 직교하는 방향으로 간극을 가진 상태에서 고정 설치되게 되고, 예를 들면 후술하는 열처리를 행할 때에 유효하게 이용된다.

이상과 같은 구성으로 이루어지는 유리 기판 지지 유닛(100)은, 예를 들면 열처리로(50) 내에 투입되어 열처리가 실시된다.

구체적으로는, 열처리로(50) 내에 투입된 복수의 유리 기판 지지 유닛(100·100…)은 각각의 유리 기판(1·1…)이 서로 병설된 상태에 의해서 수용된다.

즉, 복수의 유리 기판(1·1…)은 판면과 직교하는 방향을 따라 일직선 형상으로 병설된다.

여기에서, 열처리로(50) 내에 있어서 각 유지 지그(2)는 클램프 기구부(21)를 하방으로 향하면서 노 천정부에 설치되는 베이스 부재(51)의 하면에 대하여 마그넷 등을 통해서 착탈 가능하게 매달아 설치된다.

그리고, 이러한 유지 지그(2)에 의해서 기판 본체(10)의 유지부(11)가 협지됨으로써 각 유리 기판(1)은 세로 자세(수직 자세)로 매달린 상태로 유지된다.

또한, 열처리로(50) 내에 있어서 좌우 방향 양측의 노벽 하부에는 한쌍의 가이드 핀(3·3)이 그 열처리로(50)의 내부 공간에 대하여 출퇴 가능하게 각각 끼워져 설치된다.

그리고, 도 2에 나타내는 바와 같이 유리 기판(1)[보다 구체적으로는 기판 본체(10)]은 상기 한쌍의 가이드 핀(3·3)에 의해서 하단 근방의 좌우 방향 양단부를 각각 끼우고, 상술한 유지 지그(2)에 의해 매달린 상태로 유지된다.

이와 같이, 가이드 핀(3)에 의해서 유리 기판(1)의 하단 근방을 규제함으로써 열처리로(50) 내의 기류에 의한 유리 기판(1)으로의 악영향을 효과적으로 방지할 수 있다.

구체적으로는, 열처리로(50) 내에 있어서는 열처리로 내의 온도차나 그것에 의해서 생긴 압력차 등에 의해 기류가 발생하고 있고, 그 기류의 영향을 받아서 유리 기판(1)이 판면과 직교하는 방향으로 요동될 경우가 있다.

그러나, 본 실시형태에 있어서는 가이드 핀(3)에 의해서 유리 기판(1)의 하단 근방을 규제하고 있기 때문에 상기 기류의 영향을 받아서 유리 기판(1)이 요동될 일은 없는 것이다.

따라서, 유리 기판(1)의 부당한 요동은 제한되어, 서로 이웃하는 유리 기판(1·1)끼리의 접촉에 의한 파손 등이 효과적으로 방지된다.

또한, 기판 본체(10)의 유지부(11)에 있어서의 유지 지그(2)에 의해 협지되는 개소에 있어서, 유리 기판(1)의 요동에 따르는 슬라이딩에 의한 마모나 손상, 나아가서는 파손 등이 효과적으로 억제된다.

또한, 상술한 바와 같이, 예를 들면 유리 기판(1)의 하단에 추(도시하지 않음)를 설치할 경우 등에 있어서는 그 추에 의한 하방으로의 인장력이 유리 기판(1)에 작용하기 때문에, 그 유리 기판(1)의 부당한 요동이 더한층 제한된다.

그런데, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판(1)에 있어서는 기판 본체(10) 및 판유리(11a)의 어느 쪽이 동일 소재의 무알칼리 유리에 의해 형성되어 있다.

따라서, 양 부재(10·11a)의 열팽창률은 실질적으로 같고, 열처리로(50) 내에서 가열될 때에 있어서도 양자의 열팽창 차에 의해 휘어짐이나 왜곡이 생겨 기판 본체(10)로부터 판유리(11a)가 박리되거나, 또는 기판 본체(10)나 판유리(11a)가 파손되거나 하는 등과 같은 일은 거의 없다.

단, 열처리로(50) 내는 무알칼리 유리의 왜점(보다 구체적으로는 약 600℃∼700℃)보다 낮은 온도인 약 540℃로 가열되어 있기 때문에, 기판 본체(10)와 판유리(11a)의 면접촉부는 열처리 후에 있어서는 박리 불능으로 된다.

이것은 유리의 온도가 250℃∼300℃를 초과하면, 기판 본체(10)와 판유리(11a)의 면접촉부에 있어서의 수소 결합부에 있어서 탈수 반응이 진행되고, 상기 면 접촉부의 결합이 보다 강력한 접착력을 발생시키는 공유결합으로 변화되기 때문이라고 여겨지고 있다.

이와 같이, 열처리가 종료되고 열처리로(50) 내로부터 유리 기판 지지 유닛(100)이 인출된 직후에 있어서는, 기판 본체(10)와 판유리(11a)가 박리 불능으로 되어 있기 때문에 클램프 기구부(21)를 개방하여 유지 지그(2)로부터 유리 기판(1)을 탈착시킨 후, 절단 예정선(10b)을 따라서 기판 본체(10)를 절단할 필요가 있다.

또한, 기판 본체(10)의 절단은 스크라이브 형성 후의 브레이킹, 레이저 할단, 굽힘 응력을 부여한 할단 등에 의해 행하여진다.

이상과 같은 처리의 실행에 의해서, 상처나 왜곡을 갖지 않는 고품위의 유리 기판(1)이 제조된다.

또한, 본 실시형태에 있어서는 상술한 바와 같이, 노 천정부의 베이스 부재(51)의 하면에 매달아 설치되는 유지 지그(2)에 의해서 유리 기판(1)을 세로 자세(수직 자세)로 매달린 상태로 유지하는 것으로 하고 있지만, 예를 들면 상기 유지 지그(2) 대신에, 도시하지 않는 반송 수단에 의해 매달린 상태로 유리 기판(1)을 반송시키면서 열처리나, 다른 가공 처리 등을 행해도 된다. 이 경우, 가이드 핀(3)을 설치할 필요가 없는 것은 말할 필요도 없다.

이것에 의해, 복수의 유리 기판(1·1…)을 세로 자세로 직렬로 배열시킨 상태에서 연속해서 열처리나 검사 처리 등을 행하는 것이 가능해진다.

[유리 기판(201)(제 2 실시형태)]

이어서, 본 발명을 구현화하는 제 2 실시형태에 의한 유리 기판(201)의 구성에 대해서 도 4 및 도 5를 사용하여 설명한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 4 및 도 5의 상하 방향을 유리 기판(201)의 상하 방향으로 규정해서 기술한다.

또한, 도 4 및 도 5에 있어서는 화살표 A의 방향을 전방으로 규정해서 기술한다.

제 2 실시형태에 있어서의 유리 기판(201)은 상술한 제 1 실시형태에 있어서의 유리 기판(1)과 대략 동등한 구성을 갖는 한편, 기판 본체(210)에 형성되는 유지부(211)의 구성에 대해서 상기 유리 기판(1)과 상이하다.

따라서, 이하의 설명에 있어서는 주로 유리 기판(1)(제 1 실시형태)과의 상이점에 대해서 기재하고, 상기 유리 기판(1)과의 동등한 구성에 대한 기재는 생략한다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 기판 본체(210)의 표면 및 이면에 있어서 그 기판 본체(210)의 한 변의 변 가장자리부인 상변측의 변 가장자리부(이하, 「상측 변 가장자리부」라고 기재)(210a·210a)에는, 띠 형상의 판유리(211a·211a)가 상기 상변을 따라서 상온에서 각각 부착(접착)된다.

구체적으로는, 각 판유리(211a)의 길이 방향의 치수는 기판 본체(210)의 상변의 치수에 비해서 충분히 길게 설정되어 있다.

그리고, 판유리(211a)는 기판 본체(210)의 상측 변 가장자리부(210a)에 있어서 상변을 따르면서 길이 방향의 양측 단부가 그 기판 본체(210)의 좌우 방향(평면으로 볼 때에 화살표 A와의 직교 방향)을 향해서 연장되도록 해서 설치된다.

이러한, 기판 본체(210)의 표면 및 이면의 상측 변 가장자리부(210a·210a)에 설치되는 판유리(211a·211a)에 의해 유지부(211)가 구성된다.

환언하면, 기판 본체(210)의 상단 근방[상측 변 가장자리부(210a)]에는 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부(211)가 형성된다. 또한, 상기 유지부(211)는 기판 본체(210)의 좌우 방향 양측으로 연장되도록 상기 기판 본체(210)보다 외부로 돌출되어 형성된다.

그리고, 본 실시형태에 있어서는, 통상 복수개(본 실시형태에 있어서는 2개)의 빔으로 이루어지는 유지 지그(203·203)가 구비되고, 그 유지 지그(203·203)에 의해서 유지부(211)의 좌우 방향 양측의 연장부를 각각 걸어 고정함으로써 유리 기판(201)은 매달린 상태로 유지된다.

여기에서, 유지 지그(203)에 있어서는 미리 상면에 직사각형상의 홈부(203a)를 형성해 두면, 그 홈부(203a)를 통해서 유지부(211)를 걸어 고정함으로써 유지 지그(203)에 대한 유리 기판(201)의 위치 어긋남을 규제할 수 있기 때문에 보다 바람직하다.

이와 같이, 제 2 실시형태에 있어서의 유리 기판(201)에 있어서는 유지 지그(203)에 의해 유지되는 개소가 기판 본체(210)로부터 이간된 유지부(211)의 연장부이기 때문에, 예를 들면 그 기판 본체(210)의 유효 영역[절단 예정선(210b)보다 하측의 부위]에 그 유지 지그(202)가 간섭하고, 상기 기판 본체(210)에 상처나 파손 등이 생길 우려도 없다.

그런데, 도 5에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판(201)은 클램프 기구부(221)를 구비하는 유지 지그(202)에 의해서 매달린 상태로유지되는 구성으로 해도 좋다.

이 경우, 구체적인 구성으로서는 복수개(본 실시형태에 있어서는 2개)의 유지 지그(202·202)를 사용하여 유지부(211)의 좌우 방향 양측의 연장부를 각각 협지하여 유리 기판(201)을 매달린 상태로 유지하게 된다.

이상과 같은 구성으로 이루어지는 유리 기판(201) 및 유지 지그(202)(또는 203)에 의해서 유리 기판 지지 유닛(200)이 구성된다.

또한, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판 지지 유닛(200)에 있어서 유지 지그(202)(또는 203)의 개수는 3개 이상이어도 좋다.

[유리 기판(301)(제 3 실시형태)]

이어서, 본 발명을 구현화하는 제 3 실시형태에 의한 유리 기판(301)의 구성에 대해서 도 6 내지 도 8을 사용하여 설명한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 6 내지 도 8의 상하 방향을 유리 기판(301)의 상하 방향으로 규정해서 기술한다.

또한, 도 6 내지 도 8에 있어서는 화살표 A의 방향을 전방으로 규정해서 기술한다.

제 3 실시형태에 있어서의 유리 기판(301)은 상술한 제 1 실시형태에 있어서의 유리 기판(1)과 대략 동등한 구성을 갖는 한편, 기판 본체(310)에 형성되는 유지부(311)의 구성에 대해서 상기 유리 기판(1)과 상이하다.

따라서, 이하의 설명에 있어서는 주로 유리 기판(1)(제 1 실시형태)과의 상이점에 대해서 기재하고, 그 유리 기판(1)과의 동등한 구성에 대한 기재는 생략한다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 기판 본체(310)의 표면 및 이면에 있어서 그 기판 본체(310)의 한 변의 변 가장자리부인 상변측의 변 가장자리부(이하, 「상측 변 가장자리부」라고 기재)(310a·310a)에는 복수개의 띠 형상의 판유리(311a·311a…)가 상온에서 각각 부착(접착)된다.

구체적으로는, 기판 본체(310)의 각 상측 변 가장자리부(310a)에 있어서 1세트(본 실시형태에 있어서는 3매 1세트)의 판유리(311a·311a·311a)가 두께 방향으로 적층되면서 상기 상변을 따라 설치된다.

이러한 기판 본체(310)의 표면 및 이면의 상측 변 가장자리부(310a·310a)에 설치되는 복수의 판유리(311a·311a…)에 의해서 유지부(311)가 구성된다.

환언하면, 기판 본체(310)의 상단 근방[상측 변 가장자리부(310a)]에는 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부(311)가 형성된다. 또한, 유지부(311)는 기판 본체(310)의 표면측 및 이면측에 있어서 다른 부재에 걸어 고정할 수 있는 정도의 충분한 두께 치수를 가지고 형성된다.

그리고, 본 실시형태에 있어서는, 통상 복수개(본 실시형태에 있어서는 2개)의 빔으로 이루어지는 유지 지그(303·303)가 유지부(311)를 따라서 구비되고, 그 유지 지그(303·303)에 의해서 유지부(311)를 걸어 고정함으로써 유리 기판(301)은 매달린 상태로 유지된다.

구체적으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 기판 본체(310)의 표면 및 이면에 있어서 단면으로 볼 때 직사각형상의 빔으로 이루어지는 유지 지그(303·303)가 유지부(311)의 하방, 또한 그 유지부(311)를 따라 설치된다. 또한, 각 유지 지그(303)의 상면에 유지부(311)가 하면을 통해서 걸어 고정된다. 이것에 의해, 유리 기판(301)은 유지 지그(303·303)에 의해 매달린 상태로 유지된다.

또한, 유지 지그(303)의 지지 방법으로서는, 예를 들면 열처리로(50) 내의 좌우 방향 양측의 노벽 상부에 있어서 단면으로 볼 때 오목 형상의 지지 부재(52·52)를 돌출시키고, 그 지지 부재(52·52)에 의해서 유지 지그(303)의 양단부를 걸어 고정시키는 방법이 고려된다.

이와 같이, 제 3 실시형태에 있어서의 유리 기판(301)에 있어서는 유지 지그(303)에 의해서 그 유리 기판(301)을 지지할 때에 유지부(311)를 협지하지 않기 때문에, 유지 지그(303)에 대한 유리 기판(301)의 위치가 그다지 견고에 고정되는 일도 없고, 불의의 외력에 의해서 유리 기판(301)에 상처나 파손 등이 생길 우려도 없는 것이다.

또한, 본 실시형태에 있어서는 기판 본체(310)의 상변과 대략 동일한 길이 치수로 이루어지는 판유리(311a)에 의해서 유지부(311)를 구성하는 것으로 하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 상술한 제 2 실시형태에 있어서의 유리 기판(201)과 마찬가지로, 기판 본체(310)의 상변에 비해서 충분히 긴 길이 치수로 이루어지는 판유리에 의해서 유지부(311)를 구성하는 것으로 해도 된다. 이 경우, 유지부(311)는 기판 본체(310)의 좌우 방향 양측으로 연장되도록 돌출되어 형성되게 된다.

따라서, 유리 기판(301)은 기판 본체(310)로부터 좌우 방향으로 연장되는 유지부(311)의 양단부에 있어서 유지 지그(302)의 클램프 기구(321)의 선단부에 의해 걸려 고정되면서 매달린 상태로 유지되는 것이 가능해진다.

따라서, 기판 본체(310)의 유효 영역에 유지 지그(302)가 간섭하고, 그 기판 본체(310)에 상처나 파손 등이 보일 우려는 없다.

그런데, 도 8에 나타내는 바와 같이 본 실시형태에 있어서의 유리 기판(301)은 클램프 기구부(321)를 구비하는 유지 지그(302)에 의해서 매달린 상태로 유지되는 구성으로 해도 된다.

이 경우, 구체적인 구성으로서는 유지 지그(302)의 클램프 기구(321)의 선단부에 의해서 유지부(311)를 걸어 고정하여 유리 기판(301)을 매달린 상태로 유지하게 된다.

이상과 같은 구성으로 이루어지는 유리 기판(301) 및 유지 지그(302)(또는 303)에 의해서 유리 기판 지지 유닛(300)이 구성된다.

또한, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판 지지 유닛(300)에 있어서 유지 지그(302)(또는 303)의 개수는 1개이여도 좋고, 3개 이상이어도 좋다.

[유리 기판(401)(제 4 실시형태)]

이어서, 본 발명을 구현화하는 제 4 실시형태에 의한 유리 기판(401)의 구성에 대해서, 도 9를 사용하여 설명한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 9의 상하 방향을 유리 기판(401)의 상하 방향으로 규정해서 기술한다.

또한, 도 9에 있어서는 화살표 A의 방향을 전방으로 규정해서 기술한다.

제 4 실시형태에 있어서의 유리 기판(401)은 상술한 제 1 실시형태에 있어서의 유리 기판(1)과 대략 동등한 구성을 갖는 한편, 기판 본체(410)에 형성되는 유지부(411)의 구성에 대해서 상기 유리 기판(1)과 상이하다.

도 9(a)에 나타내는 바와 같이, 기판 본체(410)의 표면에 있어서의 대향하는 2변의 변 가장자리부, 즉 상변측의 변 가장자리부(이하, 「상측 변 가장자리부」라고 기재)(410a)와 하변측의 변 가장자리부(이하, 「하측 변 가장자리부」라고 기재)(410c), 및 상기 기판 본체(410)의 이면에 있어서의 대향하는 2변의 변 가장자리부, 즉 상측 변 가장자리부(410a)와 하측 변 가장자리부(410c)에는 띠 형상의 판유리(411a·411a…)가 상기 상변 및 하변을 따라 상온에서 각각 부착(접착)된다.

이러한 기판 본체(410)의 표면에 있어서의 상측 변 가장자리부(410a)와 하측 변 가장자리부(410c), 및 상기 기판 본체(410)의 이면에 있어서의 상측 변 가장자리부(410a)와 하측 변 가장자리부(410c)에 각각 설치되는 복수의 판유리(411a·411a…)에 의해서 유지부(411·411)가 구성된다.

환언하면, 기판 본체(410)의 상단 근방[상측 변 가장자리부(410a)] 및 하단 근방[하측 변 가장자리부(410c)]에는 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부(411·411)가 각각 형성된다.

따라서, 제 4 실시형태에 있어서의 유리 기판(401)에 있어서는 복수의 유지 지그(402·402…)의 클램프 기구부(421·421…)를 사용하여 기판 본체(410)의 상하 방향(측면으로 볼 때에 화살표 A와의 직교 방향) 양측의 유지부(411·411)를 동시에 협지하여, 유리 기판(401)이 매달린 상태로 유지하는 것이 가능해진다.

즉, 유리 기판(401)에 있어서는 기판 본체(410)의 상하 방향 양측의 유지부(411·411)를 통해서 유지 지그(402)에 의해 지지할 수 있기 때문에, 예를 들면 유리 기판(401)이 상하 방향으로 연장되는 대형의 유리 기판이여도 보다 견고하게 유리 기판(401)의 매달림 자세를 유지하는 것이 가능해져서 유리 기판(401)의 요동을 확실하게 방지할 수 있는 것이다.

또한, 본 실시형태에 있어서는 유리 기판(401)이 수직 자세로 유지되어 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 도 9(b)에 나타내는 바와 같이 수평 자세로 유지되는 구성으로 해도 된다.

이 경우, 유지 지그(402)에 의해서 전후 방향(화살표 A와의 평행 방향)으로 장력을 가함으로써 휨 등이 생기는 일없이 유리 기판(401)을 확실하게 지지할 수 있다.

이상과 같은 구성으로 이루어지는 유리 기판(401) 및 유지 지그(402)에 의해서 유리 기판 지지 유닛(400)이 구성된다.

또한, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판 지지 유닛(400)에 있어서 기판 본체(410)의 각 유지부(411)를 지지하는 유지 지그(402)의 개수는 3개 이하이여도 좋고, 5개 이상이라도 좋다.

[유리 기판(501)(제 5 실시형태)]

이어서, 본 발명을 구현화하는 제 5 실시형태에 의한 유리 기판(501)의 구성에 대해서 도 10을 사용하여 설명한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 10의 상하 방향을 유리 기판(501)의 상하 방향으로 규정해서 기술한다.

또한, 도 10에 있어서는, 화살표 A의 방향을 전방으로 규정해서 기술한다.

제 5 실시형태에 있어서의 유리 기판(501)은 상술한 제 1 실시형태에 있어서의 유리 기판(1)과 대략 동등한 구성을 갖는 한편, 기판 본체(510)에 형성되는 유지부(511)의 구성에 대해서 상기 유리 기판(1)과 상이하다.

도 10(a)에 나타내는 바와 같이, 기판 본체(510)의 표면에 있어서의 대향하는 2변의 변 가장자리부, 즉 우변측의 변 가장자리부(이하, 「우측 변 가장자리부」라고 기재)(510d)와 좌변측의 변 가장자리부(이하, 「좌측 변 가장자리부」라고 기재)(510e), 및 상기 기판 본체(510)의 이면에 있어서의 대향하는 2변의 변 가장자리부, 즉 우측 변 가장자리부(510d)와 좌측 변 가장자리부(510e)에는 띠 형상의 판유리(511a·511a…)가, 상기 우변 및 좌변을 따라서 상온에서 각각 부착(접착)된다.

이러한, 기판 본체(510)의 표면에 있어서의 우측 변 가장자리부(510d)와 좌측 변 가장자리부(510e), 및 상기 기판 본체(510)의 이면에 있어서의 우측 변 가장자리부(510d)와 좌측 변 가장자리부(510e)에 각각 설치되는 복수의 판유리(511a·511a…)에 의해서 유지부(511·511)가 구성된다.

환언하면, 기판 본체(510)의 우단 근방[우측 변 가장자리부(510d)] 및 좌단 근방[좌측 변 가장자리부(510e)]에는 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부(511·511)가 각각 형성된다.

따라서, 제 5 실시형태에 있어서의 유리 기판(501)에 있어서는 복수의 유지 지그(502·502…)의 클램프 기구부(521·521…)를 사용하여 기판 본체(510)의 좌우 방향(평면으로 볼 때에 화살표 A와의 직교 방향) 양측의 유지부(511·511)를 동시에 협지하여 유리 기판(501)의 자세를 유지하는 것이 가능해진다.

즉, 유리 기판(501)에 있어서는 기판 본체(510)의 좌우 방향 양측의 유지부(511·511)를 통해서 유지 지그(502)에 의해 지지할 수 있기 때문에, 예를 들면 유리 기판(501)이 좌우 방향으로 연장되는 대형의 유리 기판이여도 보다 견고하게 유리 기판(501)의 자세를 유지하는 것이 가능해져서 유리 기판(501)의 요동을 확실하게 방지할 수 있는 것이다.

또한, 본 실시형태에 있어서는 유리 기판(501)이 수직 자세로 유지되어 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 도 10(b)에 나타내는 바와 같이 수평 자세로 유지되는 구성으로 해도 된다.

이 경우, 유리 기판(501)을 유지하는 자세가 수직 자세, 또는 수평 자세의 어느 경우에도, 유지 지그(502)에 의해서 좌우 방향으로 장력을 가함으로써 휨 등이 생기는 일없이 유리 기판(501)을 확실하게 유지할 수 있다.

이상과 같은 구성으로 이루어지는 유리 기판(501) 및 유지 지그(502)에 의해서 유리 기판 지지 유닛(500)이 구성된다.

또한, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판 지지 유닛(500)에 있어서 기판 본체(510)의 각 유지부(511)를 지지하는 유지 지그(502)의 개수는 3개 이하이여도 좋고, 5개 이상이라도 좋다.

[유리 기판(601)(제 6 실시형태)]

이어서, 본 발명을 구현화하는 제 6 실시형태에 의한 유리 기판(601)의 구성에 대해서 도 11을 사용하여 설명한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 9의 상하 방향을 유리 기판(601)의 상하 방향으로 규정해서 기술한다.

또한, 도 11에 있어서는 화살표 A의 방향을 전방으로 규정해서 기술한다.

제 6 실시형태에 있어서의 유리 기판(601)은 상술한 제 1 실시형태에 있어서의 유리 기판(1)과 대략 동등한 구성을 갖는 한편, 기판 본체(610)에 형성되는 유지부(611)의 구성에 대해서 상기 유리 기판(1)과 상이하다.

따라서, 이하의 설명에 있어서는 주로 유리 기판(1)(제 1 실시형태)과의 상이점에 대해서 기재하고, 상기 유리 기판(1)과의 동등한 구성에 관한 기재는 생략한다.

도 11(a)에 나타내는 바와 같이, 기판 본체(610)의 표면에 있어서의 4변 모두의 변 가장자리부, 즉 상기 기판 본체(610)의 상변측의 변 가장자리부(이하, 「상측 변 가장자리부」라고 기재)(610a)와 하변측의 변 가장자리부(이하, 「하측 변 가장자리부」라고 기재)(610c), 및 우변측의 변 가장자리부(이하, 「우측 변 가장자리부」라고 기재)(610d)와 좌변측의 변 가장자리부(이하, 「좌측 변 가장자리부」라고 기재)(610e)에는 띠 형상의 판유리(611a·611a…)가 상기 상변과 하변, 및 상기 우변과 좌변을 따라 상온에서 각각 부착(접착)된다.

또한, 기판 본체(610)의 이면에 있어서의 4변 모두의 변 가장자리부, 즉 상기 기판 본체(610)의 상변측의 변 가장자리부(이하, 「상측 변 가장자리부」라고 기재)(610a)와 하변측의 변 가장자리부(이하, 「하측 변 가장자리부」라고 기재)(610c), 및 우변측의 변 가장자리부(이하, 「우측 변 가장자리부」라고 기재)(610d)와 좌변측의 변 가장자리부(이하, 「좌측 변 가장자리부」라고 기재)(610e)에는 띠 형상의 판유리(611a·611a…)가 상기 상변과 하변, 및 상기 우변과 좌변을 따라 상온에서 각각 부착(접착)된다.

이러한, 기판 본체(610)의 표면에 있어서의 상측 변 가장자리부(610a), 하측 변 가장자리부(610c), 우측 변 가장자리부(610d), 및 좌측 변 가장자리부(610e), 및 상기 기판 본체(610)의 이면에 있어서의 상측 변 가장자리부(610a), 하측 변 가장자리부(610c), 우측 변 가장자리부(610d), 및 좌측 변 가장자리부(610e)에 각각 설치되는 복수의 판유리(611a·611a…)에 의해서 유지부(611·611…)가 구성된다.

환언하면, 기판 본체(610)의 상단 근방[상측 변 가장자리부(610a)], 하단 근방[하측 변 가장자리부(10c)], 우단 근방[우측 변 가장자리부(610d)], 및 좌단 근방[좌측 변 가장자리부(610e)]에는 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부(611·611…)가 각각 형성된다.

따라서, 제 6 실시형태에 있어서의 유리 기판(601)에 있어서는 복수의 유지 지그(602·602…)의 클램프 기구부(621·621…)를 사용하여 기판 본체(610)의 상하 방향(측면으로 볼 때에 화살표 A와의 직교 방향) 양측 및 좌우 방향(평면으로 볼 때에 화살표 A와의 직교 방향) 양측의 유지부(611·611…)를 동시에 협지하여 유리 기판(601)의 자세를 유지하는 것이 가능해진다.

즉, 유리 기판(601)에 있어서는 기판 본체(610)의 주위에 위치하는 유지부(611·611…)를 통해서 유지 지그(602)에 의해서 지지할 수 있기 때문에, 예를 들면 유리 기판(601)이 어떠한 대형의 유리 기판이여도 보다 견고하게 유리 기판(601)의 자세를 유지하는 것이 가능해져서 유리 기판(601)의 요동을 확실하게 방지할 수 있는 것이다.

또한, 본 실시형태에 있어서는 유리 기판(601)이 수직 자세로 유지되어 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 도 11(b)에 나타내는 바와 같이 수평 자세로 유지되는 구성으로 해도 된다.

단, 유리 기판(601)을 유지하는 자세가 수직 자세, 또는 수평 자세 중 어느 경우이여도 유지 지그(602)에 의해서 전후 방향(화살표 A와의 평행 방향), 또한 좌우 방향으로 장력을 가함으로써 휨 등이 생기는 일없이 유리 기판(601)을 확실하게 유지할 수 있다.

이상과 같은 구성으로 이루어지는 유리 기판(601) 및 유지 지그(602)에 의해서 유리 기판 지지 유닛(600)이 구성된다.

또한, 본 실시형태에 있어서의 유리 기판 지지 유닛(600)에 있어서 기판 본체(610)의 각 유지부(611)를 지지하는 유지 지그(602)의 개수는 7개 이하이여도 좋고, 9개 이상이어도 좋다.

또한, 본 실시형태에 있어서 절단 예정선(610b)의 연장선 상에는 각 유지부(611)가 형성되어 있지 않은 것이 바람직하다.

[검증 실험]

이어서, 본 발명을 구현화하는 제 1 내지 제 6 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛(100·200 … 600)에 대해서, 그 유효성을 판단하기 위해서 본 발명자들이 행한 검증 실험에 대하여 설명한다.

우선 처음에, 본 발명자들은 본 발명의 실시형태의 샘플로서 실시예 1, 2, 3, 4인 유리 기판을 준비했다. 또한, 이들 샘플의 비교 대상으로서 비교예 1, 2, 3, 4, 5인 유리 기판을 준비했다.

여기에서, 실시예 1, 3, 4, 및 비교예 1, 2, 3, 4의 유리 기판에 대해서는, 무알칼리 유리(니폰 덴키 가라스(주)제: OA-11)를 사용하는 한편, 실시예 2 및 비교예 5의 유리 기판에 대해서는 무알칼리 유리(니폰 덴키 가라스(주)제: OA-10G)를 사용하는 것으로 했다.

또한, 이 때의 유리 기판의 사이즈에 대해서는 실시예 1, 2, 3, 4, 및 비교예 4, 5에 있어서, 가로: 730[㎜], 세로 1020[㎜]로 하는 한편, 비교예 1, 2, 3에 있어서, 가로: 730[㎜], 세로 920[㎜]로 하는 것으로 했다.

또한, 유리 기판의 사이즈가 다른 것은 그 유리 기판의 지지 방법이 다르기 때문이며, 매달림 지지의 경우에는 열처리 후에 유지부를 절단할 필요가 있기 때문에 세로 방향의 치수를 크게 설정하는 것으로 했다.

단, 이 때의 유리 기판의 두께에 대해서는 실시예 1, 3, 4, 및 비교예 1, 2, 4에 있어서 0.5[㎜]로 하는 한편, 실시예 2, 및 비교예 3, 5에 있어서 0.3[㎜]으로 하는 것으로 했다.

유리 기판의 지지 방법에 대해서, 실시예 1, 2, 3, 4에 있어서는 상술한 면접촉에 따라 발현되는 접착력을 이용하여 기판 본체의 상단 근방에 띠 형상의 판유리를 부착시켜서 유지부를 형성하고, 복수의 유지 지그에 의해서 그 유지부를 협지(또는 걸어서 고정)하면서 유리 기판을 매달아 지지하는 것으로 했다.

이 때, 실시예 1, 2에 있어서는 기판 본체의 표면 및 이면의 각각의 상측 변 가장자리부에 대하여 70[㎜]의 폭 치수를 갖는 띠 형상의 판유리(니폰 덴키 가라스(주)제: OA-10G, 두께 0.5[㎜])를 각각 부착시킴으로써 유지부를 형성하는 것으로 했다.

또한, 상기 유지부를 협지하는 유지 지그로서는 상기 유지부와 접촉하는 클램프 기구부의 선단면의 형상이, 한 변 50[㎜]의 정방 형상으로 되어 있는 것을 채용하는 것으로 했다.

또한, 실시예 3에 있어서는 기판 본체의 표면 및 이면의 각각의 상측 변 가장자리부에 대하여 70[㎜]의 폭 치수를 갖는 띠 형상의 판유리(니폰 덴키 가라스(주)제: OA-10G, 두께 0.5[㎜])를 3장 1세트로 해서 적층하면서 각각 부착시킴으로써 유지부를 형성하는 것으로 했다.

단, 유지 지그에 의한 지지 방법으로서는 상기 유지부와 기판 본체의 단차를 이용하여 클램프 기구부의 선단부에 의해 상기 유지부를 걸어 고정하는 것으로 했다.

또한, 실시예 4에 있어서는 기판 본체의 표면 및 이면의 각각의 상측 변 가장자리부에 대하여 50[㎜]의 폭 치수를 갖는 띠 형상의 판유리(니폰 덴키 가라스(주)제: OA-10G, 두께 0.5[㎜])를, 상기 기판 본체의 폭 방향 양측을 향해서 각각 50[㎜] 연장하도록 해서 부착시킴으로써 유지부를 형성하는 것으로 했다.

또한, 유지 지그에 의한 지지 방법으로서는 상기 유지부의 연장 부위를 유지 지그에 걸어 고정하는 것으로 했다.

한편, 비교예 1에 있어서는 유리 기판의 주위 치수(세로 치수, 및 가로 치수)에 비교하여 각각 10[㎜]씩 큰 치수로 이루어지는 결정화 유리제의 지지판(세터)을 준비하고, 그 지지판 상에 적재함으로써 유리 기판을 수평 자세로 지지하는 것으로 했다.

또한, 비교예 2, 3에 있어서는 결정화 유리제의 지지 부재를 준비하고, 그 지지 부재에 대하여 기대어 세움으로써 유리 기판을 수직 자세로 지지하는 것으로 했다.

또한, 비교예 4, 5에 있어서는 복수의 유지 지그에 의해 기판 본체의 상측 변 가장자리부를 직접 협지하면서 유리 기판을 매달아 지지하는 것으로 했다.

또한, 비교예 4, 5에 있어서의 유지 지그의 클램프 기구부의 선단면의 형상은, 상술한 실시예 1, 2에 있어서 채용되는 유지 지그와 동등하게 했다.

이상에 나타낸 실시예 1, 2, 3, 4, 및 비교예 1, 2, 3, 4, 5에 의한 각각의 유리 기판에 대하여, 승온 속도 10[℃/min], 열처리 온도 540[℃]인 조건 하에 열처리를 실시했다.

또한, 열처리 후는 3단계로 나누어서 온도를 실온까지 저하시켰다.

또한, 실시예 2, 및 비교예 5에 대해서는 다른 실시예 및 비교예에 비교하여 충분하게 시간을 들이면서 온도를 저하시켰다.

그리고, 실시예 1, 2, 3, 4, 및 비교예 4, 5에 대해서는 실온까지 온도를 저하시킨 후, 유지 지그에 의해 지지되어 있었던 상측 변 가장자리부를 레이저 할단에 의해서 잘라냄으로써 소정의 사이즈(가로: 730[㎜], 세로 920[㎜])로 이루어지는 유리 기판을 얻는 것으로 했다.

이와 같이 하여 얻어진, 실시예 1, 2, 3, 4, 및 비교예 1, 2, 3, 4, 5에 의한 소정 사이즈의 유리 기판에 대하여, 유효 영역 내에 있어서의 표면 상의 상처의 유무나, 열처리 중에 발생한 크랙에 기인하는 파지부의 파손의 유무나, 좌굴에 의한 유리 기판의 변형의 유무에 대해서 평가하고, [표 1] 및 [표 2]에 의해 나타내어지는 결과를 얻을 수 있었다.

또한, 평가 결과에 있어서 ○은 양품 레벨, ×은 불량품 레벨인 것을 나타낸다.

[표 1]에 나타내는 바와 같이, 실시예 1, 2, 3, 4에 있어서는 상처나 파손이나 변형의 유무에 대해서 어느에 있어서도 문제는 보여지지 않았다.

그러나, [표 2]에 나타내는 바와 같이, 비교예 1, 2, 3, 4, 5에 있어서는 어느 것에 있어서나 무엇인가의 문제가 보여졌다.

이상의 결과로부터, 본 발명을 구현화하는 제 1 내지 제 6 실시형태에 의한 유리 기판 지지 유닛(100·200 … 600)을 사용해서 열처리를 행함함으로써 상처나 파손이나 변형의 어느 쪽도 발생하지 않는 양질의 유리 기판을 제조할 수 있는 것이 명확하게 되었다.

(산업상의 이용 가능성)

본 발명의 유지부 부착 유리 기판, 유리 기판의 열처리 방법, 및 유리 기판 지지 유닛은, 예를 들면 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 및 유기 EL 등으로 대표되는 플랫 패널 디스플레이나, 솔라 패널 등에 사용되는, 직사각형 평판 형상의 유리 기판의 열처리에 이용할 수 있다.

1 : 유리 기판
10a : 변 가장자리부(상측 변 가장자리부)
11 : 유지부 201 : 유리 기판
210a : 변 가장자리부(상측 변 가장자리부)
211 : 유지부 301 : 유리 기판
310a : 변 가장자리부(상측 변 가장자리부)
311 : 유지부 401 : 유리 기판
410a : 변 가장자리부(상측 변 가장자리부)
410c : 변 가장자리부(하측 변 가장자리부)
411 : 유지부 501 : 유리 기판
510d : 변 가장자리부(우측 변 가장자리부)
510e : 변 가장자리부(좌측 변 가장자리부)
511 : 유지부 601 : 유리 기판
610a : 변 가장자리부(상측 변 가장자리부)
610c : 변 가장자리부(하측 변 가장자리부)
610d : 변 가장자리부(우측 변 가장자리부)
610e : 변 가장자리부(좌측 변 가장자리부)
611 : 유지부

Claims

직사각형 평판 형상의 유리 기판에 열처리를 실시할 때의 유리 기판의 열처리 방법으로서,
유리 기판의 변 가장자리부에 다른 영역에 비해서 판두께가 두꺼운 유지부를 형성하고,
그 유지부를 통해서 상기 유리 기판을 유지하면서 상기 유리 기판에 열처리를 실시하고,
그 열처리의 종료 후, 상기 유지부를 포함하는 소정의 영역을 상기 유리 기판으로부터 제거하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 열처리 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 유지부는 상기 유리 기판에 띠 형상의 판유리를 부착함으로써 형성되고,
상기 유리 기판과 상기 판유리는 직접 면접촉되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 열처리 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 유지부는 상기 유리 기판보다 외부로 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 열처리 방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유리 기판은 상기 유지부를 협지함으로써 유지되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 열처리 방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유리 기판은 상기 유지부를 걸어 고정함으로써 유지되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 열처리 방법.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유리 기판은 매달린 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 열처리 방법.
제 6 항에 있어서,
상기 유리 기판은 복수개 구비되고,
상기 유리 기판의 판면과 직교하는 방향을 따라서 일직선 형상으로 병설되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 열처리 방법.
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
상기 유리 기판의 하단 근방은,
상기 유리 기판의 판면과 직교하는 방향을 따라서 병설되는 한쌍의 가이드 부재의 간극에 배치되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 열처리 방법.
직사각형 평판 형상의 유리 기판과,
그 유리 기판의 변 가장자리부에 다른 영역에 비해서 판두께가 두껍게 형성되고, 상기 유리 기판의 열처리시에 유지되는 유지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 유지부 부착 유리 기판.
제 9 항에 있어서,
상기 유지부는 상기 유리 기판에 띠 형상의 판유리를 부착함으로써 형성되고,
상기 유리 기판과 상기 판유리는 직접 면접촉되는 것을 특징으로 하는 유지부 부착 유리 기판.
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
상기 유지부는 상기 유리 기판의 한 변의 변 가장자리부에 형성되는 것을 특징으로 하는 유지부 부착 유리 기판.
제 11 항에 있어서,
상기 유지부는 상기 유리 기판보다 외부로 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유지부 부착 유리 기판.
제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유리 기판과 상기 판유리는 동일한 재질에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유지부 부착 유리 기판.
제 9 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 기재된 유리 기판과,
클램프 기구부를 갖고, 그 클램프 기구부에 의해 상기 유지부를 협지하거나, 또는 그 클램프 기구부에 상기 유지부를 걸어 고정함으로써 상기 유리 기판을 유지하는 유지 지그를 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지 유닛.
제 14 항에 있어서,
상기 유지부는 상기 유리 기판에 있어서 대향하는 2변의 변 가장자리부, 또는 4변 모두의 변 가장자리부에 형성되고,
상기 유지부를 통해서 상기 유리 기판은 세로 자세, 또는 가로 자세에 의해 유지되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지 유닛.