KR20150117586A - 기판 처리 장치 및 기판 유지 부재 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 유지 부재 Download PDF

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Abstract

기판의 반송 시간을 단축하는 것이 가능한, 기판 처리 장치 및 기판 유지 부재를 제공한다.
기판을 처리하는 기판 처리 장치(10)로써, 기판을 유지하는 기판 유지 부재(5)와, 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛을 구비한 처리부와, 기판을 반송하는 반송 수단(11)을 구비하고 있고, 반송 수단(11)은, 기판 유지 부재(5)가 기판을 유지한 상태로, 기판 유지 부재(5)를 각 처리 유닛간에 수평으로 반송하도록 구성되어 있고, 상기 각 처리 유닛은, 상방 및/또는 하방로부터 기판 유지 부재(5)에 액세스하게 되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 유지 부재 {SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE HOLDING MEMBER}
본 발명은, 기판 처리 장치 및 그것에 이용되는 기판 유지 부재에 관한 것이다.
휴대 단말의 터치 패널의 제조 공정에는, 유리 기판에 칼라 필터 등이 되는 약액을 도포 처리하고, 그 후, 진공 건조 처리, 가열 처리 및 냉각 처리하는 공정이 포함되어 있다. 종래, 이러한 처리를 실시할 때는, 특허문헌 1, 2에서 나타내는 바와 같이, 로봇 핸드를 이용해 기판을 각 처리 유닛으로 반송했었다.
특허문헌 1: 일본국 특개 2010-80856호 공보 특허문헌 2: 일본국 특개 2012-222087호 공보
따라서, 기판의 처리 시간에는, 실제로 기판을 처리하는 시간에 더하여, 로봇 핸드를 이용한 각 처리 유닛으로의 기판의 반입, 각 처리 유닛으로부터의 기판의 반출, 즉 기판의 반송 시간이 포함되어 있었다.
그래서, 본 발명에서는, 기판의 처리 시간, 특히 기판의 반송 시간을 단축할 수 있고, 기판 처리 장치 및 기판 유지 부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본원의 제1의 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치로써,
기판을 유지하는 기판 유지 부재와,
기판을 처리하는 복수의 처리 유닛을 구비한 처리부와,
기판을 반송하는 반송 수단을 구비하고 있고,
상기 반송 수단은, 상기 기판 유지 부재가 기판을 유지한 상태로, 상기 기판 유지 부재를 상기 각 처리 유닛간에 수평으로 반송하도록 구성되어 있으며,
상기 각 처리 유닛은, 상방 및/또는 하방보다 상기 기판 유지 부재에 액세스하도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의하면, 기판은 기판 유지 부재에 유지된 상태로, 각 처리 유닛간에 수평으로 반송되므로, 각 처리 유닛에 있어서, 로봇 핸드에 의해, 기판을 기판 유지 부재에 얹거나, 기판을 기판 유지 부재로부터 떼어내는 작업을 생략 할 수 있어, 기판의 반송 시간을 단축할 수 있다.
상기 제1의 발명은, 다음과 같은 구성을 더욱 구비하는 것이 바람직하다.
(1) 상기 기판 유지 부재는, 개구부를 가진 프레임과, 상기 개구부를 커버하고 상기 프레임에 장착되는 필름체를 가지고 있고,
기판은, 상기 필름체 위에 올려지게 되어 있으며,
상기 필름체는, 통기성을 구비한 필름으로 되어 있다.
(2) 상기 처리부는, 기판을 도포 처리하는 도포 유닛을 구비하고 있고,
상기 도포 유닛은, 기판이 올려진 상기 기판 유지 부재를 하방으로부터 지지하는 정반(定盤)과,
상기 기판의 상방으로부터 상기 기판에 대해 도포를 실시하는 도포 부재를 구비하고 있으며,
상기 정반은, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
(3) 상기 처리부는, 기판을 진공 건조 처리하는 진공 건조 유닛을 구비하고 있고,
상기 진공 건조 유닛은, 기판이 올려진 상기 기판 유지 부재의 상방으로부터 상기 기판 유지 부재에 맞닿으며, 상기 기판 유지 부재의 상방을 커버하는 상챔버와,
기판이 올려진 상기 기판 유지 부재의 하방으로부터 상기 기판 유지 부재에 맞닿으며, 상기 기판 유지 부재의 하방를 커버하는 하챔버를 구비하고 있고,
상기 상챔버 및 상기 하챔버는, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
(4) 상기 처리부는, 기판을 가열하는 가열 유닛을 구비하고 있고,
상기 가열 유닛은, 기판이 올려진 상기 기판 유지 부재의 상방 및/또는 하방으로부터 상기 기판을 가열하는 가열 부재를 구비하고 있으며,
상기 가열 부재는, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
(5) 상기 처리부는, 기판을 냉각하는 냉각 유닛을 구비하고 있고,
상기 냉각 유닛은, 기판이 올려진 상기 기판 유지 부재의 상방 및/또는 하방으로부터 상기 기판을 냉각하는 냉각 부재를 구비하고 있으며,
상기 냉각 부재는, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
(6) 상기 구성 (1)에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 상기 기판 유지 부재로부터 기판을 떼어내는 분리 수단을 더욱 구비하고 있고,
상기 필름체는 신축성을 구비하고 있으며,
상기 분리 수단은, 상기 기판 유지 부재의 하방으로부터 상기 필름체 및 상기 기판을 상방으로 밀어 올리는 압상 부재와, 상기 압상 부재가 상기 필름체 및 상기 기판을 밀어 올림으로써 생긴 상기 필름체와 상기 기판과의 틈새에 삽입되어, 상기 기판이 올려지는 재치 부재를 구비하고 있다.
(7) 상기 반송 수단은, 상기 기판 유지 부재를 순환시키도록 반송한다.
(8) 상기 기판 유지 부재 및/또는 상기 처리 유닛은, 상기 기판 처리 장치에 대해 떼어내기 가능하게 되어 있다.
(9) 상기 구성 (7)에 있어서, 상기 반송 수단은, 원형 형상 또는 타원형 형상의 반송 벨트와, 상기 반송 벨트를 작동시키는 작동 기구를 구비하고 있고,
상기 반송 벨트에는, 복수의 기판 유지 부재가 연결되고 있으며,
상기 기판 유지 부재의 외주측에는, 기판 유지 부재가 한층더 상기 기판 유지 부재에 연결되어 있다.
(10) 상기 구성 (7)에 있어서, 상기 반송 수단은, 원형 형상의 반송 벨트와, 상기 반송 벨트를 회전시키는 작동 기구와, 상기 반송 벨트의 회전 중심이 되는 축을 구비하고 있고,
상기 반송 벨트는, 상기 축에 착탈이 자유롭게 되어 있다.
(11) 상기 반송 수단은, 서로 상하 방향에 위치하는 복수의 반송 벨트와, 상기 복수의 반송 벨트를 작동시키는 작동 기구를 구비하고 있고,
상기 각 반송 벨트에는, 복수의 기판 유지 부재가 연결되어 있으며,
상기 반송 벨트에 연결되어 있는 기판 유지 부재는, 다른 상기 반송 벨트에 연결되어 있는 기판 유지 부재의 상하 방향 위치에 배치되도록 되어 있다.
상기 구성 (1)에 의하면, 기판을, 통기성을 구비한 필름으로 만든 필름체 위에 올려놓음으로써, 기판을 기판 유지 부재에 유지한 상태로, 각 처리 유닛 간에 반송시킬 수 있다.
상기 구성 (2)에 의하면, 도포 유닛에 의해, 기판 유지 부재 위에 올려진 기판에 도포를 실시할 수 있다.
상기 구성 (3)에 의하면, 진공 건조 유닛에 의해, 기판 유지 부재 위에 올려진 기판의 진공 건조를 실시할 수 있다.
상기 구성 (4)에 의하면, 가열 유닛에 의해, 기판 유지 부재 위에 올려진 기판의 가열을 실시할 수 있다.
상기 구성 (5)에 의하면, 냉각 유닛에 의해, 기판 유지 부재 위에 올려진 기판의 냉각을 실시할 수 있다.
상기 구성 (6)에 의하면, 분리 수단에 의해, 기판 유지 부재 위의 올려진 기판을 기판 유지 부재로부터 떼어낼 수 있다.
상기 구성 (7)에 의하면, 기판 유지 부재를 순환시킴으로써, 기판 처리 장치의 설치 면적을 작게 할 수 있다.
상기 구성 (8)에 의하면, 필요한 기판 유지 부재 및/또는 처리 유닛을 기판 처리 장치에 부착하고, 불필요한 기판 유지 부재 및/또는 처리 유닛을 떼어낼 수 있으므로, 기판 처리 내용에 따른 합리적인 기판 처리 장치를 구성할 수 있다.
상기 구성 (9)에 의하면, 기판 처리 장치는, 기판 유지 부재의 외주에, 더욱더, 기판 유지 부재를 구비하고 있으므로, 기판 처리 장치의 기판 처리량을 증대시킬 수 있다.
상기 구성 (10)에 의하면, 반송 벨트가 자유롭게 착탈되고 있으므로, 부착된 반송 벨트의 크기를 변화시킴으로써, 기판 처리 장치의 생산량이나 설치 면적을 조정할 수 있다.
상기 구성 (11)에 의하면, 기판 처리 장치는, 기판 유지 부재의 상하 방향 위치에, 더욱더, 기판 유지 부재를 구비하고 있으므로, 기판 처리 장치의 설치 면적을 거의 증가시키는 일 없이, 기판 처리 장치의 기판 처리량을 증가시킬 수 있다.
본원의 제2의 발명은, 기판 처리 장치에 이용되는 기판 유지 부재로써,
상기 기판 유지 부재는, 개구부를 가지는 프레임과, 상기 개구부를 커버하고 상기 프레임에 부착되는 필름체를 가지고 있고,
기판은, 상기 필름체 위에 올려지도록 되어 있으며,
상기 필름체는, 통기성을 구비한 필름으로 되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의하면, 기판을, 통기성을 구비한 필름으로 된 필름체 위에 올려놓음으로써, 기판을 기판 유지 부재 로 유지한 상태로, 각 처리 유닛간에 반송시킬 수 있다. 그 결과, 각 처리 유닛에 있어서, 기판을 기판 유지 부재에 얹거나 기판을 기판 유지 부재로부터 떼어내는 작업을 생략 할 수 있어, 기판의 반송 시간을 단축할 수 있다.
요컨데, 본 발명에 의하면, 기판의 반송 시간을 단축하는 것이 가능한, 기판 처리 장치 및 기판 유지 부재를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 상면도이다.
도 2는, 기판 유지 부재의 개략 상면도이다.
도 3은, 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면도이다.
도 4는, 도포 유닛에 의해 기판에 도포 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 5는, 도포 유닛에 의해 기판에 도포 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 6은, 진공 건조 유닛에 의해 기판에 진공 건조 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 7은, 진공 건조 유닛에 의해 기판에 진공 건조 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 8은, 가열 유닛에 의해 기판에 가열 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 9는, 가열 유닛에 의해 기판에 가열 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 10은, 냉각 유닛에 의해 기판에 냉각 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 11은, 냉각 유닛에 의해 기판에 냉각 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 12는, 분리 수단에 의해 기판 유지 부재로부터 기판을 떼어내는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 13은, 분리 수단에 의해 기판 유지 부재로부터 기판을 떼어내는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 14는, 분리 수단에 의해 기판 유지 부재로부터 기판을 떼어내는 작업을 나타내는 개략 사시도이다.
도 15는, 분리 수단에 의해 기판 유지 부재로부터 기판을 떼어내는 작업을 나타내는 개략 단면도이다.
도 16은, 진공 건조 유닛의 변형예를 나타내는 개략 단면도이다.
도 17은, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 상면도이다.
도 18은, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 상면도이다.
도 19는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 상면도이다.
도 20은, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 측면도이다.
(전체 구성)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(10)의 개략 상면도이다. 기판 처리 장치(10)는, 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛을 구비한 처리부를 구비하고 있고, 상기 처리부는, 기판의 표면에 처리액을 도포하는 도포 유닛(1)과, 기판에 도포된 처리액을 건조시키는 진공 건조 유닛(2)과, 기판을 가열 처리하는 가열 유닛(3)과, 기판을 냉각 처리하는 냉각 유닛(4)을 구비하고 있다. 각 처리 유닛은, 기판이 올려져 있는 기판 유지 부재(5)를 반입 가능하게 되어 있고, 기판을 기판 유지 부재(5) 위에 올려놓은 상태로 기판에 소정의 처리를 실시하는 것이 가능하게 되어 있다.
기판 처리 장치(10)는, 더욱더, 기판이 올려져 있는 기판 유지 부재(5)를 각 처리 유닛간에 수평으로 반송하는 반송 수단(11)을 구비하고 있다. 반송 수단(11)은, 원형 형상의 반송 벨트(12)와, 축(13)을 중심으로 하여 반송 벨트(12)를 일정 방향(R방향)으로 회전시키는 회전 기구(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 반송 벨트(12)에는, 복수(12체)의 기판 유지 부재(5)가 등간격으로 연결되어 있다. 즉, 기판 유지 부재(5)는, 반송 벨트(12)가 회전하는 반송 라인(14)에 있어서, 30도마다 배치되어 있다. 그리고, 회전 기구는, 예를 들면, 20초 마다 30도, 반송 벨트(12)를 R방향으로 회전시키게 되어 있다.
각 처리 유닛은, 반송 라인(14)을 따르면서도 또한, 반송 벨트(12)의 회전 방향(R방향)을 향해 기판의 처리 공정의 순서가 되도록 배치되어 있다. 즉, 반송 라인(14)에 있어서, R방향의 상류측으로부터 순서로, 도포 유닛(1), 진공 건조 유닛(2), 가열 유닛(3), 그리고 냉각 유닛(4)이 배치되어 있다. 또한, 도포 유닛(1)에 대해, R방향의 상류측에는, 기판 유지 부재(5)에 기판을 올려놓는 작업을 실시하는 재치 수단(6)이 설치되어 있다. 재치 수단(6)은, 예를 들면, 로봇 암이다. 또한, 냉각 유닛(4)에 대해, R방향의 하류측에는, 기판 유지 부재(5)로부터 기판을 떼어내는 분리 수단(7)이 설치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 분리 수단(7)은, 재치 수단(6)의 로봇 암을 겸용하고 있다.
각 처리 유닛의 처리 시간은, 기판 유지 부재(5)의 수에 대응하는 스테이지의 수로 조정되고 있다. 예를 들면, 도포 처리 시간이 20초, 진공 건조 처리 시간이 60초, 가열 처리 시간이 120초, 냉각 처리 시간이 20초인 경우, 도포 유닛(1)은 스테이지를 1개 점유하고, 진공 건조 유닛(2)은 스테이지를 3개 점유하며, 가열 유닛(3)은 스테이지를 6개 점유하고, 냉각 유닛(4)은 스테이지를 1개 점유한다. 또한, 기판 유지 부재(5)에 기판을 올려놓는 재치 스테이지 및 기판 유지부(5)로부터 기판을 떼어내는 분리 스테이지에도 스테이지가 필요하다. 재치 스테이지와 분리 스테이지는 따로따로 설치해도 되지만, 본 실시 형태에서는, 재치 스테이지와 분리 스테이지는 공통적이어서, 스테이지를 1개 점유하고 있다. 즉, 12의 기판 유지 부재(5)가 12의 스테이지에 대응하고 있다. 이후, 편의상, 기판을 기판 유지 부재에 올려놓는 스테이지를 S0, 기판에 도포 처리를 실시하는 스테이지를 S1, 기판을 진공 건조 처리하는 스테이지를 S2 ~ S4, 기판을 가열 처리하는 스테이지를 S5 ~ S10, 기판을 냉각 처리하는 스테이지를 S11, 기판을 기판 유지 부재로부터 떼어내는 스테이지를 S12로 한다. 반송 라인(14)이 원주로 되어 있는 관계상, 스테이지 S0와 스테이지 S12는 같은 위치로 되어 있다. 또한, 각 스테이지에 각 처리 유닛이 배치되어 있으므로, 본 실시 형태에서는, 기판 처리 장치(10)는, 1개의 도포 유닛(1), 3개의 진공 건조 유닛(2), 6개의 가열 유닛(3), 1개의 냉각 유닛(4)을 구비하고 있다. 또한, 상기 처리 시간은, 각 스테이지에 있어서의 각 처리 유닛의 액세스 시간을 포함하며, 실제의 처리 시간은 상기 처리 시간보다 짧지만, 여기에서는 편의상, 처리 시간으로 기재한다.
(기판 유지 부재)
도 2는, 기판 유지 부재(5)의 개략 상면도이고, 도 3은, 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면도이다. 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 기판 유지 부재(5)는, 개구부(51a)를 가지는 프레임(51)과, 개구부(51a)를 커버하고 프레임(51)에 부착되는 필름체(52)를 가지고 있다. 그리고, 기판은, 필름체(52) 위에 올려지도록 되어 있다. 프레임(51)은, 금속으로 되어 있고, 구(矩)형상의 재치부(51b)와, 재치부(51b)의 한 변으로부터 측방 바깥쪽으로 뻗어 있는 막대 모양의 지지부(51c)를 구비하고 있다. 재치부(51b)의 중앙부에는 개구부(51a)가 형성되어 있다. 상술한 바와 같이, 지지부(51c)의 일단은 재치부(51a)와 일체가 되어 있고, 타단은 반송 벨트(12)에 연결되어 있다. 필름체(52)는, 통기성을 구비하고 있다.
(도포 유닛)
도 4 및 도 5는, 도포 유닛(1)에 의해 기판(100)에 도포 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다. 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 도포 유닛(1)은, 기판 유지 부재(5)를 하방으로부터 지지하는 정반(16)과, 기판 유지 부재(5)의 상방으로부터 기판(100)에 대해 도포를 실시하는 도포 부재(노즐)(17)를 구비하고 있다. 정반(16)에는 상하 방향으로 관통하는 복수의 다공질의 관통 구멍(161)이 설치되어 있다. 그리고, 도포 유닛(1)은, 정반(16)의 하방에, 관통 구멍(161)을 개재하여 기판 유지 부재(5) 및 기판(100)을 흡인하는 흡인 부재(18)를 구비하고 있다. 정반(16) 및 흡인 부재(18)는, 일체로써, 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 도포 부재(17)는, 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 되어 있고, 나아가 도포 방향(X방향)으로도 이동 가능하게 되어 있다.
도포 유닛(1)은, 이하와 같이 기판(100)에 도포 처리를 실시하게 되어 있다. 스테이지 S1에 기판(100)을 유지한 기판 유지 부재(5)가 위치하면, 도 4에 나타내는 바와 같이, 하방에 위치하고 있던 정반(16) 및 흡인 부재(18)는, 정반(16)의 상면이 기판 유지 부재(5)의 하면에 맞닿을 때까지 상방으로 이동한다. 동시에, 상방에 위치하고 있던 도포 부재(17)는, 기판 유지 부재(5)에 올려진 기판(100)에 대해 일정한 틈새를 가지도록 하방으로 이동한다. 그리고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 흡인 부재(18)는, 기판 유지 부재(5) 및 기판(100)의 흡인을 개시하고, 기판(100)을 고정한 후, 도포 부재(17)는, 기판(100)으로의 도포 처리를 개시한다. 도포 부재(17)는, X방향으로 이동하면서 기판(100)으로의 도포 처리를 실시한다. 도포 처리가 종료하면, 흡인 부재(18)는 흡인을 중지하고, 정반(16) 및 흡인 부재(18)는 하방으로 이동한다. 동시에, 도포 부재(17)는 상방으로 이동한다.
(진공 건조 유닛)
도 6 및 도 7은, 진공 건조 유닛(2)에 의해 기판(100)에 진공 건조 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다. 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 진공 건조 유닛(2)은, 기판 유지 부재(5)의 상방으로부터 프레임(51)에 맞닿고, 기판 유지 부재(5)의 상방을 커버하는 상챔버(21)와, 기판 유지 부재(5)의 하방으로부터 프레임(51)에 맞닿으며, 기판 유지 부재(5)의 하방을 커버하는 하챔버(22)를 구비하고 있다. 상챔버(21)는, 프레임(51)과의 맞닿음면에 O링(211)을 구비하고 있다. 마찬가지로, 하챔버(22)는, 프레임(51)과의 맞닿음면에 O링(221)을 구비하고 있다. 하챔버(22)에는 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(222)이 설치되어 있다. 그리고, 진공 건조 유닛(2)은, 하챔버(22)의 하방에, 관통 구멍(222)을 개재하여 상챔버(21), 기판 유지 부재(5) 및 하챔버(22)로 형성된 공간으로부터 공기를 흡인하는 흡인 부재(23)를 구비하고 있다. 상챔버(21) 및 하챔버(22)는, 각각 개별적으로, 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 덧붙여 하챔버(22) 및 흡인 부재(23)는, 일체로써, 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 하챔버(22)의 상면에는, 기판(100)을 가열하는 가열판(24)이 설치되어 있다.
진공 건조 유닛(2)은, 이하와 같이, 기판(100)에 진공 건조 처리를 실시하게 되어 있다. 스테이지 S2, S3 또는 S4에 기판(100)을 유지한 기판 유지 부재(5)가 위치하면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 하방에 위치하고 있던 하챔버(22) 및 흡인 부재(23)는, 하챔버(22)가 프레임(51)에 맞닿을 때까지 상방으로 이동한다. 동시에, 상방에 위치하고 있던 상챔버(21)는, 상챔버(21)가 프레임(51)에 맞닿을 때까지 하방으로 이동한다. 그리고, 도 7에 나타내는 바와 같이, 흡인 부재(23)가, 상챔버(21), 기판 유지 부재(5) 및 하챔버(22)에 형성된 공간의 흡인을 실시함으로써, 진공 건조 유닛(2)은, 기판(100)에 진공 건조 처리를 실시한다. 덧붙여, 진공 건조 처리에서는, 통기성을 가진 필름체(52)를 통해서, 상챔버(21)의 내부도 흡인된다. 진공 건조 처리와 동시에, 가열판(24)은, 하방으로부터 기판(100)을 가열해 건조를 촉진시킨다. 진공 건조 처리가 종료하면, 흡인 부재(23)는 흡인을 중지하고, 하챔버(22) 및 흡인 부재(23)는 하방으로 이동한다. 동시에, 상챔버(21)는 상방으로 이동한다.
(가열 유닛)
도 8 및 도 9는, 가열 유닛(3)에 의해 기판(100)에 가열 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다. 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 가열 유닛(3)은, 기판 유지 부재(5)의 하방으로부터 기판을 가열하는 가열 부재(31)를 구비하고 있다. 가열 부재(31)는, 예를 들면, 히터이다. 가열 부재(31)는, 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.
가열 유닛(3)은, 이하 대로 기판(100)에 가열 처리를 실시하게 되어 있다. 스테이지 S5, S6, S7, S8, S9, S10에 기판(100)을 유지한 기판 유지 부재(5)가 위치하면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 하방에 위치하고 있던 가열 부재(31)는, 가열 부재(31)의 상면이 기판 유지 부재(5)의 하면에 당접할 때까지 상방으로 이동한다. 그리고, 도 9에 나타내는 바와 같이, 가열 부재(31)는, 기판 유지 부재(5)를 개재하고, 기판(100)으로의 가열 처리를 실시한다. 가열 처리가 종료하면, 가열 부재(31)는 가열을 중지하고,하방으로 이동한다.
(냉각 유닛)
도 10 및 도 11은, 냉각 유닛(4)에 의해 기판(100)에 냉각 처리를 실시하는 작업을 나타내는 개략 단면도이다. 도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 냉각 유닛(4)은, 기판 유지 부재(5)의 하방으로부터 기판을 냉각하는 냉각 부재(41)를 구비하고 있다. 냉각 부재(41)는, 예를 들면, 수냉판이다. 냉각 부재(41)는, 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.
냉각 유닛(4)은, 이하 대로 기판(100)에 냉각 처리를 실시하게 되어 있다. 스테이지 S11에 기판(100)을 유지한 기판 유지 부재(5)가 위치하면, 도 10에 나타내는 바와 같이, 하방에 위치하고 있던 냉각 부재(41)는, 냉각 부재(41)의 상면이 기판 유지 부재(5)의 하면에 당접할 때까지 상방으로 이동한다. 그리고, 도 11에 나타내는 바와 같이, 냉각 부재(31)는, 기판 유지 부재(5)를 개재하고, 기판(100)에의 냉각 처리를 실시한다. 냉각 처리가 종료하면, 냉각 부재(41)는 냉각을 중지하고 하방으로 이동한다.
(분리 수단)
도 12, 도 13, 도 15는, 분리 수단(7)에 의해 기판 유지 부재(5)로부터 기판(100)을 떼어내는 작업을 나타내는 개략 단면도이다. 또한, 도 14는, 분리 수단(7)에 의해 기판 유지 부재(5)로부터 기판(100)을 떼어내는 작업을 나타내는 개략 사시도이다. 도 12 ~ 도 15에 나타내는 바와 같이, 분리 수단(7)은, 기판 유지 부재(5)의 하방으로부터 필름체(52) 및 기판(100)을 상방으로 밀어 올리는 압상 부재(71)와, 압상 부재(71)가 필름체(52) 및 기판(100)을 밀어 올림으로써 생긴 필름체(52)와 기판(100)의 틈새(D1)에 삽입되고, 기판(100)이 올려지는 재치 부재(72)(본 실시 형태에서는 재치 수단(6)과 겸용)를 구비하고 있다. 압상 부재(71)는, 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 재치 부재(72)는, 상면에서 봤을 때 コ자 형상을 가지고 있고, 삽입 방향(X방향) 및 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.
분리 수단(7)은, 이하 대로 기판 유지 부재(5)로부터 기판(100)을 떼어내게 되어 있다. 스테이지 S12에 기판(100)을 유지한 기판 유지 부재(5)가 위치하면, 도 12에 나타내는 바와 같이, 하방에 위치하고 있던 압상 부재(71)는, 프레임(51)에 대해 필름체(52)를 펴면서 기판(100)을 상방으로 밀어 올릴 때까지, 상방으로 이동한다. 그리고, 도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 재치 부재(72)는, 삽입 방향으로 이동하고, 압상 부재(71)가 필름체(52) 및 기판(100)을 밀어 올림으로써 생긴 필름체(52)와 기판(100)의 틈새(D1)에 삽입된다. 그리고, 도 15에 나타내는 바와 같이, 재치 부재(72)가 상방으로 이동한다. 그 결과, 기판(100)은, 재치 부재(72) 위에 올려지고, 기판 유지 부재(5)로부터 떨어진다. 그 후, 재치 부재(72)는, 기판(100)이 올려진 상태로, 다음의 공정으로 기판(100)을 옮기고, 압상 부재(71)는 하방으로 이동한다.
기판 처리 장치(10)는, 다음과 같이 작동하게 되어 있다.
우선, 스테이지 S0에 있어서, 재치 수단(6)의 로봇 암은, 기판 유지 부재(5) 위에 기판을 올려놓는다. 그 후 (스테이지 S0에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면), 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 반송 벨트(12)에 기판 유지 부재(5)가 연결되어 있으므로, 스테이지 S0에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S1로 이동한다. 덧붙여, 본 실시 형태에서는, 후술의 스테이지 S12와 겸용이므로, 스테이지 S0는, 스테이지 S12에서의 기판 분리 시간을 포함해 20초가 된다.
스테이지 S1에는, 도포 유닛(1)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S1에 위치하면, 도포 유닛(1)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 도포 처리를 실시한다. 도포 처리가 종료하면(스테이지 S1에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치한다), 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S1에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S2로 이동한다.
스테이지 S2에는, 진공 건조 유닛(2)가 배치되어 있다. 덧붙여, 상술한 바와 같이, 진공 건조 처리는, 60초간 이루어지므로, 스테이지 S2 ~ S4의 각각에 진공 건조 유닛(2)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S2에 위치하면, 진공 건조 유닛(2)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 진공 건조 처리(1회째)를 실시한다. 스테이지 S2에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 진공 건조 유닛(2)은 진공 건조 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S2에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S3로 이동한다.
스테이지 S3에도, 진공 건조 유닛(2)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S3에 위치하면, 진공 건조 유닛(2)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 진공 건조 처리(2번째)를 실시한다. 스테이지 S3에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 진공 건조 유닛(2)은 진공 건조 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S3에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S4로 이동한다.
스테이지 S4에도, 진공 건조 유닛(2)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S4에 위치하면, 진공 건조 유닛(2)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 진공 건조 처리(3번째)를 실시한다. 스테이지 S4에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 진공 건조 유닛(2)은 진공 건조 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 덧붙여, 이것으로 진공 건조 처리 전체도 종료한다. 스테이지 S4에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S5로 이동한다.
스테이지 S5에는, 가열 유닛(3)이 배치되어 있다. 덧붙여, 상술한 바와 같이, 가열 처리는 120초간 이루어지므로, 스테이지 S5 ~ S10의 각각에 가열 유닛(3)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S5에 위치하면, 가열 유닛(3)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 가열 처리(1회째)를 실시한다. 스테이지 S5에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 가열 유닛(3)은 가열 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S5에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S6으로 이동한다.
스테이지 S6에도, 가열 유닛(3)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S6에 위치하면, 가열 유닛(3)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 가열 처리(2번째)를 실시한다. 스테이지 S6에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 가열 유닛(3)은 가열 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S6에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S7로 이동한다.
스테이지 S7에도, 가열 유닛(3)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S7에 위치하면, 가열 유닛(3)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 가열 처리(3번째)를 실시한다. 스테이지 S7에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 가열 유닛(3)은 가열 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S7에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S8로 이동한다.
스테이지 S8에도, 가열 유닛(3)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S8에 위치하면, 가열 유닛(3)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 가열 처리(4번째)를 실시한다. 스테이지 S8에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 가열 유닛(3)은 가열 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S8에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S9로 이동한다.
스테이지 S9에도, 가열 유닛(3)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S9에 위치하면, 가열 유닛(3)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 가열 처리(5번째)를 실시한다. 스테이지 S9에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 가열 유닛(3)은 가열 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S9에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S10으로 이동한다.
스테이지 S10에도, 가열 유닛(3)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S10에 위치하면, 가열 유닛(3)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 가열 처리(6번째)를 실시한다. 스테이지 S10에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치하면, 가열 유닛(3)은 가열 처리를 종료하고, 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 덧붙여, 이것으로 가열 처리 전체도 종료한다. 스테이지 S10에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S11로 이동한다.
스테이지 S11에는, 냉각 유닛(4)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S11에 위치하면, 냉각 유닛(4)은, 기판 유지 부재(5) 위의 기판에 냉각 처리를 실시한다. 냉각 처리가 종료하면 (스테이지 S11에 기판 유지 부재(5)가 20초간 위치한다), 회전 기구는, 반송 벨트(12)를 R방향으로 30도 회전시킨다. 스테이지 S11에 위치하고 있던 기판 유지 부재(5)는, 스테이지 S12로 이동한다.
스테이지 S12에는, 분리 수단(7)이 배치되어 있다. 기판 유지 부재(5)가 스테이지 S12에 위치하면, 분리 수단(7)은, 기판 유지 부재(5)로부터 기판을 떼어낸다.
상기 구성의 기판 처리 장치(10)에 의하면, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.
(1) 반송 수단(11)은, 기판 유지 부재(5)가 기판을 유지한 상태로, 기판 유지 부재(5)를 각 처리 유닛간에 수평으로 반송하도록 구성되어 있으므로, 각 처리 유닛에 있어서, 로봇 핸드에 의해, 기판을 기판 유지 부재(5)에 얹거나 기판을 기판 유지 부재(5)로부터 떼어내는 작업을 생략 할 수 있어, 기판의 반송 시간을 단축할 수 있다.
(2) 기판을, 통기성을 구비한 필름으로 된 필름체(52) 위에 올려놓음으로써, 기판을 기판 유지 부재(5)로 유지한 상태로, 각 처리 유닛간에 반송시킬 수 있다. 또한, 필름체(52)는 통기성을 구비하고 있으므로, 기판 유지 부재(5)의 하방으로부터 기판을 흡인함으로써, 기판 유지 부재(5)의 기판 유지성을 보다 향상시킬 수 있다. 또한, 필름체(52)는 통기성을 구비하고 있으므로, 기판을 필름체(52) 위에 올려놓은 상태로, 기판의 진공 건조나 가열, 냉각을 효율적으로 실시할 수 있다.
(3) 기판은, 필름체(52) 위에 올려져 있을 뿐이므로, 기판을 기판 유지 부재(5)로부터 승강시키는 승강 핀이나, 승강 핀 부착에 따라, 기판 유지 부재(5)에 대한 기판의 위치 결정을 실시하는 기판 위치 결정 기구나, 필름체(52)에 있어서의 승강 핀용의 구멍을 필요하지 않게 할 수 있다. 그 결과, 필름체(52)보다 작은 기판이면, 어떠한 치수의 기판이더라도 기판 유지 부재(5)로 취급할 수 있다.
(4) 도포 유닛(1)에 의해, 기판 유지 부재(5) 위에 올려진 기판에 도포를 실시할 수 있다. 또한, 도포 유닛(1)이 흡인 부재(18)를 구비함으로써, 기판에 도포를 실시할 때, 흡인 부재(18)에 의해, 기판 유지 부재(5)의 하방으로부터 기판을 흡인하는 것으로, 기판 유지 부재(5)의 기판 유지성을 보다 향상시키고, 그것에 따라, 도포 두께의 정도(精度)를 향상시킬 수 있다.
(5) 진공 건조 유닛(2)에 의해, 기판 유지 부재(5) 위에 올려진 기판의 진공 건조를 실시할 수 있다.
(6) 상챔버(21)는, 프레임(51)과의 맞닿음면에 O링(211)을 구비하고 있고, 하챔버(22)는, 프레임(51)과의 맞닿음면에 O링(221)을 구비하고 있으므로, 상챔버(21), 기판 유지 부재(5) 및 하챔버(22)로 형성된 공간의 밀봉성을 용이하게 확보할 수 있다.
(7) 하챔버(22)의 상면에는, 기판(100)을 가열하는 가열판(24)이 설치되어 있으므로, 진공 건조시에 있어서의 기판의 건조를 보다 효과적으로 실시할 수 있다.
(8) 가열 유닛(3)에 의해, 기판 유지 부재(5) 위에 올려진 기판의 가열을 실시할 수 있다.
(9) 냉각 유닛(4)에 의해, 기판 유지 부재(5) 위에 올려진 기판의 냉각을 실시할 수 있다.
(10) 분리 수단(7)에 의해, 기판 유지 부재(5) 위의 올려진 기판을 기판 유지 부재로부터 떼어낼 수 있다. 특히, 기판을 기판 유지 부재로부터 승강시키는 승강 핀이나, 승강 핀 부착에 따른 기판 위치 결정 기구를 필요하지 않게 하면서, 기판을 기판 유지 부재로부터 떼어낼 수 있다. 그 결과, 필름체보다 작은 기판이면, 어떠한 치수의 기판이더라도 취급할 수 있다.
통기성을 구비한 필름체는, 예를 들면, 통기성의 수지 필름이나 금속 메쉬 필름이다. 통기성을 구비하기 위한 구성으로는, 필름체에 다수의 작은 관통 구멍이 설치되어 있거나 혹은 필름체 자체가 포라스(다공질)인 재료로 되어 있는 것을 들 수 있는데, 그것에 한정되지 않고, 그 외의 구성으로 통기성을 구비해도 된다. 수지 필름의 재료로는, 예를 들면, 폴리테트라 플루오로에틸렌(PTFE) 등을 사용할 수 있다. 또한, 금속 메쉬 필름이란, 예를 들면 인쇄용의 금속 스크린이고, 금속 메쉬 필름의 재료는, 예를 들면, 스테인레스나 알루미늄 등을 사용할 수 있다. 필름체의 두께는, 수지 필름의 경우에 200 ~ 500마이크로 미터 정도이고, 금속 메쉬 필름의 경우에 20 ~ 100마이크로 미터 정도이다. 필름체로서 수지 필름을 사용하는 경우, 금속 메쉬 필름에 비해, 필름체의 비용을 저감 할 수 있다. 또한, 필름체로서 금속 메쉬 필름을 사용하는 경우, 수지 필름에 비해 열전도성이 좋고, 보다 얇은 가공이 가능하게 되므로, 필름체의 열용량을 작게 하고, 기판의 가열, 냉각을 효율적으로 실시할 수 있다. 그리고, 금속 메쉬 필름을 사용하는 것으로, 필름체를 균일하고 얇게 할 수 있어, 그 결과, 기판에 도포를 실시할 때, 도포 두께의 정도를 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 필름체의 표면에는, 올려지는 기판이 필름체 위를 미끄러져 이동하는 일이 없도록, 미끄럼 방지 가공을 해 두어도 좋다. 필름체로서 수지 필름을 사용하는 경우에는, 수지 필름의 표면에 통기성을 저해하지 않을 정도로 점착재를 도포해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 기판 처리 장치(10)는, 1개의 도포 유닛(1), 3개의 진공 건조 유닛(5), 6개의 가열 유닛(3), 1개의 냉각 유닛(4)을 구비하고 있는데, 각 처리 유닛의 처리 시간에 맞춰, 처리 유닛의 수는 변경된다. 예를 들면, 도포 처리 시간이 20초, 진공 건조 처리 시간이 40초, 가열 처리 시간이 100초, 냉각 처리 시간이 60초인 경우, 기판 처리 장치(10)는, 1개의 도포 유닛, 2개의 진공 건조 유닛, 5개의 가열 유닛(3), 3개의 냉각 유닛(4)을 구비하게 된다. 또한, 도포 처리 시간이 20초, 진공 건조 처리 시간이 40초, 가열 처리 시간이 100초, 냉각 처리 시간이 40초인 경우, 기판 처리 장치(10)는, 1개의 도포 유닛, 2개의 진공 건조 유닛, 5개의 가열 유닛(3), 2개의 냉각 유닛(4)을 구비하게 되고, 12 혹은 스테이지의 1개가 남게 되는데, 이 경우, 이 남은 스테이지에는 처리 유닛은 배치되지 않는다.
상기 실시 형태에서는, 기판 유지 부재(5)의 지지부(51c)는 1개로 도시되어 있지만, 지지부는 복수개 설치되어도 괜찮다.
상기 실시 형태에서는, 상챔버(21)와 하챔버(22)는 각각 프레임(51)에 맞닿게 되어 있지만, 필름체(52)에 맞닿아도 된다. 이 경우, 필름체(52)의 해당 맞닿음부에는 상챔버(21) 및 하챔버(22)와 맞닿아서 진공을 유지할 수 있도록, 공기가 새지 않는 가공을 실시할 필요가 있다. 예를 들면, 도 16에 나타내는 바와 같이, 필름체의 해당 맞닿음부만 통기성이 없는 금속이나 수지(25)로 하는 것을 생각할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 상챔버(21) 및 하챔버(22)는, 각각 개별적으로, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있는데, 상챔버(21)와 하챔버(22)가 연동해 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있어도 괜찮다. 이 경우, 상챔버(21)가 하방으로 이동할 때, 하챔버(22)는 상방으로 이동하고, 상챔버(21)가 상방으로 이동할 때, 하챔버(22)는 하방으로 이동한다.
상기 실시 형태에서는, 하챔버(22)에 흡인용의 관통 구멍(222), 하챔버(22)의 하방에 흡인 부재(23)가 설치되어 있는데, 상챔버(21)에 흡인용의 관통 구멍, 상챔버(21)의 상방에 흡인 부재가 설치되어도 좋고, 하챔버(22)와 상챔버(21)의 양방에 흡인용의 관통 구멍 및 흡인 부재가 설치되어도 된다. 또한, 흡인 부재(18)나 흡인 부재(23)를 다른 장소에 배치하고, 흡인 부재와 정반(16)이나 하챔버(22)와의 사이를, 신축성을 가진 배관으로 접속하여 흡인을 실시해도 좋다.
상기 실시 형태에서는, 하챔버(22)의 상면에 가열판(24)이 설치되어 있지만, 상챔버(21)의 하면에 가열판이 설치되어 있어도 좋고, 하챔버(22)의 상면 및 상챔버(21)의 하면 양방에 가열판이 설치되어 있어도 된다.
상기 실시 형태에서는, 가열 부재(31)는 하방으로부터 기판(100)을 가열하게 되어 있는데, 상방으로부터 기판을 가열하게 되어 있어도 된다. 이 경우, 가열 부재는, 기판으로부터 일정한 간격을 가지고 상방에 위치하고, 도포면에 닿지 않도록 기판을 가열하게 된다. 또한, 기판의 상방 및 하방의 양방에 가열 부재가 위치하고, 기판을 상하로부터 가열하게 되어 있어도 좋다.
상기 실시 형태에서는, 냉각 부재(41)는 하방으로부터 기판(100)을 냉각하게 되어 있는데, 상방으로부터 기판을 냉각하게 되어 있어도 된다. 이 경우, 냉각 부재는, 기판으로부터 일정한 간격을 가지고 상방에 위치하고, 도포면에 닿지 않도록 기판을 냉각하게 된다. 또한, 기판의 상방 및 하방의 양쪽에 냉각 부재가 위치하고, 기판을 상하로부터 냉각하게 되어 있어도 좋다.
상기 실시 형태에서는, 압상 부재(71)와 재치 부재(72)에 의해, 기판을 기판 유지 부재(5)로부터 떼어내게 되어 있지만, 기판 유지 부재의 필름체에 승강 핀이 삽입되는 복수의 삽입 구멍을 형성하고, 승강 핀을 삽입 구멍으로부터 삽입하여, 기판을 기판 유지 부재로부터 들어 올림으로써, 기판을 기판 유지 부재로부터 떼어내도록 해도 좋다.
상기 실시 형태에서는, 기판 유지 부재(5)로의 기판의 재치는, 재치 수단(6)인 로봇 암으로 이루어지도록 되어 있지만, 본 작업은, 로봇 암에 한정되지 않고, 그 외 각종 방법에 의해 이루어져도 된다.
상기 실시 형태에서는, 반송 라인(14)은 원형 형상을 가지고 있지만, 반송 라인(14)은 원형 형상에 한정되지 않고, 도 17에 나타내는 바와 같은 타원형 형상, 또는, U자 형상, 직선 형상 등, 여러가지 형상을 가질 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 각 처리 유닛의 수와 기판 유지 부재(5)의 수를 같게 하고, 반송 수단(11)에 의해, 모든 기판 유지 부재(5)를 한번에 같은 각도만큼 회전시키도록 되어 있지만, 거기에 한정되지 않는다. 도 18은, 다른 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 상면도이다. 상기 실시 형태와 같은 부품 및 부분에는 같은 부호를 붙이고, 그러한 내용에 대해서는 자세한 설명은 생략한다. 도 18에 나타내는 바와 같이, 스테이지 S의 수보다 기판 유지 부재(5)의 수를 적게 하고, 기판 유지 부재(5)가 각각 독립해 회전하도록 해도 좋다. 그리고, 처리 시간의 조정을 위해, 처리 유닛이 존재하지 않는 대기 스테이지 P를 설치해도 좋다. 이렇게 하여, 각 처리 유닛에서의 처리를 배치식으로 할 수도 있다. 그 결과, 유닛의 수를 적게 할 수 있고, 기판 처리 장치의 설치 면적을 작게 할 수 있다. 그리고, 소규모적 생산이나 실험용으로서 기판 처리 장치를 염가로 제작할 수 있다.
또한, 도 18에 나타내는 바와 같이, 기판을 올려놓는 스테이지 S0와 기판을 떼어내는 스테이지 S12를 별도로 해도 좋다. 또한, 각 처리 유닛은, 기판 처리 장치에 고정해 설치되는 것이 아니고, 이동이 가능하게 되어 있어도 된다. 그 결과, 처리 내용이나 처리 시간에 따라 처리 유닛을 자유롭게 바꿀 수 있다. 예비의 처리 유닛(81)으로서, 임의의 처리 유닛을 대기시켜 두는 것도 가능하다. 또한, 반송 벨트(12)에 대해, 기판 유지 부재(5)를 자유롭게 분리 가능한 구조로 하고, 예비의 기판 유지 부재(82)로서 대기시켜 두어도 된다.
또한, 반송 벨트(12)는, 축(13)에 자유롭게 착탈되어 있어도 좋다. 반송 벨트(12)가 축(13)에 자유롭게 착탈되어 있으면, 도 1에 나타내는 바와 같은 직경이 큰 반송 벨트(12)와, 도 18에 나타내는 바와 같은 직경이 작은 반송 벨트(12)를 교환 가능하게 할 수 있고, 그 결과, 부착되는 반송 벨트의 크기를 변화시킴으로써, 기판 처리 장치의 생산량이나 설치 면적을 조정할 수 있다.
도 19는, 다른 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 상면도이다. 상기 실시 형태와 같은 부품 및 부분에는 같은 부호를 붙이고, 그러한 내용에 대해서는 자세한 설명은 생략한다. 도 19에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(10)는, 기판 유지 부재(5) 및 스테이지 S의 외주에, 더욱더, 기판 유지 부재(5＇) 및 스테이지 S＇를 구비하고 있다. 그리고, 기판 유지 부재(5＇)는, 기판 유지 부재(5)에 연결되어 있고, 작동 기구(회전 기구)에 의해 반송 벨트(12)가 회전하면, 반송 벨트(12)에 연결된 기판 유지 부재(5)가 회전하며, 기판 유지 부재(5)가 회전하면, 기판 유지 부재(5)에 연결된 기판 유지 부재(5＇)가 회전하게 되어 있다. 본 구성에 의하면, 기판 처리 장치의 기판 처리량을 증대시킬 수 있다.
도 20은, 다른 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 측면도이다. 상기 실시 형태와 같은 부품 및 부분에는 같은 부호를 붙이고, 그러한 내용에 대해서는 자세한 설명은 생략한다. 도 20에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(10)는, 반송 벨트(12)의 상방에 반송 벨트(12”)를 구비하고 있다. 그리고, 작동 기구(회전 기구)는, 축(13)을 중심으로 반송 벨트(12) 및 반송 벨트(12”)를 일정 방향으로 회전시키게 되어 있다. 반송 벨트(12”)에는, 기판 유지 부재(5”)가 연결되어 있고, 기판 유지 부재(5”)는, 기판 유지 부재(5)의 상방에 위치하게 되어 있다. 본 구성에 의하면, 기판 처리 장치의 설치 면적을 거의 증가시키는 일 없이, 기판 처리 장치의 기판 처리량을 증가시킬 수 있다. 덧붙여, 본 구성에서는, 기판 유지 부재(5”)는, 한층더 기판 유지 부재(5)의 상방에 위치하게 되어 있는데, 기판 유지 부재(5)의 하방에 위치해도 좋다. 이 경우, 반송 벨트(12”)는, 반송 벨트(12)의 하방에 위치한다. 또한, 3 이상의 반송 벨트를 상하 방향으로 간격을 두고 설치하고, 상하 방향으로 3 이상의 기판 유지 부재를 배치하도록 해도 좋다.
상기 실시 형태의 기판 처리 장치는, 플랫 패널 디스플레이용의 여러 가지 기판이나 반도체 기판을 제조하는 장치로서 이용하는 것도 가능하다.
특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 정신 및 범위로부터 일탈하는 일 없이, 각종 변형 및 변경을 실시하는 것도 가능하다.
본 발명에서는, 기판의 반송 시간을 단축하는 것이 가능한, 기판 처리 장치 및 기판 유지 부재를 제공할 수 있으므로, 산업상의 이용 가치가 크다.
1 : 도포 유닛
2 : 진공 건조 유닛
21 : 상챔버
22 : 하챔버
211 : O링
221 : O링
222 : 관통 구멍
23 : 흡인 부재
24 : 가열판
25 : 통기성이 없는 수지나 금속
3 : 가열 유닛
31 : 가열 부재
4 : 냉각 유닛
41 : 냉각 부재
5 : 기판 유지 부재
51 : 프레임
52 : 필름체
51a : 개구부
51b : 재치부
51c : 지지부
6 : 재치 수단
7 : 분리 수단
71 : 압상 부재
72 : 재치 부재
81 : 예비의 처리 유닛
82 : 예비의 기판 유지 부재
10 : 기판 처리 장치
11" : 반송 수단
12 : 반송 벨트
13 : 축
14 : 반송 라인
16 : 정반
17 : 도포 부재
18 :흡인 부재
100 : 기판

Claims (13)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 장치로써,
    기판을 유지하는 기판 유지 부재와,
    기판을 처리하는 복수의 처리 유닛을 구비한 처리부와,
    기판을 반송하는 반송 수단을 구비하고 있고,
    상기 반송 수단은, 상기 기판 유지 부재가 기판을 유지한 상태로, 상기 기판 유지 부재를 상기 각 처리 유닛간에 수평으로 반송하도록 구성되어 있으며,
    상기 각 처리 유닛은, 상방 및/또는 하방보다 상기 기판 유지 부재에 액세스하게 되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1의 기재에 있어서,
    상기 기판 유지 부재는, 개구부를 가지는 프레임과, 상기 개구부를 커버하고 상기 프레임에 부착된 필름체를 가지고 있으며, 상기 필름체 위에 기판을 올려놓음으로써 기판을 유지하게 되어 있고,
    상기 필름체는, 통기성을 구비한 필름으로 되어 있는, 기판 처리 장치.
  3. 청구항 1 또는 2의 기재에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 처리 유닛으로써, 기판을 도포 처리하는 도포 유닛을 구비하고 있고,
    상기 도포 유닛은, 상기 기판 유지 부재를 하방으로부터 지지하는 정반과,
    상기 기판 유지 부재의 상방으로부터 기판에 대해 도포를 실시하는 도포 부재를 구비하고 있고,
    상기 정반은, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있는, 기판 처리 장치.
  4. 청구항 1 내지 3의 어느 한 항의 기재에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 처리 유닛으로써, 기판을 진공 건조 처리하는 진공 건조 유닛을 구비하고 있고,
    상기 진공 건조 유닛은, 상기 기판 유지 부재의 상방으로부터 상기 기판 유지 부재에 맞닿아, 상기 기판 유지 부재의 상방을 커버하는 상챔버와,
    상기 기판 유지 부재의 하방으로부터 상기 기판 유지 부재에 맞닿아, 상기 기판 유지 부재의 하방를 커버하는 하챔버를 구비하고 있고,
    상기 상챔버 및 상기 하챔버는, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있는, 기판 처리 장치.
  5. 청구항 1 내지 4의 어느 한 항의 기재에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 처리 유닛으로써, 기판을 가열하는 가열 유닛을 구비하고 있고,
    상기 가열 유닛은, 상기 기판 유지 부재의 상방 및/또는 하방으로부터 기판을 가열하는 가열 부재를 구비하고 있고,
    상기 가열 부재는, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있는, 기판 처리 장치.
  6. 청구항 1 내지 5의 어느 한 항의 기재에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 처리 유닛으로써, 기판을 냉각하는 냉각 유닛을 구비하고 있고,
    상기 냉각 유닛은, 상기 기판 유지 부재의 상방 및/또는 하방으로부터 기판을 냉각하는 냉각 부재를 구비하고 있고,
    상기 냉각 부재는, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있는, 기판 처리 장치.
  7. 청구항 2의 기재에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 상기 기판 유지 부재로부터 기판을 떼어내는 분리 수단을 더욱 구비하고 있고,
    상기 필름체는 신축성을 구비하고 있고,
    상기 분리 수단은, 상기 기판 유지 부재의 하방으로부터 상기 필름체 및 상기 기판을 상방으로 밀어 올리는 압상 부재와, 상기 압상 부재가 상기 필름체 및 상기 기판을 밀어 올림으로써 생긴 상기 필름체와 상기 기판의 틈새에 삽입되고, 상기 기판이 올려지는 재치 부재를 구비하고 있는, 기판 처리 장치.
  8. 청구항 1의 기재에 있어서,
    상기 반송 수단은, 상기 기판 유지 부재를 순환시키도록 반송하는, 기판 처리 장치.
  9. 청구항 1의 기재에 있어서,
    상기 기판 유지 부재 및/또는 상기 처리 유닛은, 상기 기판 처리 장치에 대해서 분리 가능하게 되어 있는, 기판 처리 장치.
  10. 청구항 8의 기재에 있어서,
    상기 반송 수단은, 원형 형상 또는 타원형 형상의 반송 벨트와, 상기 반송 벨트를 작동시키는 작동 기구를 구비하고 있고,
    상기 반송 벨트에는, 복수의 기판 유지 부재가 연결되어 있으며,
    상기 기판 유지 부재의 외주측에는, 기판 유지 부재가 한층더 상기 기판 유지 부재에 연결되어 있는, 기판 처리 장치.
  11. 청구항 8의 기재에 있어서,
    상기 반송 수단은, 원형 형상의 반송 벨트와, 상기 반송 벨트를 회전시키는 작동 기구와, 상기 반송 벨트의 회전 중심이 되는 축을 구비하고 있고,
    상기 반송 벨트는, 상기 축에 착탈이 자유롭게 되어 있는, 기판 처리 장치.
  12. 청구항 1의 기재에 있어서,
    상기 반송 수단은, 서로 상하 방향에 위치하는 복수의 반송 벨트와, 상기 복수의 반송 벨트를 작동시키는 작동 기구를 구비하고 있고,
    상기 각 반송 벨트에는, 복수의 기판 유지 부재가 연결되어 있으며,
    상기 반송 벨트에 연결되어 있는 기판 유지 부재는, 다른 상기 반송 벨트에 연결되어 있는 기판 유지 부재의 상하 방향 위치에 배치되도록 되어 있는, 기판 처리 장치.
  13. 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 이용되고, 기판을 유지하는 기판 유지 부재로써,
    상기 기판 유지 부재는, 개구부를 가지는 프레임과, 상기 개구부를 커버하고 상기 프레임에 부착된 필름체를 가지고 있고, 상기 필름체 위에 기판을 올림으로써 기판을 유지하게 되어 있으며,
    상기 필름체는, 통기성을 구비한 필름으로 되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 유지 부재.
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