KR20150050377A

KR20150050377A - 접촉자의 유지 보수 방법 및 검사 장치

Info

Publication number: KR20150050377A
Application number: KR1020140141429A
Authority: KR
Inventors: 무네히로 야마시타
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2013-10-31
Filing date: 2014-10-20
Publication date: 2015-05-08
Also published as: CN104597364A; TWI664427B; JP2015087272A; US9678134B2; CN104597364B; KR102216324B1; TW201530146A; US20150115974A1; JP6252106B2

Abstract

접촉자를 검사하기 위한 특별한 공정을 필요로 하지 않고, 검사 대상의 배선 도통 검사를 행하는 동시에, 접촉자의 상태를 파악하여, 교환이 필요가 있는 접촉자를 이상이 발생하기 전에 검출한다. 전기적으로 검사가 행하여지는 검사 대상물과, 해당 검사를 실시하는 검사 장치를 접속하는 접속 지그에 설치되는 접촉자의 유지 보수를 행하는 방법으로서, 접촉자를 통해 해당 검사 대상 부위에 검사를 위한 전력을 공급할 때의 전압 변화를 검출하고, 전압 변화가 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 유지 보수 정보를 알린다.

Description

접촉자의 유지 보수 방법 및 검사 장치{MAINTENANCE METHOD FOR CONTACTOR AND INSPECTING APPARATUS}

본 발명은, 전기적인 특성을 검사하는 검사 장치와 검사 대상이 되는 피검사물을 전기적으로 접속하는 접속 지그에 구비되는 접촉자의 유지 보수 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 접속 지그에 구비되는 접촉자의 교환 시기를 파악하여, 접촉자가 접속 불량이 되기 전에 유지 보수를 촉구하는 접촉자의 유지 보수 방법 및 이러한 유지 보수 기능을 갖는 검사 장치에 관한 것이다.

종래, 기판 위에 형성되는 배선은, 이 기판에 적재되는 IC나 반도체 부품 또는 기타의 전자 부품에 전기 신호를 송수신하기 위하여 사용된다. 이러한 배선은, 최근의 전자 부품의 미세화에 수반하여, 보다 미세하면서도 또한 복잡하게 형성됨과 함께 보다 저저항으로 형성되어 있다. 이렇게 기판의 배선의 미세화가 진행됨에 따라, 그 배선의 양호/불량을 검사하는 정밀도가 높을 것이 요구되고 있다. 이 배선의 양호/불량을 검사하는 방법에는, 배선의 도통 상태와 절연 상태를 검사하는 방법이 있다. 도통 상태의 검사는, 배선 상에 설정되는 2개의 검사점간의 저항값을 산출함으로써 판단된다. 절연 상태의 검사는, 검사 대상의 배선과 다른 배선의 저항값을 산출함으로써 판단된다.

이러한 배선의 검사가 실시되는 경우에는, 상기와 같이, 배선 상에 설정되는 검사점에, 도전성의 접촉자의 선단이 접촉하도록 배치된다. 이 접촉자에 의해, 배선 상의 검사점과 검사 장치가 전기적으로 접속된다. 이 검사 장치로부터의 전기 신호의 송수신에 의해, 배선의 도통 검사·절연 검사가 실시된다.

이 접촉자는, 상기와 같이, 검사 장치와 검사점을 전기적으로 접속한다. 이 접촉자는, 가늘고 긴 막대 형상으로 형성되어 있고, 예를 들어, 도전성을 갖는 바늘 형상으로 형성되는 것이나, 길이 방향으로 신축하는 스프링부를 갖고 형성되는 것이 있다. 이러한 접촉자는, 복수의 접촉자를 유지하는 검사용 지그에 구비되어 있고, 접촉자의 선단은 검사점에 접촉하도록 배치되어 있고, 접촉자의 후단은 검사 장치와 전기적으로 접속되는 검사 지그의 전극부와 접촉하도록 배치되어 있다. 실제로 검사가 실시되는 경우에는, 접촉자가 검사점과 이 전극부로부터 가압됨으로써 전기적 접촉의 안정성을 확보한다.

검사 지그는, 기판의 배선의 검사점의 수에 따라서 접촉자의 개수가 구비된다. 검사 지그에 따라 다르지만, 수백 내지 수천 개의 접촉자를 구비하여 형성되어 있다. 이 검사 지그에 구비되는 접촉자는, 기판의 배선에 대해 접촉/비접촉을 반복하여 다수의 기판의 검사에 사용된다. 접촉자는, 많으면 하루에 5만개의 기판을 검사하는 경우가 있으며, 이 경우, 5만회의 접촉/비접촉이 반복해서 행해지게 된다. 이 때문에, 접촉자는, 내구성이 요구됨과 함께, 접촉자에 이상이 발생한 경우에는 신속히 교환할 필요가 있다.

또한, 접촉자는, 상기와 같이, 검사점과 접촉/비접촉을 반복하는데, 검사점이 땜납 범프로 형성되어 있는 경우에는, 접촉자가 땜납 범프에 접촉함으로써, 접촉자에 땜납 범프 부스러기가 부착되는 경우가 있다. 이러한 경우, 이 땜납 범프 부스러기가 접촉자와 검사점의 접촉 상태에 영향을 주어, 검사를 정확하게 행할 수 없게 되는 경우도 있었다. 또한, 상기와 같이 다수의 접촉/비접촉을 반복하기 때문에, 접촉자의 선단이 절곡되거나 하는 문제가 있다. 이러한 경우에는, 접촉자를 교환하여 대응하게 되는데, 검사 결과의 불량이 검출되고서야 비로소 배선의 불량인지 접촉자의 이상인지를 검사하였었다.

이 때문에, 접촉자의 이상은, 배선의 불량이 검출되고서야 비로소 확인되었다. 이러한 점에서, 예를 들어 특허문헌 1에 개시되는 기술이 창출되었다. 이 특허문헌 1에 개시되는 기술에서는, 접촉자의 선단에 레이저를 조사함으로써, 접촉자의 이상을 검출하고자 하는 것이다.

그러나, 이러한 접촉자의 이상 검출 방법에서는, 레이저를 조사하는 레이저 조사 기구(조사부나 수광부)를 설치할 필요가 있는 점, 또한, 접촉자의 이상을 검출하기 위한 공정이 필요하게 되는 점 등의 수고가 발생하게 되어 있었다.

일본 특허 공개 평7-161783호 공보

본 발명은, 접촉자를 검사하기 위한 특별한 공정을 필요로 하지 않고, 검사 대상의 배선의 도통 검사를 행하는 동시에, 접촉자의 상태를 파악하여, 교환의 필요가 있는 접촉자를 이상이 발생하기 전에 검출한다.

본 발명의 일 양태는, 전기적으로 검사가 행하여지는 검사 대상물과, 상기 검사를 실시하는 검사 장치를 접속하는 접속 지그에 설치되는 접촉자의 유지 보수를 행하는 방법으로서, 상기 검사 대상물에 설치되는 복수의 검사점에 대하여 상기 검사점에 대응하는 상기 접속 지그의 복수의 접촉자를 접촉시켜, 상기 검사 장치가, 상기 검사 대상물로부터 검사의 대상이 되는 검사 대상 부위를 선출함과 함께, 상기 접촉자를 통해 상기 검사 대상 부위에 검사를 위한 전력을 공급하고, 상기 전력이 공급되고 있을 때의 상기 접촉자에 관한 전압 변화를 검출하여, 상기 전압 변화가, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 유지 보수 정보를 알리는 접촉자의 유지 보수 방법을 제공한다.

상기 검사 대상 부위의 검사가 상기 검사 대상 부위의 도통 검사이다.

상기 전압 변화의 검출이, 미리 설정되는 제1 전압값의 증가 구간에서, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 상태에서, 다시 상기 제1 전압값부터 상기 제1 전압값보다 크게 설정되는 제2 전압값까지의 사이에서, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 유지 보수 정보를 알린다.

본 발명의 다른 양태는, 전기적으로 검사가 행하여지는 검사 대상물과, 상기 검사를 실시하는 검사 장치를 접속하는 접속 지그에 설치되는 접촉자의 유지 보수를 행할 수 있는 해당 검사 장치로서, 상기 검사 대상물의 도통 검사를 행하기 위한 전력을 공급하는 전원 수단과, 상기 전원 수단에 의해 상기 검사 대상물에 인가되는 전압값을 검출하는 전압 검출 수단과, 상기 전원 수단이 상기 검사 대상물에 도통 검사를 행하기 위한 전력을 공급하는 동안에, 상기 전압 검출 수단이 검출하는 전압값이 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 검사 대상물과 상기 전원 수단을 전기적으로 접속하는 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 판정하는 판정 수단을 구비하는 검사 장치를 제공한다.

상기 검사 장치는, 상기 검사 대상물로부터 검사의 대상이 되는 검사 대상 부위를 선출하는 선출 수단을 더 구비하고, 상기 전원 수단은 상기 접촉자를 통해 상기 검사 대상 부위에 검사를 위한 전력을 공급한다.

상기 전압 검출 수단에 의해 상기 전압 변화의 검출이, 미리 설정되는 제1 전압값의 증가 구간에서, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 상태에서, 다시 상기 제1 전압값부터 상기 제1 전압값보다 크게 설정되는 제2 전압값까지의 사이에서, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 판정 수단은 상기 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 유지 보수 정보를 알린다.

본 발명에 의하면, 전기적으로 접촉하는 접촉자의 이상을 검출할 수 있으므로, 접촉자가 사용 불능이 되기 전에 새로운 접촉자로 교환하는 타이밍을 검출할 수 있다. 이 때문에, 도통 검사나 단락 검사 등의 불량 상태가 발생한 후, 처음으로 접촉자의 이상을 검토하기 위한 검사가 필요해지고 있었는데, 이러한 재검사는 물론, 접촉자에 의한 불량 상태가 없어지기 때문에, 접촉자의 이상에 의한 생산성의 저감이 없어진다. 이 때문에, 생산성이 높은(가동률이 높은) 접촉자의 유지 보수 방법을 제공할 수 있다.

도통 검사시에 접촉자의 유지 보수 판단을 행할 수 있으므로, 접촉자의 이상 검사를 위한 검사 공정을 설치하지 않고, 접촉자의 검사를 행할 수 있다.

전압 변화의 검출을 다단계로 설정함으로써, 제1 전압값에 따라서 계속적인 검사 시간을 짧게 하는 것이 가능하게 됨과 함께, 제2 전압값을 설정함으로써 보다 고정밀도로 접촉자의 이상을 검출할 수 있다.

도 1은 도통 검사를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치의 개략 구성을 나타낸다. 또한, 검사 대상물로서 기판이 설치되어 있다.
도 3은 전압 변화의 모습을 나타낸 그래프이다.
도 4는 제1 전압값과 제2 전압값을 설정한 경우의 전압 변화의 모습을 나타낸 그래프이다.
도 5는 본 발명에 따른 검사 장치에서의 검사를 실시하는 일 실시 형태를 도시하는 도면이다.

본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명한다.

먼저, 본 발명의 기본적인 개념을 설명한다. 본 발명은 검사 대상물의 도통 검사를 행하는 경우에, 도통 검사를 행하기 위한 전력 공급 상태로부터, 이 검사 대상물에 접촉하고 있는 접촉자의 유지 보수를 관리하고자 하는 것이다.

도 1은, 도통 검사를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. 도통 검사로서, 기판(CB)에 형성되는 배선(T)을 검사 대상물로 해서 실시되는 검사가 도시되어 있다. 이 도 1에서는, 검사 대상의 기판(CB)에 배선(T)이 형성되어 있고, 이 배선(T)의 도통 상태를 검사한다. 이 때문에, 배선(T)의 양단에는, 접촉자(P)(부호 P1과 P2)가 배치되어 있고, 전류원(CC)이 직렬 접속되어, 배선(T)간에 전력이 공급된다. 이 접촉자(P)간의 전압을 전압계(V)에 의해 측정할 수 있도록 접속되어 있다. 이 전압계(V)에 의해 측정되는 전압값과 전류원(CC)이 공급하는 전류값에 의해, 배선(T)의 저항값이 산출된다. 이 산출된 저항값에 의해, 배선(T)의 도통 상태가 양호 상태인지, 불량 상태인지가 판정된다.

도 1에서 도시하는 바와 같은 도통 검사에서는, 전류원(CC)으로부터의 전력이 공급되기 시작하고 나서부터, 소정의 시간이 경과한 후에, 전압계(V)에 의한 측정이 실시된다. 이것은, 검사 대상물의 배선(T)의 전기적인 특성을 안정시키기 위해서이며, 전기적인 특성이 안정된 후에 전압을 측정함으로써, 정밀도가 높은 측정을 행할 수 있다.

본 발명은, 이 배선(T)의 도통 검사를 실시하기 위한 전력을 공급할 때의 전압의 변화를 측정함으로써, 접촉자(P)의 유지 보수 필요 여부의 판정을 실시하는 것이다. 이 때문에, 상세한 설명은 후술하지만, 전압계(V)는, 이 공급되는 전압의 시계열적 변화(계시적인 변화)를 측정하게 된다.

본 발명에 따른 기판 검사 장치(1)에 대하여 설명한다. 도 2는, 본 발명에 따른 기판 검사 장치의 개략 구성도이다. 본 기판 검사 장치(1)는, 전원 수단(2)과, 전압 검출 수단(3)과, 산출 수단(4)과, 판정 수단(5)과, 선출 수단(6)과, 기억 수단(10)과, 표시 수단(11) 등을 갖고 있다. 또한, 이 기판 검사 장치(1)에는, 기판(CB)의 배선(T)과 이 기판 검사 장치(1)를 전기적으로 접속하기 위한 지그(도시하지 않음)가 배치되어 있고, 그 지그에 비치되는 접촉자(CP)가 배선(T)의 소정의 검사점에 접촉하도록 설치되어 있다.

도 2에서는, 기판 검사 장치(1)가 기판(CB)의 도통 검사를 준비하는 모습을 나타내고 있고, 기판(CB)에 2개의 배선(T1)과 배선(T2)이 도시되어 있다. 배선(T1)과 배선(T2)은, 2 단자 측정 방법에 의한 도통 검사가 행하여지는 상태를 나타내고 있다. 또한, 4 단자 측정 방법에 의해, 배선(T)을 도통 검사하는 경우에는, 예를 들어 배선(T1)의 일단에 2개의 접촉자(CP)를 도통 접촉시키고, 타단에도 2개의 접촉자(CP)를 도통 접촉시킴으로써 계측을 행할 수 있다. 이 경우에는, 일단과 타단에 접속되는 각각의 2개의 접촉자(CP)를 한 쌍의 접촉자로 해서, 전류 공급용과 전압 측정용으로서 사용함으로써 4 단자 측정 방법을 실시하게 된다.

전원 수단(2)은, 기판(CB)에 형성되는 배선(T)의 도통 상태를 검사하기 위한 전력을 공급한다. 이 전원 수단(2)은, 제1 전류와 제2 전류를 적어도 2종류의 전류값의 전류로 공급할 수 있다. 이 전원 수단(2)은, 예를 들어 정전류원을 사용할 수 있다. 이 경우, 전원 수단(2)은, 배선(T)에 공급하는 전류값을 전류값 정보로서, 후술하는 산출 수단(4) 등에 송신하게 된다.

전압 검출 수단(3)은, 전원 수단(2)에 의해 검사 대상의 배선(T)에 전력이 공급되고 있을 때에, 이 배선(T)의 전압을 검출한다. 이 전압 검출 수단(3)이 배선(T)의 전압을 검출함으로써, 후술하는 산출 수단(4)에서 배선(T)의 저항값이 산출된다. 이 전압 검출 수단(3)은 전압계를 사용할 수 있다. 또한, 전원 수단(2)과 전압 검출 수단(3) 및 후술하는 전류 검출 수단(12)은, 후술하는 산출 수단(4)이나 기억 수단(10) 등과 접속되어 있어, 전류를 공급하는 조건(전류값이나 전압값)이나 검출한 전류값이나 전압값을 정보로서 송신한다.

이 전압 검출 수단(3)은 특히, 배선(T)에 전력이 공급될 때의 배선(T)의 전압값을 시계열적으로 측정한다. 이 측정 정보는, 상기와 같이, 기억 수단(10) 등에 측정 정보로서 송신된다.

산출 수단(4)은, 전압 검출 수단(3)에 의해 검출된 전압값 정보를 기초로, 검사 대상의 배선(T)의 저항값을 산출한다. 이 산출 수단(4)은, 전원 수단(2)이 공급하는 전류값 정보와 전압 검출 수단(3)에 의해 검출되는 전압값 정보를 기초로, 저항값을 산출한다. 이 산출 수단(4)이 저항값을 산출하는 방법은, 예를 들어 옴의 법칙을 사용하여 산술 처리할 수 있도록 설정할 수 있다. 산출 수단(4)이 산출한 산출 결과(저항값 정보)는, 판정 수단(5) 및/또는 기억 수단(10)에 송신된다.

판정 수단(5)은, 산출 수단(4)에 의해 산출된 저항값을 사용하여, 검사 대상의 배선(T)의 도통 상태의 불량 여부를 판정한다. 이 판정 수단(5)이 저항값 정보를 사용하여 판정하는 방법은, 예를 들어 미리 양호 상태의 범위를 정해 두고, 이 범위에 저항값 정보가 존재하는 경우에는 양호 상태라고 판단할 수도 있다. 판정 수단(5)이 행하는 판정 결과(판정 정보)는, 기억 수단(10)이나 표시 수단(11)에 송신된다.

판정 수단(5)은 또한, 전압 검출 수단(3)이 검출하는 전압값 정보의 변화로부터, 접촉자(CP)의 유지 보수 정보를 검출한다. 이 판정 수단(5)은, 도통 검사시에 공급되는 배선(T)의 전압값 정보를 시계열로 감시하고 있어, 이 전압값 정보의 변화로부터 접촉자(CP)의 유지 보수 정보(접촉자의 교환 정보)를 얻을 수 있다.

이 판정 수단(5)이 행하는 유지 보수 정보의 취득 방법은, 도통 검사가 실시되는 전력 공급 중에 전압값 정보에 소정의 변화가 발생한 경우에, 접촉자(CP)의 교환 정보가 발신되도록 설정되어 있다.

판정 수단(5)이 행하는 교환 정보의 취득 방법은, 검사 대상의 배선(T)에 공급되는 전압이 시계열로 증가하는 것을 이용하여 행하여진다. 보다 구체적으로는, 판정 수단(5)은, 전압 검출 수단(3)이 검출하는 전압값 정보를 시계열로 기억함으로써, 시계열적인 변화를 산출하여 행하여진다. 판정 수단(5)은, 이 전압값 정보의 시계열적인 변화를 기초로, 접촉자(CP)의 교환 시기를 검출함으로써 행하여진다. 이 때문에, 판정 수단(5)은, 전압값의 시계열적인 변화에 따라, 접촉자(CP)의 교환 필요/교환 불필요 판단을 행할 수 있다.

구체적으로는, 접촉자(CP)에 이상이 없는 경우에는, 이 전압값 정보는 일정한 증가율로 증가한다. 도 3의 (a)는, 접촉자(CP)에 이상이 없는 경우의 전압값 정보의 변화를 나타내는 그래프이다. 이 도 3의 (a)에서 나타낸 바와 같이, 전압의 공급 개시 직후(시각 t1 부근)와, 도통 검사가 실시되는 소정의 전압에 도달하기 직전(시각 t2 부근) 사이의 전압은, 일정한 기울기로 증가하게 된다. 그러나, 접촉자(CP)에 이상이 존재하는 경우, 이 전압은 일정한 증가 기울기로 증가하지 않고, 예를 들어 도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이, 일부에 감소하는 경우나, 일부가 증가·감소가 나타나지 않는 경우(예를 들어, 시각 t4에서의 전압값의 일시 감소)가 존재하게 된다. 이렇게 일정 증가의 기울기로 전압값이 증가하지 않는 경우에는, 어떠한 접촉자(CP)의 이상이 존재하는 경우가 매우 많아, 이 현상을 포착함으로써, 접촉자(CP)의 교환 시기를 관리할 수 있다.

판정 수단(5)은, 상기와 같이, 전압값이 일정하게 증가하는 경우에는 접촉자(CP)에 이상이 없다(접촉자를 교환할 일이 없는 상태)고 판단하고, 전압값이 일정하게 증가하지 않는 경우에는, 접촉자(CP)에 이상이 있다(즉, 접촉자를 교환할 필요가 있는 상태)고 판단하게 된다.

이 판정 수단(5)이 행하는 구체적인 판단 방법은, 도전 검사를 실시하기 위한 전력이 공급되기 시작하고 나서부터 도통 검사를 위한 측정이 실시되는 동안의 전압값의 변화를 감시한다. 이 경우, 판정 수단(5)은, 전압값의 변화가 감소인 마이너스 방향으로의 기울기가 검출되었을 때에, 접촉자(CP)의 교환 시기라고 판단한다.

또한, 이 판정 수단(5)이 행하는 구체적인 판단 방법은, 전력이 공급되는 일정 기간의 전압값을 감시하여, 이 기간의 전압값의 증가율을 파악하는 방법을 예시할 수 있다. 이 경우, 일정 기간의 전압값이 일정한 증가율(기울기)을 갖고 있지 않을 때에, 접촉자(CP)의 교환 시기라고 판단한다.

판정 수단(5)이, 상기와 같이 교환 시기의 판단을 행한 경우에는, 그 접촉자(CP)와 교환 시기라는 취지의 표시가, 표시 수단(11)에 표시된다.

상기의 판정 수단(5)의 판단 방법은, 전력을 공급하기 시작하고 나서부터 도통 검사가 행하여질 때까지의 전압값 정보를 감시함으로써 행하여지지만, 보다 정확하게 접촉자(CP)의 교환 시기를 고정밀도로 검출하기 위해서, 전압을 다단계로 나누어서 감시할 수도 있다.

예를 들어, 전압값을 도통 검사가 실시되는 경우의 제1 전압값과, 접촉자(CP)의 교환 상태를 검출하기 위한 제2 전압값으로 하여, 각각 설정한 2단계로 감시할 수도 있다. 제1 전압값은, 제2 전압값보다 작게 설정되어 있고, 전압값이 제1 전압값에 도달할 때까지의 동안에 상기의 교환 정보가 검출된 경우에, 또한, 전압값을 제2 전압값까지 상승시킨다. 그리고, 이 제1 전압값으로부터 제2 전압값까지의 사이에서, 상기의 교환 정보가 검출되는지를 판정 수단(5)이 상기와 같이 감시한다. 판정 수단(5)이, 제1 전압값으로부터 제2 전압값까지의 사이에서 교환 정보(전압값의 소정의 변화)를 검출한 경우에는, 판정 수단(5)은 접촉자(CP)의 교환 정보를 발신한다. 이렇게 설정함으로써, 제1 전압값까지 발신되는 교환 정보는 사전 교환 정보로서 이용하고, 이 사전 교환 정보를 검출한 경우에 또한 제2 전압값까지 전압값을 상승시키고, 이 구간의 전압값의 변화에 의해 교환의 필요 여부를 판단하도록 설정할 수 있다.

예를 들어, 도 4에 나타내는 실시 형태를 설명한다. 이 도 4에 나타내는 실시 형태에서는, 제1 전압값으로서 V1을 설정하고, 제2 전압값으로서 V2가 설정된다. 제1 전압값(V1)까지 전압 강하 등의 전압 변화의 이상이 검출되지 않은 경우에는, 도 4의 (a)에서 나타낸 바와 같이, 시각 t3에서 도통 검사가 실시된다. 그러나, 도 4의 (b)에서 나타낸 바와 같이, 제1 전압값(V1)으로 전압을 증가시키는 도중에, 전압 강하(p1)를 검출한 경우에는, 전압 리미트를 제2 전압값(V2)까지 상승시킨다. 그리고, 제1 전압값(V1)과 제2 전압값(V2)의 사이에서의 전압 강하를 감시한다. 이 경우, 제1 전압값(V1)부터 제2 전압값(V2)까지의 사이에서, 전압 강하가 검출되지 않으면, 접촉자(CP)의 교환은 행하여지지 않고, 그대로 도통 검사가 실시된다. 또한, 이 경우, 제2 전압값(V2)으로 도통 검사를 실시하도록 설정할 수도 있다.

또한, 제1 전압값과 제2 전압값의 사이에서 전압 강하(p2)를 검출한 경우에는, 접촉자(CP)에 이상이 검출되는 것으로 되어, 검사 대상물에 전기적으로 접속하는 접촉자(CP)를 교환한다. 또한, 이 경우, 전압 강하(p2)를 검출한 시각이나 전압값을 기억하는 것이 바람직하다. 특히, 전압 강하(p2)의 전압값을 기억함으로써, 더욱 정밀도가 높은 접촉자(CP)의 교환 시기를 검출할 수 있다.

또한, 제1 전압값부터 제2 전압값까지의 교환 정보를 검출하는 경우에는, 이 구간에서의 교환 정보를 검출한 전압값을 기초로, 교환 필요 여부를 판정 수단(5)이 다시 판단하도록 설정할 수도 있다. 구체적으로는, 제1 전압값부터 제2 전압값의 구간에서 교환 정보가 검출된 전압값을 검출 전압값으로 했을 경우에, 이 검출 전압값에 의해, 교환의 필요 여부 및 교환 시기를 추측할 수도 있다. 예를 들어, 검출 전압값이 제2 전압값보다 제1 전압값에 가까운 경우에는 교환 불필요라고 판단하고, 제2 전압값에 가까운 경우에는 교환 필요라고 판단할 수도 있다.

또한, 이 검출 전압값에 의해, 교환 필요 여부가 아니라, 교환 시기를 추정할 수도 있다. 예를 들어, 검출 전압값이 제2 전압값보다 제1 전압값에 가까운 경우에는 교환 불필요로 사용을 계속하는 것이 가능하다고 판단하고, 제2 전압값에 가까워지면 질수록 교환 필요로 사용을 계속하는 것이 불가능하다고 판단할 수도 있다. 이 경우, 제2 전압값 이외의 제3 전압값(제1 전압값<제3 전압값<제2 전압값)을 설정해 두고, 교환 정보의 전압값이 제3 전압값을 초과한 위치(전압값)에서 검출된 경우에, 접촉자(CP)를 교환하도록 설정할 수 있다.

제1 전압값 및 제2 전압값의 구체적인 전압값은, 검사 대상물에 따라 검사 사용자에 의해 적절하게 설정되지만, 예를 들어 제1 전압값을 150V, 제2 전압값을 250V로 설정할 수 있다. 또한, 제1 전압값은, 검사 대상물의 도통 검사가 실시되는 경우의 전압 리미트값이며, 제2 전압값은 접촉자(CP)의 이상을 검출하기 위한 전압값이 된다. 이 때문에, 이 전압값은, 검사의 조건에 따라 적절하게 설정된다.

판정 수단(5)은, 상기와 같이, 검출되는 전압값 정보의 변화로부터 일정한 증가율이 아닌 상태를 검출한 경우에, 교환 정보를 발신하도록 설정됨으로써, 접촉자(CP)의 교환의 필요성을 촉구하게 된다. 또한, 판정 수단(5)의 교환 정보의 처리하는 방법은, 상기와 같이, 교환 정보를 직접적으로 접촉자(CP)의 교환 시기로 처리하도록 설정될 수도 있고, 교환 정보를 하나의 트리거로 해서 다시 교환 정보를 수신한 경우에 접촉자(CP)의 교환 시기라고 판단할 수도 있다. 또한, 이들 판정 수단(5)의 기능은, 검사 대상물이 검사되기 전에 미리 설정된다.

선출 수단(6)은, 기판(CB)의 복수의 배선(T)으로부터 검사 대상이 되는 배선(T)을 선출하여, 검사 대상의 배선(T)을 특정한다. 이 선출 수단(6)이 검사 대상의 배선(T)을 특정함으로써, 순차적으로, 도통 검사가 행하여지는 배선이 선출된다. 이 선출 수단(6)이 행하는 검사 대상의 배선(T)의 선출 방법은, 미리 기억 수단(10)에 검사 대상이 되는 배선(T)의 순서가 설정되고, 이 순서에 따라서 검사 대상의 배선(T)이 선출되는 방법을 예시할 수 있다. 이 선출 방법은, 상기와 같은 방법을 채용할 수도 있지만, 검사 대상이 되는 배선(T)이 순서대로 잘 선출되는 방법이라면 특별히 한정되지 않는다.

이 선출 수단(6)이 행하는 구체적인 배선(T)의 선출은, 절환 수단(7)을 사용함으로써 실시된다. 예를 들어, 절환 수단(7)의 각 스위치 소자(SW)의 ON/OFF 제어를 행함으로써, 검사 대상이 되는 배선(T)을 선출할 수 있다. 구체적인 제어 방법에 대해서는 후술한다.

전류 공급 단자(8)는, 검사 대상간의 전류를 공급하기 위해서, 각 배선(T)과 접촉자(CP)를 통해 접속된다. 이 전류 공급 단자(8)는, 전원 수단(2)의 상류측(정극측)과 배선(T)을 접속하는 상류측 전류 공급 단자(81)와, 전원 수단(2)의 하류측(부극측) 또는 전류 검출 수단(12)과 배선(T)을 접속하는 하류측 전류 공급 단자(82)를 갖고 있다. 도 2에서 나타낸 바와 같이, 이 전류 공급 단자(8)의 상류측 전류 공급 단자(81) 및 하류측 전류 공급 단자(82)는, 각각의 배선(T)의 검사점에 대하여 설치할 수 있다. 이 상류측 전류 공급 단자(81)와 하류측 전류 공급 단자(82)는, 각각에 절환 수단(7)의 스위치 소자(SW)를 갖고 있으며, 이 절환 수단(7)의 스위치 소자(SW)의 ON/OFF 동작에 의해, 접속 상태/미접속 상태가 설정된다. 이 전류 공급 단자(8)는, 정전기 방전(electro-static discharge) 보호용의 저항이 배치되어도 된다.

전압 검출 단자(9)는, 검사 대상간의 전압을 검출하기 위해서, 각 배선(T) 또는 검사점과 접촉자(CP)를 통해 접속된다. 이 전압 검출 단자(9)는, 전압 검출 수단(3)의 상류측(정극측)과 배선(T)을 접속하는 상류측 전압 검출 단자(91)와, 전압 검출 수단(3)의 하류측(부극측)과 배선 패턴을 접속하는 하류측 전압 검출 단자(92)를 갖고 이루어진다. 도 2에서 나타낸 바와 같이, 이 전압 검출 단자(9)의 상류측 전압 검출 단자(91) 및 하류측 전압 검출 단자(92)는, 각각의 배선(T)에 대하여 설치할 수 있다. 이 상류측 전압 검출 단자(91)와 하류측 전압 검출 단자(92)는, 전류 공급 단자(8)와 마찬가지로, 각각에 절환 수단(7)의 스위치 소자(SW)를 갖고 있으며, 이 절환 수단(7)의 스위치 소자(SW)의 ON/OFF 동작에 의해, 접속 상태/미접속 상태가 설정된다.

전류 공급 단자(8)와 전압 검출 단자(9)는, 도 2에서 나타낸 바와 같이, 배선(T)의 검사점에 도통 접촉하는 1개의 접촉자(CP)에 대하여 4개의 단자가 배치되며, 각 단자의 ON/OFF 제어를 행하는 4개의 스위치 소자(SW)가 구비된다.

절환 수단(7)은, 상기한 각 접촉자(CP)에 도통 접속되는 복수의 스위치 소자(SW)로 구성되어 있다. 이 절환 수단(7)은, 후술하는 선출 수단(6)으로부터의 동작 신호에 의해, ON/OFF의 동작이 제어된다.

이어서, 구체적인 선출 방법에 대하여 설명한다.

예를 들어, 도 5에서 나타내는 실시 형태에서는, 배선(T1)이 도통 검사의 검사 대상이 되는 경우를 나타내고 있다. 이 실시 형태에서는, 검사 대상이 되는 배선(T1)의 일단(T1a)이, 전원 수단(2)의 상류측과 접속되기 위한 상류측 전류 공급 단자(81)와 접속되도록, 스위치 소자(SW1)가 ON이 되게 한다. 또한 동시에, 상류측 전압 검출 수단(91)과 이 배선(T1)의 일단(T1a)이 접속되도록 스위치 소자(SW2)가 ON이 된다. 또한, 한편, 배선(T1)의 타단(T1b)은, 전원 수단(2)의 하류측(또는 전류 검출 수단(12))과 접속되기 위한 하류측 전류 공급 단자(82)와 접속되도록, 스위치 소자(SW4)가 ON이 된다. 또한 동시에, 배선(T1)의 타단(T1b)이 전압 검출 수단(3)의 하류측과 접속되기 위한 하류측 전압 검출 단자(92)와 접속되도록, 스위치 소자(SW3)가 ON이 된다. 이렇게 선출 수단(6)이, 절환 수단(7)에 스위치 소자(SW)를 ON/OFF 신호를 재촉함으로써, 검사 대상의 배선(T)을 선출할 수 있다.

기판 검사 장치(1)는, 전류 검출 수단(12)을 설치할 수도 있다. 이 전류 검출 수단(12)은, 검사 대상의 배선(T)을 흐르는 전류를 검출할 수 있다. 이 전류 검출 수단(12)은, 전원 수단(2)으로부터 공급되는 전류를 확인적으로 검출할 수 있다.

기억 수단(10)은, 기판(CB)의 배선(T)의 도통 검사를 행하기 위한 정보를 저장한다. 이 기억 수단(10)에 저장되는 정보에 의해, 모든 배선(T)의 검사가 실시된다. 이 기억 수단(10)에는, 상기 각 수단이 행한 처리의 결과를 수신하여 기억할 수도 있다. 이 기억 수단(10)은, 판정 수단(5)이 행하는 전압값의 변화를 산출하기 위해서, 전압 검출 수단(3)에 의해 검출되는 검출 결과가 시계열로 기억된다. 또한, 판정 수단은, 이 기억 수단(10)에 기억되는 전압값 정보를 기초로, 전압값의 변화를 산출한다.

표시 수단(11)은, 전원 수단(2)이 공급하는 전류 정보나, 전압 검출 수단(3)이 검출하는 검출 정보나, 판정 수단(5)이 판정하는 판정 정보 등을 표시한다. 이 표시 수단(11)이 이들 정보를 표시함으로써, 본 기판 검사 장치(1)의 사용자는 검사의 상태나 도통 검사의 검사 결과를 알 수 있다.

본 발명에서는, 검사 대상물로서 배선(T)에 접촉하는 접촉자(CP)로서 상기의 설명을 행했지만, 도 1에서 나타낸 바와 같이, 배선(T)에 접촉하는 접촉자(CP)는 2개에 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 배선(T)에 접촉하는 2개의 접촉자(CP)가 존재하는 경우, 접촉자(CP)의 이상은 이들 2개의 접촉자(CP)를 기준으로 해도 되고, 전원 수단(2)의 플러스측의 전위에 전기적으로 접속하는 접촉자(CP)를 기준으로 해도 된다. 또한, 전원 수단(2)의 플러스측의 전위에 전기적으로 접속하는 접촉자(CP)를 기준으로 하는 경우에는, 다음의 배선(T)의 동일한 검사에서는, 극성을 바꾸어 검사함으로써, 2번째 접촉자(CP)의 이상을 검출할 수 있다.

이상이 본 발명의 기판 검사 장치의 구성의 설명이다.

이어서, 본 기판 검사 장치의 동작의 설명을 행한다. 또한, 기판(CB)의 배선(T)은, 검사 대상의 배선으로서 선출된 후에, 도통 검사가 실시되어, 배선(T)이 양호 상태라고 판단되었을 때에는, 다음의 배선(T)이 검사 대상의 배선(T)으로서 순차적으로 도통 검사가 실시되는데, 이 설명에 대해서는 생략하고, 검사 대상으로서 선택된 배선(T)에 대하여 행하여지는 도통 검사에 대하여 구체적으로 설명을 행한다.

제1 실시 형태로서, 제1 전압값만이 설정되는 경우의 기판 검사 장치(1)에 대하여 설명한다. 이 경우, 예를 들어 제1 전압값이 250V로 설정된다. 이어서, 제1 전압값이 설정되면, 검사 대상의 배선(T)에 대해 도통 검사가 실시된다. 도 5는, 검사 대상의 배선으로서 도면 중의 배선(T1)이 선출되어, 도통 검사가 실시되는 상태로 나타내고 있다. 이때, 상기의 선출 수단(6)에 의해 검사의 순서에 따라서 절환 수단(7)의 스위치 소자(SW)의 ON/OFF 동작을 재촉하는 신호가 송신된다. 검사 대상의 배선(T)이 설정되면, 먼저, 배선(T)의 도통 검사가 실시된다. 이때, 전압 검출 수단(3)은, 검사 대상의 배선(T)에 공급되는 전압값을 검출한다. 또한, 이 경우, 전압 검출 수단(3)은, 배선(T)에 전압이 인가되기 시작하고 나서부터, 도통 검사가 실시될 때까지, 배선(T)의 전압값을 감시하게 된다.

상기의 전압이 인가되고 나서 도통 검사가 실시될 때까지 동안에, 판정 수단(5)은, 전압 검출 수단(3)이 검출하는 전압값의 변화를 감시한다. 이때, 배선(T)으로부터 검출되는 전압값이 일정한 증가율을 갖고 있는 경우에는, 판정 수단(5)은 교환 정보를 발신하지 않으므로, 접촉자(CP)에 문제가 없는 것으로 되어, 계속적으로 이 접촉자(CP)를 사용하게 된다.

또한, 배선(T)으로부터 검출되는 전압값이 일정한 증가율을 갖고 있지 않은 경우, 구체적으로는, 전압값이 감소하고 있을 경우에는, 판정 수단(5)은, 교환 정보를 발신하게 된다. 이 때문에, 접촉자(CP)는 이상 있음으로 판단되어, 도통 검사 후에 이 접촉자(CP)를 교환한다. 이와 같이, 본 발명의 유지 보수 방법을 사용함으로써, 검사 대상물의 검사를 실시할 수 없게 되기 전에, 접촉자(CP)의 교환 시기를 판단할 수 있다. 이 때문에, 검사 대상물과 접촉자의 접촉 이상 등의 요인을 저감할 수 있어, 접촉 이상에 의한 단위 시간당 기판을 처리하는 능력의 저하를 방지할 수 있다.

이어서, 제1 전압값과 제2 전압값을 설정하는 경우를 설명한다. 제1 전압값과 제2 전압값을 사용하여 접촉자의 유지 보수 관리를 행하는 경우에는, 제1 전압값에는 검사 대상물의 도통 검사를 행하기 위한 전압 리미트값이 설정되고, 제2 전압값에는 접촉자의 이상을 검사하기 위한 전압값이 설정된다. 이 경우, 예를 들어 제1 전압값은 150V로 설정되고, 제2 전압값은 250V로 설정된다.

이어서, 검사 대상물의 도통 검사를 실시하기 위해, 전원 수단(2)으로부터 전력이 공급된다. 이 전원 수단(2)으로부터의 전력은, 제1 전압값이 전압 리미트로서 공급된다. 이때, 전압 검출 수단(3)은, 검사 대상물의 전압값을 계속해서 검출하고 있어, 전력이 인가되고 나서 도통 검사가 종료될 때까지, 그 전압값을 검출하여 송신한다. 판정 수단(5)은, 이 시계열로 기억되는 전압값의 변화를 산출한다. 따라서, 판정 수단(5)은, 이 시계열적인 변화에 대하여 일정한 증가율을 갖고 있는지 감시한다. 판정 수단(5)이, 일정한 증가율이라면 접촉자(CP)에 이상이 없는 것으로 해서, 도통 검사가 실시된다.

판정 수단(5)이 일정한 증가율로 전압값이 변화하고 있지 않은 것(예를 들어, 전압 강하를 검출)을 검출한 경우에는, 전압 리미트값이 제2 전압값으로 절환되어, 제1 전압값부터 제2 전압값까지의 전압값의 변화를 판정 수단(5)이 감시하게 된다. 판정 수단(5)은, 제1 전압값부터 제2 전압값까지의 전압 변화가 일정한 증가율인지의 여부를 감시한다. 이 경우, 일정한 증가율이라면 계속해서 도통 검사가 실시되고, 전압 강하 등의 일정한 증가율이 아닌 경우에는, 접촉자(CP)의 교환 필요 또는 교환 시기라고 판단하여, 교환 정보를 송신하게 된다.

1 : 기판 검사 장치 2 : 전원 수단
3 : 전압 검출 수단 5 : 판정 수단
T : 배선

Claims

전기적으로 검사가 행하여지는 검사 대상물과 상기 검사를 실시하는 검사 장치를 접속하는 접속 지그에 설치되는 접촉자의 유지 보수를 행하는 방법으로서,
상기 검사 대상물에 설치되는 복수의 검사점에 대하여 상기 검사점에 대응하는 상기 접속 지그의 복수의 접촉자를 접촉시키고,
상기 검사 장치가, 상기 검사 대상물로부터 검사의 대상이 되는 검사 대상 부위를 선출함과 함께, 상기 접촉자를 통해 상기 검사 대상 부위에 검사를 위한 전력을 공급하고,
상기 전력이 공급되고 있을 때의 상기 접촉자에 관한 전압 변화를 검출하고,
상기 전압 변화가, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 유지 보수 정보를 알리는, 접촉자의 유지 보수 방법.
제1항에 있어서,
상기 검사 대상 부위의 검사가 상기 검사 대상 부위의 도통 검사인, 접촉자의 유지 보수 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 전압 변화의 검출이, 미리 설정되는 제1 전압값의 증가 구간에서, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 상태에서, 다시 상기 제1 전압값부터 상기 제1 전압값보다 크게 설정되는 제2 전압값까지의 사이에서, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 유지 보수 정보를 알리는, 접촉자의 유지 보수 방법.
전기적으로 검사가 행하여지는 검사 대상물과, 상기 검사를 실시하는 검사 장치를 접속하는 접속 지그에 설치되는 접촉자의 유지 보수를 행하는 해당 검사 장치로서,
상기 검사 대상물의 도통 검사를 행하기 위한 전력을 공급하는 전원 수단과,
상기 전원 수단에 의해 상기 검사 대상물에 인가되는 전압값을 검출하는 전압 검출 수단과,
상기 전원 수단이 상기 검사 대상물에 도통 검사를 행하기 위한 전력을 공급하는 동안에, 상기 전압 검출 수단이 검출하는 전압값이 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 검사 대상물과 상기 전원 수단을 전기적으로 접속하는 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 판정하는 판정 수단
을 구비하는, 검사 장치.
제4항에 있어서,
상기 검사 대상물로부터 검사의 대상이 되는 검사 대상 부위를 선출하는 선출 수단을 더 구비하고,
상기 전원 수단은 상기 접촉자를 통해 상기 검사 대상 부위에 검사를 위한 전력을 공급하는, 검사 장치.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 전압 검출 수단에 의해 상기 전압 변화의 검출이, 미리 설정되는 제1 전압값의 증가 구간에서, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 상태에서, 다시 상기 제1 전압값부터 상기 제1 전압값보다 크게 설정되는 제2 전압값까지의 사이에서, 시계열적으로 증가하지 않는 부위를 검출한 경우에, 상기 판정 수단은 상기 접촉자에 이상이 있는 것으로 해서 유지 보수 정보를 알리는, 검사 장치.