KR20150026763A - 분단 기구 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 취성 재료 기판의 측단부를 양호하게 분단시킬 수 있는 분단 기구를 제공하는데 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 미리 스크라이브 라인이 형성되어서 이루어진 기판의 끝 가장자리부를 상기 스크라이브 라인을 따라서 분단시키는 기구가, 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지하는 1쌍의 협지체와, 상기 1쌍의 협지체의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 구비하고, 상기 자세 변경 기구가 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지하고 있는 상기 1쌍의 협지체의 자세를 변경함으로써 상기 끝 가장자리부에 토크를 작용시키는 것에 의해서 상기 끝 가장자리부의 분단을 행할 수 있게 되어 있으며, 또한, 상기 1쌍의 협지체 중 한쪽이, 상기 끝 가장자리부를 따른 길이방향의 중앙부분에 돌기부를 지니고 있고, 상기 분단을 위하여 상기 1쌍의 협지체가 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지할 때에, 상기 돌기부를 상기 끝 가장자리부에 접촉시키도록 하였다.

Description

분단 기구{DIVIDING MECHANISM}

본 발명은, 액정 패널용의 접합 유리 기판 기타의 취성 재료 기판을 분단시키는 기구에 관한 것으로, 특히, 취성 재료 기판의 끝 가장자리부를 분단시키는 기구에 관한 것이다.

액정 패널은, 개략, 2매의 직사각 형상의 유리 기판 사이에 액정을 봉입한 구성의 대면적의 접합 기판(모(mother) 기판)을 소정의 크기로 분단시킴으로써 제작된다. 액정 패널의 한쪽 유리 기판 상에는, 각각이 액정 소자를 구성하는 복수의 트랜지스터가 미리 형성되어 있다. 단, 그들 트랜지스터는, 정전기에서의 절연 파괴를 방지하기 위하여, 모 기판의 단계에서는, 외부 접속용에 해당 트랜지스터로부터 인출한 전극단자를 개재해서, 모 기판의 측단부(돌출부)에 설치된 단락 전극에 의해서 서로 단락되어서 이루어진다. 액정 패널의 제조 프로세스에 있어서 단락 전극이 구비된 모 기판의 측단부를 분단 제거하는 기술은 이미 공지되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

구체적으로는, 특허문헌 1에는, 직사각 형상의 모 기판의 하나의 에지로부터 소정 거리의 분단 위치에 해당 에지에 평행하게 스크라이브 라인을 형성한 후, 형성한 스크라이브 라인을 따른 분단을 행함으로써 단락 전극이 설치되어 있던 측단부를 제거하고, 또한, 분단 후의 모 기판의 단부면을 연마한다고 하는 프로세스가 개시되어 있다.

또한, 세라믹 기판을 사이에 유지한 협지(挾持)수단을 회전축 둘레에서 회전시킴으로써, 세라믹 기판을 분할하는 장치도 이미 공지되어 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).

JPH8-197402 A JPH9-19918 A

특허문헌 1에 개시되어 있는 양상의 경우, 분단 제거되는 부분에 소정의 토크를 부여함으로써 분단을 실현하는 것으로 된다. 단, 분단 제거되는 부분은, 길이방향이 스크라이브 라인의 연신 방향인 한편, 짧은 방향이 스크라이브 라인의 길이에 비해서 폭이 좁은 탄자쿠(短冊) 형태를 이루고 있기 때문에, 결국은, 스크라이브 라인과 모 기판의 에지 사이의 거리가 스크라이브 라인의 길이에 비해서 상대적으로 짧은 것이기 때문에, 분단 시에는 거리에 의해 토크를 유리하게 취할 수 없다. 그 때문에, 분단을 실현하기 위해서는, 스크라이브 라인과 에지의 거리의 짧음을 커버하는데 충분한 크기의 힘을 작용시킬 필요가 생긴다. 그러나, 작용시키는 힘이 클수록, 분단 위치에 있어서 모 기판의 균열이나 흠집(벤 자국 등)이 생기기 쉽다고 하는 문제가 있다. 또, 그러한 힘을 분단 위치 전반에 걸쳐서 균일하고도 순간적으로 부여하는 것은 어려우므로, 작용하는 힘의 크기에 국소적인 불균일이 있는 것이 원인으로 되어서, 모 기판에 깨어짐이나 흠집이 생길 가능성도 있다.

본 발명은, 상기 과제를 감안해서 이루어진 것으로, 취성 재료 기판의 측단부를 양호하게 분단시킬 수 있는 분단 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 제1양상의 발명은, 미리 스크라이브 라인이 형성되어 있는 기판의 끝 가장자리부를 상기 스크라이브 라인을 따라서 분단시키는 기구로서, 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지하는 1쌍의 협지체(挾持體)와, 상기 1쌍의 협지체의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 포함하되, 상기 자세 변경 기구가 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지하고 있는 상기 1쌍의 협지체의 자세를 변경함으로써 상기 끝 가장자리부의 분단을 행할 수 있게 되어 있고, 또한, 상기 1쌍의 협지체 중 한쪽이, 상기 끝 가장자리부에 따른 길이방향의 중앙부분에 돌기부를 지니고 있으며, 상기 분단을 위하여 상기 1쌍의 협지체가 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지할 때에, 상기 돌기부를 상기 끝 가장자리부에 접촉시키는 것을 특징으로 한다.

제2양상의 발명은, 제1양상에 기재된 분단 기구로서, 상기 1쌍의 협지체에 의해 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지할 때에는, 상기 돌기부를, 상기 끝 가장자리부 중, 상기 스크라이브 라인이 형성되어 있는 쪽에 면을 접촉시키는 것을 특징으로 한다.

제3양상의 발명은, 제1 또는 제2향상에 기재된 분단 기구로서, 상기 돌기부는, 평면에서 보아서 상기 스크라이브 라인에 가까운 위치일수록 끝이 가는 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

제4양상의 발명은, 제1 내지 제3양상 중 어느 하나에 기재된 분단 기구로서, 상기 자세 변경 기구에 있어서는, 상기 1쌍의 협지체를 유지하는 유지부가 소정의 회동축 둘레에서 회동 가능하게 되어 있고, 소정의 승강 수단에 승강 동작을 시킴으로써 상기 회동축을 원호 형상의 궤적을 따라서 이동시키는 것에 의해, 상기 1쌍의 협지체의 자세를 변경하는 것을 특징으로 한다.

제1양상 내지 제4양상의 발명에 따르면, 돌기부가 구비되는 쪽의 협지체에 있어서, 분단시켜야 할 기판의 끝 가장자리부에 작용시키는 힘을 해당 돌기부에 집중시키도록 함으로써, 균열이나 벤 자국 등이 생기지 않는 끝 가장자리부의 분단을, 안정적이고도 확실하게 실현할 수 있다.

도 1은 분단 기구(1)의 개략 구성을 나타낸 일 측면도;
도 2는 분단 기구(1)의 평면도;
도 3은 분단 기구(1)를 Y축 방향 정(正)측에서 본 측면도;
도 4는 제1협지체(2)를 Z축 방향 부(負)측에서 본 평면도;
도 5는 기판(W)을 사이에 유지한 상태의 분단 기구(1)를 Y축 방향 정측에서 본 측면도;
도 6은 분단 기구(1)에 의한 기판(W)의 분단 개시 시의 상태를 나타낸 투과 평면도;
도 7은 분단 기구(1)에 의한 기판(W)의 분단 도중의 상태를 나타낸 투과 평면도;
도 8은 자세 변경 기구(4)의 하나의 예시적 양상과, 해당 양상에 있어서의 협지부(4a)의 회동 동작을 설명하기 위한 개요도;
도 9는 자세 변경 기구(4)의 하나의 예시적 양상과, 해당 양상에 있어서의 협지부(4a)의 회동 동작을 설명하기 위한 개요도;
도 10은 분단 처리 장치(100)의 요부를 나타낸 사시도;
도 11은 분단 처리 장치(100)의 요부를 나타낸 측면도.

<분단 기구의 개요>

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 분단 기구(1)의 개략 구성을 나타낸 일 측면도이다. 도 2는 분단 기구(1)의 평면도이다. 본 발명의 실시형태에 따른 분단 기구(1)는, 직사각 형상의 취성 재료 기판(이하, 단순히 "기판")(W)의 끝 가장자리부를 분단 제거하는 것이다. 기판(W)은, 예를 들어, 유리 기판이며, 액정 패널의 모 기판인, 2매의 직사각 형상의 유리 기판 사이에 액정을 봉입한 구성의 대면적인 접합 기판 등이어도 된다.

분단 기구(1)는, 1쌍의 협지체를 이루는 동시에 탄자쿠 형태의 제1협지체(2)와 제2협지체(3)와, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)에 의한 기판(W)의 협지 동작을 실현하는 협지부(4a)와, 협지부(4a)가 회동 동작할 때의 회동축(4b)을 주로 구비한다. 협지부(4a)와 회동축(4b)은, 기판(W)을 사이에 유지하고 있는 상태의 제1협지체(2)와 제2협지체(3)의 자세를 일체적으로 변경하는 자세 변경 기구(4)를 구성한다.

분단 기구(1)에 있어서는, 개략, 도시하지 않은 유지 수단에 의해서 기판(W)을 유지한 상태에서, 해당 기판(W)의 끝 가장자리부가，함께 평면에서 보아서 탄자쿠 형태이고, 또한 수평 자세인 제1협지체(2)와 제2협지체(3) 사이에서 유지된다. 그리고, 이러한 협지 상태에 있어서 자세 변경 기구(4)가 구동되는 것에 의해서 제1협지체(2)와 제2협지체(3)의 자세가 변경됨으로써, 해당 끝 가장자리부에 대해서 토크가 부여된다. 이러한 토크가 작용한 결과로서, 해당 끝 가장자리부가 기판(W)으로부터 분단되게 되어 있다.

또, 도 1 및 도2에 있어서는, 수평면 내에 있어서의 제1협지체(2) 및 제2협지체(3)의 뻗는 방향(결국에는 제거 대상인 기판(W)의 끝 가장자리부의 뻗는 방향)을 X축 방향으로 하고, 수평면 내에 있어서 X축 방향과 직교하는 방향을 Y축 방향으로 하고, 수직방향을 Z축 방향으로 하는 오른손 좌계의 XYZ 좌표를 첨부하고 있다(이후의 도면에 있어서도 마찬가지이다). 덧붙이자면, 도 1은 분단 기구(1)를 X축 방향 정측에서 본 측면도라고 말할 수 있다. 또한, 도 2에 있어서는, 자세 변경 기구(4)가 3군데에서 제1협지체(2) 및 제2협지체(3)와 접속된 양상이 표시되어 있지만, 이것은 어디까지나 예시이며, 자세 변경 기구(4)에 의한 제1협지체(2)와 제2협지체(3)의 지지 양상은 이것으로 한정되지 않는다.

<분단 기구의 상세 및 분단 양상>

이어서, 본 실시형태에 따른 분단 기구(1)의 상세 구성 및 분단 기구(1)에 의한 기판(W)의 분단 양상에 대해서 설명한다.

도 3은 분단 기구(1)를 Y축 방향 정측에서 본 측면도이다. 도 4는 제1협지체(2)를 Z축 방향 부측에서 본 평면도이다. 도 5는 기판(W)을 협지한 상태의 분단 기구(1)를 Y축 방향 정측에서 본 측면도이다. 도 6은 분단 기구(1)에 의한 기판(W)의 분단 개시 시의 상태를 나타낸 투과 평면도이다. 도 7은 분단 기구(1)에 의한 기판(W)의 분단 도중의 상태를 나타낸 투과 평면도이다.

우선, 도 1 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판(W)의 제거 대상인 끝 가장자리부에는, 분단에 앞서 미리 에지로부터 소정거리의 위치에 스크라이브 라인(SL)이 형성되어 있다. 이러한 스크라이브 라인(SL)의 형성은, 다이아몬드 포인트나 커터 휠 등의 공지의 스크라이브 라인 형성 수단에 의해서 실현된다.

이러한 스크라이브 라인(SL) 형성 완료된 기판(W)은, 스크라이브 라인(SL)이 형성된 측을 상부면 측(Z축 방향 정측)으로 한 상태에서, 자세 변경 기구(4)와 반대 쪽에서부터(Y축 방향 정측에서부터) 제1협지체(2)와 제2협지체(3) 사이에 삽입된다. 기판(W)이 사이에 삽입되면, 자세 변경 기구(4)의 협지부(4a)는, 이러한 기판(W)의 에지와 스크라이브 라인(SL)의 형성 위치 사이의 부분을, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)에 의해 사이에 유지시킨다. 이러한 협지 상태에 있어서는, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)의 각각으로부터, 기판(W)에 대해서 소정의 크기의 힘(압압력)이 작용한다.

또, 협지부(4a)에 있어서의 협지 동작, 즉, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)의 접근 및 격리는, 쌍방이 동시에 변위됨으로써 실현되고 있어도 되고, 예를 들어, Z축 방향 정측에 위치하는 한쪽만(도 1의 경우이면 제1협지체(2))이 동작 가능하게 되어 있고, 다른 쪽(도 1의 경우이면 제2협지체(3))은 협지부(4a)에 대하여 고정적으로 설치되는 구성에 의해 실현되고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 협지부(4a)는, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)를, 양자의 간극 부분을 개폐가능하게 유지하는 부위라고도 말할 수 있다.

단, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 혹은 또한 도 1 및 도 2에 있어서도 파선으로 나타낸 바와 같이, 제1협지체(2)에 있어서는, 제2협지체(3)와의 대향면으로서, X축 방향(길이방향)의 중앙 부분이면서도 Y축 방향의 정측의 끝 가장자리부에, 돌기부(5)가 형성되어 있다. 돌기부(5)는, 예를 들어, 고무 등의 탄성체에 의해서 형성되어 있다. 또한, 그 두께(Z축 방향의 크기)는 균일하면 좋지만, 그 평면형상(수평 자세에 있어서 평면에서 보았을 경우의 형상)은, 직사각 형상인 것보다는 오히려, Y축 방향의 정측을 향하는 선단부가, 스크라이브 라인(SL)에 가까운 위치일수록 끝이 가늘게 되는 사다리꼴 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 제2협지체(3)에 있어서는, 도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1협지체(2)와의 대향면의 대략 전체면에, 수지 시트(6)가 부착되어 있다.

그 때문에, 엄밀히 말하면, 본 실시형태에 따른 분단 기구(1)에 있어서의 기판(W)의 협지는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1협지체(2)에 형성된 돌기부(5)와, 제2협지체(3)에 설치된 수지 시트(6) 사이에서 이루어지고 있다.

이때, 제2협지체(3)의 측에서부터 기판(W)에 작용하는 힘, 구체적으로는, 수지 시트(6)로부터 기판(W)에 작용하는 압압력은, 수지 시트(6)가 X축 방향에 있어서 균일하게 설치되어 있으므로, X축 방향에 있어서 균일하다. 이에 대해서, 제1협지체(2)의 측에 있어서는, 기판(W)에 접촉하고 있는 것은 돌기부(5)뿐이므로, 기판(W)에 대해서는, 돌기부(5)만으로부터 압압력이 작용하게 된다. 이때, 제1협지체(2)의 측에서부터 기판(W)에 작용하는 압압력은, 돌기부(5)의 개소에 집중되므로, 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판(W)의, 돌기부(5)의 선단측에 가까운 영역(RE)에, 응력이 집중된 상태로 되어 있다.

분단 기구(1)에 있어서는, 이러한 양상으로 압압력이 가해진 상태에서 기판(W)을 분단시킨다. 구체적으로는, 자세 변경 기구(4)에 있어서는 협지부(4a)가 회동축(4b)의 둘레를 회동 가능하게 설치되어 있고, 도 1에 나타낸 경우이면 화살표(AR1)로 표시된 방향으로 회동축(4b)을 이동시킴으로써 협지부(4a)를 회동축(4b)둘레에 회동시켜, 제1협지체(2) 및 제2협지체(3)의 자세를 수평 자세로부터 협지부(4a)가 존재하는 Y축 방향 부측일수록 낮게 되는 자세로 변화시킨다. 이것에 의해, 기판(W)의 끝 가장자리부에 대해서, 화살표(AR1)의 방향으로 토크가 작용한다. 그러면, 해당 회동동작의 개시와 함께, 응력이 집중하고 있는 영역(RE)에 존재하는, 스크라이브 라인(SL)의 길이방향 중앙부분을 기점으로, 스크라이브 라인(SL)을 따라서 균열이 전개되기 시작한다. 동시에, 해당 기점부분으로부터 순차로 두께 방향에 대하여도 균열이 전개된다. 이것에 의해, 도 7에 나타낸 바와 같이, X축 정부 양방향을 향해서, 스크라이브 라인(SL)을 따른 기판(W)의 분단이 진행된다.

또한, 전술한 바와 같이 돌기부(5)의 Y축 방향 정측의 선단부분이 사다리꼴 형상인 것이 바람직한 것은, 영역(RE)에 작용하는 응력을 보다 강화시키고, 또한, 스크라이브 라인(SL)을 따른 균열의 진전을 보다 생기기 쉽게 하기 위함이다.

두께 방향에 있어서의 균열의 진전이, 스크라이브 라인(SL)의 길이방향 중앙부분으로부터 양단부분까지의 모든 범위에서 행해지면, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)에 의해서 사이에 유지된 기판(W)의 끝 가장자리부가 완전히 기판(W)으로부터 분단되게 된다.

이러한 양상에 의한 분단의 경우, 기판(W)의 끝 가장자리부에 가해진 토크가 돌기부(5)에 집중해서 작용함으로써, 스크라이브 라인(SL)로부터의 균열 진전이 해당 돌기부의 근방으로부터 순차로 일어난다. 그 때문에, 돌기부(5)를 설치하지 않고 제1협지체(2)의 측에도 제2협지체(3)와 마찬가지로 수지 시트를 균일하게 부착하고, 제1협지체(2)의 측에서도 끝 가장자리부 전체에 걸쳐서 균등하게 힘을 작용시킬 경우에는 분단이 실현되지 않는 바와 같은, 작은 토크를 작용시킬 뿐이어도, 기판(W)에 균열이나 벤 자국 등이 생기는 일이 없는, 확실한 분단이 실현된다. 이것은, 협지 시 부여되는 힘의 크기가 같으면, 돌기부(5)를 설치하는 경우의 쪽이, 힘이 작용하고 있는 개소에 있어서의 압력이 커지므로, 역으로, 돌기부(5)가 구비되어 있으면, 부여하는 힘이 작더라도, 분단의 실현에 충분한 압력을 작용시킬 수 있기 때문이다.

또한, 중앙부분으로부터 순차로 균열을 진전시키면 된다는 점에서, 기판(W)의 끝 가장자리부 전체에 걸쳐서 한번에 강한 에너지를 작용시킬 필요가 없으므로, 전술한 수지 시트를 부착할 경우에 비해서, 협지부(4a)를 회동축(4b) 둘레로 회동시키는 속도를 느리게 했다고 해도, 기판(W)에 균열이나 벤 자국 등이 생기는 일이 없는, 확실한 분단이 실현된다.

또, 지금까지의 설명은, 스크라이브 라인(SL)의 형성면을 상부면 쪽으로 해서, 제1협지체(2)가 위쪽에서부터 기판(W)에 접근하고, 제2협지체(3)가 아래쪽에서부터 기판(W)에 접근하는 양상에서, 기판(W)을 사이에 유지하는 것을 전제로 하고 있지만, 이것은 필수적인 양상은 아니다. 본 실시형태에 있어서는, 돌기부(5)가 구비되는 제1협지체(2)가, 스크라이브 라인(SL)의 형성면 쪽에 배치되어 있으면 된다. 그 때문에, 도 1 등과는 반대로, 분단 기구(1)를, 제1협지체(2)을 아래쪽에, 제2협지체(3)를 위쪽에 지니도록 구성하고, 기판(W)을, 스크라이브 라인(SL)의 형성면을 하부면 쪽으로 한 상태에서, 제1협지체(2)와 제2협지체(3) 사이에 삽입해서, 분단을 행하는 양상이어도 된다. 이러한 경우에는, 도 1에 있어서 화살표(AR2)로 표시된 방향으로, 회동축(4b)을 이동시키도록 하면 된다.

또, 도 1 등에 있어서는, 제1협지체(2)의, 제2협지체(3)와의 대향면으로서, 돌기부(5) 이외의 부분에도, 수지 시트(7)가 부착되어 있다. 이것은, 제1협지체(2)의 돌기부(5) 이외의 개소가 기판(W)과 접촉하는 등 해서 기판(W)에 손상을 입히는 것 등을 피하기 위함이며, 전술한 양상에서의 분단에 있어서 필수적인 양상은 아니다. 단, 이러한 양상에서 수지 시트(7)를 설치할 경우에는, 돌기부(5)의 구성 재료보다도 부드러운 재료를 사용하고, 돌기부(5)보다도 작은 두께로 설치하도록 한다. 이것은, 돌기부(5)의 두께가 탄성에 의해서 작게 되어, 결과로서 수지 시트(7)도 기판(W)과 접촉할 수 있는 상태가 되었다고 해도, 기판(W)을 분단시킬 때에 기판(W)에 제1협지체(2) 쪽에서부터 기판(W)에 가해지는 힘을, 돌기부(5)에 집중시키기 위함이다.

<자세 변경 기구>

전술한 제1협지체(2)와 제2협지체(3)의 자세 변경을 담당하는 자세 변경 기구(4)의 구체적 구성에는, 각종의 것이 고려된다. 도 8 및 도 9는, 자세 변경 기구(4)의 하나의 예시적 양상과, 해당 양상에 있어서의 협지부(4a)의 회동동작을 설명하기 위한 개요도이다. 또, 도 8 및 도 9에 있어서는, 제1협지체(2)와 제2협지체(3), 협지부(4a) 등의 형상을 도 1 등과는 달리 적절하게 변경하고 있지만, 이들 부위의 기능은 모두 지금까지 설명한 것과 마찬가지이다. 또한, 돌기부(5)나 수지 시트(6), (7)에 대해서는, 자세 변경 기구(4)의 동작 그 자체와는 무관하므로, 도시는 생략하고 있다.

도 8(a)에 나타낸 자세 변경 기구(4)는, 전술한 협지부(4a)와 회동축(4b)에 부가해서, 동작 변환부(4c)와 승강부(4d)를 구비한다. 승강부(4d)는, 예를 들어, 에어 실린더 등, 연직방향(Z축 방향)에 있어서 승강 가능하게 된 구성 요소이고, 동작 변환부(4c)는, 회동축(4b)과 승강부(4d) 사이를 연결하는 구성 요소이며, 회동축(4b)과 승강부(4d)에 구비되는 도시하지 않은 회동축의 각각에 대해서 회동 가능하게 설치되어 있다.

이러한 구성을 지니는 자세 변경 기구(4)에 있어서는, 승강부(4d)의 연직방향에 있어서의 이동에 따라서, 동작 변환부(4c)의 자세가 변화됨으로써, 회동축(4b)이 도 8(b)에 나타낸 원호(A1) 위를 이동하도록 되어 있다. 즉, 동작 변환부(4c)는, 승강부(4d)의 승강 동작을 회동축(4b)의 원호 상의 이동 동작으로 변환하는 역할을 하고 있다. 전술한 바와 같이, 회동축(4b)의 이동은 그대로, 협지부(4a)와 제1협지체(2) 및 제2협지체(3)의 자세변화에 연결된다.

그리고, 자세 변경 기구(4)에 있어서의 기판(W)의 분단은, 자세 변경 기구(4)를 도 8(a) 및 도 8(b)에 있어서 실선으로 나타낸 상태로부터 도 8(b)에 있어서 1점쇄선으로 나타낸 상태로 변화시킴으로써 실현된다. 즉, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)에 의해서 기판(W)을 사이에 유지한 상태에서 승강부(4d)를 화살표(AR3)로 나타낸 바와 같이 하강시키면, 동작 변환부(4c)의 자세 변화와 이것에 따른 회동축(4b)의 원호(A1) 상에 있어서의 이동이 일어나, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)가, 수평 자세로부터 협지부(4a)가 존재하는 쪽만큼 낮아지는 자세로 변화된다. 이것에 의해 제1협지체(2)와 제2협지체(3)에 의해서 사이에 유지되어 있던 부분이 분단된다.

또, 자세 변경 기구(4)의 각 부의 배치 관계는, 도 8에 나타낸 것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 8(b)에 있어서는 동작 변환부(4c)가 수평 자세로 되어 있지만, 이것은 필수적인 양상은 아니고, 회동축(4b)이 소정의 원호(A1) 상을 이동하는 구성이면, 반드시, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)의 자세변화의 범위 내에 있어서 동작 변환부(4c)가 수평 자세를 취하지 않더라도 된다.

또한, 도 9는, 도 8에 나타낸 경우와는 제1협지체(2)와 제2협지체(3)의 배치 위치가 역전하고 있는 경우의 상태를 나타내고 있다. 이러한 경우에도, 승강부(4d)가 승강함으로써, 회동축(4b)은 원호(A2) 상을 이동 가능하게 되어 있는 점은 마찬가지이다. 그리고, 자세 변경 기구(4)에 있어서의 기판(W)의 분단은, 자세 변경 기구(4)를 도 9(a) 및 도 9(b)에 있어서 실선으로 나타낸 상태로부터 도 9(b)에 있어서 1점쇄선으로 나타낸 상태로 변화시킴으로써 실현된다. 즉, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)에 의해서 기판(W)을 사이에 유지한 상태에서 승강부(4d)를 화살표(AR4)로 표시한 바와 같이 상승시키면, 동작 변환부(4c)의 자세변화와 이것에 따른 회동축(4b)의 원호(A2) 위에 있어서의 이동이 일어나, 제1협지체(2)와 제2협지체(3)가, 수평 자세로부터 협지부(4a)가 존재하는 쪽만큼 높아지는 자세로 변화된다. 이것에 의해 제1협지체(2)와 제2협지체(3)에 의해 사이에 유지되어 있던 부분이 분단된다.

<분단 처리 장치의 구성예>

도 10 및 도 11은 각각 전술한 바와 같은 원리로 기판(W)의 끝 가장자리부의 분단을 행하는 분단 기구(1)를 구비한 분단 처리 장치(100)의 요부를 나타낸 사시도와 측면도이다. 도 10 및 도 11에 있어서는, 제1협지체(2)가 아래쪽에, 제2협지체(3)가 위쪽에 구비되도록 구성된 분단 기구(1)를 지니는 분단 처리 장치(100)를 예시하고 있다. 특히, 도 11은, 자세 변경 기구(4)가 분단 실행 시의 상태에 있을 때의 상태를 예시하고 있다(단, 기판(W)은 생략하고 있다).

분단 처리 장치(100)는, 분단 기구(1)에 부가해서, 기판(W)을 유지하는 기판 유지부(10)와, 분단된 기판(W)의 끝 가장자리부를 배출하기 위한 배출 경로(11)를 구비한다. 기판 유지부(10)와 배출 경로(11)는 모두, 분단 기구(1)가 뻗는 방향을 따라 설치되어 있다. 또, 배출 경로(11)는, 분단 후, 제1협지체(2)와 제2협지체(3) 사이에 유지된 채인 기판(W)의 끝 가장자리부가, 이러한 협지 상태를 해제시켜서 배출될 때에, 사용되는 경로이다.

또한, 도 10에 있어서는 도시의 편의상, 분단 기구(1)와 그 부속물인 기판 유지부(10) 및 배출 경로(11)에 대해서, 1조만 나타내고 있지만, 실제의 분단 처리 장치(100)에 있어서는, 2조(1쌍)의 분단 기구(1)가 소정의 간격으로 대향 배치되어 있다. 즉, 분단 처리 장치(100)에 있어서는, 서로 이간되는 2개의 기판 유지부(10)에 있어서 기판(W)을 2개소에서 지지한 상태에서, 기판(W)의 대향하는 2군데의 끝 가장자리부를 동시 병행적으로 분단시키는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 분단 처리 장치(100)는, 수평면 내에서 기판(W)을 90°회전시키는 기구를 구비하고, 직사각 형상의 기판(W)에 2조 존재하는, 대향하는 끝 가장자리부의 조에 대해서 순차로 분단시키는 양상으로 하고 있어도 된다.

분단 처리 장치(100)에는 또한, 자세 변경 기구(4)의 길이방향의 끝(가장자리)부 근방에, 분단 동작 시 자세 변경 기구(4)를 안내하기 위한 가이드 판(8)이 설치되어 있다(단, 도 11에 있어서는 도시 생략). 보다 구체적으로는, 가이드 판(8)에는, 원호 형상의 관통 구멍이 형성되어 있는 한편, 자세 변경 기구(4)의 길이방향 단부에는, 2개의 가이드체(9)가, 해당 관통 구멍으로부터 돌출하는 양상으로 설치되어 있다. 가이드체(9)는, 자세 변경 기구(4)가 분단 동작을 행할 때, 도 11에 화살표(AR5)로 표시된 원호 형상의 궤적을 그려서 이동한다. 가이드 판(8)의 관통 구멍은, 이러한 가이드체(9)의 궤적과 일치하도록 형성되어 있다. 그 때문에, 분단 시의 자세 변경 기구(4)의 동작 범위는, 관통 구멍에 있어서의 가이드체(9)의 이동 가능 범위로 제한되어 있다. 이것에 의해, 분단 처리 장치(100)에 있어서는, 안정적이면서도 재현성이 있는 분단 동작이 실현된다.

이상, 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 따르면, 미리 스크라이브 라인이 형성되어 있는 기판의, 스크라이브 라인보다도 에지측의 끝 가장자리부를 사이에 유지한 상태에서, 해당 끝 가장자리부에 토크를 작용시킴으로써 해당 끝 가장자리부를 스크라이브 라인을 따라서 기판으로부터 분단시키는 기구에 있어서, 1쌍의 협지체 중 한쪽의 기판과의 접촉 부분에 평면에서 보아서 사다리꼴 형상의 돌기부를 형성하고, 해당 협지체의 측에서부터 기판에 작용시키는 힘을 해당 돌기부에 집중시키도록 함으로써, 균열이나 벤 자국 등이 생기지 않는 분단을, 안정적이고도 확실하게 실현할 수 있다.

1: 분단 기구 2: 제1협지체
3: 제2협지체 4: 자세 변경 기구
4a: 협지부 4b: 회동축
4c: 동작 변환부 4d: 승강부
5: 돌기부 6, 7: 수지 시트
8: 가이드판 9: 가이드체
10: 기판 유지부 11: 배출 경로
100: 분단 처리 장치 SL: 스크라이브 라인
W: 기판

Claims (4)

1. 미리 스크라이브 라인이 형성되어 있는 기판의 끝 가장자리부를 상기 스크라이브 라인을 따라서 분단시키는 기구로서,
   상기 끝 가장자리부를 사이에 유지하는 1쌍의 협지체(挾持體); 및
   상기 1쌍의 협지체의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 포함하되,
   상기 자세 변경 기구가 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지하고 있는 상기 1쌍의 협지체의 자세를 변경함으로써 상기 끝 가장자리부에 토크를 작용시키는 것에 의해서 상기 끝 가장자리부의 분단을 행할 수 있게 되어 있고,
   상기 1쌍의 협지체 중 한쪽이 상기 끝 가장자리부를 따른 길이방향의 중앙부분에 돌기부를 지니고 있으며,
   상기 분단을 위하여 상기 1쌍의 협지체가 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지할 때에, 상기 돌기부를 상기 끝 가장자리부에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 분단 기구.
2. 제1항에 있어서,
   상기 1쌍의 협지체에 의해서 상기 끝 가장자리부를 사이에 유지할 때에는, 상기 돌기부를, 상기 끝 가장자리부 중, 상기 스크라이브 라인이 형성되어 있는 쪽의 면에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 분단 기구.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 돌기부는, 평면에서 보아서 상기 스크라이브 라인에 가까운 위치일수록 끝이 가는 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 분단 기구.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 자세 변경 기구에 있어서는, 상기 1쌍의 협지체를 유지하는 유지부가 소정의 회동축 둘레에서 회동 가능하게 되어 있고, 소정의 승강 수단에 승강 동작을 시킴으로써 상기 회동축을 원호 형상의 궤적을 따라서 이동시키는 것에 의해, 상기 1쌍의 협지체의 자세를 변경하는 것을 특징으로 하는 분단 기구.

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