KR20140139975A

KR20140139975A - 유체압 실린더

Info

Publication number: KR20140139975A
Application number: KR1020140063611A
Authority: KR
Inventors: 히로시 구사카
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2013-05-28
Filing date: 2014-05-27
Publication date: 2014-12-08
Also published as: JP2014231845A; KR102083920B1; CN104214166A; CN104214166B; TWI624601B; US9484242B2; JP6119050B2; DE102014107245A1; US20140352526A1; TW201516273A

Abstract

본 발명은 유체압 실린더에 관한 것이며, 유체압 실린더(10)는, 바디(12)의 타단부측에 자유로이 위치 변경 가능한 위치 변경부(20)를 가지고, 해당 위치 변경부(20)의 블록체(92)에 실린더부(16)의 피스톤 로드(26)와 연결되는 연결체(70)가 스프링(108)을 통하여 삽입된다. 그리고, 연결체(70) 및 연결체(70)에 연결된 버퍼 로드(112)와 대략 평행하게 흡입 로드(18)가 연결된다. 그리고, 블록체(92)의 하측으로 위치 변경이 규제된 상태에서, 하중이 더욱 부여될 때, 스프링(108)의 탄성 반발력에 저항하여 버퍼 로드(112)가 상기 블록체(92)에 대하여 상대적으로 위치 변경하고, 상기 버퍼 로드(112)와 부시(110) 사이의 직경 방향에 있어서 간격이 커진다.

Description

유체압 실린더{FLUID PRESSURE CYLINDER}

본 발명은, 압력 유체의 공급 작용하에 피스톤을 축 방향을 따라 위치 변경시키는 유체압 실린더에 관한 것이다.

종래부터, 워크피스 등의 운반 수송 수단으로서, 예를 들면, 압력 유체의 공급 작용하에 위치 변경하는 피스톤을 가진 유체압 실린더가 이용되고 있다. 이와 같은 유체압 실린더에서는, 예를 들면, 피스톤에 연결된 피스톤 로드의 선단에 플레이트가 설치되고, 해당 플레이트에 워크피스를 흡착할 수 있는 흡착 패드가 장착된다. 그리고, 유체압 실린더에 공급되는 압력 유체에 의하여 피스톤이 위치 변경하고, 플레이트가 워크피스측으로 이동하여 맞닿아 접함으로써 흡착 패드에 의하여 흡착된다. 이때, 플레이트에는, 축 방향으로 부여되는 충격(하중)을 완충할 수 있는 완충 기구가 설치되어 있으므로, 플레이트가 워크피스에 맞닿아 접한 때, 완충기구에 의하여 상기 워크피스에 대한 하중의 부여가 억제된다.

등록특허 제10-0840271호 공보

예를 들면, 등록특허 제10-0840271호 공보에 개시된 유체압 실린더에서는, 동일한 플레이트에 대하여 평행하게 설치된 피스톤 로드와 흡입 파이프가 각각 연결되어 있다. 따라서, 예를 들면, 유체압 실린더에 있어서, 제조 공차나 조립 상태에 따라 상기 피스톤 로드와 흡입 파이프가 평행하지 않은 경우나, 플레이트의 홀 부에 대하여 상기 피스톤 로드 등이 편심된 경우에, 상기 피스톤 로드 등이 상기 홀 부에 설치된 부시에 대하여 맞물려버리며, 완충 기구를 작동할 수 없는 잠금 상태가 되는 일이 있다. 그 결과, 플레이트를 워크피스측을 향하여 이동시키고 맞닿아 접하게 할 때, 완충 기구가 기능하지 않고 상기 워크피스에 대하여 하중이 부여되어버리게 된다. 예를 들면, 반도체 칩 등의 하중에 약한 워크피스인 경우에는 파손 등이 일어나버리게 되는 것이다.

위에서 서술한 과제를 해결하기 위하여, 피스톤 로드와 흡입 파이프의 평행도를 높이든가, 해당 평행도를 확보한 다음 상기 피스톤 로드 및 상기 흡입 파이프와 부시 사이의 간격을 크게 하여 어긋남을 흡수하는 것을 생각할 수 있으나, 상기 간격을 크게 한 경우에는, 상기 피스톤 로드 및 흡입 파이프가 소정 위치로부터 어긋함으로써 상기 플레이트가 회동해버리게 되고, 이에 수반하여, 흡착 패드에 의하여 지지되는 워크피스가 회전하고 만다. 그 결과, 운반 수송시에 있어서 워크피스의 회전이 규제되어 있는 경우에는, 해당 워크피스를 소망하는 위치에 올려놓고 배치하는 것이 불가능하다.

본 발명의 일반적인 목적은, 위치 변경 블록의 회전 동작을 억제하면서, 축 방향을 따라 원활하게 작동시킬 수 있는 유체압 실린더를 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 구동용 유체가 공급되는 실린더 챔버를 내부에 가진 바디와,

상기 바디에 설치되고, 상기 실린더 챔버에 자유로이 위치 변경 가능하게 설치되는 피스톤과, 해당 피스톤에 연결되는 피스톤 로드를 가진 실린더부와,

상기 바디에 있어서 상기 피스톤 로드와 대략 평행하고, 자유로이 위치 변경 가능하게 설치되고, 내부에 워크피스 지지용 유체가 공급되는 유로를 가지며, 그 선단에 상기 유로와 연통하는 워크피스 지지용 유체의 지지부재가 장착되는 공급 로드와,

상기 공급 로드 및 상기 피스톤 로드의 단부에 연결되고, 해당 피스톤의 위치 변경 작용 하에 위치 변경하는 위치 변경 블록과,

상기 위치 변경 블록과 상기 피스톤 로드 사이에 설치되고, 해당 위치 변경 블록에 부여되는 하중을 완충하는 버퍼 기구를 구비하며,

상기 버퍼 기구는, 상기 피스톤 로드와 같은 축상에 설치되고, 상기 위치 변경 블록의 홀 부에 삽입되어 관통된 버퍼 로드를 가지며, 상기 버퍼 로드의 외주면이 상기 바디측을 향하여 서서히 직경이 축소되는 테이퍼 형상으로 형성되는 것을특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 바디의 내부에 자유로이 위치 변경 가능하게 설치된 실린더부의 피스톤 로드와, 상기 바디에 자유로이 위치 변경 가능하게 설치된 선단에 워크피스를 지지할 수 있는 지지 부재가 장착된 공급 로드가 대략 평행하게 설치되고, 그 단부에는 위치 변경 블록이 연결됨과 동시에, 상기 위치 변경 블록과 상기 피스톤 로드와의 사이에 설치된 버퍼 기구가, 해당 피스톤 로드와 같은 축 상에 설치되고, 상기 위치 변경 블록의 홀 부에 삽입되고 관통된 버퍼 로드를 구비하며, 상기 버퍼 로드의 외주면이 상기 바디측을 향하여 서서히 직경이 축소되는 테이퍼 형상으로 형성됨으로써, 상기 위치 변경 블록에 부여되는 하중을 완충할 수 있게 되어 있다.

따라서, 실린더부의 구동 작용하에 지지 부재를 워크피스에 대하여 맞닿아 접하게 하여 지지할 때에, 상기 워크피스에 맞닿아 접하기까지는 상기 버퍼 로드와 위치 변경 블록 사이의 직경 방향의 간격이 작아지게 유치되므로 축 방향을 따라 높은 정밀도로 유지되고, 공급 로드를 중심으로 한 위치 변경 블록의 회전 동작을 억제할 수 있다.

한편, 지지 부재가 워크피스에 맞닿아 접한 후에, 하중이 상기 워크피스측으로 더 부여되는 경우, 위치 변경 블록에 대하여 버퍼 로드가 축 방향에 상대적으로 위치 변경함으로써 상기 위치 변경 블록의 홀 부 사이의 직경 방향의 간격을 크게 할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 버퍼 로드에 대하여 위치 변경 블록의 홀 부가 편심하여 있는 경우라도, 상기 위치 변경 블록이 위치 변경했을 때 간격을 크게 함으로써 상기 편심을 흡수할 수 있으므로, 어떠한 경우라도 상기 위치 변경 블록에 대하여 상기 버퍼 로드를 축 방향을 따라 원활하게 위치 변경시킬 수 있다.

즉, 버퍼 기구에 의하여 공급 로드를 중심으로 한 위치 변경 블록의 회전 동작을 억제하면서, 버퍼 로드를 상기 위치 변경 블록에 대하여 축 방향을 따라 원활하게 상대적인 위치 변경을 시켜, 워크피스에 맞닿아 접할 때의 하중을 적절히 흡수할 수 있게 된다.

첨부한 도면과 함께 본 발명의 바람직한 실시 형태가 실제예를 통하여 설명되는 아래의 설명으로부터 본 발명의 상기 목적 및 다른 목적, 특징 및 이점이 더욱 명확하게 될 것이다.

본 발명에 의하면, 이하의 효과를 얻을 수 있다.

즉, 실린더부의 구동 작용하에 지지 부재를 워크피스에 대하여 맞닿아 접하게 하여 지지할 때에, 상기 워크피스에 맞닿아 접하기까지는 상기 버퍼 로드와 위치 변경 블록 사이의 간격이 작게 유지되므로 축 방향을 따라 높은 정밀도로 유지되고, 공급 로드를 중심으로 한 위치 변경 블록의 회전 동작을 억제할 수 있다. 한편, 지지 부재가 워크피스에 맞닿아 접한 후에, 하중이 상기 워크피스측으로 더 부여되는 경우, 위치 변경 블록에 대하여 버퍼 로드가 축 방향에 상대적으로 위치 변경함으로써 상기 위치 변경 블록의 홀 부 사이의 직경 방향의 간격을 크게 할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 버퍼 로드에 대하여 위치 변경 블록의 홀 부가 편심하여 있는 경우라도, 상기 위치 변경 블록이 위치 변경했을 때에 간격을 크게 함으로써 상기 편심을 흡수할 수 있기 때문에, 어떠한 경우라도 상기 위치 변경 블록에 대하여 상기 버퍼 로드를 축 방향에 따라 원활하게 위치 변경시킬 수 있다. 즉, 버퍼 기구에 의하여 공급 로드를 중심으로 한 위치 변경 블록의 회전 동작을 억제하면서, 버퍼 로드를 상기 위치 변경 블록에 대하여 축 방향을 따라 원활하게 상대적으로 위치 변경시켜, 워크피스에 맞닿아 접했을 때의 하중을 적절히 흡수할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 유체압 실린더의 전체 단면도이다.
도 2는 도 1의 유체압 실린더에 있어서 실린더부 부근을 나타낸 확대 단면도이다.
도 3은 도 1의 유체압 실린더에 있어서 위치 변경부 부근을 나타낸 확대 단면도이다.
도 4는 도 3의 버퍼 로드 부근을 나타낸 확대 단면도이다.
도 5는 도 1의 유체압 실린더에 있어서 위치 변경부의 정면도이다.
도 6은 도 2의 유체압 실린더의 위치 변경부가 워크피스에 맞닿아 접하고, 바디측으로 밀어 눌려진 상태를 나타낸 확대 단면도이다.
도 7은 도 6의 버퍼 로드 부근을 나타낸 확대 단면도이다.
도 8a 내지 도 8d는, 도 1의 유체압 실린더로 워크피스를 흡착할 때의 동작 설명도이다.

이러한 유체압 실린더(10)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 바디(12)와, 해당 바디(12)의 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 자유로이 위치 변경 가능하게 설치되는 피스톤(14)을 포함하는 실린더부(16)와, 상기 피스톤(14)과 대략 평행하게 설치되는 흡입 로드(18, 공급 로드)와, 상기 실린더부(16) 및 상기 흡입 로드(18)와 접속되고, 상기 바디(12)에 대하여 접근, 이격하도록 설치되는 위치 변경부(20)를 포함한다. 여기서는, 유체압 실린더(10)에 있어서 위치 변경부(20)가 하측이 되도록 이용되는 경우에 관하여 설명한다.

바디(12)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 금속제 재료로 이루어진 단면이 대략 직사각 형상으로 형성되고, 그 내부에는 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 관통된 제1 실린더 홀(22) 및 제1 로드 홀(24)이 형성되며, 상기 제1 실린더 홀(22) 및 제1 로드 홀(24)은 소정 간격으로 이격하여 대략 평행하게 형성됨과 동시에, 상기 제1 실린더 홀(22)이 상기 바디(12)의 타단부에 개방되고, 상기 제1 로드 홀(24)은, 상기 바디(12)의 일단부로부터 타단부까지 관통된다.

그리고, 제1 실린더 홀(22)에는, 실린더부(16)를 구성하는 피스톤(14) 및 피스톤 로드(26)가 자유로이 위치 변경 가능하게 설치된다. 한편, 제1 로드 홀(24)에는, 흡입 로드(18)가 삽입되어 관통되고, 그 일단부 및 타단부에 설치되는 한 쌍의 축받이(28a, 28b)에 의하여 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 자유로이 위치 변경 가능하게 지지된다. 이러한 축받이(28a, 28b)는, 원통 형상으로 형성되고, 그 내부에 흡입 로드(18)가 삽입되어 관통된다.

이러한 바디(12)의 일단부에는, 제1 실린더 홀(22)에 압력 유체(구동용 유체)를 공급하는 제1 및 제2 포트(32, 34)가 형성되고, 상기 제1 포트(32)가 제1 연통로(36)를 통하여 상기 제1 실린더 홀(22)의 일단부와 연통하고, 상기 제2 포트(34)가, 상기 제1 실린더 홀(22)과 제1 로드 홀(24) 사이에 형성된 접속 통로(38), 해당 접속 통로(38)의 단부에 형성된 제2 연통로(40)를 통하여 제1 실린더 홀(22)의 타단부 부근에 접속되어 연통한다.

바꿔 말하면, 제1 포트(32)와 제2 포트(34)는, 각각 제1 및 제2 연통로(36, 40)를 통하여 제1 실린더 홀(22)에 있어서 피스톤(14)의 일단부측(화살표 A 방향), 타단부측(화살표 B 방향)에 접속되어 있다.

그리고, 제1 및 제2 포트(32, 34)에는, 배관을 통하여 도시하지 않은 압력 유체 공급원이 접속되고, 절환 수단에 의한 절환 작용하에 상기 제1 및 제2 포트(32, 34)중 어느 일측에 압력 유체가 선택적으로 공급된다. 따라서, 제1 포트(32) 또는 제2 포트(34)에 공급되는 압력 유체가 제1 및 제2 연통로(36, 40)를 통하여 제1 실린더 홀(22)로 공급된다.

또한, 바디(12)의 타단부는, 제1 로드 홀(24)이 형성되는 부위가 제1 실린더 홀(22)이 형성되는 부위에 대하여 축 방향(화살표 B 방향)으로 소정 길이만큼 돌출된 제1 돌출부(42)를 가지고 있다. 즉, 바디(12)의 타단부는 단차 형상으로 형성된다.

제1 실린더 홀(22)에 인접하는 바디(12)의 일측면에는, 제2 연통로(40)를 가공할 때에 사용되는 가공용 홀부(44)가 개방되고, 이러한 가공용 홀부(44)는 상기 제1 실린더 홀(22)과 직교하도록 형성된다. 그리고, 예를 들면, 가공용 홀부(44)를 통하여 바디(12)의 외부로부터 도시하지 않은 드릴을 삽입하여 제1 실린더 홀(22)과 직교하도록 절삭하며, 해당 제1 실린더 홀(22)과 접속 통로(38)를 연통시킴으로써 제2 연통로(40)가 형성된다.

이러한 가공용 홀부(44)에는, 제2 연통로(40)를 형성한 후, 예를 들면, 금속제 재료로 이루어져 형성되는 플러그(46)가 눌려 넣어지고, 그 축부(48)에 대하여 직경이 확장된 덮개부(50)가 바디(12)의 외측이 외도록 장착된다. 이때, 플러그(46)는, 바디(12)의 일측면으로부터 돌출되는 일이 없도록 장착됨과 동시에, 덮개부(50)와 가공용 홀부(44) 사이에 O링(52)이 장착됨으로써, 상기 가공용 홀부(44)와 상기 플러그(46) 사이를 통한 압력 유체나 윤활유 등의 누출이 확실하게 방지된다.

그리고, 플러그(46) 대신에, 예를 들면, 가공용 홀부(44)에 쇠구슬(미도시)을 눌러 넣음으로써 밀폐하도록 하여도 좋으나, 상기 플러그(46) 및 O링(52)을 이용하여 밀폐함으로써 한층 더 확실하게 윤활유 등의 누출을 방지할 수 있게 된다.

한편, 제1 로드 홀(24)에 인접하는 바디(12)의 타측면에는, 예를 들면, 유체압 실린더(10)를 운반 수송 암 등에 고정할 때 이용되는 복수의 설치 홀(54) 및 로케이트 홀(56, locating hole)이 형성된다.

실린더부(16)는, 바디(12)의 내부에 설치되고, 제1 실린더 홀(22)에 설치되는 피스톤(14)과, 해당 피스톤(14)에 연결되는 피스톤 로드(26)와, 해당 피스톤 로드(26)를 자유로이 위치 변경 가능하게 지지하는 로드 커버(58)를 포함한다.

피스톤(14)은, 예를 들면, 원통 형상으로 형성되고, 그 외주면에는 링 형상 홈을 통하여 한 쌍의 피스톤 패킹(60a, 60b)과, 웨어 링(62, wear ring)이 장착된다. 그리고, 피스톤 패킹(60a, 60b) 및 웨어 링(62)은, 제1 실린더 홀(22)의 내주면에 슬라이딩하여 접하고 있다.

또한, 피스톤(14)의 내부에는, 축 방향(화살표 A, B 방향)으로 관통된 피스톤 홀이 형성되며, 그 내부에 피스톤 로드(26)의 일단부가 삽입되어 관통된다.

피스톤 로드(26)는, 축 방향(화살표 A, B 방향)으로 소정 길이를 가진 축체(shaft)로 이루어지며, 그 일단부에 형성되어 중앙부로부터 직경이 축소된 제1 연결부(64)가 피스톤(14)의 피스톤 홀에 나사 결합됨으로써 연결되고, 해당 피스톤(14)의 일단부로부터 돌출된 부위에는 댐퍼(66)가 장착된다. 이러한 댐퍼(66)는, 예를 들면, 고무 등의 탄성 재료로 이루어지며, 피스톤(14)의 위치 변경 작용 하에 제1 실린더 홀(22)의 일단부측(화살표 A 방향)으로 위치 변경했을 때 직접 접촉하는 것을 방지하고, 접촉했을 때에 있어서 충격 및 충격음의 발생을 방지한다.

또한, 피스톤 로드(26)의 타단부에 형성된 제2 연결부(68)가, 후술할 연결체(70)에 나사 결합됨으로써 연결되고, 상기 피스톤 로드(26)의 위치 변경 작용하에 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 일체적으로 위치 변경한다.

연결체(70)는, 예를 들면, 금속제 재료로 이루어진 원통 형상으로 형성되고, 도 1, 도 3 및 도 4와 같이, 그 내부에 피스톤 로드(26)가 나사 결합되는 대 직경부(72)와, 해당 대 직경부(72)와 인접하여 후술할 버퍼 로드(112)가 연결되는 소 직경부(74)를 가진다. 그리고, 연결체(70)는, 대 직경부(72)가 바디(12)측(화살표 A 방향), 소 직경부(74)가 위치 변경부(20)측(화살표 B 방향)이 되도록 피스톤(14) 및 피스톤 로드(26)와 같은 축 위, 그리고, 바디(12)와 위치 변경부(20) 사이에 배치된다.

로드 커버(58)는, 도 1 및 도 2와 같이, 예를 들면, 금속제 재료로 이루어진 원통 형상으로 형성되고, 그 외주면에 형성된 나사부를 통하여 제1 실린더 홀(22)의 타단부측(화살표 B 방향)에 나사 결합됨과 동시에, 해당 외주면에 링 형상홈을 통하여 장착되는 씰 링(76)이 제1 실린더 홀(22)의 내부면에 맞닿아 접한다. 따라서, 제1 실린더 홀(22)과 로드 커버(58) 사이를 통한 압력 유체의 누출이 방지된다.

또한, 로드 커버(58)의 내부에는, 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 관통된 관통홀(78)이 형성되고, 피스톤 로드(26)가 자유로이 위치 변경 가능하게 삽입되어 관통됨과 동시에, 그 내주면에 장착된 로드 패킹(80)이 상기 피스톤 로드(26)의 외주면에 맞닿아 접함으로써, 상기 로드 커버(58)와 상기 피스톤 로드(26) 사이를 통한 압력 유체의 누설이 방지된다. 그리고, 로드 커버(58)는, 그 단부가 바디(12)의 타단부로부터 소정 길이만큼 돌출되도록 형성된다.

흡입 로드(18)는, 축 방향(화살표 A, B 방향)으로 소정 길이를 가진 축체로 이루어지며, 그 일단부에는 도시하지 않은 부압 공급원에 접속되는 부압 공급 포트(82)가 개방되고, 타단부에는, 예를 들면, 흡착 패드(84, 지지 부재)가 접속되는 접속 포트(86, 도 1 참조)가 개방되어 있다. 그리고, 흡입 로드(18)의 내부에 형성되고, 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 연장 형성되는 공급 통로(88, 유로)를 통하여 상기 부압 공급 포트(82)와 상기 접속 포트(86)가 연통하고, 예를 들면, 흡착 패드(84)에 대하여 부압 유체(워크피스 지지용 유체)가 공급된다.

이러한 흡입 로드(18)의 타단부에는, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 반경 외측 방향으로 직경이 확장된 접속부(90)가 형성되고, 그 중심부에 접속 포트(86)가 형성됨과 동시에, 외주면에는, 축방향을 따라 나사부가 형성된다.

그리고, 흡입 로드(18)는, 그 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 중앙부 부근이 바디(12)의 제1 로드 홀(24)에 삽입되어 관통되고, 한 쌍의 축받이(28a, 28b)에 의하여 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 자유로이 위치 변경 가능하게 설치된다. 또한, 흡입 로드(18)의 일단부가 바디(12)의 일단부로부터 돌출하고, 타단부가 상기 바디(12)의 타단부로부터 돌출되어 있다. 그리고, 흡입 로드(18)의 타단부에는, 후술할 위치 변경부(20)의 블록체(92, 위치 변경 블록)가 연결된다.

위치 변경부(20)는, 블록체(92)와, 해당 블록체(92)의 내부에 형성되는 축 방향(화살표 A, B 방향)의 하중을 완충하는 버퍼 기구(94)를 포함한다.

이러한 블록체(92)는, 바디(12)와 대략 동일한 두께로 형성되고, 그 일단부는 바디(12)측(화살표 A 방향)을 향하여 돌출된 제2 돌출부(96)를 가진 단차 형상으로 형성된다. 이러한 제2 돌출부(96)는, 도 1과 같이, 바디(12)의 제1 돌출부(42)와 대면하도록 형성되고, 그 끝면에 형성된 링 형상의 댐퍼(98) 내부에 흡입 로드(18)가 삽입되어 관통된다. 댐퍼(98)는, 예를 들면, 고무 등의 탄성 재료로 이루어지며, 위치 변경부(20)의 위치 변경 작용하에 제2 돌출부(96)가 제1 돌출부(42)측(화살표 A 방향)으로 위치 변경했을 때 직접 접촉하는 것을 방지하고, 접촉했을 때에 있어서 충격 및 충격음의 발생을 방지한다.

한편, 블록체(92)의 타단부는, 축 방향(화살표 A, B 방향)에 대하여 직교인 평면 형상으로 형성된다.

블록체(92)에는, 제1 실린더 홀(22)과 동축으로 형성되고, 연결체(70)가 삽입되고 관통되는 제2 실린더 홀(100)과, 해당 제2 실린더 홀(100)과 대략 평행하게 형성되어 흡입 로드(18)가 삽입되어 관통되는 제2 로드 홀(102)을 가진다.

제2 실린더 홀(100)은, 도 3 및 도 4와 같이, 바디(12)측(화살표 A 방향)에 형성되어 제2 연결부(68)가 삽입되어 관통되는 제1 홀부(104)와, 해당 제1 홀부(104)보다 작은 직경으로 타단부측(화살표 B 방향)에 형성되는 제2 홀부(106)를 가지며, 상기 제1 홀부(104)와 상기 제2 홀부(106)의 경계면과 상기 연결체(70)의 단차부 사이에 스프링(108)이 장착된다. 이러한 스프링(108)은, 연결체(70)에 대하여 블록체(92)를 이격시키는 방향(화살표 B 방향)으로 밀어붙이는 탄성 반발력을 가진다. 그리고, 제1 홀부(104)에는, 연결체(70)의 일부가 항상 삽입되어 있다.

또한, 제2 홀부(106)의 타단부에는, 그 내주면에 반경 외측 방향으로 함몰된 링 형상 홈을 가지며, 해당 링 형상 홈에는 원통 형상의 부시(110)가 설치된다. 이러한 부시(110)는, 예를 들면, 알루미늄 합금 등의 금속제 재료로 이루어져 형성되고, 그 내주면(110a)이 바디(12)측(화살표 A 방향)을 향하여 서서히 직경이 축소되는 테이퍼 형상으로 형성된다. 그리고, 제2 홀부(106)에는, 버퍼 기구(94)를 구성하는 버퍼 로드(112)가 삽입되어 관통된다.

버퍼 로드(112)는, 도 3 내지 도 5와 같이, 예를 들면, 단면이 장원 형상으로 형성된 헤드부(114)와, 해당 헤드부(114)의 중앙으로부터 축 방향(화살표 A 방향)으로 연장 형성된 로드부(116)를 가지며, 상기 헤드부(114)가 상기 블록체(92)에 있어서 타단부의 외측에 배치된 상태에서 로드부(116)의 단부가 제2 홀부(106)에 삽입되어 관통되고, 연결체(70)의 내부에 삽입되어 관통되며 나사 결합됨으로써 연결된다.

또한, 로드부(116)의 외주면(116a)에는, 연결체(70, 화살표 A 방향)측을 향하여 서서히 직경이 축소되는 테이퍼 형상으로 형성되고, 도 4와 같이, 해당 로드부(116)의 외주측에 설치된 부시(110)의 내주면(110a) 사이에 축 방향을 따라 대략 일정 간격의 제1 간격(C1)이 형성된다. 즉, 로드부(116)에 있어서 외주면(116a)의 경사 각도가, 부시(110)의 내주면(110a)에 있어서 경사 각도와 대략 동일 각도가 되도록 형성되고, 상기 외주면(116a)과 상기 내주면(110a)이 대략 평행하게 된다.

그리고, 블록체(92)는 스프링(108)의 탄성 반발 작용하에 헤드부(114)측(화살표 B 방향)으로 밀어 눌려지고, 상기 블록체(92)의 끝면이 상기 헤드부(114)에 맞닿아 접함으로써 정지된다.

한편, 블록체(92)의 하측(화살표 B 방향)으로의 위치 변경이 규제된 상태에서, 피스톤(14)의 위치 변경 작용하에 버퍼 로드(112)가 스프링(108)의 탄성 반발력에 저항하여 축 방향(화살표 B 방향)으로 위치 변경함으로써, 도 6 및 도 7과 같이, 버퍼 로드(112)의 헤드부(114)가 상기 블록체(92)의 타단부에 대하여 이격한다. 이때, 버퍼 로드(112)의 로드부(116)와 부시(110)의 내주면(110a) 사이의 간격이 확대되고, 제1 간격(C1)보다 큰 제2 간격(C2)이 된다(C1<C2).

바꿔 말하면, 도 1 내지 도 4와 같이, 블록체(92)가 버퍼 로드(112)의 헤드부(114)에 맞닿아 접하고, 워크피스(W)를 흡착하지 않는 통상의 상태에서는, 직경 방향의 간격이 작은 제1 간격(C1)을 통하여 버퍼 로드(112)와 블록체(92)가 배치되어 있으므로, 해당 버퍼 로드(112)의 로드부(116)에 대하여 블록체(92)가 제2 실린더 홀(100, 제2 홀부(106))을 통하여 높은 정밀도로 위치 결정되고, 해당 블록체(92)의 회전 동작이 억제된다.

한편, 도 6 및 도 7과 같이, 흡착 패드(84)가 워크피스(W)에 맞닿아 접한 후, 상기 워크피스(W)측(화살표 B 방향)으로 하중이 더 부여된 경우에는, 상기 버퍼 로드(112)와 블록체(92)가, 그 사이에 직경 방향의 간격이 큰 제2 간격(C2)을 통하여 배치된 상태가 되기 때문에, 그 로드부(116)와 제2 실린더 홀(100, 제2 홀부(106))가 편심되어 있는 경우라도 상기 제2 간격(C2)의 간격에 의하여 상기 편심을 흡수할 수 있고, 원활하게 위치 변경시킬 수 있다.

제2 로드 홀(102)은, 도 1 및 도 3과 같이, 블록체(92)의 일단부측(화살표 A 방향)에 형성되는 삽입 관통홀(118)과, 해당 삽입 관통홀(118)과 일직선상에 형성되고, 상기 블록체(92)의 타단부측에 형성되는 나사홀(120)을 가진다. 그리고, 삽입 관통홀(118)에는, 흡입 로드(18)가 삽입되어 관통되고, 나사홀(120)에는 상기 흡입 로드(18)의 접속부(90)가 나사 결합된다. 이때, 흡입 로드(18)는, 접속부(90)의 단부가 블록체(92)의 타단부로부터 소정 길이만큼 돌출되도록 나사 결합된다.

또한, 흡입 로드(18)는 블록체(92)에 대하여 회전시킴으로써, 나사홀(120)에 대한 나사 결합 작용하에 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 전진 및 후퇴 통작시킬 수 있으므로, 상기 블록체(92)의 타단부에 대한 접속부(90)의 돌출 길이(L, 도 3 참조)를 자유로이 조정할 수 있게 된다.

그리고, 접속부(90)의 중앙에 형성되는 접속 포트(86)에는, 예를 들면, 고무 등의 탄성 재료로 이루어진 흡착 패드(84)가 나사 결합되어 연결된다. 따라서, 흡입 로드(18)의 공급 통로(88)로 공급된 부압 유체가 접속 포트(86)를 통하여 흡착 패드(84)의 내부로 공급된다.

또한, 블록체(92)의 측면에는, 삽입 관통홀(118)을 향하여 연장 형성되는 홀 부에 잠금용 나사(122)가 자유로이 전진 후퇴 가능하게 나사 결합되어 있다. 이러한 잠금용 나사(122)는, 홀 부를 통하여 흡입 로드(18)의 외주면에 대면하도록 설치되고, 해당 흡입 로드(18)의 외주면에 선단이 맞닿아 접함으로써 축 방향(화살표 A, B 방향)에 따른 위치 변경을 규제하는 잠금 수단으로서 기능한다. 즉, 잠금용 나사(122)를 나사 회전시켜 흡입 로드(18)의 외주면으로부터 이격시킨 상태에서, 해당 흡입 로드(18)를 회전시켜 블록체(92)의 타단부에 대한 돌출 길이(L)를 조정하고, 상기 잠금용 나사(122)를 다시 죄어 상기 외주면에 맞닿아 접하게 함으로써, 상기 돌출 길이(L)가 조정된 상태에서 상기 흡입 로드(18)가 블록체(92)에 대하여 고정된다.

본 발명의 실시 형태에 따른 유체압 실린더(10)는, 기본적으로 이상과 같이 구성된 것이며, 다음에 그 동작 및 작용 효과에 관하여 도 8a 내지 도 8d를 참조하면서 설명한다. 여기서는, 도 1, 도 2 및 도 8a에 나타낸 피스톤(14)이 바디(12)의 일단부측(화살표 A 방향)에 위치하여 있는 상태를 초기 위치로서 설명함과 동시에, 제1 및 제2 포트(32, 34)는 절환 수단을 통하여 도시하지 않은 압력 유체 공급원에 접속되고, 흡입 로드(18)의 부압 공급 포트(82)에는 배관을 통하여 부압 공급원이 미리 접속되어 있다. 그리고, 흡착 패드(84)의 하측(화살표 B 방향)에 올려져 배치되는 워크피스(W)를 유체압 실린더(10)를 이용하여 흡착하여 운반 수송하는 경우에 관하여 설명한다.

우선, 이러한 초기 위치에 있어서, 도시하지 않은 압력 유체 공급원으로부터 제1 포트(32)로 압력 유체를 공급함으로써, 제1 실린더 홀(22)에 공급된 상기 압력 유체에 의하여 피스톤(14)이 바디(12)의 타단부측(화살표 B 방향)을 향하여 위치 변경하고, 이에 수반하여, 피스톤 로드(26) 및 연결체(70)가 일체적으로 위치 변경한다(도 8b 참조). 이때, 블록체(92)는, 연결체(70) 사이에 장착된 스프링(108)의 탄성 반발력이 해당 연결체(70)로부터 부여되는 하중에 비하여 크기 때문에 수축되는 일이 없이, 상기 연결체(70)의 위치 변경 작용하에 블록체(92)가 일체적으로 위치 변경한다. 그리고, 이 경우, 제2 포트(34)는 대기 개방 상태로 해 둔다.

또한, 블록체(92)가 위치 변경함으로써, 해당 블록체(92)에 연결되어 있는 흡입 로드(18)가 축받이(28a, 28b)에 지지된 상태에서 축 방향(화살표 B 방향)으로 일체적으로 위치 변경하고, 그 타단부에 연결된 흡착 패드(84)가 워크피스(W)측으로 접근한다.

그리고, 도 8b와 같이, 피스톤(14)이 하측(화살표 B 방향)으로 더 위치 변경하고, 이에 수반하여, 흡착 패드(84)가 워크피스(W)에 맞닿아 접한다. 이러한 워크피스(W)에 맞닿아 접한 상태에서 상기 피스톤(14)이 더 하강함으로써, 블록체(92)는 흡착 패드(84)가 워크피스(W)에 맞닿아 접하여 더 하강하는 것이 규제되고 있으므로, 피스톤 로드(26)로부터 부여되는 하중이 스프링(108)의 탄성 반발력을 이겨 압축시키고, 연결체(70) 및 버퍼 로드(112)만 제2 실린더 홀(100) 내에서 상대적으로 하강하여, 상기 하중이 블록체(92)로 전달되는 일이 없다.

즉, 도 6, 도 7 및 도 8c와 같이, 블록체(92)에 대하여 버퍼 로드(112) 및 연결체(70)가 상대적으로 하측(화살표 B 방향)으로 이동하여, 흡착 패드(84)가 연결되는 상기 블록체(92)가 위치 변경하는 일은 없다.

그 결과, 흡착 패드(84)가 워크피스(W)에 맞닿아 접한 후에, 실린더부(16)로부터의 구동력이 위치 변경부(20)로 더 전달된 경우라도, 해당 위치 변경부(20)의 버퍼 기구(94)에 의하여 상기 워크피스(W)에 대해 과대한 하중이 부여되는 일이 방지된다. 예를 들면, 반도체 칩 등의 하중 부여에 약한 워크피스(W)를 운반 수송할 때에, 이러한 버퍼 기구(94)를 가진 유체압 실린더(10)를 이용함으로써, 상기 워크피스(W)에 대하여 과대한 하중이 부여되고마는 것이 방지되고, 최적인 하중으로 맞닿아 접하도록 하여 흡착하고 안전하게 운반 수송할 수 있게 된다.

이러한 흡착 패드(84)의 내부에는, 흡착 로드(18)의 공급 통로(88) 및 접속 포트(86)를 통하여 부압 유체가 공급되고 있으므로, 해당 흡착 패드(84)의 흡착면에 워크피스(W)가 흡착된다.

다음으로, 워크피스(W)의 흡착이 확인된 후, 도시하지 않은 절환 수단에 의하여 제1 포트(32)로 공급되고 있는 압력 유체를 제2 포트(34)로 공급함으로써, 제1 실린더 홀(22)에 공급된 상기 압력 유체에 의하여 피스톤(14)이 상측(화살표 A 방향)을 향하여 밀어 눌려지고, 이에 수반하여, 피스톤 로드(26)를 통하여 블록체(92)가 바디(12)측으로 접근하도록 상승한다(도 8 참조). 그 결과, 워크피스(W)가 흡착 패드(84)에 흡착된 상태에서 거치대로부터 상측으로 이격한다. 이때, 블록체(92)의 상승에 수반하여 흡입 로드(18)도 일체적으로 상측으로 위치 변경한다.

그리고, 피스톤(14)이 제1 실린더 홀(22)의 일단부까지 상승한 상태에서, 유체압 실린더(10)가 고정된 운반 수송 장치 등에 의하여 소정의 운반 수송 위치까지 이동시킨 후, 제2 포트(34)로부터 제1 포트(32)로 압력 유체의 공급을 절환함으로써 워크피스(W)를 블록체(92)와 함께 하강시키고, 해당 워크피스(W)를 소정 위치에 거치한 상태에서 부압 공급원으로부터 흡입 로드(18)로 부압 공급을 정지한다. 따라서, 흡착 패드(84)에 있어서 워크피스(W)의 흡착 상태가 해제되고, 워크피스(W)가 소정 위치에서 거치되어 운반 수송 작업이 완료된다.

또한, 흡착 패드(84)가 워크피스(W)에 맞닿아 접한 후, 실린더부(16)로부터 더 부여되는 하중을 버퍼 기구(94)에 의하여 완충할 때, 블록체(92)에 대하여 버퍼 로드(112)가 축 방향(화살표 B 방향)으로 상대적으로 위치 변경함으로써, 상기 블록체(92)의 위치 변경에 수반하여 테이퍼 형상으로 형성된 부시(110)의 내주면(110a)과 버퍼 로드(112)의 로드부(116) 사이의 직경 방향의 간격이 제1 간격(C1)으로부터 제2 간격(C2)으로 커지게 된다.

그 결과, 예를 들면, 버퍼 로드(112)의 로드부(116)에 대하여 부시(110)가 편심하고 있는 경우라도, 블록체(92)에 대한 버퍼 로드(112)가 상대 변위할 때, 그 축 방향(화살표 B 방향)을 따라 위치 변경함에 수반하여, 커진 제2 간격(C2)의 간격에 의하여, 직경 방향으로의 이동 가능한 범위가 넓어져 있으므로, 상기 로드부(116)와 부시(110)가 접촉하여 축 방향으로의 위치 변경을 방해받는 일이 없다.

즉, 버퍼 로드(112)와 부시(110)와의 맞물림이 회피되고, 보통 상기 버퍼 로드(112)와 상기 부시(110) 사이의 간격(제2 간격(C2))을 커지게 변화시킴으로써, 상기 버퍼 로드(112)를 블록체(92)에 대하여 원활하게 위치 변경시킬 수 있다.

그리고, 위에서 서술한 실시 형태에서는, 버퍼 로드(112)에 있어서 로드부(116)의 외주면(116a), 부시(110)의 내주면(110a)이 어느 것도 바디(12)측(화살표 A 방향)을 향하여 서서히 직경이 축소하는 테이퍼 형상으로 형성되는 경우에 관하여 설명하였으나, 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 상기 로드부(116)의 외주면(116a)만을 테이퍼 형상으로 형성하도록 하여도 좋다. 즉, 부시(110)를 가진 블록체(92)와 버퍼 로드(112)가 축 방향으로 상대적으로 위치 변경했을 때, 상호간의 직경 방향의 간격을 위치 변경하기 전보다 크게 변화시키는 구성이라면, 특히 그 형상은 한정되는 것은 아니다.

이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 유체압 실린더(10)에 있어서, 바디(12)의 타단부에 형성되고, 예를 들면, 흡착 패드(84)를 워크피스(W)에 맞닿아 접하도록 하여 운반 수송할 때 축 방향(화살표 A 방향)으로 부여되는 하중을 완충할 수 있는 버퍼 기구(94)를 가지고, 상기 버퍼 기구(94)는, 실린더부(16)로부터 축 방향을 따라 구동력이 전달되는 연결체(70)와, 해당 연결체(70)가 삽입되는 제2 실린더 홀(100)을 가진 블록체(92)와, 상기 연결체(70)에 연결되어 상기 제2 실린더 홀(100)에 삽입되어 관통되는 버퍼 로드(112)를 가진다. 또한, 블록체(92)에는, 버퍼 로드(112)와 평행하게 흡입 로드(18)가 연결되고, 해당 흡입 로드(18)의 접속부(90)에 흡착 패드(84)가 설치된다.

그리고, 버퍼 로드(112)에 있어서 로드부(116)의 외주면(116a)을, 연결체(70)측(화살표 A 방향)을 향하여 서서히 직경이 축소하는 테이퍼 형상으로 하고, 해당 로드부(116)의 외주측에 설치된 부시(110)의 내주면(110a)을, 바디(12)측(화살표 A 방향)을 향하여 서서히 직경이 축소하는 테이퍼 형상으로 하고 있다.

따라서, 실린더부(16)의 구동 작용하에 위치 변경부(20)를 워크피스(W)로 접근시켜, 예를 들면, 흡착 패드(84)에 의하여 상기 워크피스(W)를 흡착할 때, 상기 워크피스(W)에 맞닿아 접하기까지는 상기 버퍼 로드(112)와 부시(110) 사이의 직경 방향의 간격(제1 간격(C1))이 작게 유지되므로 축 방향을 따라 높은 정밀도로 유지된다. 그 결과, 흡입 로드(18)를 중심으로 한 블록체(92)의 회전 위치 변경을 억제할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 워크피스(W)를 흡착한 후에, 블록체(92)를 상승시켰을 때, 상기 블록체(92)가 회전해버리는 것이 억제됨으로써, 상기 워크피스(W)의 회전이 방지되고, 반도체 칩과 같은 직사각 형상의 워크피스를 운반 수송하여 거치할 경우에, 직사각 형상의 팔레트로 확실하게 올려놓아 배치할 수 있다.

바꿔 말하면, 종래의 유체압 실린더에 있어서 피스톤 로드 및 흡입 파이프와 부시 사이의 간격을 크게 한 경우, 플레이트와 함께 워크피스가 회전해 버리며, 직사각 형상의 워크피스를 직사각 형상의 팔레트에 정확하게 올려놓아 배치하는 것이 곤란하게 된다.

한편, 상기 흡착 패드(84)가 상기 워크피스(W)에 맞닿아 접한 후에, 하중이 상기 워크피스(W)측으로 더 부여된 경우에는, 블록체(92)에 대하여 버퍼 로드(112)가 축 방향으로 상대적으로 위치 변경함으로써 상기 로드부(116)와 상기 부시(110) 사이의 직경 방향에 있어서 간격을 크게 변화시킬 수 있다(제2 간격(C2)).

그 결과, 버퍼 로드(112)에 대하여 블록체(92)의 제2 실린더 홀(100)이 편심하여 있는 경우라도, 제2 간격(C2)에 의하여 상기 편심을 흡수할 수 있으므로, 어떠한 경우라도 상기 블록체(92)에 대하여 상기 버퍼 로드(112)를 축 방향을 따라 원활하게 위치 변경시킬 수 있다. 즉, 워크피스(W)에 대하여 하중이 더 부여되도록 한 경우라도, 블록체(92)에 대하여 버퍼 로드(112)를 축 방향으로 상대적으로 위치 변경시킴으로써, 해당 하중이 더 부여되는 것을 확실하게 방지하고, 워크피스(W)를 보호할 수 있다.

즉, 위치 변경부(20)에 설치된 버퍼 기구(94)에 의하여 흡입 로드(18)를 중심으로 한 블록체(92)의 회전 동작을 억제하면서, 버퍼 로드(112)를 블록체(92)에 대하여 축 방향을 따라 원활하게 상대적으로 위치 변경시키고, 워크피스(W)에 맞닿아 접했을 때의 하중을 적절히 흡수할 수 있다.

바꿔 말하면, 흡입 로드(18)를 중심으로 하여 블록체(92)가 회전하지 않도록 유지하기 위한 회전하지 않는 정밀도를 유지하면서, 상기 블록체(92)에 대하여 버퍼 로드(112)를 워크피스(W)측으로 원활하게 위치 변경할 수 있는 구성으로 하고 있다.

또한, 블록체(92)에 나사 결합된 흡입 로드(18)를 회전시킴으로써, 해당 블록체(92)의 끝면에 대한 축 방향(화살표 A, B 방향)의 돌출 길이(L)를 자유로이 조정할 수 있다. 따라서, 워크피스(W)의 위치에 대응하여 흡입 로드(18)의 상대적인 위치를 조정함으로써, 실린더부(16)에 있어서 피스톤(14)의 위치 변경량을 조정하는 일이 없이 미세 조정을 행할 수 있게 된다.

그리고, 바디(12)에 형성된 가공용 홀부(44)를 플러그(46)로 밀폐하고, 해당 가공용 홀부(44)에 장착된 O링(52)을 상기 플러그(46)에 접촉시킴으로써, 상기 바디(12) 내의 압력 유체나 윤활유 등이 상기 가공용 홀부(44)를 통하여 외부로 누출되어 버리는 것이 방지된다. 그 결과, 예를 들면, 바디(12)의 외부로 누출된 윤활유가 하측으로 방울져 떨어져 워크피스(W)에 부착되어 버리는 것이 방지된다.

그리고 또한, 유체압 실린더(10)를 구성하는 바디(12), 블록체(92) 및 흡입 로드(18)가, 도전성을 가진 금속제 재료로 이루어져 형성되어 있으므로, 예를 들면, 흡착 패드(84)로 흡착한 워크피스(W)가 대전된 경우, 그 전기를 흡입 로드(18) 및 블록체(92)로부터 바디(12)로 통전시킴으로써 외부로 탈출시킬 수 있다. 즉, 워크피스(W)를 흡착하여 운반 수송할 때에, 동시에, 해당 워크피스(W)에 대전된 정전기 등을 외부로 어스할 수 있게 된다.

그리고, 본 발명에 따른 유체압 실린더는, 위에서 서술한 실시 형태에 한정되지 않으며, 본 발명의 요지를 일탈하는 일이 없이, 다양한 구성을 채택하여 얻을 수 있음은 물론이다.

10...유체압 실린더
12...바디
14...피스톤
16...실린더부
18...흡입 로드
20...위치 변경부
26...피스톤 로드
32...제1 포트
34...제2 포트
44...가공용 홀부
46...플러그
58...로드 커버
82...부압 공급 포트
84...흡착 패드
86...접속 포트
88...공급 통로
90...접속부
92...블록체
94...버퍼 기구
108...스프링
110...부시
112...버퍼 로드
122...잠금용 나사

Claims

구동용 유체가 공급되는 실린더 챔버(22)를 내부에 가진 바디(12)와,
상기 바디(12)에 설치되고, 상기 실린더 챔버(22)에 자유로이 위치 변경 가능하게 설치되는 피스톤(14)과, 해당 피스톤(14)에 연결되는 피스톤 로드(26)를 가진 실린더부(16)와,
상기 바디(12)에 있어서 상기 피스톤 로드(26)와 대략 평행하고, 자유로이 위치 변경 가능하게 설치되고, 내부에 워크피스 지지용 유체가 공급되는 유로(88)를 가지며, 그 선단에 상기 유로(88)와 연통하는 워크피스 지지용의 지지부재(84)가 장착되는 공급 로드(18)와,
상기 공급 로드(18) 및 상기 피스톤 로드(26)의 단부에 연결되고, 해당 피스톤(14)의 위치 변경 작용 하에 위치 변경하는 위치 변경 블록(92)과,
상기 위치 변경 블록(92)과 상기 피스톤 로드(26) 사이에 설치되고, 해당 위치 변경 블록(92)에 부여되는 하중을 완충하는 버퍼 기구(94)를 구비하며,
상기 버퍼 기구(94)는, 상기 피스톤 로드(26)와 같은 축상에 설치되고, 상기 위치 변경 블록(92)의 홀 부(100)에 삽입되어 관통된 버퍼 로드(112)를 가지며, 상기 버퍼 로드(112)의 외주면이 상기 바디(12)측을 향하여 서서히 직경이 축소되는 테이퍼 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
청구항 1에 있어서,
상기 공급 로드(18)는, 상기 위치 변경 블록(92)에 대하여 축 방향으로 자유로이 전진 및 후퇴 가능하게 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
청구항 1에 있어서,
상기 위치 변경 블록(92)의 홀 부(100)에는, 상기 버퍼 로드(112)의 외주면에 대면하도록 원통 형상의 부시(110)가 설치되고, 상기 부시(110)의 내주면이 상기 바디(12)측을 향하여 서서히 직경이 축소되는 테이퍼 형상으로 형성되며, 상기 내주면과 상기 버퍼 로드(112)의 외주면이 대략 평행이 되는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
청구항 2에 있어서,
상기 위치 변경 블록(92)에는, 상기 공급 로드(18)의 축 방향에 따른 위치 변경을 규제하는 잠금 수단이 설치되는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
청구항 4에 있어서,
상기 잠금 수단은, 상기 위치 변경 블록(92)에 설치되고, 상기 축 방향과 직교 방향으로 자유로이 위치 변경 가능하게 나사 결합된 나사 부재(122)이며, 상기 나사 부재(122)가 상기 공급 로드(18)의 외주면에 맞닿아 접하는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
청구항 1에 있어서,
상기 지지부재(84)는, 상기 워크피스 지지용 유체가 내부로 공급되는 흡착 패드인 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
청구항 1에 있어서,
상기 위치 변경 블록(92)에 대하여 상기 버퍼 로드(112)가 축 방향을 따라 상대적으로 위치 변경할 때, 해당 버퍼 로드(112)와 상기 홀 부(100) 사이의 간격이 커지는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
청구항 7에 있어서,
상기 위치 변경 블록(92)과 상기 버퍼 로드(112) 사이에는, 해당 버퍼 로드(112)를 축 방향을 따라 밀어붙이는 스프링(108)이 설치되고, 상기 버퍼 로드(112)가 축 방향으로 미는 힘이 상기 스프링(108)의 탄성 반발력을 이김으로써 상대적으로 위치 변경하는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
청구항 1에 있어서,
상기 바디(12), 상기 공급 로드(18), 상기 위치 변경 블록(92)은, 도전성을 가진 금속제 재료로 이루어져 형성되는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.