JPH11182505A - 真空吸着用の流体圧シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンパクトで、しかも流体漏れが起こりにく
い真空吸着用の流体圧シリンダを提供すること。 【解決手段】 シリンダ本体２に収容される移動体Ｍ1
は、ピストン部１３及びロッド部１２を備え、流体の給
排により駆動される。シリンダ本体２にガイド体２０を
摺動可能に挿通させる。ガイド体２０は、移動体Ｍ1 と
一体的に移動することでロッド部１２をガイドする。ワ
ークＷ1 は、真空引きポート２８を介した真空引きによ
り吸引口２７に吸着される。ピストン部１３の片方の端
面からロッド部１２を突出させる。ガイド体２０を挿通
するためのガイド体挿通孔４に連通する真空引きポート
２８を、シリンダ本体２に形成する。ガイド体２０にお
ける非挿通部位に形成された吸引口２７側と、真空引き
ポート２８側とを連通させる真空引き流路Ｒ1 をガイド
体に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空吸着用の流体
圧シリンダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体チップ等のようなワークを
真空吸着するための流体圧シリンダがいくつか提案され
ている。

【０００３】図６に示される従来例の流体圧シリンダ５
１では、シリンダ本体５２の側面に、駆動用のエアを給
排するための一対のシリンダポート５３，５４が形成さ
れている。シリンダ本体５２の内部には、ピストンロッ
ド５５を備えるピストン５６が往復動可能に収容されて
いる。前記シリンダポート５３，５４は、ピストン５６
が区画する２つの圧力作用室５７，５８にそれぞれ連通
している。ピストンロッド５５は真空引き流路として機
能する貫通孔５９を有する中空状部材であって、ピスト
ン５６の両端面を貫通するように取り付けられている。
ピストンロッド５５の先端側はシリンダ５１の下端面側
から外部に突出し、ピストンロッド５５の基端側はシリ
ンダ５１の上端面側から外部に突出している。ピストン
ロッド５５の先端には真空吸着パッド６０が装着され、
ピストンロッド５５の基端には真空配管チューブ（図示
略）が接続される。ピストンロッド５５には、連結手段
６１を介してガイドロッド６２が連結されている。この
ガイドロッド６２は、ピストンロッド５５と一体的に移
動することで同ピストンロッド５５をガイドする役割を
果たしている。

【０００４】従って、図６の流体圧シリンダ５１による
と、真空引きを行うことにより真空吸着パッド６０でワ
ークを吸着することができる。図７に示される別の従来
例の流体圧シリンダ７１では、ピストンロッド５５の先
端側のみがシリンダ７１から外部に突出しているため、
ピストンロッド５５の基端に真空配管チューブを接続す
ることはできない。その代わりにシリンダ本体５２に
は、同チューブが接続可能な真空引きポート７２が形成
されている。このような真空引きポート７２とピストン
ロッド５５の基端付近の領域とは、通路７３を介して互
いに連通した状態にある。

【０００５】従って、図７の流体圧シリンダ７１であっ
ても、真空引きを行うことにより真空吸着パッド６０で
ワークを吸着することができる。なお、これと同種のも
のとしては、実開平４−１３８０６号公報に開示された
流体圧シリンダ等がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ピストン５
６の両端面からピストンロッド５５が突出している上記
従来技術の場合、構造的に流体圧シリンダ５１，７１の
全長が長くなりやすく、コンパクトに設計することが困
難であった。

【０００７】また、図６の流体圧シリンダ５１では、ピ
ストンロッド５５が出没動作を行う際に、それに接続さ
れている真空配管チューブも動いてしまう。ゆえに、チ
ューブが緩んでピストンロッド５５から外れたり、チュ
ーブ自身に変形・破損が生じたりしやすく、これがエア
漏れを引き起こす原因となっていた。

【０００８】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、コンパクトで、しかも流体漏れが
起こりにくい真空吸着用の流体圧シリンダを提供するこ
とにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、ピストン部とロッド
部とを備えかつ流体の給排により駆動される移動体がシ
リンダ本体に収容され、前記移動体と一体的に移動する
ことで前記ロッド部をガイドするガイド体が前記シリン
ダ本体に摺動可能に挿通され、真空引きポートを介した
真空引きにより吸引口にワークが吸着される流体圧シリ
ンダにおいて、前記ロッド部を前記ピストン部の片方の
端面から突出させ、前記ガイド体を挿通するためのガイ
ド体挿通孔に連通する前記真空引きポートを前記シリン
ダ本体に形成し、前記ガイド体における非挿通部位に形
成された吸引口側と前記真空引きポート側とを連通させ
る真空引き流路を前記ガイド体に設けたことを特徴とす
る真空吸着用の流体圧シリンダをその要旨とする。

【００１０】請求項２に記載の発明で、請求項１におい
て、前記ガイド体は、前記ロッド部に対して平行に設け
られたガイドロッドと、そのガイドロッドと前記ロッド
部とを連結する連結手段とをその構成要素として含み、
前記真空引き流路は前記ガイドロッドをその軸線方向に
沿って貫通する貫通孔であるとした。

【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２において、前記ガイド体挿通孔には前記ガイド体の一
部を支承するための軸受け部材が設けられているとし
た。請求項４に記載の発明は、請求項３において、前記
軸受け部材はボールベアリングであるとしている。

【００１２】請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４
のいずれか１項において、前記真空引きポートは前記シ
リンダ本体の側面において開口するように形成されてい
るとした。

【００１３】請求項６に記載の発明は、請求項５におい
て、前記真空引きポートは、前記移動体駆動用の流体を
給排するためのシリンダポートと同じ面において開口す
るように形成されているとした。

【００１４】以下、本発明の「作用」について説明す
る。請求項１〜６に記載の発明によると、真空引き流
路、ガイド体挿通孔及び真空引きポートを介して真空引
きが行われる結果、ガイド体の非挿通部位にワークが吸
着される。前記真空引きポートは固定側部材であるシリ
ンダ本体に形成されているため、移動体の駆動時におい
ても真空配管チューブが動いてしまうことはない。ゆえ
に、チューブの外れ、変形、破損等が未然に防止され
る。さらに、移動体ではなくガイド体に真空引き流路を
形成したことにより、ロッド部をピストン部の両方の端
面から突出させる必要がなくなる。よって、長いシリン
ダ本体を用いる必要もなくなり、流体圧シリンダの全長
を短くすることができる。

【００１５】請求項２に記載の発明によると、連結手段
によってロッド部に連結されたガイドロッドは、シリン
ダ本体のガイド体挿通孔に対して摺動しながら移動体と
一体的に移動する。これによりロッド部の直進がガイド
され、動作性の向上が図られる。また、この構成である
と、ガイドロッド側のみに貫通孔を透設することで真空
引き流路を形成することができるため、特に製造困難性
を伴わない。

【００１６】請求項３に記載の発明によると、ガイド体
挿通孔に設けられた軸受け部材によりガイド体の一部が
支承される結果、ガイド体先端の触れ量が低減され、位
置精度が高くなる。よって、例えば超小型部品の真空吸
着に好適な流体圧シリンダとなる。

【００１７】請求項４に記載の発明によると、ボールベ
アリングを用いたことにより、ガイド体先端の触れ量が
よりいっそう低減され、位置精度がさらに高くなる。請
求項５に記載の発明によると、真空引きポートをシリン
ダ本体の側面において開口するように形成すれば、移動
体のストローク方向に同ポートの深さ分に相当する長さ
を確保しておく必要がなくなる。従って真空引きポート
をシリンダ本体のいずれかの端面において開口するよう
に形成した場合に比べ、シリンダ本体を短くすることが
できる。

【００１８】請求項６に記載の発明によると、シリンダ
ポート及び真空引きポートが同じ面において開口するよ
うに形成されていると、集中配管化が図られ、例えば設
置スペースが限られている場合等において有利な構成と
なる。

【００１９】

【発明の実施の形態】［第１の実施形態］以下、本発明
を具体化した一実施形態の真空吸着用の流体圧シリンダ
１を図１〜図３に基づき詳細に説明する。

【００２０】図２，図３に示されるように、この流体圧
シリンダ１を構成するシリンダ本体２は断面矩形状であ
って、移動体挿通孔３及びガイド体挿通孔４を備えてい
る。図１に示されるように、両挿通孔３，４は、シリン
ダ本体２の下端面２ｅ側において開口するようにかつ互
いに平行に形成されている。これらの挿通孔３，４は、
シリンダ本体２の上下方向の長さにほぼ匹敵する深さに
形成されている。シリンダ本体２の有する４つの側面２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄのうちの１つ（ここでは２ａ）に
は、一対のシリンダポート５，６が開口するように形成
されている。第１のシリンダポート５は上端面２ｆ寄り
の位置に形成され、第２のシリンダポート６は第１のシ
リンダポート５の下方位置に形成されている。これらの
シリンダポート５，６に対しては、流体としてのエアを
給排するためのエア給排チューブ（図示略）が接続可能
である。

【００２１】図１に示されるように、移動体挿通孔３の
入口部分には、中心にロッド部挿通孔７を有するパッキ
ングケース８が嵌着されている。ロッド部挿通孔７の内
周面にはパッキング収容空間９が形成され、そこには弾
性体からなる環状のロッドパッキング１０が収容されて
いる。このロッドパッキング１０は、第２の圧力作用室
１５側から外部へのエア漏れを防止する役割を果たして
いる。パッキング収容空間９よりも奥側の位置には、軸
受け部材としてのスリーブ１１が設けられている。

【００２２】この流体圧シリンダ１において移動体挿通
孔３内には、ロッド部１２とピストン部１３とを備える
移動体Ｍ1 が往復動可能に収容されている。本実施形態
において棒状かつ断面円形状のロッド部１２は、ピスト
ン部１３の片方の端面、つまり下端面のみから突出して
いる。ここではロッド部１２とピストン部１３とは、同
じ素材を用いて一体的に形成されている。勿論、これら
１２，１３を別体として形成した後に接合してもよい。

【００２３】ピストン部１３は、移動体挿通孔３を２つ
の圧力作用室１４，１５に区画する。図１において上側
（即ちヘッド側）に位置するものを第１の圧力作用室１
４と呼び、図１において下側（即ちロッド側）に位置す
るものを第２の圧力作用室１５と呼ぶことにする。第１
の圧力作用室１４は第１のシリンダポート５に連通し、
第２の圧力作用室１５は第２のシリンダポート６に連通
している。従って、第１のエア給排ポート５にエアを供
給すると、第１の圧力作用室１４側のエア圧が相対的に
高くなり、ピストン部１３が下方に押圧される。逆に第
２のエア給排ポート６にエアを供給すると、第２の圧力
作用室１５側のエア圧が相対的に高くなり、ピストン部
１３が上方に押圧される。

【００２４】ピストン部１３の外周面にはパッキング装
着溝１６が形成され、そのパッキング装着溝１６には弾
性体からなる環状のピストンパッキング１７が装着され
ている。このピストンパッキング１７は、両圧力作用室
１４，１５間でのエアの流通を遮断してシール性を高め
る役割を果たしている。

【００２５】ロッド部１２においてピストン部１３のあ
る側を基端側とすると、その先端側はロッド部挿通孔７
を介してシリンダ本体２の下方外部に突出している。図
１に示されるように、ガイド体挿通孔４の入口部分にお
ける内周面には、ガイド体２０の一部を支承する軸受け
部材として、上記と同様のスリーブ１１が設けられてい
る。そのスリーブ１１のすぐ奥側の位置にはパッキング
収容空間１８が形成され、そこには弾性体からなる環状
のガイドロッドパッキング１９が収容されている。この
ガイドロッドパッキング１９は、真空引き時においてシ
リンダ本体２の外部から内部へのエア流入を防止する役
割を果たしている。

【００２６】図１に示されるように、この流体圧シリン
ダ１はガイド体２０を備えている。本実施形態のガイド
体２０は、ガイドロッド２１と連結手段としての連結ブ
ロック２２とをその構成要素として含む。棒状の部材で
あるガイドロッド２１は、例えばステンレス（例えばＳ
ＵＳ３０４等）のように、アルミニウム製のシリンダ本
体２や移動体Ｍ1 等よりも硬質の材料を用いて形成され
る。勿論、相対的に硬質の材料を用いることなく前記ガ
イドロッド２１を形成してもよい。ガイドロッド２１は
ガイド体挿通孔４に摺動可能に挿通されていて、ロッド
部１２に対して平行に設けられている。

【００２７】図１，図２に示されるように、連結ブロッ
ク２２の２箇所には固定孔２３が平行に形成されてい
る。それらの固定孔２３のうちの一方には、シリンダ本
体２から突出しているロッド部１２の先端が挿入されか
つ固定されている。固定孔２３のうちの他方には、同じ
くシリンダ本体２から突出しているガイドロッド２１が
挿入されかつ固定されている。即ち、ロッド部１２の非
挿通部位とガイドロッド２１の非挿通部位とが、連結ブ
ロック２２を介して連結されている。従って、ロッド部
１２が移動すると、ガイドロッド２１及び連結ブロック
２２を有するガイド体２０もそのロッド部１２と一体的
に移動する。

【００２８】図１に示されるように、前記ガイドロッド
２１は、ロッド部１２とは異なり、固定孔２３を貫通し
て連結ブロック２２のさらに下方に飛び出している。そ
のようなガイドロッド２１の先端には、弾性体からなる
真空吸着パッド２４を備えるアダプタ２５が着脱可能に
装着される。このようなパッド２４は、具体的にはシリ
コーンゴム、ウレタンゴム、ＮＢＲ等といったゴム材料
製である。弾性体としてゴム材料を選択したのは、ワー
クＷ1 に確実に密着することで高い真空吸着力が得られ
るからである。また、ワークＷ1 に当接させたときで
も、ワークＷ1 に与える物理的ダメージが緩和されるか
らである。

【００２９】このシリンダ本体２は、図示しない真空配
管チューブが接続可能な真空引きポート２８を備えてい
る。この真空引きポート２８は、図３のごとくシリンダ
本体２の上端面２ｆにおいて開口するように形成されて
いる。本実施形態では、前記真空引きポート２８はガイ
ド挿通孔４と同軸上に形成され、かつ同ガイド挿通孔４
と連通している。

【００３０】本実施形態のガイドロッド２１は、その軸
線方向に沿って貫通する断面円形状の貫通孔２６を真空
引き流路Ｒ1 として備えている。貫通孔２６の上端開口
は常にガイド体挿通孔４内にある。一方、ワークＷ1 を
吸着するための吸引口２７となる下端開口は、常にガイ
ド体挿通孔４外に、即ちガイドロッド２１における非挿
通部位にある。もっとも、真空吸着パッド２４及びアダ
プタ２５の装着時には、真空吸着パッド２４側にある吸
引口２７ａが実質的な吸引口となる。従って、吸引口２
７側（パッド装着時には吸引口２７ａ側）と真空引きポ
ート２８側とは、前記真空引き通路Ｒ1 によって連通さ
れた状態となっている。

【００３１】次に、この流体圧シリンダ１の動作につい
て説明する。まず、シリンダポート５，６をエア供給源
に接続するとともに、真空引きポート２８を真空配管チ
ューブを介して真空ポンプ等の真空引き手段に接続す
る。また、真空吸着パッド２４を備えるアダプタ２５を
ガイドロッド２１の先端に装着しておく。

【００３２】この状態で第１のエア給排ポート５にエア
を供給すると、移動体Ｍ1 が下方に移動してロッド部１
２がシリンダ本体２から大きく突出する。そして、この
ときガイドロッド２１もガイド体挿通孔４に対して摺動
しながら、移動体Ｍ1 と一体的に移動する。ガイドロッ
ド２１とロッド部１２とは連結ブロック２２により連結
されているため、ロッド部１２は左右方向にガタついた
り回転したりすることなくスムーズに直進することがで
きる。逆に、第２のエア給排ポート６にエアを供給する
と、移動体Ｍ1 が上方に移動して、今度はロッド部１２
がシリンダ本体２内に没入する。勿論、このときもロッ
ド部１２はスムーズに直進することができる。

【００３３】さらに真空ポンプを駆動させた場合には、
真空引き流路Ｒ1 、ガイド体挿通孔４及び真空引きポー
ト２８という経路を介し、吸引口２７ａ付近のエアが真
空引きされる。従って、流体圧シリンダ１をワークＷ1
上方に移動し、かつ真空吸着パッド２４をワークＷ1 と
充分に近接させておけば、真空吸着パッド２４の吸引口
２７ａにワークＷ1 を吸着することができる。このよう
にしてワークＷ1 を吸着した後、所定の箇所まで流体圧
シリンダ１を移動させて真空引きを一時停止する。その
結果、当該所定の箇所にてワークＷ1 が釈放される。

【００３４】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）本実施形態の流体圧シリンダ１では、真空引きポ
ート２８が固定側部材であるシリンダ本体２に形成され
ている。そのため、移動体Ｍ1 の駆動時においても真空
配管チューブが動いてしまうことはない。ゆえに、チュ
ーブが緩んで外れたり、チューブ自身に変形・破損が生
じたりすることがない。よって、接続部分や変形・破損
部分からのエア漏れが確実に解消され、信頼性及び耐久
性に優れた流体圧シリンダ１とすることができる。

【００３５】（ロ）この流体圧シリンダ１では、移動体
Ｍ1 ではなくガイド体２０に真空引き流路Ｒ1 を形成し
ている点が従来と異なっている。従って、ロッド部１２
の上端面側に真空引き通路Ｒ1 を形成せんとして、ロッ
ド部１２をピストン部１３の両方の端面から突出させる
必要がない。よって、長いシリンダ本体２を用いる必要
もなくなり、流体圧シリンダ１の全長を従来に比べて短
くすることができる。その結果、コンパクトな流体圧シ
リンダ１とすることができる。また、ロッド部１２をピ
ストン部１３の片方の端面のみから突出させた構造は、
移動体Ｍ1 の軽量化にもつながる。

【００３６】（ハ）この流体圧シリンダ１では、上記の
ようなガイドロッド２１と連結ブロック２２とを構成要
素として含むガイド体２０を採用している。そして、こ
のようなガイド体２０によってロッド部１２の直進がガ
イドされ、動作性の向上が図られる。また、この構成で
あると、ガイドロッド２１側のみに貫通孔２６を直線的
に透設することで真空引き流路Ｒ1 を形成することがで
きるため、特に製造困難性を伴わないという利点があ
る。

【００３７】（ニ）この流体圧シリンダ１では、ガイド
体挿通孔４に設けられたスリーブ１１によりガイド体２
０の一部、即ちガイドロッド２１の外周面が支承され
る。その結果、ガイドロッド２１の出没時においてその
先端の触れ量が低減され、ガイドロッド２１の直進性が
向上する。従って、ガイドロッド２１の先端にある真空
吸着パッド２４が左右にがたつくこともなく、高い位置
精度が確保される。よって、ＩＣチップ、各種チップ部
品、半導体パッケージ等のような超小型部品の真空吸着
に好適な流体圧シリンダ１とすることができる。 ［第２の実施形態］次に、図４に基づいて実施形態２の
真空吸着用の流体圧シリンダ３１を説明する。ここでは
実施形態１と共通する構成については同じ部材番号を付
すのみとし、相違する構成について述べる。

【００３８】図４に示されるように、この流体圧シリン
ダ３１では、実施形態１のときと比べてガイドロッド２
１が若干長く形成されている。従って、それを摺動可能
に挿通するためのガイド体挿通孔４もやや深めに形成さ
れている。また、この流体圧シリンダ３１では、実施形
態１のスリーブ１１に代えて、異なるタイプの軸受け部
材が、具体的にはボールベアリング３２が使用されてい
る。ボールベアリング３２とは、複数の硬球を周回空間
内に転動可能に収容した構造を有する軸受けをいう。こ
のようなボールベアリング３２を用いた場合、複数の硬
球がガイドロッド２１の外周面に対して摺接することに
より、ガイドロッド２１がガイドされる。ガイドロッド
２１の外周面に自身の長手方向に沿って延びる溝を形成
しておき、その溝に硬球を摺接させてもよい。

【００３９】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）本実施形態の流体圧シリンダ３１であっても、前
記実施形態１において列挙した作用効果イ、ロ、ハを奏
することは明らかである。

【００４０】（ロ）特にこの流体圧シリンダ３１ではボ
ールベアリング３２を軸受け部材として用いていること
から、ガイドロッド２１の先端の触れ量がよりいっそう
低減され、真空吸着パッド２４にさらに高い位置精度を
確保することができる。よって、超小型部品の真空吸着
に最適な流体圧シリンダ３１とすることができる。

【００４１】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ことはなく、例えば次のような別の形態に変更すること
が可能である。 ◎ 実施形態２の流体圧シリンダ３１について、例えば
ガイドロッド２１を実施形態１と同程度の長さに止める
等のことを行ってシリンダ本体２を短くすれば、実施形
態１と同じくらい全体をコンパクトにすることが可能で
ある。

【００４２】◎ 図５に示される別例の流体圧シリンダ
４１のように構成してもよい。この流体圧シリンダ４１
では、真空引きポート２８がシリンダ本体２の上端面２
ｆではなく側面２ｃにおいて開口するように形成されて
いる。この場合、真空引きポート２８及びシリンダポー
ト５，６は、図５のように、移動体Ｍ1 の非突出側端が
到達する位置よりも突出端側（同図では下方）に位置し
ていることが好ましい。上記のようにすると、移動体Ｍ
1 のストローク方向に同ポート２８の深さ分に相当する
長さを確保しておく必要がなくなる。従って、真空引き
ポート２８をシリンダ本体２の上端面において開口する
ように形成した場合に比べ、シリンダ本体２を短くする
ことができ、さらなるコンパクト化を達成することがで
きる。

【００４３】◎ 図５の別例の構成を採用した場合、さ
らに前記真空引きポート２８は、シリンダポート５，６
が存在する側面２ａにおいて開口するように形成されて
もよい。シリンダポート５，６及び真空引きポート２８
が同じ面において開口するように形成しておけば、集中
配管化を図ることができるからである。従って、例えば
設置スペースが限られている場合等において有利な構成
となる。

【００４４】◎ 吸引口２７はガイド体２０における非
挿通部位に形成されていれば足りるので、例えばそれを
連結ブロック２２の下端面等に形成すること等も許容さ
れる。また、このような場合には真空引き通路Ｒ1 の一
部を連結ブロック２２内に形成すればよい。

【００４５】◎ ガイドロッド２１と連結ブロック２２
とを構成要素として含みそれらが互いに固定された構成
のガイド体２０に代え、例えばガイドロッド２１及び連
結ブロック２２といった区別のない一体物を使用しても
構わない。

【００４６】◎ 連結手段としての連結ブロック２２に
代え、例えば肉薄に形成された連結プレートを使用すれ
ば、さらなるコンパクト化を図ることが可能である。こ
こで、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほか
に、前述した実施形態によって把握される技術的思想を
その効果とともに以下に列挙する。

【００４７】（１） 請求項５，６において、前記真空
引きポート及び前記シリンダポートは、前記移動体の非
突出側端が到達する位置よりも突出端側に位置している
ことを特徴とする真空吸着用の流体圧シリンダ。この構
成であると、よりいっそうコンパクト化を図ることがで
きる。

【００４８】（２） 請求項１乃至６、技術的思想１の
いずれか１項において、前記ガイド体の先端には弾性体
からなる真空吸着パッドを備えるアダプタが着脱可能に
装着されることを特徴とする真空吸着用の流体圧シリン
ダ。この構成であると、高い真空吸着力が得られるとと
もにワークに与える物理的ダメージを緩和することがで
きる。

【００４９】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜６に記
載の発明によれば、コンパクトで、しかも流体漏れが起
こりにくい真空吸着用の流体圧シリンダを提供すること
ができる。

【００５０】請求項２に記載の発明によれば、製造困難
性を伴うことなく動作性に優れた流体圧シリンダを提供
することができる。請求項３に記載の発明によれば、位
置精度が高くなることで、例えば超小型部品の真空吸着
に好適なものとすることができる。

【００５１】請求項４に記載の発明によれば、位置精度
がさらに高くなるため、超小型部品の真空吸着に最適な
ものとすることができる。請求項５に記載の発明によれ
ば、よりコンパクトな流体圧シリンダとすることができ
る。

【００５２】請求項６に記載の発明によれば、狭いスペ
ースへの設置等に好適な流体圧シリンダとすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態１の真空吸着用の流体圧シリンダを示
す断面図。

【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図。

【図３】図１のシリンダの平面図。

【図４】実施形態２の真空吸着用の流体圧シリンダの断
面図。

【図５】別例の真空吸着用の流体圧シリンダの断面図。

【図６】従来例の真空吸着用の流体圧シリンダの断面
図。

【図７】従来例の真空吸着用の流体圧シリンダの断面
図。

【符号の説明】

１，３１，４１…真空吸着用の流体圧シリンダ、２…シ
リンダ本体、２ａ〜２ｄ…シリンダ本体の側面、４…ガ
イド体挿通孔、５，６…シリンダポート、１１…軸受け
部材としてのスリーブ、１２…ロッド部、１３…ピスト
ン部、２０…ガイド体、２１…ガイドロッド、２２…連
結手段としての連結ブロック、２６…貫通孔、２７，２
７ａ…吸引口、２８…真空引きポート、３２…軸受け部
材としてのボールベアリング、Ｒ1 …真空引き流路、Ｍ
1 …移動体、Ｗ1 …ワーク。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ピストン部とロッド部とを備えかつ流体の
   給排により駆動される移動体がシリンダ本体に収容さ
   れ、前記移動体と一体的に移動することで前記ロッド部
   をガイドするガイド体が前記シリンダ本体に摺動可能に
   挿通され、真空引きポートを介した真空引きにより吸引
   口にワークが吸着される流体圧シリンダにおいて、 前記ロッド部を前記ピストン部の片方の端面から突出さ
   せ、前記ガイド体を挿通するためのガイド体挿通孔に連
   通する前記真空引きポートを前記シリンダ本体に形成
   し、前記ガイド体における非挿通部位に形成された吸引
   口側と前記真空引きポート側とを連通させる真空引き流
   路を前記ガイド体に設けたことを特徴とする真空吸着用
   の流体圧シリンダ。
2. 【請求項２】前記ガイド体は、前記ロッド部に対して平
   行に設けられたガイドロッドと、そのガイドロッドと前
   記ロッド部とを連結する連結手段とをその構成要素とし
   て含み、前記真空引き流路は前記ガイドロッドをその軸
   線方向に沿って貫通する貫通孔であることを特徴とする
   請求項１に記載の真空吸着用の流体圧シリンダ。
3. 【請求項３】前記ガイド体挿通孔には前記ガイド体の一
   部を支承するための軸受け部材が設けられていることを
   特徴とする請求項１または２に記載の真空吸着用の流体
   圧シリンダ。
4. 【請求項４】前記軸受け部材はボールベアリングである
   ことを特徴とする請求項３に記載の真空吸着用の流体圧
   シリンダ。
5. 【請求項５】前記真空引きポートは前記シリンダ本体の
   側面において開口するように形成されていることを特徴
   とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の真空吸着
   用の流体圧シリンダ。
6. 【請求項６】前記真空引きポートは、移動体駆動用の流
   体を給排するためのシリンダポートと同じ面において開
   口するように形成されていることを特徴とする請求項５
   に記載の真空吸着用の流体圧シリンダ。