JP4453023B2 - 位置検出装置付き流体圧シリンダ - Google Patents
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Description
磁歪線が保持筒の内部に収容されている場合には、この保持筒の端部に上記検出コイルが配設される。
上記永久磁石18は、リング状をしていて、ピストン4の外周に該ピストン4を取り巻くように取り付けられ、N極とS極とが上記軸線L方向に着磁されるか、又はラジアル方向に着磁されている。しかし、この永久磁石18は、リング状以外の形状、例えば棒状をしていていも良く、これがピストン4の適宜位置に埋め込みなどの方法で装着されていても構わない。
また、保持筒34の基端部側には、磁歪線19を取り巻くように検出コイル29が内蔵されている。
なお、この第2実施形態においても、上記第1実施形態の場合と同様に、上記保持筒34の基端部側の端部とアンプ24とに、プラグイン式に電気接続可能な接続部31,32をそれぞれ形成し、これらの接続部同士の接続によってアンプ24を着脱自在とすることもできる。
3 シリンダチューブ
4 ピストン
5 位置検出装置
18 永久磁石
19 磁歪線
20 中空部
23 パルス入力部
28 振動吸収部材
29 検出コイル
34 保持筒
Claims (6)
- シリンダチューブと、該シリンダチューブの内部を流体圧の作用により直線的に移動するピストンと、該ピストンの動作位置を検出する磁歪式の位置検出装置とを有し、この位置検出装置が、上記シリンダチューブに沿って延びる磁歪線と、このシリンダチューブ内を上記ピストンに同期して移動する永久磁石とを有していて、上記磁歪線に電流パルスを供給したとき上記永久磁石との対応位置において該磁歪線に生じる超音波振動から上記ピストンの動作位置を検出するように構成されている位置検出装置付き流体圧シリンダにおいて、
上記シリンダチューブを非磁性で導電性を有する素材により形成し、該シリンダチューブに、上記永久磁石の移動方向と平行に延びる孔状又は溝状の中空部を形成して、該中空部内に強磁性体からなる上記磁歪線を挿通すると共に、該磁歪線の先端部をこのシリンダチューブに電気的に接続することにより、該シリンダチューブを電流帰還用の導体として兼用したことを特徴とする位置検出装置付き流体圧シリンダ。 - 上記磁歪線が上記中空部内に直接収容されていることを特徴とする請求項1に記載の流体圧シリンダ。
- 上記磁歪線が非導電性素材からなる保持筒の内部に収容されていて、この保持筒を介して上記中空部内に配設されていることを特徴とする請求項1に記載の流体圧シリンダ。
- 上記磁歪線の基端部側に、電流パルスを入力するためのパルス入力部が設けられると共に、該磁歪線を伝播する超音波振動を検出するための検出コイルが配設されていることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の流体圧シリンダ。
- 上記保持筒の端部に上記検出コイルが配設されていることを特徴とする請求項3に従属する請求項4に記載の流体圧シリンダ。
- 上記磁歪線の先端部と基端部との少なくとも一方に、該磁歪線を伝播した超音波振動を吸収するための振動吸収材が設けられていることを特徴とする請求項1から5の何れかに記載の流体圧シリンダ。
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