KR20060133460A - 위치 검출 장치 부착 유압 실린더 - Google Patents

위치 검출 장치 부착 유압 실린더 Download PDF

Info

Publication number
KR20060133460A
KR20060133460A KR1020060053682A KR20060053682A KR20060133460A KR 20060133460 A KR20060133460 A KR 20060133460A KR 1020060053682 A KR1020060053682 A KR 1020060053682A KR 20060053682 A KR20060053682 A KR 20060053682A KR 20060133460 A KR20060133460 A KR 20060133460A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cylinder
cylinder tube
magnetostriction
piston
line
Prior art date
Application number
KR1020060053682A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100744627B1 (ko
Inventor
히사시 야지마
노부히로 후지와라
Original Assignee
에스엠시 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에스엠시 가부시키가이샤 filed Critical 에스엠시 가부시키가이샤
Publication of KR20060133460A publication Critical patent/KR20060133460A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100744627B1 publication Critical patent/KR100744627B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2884—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using sound, e.g. ultrasound
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2861—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using magnetic means

Abstract

자왜식 위치 검출 장치를 이용해서 피스톤의 동작 위치를 검출하도록 한 위치 검출 장치 부착 유압 실린더에 있어서, 전류귀환용 도체로서 특별한 도전성 부재를 설치하지 않고 이 유압 실린더를 간단하고 합리적인 설계구조로 한다. 피스톤에 장착한 영구자석과, 실린더 튜브의 중공부 내에 수용한 자왜선을 갖는 자왜식 위치 검출 장치를 구비한 유압 실린더에 있어서, 상기 실린더 튜브를 비자성이며 도전성을 갖는 소재에 의해 형성하고, 상기 중공부 내에 강자성체로 된 상기 자왜선을 삽입함과 아울러 이 자왜선의 선단부를 이 실린더 튜브에 지지금구를 통해 전기적으로 접속함으로써 이 실린더 튜브를 전류귀환용 도체로서 겸용한다.
유압 실린더, 위치 검출 장치

Description

위치 검출 장치 부착 유압 실린더{FLUID PRESSURE CYLINDER WITH POSITION DETECTING DEVICE}
도1은 본 발명에 의한 위치 검출 장치 부착 유압 실린더의 제 1 실시형태를 나타낸 단면도이다.
도2는 도1에 있어서의 II-II선 단면도이다.
도3은 상기 제 1 실시형태의 바람직한 변형예를 나타낸 요부단면도이다.
도4는 본 발명의 제 2 실시형태를 나타낸 단면도이다.
도5는 프로브의 단면도이다.
도6은 실린더 본체에 형성된 중공부의 다른예를 나타낸 단면도이다.
본 발명은 자왜(磁歪)식 위치 검출 장치로 피스톤의 동작 위치를 검출하도록 한 위치 검출 장치 부착 유압 실린더에 관한 것이다.
특허문헌1에는 자왜식 위치 검출 장치를 이용해서 유압 실린더의 피스톤의 동작 위치를 검출하는 기술에 대해서 개시되어 있다. 이 위치 검출 장치는 강자성 재료로 된 자왜선(磁歪線)과 영구자석을 사용하고, 자왜선에 전류펄스를 흘려보냈 을 때 발생하는 자계와 영구자석에 의한 자계의 상호작용에 의해 상기 자왜선에 영구자석과의 대응 위치에 있어서 초음파진동을 발생시켜, 자왜선 중을 전파하는 이 초음파진동을 리시브 코일(검출코일)에서 검출함으로써 상기 영구자석의 위치를 검출하는 것이다. 그리고, 상기 영구자석을 피스톤에 장착함과 아울러, 상기 자왜선을 실린더 튜브에 장착함으로써 피스톤의 전 스트로크(stroke) 중의 동작 위치를 검출하도록 하고 있다.
그런데, 상기 특허문헌1에 개시된 기술에 있어서는, 위치 검출 장치가 상기 자왜선을 내장하는 금속제 프로브(probe)를 갖고 있어서, 이 프로브가 알루미늄 합금 등으로 된 실린더 튜브의 홈 내에 전기 절연 상태로 끼워 넣어져 있다. 즉, 상기 프로브는 금속 등의 도전성 재료로 된 원통 파이프(pipe)의 내부에 상기 자왜선을 삽입하고, 이 자왜선의 선단을 이 원통 파이프의 선단부에 전기접속함과 아울러, 이 원통 파이프의 기단부측에 상기 검출코일을 배치함으로써 형성된 것으로, 이 프로브의 외주에는 절연 튜브가 설치되고, 이 절연 튜브를 통해 이 프로브가 상기 실린더 튜브의 홈 내에 전기 절연 상태로 끼워 넣어져 있다. 그리고, 상기 원통 파이프가 자왜선에 공급된 전류펄스의 귀환용 도선으로서의 역할을 하게 되어 있다.
[특허문헌1] 일본 특허 공개 평9-329409호 공보
그러나, 상술한 바와 같이 금속제 원통 파이프의 내부에 자왜선을 수용해서 프로브를 형성하고 상기 원통 파이프에 전류귀환용 도선으로서의 기능을 갖게 하면, 이 원통 파이프와 자왜선 사이의 전기 절연과, 원통 파이프와 실린더 튜브 사 이의 전기 절연을 각각 행하지 않으면 안되기 때문에, 절연을 위한 구조가 복잡하게 될 뿐만 아니라 절연 튜브의 설치 등에 의해 프로브의 외경이 커져서 실린더 튜브에 컴팩트하게 장착할 수 없게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 자왜선에 공급된 전류펄스의 귀환용 도체로서 금속제 프로브를 사용하거나 그 밖의 특별한 도전성 부재 등을 설치할 필요가 없는 간단하고 합리적인 설계구조를 갖는 위치 검출 장치 부착 유압 실린더를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 의하면, 실린더 튜브와, 이 실린더 튜브의 내부를 유압 작용에 의해 직선적으로 이동하는 피스톤과, 이 피스톤의 동작 위치를 검출하는 자왜식 위치 검출 장치를 갖고, 이 위치 검출 장치가 상기 실린더 튜브를 따라 연장되는 자왜선과, 이 실린더 튜브 내를 상기 피스톤에 동기해서 이동하는 영구자석을 갖고 있어서, 상기 자왜선에 전류펄스를 공급했을 때 상기 영구자석과의 대응 위치에 있어서 이 자왜선에 발생하는 초음파진동으로부터 상기 피스톤의 동작 위치를 검출하도록 구성된 위치 검출 장치 부착 유압 실린더가 제공된다. 이 유압 실린더는 상기 실린더 튜브를 비자성이며 도전성을 갖는 소재에 의해 형성하고, 이 실린더 튜브에 상기 영구자석의 이동 방향과 평행으로 연장되는 구멍 형상 또는 홈 형상의 중공부를 형성하여 이 중공부 내에 강자성체로 된 상기 자왜선을 삽입함과 아울러, 이 자왜선의 선단부를 이 실린더 튜브에 전기적으로 접속함 으로써 이 실린더 튜브를 전류귀환용 도체로서 겸용한 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 있어서, 상기 자왜선이 상기 중공부 내에 직접 수용되어 있어도 좋고, 또는, 비도전성 소재로 이루어지는 유지통의 내부에 수용됨으로써 이 유지통을 통해 상기 중공부 내에 배치되어 있어도 좋다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 자왜선의 기단부측에 전류펄스를 입력하기 위한 펄스입력부가 설치됨과 아울러, 이 자왜선을 전파하는 초음파진동을 검출하기 위한 검출코일이 배치되어 있다.
자왜선이 유지통의 내부에 수용되어 있을 경우에는, 이 유지통의 단부에 상기 검출코일이 배치된다.
본 발명에 있어서 바람직하게는, 상기 자왜선의 선단부와 기단부의 적어도 한쪽에 이 자왜선을 전파하는 초음파진동을 흡수하기 위한 진동흡수재가 설치되어 있는 것이다.
도1 및 도2는 본 발명에 의한 위치 검출 장치 부착 유압 실린더의 제 1 실시형태를 모식적으로 나타낸 것으로, 이 유압 실린더(1A)는 실린더 튜브(3)와 피스톤(4)으로 이루어지는 실린더 본체(2)에 상기 피스톤(4)의 동작 위치를 검출하는 자왜식 위치 검출 장치(5)를 부착함으로써 형성되어 있다.
상기 실린더 본체(2)는 기본구조는 공지의 것과 같고, 알루미늄 합금과 같은 비자성이며 도전성을 갖는 소재로 형성된 상기 실린더 튜브(3)를 갖고, 이 실린더 튜브(3)에 형성된 원형의 실린더 보어(cylinder bore)(3a)의 내부에, 상기 피스톤(4)이 밀봉부재(8)를 통해 이 실린더 보어(3a)의 중심축선(L)에 걸친 방향으로 직선적으로 슬라이딩될 수 있게 배치되고, 이 피스톤(4)에 로드(rod)(6)의 일단이 연결되어 있다. 상기 실린더 보어(3a)의 양단은, 헤드 커버(10)와 로드 커버(11)에 의해 기밀하게 폐쇄되며, 이 중 로드 커버(11)를 상기 로드(6)가 밀봉부재(12)를 통해 슬라이딩될 수 있게 관통하고, 그 선단이 실린더 보어(3a)의 외부로 연장되어 있다.
상기 피스톤(4)과 각 커버(10, 11)의 사이에는 헤드측 압력실(13) 및 로드측 압력실(14)이 형성되고, 이 압력실(13, 14)이 상기 실린더 튜브(3)에 형성된 헤드측 포트(15)와 로드측 포트(16)에 각각 연통되어 있다. 그리고, 헤드측 포트(15)로부터 헤드측 압력실(13)에 압축 공기 등의 압력유체를 공급하면, 상기 피스톤(4)이 로드 커버(11)측으로 이동하고, 로드측 포트(16)로부터 로드측 압력실(14)에 압력유체를 공급하면, 상기 피스톤(4)이 헤드 커버(10)측으로 이동하도록 구성되어 있다.
상기 위치 검출 장치(5)는 피스톤(4)에 동기하여 이동하는 영구자석(18)과, 상기 실린더 튜브(3)에 장착된 자왜선(19)을 구비하고 있다.
상기 영구자석(18)은 링 형상을 하고 있어서, 피스톤(4)의 외주에 이 피스톤(4)을 둘러싸도록 장착되고, N극과 S극이 상기 축선(L)방향으로 착자(着磁)되거나, 또는 레이디얼(radial) 방향으로 착자되어 있다. 그러나, 이 영구자석(18)은 링 형상 이외의 형상, 예컨대, 봉 형상을 하고 있어도 좋고, 이것이 피스톤(4)의 적절한 위치에 매립 등의 방법으로 장착되어 있어도 상관없다.
또한, 상기 자왜선(19)은 강자성체에 의해 형성된 원형단면이며 균일한 크기 의 곧은 선이며, 이 자왜선(19)이 상기 실린더 튜브(3)에 형성된 중공부(20) 내에 수용되어 있다. 이 자왜선(19)으로서는 온도에 의한 영향을 받기 어렵게 하기 위해서, 온도변화에 따른 탄성율의 변화가 작은 것이 바람직하며, 예컨대, 엘린바(elinvar) 합금이나 니켈 합금 등이 적절히 사용된다.
상기 중공부(20)는 상기 실린더 보어(3a)와 인접하는 위치에 이 보어와 평행하게 형성된 원형구멍으로 된 것으로서, 이 중공부(20) 내에 상기 자왜선(19)이 이 중공부(20)의 내벽과 비접촉 상태이며, 상기 중심축선(L)과 평행하게 삽입되어 있다. 이 자왜선(19)의 선단은 상기 중공부(20)의 단부에 수용된 지지금구(支持金具)(21)에 접속되어, 이 지지금구(21)를 통해 상기 실린더 튜브(3)에 전기적으로 접속되어 있다. 즉, 상기 지지금구(21)는 구리나 알루미늄 등의 도전성 소재에 의해 디스크형으로 형성된 것으로서, 상기 중공부(20)의 내부에 이 중공부의 축선방향으로 가동하게 배치되고, 그 외주면이 중공부(20)의 내주면에 접촉함으로써 실린더 튜브(3)에 전기적으로 도통되고 있으며, 이에 따라 이 실린더 튜브(3)가 전류귀환용 도체로서 겸용되어 있다.
한편, 상기 자왜선(19)의 반대측의 단부인 기단부는 합성수지 등의 비도전성 지지부재(22)를 통해 상기 중공부(20)의 기단부측에 고정적으로 지지되어, 이 지지부재(22)의 외부에 앰프(24)로부터의 전류펄스를 자왜선(19)에 입력하기 위한 펄스입력부(23)가 설치되어 있다.
상기 자왜선(19)은 일정한 장력을 부여한 상태로 배치되어 있다. 이러한 장력 부여 때문에 상기 지지금구(21)와 중공부(20)에 형성된 스프링 리시버(spring receiver)(26)의 사이에 코일스프링(27)이 설치되어 있고, 이 코일스프링(27)의 스프링력으로 상기 지지금구(21)가 자왜선(19)을 신장시키는 방향으로 상시 가압되어 있다.
또한, 상기 자왜선(19)과 실린더 튜브(3)의 전기접속을 상기 지지금구(21)를 통해 행하지 않고, 이 지지금구(21)를 비도전성 소재에 의해 형성하고, 자왜선(19)의 선단부를 리드선(lead wire) 등 다른 도체로 실린더 튜브(3)에 접속해도 좋다.
상기 자왜선(19)의 선단부측 및 기단부측의 단부에는, 각각 이 자왜선(19)을 전파하는 초음파진동을 흡수하기 위한 진동흡수재(28)가 설치되고, 이 진동흡수재(28)에 의해 초음파진동의 반사를 방지하도록 하고 있다. 상기 진동흡수재(28)는 고무나 합성수지 등의 탄성소재로 형성되고, 자왜선(19)의 외주 전체를 피복하도록 장착되어 있다. 그러나, 상기 진동흡수재(28)는 자왜선(19)의 선단부측 또는 기단부측의 어느 한쪽에만 설치될 수도 있다.
또한, 상기 중공부(20)의 기단부측에는, 상기 진동흡수재(28)보다 내측(중앙) 가까운 위치에, 상기 자왜선(19)의 기단부를 둘러싸도록 검출코일(29)이 배치 되고, 이 자왜선(19)을 전파하는 초음파진동을 이 검출코일(29)에서 펄스전압으로서 검출하게 되어 있다.
상기 펄스입력부(23)와 검출코일(29)과 실린더 튜브(3)는 각각 도선(30a, 30b, 30c)에 의해 상기 앰프(24)에 전기적으로 접속되어 있다. 이 앰프(24)는 전류펄스를 상기 자왜선(19)에 공급하는 기능과, 상기 검출코일(29)로부터의 펄스전압을 증폭하는 기능을 갖는 것으로서, 이 앰프(24)와 상기 자왜선(19) 및 검출코 일(29)에 의해, 상기 영구자석(18)의 위치를 검출하기 위한 자왜센서가 형성되어 있다. 따라서, 상기 자왜선(19)과 검출코일(29)은 이 자왜센서에 있어서의 검출부를 구성하는 것이다.
또한, 도3에 도시된 바와 같이, 상기 실린더 튜브(3)의 단부에, 상기 펄스입력부(23)와 검출코일(29)과 실린더 튜브(3)에 각각 도통하는 수단자 혹은 암단자를 구비한 접속부(31)를 형성함과 아울러, 상기 앰프(24)에 이 수단자 혹은 암단자에 플러그인 방식으로 전기접속 가능한 암단자 혹은 수단자를 구비한 접속부(32)를 형성하고, 이 접속부(31, 32)끼리의 접속에 의해 앰프(24)를 실린더 본체(2)에 착탈가능하게 장착할 수도 있다.
상기 앰프(24)로부터 도선(30a)을 통해서 자왜선(19)의 펄스입력부(23)에 전류펄스가 공급되면, 이 전류펄스는 이 자왜선(19) 중을 기단부측으로부터 선단부측을 향하여 흐르지만, 이 때, 이 자왜선(19)에는 이 전류펄스에 의해 원주방향의 자계가 발생한다.
한편, 상기 피스톤(4)의 동작 위치에 있어서는 상기 영구자석(18)에 의해 축선(L)방향의 자계가 발생하고 있고, 이 영구자석(18)에 의한 축선방향 자계와 상기 전류펄스에 의한 원주방향 자계의 상호작용에 의해 상기 자왜선(19)에는 영구자석(18)과 대응하는 위치에 비틀림 변형이 발생한다. 이 비틀림 변형은 일종의 초음파진동이며, 자왜선(19)을 그 기단부측과 선단부측을 향하여 전파하고, 기단부측을 향한 초음파진동이 상기 검출코일(29)에 펄스전압을 발생시킨다. 따라서, 이 펄스전압을 상기 앰프(24)에 의해 검출해서 증폭함과 아울러 연산장치에서 필요한 연산 처리를 실시함으로써 상기 영구자석(18)의 위치로부터 자왜선(19)의 기단부까지의 초음파진동의 전파시간이 산출되어, 이 전파시간으로부터 상기 영구자석(18) 즉, 피스톤(4)의 위치를 검출할 수 있다.
자왜선(19)의 양단에 도달한 상기 초음파진동은 상기 진동흡수재(28)에 의해 흡수되어 반사에 의한 오작동이 방지된다.
따라서, 상기 유압 실린더(1A)는 상기 실린더 튜브(3)를 비자성이며 도전성을 갖는 소재로 형성하고, 이 실린더 튜브(3)를 전류귀환용 도체로서 겸용하고 있기 때문에, 종래품과 같이 금속제 프로브를 사용하거나 그 밖의 도전성 부재를 특별히 설치할 필요가 없고, 매우 간단하고 합리적인 설계구조로 할 수 있다. 또한, 금속제 프로브를 사용할 경우에는 필요한 금속제 파이프와 자왜선(19) 사이의 전기 절연도, 금속제 파이프와 실린더 튜브(3) 사이의 전기 절연도 필요없기 때문에, 구조가 보다 간단하고, 소형화도 가능하게 된다.
도4는 본 발명의 제 2 실시형태를 모식적으로 나타낸 것으로서, 이 제 2 실시형태의 유압 실린더(1B)가 상기 제 1 실시형태의 유압 실린더(1A)와 다른 점은 자왜선(19)을 비도전성 소재로 이루어진 유지통(34)의 내부에 수용함으로써 자왜센서의 검출부를 프로브(35) 형태로 형성하고, 이 프로브(35)를 상기 중공부(20) 내에 삽입함으로써 상기 자왜선(19)을 이 중공부(20) 내에 상기 유지통(34)을 통해 배치하고 있다는 점이다. 상기 프로브(35)는 중공부(20)에 대하여 착탈 가능하다.
상기 유지통(34)은 합성수지에 의해 직선원통형으로 형성되어 있어, 도5에 도시된 바와 같이, 그 중심에 상기 자왜선(19)이 삽입되어 있고, 이 자왜선(19)의 기단부는 유지통(34)의 기단측의 단벽(34a)에 고정적으로 지지되어 있다. 또한, 이 유지통(34)의 선단부에는 구리나 알루미늄 등의 도전성 소재로 이루어지는 캡(cap) 형상의 지지금구(21)가 이 유지통(34)의 축선방향으로 가동할 수 있게 장착되어 있고, 그 외주면이 중공부(20)의 내주면에 접촉함으로써 실린더 튜브(3)와 전기적으로 도통된 상태에 있고, 이 지지금구(21)에 자왜선(19)의 선단이 접속됨으로써 이 지지금구(21)를 통해 이 자왜선(19)과 상기 실린더 튜브(3)가 전기적으로 접속되어 있다.
상기 지지금구(21)와 유지통(34) 내부의 스프링 리시버(26)의 사이에는 코일스프링(27)이 설치되고, 이 코일스프링(27)에 의해 자왜선(19)에 일정한 장력이 부여되어 있다.
또한, 유지통(34)의 기단부측에는 자왜선(19)을 둘러싸도록 검출코일(29)이 내장되어 있다.
이 제 2 실시형태의 상기 이외의 구성이나 바람직한 변형예 등에 대해서는 실질적으로 상기 제 1 실시형태와 같으므로, 그것들의 주요한 동일 구성 부분은 제 1 실시형태와 같은 부호를 붙이고, 그 설명은 생략한다.
이 제 2 실시형태의 유압 실린더(1B)에 있어서, 상기 유지통(34)이 비도전성 소재로 형성되어 있기 때문에, 그 내부에 자왜선(19)을 장착할 때에도, 상기 중공부(20) 내로 삽입할 때에도, 이 유지통(34)의 내외주에 전기 절연 처리를 실시할 필요가 없어, 구조가 간단함과 아울러 자왜선(19)의 설치나 실린더 튜브(3)로의 설치도 용이하다.
또한, 이 제 2 실시형태에 있어서도, 상기 제 1 실시형태의 경우와 같이, 상기 유지통(34)의 기단부측의 단부와 앰프(24)에, 플러그인 방식으로 전기접속 가능한 접속부(31, 32)를 각각 형성하고, 이 접속부끼리의 접속에 의해 앰프(24)를 착탈 가능하게 할 수도 있다.
상기 각 실시형태에 있어서, 실린더 튜브(3)에 구멍 형상의 중공부(20)를 형성하고, 이 중공부(20) 내에 자왜선(19)을 수용하도록 하고 있지만, 이 중공부(20)는 도6에 도시된 바와 같은 홈 형상이어도 좋다. 이 홈은 홈바닥측의 홈폭이 홈입구측보다 확대되어 있어서, 홈입구를 막는 커버(37)가 필요에 따라 장착되게 되어 있다. 중공부(20)가 이러한 홈 형상을 하고 있을 경우는, 상기 제 2 실시형태와 같이 센서의 검출부를 유지통(34)의 내부에 자왜선(19)을 수용하여 프로브(35) 형태로 한 것이 적절히 사용된다.
본 발명의 위치 검출 장치 부착 유압 실린더에 의하면, 도전성을 갖는 실린더 튜브 자체를 전류귀환용 도체로서 겸용하고 있기 때문에, 종래품과 같이 금속제 프로브를 사용하거나 그 밖의 도전성 부재를 특별히 설치할 필요가 없고, 매우 간단하고 합리적인 설계구조로 할 수 있다.

Claims (7)

  1. 실린더 튜브와, 상기 실린더 튜브의 내부를 유압 작용에 의해 직선적으로 이동하는 피스톤과, 상기 피스톤의 동작 위치를 검출하는 자왜식 위치 검출 장치를 갖고; 상기 위치 검출 장치가 상기 실린더 튜브를 따라 연장되는 자왜선과, 상기 실린더 튜브 내를 상기 피스톤에 동기해서 이동하는 영구자석을 갖고 있어서 상기 자왜선에 전류펄스를 공급했을 때 상기 영구자석과의 대응 위치에 있어서 상기 자왜선에 발생하는 초음파진동으로부터 상기 피스톤의 동작 위치를 검출하도록 구성된 위치 검출 장치 부착 유압 실린더에 있어서:
    상기 실린더 튜브를 비자성이며 도전성을 갖는 소재에 의해 형성하고, 상기 실린더 튜브에 상기 영구자석의 이동 방향과 평행으로 연장되는 구멍 형상 또는 홈 형상의 중공부를 형성하여 상기 중공부 내에 강자성체로 된 상기 자왜선을 삽입함과 아울러, 상기 자왜선의 선단부를 상기 실린더 튜브에 전기적으로 접속함으로써 상기 실린더 튜브를 전류귀환용 도체로서 겸용한 것을 특징으로 하는 위치 검출 장치 부착 유압 실린더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 자왜선이 상기 중공부 내에 직접 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출 장치 부착 유압 실린더.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 자왜선이 비도전성 소재로 된 유지통의 내부에 수용되어 있어서 상기 유지통을 통해 상기 중공부 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출 장치 부착 유압 실린더.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자왜선의 기단부측에 전류펄스를 입력하기 위한 펄스입력부가 설치됨과 아울러, 상기 자왜선을 전파하는 초음파진동을 검출하기 위한 검출코일이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출 장치 부착 유압 실린더.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 유지통의 단부에 상기 검출코일이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출 장치 부착 유압 실린더.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자왜선의 선단부와 기단부의 적어도 한쪽에 상기 자왜선을 전파하는 초음파진동을 흡수하기 위한 진동흡수재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출 장치 부착 유압 실린더.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 자왜선의 선단부와 기단부의 적어도 한쪽에 상기 자왜선을 전파하는 초음파진동을 흡수하기 위한 진동흡수재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출 장치 부착 유압 실린더.
KR1020060053682A 2005-06-20 2006-06-15 위치 검출 장치 부착 유압 실린더 KR100744627B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005179428A JP4453023B2 (ja) 2005-06-20 2005-06-20 位置検出装置付き流体圧シリンダ
JPJP-P-2005-00179428 2005-06-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060133460A true KR20060133460A (ko) 2006-12-26
KR100744627B1 KR100744627B1 (ko) 2007-08-01

Family

ID=37513759

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060053682A KR100744627B1 (ko) 2005-06-20 2006-06-15 위치 검출 장치 부착 유압 실린더

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7493847B2 (ko)
JP (1) JP4453023B2 (ko)
KR (1) KR100744627B1 (ko)
CN (1) CN100510429C (ko)
DE (1) DE102006027960B4 (ko)
TW (1) TWI346191B (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100980267B1 (ko) * 2008-09-25 2010-09-06 삼성중공업 주식회사 위치 감지 장치
WO2018226071A1 (ko) * 2017-06-08 2018-12-13 두산공작기계 주식회사 심압대 이송용 실린더의 변위 측정 장치 및 이를 갖는 공작 기계

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004063647A1 (de) * 2004-12-31 2006-07-20 Tecpharma Licensing Ag Vorrichtung zur dosierten Verabreichung eines fluiden Produkts mit Kupplung
DE102007035252A1 (de) * 2007-07-27 2009-02-12 Truma Gerätetechnik GmbH & Co. KG Vorrichtung zum Bestimmen der Position eines Kolbens in einem Zylinder
DE102009007657A1 (de) * 2009-02-05 2010-08-12 Wabco Gmbh Kolben-Zylinderanordnung mit integrierter Messeinrichtung
NO2588709T3 (ko) * 2010-07-01 2018-07-21
JP5688602B2 (ja) * 2011-09-02 2015-03-25 Smc株式会社 クランプ装置
ITMI20120748A1 (it) * 2012-05-04 2013-11-05 Gefran Spa Metodo di rilevazione della posizione lineare di un pistone in un cilindro pneumatico e sensore di posizione magnetostrittivo implementante tale metodo
TWM441832U (en) * 2012-07-27 2012-11-21 Kita Sensor Tech Co Ltd Magnetic sensor
US9074860B2 (en) 2013-03-13 2015-07-07 Ametek Systems and methods for magnetostrictive sensing
JP6119050B2 (ja) * 2013-05-28 2017-04-26 Smc株式会社 流体圧シリンダ
US10100946B2 (en) 2014-06-30 2018-10-16 Komatsu Ltd. Stroke detection device
DE102015102233B4 (de) * 2015-02-17 2019-05-29 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Positionssensor und damit erstellte Messanordnung
US10113883B1 (en) * 2016-01-08 2018-10-30 Control Products, Inc. Hybrid sensor system and method of use
JP6637325B2 (ja) * 2016-02-12 2020-01-29 Ｋｙｂ株式会社 緩衝器
DE102016102891A1 (de) * 2016-02-18 2017-08-24 Logicdata Electronic & Software Entwicklungs Gmbh Gasfedervorrichtung zur Höhenverstellung eines Bürostuhls
JP3207583U (ja) * 2016-09-07 2016-11-17 Smc株式会社 流体圧シリンダ
JP6598079B2 (ja) * 2016-12-06 2019-10-30 Ｓｍｃ株式会社 ロッド組立体及び流体圧装置
CN107544306B (zh) * 2017-09-11 2020-02-07 清华大学 真空内位置反馈装置
CN109186509B (zh) * 2018-09-10 2020-07-10 武汉科技大学 变间隙密封液压缸变形活塞唇边变形量测量装置及测量方法
JP7433010B2 (ja) * 2019-09-25 2024-02-19 住友重機械工業株式会社 成形装置
KR102630204B1 (ko) 2021-08-06 2024-01-25 충남대학교 산학협력단 자기변형원리를 이용한 초음파 방식의 온도 측정 장치 및 그의 측정 방법
DE102022117489A1 (de) 2022-07-13 2024-01-18 Sick Ag Vorrichtung zur Erfassung einer Position und Positionserfassungssystem
DE102022005061A1 (de) 2022-07-13 2024-01-18 Sick Ag Vorrichtung zur Erfassung einer Position und Positionserfassungssystem
CN115096633B (zh) * 2022-08-23 2022-11-08 江苏万泰电机有限公司 一种滑台式电缸检测装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3898555A (en) * 1973-12-19 1975-08-05 Tempo Instr Inc Linear distance measuring device using a moveable magnet interacting with a sonic waveguide
JPH04191509A (ja) * 1990-11-26 1992-07-09 Hitachi Constr Mach Co Ltd シリンダ装置のストローク検出装置
DE4334811A1 (de) * 1993-10-13 1995-04-20 Festo Kg Positionserfassungsvorrichtung an einem Linearantrieb
JPH09329409A (ja) * 1996-06-06 1997-12-22 Keyence Corp 磁歪式リニア変位センサ用プローブ、磁歪式リニア変位センサおよび流体圧シリンダ
JP3648725B2 (ja) * 1999-05-25 2005-05-18 ジャパンニューマチックス株式会社 近接スイッチ付きシリンダ
SE522652C2 (sv) * 2001-07-06 2004-02-24 Parker Hannifin Ab Kolv- cylinderanordning med minst en lägessensor
EP1464925A1 (de) * 2003-04-05 2004-10-06 Festo AG & Co Verfahren zur Herstellung einer Aktor-Vorrichtung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100980267B1 (ko) * 2008-09-25 2010-09-06 삼성중공업 주식회사 위치 감지 장치
WO2018226071A1 (ko) * 2017-06-08 2018-12-13 두산공작기계 주식회사 심압대 이송용 실린더의 변위 측정 장치 및 이를 갖는 공작 기계

Also Published As

Publication number Publication date
KR100744627B1 (ko) 2007-08-01
CN100510429C (zh) 2009-07-08
TW200720574A (en) 2007-06-01
DE102006027960B4 (de) 2009-11-05
CN1884853A (zh) 2006-12-27
US7493847B2 (en) 2009-02-24
DE102006027960A1 (de) 2006-12-28
JP2006349144A (ja) 2006-12-28
US20060285978A1 (en) 2006-12-21
TWI346191B (en) 2011-08-01
JP4453023B2 (ja) 2010-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100744627B1 (ko) 위치 검출 장치 부착 유압 실린더
AU2009272461B2 (en) Linear actuator and position sensing apparatus therefor
US8022691B2 (en) Microminiature gauging displacement sensor
US20030172801A1 (en) Contraction unit with position sensor device
CN114526759A (zh) 感测装置和包括该装置的数字线性位置传感器
JP4551698B2 (ja) 磁界形成デバイス及びこれを用いた変位センサ
JPH11108605A (ja) 無接触直線変位センサ
AU2001287813A1 (en) Displacement and force sensor
US20180087935A1 (en) Position Sensor
JP2001027505A (ja) 小型流体圧シリンダにおける位置検出器
US6470997B1 (en) Apparatus and method for eliminating electrical noise in the fire detect timing signal of an air gun
CN109000550A (zh) 线圈磁场屏蔽式接近传感器
JP2018091829A (ja) 位置センサ
CN219142069U (zh) 电磁超声传感器
JP2023049395A (ja) 圧力検出装置
JP7077210B2 (ja) 圧力検出装置、回路内蔵部材、圧力検出装置の製造方法
US10539435B2 (en) Pressure compensated sensors
JPH09329410A (ja) 磁歪式リニア変位センサ用プローブおよび磁歪式リニア変位センサ
JP2000065511A (ja) 磁気検知装置
US20070188162A1 (en) Full waveguide
JP2023144820A (ja) ストロークセンサ
JP2023005340A (ja) ストロークセンサ
EA040389B1 (ru) Сейсмометр
CN116793550A (zh) 电磁超声传感器
YU86503A (sh) Vakuum prekidač sa koaksijalnim namotajem za generisanje aksijalnog magnetnog polja u blizini kontakata prekidača

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120713

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130712

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140718

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150717

Year of fee payment: 9