KR20140125692A - 기판 이송장치 및 이를 이용한 기판 이송방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 지지핸드, 상기 지지핸드가 회전 가능하게 결합되는 암유닛, 상기 암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스, 및 상기 지지핸드를 이동시키기 위해 상기 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시키는 구동부를 포함하되, 상기 구동부가 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드를 이동시키는 기판 이송장치 및 이를 이용한 기판 이송방법에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 지지핸드가 이동하는 도중에 사행되는 정도를 줄일 수 있음과 동시에 지지핸드를 이동시키는 속도를 증대시킬 수 있으므로, 지지핸드 또는 지지핸드에 지지된 기판이 손상 내지 파손됨에 따라 공정 비용이 상승하는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 기판을 이송하는데 걸리는 시간을 줄임으로써 전자부품에 대한 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 이송장치 및 이를 이용한 기판 이송방법{Apparatus and Method for Transferring Substrate}
본 발명은 전자부품을 제조하는 과정에서 기판을 이송하는 기판 이송장치 및 기판 이송방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 평면도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 암베이스(11), 상기 암베이스(11)에 결합되는 제1암기구(12), 상기 제1암기구(12)에 결합되는 제2암기구(13), 및 상기 제2암기구(13)에 결합되는 지지핸드(14)를 포함한다.
상기 암베이스(11)는 상기 제1암기구(12)를 지지함으로써, 상기 제2암기구(13), 상기 지지핸드(14) 및 상기 지지핸드(14)에 지지된 기판(100)을 지지한다.
상기 제1암기구(12)는 상기 암베이스(11)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(12)는 상기 암베이스(11)에 결합된 부분을 회전축(12a)으로 하여 회전한다.
상기 제2암기구(13)는 상기 제1암기구(12)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2암기구(13)는 상기 제1암기구(12)에 결합된 부분을 회전축(13a)으로 하여 회전한다.
상기 지지핸드(14)는 기판(100)의 밑면을 지지한다. 상기 지지핸드(14)는 상기 제2암기구(13)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 지지핸드(14)는 상기 제2암기구(13)에 결합된 부분을 회전축(14a)으로 하여 회전한다.
도시되지 않았지만, 상기 암베이스(11)에는 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지핸드(14)를 이동시키기 위한 동력원(미도시)이 설치된다. 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지핸드(14)에는 각각 풀리(미도시)들이 설치된다. 상기 동력원은 벨트(미도시)들을 통해 상기 풀리들과 연결된다. 이에 따라, 상기 동력원이 상기 제1암기구(12)를 회전축(12a)을 중심으로 회전시키면, 이에 연동하여 상기 제2암기구(13)와 상기 지지핸드(14)가 각각의 회전축들(13a, 14a)을 중심으로 회전한다. 따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 제1암기구(12) 및 상기 제2암기구(13)가 서로 겹쳐지거나 펼쳐지도록 상기 제1암기구(12) 및 상기 제2암기구(13)를 이동시킴으로써 상기 지지핸드(14)를 이동시킬 수 있고, 이를 통해 상기 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송하는 공정을 수행한다.
여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 지지핸드(14)가 직선궤적(20)을 따라 이동할 수 있도록 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지핸드(14)가 회전하는 방향 및 회전하는 정도를 조절한다. 그러나, 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지핸드(14) 각각에 발생하는 변형, 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지핸드(14) 각각이 회전하는 속도 및 회전함에 따른 반력, 벨트의 강성 등 여러 가지 원인으로 인해, 상기 지지핸드(14)는 도 1에 일점 쇄선으로 도시된 바와 같이 상기 직선궤적(20)을 따라 이동하지 못하고 사행(Meandering)하게 된다.
따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 지지핸드(14)가 상기 직선궤적(20)을 따라 이동하지 못하고 사행하면서 이동하므로, 상기 지지핸드(14)가 상기 공정챔버, 카세트 등과 같은 기구물에 충돌할 위험이 있는 문제가 있다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 지지핸드(14) 및 상기 기판(100)이 손상 내지 파손됨에 따라 공정 비용을 상승시키는 문제가 있다.
둘째, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)에 있어서 상기 제1암기구(12), 상기 제2암기구(13) 및 상기 지지핸드(14)가 회전하는 속도를 감소시킴으로써, 상기 지지핸드(14)가 상기 직선궤적(20)으로부터 사행하는 정도를 줄이는 방안이 제안되었다. 그러나, 이러한 방안에 따르면 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 기판(100)을 이송하는데 걸리는 시간이 증가됨으로써, 상기 전자부품에 대한 생산성 및 수율을 저하시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 지지핸드가 직선궤적으로부터 벗어나서 사행하는 정도를 줄일 수 있는 기판 이송장치 및 이를 이용한 기판 이송방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 전자부품을 제조하기 위해 기판을 이송하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있는 기판 이송장치 및 이를 이용한 기판 이송방법을 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 지지하기 위한 지지핸드; 상기 지지핸드가 회전 가능하게 결합되는 암유닛; 상기 암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스; 상기 지지핸드를 이동시키기 위해 상기 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시키는 구동부; 및 상기 지지핸드가 향하는 방향이 변경되도록 상기 암베이스를 회전시키는 선회부를 포함할 수 있다. 상기 선회부는 상기 구동부가 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스를 회전시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 상기 지지핸드가 위치하는 높이가 변경되도록 상기 암베이스를 승강시키기 위한 승강부를 포함할 수 있다. 상기 암베이스는 상기 승강부에 결합되고, 상기 승강부는 상기 선회부에 결합될 수 있다. 상기 선회부는 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 승강부를 회전시켜서 상기 암베이스를 회전시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 상기 지지핸드가 위치하는 높이가 변경되도록 상기 암베이스를 승강시키기 위한 승강부를 포함할 수 있다. 상기 선회부는 상기 지지핸드가 수평방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스를 회전시키고, 상기 승강부는 상기 지지핸드가 수직방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스를 승강시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 지지하기 위한 지지핸드; 상기 지지핸드가 회전 가능하게 결합되는 암유닛; 상기 암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스; 상기 지지핸드를 이동시키기 위해 상기 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시키는 구동부; 및 상기 지지핸드의 높이가 변경되도록 상기 암베이스를 승강시키기 위한 승강부를 포함할 수 있다. 상기 승강부는 상기 구동부가 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 수직방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스를 승강시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 지지하기 위한 지지핸드; 상기 지지핸드가 회전 가능하게 결합되는 암유닛; 상기 암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스; 상기 지지핸드를 이동시키기 위해 상기 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시키는 구동부; 상기 지지핸드가 향하는 방향이 변경되도록 상기 암베이스를 회전시키기 위한 선회부; 및 상기 구동부가 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 수직방향 및 수평방향 중에서 적어도 하나의 방향을 기준으로 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스 또는 상기 암유닛을 이동시키는 보정부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송방법은 지지핸드가 결합된 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시켜서 상기 지지핸드를 이동시키는 단계; 및 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드를 이동시켜서 상기 지지핸드의 이동을 보정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송방법에 있어서, 상기 지지핸드의 이동을 보정하는 단계는, 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 수평방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드를 회전시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송방법에 있어서, 상기 지지핸드의 이동을 보정하는 단계는, 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 수직방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드를 승강시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 지지핸드가 직선궤적으로부터 벗어나서 사행하는 정도를 줄임으로써, 지지핸드 또는 지지핸드에 지지된 기판이 손상 내지 파손됨에 따라 공정 비용이 상승하는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 기판을 이용하여 전자부품을 제조하는데 드는 공정 비용 및 전자부품에 대한 제조 단가를 줄이는데 기여할 수 있다.
본 발명은 지지핸드가 이동하는 도중에 사행되는 정도를 줄일 수 있음과 동시에 지지핸드를 이동시키는 속도를 증대시킬 수 있으므로, 기판을 이송하는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 전자부품에 대한 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 평면도
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치가 수평방향을 기준으로 지지핸드의 사행을 보정하는 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치가 수직방향을 기준으로 지지핸드의 사행을 보정하는 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 7은 본 발명에 따른 기판 이송장치가 지지핸드를 이동시키는 속도 및 시간 관계를 나타낸 그래프
도 8은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도 9는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도
도 10은 본 발명에 따른 기판 이송방법의 개략적인 순서도
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 기판(100)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(100)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판(100)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판(100)을 지지하기 위한 지지핸드(2), 상기 지지핸드(2)가 회전 가능하게 결합되는 암유닛(3), 상기 암유닛(3)이 회전 가능하게 결합되는 암베이스(4), 상기 지지핸드(2)를 이동시키기 위해 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)를 회전시키는 구동부(5), 상기 지지핸드(2)가 향하는 방향이 변경되도록 상기 암베이스(2)를 회전시키는 선회부(6), 및 상기 지지핸드(2)가 위치하는 높이가 변경되도록 상기 암베이스(2)를 승강시키기 위한 승강부(7)를 포함한다.
여기서, 상기 지지핸드(2)는 상기 구동부(5)에 의해 이동되는 과정에서 직선궤적(20)을 따라 이동하지 못하고 사행될 수 있다. 예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 지지핸드(2)는 제1위치(P1)와 제2위치(P2)에서 서로 동일한 기준방향을 향하게 되는데, 상기 구동부(2)에 의해 상기 제1위치(P1)에서 상기 제2위치(P2)로 이동되는 도중에 상기 기준방향에 대해 상이(相異)한 다른 방향을 향하도록 회전됨으로써 사행될 수 있다.
이를 방지하기 위해, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)에 있어서 상기 선회부(6)는 상기 구동부(5)가 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(2)를 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2)가 이동 중에 상기 기준방향에 대해 상이한 방향을 향하도록 회전되는 정도를 줄임으로써, 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄일 수 있다.
예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 지지핸드(2)가 상기 제1위치(P1)와 상기 제2위치(P2) 사이에서 상기 기준방향을 기준으로 우측으로 회전하여 사행될 경우, 상기 선회부(6)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 암베이스(2)를 반시계방향으로 회전시킴으로써 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄일 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2)가 상기 직선궤적(20)으로부터 벗어나서 사행하는 정도를 줄임으로써, 상기 지지핸드(2) 또는 상기 지지핸드(2)에 지지된 기판(100)이 상기 공정챔버, 카세트 등과 같은 기구물에 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2) 및 상기 기판(100)이 손상 내지 파손됨에 따라 공정 비용이 상승하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 종래 기술과 비교할 때 상기 기판(100)을 이용하여 전자부품을 제조하는데 드는 공정 비용을 줄임으로써, 상기 전자부품에 대한 제조 단가를 낮추는데 기여할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄임으로써, 상기 구동부(5)가 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)를 회전시키는 속도를 줄이지 않고도 상기 지지핸드(2)를 상기 직선궤적(20) 또는 상기 직선궤적(200)에 가까운 궤적을 따라 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 종래 기술과 비교할 때 상기 기판(100)을 이송하는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 전자부품에 대한 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 상기 지지핸드(2), 상기 암유닛(3), 상기 암베이스(4), 상기 구동부(5), 상기 선회부(6) 및 상기 승강부(7)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 지지핸드(2)는 상기 기판(100)을 지지하기 위한 것이다. 상기 지지핸드(2)는 상기 암유닛(3)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 지지핸드(2)는 상기 암유닛(3)에 핸드회전축(2a)을 중심으로 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 지지핸드(2)는 상기 기판(100)에 접촉되는 포크(21)를 포함한다. 상기 포크(21)는 상기 기판(100)의 밑면에 접촉됨으로써, 상기 기판(100)을 지지할 수 있다. 도 3에는 상기 지지핸드(2)가 4개의 포크(21)를 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 지지핸드(2)는 1개, 2개, 3개 또는 5개 이상의 포크(21)를 포함할 수도 있다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 암유닛(3)은 상기 지지핸드(2)를 이동시킨다. 상기 암유닛(3)은 상기 암베이스(4)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 구동부(5)가 상기 암유닛(3)이 접히거나 펼쳐지도록 회전시킴으로써, 상기 지지핸드(2)를 상기 제1위치(P1) 및 상기 제2위치(P2) 간에 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 구동부(5)는 상기 지지핸드(2)도 회전시킬 수 있다. 상기 암유닛(3)은 제1암기구(31), 및 제2암기구(32)를 포함할 수 있다.
상기 제1암기구(31)는 상기 암베이스(4)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(31)는 상기 암베이스(4)에 제1암회전축(31a)을 중심으로 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2암기구(32)는 상기 제1암기구(31)에 제2암회전축(32a)을 중심으로 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 구동부(5)는 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(32)가 서로 겹쳐지거나 펼쳐지도록 상기 제1암기구(31) 및 상기 제2암기구(31)를 서로 반대되는 방향으로 회전시킬 수 있다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 암베이스(4)는 상기 승강부(7)에 결합된다. 상기 암베이스(4)에는 상기 제1암기구(31)가 회전 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(4)는 상기 승강부(7)에 의해 승강될 수 있다. 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)는 상기 암베이스(4)가 상기 승강부(7)에 의해 승강됨에 따라 함께 승강될 수 있다. 이에 따라, 상기 승강부(7)는 상기 지지핸드(2)가 수직방향으로 위치하는 높이를 조절할 수 있다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 구동부(5, 도 2에 도시됨)는 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)를 회전시킴으로써, 상기 지지핸드(2)를 이동시킨다. 상기 구동부(5)는 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)를 각각 시계방향 및 반시계방향으로 회전시킨다. 이에 따라, 상기 구동부(5)는 상기 지지핸드(2)를 상기 제1위치(P1)에서 상기 제2위치(P2)로 이동시킬 수 있고, 상기 지지핸드(2)를 상기 제2위치(P2)에서 상기 제1위치(P1)로 이동시킬 수 있다. 상기 지지핸드(2)는 상기 제2위치(P2)에 위치되면, 상기 공정챔버 또는 상기 카세트 내부에 위치될 수 있다. 상기 지지핸드(2)는 상기 제1위치(P1)에 위치되면, 상기 공정챔버 또는 상기 카세트 외부에 위치될 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2)를 상기 제1위치(P1) 및 상기 제2위치(P2) 간에 이동시킴으로써, 상기 기판(100)을 상기 공정챔버 또는 상기 카세트에 반입하는 반입공정 및 상기 기판(100)을 상기 공정챔버 또는 상기 카세트로부터 반출하는 반출공정을 수행할 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 구동부(5)는 상기 암베이스(4) 내부에 설치되는 모터, 상기 제1암회전축(31a), 제2암회전축(32a) 및 핸드회전축(2a) 각각에 설치되는 감속기, 및 상기 감속기들과 상기 모터를 연결하는 벨트들을 포함할 수 있다.
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 선회부(6)는 상기 지지핸드(2)가 향하는 방향이 변경되도록 상기 암베이스(4)를 회전시킬 수 있다. 상기 선회부(6)는 상기 승강부(7)를 회전시킴으로써, 상기 암베이스(4)를 회전시킬 수 있다. 상기 선회부(6)는 주행부(8)에 선회축(6a)을 중심으로 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 선회부(6)가 상기 선회축(6a)을 중심으로 회전함에 따라, 상기 승강부(7) 및 상기 암베이스(4)가 상기 선회축(6a)을 중심으로 회전할 수 있다. 상기 주행부(8)는 상기 선회부(6)를 주행방향으로 이동시키기 위한 것이다.
상기 선회부(6)는 상기 지지핸드(2)가 향하는 방향이 변경되도록 상기 암베이스(4)를 회전시킬 수 있다. 예컨대, 상기 선회부(6)는 상기 지지핸드(2)가 상기 반입공정 및 상기 반출공정을 수행할 공정챔버 또는 카세트를 향하도록 상기 암베이스(4)를 회전시킬 수 있다.
상기 선회부(6)는 상기 구동부(5)가 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 수평방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 회전시킬 수 있다.
예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 지지핸드(2)가 이동 중에 상기 기준방향을 기준으로 우측으로 회전하여 사행될 경우, 상기 선회부(6)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 암베이스(4)를 반시계방향으로 회전시킴으로써 상기 지지핸드(2)가 상기 수평방향을 기준으로 사행되는 정도를 줄일 수 있다. 이 경우, 상기 선회부(6)는 상기 지지핸드(2)가 상기 기준방향을 기준으로 우측으로 사행되지 않는 각도까지 상기 암베이스(2)를 반시계방향으로 회전시킬 수도 있다.
예컨대, 상기 지지핸드(2)가 이동 중에 상기 기준방향을 기준으로 좌측으로 회전하여 사행될 경우, 상기 선회부(6)는 상기 암베이스(4)를 시계방향으로 회전시킴으로써 상기 지지핸드(2)가 수평방향을 기준으로 사행되는 정도를 줄일 수 있다. 이 경우, 상기 선회부(6)는 상기 지지핸드(2)가 상기 기준방향을 기준으로 좌측으로 사행되지 않는 각도까지 상기 암베이스(2)를 시계방향으로 회전시킬 수도 있다.
상기 선회부(6)는 상기 지지핸드(2)가 사행되기 시작하는 시점 또는 상기 지지핸드(2)가 사행되기 시작하는 시점에 대해 근접한 시점에, 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 회전시킬 수 있다.
상기 선회부(6)는 소정의 제어신호에 따라 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 회전시킬 수 있다. 상기 제어신호는 상기 지지핸드(2)가 상기 제1위치(P1) 및 상기 제2위치(P2) 간에 이동하는 도중에서 지나게 되는 위치좌표별로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향 및 상기 지지핸드(2)가 사행될 정도가 매칭되어 있는 룩업 테이블로부터 생성될 수 있다. 상기 룩업 테이블은 시뮬레이션, 작동시험 등을 통해 미리 생성되어 제어부(1a, 도 2에 도시됨)에 저장될 수 있다.
상기 제어부(1a)는 상기 룩업 테이블이 갖는 정보 및 상기 지지핸드(2)의 위치좌표에 따라 상기 제어신호를 생성할 수 있다. 상기 제어부(1a)는 상기 제1위치(P1) 및 상기 제2위치(P2)가 결정되면, 상기 제1위치(P1)의 위치좌표, 상기 제2위치(P2)의 위치좌표 및 상기 제1위치(P1)와 상기 제2위치(P2)가 서로 이격된 거리 등을 고려하여 상기 룩업 테이블로부터 상기 지지핸드(2)가 상기 제1위치(Pa) 및 상기 제2위치(P2) 간에 이동하는 도중에 상기 선회부(6)가 상기 암베이스(4)를 회전시켜야 하는 시점, 지점, 회전각도 등이 포함된 전체 제어신호를 미리 생성할 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제어부(1a)와 별개의 구성으로 구현될 수도 있고, 상기 제어부(1a)를 포함하도록 구현될 수도 있다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 승강부(7)는 상기 지지핸드(2)가 위치하는 높이가 변경되도록 상기 암베이스(4)를 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(7)는 상기 선회부(6)에 결합될 수 있다. 상기 암베이스(4)는 상기 승강부(7)에 상기 수직방향으로 승강 가능하게 결합될 수 있다. 상기 승강부(7)는 제1승강기구(71) 및 제2승강기구(72)를 포함할 수 있다.
상기 제1승강기구(71)는 상기 선회부(6)에 결합된다. 상기 제1승강기구(71)는 상기 선회부(6)가 상기 선회축(6a)을 중심으로 회전함에 따라 상기 선회축(6a)을 중심으로 함께 회전할 수 있다. 상기 제1승강기구(71)는 상기 제2승강기구(72)를 승강시킬 수 있다.
상기 제2승강기구(72)는 상기 제1승강기구(71)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(4)는 상기 제2승강기구(72)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제2승강기구(72)가 상기 제1승강기구(71)에 의해 승강되면, 상기 암베이스(4)는 상기 제2승강기구(72)가 승강됨에 따라 함께 승강된다. 상기 제2승강기구(72)는 상기 암베이스(4)를 승강시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암베이스(4)는 상기 제2승강기구(72)에 승강 가능하게 결합된다. 이에 따라, 상기 지지핸드(2)는 상기 제1승강기구(71)가 상기 제2승강기구(72)를 승강시키는 거리 및 상기 제2승강기구(72)가 상기 제1승강기구(71)를 승강시키는 거리에 따라 높이가 변경될 수 있다.
도 2, 도 3 및 도 6을 참고하면, 상기 승강부(7)는 상기 구동부(5)가 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 상기 수직방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 승강시킬 수 있다.
예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 지지핸드(2)가 이동 중에 하측 방향으로 사행될 경우, 상기 승강부(7)는 상기 암베이스(4)를 상승시킴으로써 상기 지지핸드(2)가 상기 수직방향으로 사행되는 정도를 줄일 수 있다. 이 경우, 상기 승강부(7)는 상기 지지핸드(2)가 상기 하측 방향으로 사행되지 않는 높이까지 상기 암베이스(2)를 상승시킬 수도 있다.
예컨대, 상기 지지핸드(2)가 이동 중에 상측 방향으로 사행될 경우, 상기 승강부(7)는 상기 암베이스(4)를 하강시킴으로써 상기 지지핸드(2)가 상기 수직방향으로 사행되는 정도를 줄일 수 있다. 이 경우, 상기 승강부(7)는 상기 지지핸드(2)가 상기 상측 방향으로 사행되지 않는 높이까지 상기 암베이스(2)를 하강시킬 수도 있다.
상기 승강부(7)는 상기 수직방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행되기 시작하는 시점 또는 상기 지지핸드(2)가 사행되기 시작하는 시점에 대해 근접한 시점에, 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 승강시킬 수 있다.
상기 승강부(7)는 소정의 제어신호에 따라 상기 수직방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 승강시킬 수 있다. 상기 제어신호는 상기 지지핸드(2)가 상기 제1위치(P1) 및 상기 제2위치(P2) 간에 이동하는 도중에서 지나게 되는 위치좌표별로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향 및 상기 지지핸드(2)가 사행될 정도가 매칭되어 있는 룩업 테이블로부터 생성될 수 있다. 상기 룩업 테이블은 시뮬레이션, 작동시험 등을 통해 미리 생성되어 상기 제어부(1a, 도 2에 도시됨)에 저장될 수 있다.
상기 제어부(1a)는 상기 룩업 테이블이 갖는 정보 및 상기 지지핸드(2)의 위치좌표에 따라 상기 제어신호를 생성할 수 있다. 상기 제어부(1a)는 상기 제1위치(P1) 및 상기 제2위치(P2)가 결정되면, 상기 제1위치(P1)의 위치좌표, 상기 제2위치(P2)의 위치좌표 및 상기 제1위치(P1)와 상기 제2위치(P2)가 서로 이격된 거리 등을 고려하여 상기 룩업 테이블로부터 상기 지지핸드(2)가 상기 제1위치(Pa) 및 상기 제2위치(P2) 간에 이동하는 도중에 상기 승강부(7)가 상기 암베이스(4)를 승강시켜야 하는 시점, 지점, 승강 거리 등이 포함된 전체 제어신호를 미리 생성할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 선회부(6)가 상기 수평방향을 기준으로 상기 암베이스(4)를 회전시킴으로써, 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 상기 수평방향을 기준으로 사행되는 정도를 줄일 수 있다. 또는, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(7)가 상기 수직방향을 기준으로 상기 암베이스(4)를 승강시킴으로써, 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 상기 수직방향을 기준으로 사행되는 정도를 줄일 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 사행되는 정도를 더 줄일 수 있고, 이에 따라 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 진동, 흔들림 등이 발생하는 정도를 더 줄임으로써 지지핸드(2)를 상기 직선궤적(20) 또는 상기 직선궤적(200)에 더 가까운 궤적을 따라 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2) 및 상기 기판(100)이 손상 내지 파손됨에 따라 공정 비용이 상승하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판(100)을 이송하기 위해 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 속도를 증대시킴으로써 상기 전자부품에 대한 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 상기 지지핸드(2)가 사행되는 것에 관계없이 상기 구동부(5)가 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)를 회전시키는 경우, 상기 지지핸드(2)는 도 7에서 실선으로 도시된 제1속도그래프(G1)와 같이 이동한다. 이에 따라, 상기 지지핸드(2)는 상기 제1위치(P1)에서 상기 제2위치(P2)로 이동할 때까지 제1작동시간(T1)이 걸리게 된다.
다음, 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄이기 위해 상기 구동부(5)가 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)를 회전시키는 속도를 줄이는 경우, 상기 지지핸드(2)는 도 7에서 점선으로 도시된 제2속도그래프(G2)와 같이 이동한다. 이에 따라, 상기 지지핸드(2)는 상기 제1위치(P1)에서 상기 제2위치(P2)로 이동할 때까지 상기 제1작동시간(T1)이 비해 긴 제2작동시간(T2)이 걸리게 된다.
다음, 상기 선회부(6) 및 상기 승강부(7) 중에서 적어도 하나가 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄이는 경우, 상기 구동부(5)는 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)를 회전시키는 속도를 증대시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 지지핸드(2)는 도 7에서 일점 쇄선으로 도시된 제3속도그래프(G3)와 같이 이동한다. 이에 따라, 상기 지지핸드(2)는 상기 제1위치(P1)에서 상기 제2위치(P2)로 이동할 때까지 상기 제1작동시간(T1) 및 상기 제2작동시간(T2)에 비해 짧은 제3작동시간(T3)이 걸리게 된다.
이로부터 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 사행되는 정도를 줄일 수 있음과 동시에 상기 기판(100)을 이송하기 위해 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 속도를 증대시킬 수 있으므로, 상기 지지핸드(2) 및 상기 기판(100)이 손상 내지 파손됨에 따라 공정 비용이 상승하는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 상기 전자부품에 대한 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 선회부(6)가 상기 암베이스(4)를 회전시키고 상기 승강부(7)가 상기 암베이스(4)를 승강시킴으로써, 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 상기 수평방향 및 상기 수직방향 모두를 기준으로 사행되는 정도를 줄일 수도 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 사행되는 정도를 더 줄일 수 있고, 이에 따라 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 진동, 흔들림 등이 발생하는 정도를 더 줄임으로써 지지핸드(2)를 상기 직선궤적(20) 또는 상기 직선궤적(200)에 더 가까운 궤적을 따라 이동시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판(100)을 이송하기 위해 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 속도를 더 증대시킬 수 있으므로, 상기 전자부품에 대한 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 구동부(5)가 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드(2)가 향하는 방향을 보정하는 보정부(9)를 더 포함할 수 있다.
상기 보정부(9)는 상기 구동부(5)가 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 상기 수직방향 및 상기 수평방향 중에서 적어도 하나의 방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 보정부(9)는 상기 구동부(5)가 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 상기 수직방향 및 상기 수평방향 중에서 적어도 하나의 방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄일 수 있다.
상기 보정부(9)가 상기 수평방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄이는 경우, 상기 보정부(9)는 상기 암베이스(4)를 제1회전축(4a, 도 9에 도시됨)을 중심으로 회전시킴으로써, 상기 수평방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 보정부(9)는 상기 제어부(1a)로부터 제공되는 제어신호에 따라 상기 암베이스(4)를 상기 제1회전축(4a)을 중심으로 회전시킬 수 있다.
상기 보정부(9)가 상기 수직방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄이는 경우, 상기 보정부(9)는 상기 암베이스(4)를 승강시킴으로써, 상기 수직방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 보정부(9)는 상기 제어부(1a)로부터 제공되는 제어신호에 따라 상기 암베이스(4)를 승강시킬 수 있다.
상기 보정부(9)는 상기 선회부(6) 및 상기 승강부(7)를 대신하여 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄이기 위해 상기 암베이스(4)를 이동시킬 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 선회부(6), 상기 승강부(7) 및 상기 보정부(9)가 서로 연동하여 동작함으로써, 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄일 수도 있다.
상기 보정부(9)는 상기 암베이스(4)를 제2회전축(4b, 도 9에 도시됨)을 중심으로 회전시킴으로써, 상기 수직방향을 기준으로 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스(4)를 이동시킬 수도 있다. 상기 제2회전축(4b)은 상기 제1회전축(4a)에 대해 수직한 방향을 향하는 회전축을 의미한다. 상기 보정부(9)는 상기 암베이스(4)를 상기 제2회전축(4b)을 중심으로 회전시킴으로써, 상기 지지핸드(2)가 이동하는 도중에 상기 수직방향으로 기울어지는 정도를 줄일 수 있다. 상기 보정부(9)는 상기 제어부(1a)로부터 제공되는 제어신호에 따라 상기 암베이스(4)를 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 회전시킬 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 보정부(9)는 상기 암베이스(4)를 이동시키기 위한 모터를 포함할 수 있다. 상기 보정부(9)는 상기 모터 및 상기 암베이스(4)를 연결하기 위한 연결수단을 더 포함할 수도 있다. 상기 보정부(9)가 상기 암베이스(4)를 회전시켜서 이동시키는 경우, 상기 연결수단은 풀리 및 벨트 또는 기어 및 체인일 수 있다. 상기 보정부(9)가 상기 암베이스(4)를 직선으로 이동시키는 경우, 상기 연결수단은 풀리 및 벨트, 기어 및 체인, 랙기어 및 피니온기어, 볼스크류 및 볼너트 중에서 어느 하나일 수 있다. 상기 보정부(9)는 상기 암유닛(3)을 이동시킴으로써, 상기 지지핸드(2)가 사행되는 정도를 줄일 수도 있다. 이 경우, 상기 보정부(9)는 상기 제1암기구(31) 및 상기 제2암기구(32) 중에서 적어도 하나를 이동시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 10을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송방법은 상술한 본 발명에 따른 기판 이송장치를 이용하여 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
우선, 상기 지지핸드(2)를 이동시킨다(S10). 이러한 공정(S10)은, 상기 구동부(5)가 상기 암유닛(3) 및 상기 지지핸드(2)를 회전시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 공정(S10)은, 상기 지지핸드(2)를 상기 제1위치(P1)에서 상기 제2위치(P2) 또는 상기 제2위치(P2)에서 상기 제1위치(P1)로 이동시킴으로써 이루어질 수 있다.
다음, 상기 지지핸드(2)의 이동을 보정한다(S20). 이러한 공정(S20)은, 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 공정(S10)이 수행되는 도중에 수행될 수 있다. 상기 지지핸드(2)의 이동을 보정하는 공정(S20)은, 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드(2)가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드(2)를 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 지지핸드(2)의 이동을 보정하는 공정(S20)은 상기 선회부(6), 상기 승강부(7) 및 상기 보정부(9) 중에서 적어도 하나에 의해 수행될 수 있다.
상기 지지핸드(2)의 이동을 보정하는 공정(S20)은, 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드(2)가 상기 수평방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드(2)를 회전시키는 공정을 포함할 수 있다. 이러한 공정은, 상기 선회부(6)가 상기 승강부(7)를 회전시켜서 상기 암베이스(4)를 회전시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 지지핸드(2)를 회전시키는 공정은, 상기 보정부(9)가 상기 암베이스(4) 또는 상기 암유닛(3)을 회전시킴으로써 이루어질 수도 있다. 상기 지지핸드(2)를 회전시키는 공정은, 상기 선회부(6) 및 상기 보정부(9)가 연동하여 동작함으로써 이루어질 수도 있다.
상기 지지핸드(2)의 이동을 보정하는 공정(S20)은, 상기 지지핸드(2)를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드(2)가 상기 수직방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드(2)를 승강시키는 공정을 포함할 수 있다. 이러한 공정은, 상기 승강부(7)가 상기 암베이스(4)를 승강시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 지지핸드(2)를 승강시키는 공정은, 상기 보정부(9)가 상기 암베이스(4) 또는 상기 암유닛(3)을 승강시킴으로써 이루어질 수도 있다. 상기 지지핸드(2)를 승강시키는 공정은, 상기 승강부(7) 및 상기 보정부(9)가 연동하여 동작함으로써 이루어질 수도 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 기판 이송장치 2 : 지지핸드
3 : 암유닛 4 : 암베이스
5 : 구동부 6 : 선회부
7 : 승강부 8 : 주행부
9 : 보정부 100 : 기판

Claims (8)

  1. 기판을 지지하기 위한 지지핸드;
    상기 지지핸드가 회전 가능하게 결합되는 암유닛;
    상기 암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스;
    상기 지지핸드를 이동시키기 위해 상기 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시키는 구동부; 및
    상기 지지핸드가 향하는 방향이 변경되도록 상기 암베이스를 회전시키는 선회부를 포함하고,
    상기 선회부는 상기 구동부가 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지핸드가 위치하는 높이가 변경되도록 상기 암베이스를 승강시키기 위한 승강부를 포함하고;
    상기 암베이스는 상기 승강부에 결합되고,
    상기 승강부는 상기 선회부에 결합되며,
    상기 선회부는 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 승강부를 회전시켜서 상기 암베이스를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지핸드가 위치하는 높이가 변경되도록 상기 암베이스를 승강시키기 위한 승강부를 포함하고,
    상기 선회부는 상기 지지핸드가 수평방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스를 회전시키며,
    상기 승강부는 상기 지지핸드가 수직방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스를 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  4. 기판을 지지하기 위한 지지핸드;
    상기 지지핸드가 회전 가능하게 결합되는 암유닛;
    상기 암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스;
    상기 지지핸드를 이동시키기 위해 상기 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시키는 구동부; 및
    상기 지지핸드의 높이가 변경되도록 상기 암베이스를 승강시키기 위한 승강부를 포함하고,
    상기 승강부는 상기 구동부가 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 수직방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스를 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 기판을 지지하기 위한 지지핸드;
    상기 지지핸드가 회전 가능하게 결합되는 암유닛;
    상기 암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스;
    상기 지지핸드를 이동시키기 위해 상기 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시키는 구동부;
    상기 지지핸드가 향하는 방향이 변경되도록 상기 암베이스를 회전시키기 위한 선회부; 및
    상기 구동부가 상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 수직방향 및 수평방향 중에서 적어도 하나의 방향을 기준으로 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 암베이스 또는 상기 암유닛을 이동시키는 보정부를 포함하는 기판 이송장치.
  6. 지지핸드가 결합된 암유닛 및 상기 지지핸드를 회전시켜서 상기 지지핸드를 이동시키는 단계; 및
    상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드를 이동시켜서 상기 지지핸드의 이동을 보정하는 단계를 포함하는 기판 이송방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 지지핸드의 이동을 보정하는 단계는,
    상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 수평방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드를 회전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 지지핸드의 이동을 보정하는 단계는,
    상기 지지핸드를 이동시키는 과정에서 상기 지지핸드가 수직방향을 기준으로 사행될 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지핸드를 승강시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
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