KR20180001948A - 기판 이송장치 - Google Patents

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KR20180001948A
KR20180001948A KR1020160081098A KR20160081098A KR20180001948A KR 20180001948 A KR20180001948 A KR 20180001948A KR 1020160081098 A KR1020160081098 A KR 1020160081098A KR 20160081098 A KR20160081098 A KR 20160081098A KR 20180001948 A KR20180001948 A KR 20180001948A
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lifting frame
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KR1020160081098A
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김경수
김상현
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현대로보틱스주식회사
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Abstract

본 발명은 제조공정이 이루어지는 작업장의 바닥면에 설치되는 선회부, 진공챔버의 내부에 위치하도록 설치되는 승강부, 상기 진공챔버의 내부에 위치하도록 상기 승강부에 결합되는 이송베이스, 및 상기 진공챔버의 내부에 위치하도록 상기 이송베이스에 결합되는 이송암을 포함하되, 상기 승강부가 상기 이송베이스를 하강시키는 경우 제1승강프레임과 제2승강프레임이 서로 중첩되도록 상기 제1승강프레임과 상기 제2승강프레임을 서로 반대되는 방향으로 회전시키는 제1승강구동부를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.

Description

기판 이송장치{Apparatus for Transferring Substrate}
본 발명은 전자부품을 제조하는 과정에서 기판을 이송하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 구성도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(10)는 작업장의 바닥면(BS)에 설치된 승강부(11), 상기 승강부(11)에 결합된 선회부(12), 상기 선회부(12)에 결합된 베이스(13), 상기 베이스(13)에 결합된 이송암(14), 및 상기 승강부(11)와 상기 선회부(12)를 수용하는 벨로우즈(15)를 포함한다.
상기 승강부(11)는 진공챔버(20)의 외부에 위치하도록 설치된다. 상기 승강부(11)는 볼스크류 및 볼너트를 이용하여 상기 선회부(12)를 승강시킴으로써, 상기 베이스(13) 및 상기 이송암(14)을 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(11)가 볼스크류 및 볼너트를 이용하여 승강기능을 구현하므로, 상기 진공챔버(20)는 상기 승강부(11)의 승강 스트로크(Stroke)가 확보되도록 상기 바닥면(BS)으로부터 상기 승강부(11)의 승강 스트로크에 대응되는 높이로 이격된 높이에 설치되어야 한다. 이에 따라, 상기 진공챔버(20)와 상기 바닥면(BS) 간의 이격거리가 증가하는 반면, 상기 진공챔버(20)와 작업장의 천장(CS) 간의 이격거리는 감소하게 된다.
상기 선회부(12)는 상기 진공챔버(20)의 외부에 위치하도록 설치된다. 상기 선회부(12)는 상기 승강부(11)와 상기 베이스(13) 사이에 위치하도록 상기 승강부(11)와 상기 베이스(13) 각각에 결합된다. 상기 선회부(12)는 상기 베이스(13)를 선회축을 중심으로 회전시킬 수 있다. 상기 선회부(12)는 상기 승강부(11)의 상측에 위치하도록 상기 승강부(11)에 결합된다.
상기 베이스(13)는 상기 진공챔버(20)의 내부에 위치하도록 설치된다. 상기 베이스(13)는 상기 선회부(12)와 상기 이송암(14)의 사이에 위치하도록 상기 선회부(12)와 상기 이송암(14) 각각에 결합된다. 상기 베이스(13)는 상기 선회부(12)의 상측에 위치하도록 상기 선회부(12)에 결합된다.
상기 이송암(14)은 상기 진공챔버(20)의 내부에 위치하도록 설치된다. 상기 이송암(14)은 기판(미도시)을 이송하는 것이다. 상기 이송암(14)은 상기 진공챔버(20)의 내부 및 상기 진공챔버(20)의 외부 간에 이동함으로써, 기판을 상기 진공챔버(20)의 내부 및 상기 진공챔버(20)의 외부 간에 이송할 수 있다. 상기 진공챔버(20)에는 개폐기구(미도시)가 설치된다. 상기 개폐기구는 상기 이송암(14)이 상기 진공챔버(20)의 내부 및 상기 진공챔버(20)의 외부 간에 이동하기 위한 통로(미도시)를 개폐한다. 상기 개폐기구는 상기 진공챔버(20)의 내부가 진공상태로 유지되도록 상기 통로를 폐쇄하고, 상기 이송암(14)이 상기 진공챔버(20)의 외부로 이동하는 동안에만 통로를 개방한다. 상기 이송암(14)은 상기 베이스(13)의 상측에 위치하도록 상기 베이스(13)에 결합된다.
상기 벨로우즈(15)는 내측에 상기 승강부(11)가 위치하도록 설치된다. 상기 승강부(11)는 상기 진공챔버(20)의 외부에서 상기 벨로우즈(15)의 내부에 위치하도록 설치된다. 이에 따라, 상기 승강부(11)는 상기 진공챔버(2)의 외부에 설치되더라도, 상기 벨로우즈(15)의 내부에서 진공상태로 유지되는 공간에 설치된다.
이러한 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(11)가 상기 진공챔버(20)의 외부에 설치되므로, 상기 진공챔버(20)의 내부를 진공상태로 유지시키기 위해 상기 벨로우즈(15)가 필수적으로 구비되어야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 벨로우즈(15)로 인해 제조단가가 상승할 뿐만 아니라, 상기 벨로우즈(15)에 대한 유지보수 비용으로 인해 운영비용이 상승하는 문제가 있다.
둘째, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(11)가 상기 진공챔버(20)의 외부에서 볼스크류와 볼너트를 통해 승강기능을 구현하므로, 상기 승강부(11)의 승강 스트로크로 인해 상기 진공챔버(20)와 상기 바닥면(BS) 간의 이격거리가 증가함과 동시에 상기 진공챔버(20)와 상기 천장(CS) 간의 이격거리가 감소하게 된다.
상기 진공챔버(20)와 상기 바닥면(BS) 간의 이격거리가 증가함에 따라, 상기 이송암(14)이 최저 높이에서 기판을 이송할 수 있는 패스라인(Pass line)이 높아지게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 공정챔버 등이 높이방향으로 기판을 저장할 수 있는 개수가 감소하여 처리량을 저하시키는 문제가 있다.
상기 진공챔버(20)와 상기 천장(CS) 간의 이격거리가 감소함에 따라, 상기 진공챔버(20)의 상부(上部)를 통해 상기 진공챔버(20)의 내부에 기구물 등을 설치하기 위한 공간의 크기가 감소하게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 진공챔버(20)의 내부에 기구물 등을 설치하는 작업에 어려움이 있는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 벨로우즈로 인한 제조단가 및 운영비용이 상승하는 것을 방지할 수 있는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 패스라인이 낮아짐에 따른 처리량 저하를 개선할 수 있을 뿐만 아니라, 진공챔버의 내부에 기구물 등을 설치하는 작업에 대한 어려움을 해소할 수 있는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 제조공정이 이루어지는 작업장의 바닥면에 설치되는 선회부; 상기 선회부에 의해 회전되고, 진공챔버의 내부에 위치하도록 설치되는 승강부; 상기 승강부에 의해 수직방향을 따라 승강되고, 상기 진공챔버의 내부에 위치하도록 상기 승강부에 결합되는 이송베이스; 및 기판을 이송하기 위해 상기 이송베이스에 이동 가능하게 결합되고, 상기 진공챔버의 내부에 위치하도록 상기 이송베이스에 결합되는 이송암을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서, 상기 승강부는 상기 선회부에 결합되는 승강베이스, 수평방향으로 배치된 제1회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 승강베이스에 결합되는 제1승강프레임, 상기 수평방향으로 배치된 제2회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제1승강프레임에 결합되는 제2승강프레임, 및 상기 이송베이스가 상기 수직방향을 따라 승강하도록 상기 제1승강프레임과 상기 제2승강프레임을 서로 반대되는 방향으로 회전시키는 제1승강구동부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서, 상기 제1승강구동부는 상기 이송베이스를 하강시키는 경우, 상기 제1승강프레임과 상기 제2승강프레임이 서로 중첩되도록 상기 제1승강프레임과 상기 제2승강프레임을 서로 반대되는 방향으로 회전시킬 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 승강부를 수용하기 위한 벨로우즈를 생략할 수 있도록 구현됨으로써, 제조단가를 낮출 수 있을 뿐만 아니라 유비보수 비용 절감을 통해 운용비용을 낮출 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 승강부의 승강 스크로크를 구현하기 위해 확보해야 하는 공간의 크기를 감소시킬 수 있도록 구현됨으로써, 진공챔버와 천장 간의 이격거리를 증대시킬 수 있으므로, 진공챔버의 상부를 통해 진공챔버의 내부에 기구물 등을 설치하는 작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 이송암이 최저 높이에서 기판을 이송할 수 있는 패스라인을 낮출 수 있도록 구현됨으로써, 제조공정이 수행된 기판에 대한 처리량을 증대시키는데 기여할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 구성도
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 구성도
도 3 내지 도 7은 본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서 승강부의 동작을 설명하기 위한 개략적인 측면도
도 8 및 도 9는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서 승강부의 동작을 설명하기 위한 개략적인 정면도
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 대한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 기판(미도시)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판(100)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(100)을 이송할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 제조공정이 이루어지는 작업장의 바닥면(BS) 및 천장(CS) 사이에 위치하도록 설치된다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 이송암(2), 이송베이스(3), 선회부(4), 및 승강부(6)를 포함한다.
도 2를 참고하면, 상기 이송암(2)은 상기 기판을 이송하기 위한 것이다. 상기 이송암(2)은 상기 이송베이스(3)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이송암(2)은 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동하면서 상기 기판을 이송할 수 있다. 상기 이송암(2)은 상기 기판을 공정챔버, 카세트 등의 내부로 이송하는 로딩공정, 및 상기 기판을 공정챔버, 카세트 등의 외부로 이송하는 언로딩공정을 수행하도록 이동할 수 있다. 상기 이송암(2)은 상기 이송베이스(3)의 상측에 위치하도록 상기 이송베이스(3)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(2)은 상기 기판을 지지하는 지지핸드(미도시), 및 상기 지지핸드를 이동시키기 위한 암유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 지지핸드는 진공패드를 이용하여 기판을 흡착할 수 있다. 상기 암유닛은 상기 지지핸드를 상기 제1축 방향(X축 방향)을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛은 2개의 암프레임을 포함하여서 2개의 암프레임을 서로 반대되는 방향으로 회전시킴으로써, 상기 지지핸드를 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛은 2개의 암프레임을 포함하여서 2개의 암프레임을 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 직선으로 이동시킴으로써, 상기 지지핸드를 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동시킬 수 있다.
상기 이송암(2)은 진공챔버(20)의 내부에 위치하도록 상기 이송베이스(3)에 결합될 수 있다. 상기 진공챔버(20)는 상기 바닥면(BS) 및 상기 천장(CS) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 진공챔버(20)는 내부를 진공상태로 유지하도록 구현된다. 이에 따라, 상기 이송암(2)이 이송하는 기판에 이물질, 분진 등이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 상기 진공챔버(20)에는 개폐기구(미도시)가 설치될 수 있다. 상기 개폐기구는 상기 이송암(2)이 상기 진공챔버(20)의 내부 및 상기 진공챔버(20)의 외부 간에 이동하기 위한 통로(미도시)를 개폐한다. 상기 개폐기구는 상기 진공챔버(20)의 내부가 진공상태로 유지되도록 상기 통로를 폐쇄하고, 상기 이송암(2)이 상기 진공챔버(20)의 외부로 이동하는 동안에만 통로를 개방한다.
도 2를 참고하면, 상기 이송베이스(3)는 상기 이송암(2)을 지지하는 것이다. 상기 이송베이스(3)는 상기 이송암(2)과 상기 승강부(5)의 사이에 위치하도록 상기 승강부(5)에 결합될 수 있다. 상기 승강부(5)가 상기 이송베이스(3)를 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강시키면, 상기 이송암(2)은 상기 이송베이스(3)가 승강함에 따라 함께 승강한다. 상기 수직방향(Z축 방향)은 상기 바닥면(BS)에 대해 수직한 축 방향이다. 이에 따라, 상기 이송암(2)은 상기 공정챔버, 카세트 등에 상기 기판이 상하로 적층되도록 상기 기판에 대해 로딩공정을 수행할 수 있다. 또한, 상기 이송암(2)은 상기 공정챔버, 카세트 등에 상하로 적층된 기판에 대해 언로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 이송베이스(3)는 상기 승강부(5)의 상측에 위치하도록 상기 승강부(5)에 결합될 수 있다. 상기 이송베이스(3)는 상기 진공챔버(20)의 내부에 위치하도록 상기 승강부(5)에 결합될 수 있다.
도 2를 참고하면, 상기 선회부(4)는 상기 이송암(2)을 선회시키기 위한 것이다. 상기 선회부(4)는 상기 승강부(5)를 선회축을 중심으로 회전시킴으로써, 상기 이송암(2)을 선회시킬 수 있다. 상기 선회축은 상기 수직방향(Z축 방향)에 대해 평행하게 배치될 수 있다. 상기 선회부(4)는 상기 바닥면(BS)에 설치될 수 있다. 상기 선회부(4)는 상기 진공챔버(20)의 외부에 위치하도록 상기 바닥면(BS)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 선회부(4)는 상기 진공챔버(20)의 하측에 위치하도록 상기 바닥면(BS)에 설치될 수 있다. 상기 선회부(4)는 상기 승강부(5)를 지지할 수 있다. 상기 선회부(4)는 상기 승강부(5)의 하측에 위치하도록 상기 바닥면(BS)에 설치될 수 있다.
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 승강부(5)는 상기 이송암(2)을 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강시키기 위한 것이다. 상기 승강부(5)는 상기 이송베이스(3)를 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강시킴으로써, 상기 이송암(2)을 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(5)는 상기 선회부(4)와 상기 이송베이스(3)의 사이에 위치하도록 상기 선회부(4)에 결합될 수 있다. 상기 승강부(5)는 상기 선회부(5)의 상측에 위치하도록 상기 선회부(4)에 결합될 수 있다. 상기 이송베이스(3)는 상기 승강부(5)의 상측에 위치하도록 상기 승강부(5)에 결합될 수 있다.
상기 승강부(5)는 상기 진공챔버(20)의 내부에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 벨로우즈(15, 도 1에 도시됨) 없이도 상기 승강부(5)가 위치한 공간이 진공상태로 유지되도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 벨로우즈(15, 도 1에 도시됨)를 생략할 수 있으므로, 종래 기술과 대비할 때 제조단가를 낮출 수 있을 뿐만 아니라 유비보수 비용 절감을 통해 운용비용을 낮출 수 있는 장점이 있다. 상기 승강부(5)는 샤프트 등과 같은 연결수단을 통해 상기 진공챔버(20)의 외부에 위치한 선회부(4)에 결합될 수 있다. 상기 선회부(4)는 상기 연결수단을 통해 상기 승강부(5)를 선회시킴으로써, 상기 이송암(2)을 선회시킬 수 있다. 상기 연결수단 및 상기 진공챔버(20)의 사이에는 씰링부재가 설치될 수 있다.
상기 승강부(5)는 승강베이스(51), 제1승강프레임(52), 제2승강프레임(53), 및 제1승강구동부(54)를 포함할 수 있다.
상기 승강베이스(51)는 상기 선회부(4)에 결합되는 것이다. 상기 선회부(4)는 상기 승강베이스(51)를 선회시킴으로써, 상기 이송암(2)을 선회시킬 수 있다. 상기 승강베이스(51)는 상기 선회부(4)의 상측에 위치하도록 상기 선회부(4)에 결합될 수 있다. 상기 승강베이스(51)는 상기 진공챔버(20)의 내부에 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 승강베이스(51)는 상기 연결수단을 통해 상기 진공챔버(20)의 외부에 설치된 선회부(4)에 결합될 수 있다.
상기 제1승강프레임(52)은 상기 승강베이스(51)에 결합된다. 상기 제1승강프레임(52)은 제1회전축(520)을 중심으로 회전 가능하도록 상기 승강베이스(51)에 결합될 수 있다. 상기 제1회전축(520)은 수평방향으로 배치될 수 있다. 상기 수평방향은 상기 수직방향(Z축 방향)에 대해 수직한 축 방향이다. 이에 따라, 상기 제1승강프레임(52)이 상기 제1회전축(520)을 중심으로 회전하면, 상기 제1승강프레임(52)은 상기 승강베이스(51)에 결합된 부분을 기준으로 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강할 수 있다. 예컨대, 상기 제1승강프레임(52)의 일측이 상기 승강베이스(51)에 결합되고, 타측이 상기 제2승강프레임(53)에 결합된 경우, 상기 제1승강프레임(52)의 일측이 상기 제1회전축(520)을 중심으로 회전함에 따라 상기 제1승강프레임(52)의 타측은 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강할 수 있다. 이 경우, 상기 제1승강프레임(52)의 일측은 상기 승강베이스(51)에 회전 가능하게 결합되고, 상기 제1승강프레임(52)의 타측은 상기 제2승강프레임(53)의 일측에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2승강프레임(53)은 상기 제1승강프레임(52)에 결합된다. 상기 제2승강프레임(53)은 제2회전축(530)을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제1승강프레임(52)에 결합될 수 있다. 상기 제2회전축(530)은 상기 수평방향으로 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강프레임(53)이 상기 제2회전축(530)을 중심으로 회전하면, 상기 제2승강프레임(53)은 상기 제1승강프레임(52)에 결합된 부분을 기준으로 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강할 수 있다. 예컨대, 상기 제2승강프레임(53)의 일측이 상기 제1승강프레임(52)에 결합되고, 타측이 상기 이송베이스(3)에 결합된 경우, 상기 제2승강프레임(53)의 일측이 상기 제2회전축(530)을 중심으로 회전함에 따라 상기 제2승강프레임(53)의 타측은 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강할 수 있다. 이 경우, 상기 제2승강프레임(53)의 일측은 상기 제1승강프레임(52)에 회전 가능하게 결합되고, 상기 제2승강프레임(53)의 타측은 상기 이송베이스(3)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2회전축(530) 및 상기 제1회전축(520)은 서로 평행한 방향을 향하도록 배치될 수 있다.
상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)을 회전시키기 위한 것이다. 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)을 서로 반대되는 방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1승강구동부(54)는 상기 이송베이스(3)를 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강시킬 수 있다.
예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1승강프레임(52)을 상기 제1회전축(520)을 중심으로 시계방향으로 회전시키고, 상기 제2승강프레임(53)을 상기 제2회전축(530)을 중심으로 반시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1승강구동부(54)는 상기 이송베이스(3)를 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 상승시킬 수 있다.
예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1승강프레임(52)을 상기 제1회전축(520)을 중심으로 반시계방향으로 회전시키고, 상기 제2승강프레임(53)을 상기 제2회전축(530)을 중심으로 시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1승강구동부(54)는 상기 이송베이스(3)를 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 하강시킬 수 있다.
상기 제1승강구동부(54)가 상기 이송베이스(3)를 하강시키는 경우, 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)이 서로 중첩되도록 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)을 서로 반대되는 방향으로 회전시킬 수 있다. 즉, 상기 이송베이스(3)가 하강함에 따라, 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(5)의 승강 스크로크를 구현하기 위해 상기 수직방향(Z축 방향)으로 확보해야 하는 공간의 크기를 감소시킬 수 있다. 상기 이송베이스(3)를 하강시키는 경우, 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)이 서로 중첩되게 배치되기 때문이다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(5)를 상기 진공챔버(20)의 내부에 설치함에 따라 상기 수직방향(Z축 방향)을 기준으로 하는 상기 진공챔버(20)의 크기 증대를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 수직방향(Z축 방향)을 기준으로 상기 작업장에서 차지하는 공간의 크기를 감소시킬 수 있도록 구현됨으로써, 상기 진공챔버(20)와 상기 천장(CS) 간의 이격거리를 증대시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 진공챔버(20)의 상부를 통해 상기 진공챔버(20)의 내부에 기구물 등을 설치하는 작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(5)가 상기 진공챔버(20)의 내부에 위치하므로, 상기 진공챔버(20) 및 상기 바닥면(BS) 간의 이격거리를 감소시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이송베이스(3)를 하강시키는 경우 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)이 서로 중첩되게 배치되므로, 상기 이송베이스(3)를 하강시켰을 때 상기 이송베이스(3) 및 상기 이송암(2)이 바닥면(BS)으로부터 이격된 거리를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이송암(2)이 최저 높이에서 기판을 이송할 수 있는 패스라인(Pass line)을 낮출 수 있으므로, 공정챔버, 카세트 등이 상기 수직방향(Z축 방향)으로 기판을 저장할 수 있는 개수를 증대시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제조공정이 수행된 기판에 대한 처리량을 증대시킬 수 있다.
상기 제1승강구동부(54)는 구동력을 발생시키는 제1구동원(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1구동원이 발생시킨 구동력을 이용하여 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)을 회전시킬 수 있다. 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1구동원이 발생시킨 구동력을 전달하기 위한 제1동력전달유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제1동력전달유닛은 상기 제1구동원 및 상기 제1회전축(520)을 연결하는 제1서브구동유닛, 및 상기 제1회전축(520) 및 상기 제2회전축(530)을 연결하는 제2서브구동유닛을 포함할 수 있다. 상기 제1서브구동유닛 및 상기 제2서브구동유닛은 각각 풀리, 체인, 벨트 등을 이용하여 구동력을 전달할 수 있다. 이 경우, 상기 제1승강구동부(54)는 하나의 제1구동원을 이용하여 상기 제1승강프레임(52) 및 상기 제2승강프레임(53)을 회전시킬 수 있다.
상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1구동원을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 제1구동원 중에서 어느 하나는 상기 제1승강프레임(52)을 상기 제1회전축(520)을 중심으로 회전시킬 수 있다. 상기 제1구동원 중에서 다른 하나는 상기 제2승강프레임(53)을 상기 제2회전축(530)을 중심으로 회전시킬 수 있다.
도 2, 도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 승강부(5)는 제3승강프레임(55), 제4승강프레임(56), 및 제2승강구동부(57)를 포함할 수 있다.
상기 제3승강프레임(55)은 상기 승강베이스(51)에 결합된다. 상기 제3승강프레임(55)은 제3회전축(550)을 중심으로 회전 가능하도록 상기 승강베이스(51)에 결합될 수 있다. 상기 제3회전축(550)은 상기 수평방향으로 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3승강프레임(55)이 상기 제3회전축(550)을 중심으로 회전하면, 상기 제3승강프레임(55)은 상기 승강베이스(51)에 결합된 부분을 기준으로 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강할 수 있다. 예컨대, 상기 제3승강프레임(55)의 일측이 상기 승강베이스(51)에 결합되고, 타측이 상기 제4승강프레임(56)에 결합된 경우, 상기 제3승강프레임(55)의 일측이 상기 제3회전축(550)을 중심으로 회전함에 따라 상기 제3승강프레임(55)의 타측은 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강할 수 있다. 이 경우, 상기 제3승강프레임(55)의 일측은 상기 승강베이스(51)에 회전 가능하게 결합되고, 상기 제3승강프레임(55)의 타측은 상기 제4승강프레임(56)의 일측에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제4승강프레임(56)은 상기 제3승강프레임(55)에 결합된다. 상기 제4승강프레임(56)은 제4회전축(560)을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제3승강프레임(55)에 결합될 수 있다. 상기 제4회전축(560)은 상기 수평방향으로 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제4승강프레임(56)이 상기 제4회전축(560)을 중심으로 회전하면, 상기 제4승강프레임(56)은 상기 제3승강프레임(55)에 결합된 부분을 기준으로 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강할 수 있다. 예컨대, 상기 제4승강프레임(56)의 일측이 상기 제3승강프레임(55)에 결합되고, 타측이 상기 이송베이스(3)에 결합된 경우, 상기 제4승강프레임(56)의 일측이 상기 제4회전축(560)을 중심으로 회전함에 따라 상기 제4승강프레임(56)의 타측은 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강할 수 있다. 이 경우, 상기 제4승강프레임(56)의 일측은 상기 제3승강프레임(55)에 회전 가능하게 결합되고, 상기 제4승강프레임(56)의 타측은 상기 이송베이스(3)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제4회전축(560) 및 상기 제3회전축(550)은 서로 평행한 방향을 향하도록 배치될 수 있다. 상기 제4회전축(560), 상기 제3회전축(550), 상기 제2회전축(530), 및 상기 제1회전축(520)은, 서로 평행한 방향을 향하도록 배치될 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)을 회전시키기 위한 것이다. 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)을 서로 반대되는 방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 이송베이스(3)를 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승강시킬 수 있다.
예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제3승강프레임(55)을 상기 제3회전축(550)을 중심으로 반시계방향으로 회전시키고, 상기 제4승강프레임(56)을 상기 제4회전축(560)을 중심으로 시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 이송베이스(3)를 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 상승시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제1승강프레임(52)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 대칭되는 방향으로 배치될 수 있다. 상기 제4승강프레임(56) 및 상기 제2승강프레임(53)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 대칭되는 방향으로 배치될 수 있다.
예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제3승강프레임(55)을 상기 제3회전축(550)을 중심으로 시계방향으로 회전시키고, 상기 제4승강프레임(56)을 상기 제4회전축(560)을 중심으로 반시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 이송베이스(3)를 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 하강시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제1승강프레임(52)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 대칭되는 방향으로 배치될 수 있다. 상기 제4승강프레임(56) 및 상기 제2승강프레임(53)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 대칭되는 방향으로 배치될 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)가 상기 이송베이스(3)를 하강시키는 경우, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)이 서로 중첩되도록 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)을 서로 반대되는 방향으로 회전시킬 수 있다. 즉, 상기 이송베이스(3)가 하강함에 따라, 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(5)의 승강 스크로크를 구현하기 위해 상기 수직방향(Z축 방향)으로 확보해야 하는 공간의 크기를 감소시킬 수 있다. 상기 이송베이스(3)를 하강시키는 경우, 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)이 서로 중첩되게 배치되기 때문이다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(5)를 상기 진공챔버(20)의 내부에 설치함에 따라 상기 수직방향(Z축 방향)을 기준으로 하는 상기 진공챔버(20)의 크기 증대를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 수직방향(Z축 방향)을 기준으로 상기 작업장에서 차지하는 공간의 크기를 감소시킬 수 있도록 구현됨으로써, 상기 진공챔버(20)와 상기 천장(CS) 간의 이격거리를 증대시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 진공챔버(20)의 상부를 통해 상기 진공챔버(20)의 내부에 기구물 등을 설치하는 작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(5)가 상기 진공챔버(20)의 내부에 위치하므로, 상기 진공챔버(20) 및 상기 바닥면(BS) 간의 이격거리를 감소시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이송베이스(3)를 하강시키는 경우 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)이 서로 중첩되게 배치되므로, 상기 이송베이스(3)를 하강시켰을 때 상기 이송베이스(3) 및 상기 이송암(2)이 바닥면(BS)으로부터 이격된 거리를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이송암(2)이 최저 높이에서 기판을 이송할 수 있는 패스라인을 낮출 수 있으므로, 공정챔버, 카세트 등이 상기 수직방향(Z축 방향)으로 기판을 저장할 수 있는 개수를 증대시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제조공정이 수행된 기판에 대한 처리량을 증대시킬 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 구동력을 발생시키는 제2구동원(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제2구동원이 발생시킨 구동력을 이용하여 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)을 회전시킬 수 있다. 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제2구동원이 발생시킨 구동력을 전달하기 위한 제2동력전달유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제2동력전달유닛은 상기 제2구동원 및 상기 제3회전축(550)을 연결하는 제3서브구동유닛, 및 상기 제3회전축(550) 및 상기 제4회전축(560)을 연결하는 제4서브구동유닛을 포함할 수 있다. 상기 제3서브구동유닛 및 상기 제4서브구동유닛은 각각 풀리, 체인, 벨트 등을 이용하여 구동력을 전달할 수 있다. 이 경우, 상기 제2승강구동부(57)는 하나의 제2구동원을 이용하여 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제4승강프레임(56)을 회전시킬 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 상기 제2구동원을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 제2구동원 중에서 어느 하나는 상기 제3승강프레임(55)을 상기 제3회전축(550)을 중심으로 회전시킬 수 있다. 상기 제2구동원 중에서 다른 하나는 상기 제4승강프레임(56)을 상기 제4회전축(560)을 중심으로 회전시킬 수 있다.
여기서, 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제1승강프레임(52)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 승강베이스(51)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제1승강프레임(52)은 상기 제3승강프레임(55)에 대해 전방(前方)에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 전방(前方)은 상기 이송암(2)이 상기 진공챔버(20)의 외부로 이동하는 방향이다.
상기 제4승강프레임(56) 및 상기 제2승강프레임(53)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 이송베이스(3)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제2승강프레임(53)은 상기 제4승강프레임(56)에 대해 전방(前方)에 위치하도록 배치될 수 있다.
상기 제2승강구동부(57) 및 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 상기 이송암(2)에 발생하는 처짐량에 따라 상기 이송베이스(3)가 상기 제1축방향(X축 방향)을 기울어지도록 상기 이송베이스(3)를 승강시킬 수 있다.
상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 상기 이송암(2)에 발생하는 처짐량은, 상기 이송암(2)이 상기 진공챔버(20)의 외부로 이동함에 따라 상기 이송암(2) 자체의 무게 및 상기 이송암(2)이 상기 기판을 지지한 경우 상기 기판의 무게로 인해 발생하는 것이다. 상기 이송암(2)에서 상기 진공챔버(20)의 외부로 돌출된 부분일수록 처짐량은 증가할 수 있다. 상기 이송암(2)에 발생하는 처짐량은, 상기 이송암(2)에 설치된 센서(미도시)로부터 획득될 수 있다. 상기 이송암(2)에 발생하는 처짐량은, 상기 이송암(2)이 상기 진공챔버(20)의 외부로 돌출된 거리, 상기 이송암(2) 자체의 무게, 상기 기판의 무게 등에 따라 미리 연산 또는 측정되어서 저장된 테이터로부터 획득될 수 있다. 데이터는 룩업테이블 형태로 저장부(미도시)에 저장될 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 상기 이송암(2)에 발생하는 처짐량에 따라 상기 제1승강프레임(52)의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제3승강프레임(55)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이송베이스(3) 및 상기 이송암(2)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 기울어질 수 있다.
예컨대, 상기 이송암(2)에서 상기 진공챔버(20)의 외부로 돌출된 부분이 하측으로 처지는 경우, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1승강프레임(52)의 회전각도에 비해 더 작은 회전각도로 상기 제3승강프레임(55)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1승강구동부(54)에 비해 상기 이송베이스(3)를 더 낮은 높이로 상승시킬 수 있다. 따라서, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 이송베이스(3)는 전단(前端)이 후단(後端)에 비해 더 높도록 기울어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이송암(2)에서 상기 진공챔버(20)의 외부로 돌출된 부분이 하측으로 처지는 처짐량을 보상함으로써, 상기 기판을 이송하는 공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 상기 이송암(2)에 발생하는 처짐량에 따라 상기 제2승강프레임(53)의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제4승강프레임(56)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이송베이스(3) 및 상기 이송암(2)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 기울어질 수 있다.
예컨대, 상기 이송암(2)에서 상기 진공챔버(20)의 외부로 돌출된 부분이 하측으로 처지는 경우, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제2승강프레임(53)의 회전각도에 비해 더 작은 회전각도로 상기 제4승강프레임(56)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1승강구동부(54)에 비해 상기 이송베이스(3)를 더 낮은 높이로 상승시킬 수 있다. 따라서, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 이송베이스(3)는 전단(前端)이 후단(後端)에 비해 더 높도록 기울어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이송암(2)에서 상기 진공챔버(20)의 외부로 돌출된 부분이 하측으로 처지는 처짐량을 보상함으로써, 상기 기판을 이송하는 공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 상기 이송암(2)에 발생하는 처짐량에 따라 상기 제1승강프레임(52)의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제3승강프레임(55)을 회전시킴과 동시에 상기 제2승강프레임(53)의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제4승강프레임(56)을 회전시킬 수도 있다.
도 2, 도 8 및 도 9를 참고하면, 상기 제3승강프레임(55) 및 상기 제1승강프레임(52)은 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 승강베이스(51)에 결합될 수 있다. 상기 제2축방향(Y축 방향)은 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 수직한 방향이다. 이 경우, 도 8을 기준으로 할 때, 상기 제1승강프레임(52)은 상기 제3승강프레임(55)에 대해 우방(右方)에 위치하도록 배치될 수 있다.
상기 제4승강프레임(56) 및 상기 제2승강프레임(53)은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 이송베이스(3)에 결합될 수 있다. 이 경우, 도 8을 기준으로 할 때, 상기 제2승강프레임(53)은 상기 제4승강프레임(56)에 대해 우방(右方)에 위치하도록 배치될 수 있다.
상기 제2승강구동부(57) 및 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 이송베이스(3)가 기울어지도록 상기 이송베이스(3)를 승강시킬 수 있다.
예컨대, 상기 기판이 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 어느 한 쪽으로 치우진 상태로 상기 이송암(2)에 지지된 경우, 상기 이송암(2)에는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 기울어짐이 발생할 수 있다. 상기 기판이 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 비대칭 형태로 형성된 경우에도, 상기 이송암(2)에는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 기울어짐이 발생할 수 있다. 이러한 기울어짐량은 상기 이송암(2)에 설치된 센서 및 기울어짐량에 대한 데이터가 저장된 저장부 중에서 적어도 하나로부터 획득될 수 있다. 상기 제2승강구동부(57) 및 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 이송암(2)에 발생하는 기울어짐량에 따라 상기 이송베이스(3)가 기울어지도록 상기 이송베이스(3)를 승강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57) 및 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 이송암(2)에 발생하는 기울어짐을 보상할 수 있다.
예컨대, 상기 공정챔버, 카세트 등에 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 기울어짐이 발생할 수 있다. 이러한 기울어짐량은 상기 공정챔버, 카세트 등에 설치된 센서(미도시) 및 상기 공정챔버, 카세트 등의 기울어짐량에 대한 데이터가 저장된 저장부 중에서 적어도 하나로부터 획득될 수 있다. 상기 제2승강구동부(57) 및 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 공정챔버, 카세트 등에 발생하는 기울어짐량에 따라 상기 이송베이스(3)가 기울어지도록 상기 이송베이스(3)를 승강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57) 및 상기 제1승강구동부(54)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 공정챔버, 카세트 등에 발생하는 기울어짐을 보상할 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 기울어짐량에 따라 상기 제1승강프레임(52)의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제3승강프레임(55)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이송베이스(3)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 기울어질 수 있다.
예컨대, 도 8을 기준으로 할 때 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 이송베이스(3)의 우단(右端)이 하측으로 더 낮은 위치에 위치하도록 상기 이송베이스(3)를 기울어야 하는 경우, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1승강프레임(52)의 회전각도에 비해 더 큰 회전각도로 상기 제3승강프레임(55)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1승강구동부(54)에 비해 상기 이송베이스(3)를 더 높은 높이로 상승시킬 수 있다. 따라서, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 이송베이스(3)는 좌단(左端)이 우단(右端)에 비해 더 높도록 기울어질 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 기울어짐량에 따라 상기 제2승강프레임(53)의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제4승강프레임(56)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이송베이스(3)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 기울어질 수 있다.
예컨대, 도 8을 기준으로 할 때 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 이송베이스(3)의 우단(右端)이 하측으로 더 낮은 위치에 위치하도록 상기 이송베이스(3)를 기울어야 하는 경우, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제2승강프레임(53)의 회전각도에 비해 더 큰 회전각도로 상기 제4승강프레임(56)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강구동부(57)는 상기 제1승강구동부(54)에 비해 상기 이송베이스(3)를 더 높은 높이로 상승시킬 수 있다. 따라서, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 이송베이스(3)는 좌단(左端)이 우단(右端)에 비해 더 높도록 기울어질 수 있다.
상기 제2승강구동부(57)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 기울어짐량에 따라 상기 제1승강프레임(52)의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제3승강프레임(55)을 회전시킴과 동시에 상기 제2승강프레임(53)의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제4승강프레임(56)을 회전시킬 수도 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 기판 이송장치 2 : 이송암
3 : 이송베이스 4 : 선회부
5 : 승강부 20 : 진공챔버

Claims (7)

  1. 제조공정이 이루어지는 작업장의 바닥면에 설치되는 선회부;
    상기 선회부에 의해 회전되고, 진공챔버의 내부에 위치하도록 설치되는 승강부;
    상기 승강부에 의해 수직방향을 따라 승강되고, 상기 진공챔버의 내부에 위치하도록 상기 승강부에 결합되는 이송베이스; 및
    기판을 이송하기 위해 상기 이송베이스에 이동 가능하게 결합되고, 상기 진공챔버의 내부에 위치하도록 상기 이송베이스에 결합되는 이송암을 포함하고,
    상기 승강부는 상기 선회부에 결합되는 승강베이스, 수평방향으로 배치된 제1회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 승강베이스에 결합되는 제1승강프레임, 상기 수평방향으로 배치된 제2회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제1승강프레임에 결합되는 제2승강프레임, 및 상기 이송베이스가 상기 수직방향을 따라 승강하도록 상기 제1승강프레임과 상기 제2승강프레임을 서로 반대되는 방향으로 회전시키는 제1승강구동부를 포함하며,
    상기 제1승강구동부는 상기 이송베이스를 하강시키는 경우, 상기 제1승강프레임과 상기 제2승강프레임이 서로 중첩되도록 상기 제1승강프레임과 상기 제2승강프레임을 서로 반대되는 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송암은 제1축방향을 따라 이동하면서 기판을 이송하고,
    상기 승강부는 수평방향으로 배치된 제3회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 승강베이스에 결합되는 제3승강프레임, 상기 수평방향으로 배치된 제4회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제3승강프레임에 결합되는 제4승강프레임, 및 상기 이송베이스가 상기 수직방향을 따라 승강하도록 상기 제3승강프레임과 상기 제4승강프레임을 서로 반대되는 방향으로 회전시키는 제2승강구동부를 포함하며,
    상기 제1승강프레임 및 상기 제3승강프레임은 상기 제1축방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 승강베이스에 결합되고,
    상기 제2승강프레임 및 상기 제4승강프레임은 상기 제1축방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 이송베이스에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2승강구동부는 상기 제1축방향을 기준으로 상기 이송암에 발생하는 처짐량에 따라 상기 이송베이스가 상기 제1축방향을 기준으로 기울어지도록 상기 제1승강프레임의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제3승강프레임을 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제2승강구동부는 상기 제1축방향을 기준으로 상기 이송암에 발생하는 처짐량에 따라 상기 이송베이스가 상기 제1축방향을 기준으로 기울어지도록 상기 제2승강프레임의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제4승강프레임을 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이송암은 제1축방향을 따라 이동하면서 기판을 이송하고,
    상기 승강부는 수평방향으로 배치된 제3회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 승강베이스에 결합되는 제3승강프레임, 상기 수평방향으로 배치된 제4회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제3승강프레임에 결합되는 제4승강프레임, 및 상기 이송베이스가 상기 수직방향을 따라 승강하도록 상기 제3승강프레임과 상기 제4승강프레임을 서로 반대되는 방향으로 회전시키는 제2승강구동부를 포함하며,
    상기 제1승강프레임 및 상기 제3승강프레임은 상기 제1축방향에 대해 수직한 제2축방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 승강베이스에 결합되고,
    상기 제2승강프레임 및 상기 제4승강프레임은 상기 제2축방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 이송베이스에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2승강구동부는 상기 제1승강프레임의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제3승강프레임을 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제2승강구동부는 상기 제2승강프레임의 회전각도와 상이한 회전각도로 상기 제4승강프레임을 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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