KR20140114931A - 기판보관 챔버용 카세트 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다수개의 기판이 적층되어 있는 카세트를 기판보관용 챔버에 반입 및 반출하기가 용이하여 기판의 공급이 용이하고, 카세트의 설치 높이가 달라도 호환이 가능한 카세트 이송장치에 관한 것으로, 기판이 적재되도록 다수의 슬롯이 구비되어 있는 카세트를 기판 스토커로 반입하거나 반출하기 위한 카세트 이송장치로서, 하단에 바퀴가 구비된 몸체와, 상기 몸체의 상단에 설치되어 상기 카세트의 설치 높이에 따라 승강되는 플레이트와, 상기 플레이트의 양측부에 설치되어 상기 카세트를 반입하거나 반출할 때 상기 카세트가 안착되어 이동되는 가이드 수단과, 상기 플레이트의 하부에 설치되어 상기 플레이트를 소정의 높이로 승강시키는 승강장치를 포함함으로써, 카세트의 설치높이가 달라도 카세트를 반입 및 반출할 수 있도록 높이조절이 가능하여, 카세트의 설치높이가 달라도 호환이 가능한 효과가 있다.

Description

기판보관 챔버용 카세트 이송장치{A Cassette Moving Vehicle for Substrates Storage Chamber}
본 발명은 기판보관 챔버용 카세트 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수개의 기판이 적층되어 있는 카세트를 기판보관용 챔버에 반입 및 반출하기가 용이하여 기판의 공급이 용이하고, 카세트의 설치 높이가 달라도 호환이 가능한 카세트 이송장치에 관한 것이다.
최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광을 받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 EL(Organic Electro Luminescence) 등이 대표적이다.
그 중에서도, 최근에는 저전압 구동, 자기발광, 경량 박형, 광시야각, 빠른 응답속도 등의 장점을 갖는 유기 EL(Organic Electro Luminescence)이 각광받고 있는 추세인데, 유기 EL을 제조하기 위해서는 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정을 포함한 여러 가지 공정이 수반된다.
각각의 공정진행을 위해 기판은 해당공정을 수행하는 공정장비로 운반 및 공급되며, 이 과정 중에 기판의 운반 및 보관에 드는 시간과 노력을 절감하고자 복수의 기판을 수납하는 카세트(cassette)가 사용된다.
이와 관련한 종래의 기술로서, 한국특허공개번호 제1996-0039106호에는, 복수장의 기판을 카세트의 각 슬롯에 각각 수납한 상태에서 이 카세트를 로더부에 반입하고, 로드록실 내의 반송기구에 의해 카세트에서 기판을 꺼내어 진공처리 챔버로 반입하는 것이 기재되어 있다.
이와 같은 종래의 기술에서는 카세트의 각 슬롯과 기판의 접촉부의 마찰계수가 큰 경우에 있어서도 카세트 내에 복수 기판의 일괄정렬을 용이하게 실행할 수 있는 장점이 있으나, 상기 반송기구가 2개의 포크형 암으로 이루어짐으로써, 카세트를 포크형 암에 안착시킨 상태로 이송할 때 카세트의 흔들림이 발생할 수 있으므로 카세트의 이송이 안정적이지 않은 단점이 있다.
또한, 상기 포크형 암과 카세트의 설치높이가 다른 경우에는 상기 카세트와 포크형 암의 높이차이로 인해 포크형 암을 이용하여 카세트를 반입 및 반출하기 어려운 단점이 있었다.
또한, 카세트의 이송 거리에 한계가 있어서, 원거리로의 카세트 이송은 불가능한 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 카세트의 설치높이가 달라도 카세트를 반입 및 반출할 수 있도록 높이조절이 가능하여, 카세트의 설치높이에 상관없이 사용이 가능한 기판보관 챔버용 카세트 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 공정이 진행되는 챔버가 원거리에 위치하는 경우에도 쉽게 이동이 가능하여, 카세트의 이송이 매우 편리한 기판보관 챔버용 카세트 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 종래의 포크형 암과 비교하여 기판의 공급이 매우 용이하고, 기판을 공급함에 있어서 안정성이 매우 높은 기판보관 챔버용 카세트 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 기판이 적재되도록 다수의 슬롯이 구비되어 있는 카세트를 기판 스토커로 반입하거나 반출하기 위한 카세트 이송장치로서, 하단에 바퀴가 구비된 몸체와, 상기 몸체의 상단에 설치되어 상기 카세트의 설치 높이에 따라 승강되는 플레이트와, 상기 플레이트의 양측부에 설치되어 상기 카세트를 반입하거나 반출할 때 상기 카세트가 안착되어 이동되는 가이드 수단과, 상기 플레이트의 하부에 설치되어 상기 플레이트를 소정의 높이로 승강시키는 승강장치를 포함하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치가 제공된다.
본 발명에서, 상기 승강장치는 상기 플레이트의 하부에 수평방향으로 설치되는 구동축과, 상기 구동축에 구동력을 발생시키는 구동력 발생수단과, 상기 구동축의 회전에 연동되어 회전하면서 상기 플레이트를 승강시키도록 수직방향으로 설치되는 지지축과, 상기 구동축의 회전을 지지축에 전달하는 회전력 전달수단을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 회전력 전달수단은 상기 구동축에 설치되는 웜기어와, 상기 웜기어에 맞물리어 회전하는 웜휠과, 상기 웜휠에 설치되어 상기 구동축의 회전력을 직선운동으로 변환시켜 상기 지지축을 승강시키는 볼스크류로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 구동력 발생수단은 상기 구동축의 일단에 설치되는 핸들로 이루어지어, 수동으로 상기 플레이트를 승강시킬 수 있다.
본 발명에서, 상기 플레이트의 승강 시 진동으로 인해 발생하는 흔들림을 방지하기 위하여 상기 플레이트의 하부에 고정되는 브라켓과, 상기 브라켓에 연결되고 상기 몸체에 수직으로 결합되는 LM 가이드가 더 포함될 수 있다.
이 경우, 상기 브라켓은 상기 플레이트의 하부에 설치되는 고정축에 연결되도록 설치될 수 있다.
한편, 상기 몸체는 육면체를 이루는 프레임을 구비하며, 4개의 수직프레임에 LM가이드가 설치될 수 있다.
이 경우, 하단의 프레임에는 상기 몸체를 고정시키는 고정장치가 구비될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 가이드 수단은 상기 플레이트의 양측 상면에 설치되는 가이드바와, 상기 가이드바의 내측에 일정간격으로 설치되어 상기 카세트를 받치는 수평이동 롤러와, 상기 가이드바의 상면에 일정간격으로 설치되어 상기 카세트의 측면과 맞닿는 가이드 롤러로 이루어질 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명에 의하면, 카세트의 설치높이가 달라도 카세트를 반입 및 반출할 수 있도록 높이조절이 가능하여, 카세트의 설치높이가 달라도 호환이 가능한 효과가 있다.
또한, 공정이 진행되는 챔버가 원거리에 위치하는 경우에도 카세트를 이송시킬 수 있으므로, 카세트의 이송이 매우 편리한 효과가 있다.
또한, 종래의 포크 리프트와 비교하여 기판보관 챔버로의 기판 공급이 용이하고, 기판을 공급함에 있어서 안정성이 매우 높은 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 기판보관 챔버와 카세트 이송장치를 전체적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 카세트 이송장치를 도시한 정면도이다.
도 3은 본 발명의 카세트 이송장치를 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 카세트 이송장치를 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 카세트 이송장치의 내부 구조를 보인 측면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 이때 도면에 도시되고 또 이것에 의해서 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나의 실시예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해서 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.
도 1은 본 발명의 기판보관 챔버와 카세트 이송장치를 전체적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 카세트 이송장치를 도시한 정면도이고, 도 3은 본 발명의 카세트 이송장치를 도시한 측면도이고, 도 4는 본 발명의 카세트 이송장치를 도시한 평면도이다.
이와 같은 본 발명은 기판이 적재되도록 다수의 슬롯이 구비되어 있는 카세트(200)를 기판 스토커(100)로 반입하거나 반출하기 위한 카세트 이송장치(300)로서, 본 발명의 카세트 이송장치(300)는 챔버가 원거리에 위치하는 경우에도 카세트(200)를 이송하여 기판 스토커(100)에 반입 또는 반출할 수 있도록 구성되며, 기판 스토커(100)로의 기판 공급이 용이하도록 하는 구성을 갖는다.
도 5는 본 발명의 카세트 이송장치의 내부 구조를 보인 측면도이다.
본 발명의 카세트 이송장치(300)는 하단에 바퀴(380)가 구비된 몸체(310)와, 상기 몸체(310)의 상단에 설치되어 상기 카세트(300)의 설치 높이에 따라 승강되는 플레이트(350)와, 상기 플레이트(350)의 양측부에 설치되어 상기 카세트(200)를 반입하거나 반출할 때 상기 카세트(200)가 안착되어 이동되는 가이드 수단(340)과, 상기 플레이트(350)의 하부에 설치되어 상기 플레이트(350)를 소정의 높이로 승강시키는 승강장치를 포함한다.
상기 몸체(310)는 육면체를 이루는 프레임을 구비한다. 즉, 프레임으로 직육면체의 형상을 형성한 후 각 면에 패널을 장착함으로써, 상기 몸체(310)를 구성할 수 있다.
상기 몸체(310)에는 손잡이(330)가 구비될 수 있다. 상기 손잡이(330)는 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 카세트(200)가 반입 및 반출되는 일면의 반대편에 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 몸체(310)의 하단에는 4개의 모서리에 바퀴(380)가 설치된다. 따라서, 상기 바퀴(380)에 의해 본 발명의 카세트 이송장치(300)를 사용자가 원하는 위치에 이송시킬 수 있으며, 원거리에 위치한 챔버에도 카세트(200)를 이송하기가 용이하다.
또한, 하단의 프레임에는 상기 몸체(310)를 고정시키는 고정장치(390)가 구비된다. 상기 고정장치(390)는 사용자가 발로 누를 수 있는 발판과, 상기 발판을 누르면 바닥면에 부착가능한 부착판을 포함한다. 이에 대한 구성은 통상의 것이 적용가능하므로, 이에 대해서는 상세한 설명은 생략하도록 한다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명은, 카세트 이송장치(300)를 이동시키다가 카세트(200)를 반입 또는 반출하기 위한 위치에 이르면, 상기 고정장치(390)의 발판을 밞아 원하는 위치에 몸체(310)를 고정시킨 후 카세트(200)를 챔버에 반입 또는 반출시킬 수 있다.
한편, 상기 승강장치는 상기 플레이트(350)의 하부에 수평방향으로 설치되는 구동축(322)과, 상기 구동축(322)에 구동력을 발생시키는 구동력 발생수단과, 상기 구동축(322)의 회전에 연동되어 회전하면서 상기 플레이트(350)를 승강시키도록 수직방향으로 설치되는 지지축(328)과, 상기 구동축(322)의 회전을 지지축(328)에 전달하는 회전력 전달수단을 포함한다.
본 발명의 일실시예에서, 상기 구동력 발생수단은 상기 구동축(322)의 일단에 설치되는 핸들(320)로 이루어지어, 사용자가 상기 핸들(320)을 회전시키면 상기 구동축(322)이 회전함으로써, 수동으로 상기 플레이트(350)를 승강시키는 구조를 갖는다.
그러나, 상기 구동력 발생수단으로 상기 구동축(322)을 자동으로 회전시킬 수 있는 구동모터를 적용하는 것도 가능하다.
상기 지지축은 상기 플레이트(350)의 하부에 설치되어 플레이트(350)를 지지하는 축으로, 상기 지지축의 회전에 의해 상기 플레이트(350)가 승강되는 구조를 갖는다.
본 발명에서, 상기 구동축(322)의 회전을 지지축에 전달하는 회전력 전달수단은 상기 구동축(322)에 설치되는 웜기어(324)와, 상기 웜기어(324)에 맞물리어 회전하는 웜휠(도시안함)과, 상기 웜휠에 설치되어 상기 구동축(322)의 회전력을 직선운동으로 변환시켜 상기 지지축(328)을 승강시키는 볼스크류(도시안함)로 이루어질 수 있다.
이와 같은 본 발명의 일실시예는 상기 구동축(322)이 회전하면, 구동축(322)에 설치되는 웜기어(324)가 회전하게 되고, 상기 웜기어(324)에 맞물리는 웜휠이 회전하면서 상기 웜휠에 설치되는 볼스크류가 회전하여 상기 지지축(328)을 승강시키게 된다.
한편, 본 발명에서는 상기 플레이트(350)의 승강 시 진동으로 인해 발생하는 흔들림을 방지하기 위하여 상기 플레이트(350)의 하부에 브라켓(370)이 고정되고, 상기 브라켓(370)에는 상기 몸체(310)의 수직프레임에 결합되는 LM 가이드(360)가 설치된다.
상기 브라켓(370)은 상기 플레이트(350)의 하부에 설치되는 고정축에 연결될 수 있으며, 상기 브라켓(370)에 연결된 상기 LM가이드(360)는 4개의 수직프레임에 각각 설치됨으로써, 상기 플레이트(350)의 승강 시 진동으로 인해 흔들림이 발생하더라도 상기 LM 가이드(360)가 진동을 잡아주어 흔들거리는 것을 방지하게 된다.
본 발명에서는 상기 카세트(200)를 안착시키는 가이드 수단이 구비되는데, 상기 가이드 수단은 상기 플레이트(350)의 양측 상면에 설치되는 가이드바(340)와, 상기 가이드바(340)에 설치되어 카세트(200)의 이동을 유도하는 롤러부(342)로 이루어진다.
여기서, 상기 롤러부(342)는 상기 가이드바(340)의 내측에 일정간격으로 설치되어 상기 카세트(200)를 받치는 수평이동 롤러(342a)와, 상기 가이드바(340)의 상면에 일정간격으로 설치되어 상기 카세트(200)의 측면과 맞닿는 가이드 롤러(342b)로 이루어질 수 있다.
상기 수평이동 롤러(342a)와 가이드 롤러(342b)는 서로 직각방향으로 설치됨으로써, 상기 카세트(200)의 하부 모서리가 수평이동 롤러(342a)와 가이드 롤러(342b)가 이루는 직각면에 닿아 안정적으로 이송될 수 있다
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 기판보관 챔버용 카세트 이송장치는 상기 승강장치를 이용하여 상기 플레이트(350)의 높이를 카세트(200)가 설치된 높이까지 맞추면 상기 가이드바(340)의 롤러(342)를 이용하여 카세트(200)가 이동될 수 있도록 한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명의 사상적 범주에 속한다.
100 : 기판 스토커 200 : 카세트
300 : 카세트 이송장치 310 : 몸체
320 : 핸들 322 : 구동축
324 : 웜기어 328 : 지지축
340 : 가이드바 342 : 롤러부
342a : 수평이동 롤러 342b : 가이드 롤러
350 : 플레이트 360 : LM 가이드
370 : 브라켓 380 : 바퀴

Claims (9)

  1. 기판이 적재되도록 다수의 슬롯이 구비되어 있는 카세트를 기판 스토커로 반입하거나 반출하기 위한 카세트 이송장치로서,
    하단에 바퀴가 구비된 몸체;
    상기 몸체의 상단에 설치되어 상기 카세트의 설치 높이에 따라 승강되는 플레이트;
    상기 플레이트의 양측부에 설치되어 상기 카세트를 반입하거나 반출할 때 상기 카세트가 안착되어 이동되는 가이드 수단; 및
    상기 플레이트의 하부에 설치되어 상기 플레이트를 소정의 높이로 승강시키는 승강장치;
    를 포함하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 승강장치는 상기 플레이트의 하부에 수평방향으로 설치되는 구동축;
    상기 구동축에 구동력을 발생시키는 구동력 발생수단;
    상기 구동축의 회전에 연동되어 회전하면서 상기 플레이트를 승강시키도록 수직방향으로 설치되는 지지축; 및
    상기 구동축의 회전을 지지축에 전달하는 회전력 전달수단;
    을 포함하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 회전력 전달수단은 상기 구동축에 설치되는 웜기어와,
    상기 웜기어에 맞물리어 회전하는 웜휠과,
    상기 웜휠에 설치되어 상기 구동축의 회전력을 직선운동으로 변환시켜 상기 지지축을 승강시키는 볼스크류로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 구동력 발생수단은 상기 구동축의 일단에 설치되는 핸들로 이루어지어, 수동으로 상기 플레이트를 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 플레이트의 승강 시 진동으로 인해 발생하는 흔들림을 방지하기 위하여 상기 플레이트의 하부에 고정되는 브라켓과,
    상기 브라켓에 연결되고 상기 몸체에 수직으로 결합되는 LM 가이드가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 브라켓은 상기 플레이트의 하부에 설치되는 고정축에 연결되는 것을 특징으로 하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 몸체는 육면체를 이루는 프레임을 구비하며,
    4개의 수직프레임에 LM가이드가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    하단의 프레임에는 상기 몸체를 고정시키는 고정장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 가이드 수단은 상기 플레이트의 양측 상면에 설치되는 가이드바;
    상기 가이드바의 내측에 일정간격으로 설치되어 상기 카세트를 받치는 수평이동 롤러;
    상기 가이드바의 상면에 일정간격으로 설치되어 상기 카세트의 측면과 맞닿는 가이드 롤러;
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판보관 챔버용 카세트 이송장치.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109050632A (zh) * 2018-09-30 2018-12-21 中国人民解放军陆军工程大学 多维度升降式筒弹装填车
CN109229191A (zh) * 2018-10-08 2019-01-18 渠衍飞 一种改进的建筑土方运输装置
CN112389528A (zh) * 2021-01-21 2021-02-23 烟台工程职业技术学院(烟台市技师学院) 一种多功能板材转运装置
WO2024034790A1 (ko) * 2022-08-10 2024-02-15 주식회사 한화 챔버 이송 장치 및 이를 포함하는 원자층 증착 장치
KR102645931B1 (ko) * 2023-02-15 2024-03-11 일신하이텍 주식회사 마스크 증착용 이송장치

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100710070B1 (ko) * 2004-12-10 2007-04-23 주식회사 아바코 평판디스플레이 제조라인의 카세트 이송장치
JP5287227B2 (ja) * 2008-12-25 2013-09-11 村田機械株式会社 搬送台車

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109050632A (zh) * 2018-09-30 2018-12-21 中国人民解放军陆军工程大学 多维度升降式筒弹装填车
CN109229191A (zh) * 2018-10-08 2019-01-18 渠衍飞 一种改进的建筑土方运输装置
CN109229191B (zh) * 2018-10-08 2020-01-17 湖北倬晟建设工程有限公司 一种改进的建筑土方运输装置
CN112389528A (zh) * 2021-01-21 2021-02-23 烟台工程职业技术学院(烟台市技师学院) 一种多功能板材转运装置
WO2024034790A1 (ko) * 2022-08-10 2024-02-15 주식회사 한화 챔버 이송 장치 및 이를 포함하는 원자층 증착 장치
KR102645931B1 (ko) * 2023-02-15 2024-03-11 일신하이텍 주식회사 마스크 증착용 이송장치

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