TW201441123A - 基板搬運裝置以及利用該基板搬運裝置的基板搬運方法 - Google Patents

Abstract

本發明涉及基板搬運裝置以及利用該基板搬運裝置的基板搬運方法，基板搬運裝置包括：一支撐部，用於支撐基板，一臂單元，支撐部可旋轉地結合於臂單元，一臂底座，臂單元可旋轉地結合於臂底座，以及一驅動部，旋轉臂單元以及支撐部以移動支撐部，其中，在驅動部移動支撐部的過程中，朝向支撐部的蛇行方向的反方向移動支撐部。

Description

基板搬運裝置以及利用該基板搬運裝置的基板搬運方法

本發明涉及在電子部件的製造過程中用於搬運基板的基板搬運裝置以及基板搬運方法。

顯示裝置、太陽能電池、半導體元件等(以下稱「電子部件」)透過各種工序製造。這種工序中使用用於製造電子部件的基板(substrate)。例如，此製造工序可以包括在基板上沉積導體、半導體、電介質等薄膜的沉積工序以及用沉積後的薄膜形成規定圖案的蝕刻工序等。這種製造工序是在進行相關工序的工藝腔室內完成的。基板搬運裝置用於在腔室之間搬運基板。

第1圖為習知技術的基板搬運裝置的俯視圖。

請參照第1圖，習知技術的基板搬運裝置10包括：一臂底座11；一第一臂機構12，與臂底座11結合；一第二臂機構13，與第一臂機構12結合；以及一支撑部14，與第二臂機構13結合。

臂底座11透過支撑第一臂機構12，從而支撑第二臂機構13、支撑部14以及透過支撑部14支撑的基板100。

第一臂機構12可旋轉地結合於臂底座11上。第一臂機構12以結合在臂底座11上的部位為旋轉軸12a旋轉。

第二臂機構13可旋轉地結合在第一臂機構12上。第二臂機構13以結合在第一臂機構12上的部位為旋轉軸13a旋轉。

支撑部14支撑基板100的底面。支撑部14可旋轉地結合在第二臂機構13上。支撑部14以結合在第二臂機構13上的部位為旋轉軸14a旋轉。

雖然圖未示，臂底座11上設置有用於移動第一臂機構12、第二臂機構13以及支撑部14的動力源(圖未示)。第一臂機構12、第二臂機構13以及支撑部14上分別設置有滑輪(圖未示)。動力源透過傳動帶(圖未示)與滑輪連接。由此，當動力源以旋轉軸12a為中心旋轉第一臂機構12時，透過這種聯動作用，第二臂機構13和支撑部14分別以旋轉軸13a、14a為中心旋轉。由此，習知技術的基板搬運裝置10以相互重叠或展開第一臂機構12以及第二臂機構13的方式移動第一臂機構12以及第二臂機構13，從而能够移動支撑部14，透過這種方式，進行在工藝腔室之間搬運基板100的工序。

其中，習知技術的基板搬運裝置10調節第一臂機構12、第二臂機構13以及支撑部14的旋轉方向以及旋轉程度，以便支撑部14能够沿著直線軌迹20移動。但是，由於分別發生在第一臂機構12、第二臂機構13以及支撑部14上的變形、第一臂機構12、第二臂機構13以及支撑部14各自旋轉的速度以及旋轉時產生的反作用力、傳動帶的剛性等各種原因，如第1圖中的點劃線所示，支撑部14無法沿著直線軌迹20移動，而是進行蛇行(Meandering)。

由此，習知技術的基板搬運裝置10存在如下問題。

第一，習知技術的基板搬運裝置10，由於支撑部14無法沿著直線軌迹20移動，而是蛇行，因此支撑部14有可能受到工藝腔室、儲存盒等器具的撞擊。因此，習知技術的基板搬運裝置10具有因支撑部14以及基板100而損壞或破損而導致工藝費用上升的問題。

第二，對於習知技術的基板搬運裝置10，曾提出如下方案：透過降低第一臂機構12、第二臂機構13以及支撑部14的旋轉速度，以降低支撑部14脫離直線軌迹20蛇行的程度。但是，根據這種方案，習知技術的基板搬運裝置10由於增加搬運基板100所需的時間，導致降低電子部件的生產率以及合格率。

本發明是為了解決上述問題而提出，其目的在於提供一種基板搬運裝置以及利用該基板搬運裝置的基板搬運方法，能够降低支撑部脫離直線軌迹蛇行的程度。

本發明的目的在於提供一種基板搬運裝置以及利用該基板搬運裝置的基板搬運方法，在電子部件製造過程中能够縮短搬運基板所需的時間。

為了解決如上問題，本發明可以包括如下結構。

本發明的基板搬運裝置可以包括：一支撑部，用於支撑一基板；一臂單元，支撑部可旋轉地結合於臂單元；一臂底座，臂單元可旋轉地結合於臂底座；一驅動部，旋轉臂單元以及支撑部以移動支撑部；以及一旋轉部，旋轉臂底座，以變更支撑部的朝向，其中，在驅動部移動支撑部的過程中，旋轉部朝向支撑部的蛇行方向的反方向旋轉臂底座。

本發明的基板搬運裝置可以包括：一支撑部，用於支撑一基板；一臂單元，支撑部可旋轉地結合於臂單元；一臂底座，臂單元可旋轉地結合於臂底座；一驅動部，旋轉臂單元以及支撑部以移動支撑部；以及一升降部，用於升降臂底座，以變更支撑部的高度，在驅動部移動支撑部的過程中，升降部可以朝向支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降臂底座。

本發明的基板搬運裝置可以包括：一支撑部，用於支撑一基板；一臂單元，支撑部可旋轉地結合於臂單元；一臂底座，臂單元可旋轉地結合於臂底座；一驅動部，旋轉臂單元以及支撑部以移動支撑部；一旋轉部，旋轉臂底座，以變更支撑部的朝向；以及一修正部，在驅動部移動支撑部的過程中，朝向支撑部的垂直方向或水平方向中的至少一個方向上的蛇行方向的反方向移動臂底座或臂單元。

本發明的基板搬運方法可包括：使得結合有支撑部的臂單元以及支撑部旋轉，移動支撑部的步驟；以及在移動支撑部的過程中，朝向支撑部的蛇行方向的反方向移動支撑部，以修正支撑部的移動的步驟。

本發明具有如下效果。

本發明透過降低支撑部脫離直線軌迹蛇行的程度，從而能够防止支撑部或由支撑部支撑的基板被破損而導致工藝費用上升的現象，由此能够降低製造電子部件所需的工藝費用以及電子部件的製造單價。

由於本發明能够降低支撑部移動過程中的蛇行的程度，並且能够提高搬運支撑部時的速度，因此縮短搬運基板所需的時間，從而能够提高電子部件的生產率以及合格率。

1‧‧‧基板搬運裝置

1a‧‧‧控制部

2‧‧‧支撑部

2a‧‧‧支撑部旋轉軸

3‧‧‧臂單元

4‧‧‧臂底座

4a‧‧‧第一旋轉軸

4b‧‧‧第二旋轉軸

5‧‧‧驅動部

6‧‧‧旋轉部

6a‧‧‧旋轉軸

7‧‧‧升降部

7a‧‧‧升降單元

8‧‧‧移動部

9‧‧‧修正部

10‧‧‧基板搬運裝置

11‧‧‧臂底座

12‧‧‧第一臂機構

12a‧‧‧旋轉軸

13‧‧‧第二臂機構

13a‧‧‧旋轉軸

14‧‧‧支撑部

14a‧‧‧旋轉軸

20‧‧‧直線軌迹

21‧‧‧叉子

31‧‧‧第一臂機構

31a‧‧‧第一臂旋轉軸

32‧‧‧第二臂機構

32a‧‧‧第二臂旋轉軸

51‧‧‧驅動單元

61‧‧‧旋轉單元

71‧‧‧第一升降機構

72‧‧‧第二升降機構

91‧‧‧修正單元

100‧‧‧基板

P1‧‧‧第一位置

P2‧‧‧第二位置

G1‧‧‧第一速度曲線

G2‧‧‧第二速度曲線

G3‧‧‧第三速度曲線

T1‧‧‧第一動作時間

T2‧‧‧第二動作時間

T3‧‧‧第三動作時間

第1圖係為習知技術的基板搬運裝置的概略俯視圖。

第2圖係為本發明的基板搬運裝置的概略框圖。

第3圖係為本發明的基板搬運裝置的概略立體圖。

第4圖及第5圖係為說明本發明的基板搬運裝置以水平方向為基準修正支撑部的蛇行動作的概略俯視圖。

第6圖係為說明本發明的基板搬運裝置以垂直方向為基準修正支撑部的蛇行動作的概略俯視圖。

第7圖係為表示本發明的基板搬運裝置的支撑部的移動速度和時間之間關係的圖表。

第8圖係為本發明的變形實施例的基板搬運裝置的概略框圖。

第9圖係為本發明的變形實施例的基板搬運裝置的概略立體圖。以及第10圖係為本發明的基板搬運方法的概略順序圖。

以下參照附圖詳細說明本發明的基板搬運裝置的實施例。

請參照第2圖至第5圖，本發明的基板搬運裝置1用於搬運基板100。基板100用於製造顯示裝置、太陽能電池、半導體元件等電子部件。例如，本發明的基板搬運裝置1能够在對基板100進行沉積裝置、蝕刻裝置等製造工序的腔室之間搬運基板100。

本發明的基板搬運裝置1包括：一支撑部2，用於支撑基板100；一臂單元3，供支撑部2可旋轉地結合；一臂底座4，供臂單元3可旋 轉地結合；一驅動部5，為了移動支撑部2而旋轉臂單元3以及支撑部2；一旋轉部6，旋轉臂底座4，以變更支撑部的朝向；以及一升降部7，升降臂底座4，以變更支撑部2所處的高度。

其中，支撑部2在通過驅動部5移動的過程中有可能無法沿著直線軌迹20移動。例如，如第4圖所示，支撑部2在第一位置P1和第二位置P2互相朝向相同的基準方向，而在通過驅動部5從第一位置P1向第二位置P2移動的過程中，相對於基準方向，支撑部2有可能朝向不同的方向旋轉，從而進行蛇行。

為了防止這種現象，本發明的基板搬運裝置1，在通過驅動部5移動支撑部2的過程中，旋轉部6可以使得臂底座4朝向支撑部2的蛇行方向的反方向旋轉。由此，本發明的基板搬運裝置1通過降低支撑部2在移動過程中相對於基準方向，朝向不同的方向旋轉的程度，從而降低支撑部2蛇行的程度。

例如，如第4圖所示，當支撑部2在第一位置P1和第二位置P2之間以基準方向作為基準向右旋轉蛇行時，如第5圖所示，旋轉部6透過逆時針方向旋轉臂底座4，從而能够降低支撑部2的蛇行程度。

由此，本發明的基板搬運裝置1能够具有如下作用。

第一，本發明的基板搬運裝置1透過降低支撑部2脫離直線軌迹20蛇行的程度，從而能够防止支撑部2或透過支撑部2支撑的基板100被工藝腔室、儲存盒等器具撞擊的現象。由此，本發明的基板搬運裝置1能够防止支撑部2以及基板100被損壞或破損導致工藝費用上升的現象。由此，相對於習知技術，由於本發明的基板搬運裝置1降低了利用基板100 來製造電子部件的工藝費用，從而能够降低電子部件的製造單價。

第二，由於本發明的基板搬運裝置1降低了支撑部2蛇行的程度，因此無需降低使得臂單元3以及支撑部2旋轉的驅動部5的速度，也能够使得支撑部2沿著直線軌迹20或接近直線軌迹20軌迹移動。由此，相對於習知技術，本發明的基板搬運裝置1透過縮短搬運基板100所需的時間，從而能够提高電子部件的生產率以及合格率。

以下參照附圖對支撑部2、臂單元3、臂底座4、驅動部5、旋轉部6以及升降部7進行詳細說明。

請參照第2圖及第3圖，支撑部2用於支撑基板100。支撑部2可旋轉地結合在臂單元3上。支撑部2可以支撑部旋轉軸2a為中心可旋轉地結合在臂單元3上。

支撑部2包括接觸基板100的叉子21。叉子21透過接觸基板100的底面，從而能够支撑基板100。雖然第3圖示出支撑部2包括四個叉子21的結構，但並非限定於此，支撑部2可以包括一個、兩個、三個、或五個以上的叉子21。

請參照第2圖及第3圖，臂單元3移動支撑部2。臂單元3可旋轉地結合在臂底座4上。驅動部5旋轉臂單元3以重叠或展開臂單元3，從而能够使得支撑部2在第一位置P1和第二位置P2之間移動。此時，驅動部5也能够旋轉支撑部2。臂單元3包括一第一臂機構31以及一第二臂機構32。

第一臂機構31可旋轉地結合在臂底座4上。第一臂機構31可以第一臂旋轉軸31a為中心可旋轉地結合在臂底座4上。

第二臂機構32可旋轉地結合在第一臂機構31上。第二臂機構32可以第二臂旋轉軸32a為中心可旋轉地結合在第一臂機構31上。驅動部5可以重叠或展開第一臂機構31及第二臂機構32的方式，從而能够使得第一臂機構31及第二臂機構32向相反方向旋轉。

請參照第2圖及第3圖，臂底座4結合在升降部7上。第一臂機構31可旋轉地結合在臂底座4上。臂底座4可透過升降部7升降。隨著臂底座4透過升降部7升降，臂單元3以及支撑部2也同時升降。由此，升降部7能够調節支撑部2在垂直方向上所處的高度。

請參照第2圖2及第3圖，驅動部5(第2圖中示出)透過旋轉臂單元3以及支撑部2，從而移動支撑部2。驅動部5使得臂單元3以及支撑部2分別向順時針方向和逆時針方向旋轉。由此，驅動部5能够從第一位置P1向第二位置P2移動支撑部2，並且能够從第二位置P2向第一位置P1移動支撑部2。當支撑部2位於第二位置P2時，可以位於工藝腔室或儲存盒的內部。當支撑部2位於第一位置P1時，可以位於工藝腔室或儲存盒的外部。本發明的基板搬運裝置1透過使得支撑部2在第一位置P1和第二位置P2移動，從而進行將基板100搬運至工藝腔室或儲存盒的搬入工序以及將基板100從工藝腔室或儲存盒搬出的搬出工序。

驅動部5可以包括設置在臂底座4內部的驅動單元51(第2圖中示出)。驅動單元51產生用於旋轉臂單元3以及支撑部2的驅動力，以使得支撑部2在第一位置P1和第二位置P2之間移動。驅動單元51可以包括用於產生驅動力的驅動電機(圖未示)。驅動單元51還可以包括：一减速器(圖未示)，分別設置在第一臂旋轉軸31a、第二臂旋轉軸32a以及支 撑部旋轉軸2a上；以及一傳動帶(圖未示)，用於連接减速器和驅動單元51。驅動電機透過傳動帶來驅動减速器，從而能够旋轉臂單元3以及支撑部2。

雖然圖未示，驅動部5還可以包括多個驅動單元51。此時，驅動部5可以包括用於旋轉第一臂機構31的第一驅動單元以及用於旋轉第二臂機構32的第二驅動單元。第二驅動單元透過减速器以及傳動帶，使第二臂機構32以及支撑部2同時旋轉。

請參照第2圖至第5圖，旋轉部6可以旋轉臂底座4，以變更支撑部2的朝向。旋轉部6透過旋轉升降部7，從而能够旋轉臂底座4。旋轉部6可以旋轉軸6a為中心可旋轉地結合在移動部8上。由於旋轉部6以旋轉軸6a為中心旋轉，從而能够使得升降部7以及臂底座4以旋轉軸6a為中心旋轉。移動部8用於向運行方向移動旋轉部6。

旋轉部6可以旋轉臂底座4，以變更支撑部2的朝向。例如，旋轉部6可以旋轉臂底座4，以使得支撑部2朝向將要進行搬入工序和搬出工序的工藝腔室或儲存盒。

在驅動部5移動支撑部2的過程中，旋轉部6能够朝向支撑部2的水平方向上的蛇行方向的反方向旋轉臂底座4。

例如，如第4圖所示，在移動支撑部2的過程中，以基準方向為基準向右旋轉蛇行時，如第5圖所示，旋轉部6向逆時針方向旋轉臂底座4，從而能够降低支撑部2的水平方向上的蛇行的程度。此時，旋轉部6也可以使臂底座4向逆時針方向旋轉至支撑部2不會在基準方向上向右蛇行的角度。

例如，支撑部2在移動過程中以基準方向為基準向左旋轉蛇行時，旋轉部6向順時針方向旋轉臂底座4，從而能够降低支撑部2的水平方向上的蛇行的程度。此時，旋轉部6也可以使得臂底座4向順時針方向旋轉至支撑部2不會在基準方向上向左蛇行的角度。

在支撑部2開始蛇行的時間點或接近支撑部2開始蛇行的時間點，旋轉部6可以朝向支撑部2的蛇行的反方向旋轉臂底座4。

旋轉部6可以根據規定的控制信號，朝向支撑部2的蛇行方向的反方向旋轉臂底座4。控制信號可以由查詢表(look-up table)生成，此查詢表中，按照支撑部2在第一位置P1和第二位置P2之間移動時經過的每個位置坐標，匹配有支撑部2的蛇行方向以及支撑部2的蛇行程度。查詢表可以透過模擬、動作實驗等預先生成，並保存在控制部1a(第2圖中示出)中。

控制部1a可以根據查詢表所具有的信息以及支撑部2的位置坐標生成控制信號。當確定第一位置P1以及第二位置P2時，控制部1a也可以根據第一位置P1的位置坐標、第二位置P2的位置坐標以及第一位置P1和第二位置P2相互隔開的間距等，透過查詢表預先生成包含支撑部2在第一位置P1、第二位置P2之間移動的過程中旋轉部6旋轉臂底座4的時間點、地點、旋轉角度等的所有控制信號。本發明的基板搬運裝置1可以獨立於控制部1a構成，或者也可以包括控制部1a。

旋轉部6可以包括旋轉單元61(第2圖中示出)。旋轉單位61產生用於旋轉臂底座4的驅動力。旋轉單元61可以產生用於旋轉臂底座4的驅動力，以變更支撑部2的朝向。在驅動部5移動支撑部2的過程中， 旋轉單元61產生驅動力使得臂底座4朝向支撑部2的水平方向上的蛇行方向的反方向旋轉。旋轉單元61可以包括用於產生驅動力的旋轉電機(圖未示)。旋轉單元61還可以進一步包括與旋轉電機連接的减速器、傳動帶等。

請參照第2圖及第3圖，升降部7可以升降臂底座4，以變更支撑部2所處的高度。升降部7可以結合在旋轉部6上。臂底座4在垂直方向上可升降地結合在升降部7上。

請參照第2圖、第3圖以及第6圖，在驅動部5移動支撑部2的過程中，升降部7能够朝向支撑部2的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降臂底座4。

例如，如第6圖所示，在移動過程中支撑部2向下蛇行時，升降部7透過上升臂底座4，能够降低支撑部2向垂直方向上蛇行的程度。此時，升降部7也可以使得臂底座4上升至支撑部2不會向下蛇行的高度。

例如，在移動過程中支撑部2向上蛇行時，升降部7下降臂底座4，從而能够降低支撑部2向垂直方向蛇行的程度。此時，升降部7也可以使得臂底座4下降至支撑部2不會向上蛇行的高度。

升降部7可以包括升降單元7a(第2圖中示出)。升降單元7a產生用於升降臂底座4的驅動力。升降單元7a可以產生用於升降臂底座4的驅動力，以變更支撑部2所處的高度。在驅動部5移動支撑部2的過程中，升降單元7a產生驅動力使得臂底座4朝向支撑部2的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降。升降單元7a也可以進一步包括與升降電機連接的齒條和小齒輪。升降單元7a也可以進一步包括與升降電機連接的滾珠螺杆以及球狀螺母。

請參照第2圖及第3圖，升降部7可以包括一第一升降機構71以及一第二升降機構72。

第一升降機構71結合在旋轉部6上。隨著旋轉部6以旋轉軸6a為中心旋轉，第一升降機構71可以旋轉軸6a為中心同時旋轉。第一升降機構71可以升降第二升降機構72。

第二升降機構72可升降地結合在第一升降機構71上。臂底座4結合在第二升降機構72上。由此，當第二升降機構72透過第一升降機構71升降時，臂底座4隨著第二升降機構72的升降而同時升降。第二升降機構72可以升降臂底座4。此時，臂底座4可升降地結合在第二升降機構72上。由此，根據第一升降機構71升降第二升降機構72的距離以及第二升降機構72升降第一升降機構71的距離，支撑部2的高度可能變更。

雖然圖未示，當升降部7可以包括第一升降機構71以及第二升降機構72時，升降部7可以包括：一第一升降單元，產生用於升降第二升降機構72的驅動力；一第二升降單元，產生用於升降臂底座4的驅動力。升降部7透過使得第一升降單元及第二升降單元單獨地動作，從而能够更加精確地調整支撑部2所處的高度。此外，升降部7透過使得第一升降單元以及第二升降單元單獨地動作，從而能够進一步降低支撑部2向垂直方向蛇行的程度。

在支撑部2開始在垂直方向上蛇行的時間點或接近支撑部2開始蛇行的時間點，升降部7可以朝向支撑部2的蛇行方向的反方向升降臂底座4。

升降部7可以根據規定的控制信號，朝向支撑部2的垂直 方向上的蛇行的反方向升降臂底座4。控制信號可以由查詢表(look-up table)生成，此查詢表中，按照支撑部2在第一位置P1和第二位置P2之間移動時經過的每個位置坐標，匹配有支撑部2的蛇行方向以及支撑部2的蛇行程度。查詢表可透過模擬、動作實驗等預先生成，並保存在控制部1a(第2圖中示出)中。

控制部1a可以根據查詢表所具有的信息以及支撑部2的位置坐標生成控制信號。當確定了第一位置P1以及第二位置P2時，控制部1a也可以根據第一位置P1的位置坐標、第二位置P2的位置坐標以及第一位置P1和第二位置P2相互隔開的間距等，透過查詢表預先生成包含支撑部2在第一位置P1和第二位置P2之間移動的過程中旋轉部6使得臂底座4旋轉的時間點、地點、旋轉角度等的所有控制信號。

如上所述，本發明的基板搬運裝置1，由於旋轉部6以水平方向為基準旋轉臂底座4，從而能够降低移動過程中支撑部2在水平方向上蛇行的程度。本發明的基板搬運裝置1，由於升降部7在垂直方向上旋轉臂底座4，從而能够降低移動過程中支撑部2在垂直方向上蛇行的程度。

由此，本發明的基板搬運裝置1能够進一步降低支撑部2在移動過程中的蛇行程度，由此進一步降低支撑部2在移動過程中的振動、晃動等程度，從而能够使得支撑部2沿著直線軌迹20或更加接近直線軌迹20的軌迹移動。

由此，本發明的基板搬運裝置1防止支撑部2或基板100被損壞或而破損導致工藝費用上升的現象。

此外，本發明的基板搬運裝置1透過提高用於搬運基板100 的支撑部2的移動速度，從而能够提高電子部件的生產率以及合格率。對此進行詳細的說明。

首先，與支撑部2的蛇行無關地，當驅動部5旋轉臂單元3以及支撑部2時，支撑部2以第7圖中用實線表示的第一速度曲線G1的速度移動。由此，支撑部2從第一位置P1向第二位置P2移動時需要第一動作時間T1。

其次，當為了降低支撑部2蛇行的程度，驅動部5降低臂單元3以及支撑部2的旋轉速度時，支撑部2以第7圖中用點線表示的第二速度曲線G2的速度移動。由此，支撑部2從第一位置P1向第二位置P2移動時需要第二動作時間T2，第二動作時間T1長於第一動作時間T1。

其次，當旋轉部6和升降部7中的至少一個降低支撑部2蛇行的程度時，驅動部5能够提高臂單元3以及支撑部2的旋轉速度。由此，支撑部2以第7圖中用點劃線表示的第三速度曲線G3的速度移動。因此，支撑部2從第一位置P1向第二位置P2移動時需要第三動作時間T3，第三動作時間T3短於第一動作時間T1以及第二動作時間T2。

由此，本發明的基板搬運裝置1能够降低支撑部2移動過程中的蛇行程度，同時能够提高為了搬運基板100而移動支撑部2的速度，從而能够防止支撑部2和基板100被損壞或破損導致工藝費用上升的現象，而且能够提高電子部件的生產率以及合格率。

本發明的基板搬運裝置1，由於旋轉部6旋轉臂底座4，升降部7升降臂底座4，從而能够降低支撑部2在移動過程中水平方向以及垂直方向上的蛇行程度。因此，本發明的基板搬運裝置1能够進一步降低支 撑部2移動過程中的蛇行程度，從而進一步降低支撑部2移動過程中的振動以及晃動等程度，由此，支撑部2能够沿著直線軌迹20或更接近直線軌迹20的軌迹移動。此外，由於本發明的基板搬運裝置1能够進一步提高搬運基板100時的支撑部2的移動速度，從而能够提高電子部件的生產率以及合格率。

請參照第8圖及第9圖，本發明的基板搬運裝置1還可以包括一修正部9，修正部9在驅動部5移動支撑部2過程中修正支撑部2的朝向。

在驅動部5移動支撑部2的過程中，修正部9能够朝向支撑部2的垂直方向和水平方向中的至少一個方向上的蛇行方向的反方向移動臂底座4。由此，在驅動部5移動支撑部2的過程中，修正部9能够降低垂直方向和水平方向中的至少一個方向上的支撑部2的蛇行程度。

當修正部9降低水平方向上的支撑部2的蛇行程度時，由於修正部9以第一旋轉軸4a(第9圖中示出)為中心旋轉臂底座4，從而能够朝向支撑部2的水平方向上的蛇行方向的反方向移動臂底座4。此時，修正部9可以根據由控制部1a提供的控制信號，以第一旋轉軸4a為中心旋轉臂底座4。修正部9可以包括一修正單元91(第8圖中示出)。修正單元91產生用於旋轉臂底座4的驅動力。在驅動部5移動支撑部2的過程中，修正單元91可以產生驅動力，此驅動力使得臂底座4朝向支撑部2在水平方向上的蛇行方向的反方向旋轉。修正單元91可以包括用於產生驅動力的一修正電機(圖未示)。修正單元91也可以進一步包括與修正電機連接的减速器、傳動帶等。當修正部9降低支撑部2在垂直方向上的蛇行程度時， 修正部9可以透過升降臂底座4，朝向支撑部2在垂直方向上的蛇行方向的反方向移動臂底座4。此時，修正單元91可以產生用於升降臂底座4的驅動力。修正單元91可以產生驅動力，從而在驅動部5移動支撑部2的過程中，朝向支撑部2的水平方向上的蛇行方向的反方向升降臂底座4。修正部9能够根據由控制部1a提供的控制信號來升降臂底座4。

為了降低支撑部2蛇行的程度，修正部9可以代替旋轉部6以及升降部7移動臂底座4。此時，修正部9可以包括：一第一修正單元，用於產生旋轉臂底座4的驅動力；一第二修正單元，用於產生升降臂底座4的驅動力。修正部9也可以進一步包括一連接單元，連接單元用於連接修正電機以及臂底座4。連接單元可以是滑輪、傳動帶、齒輪以及鏈條。當臂底座4以直線移動時，連接單元可以是滑輪、傳動帶、齒輪、鏈條、齒條、小齒輪、滾珠螺杆或球狀螺母中的任一種。修正部9透過移動臂單元3，從而能够降低支撑部2蛇行的程度。此時，修正部9可以移動第一臂機構31或第二臂機構32中的至少一個。本發明的基板搬運裝置1，由於旋轉部6、升降部7以及修正部9以相互聯動的方式動作，從而能够降低支撑部2蛇行的程度。

修正部9透過以第二旋轉軸4b(第9圖中示出)為中心旋轉臂底座4，可以朝向支撑部2的垂直方向上的蛇行方向的反方向移動臂底座4。第二旋轉軸4b係指，垂直於第一旋轉軸4a的旋轉軸。透過以第二旋轉軸4b為中心旋轉臂底座4，修正部9可以降低支撑部2在移動過程中朝向垂直方向傾斜的程度。修正部9根據由控制部1a提供的控制信號，可以第二旋轉軸4a為中心旋轉臂底座4。

以下參照附圖詳細說明本發明的基板搬運方法的優選實施例。

請參照第2圖至第10圖，本發明的基板搬運方法可以利用本發明的基板搬運裝置來進行。本發明的基板搬運方法可以包括如下結構。

首先，移動支撑部2(S10)。這種工序S10可以透過由驅動部5旋轉臂單元3以及支撑部2而實現。移動支撑部2的工序S10可以透過從第一位置P1向第二位置P2移動支撑部2或者從第二位置P2向第一位置P1移動支撑部而實現。

其次，修正支撑部2的移動(S20)。這種工序S20可以在進行移動支撑部2的工序S10的過程中進行。修正支撑部2的移動的工序S20可通過在移動支撑部2的過程中，透過朝向支撑部2的蛇行方向的反方向移動支撑部2而實現。修正支撑部2的移動的工序S20可以透過旋轉部6、升降部7以及修正部9中的任一種進行。

修正支撑部2的移動的工序S20可包括在移動支撑部2的過程中，朝向支撑部2的水平方向上的蛇行方向的反方向旋轉支撑部2的工序。這種工序可透過由旋轉部6旋轉升降部7，從而旋轉臂底座4而實現。旋轉支撑部2的工序，也可透過由修正部9旋轉臂底座4或臂單元3而實現。旋轉支撑部2的工序也可透過使得旋轉部6以及修正部9聯動動作而實現。

修正支撑部2的移動的工序S20可包括在移動支撑部2的過程中，朝向支撑部2的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降支撑部2的工序。這種工序可以透過由升降部7升降臂底座4而實現。升降支撑部2的工序，也可透過由修正部9升降臂底座4或臂單元3而實現。升降支撑 部2的工序也可透過使得升降部7以及修正部9聯動動作而實現。

以上說明的本發明並非限定於上述實施例以及附圖，在不脫離本發明的技術思想的範圍內，本發明可以進行各種替換、變形以及變更，這對於所屬領域的技術人員來說是容易想到的。

1‧‧‧基板搬運裝置

1a‧‧‧控制部

2‧‧‧支撑部

3‧‧‧臂單元

4‧‧‧臂底座

5‧‧‧驅動部

6‧‧‧旋轉部

7‧‧‧升降部

7a‧‧‧升降單元

31‧‧‧第一臂機構

32‧‧‧第二臂機構

51‧‧‧驅動單元

61‧‧‧旋轉單元

Claims (10)

1. 一種基板搬運裝置，包括：一支撑部，用於支撑一基板；一臂單元，該支撑部可旋轉地結合於該臂單元；一臂底座，該臂單元可旋轉地結合於該臂底座；一驅動部，旋轉該臂單元以及該支撑部以移動該支撑部；以及一旋轉部，旋轉該臂底座，以變更該支撑部的朝向，其中，在該驅動部移動該支撑部的過程中，該旋轉部朝向該支撑部的蛇行方向的反方向旋轉該臂底座。
2. 如請求項1所述之基板搬運裝置，其中，包括一升降部，該升降部用於升降該臂底座，以變更該支撑部所處的高度，該臂底座結合在該升降部上，該升降部結合在該旋轉部上，該旋轉部朝向該支撑部的蛇行方向的反方向旋轉該升降部，從而旋轉該臂底座。
3. 如請求項1所述之基板搬運裝置，其中，包括一升降部，該升降部用於升降該臂底座，以變更該支撑部所處的高度，該旋轉部朝向該支撑部的水平方向上的蛇行方向的反方向旋轉該臂底座， 該升降部朝向該支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降該臂底座。
4. 如請求項1所述之基板搬運裝置，其中，該驅動部包括一驅動單元，該驅動單元產生驅動力來旋轉該臂單元以及該支撑部，以便使得該支撑部在位於工藝腔室或儲存盒的外部的第一位置與位於該工藝腔室或該儲存盒的內部的第二位置之間移動，該旋轉部包括一旋轉單元，當由該驅動部在該第一位置和該第二位置之間移動該支撑部的過程中，該旋轉單元產生驅動力以朝向該支撑部的蛇行方向的反方向旋轉該臂底座。
5. 一種基板搬運裝置，包括：一支撑部，用於支撑一基板；一臂單元，該支撑部可旋轉地結合於該臂單元；一臂底座，該臂單元可旋轉地結合於該臂底座；一驅動部，旋轉該臂單元以及該支撑部以移動該支撑部；以及一升降部，用於升降該臂底座，以變更該支撑部的高度，在由該驅動部移動該支撑部的過程中，該升降部朝向該支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降該臂底座。
6. 如請求項5所述之基板搬運裝置，其中，該驅動部包括一驅動單元，該驅動單元產生驅動力來旋轉該臂單元以及該支撑部，以便使得該支撑部在位於工藝腔室或儲存盒的外部的第一位置與位於該工藝腔室或該儲存盒的內部的第二位置之間移動，該升降部包括一升降單元，當由該驅動部在該第一位置和該第二位置之間移動該支撑部的過程中，該升降單元產生驅動力以朝向該支撑部的該垂直方向上的蛇行方向的反方向升降該臂底座。
7. 一種基板搬運裝置，包括：一支撑部，用於支撑一基板；一臂單元，該支撑部可旋轉地結合於該臂單元；一臂底座，該臂單元可旋轉地結合於該臂底座；一驅動部，旋轉該臂單元以及該支撑部以移動該支撑部；一旋轉部，旋轉該臂底座，以變更該支撑部的朝向；以及一修正部，在由該驅動部移動該支撑部的過程中，該修正部朝向該支撑部的垂直方向或水平方向中的至少一個方向上的蛇行方向的反方向移動該臂底座或該臂單元。
8. 一種基板搬運方法，包括：使得結合有一支撑部的一臂單元以及該支撑部進行旋 轉，以移動該支撑部的步驟；以及在移動該支撑部的過程中，朝向該支撑部的蛇行方向的反方向移動該支撑部，以修正該支撑部的移動的步驟。
9. 如請求項8所述之基板搬運方法，其中，修正該支撑部的移動的步驟包括：在移動該支撑部的過程中，朝向該支撑部的水平方向上的蛇行方向的反方向旋轉該支撑部的步驟。
10. 如請求項8所述之基板搬運方法，其中，修正該支撑部的移動的步驟包括：在移動該支撑部的過程中，朝向該支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降該支撑部的步驟。