KR20050044913A

KR20050044913A - 티칭 방법 및 처리 시스템

Info

Publication number: KR20050044913A
Application number: KR1020057004084A
Authority: KR
Inventors: 모토히로 구마가이; 시게루 이시자와; 히로아키 사에키
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 2002-09-13
Filing date: 2003-09-12
Publication date: 2005-05-13
Also published as: JP2004106078A; CN1671519A; WO2004024401A1; JP3928527B2

Abstract

티칭 조작의 시간을 대폭 삭감하여, 단축화하는 것이 가능한 티칭 방법을 제공한다. 픽(A1 내지 B2)에 의해 피처리체(W)를 유지하여 반송하기 위한 반송기구를 갖춘 처리 시스템에 있어서의 반송기구(14, 22)의 이동 목적 위치를 제어 수단(40)에 기억시키는 티칭 방법에 있어서, 반송기구를 가상의 이동 목적 위치까지 이동하는 이동 경로의 도중에서 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소에서 다른 부재와의 간섭이 발생하지 않는 것을 확인시키기 위해서 일시 정지시키는 일시 정지 공정과, 일시 정지된 반송기구를 이동 지령의 입력에 의해 이동 재개시키는 이동 재개 공정과, 일시 정지 공정과 이동 재개 공정을 되풀이하여 실행하는 반복 공정과, 픽이 가상의 이동 목적 위치에 도달했을 때에 픽의 위치를 조정 이동하거나, 또는 조정 이동하지 않고 이동 목적 위치로서 제어 수단에 기억시키는 기억 공정을 구비한다.

Description

티칭 방법 및 처리 시스템{TEACHING METHOD AND PROCESSING SYSTEM}

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피처리체에 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 시스템 및 이것에 이용되는 반송기구의 티칭 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 집적 회로를 제조하기 위해서는 웨이퍼에 대하여 성막, 에칭, 산화, 확산 등의 각종의 처리가 실행된다. 그리고, 반도체 집적 회로의 미세화 및 고집적화에 의해서, 스루풋 및 양품률을 향상시키기 위해서, 동일 처리를 실행하는 복수의 처리 장치, 또는 다른 처리를 실행하는 복수의 처리 장치를, 공통의 반송실을 거쳐서 서로 결합하여, 웨이퍼를 대기에 노출시키지 않고 각종 공정의 연속 처리를 가능하게 한, 이른바 클러스터화된 처리 시스템 장치가 이미 알려져 있다.

이러한 종류의 처리 시스템에 있어서는, 예컨대 처리 시스템의 전단(前段)에 마련되어 있는 피처리체의 도입 포트에 설치한 카세트용기로부터 반송기구를 이용하여 반도체 웨이퍼를 꺼내어 이것을 처리 시스템의 도입측 반송실내로 집어 넣고, 그리고 이 웨이퍼를, 위치 정렬을 하는 오리엔터로 위치 정렬을 한 후에, 진공배기 가능하게 이루어진 로드록실내로 반입하고, 또한 이 웨이퍼를 복수의 진공으로 이루어진 처리실이 주위에 연결된 진공분위기의 공통반송실에 다른 반송기구를 이용하여 반입하고, 이 공통반송실을 중심으로 하여 상기 웨이퍼를 각 처리실에 대하여 순차적으로 도입하여 처리를 연속적으로 실행하도록 되어 있다. 그리고, 처리 완료된 웨이퍼는, 예컨대 본래의 경로를 통하여 본래의 카세트용기에 수용된다.

그런데, 상기한 바와 같이, 이러한 종류의 처리 시스템에서는 내부에 단수, 또는 복수의 반송기구를 갖고 있고, 웨이퍼의 수수 및 반송은 이들 반송기구에 의해 자동적으로 실행된다.

이 반송기구는, 예컨대 수평 이동, 굴신(屈伸), 선회 및 승강 자유롭게 이루어진 다관절 아암으로 이루어지고, 이 아암 선단에 마련된 픽으로 웨이퍼를 직접적으로 유지하여 반송위치까지 수평 이동하여 웨이퍼를 소정의 위치까지 반송하도록 되어 있다.

이 경우, 반송기구의 동작중에 이 아암, 및/또는 픽, 및/또는 유지하고 있는 웨이퍼가 다른 부재와 간섭 내지 충돌하는 것을 피해야 할 뿐만 아니라, 어떤 일정한 장소에 놓여져 있는 웨이퍼를 적정하게 유지하고, 또한 이 웨이퍼를 목적으로 하는 위치까지 반송하여, 적정한 장소에 높은 정밀도로, 예컨대 ±0.20mm 이내의 높은 위치 정밀도로 수수할 필요가 있다.

이 때문에, 장치의 조립시 및/또는 큰 장치 개조를 했을 때 등에는, 반송기구의 픽의 이동 경로에 있어서 웨이퍼(W)의 수수를 실행하는 장소 등의 중요한 위치를, 이 반송기구의 동작을 제어하는 컴퓨터 등의 제어부에 위치 좌표로서 기억시키는, 이른바 티칭이라는 조작이 실행되고 있다.

이 티칭은, 예컨대 반송기구와 카세트용기와의 위치관계, 웨이퍼를 잡기 위한 픽과 카세트용기의 각 탑재선반의 높이 방향의 위치관계, 로드록실의 탑재대와 픽과의 위치관계, 픽과 오리엔터와의 위치관계, 픽과 각 처리실내의 서셉터와의 위치관계 등, 웨이퍼의 수수를 실행하기 위한 거의 모든 경우에 대하여 실행되어, 그 위치 좌표가 기억된다. 또한, 모든 구동계에는, 그 구동위치를 특정하기 위한 인코더 등이 내장되어 있는 것은 물론이다.

구체적으로 티칭 조작을 하기 위해서는, 우선, 반송기구의 이동 경로의 어느 점을 절대기준으로 하여 장치 전체의 티칭해야 할 장소의 위치 좌표를 장치의 설계값으로부터 구하고, 이것을 가상의 위치 좌표로서 제어부에 미리 입력하여 기억시켜 놓는다. 이 경우, 픽이 다른 부재와 간섭하지 않도록 소정량의 마진을 계산에 넣고 각 가상의 위치 좌표를 입력한다.

다음에, 각각의 가상의 위치 좌표에 근거하여 반송기구를 구동하여 이 픽이 티칭 기준 위치의 근방까지 이동하여 왔으면, 반송기구의 동작을 수동(이하, 매뉴얼이라고도 칭함)으로 전환하여, 픽을 다른 부재와 간섭하지 않도록 육안으로 확인하면서 조금씩 매뉴얼로 움직인다. 그리고, 픽과 카세트용기내의 소정의 위치에 미리 설치한 상기 위치 정렬용 기판이 적정한 위치에서 접촉하도록 육안으로 확인하면서 조작하여, 그 좌표를 위치 좌표로서 제어부에 기억함으로써, 티칭을 실행하고 있었다.

또한, 로드록실, 및/또는 각 처리실의 탑재대, 및/또는 서셉터에 대하여 티칭 조작을 하는 경우에도, 이들의 중심에 대하여 상기 위치 정렬용 기판을 각각 설치하여, 대응하는 픽을 우선 간섭하지 않는 안전한 근방의 위치까지 자동적으로 이동시키고, 그 후에 이것을 매뉴얼로 움직여, 전술한 것과 마찬가지로 양자를 정확히 일치시켜 그 때의 위치 좌표를 제어부에 기억시킨다. 또한, 이 위치 정렬용 기판은 예컨대 투명판으로 이루어지고, 이것에는 위치 정렬해야 할 픽 및/또는 다른 탑재대 등의 윤곽 등이 미리 그려져 있다.

또한, 상기 수동조작(매뉴얼)이란, 구체적으로는 키보드 및/또는 조이스틱으로 이동 방향(+/-)과 이동량을 제어부에 입력하여 픽을 포함하는 아암 등을 동작시키는 것을 의미한다.

또한, 선행기술인 일본 특허 공개 공보 제 2000-127069 호에 있어서는, 오리엔터를 이용함으로써, 티칭 조작의 생력화(省力化) 및 고정밀도화를 도모하고 있지만, 티칭작업의 일부에서 상기 수동조작이 필요해진다라는 문제가 있다.

도 1은 본 발명의 티칭 방법을 실시하기 위한 처리 시스템의 일례를 도시하는 구성도이다.

도 2는 도 1에 도시하는 처리 시스템의 모식도이다.

도 3은 도입 포트를 도시하는 개략구성도이다.

도 4는 오리엔터를 도시하는 개략구성도이다.

도 5는 로드록실을 나타내는 개략구성도이다.

도 6은 조작 유닛을 나타내는 평면도이다.

도 7a는 본 발명 방법의 제 1 실시예인 도입 포트에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 1 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 7b는 본 발명 방법의 제 1 실시예인 도입 포트에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 2 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 7c는 본 발명 방법의 제 1 실시예인 도입 포트에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 3 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 7d는 본 발명 방법의 제 1 실시예인 도입 포트에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 가상의 이동 목적 위치를 도시하는 도면이다.

도 7e는 본 발명 방법의 제 1 실시예인 도입 포트에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 이동 목적 위치를 도시하는 도면이다.

도 8은 본 발명의 티칭 방법의 흐름을 나타내는 플로우차트이다.

도 9는 본 발명의 제 2 실시예인 오리엔터에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례를 도시하는 도면이다.

도 9a는 본 발명의 제 2 실시예인 오리엔터에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 1 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 9b는 본 발명의 제 2 실시예인 오리엔터에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 2 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 9c는 본 발명의 제 2 실시예인 오리엔터에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 가상의 이동 목적 위치를 도시하는 도면이다.

도 9d는 본 발명의 제 2 실시예인 오리엔터에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 이동 목적 위치를 도시하는 도면이다.

도 10a는 본 발명의 제 3 실시예인 로드록실에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 1 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 10b는 본 발명의 제 3 실시예인 로드록실에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 2 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 10c는 본 발명의 제 3 실시예인 로드록실에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 3 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 10d는 본 발명의 제 3 실시예인 로드록실에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 제 4 간섭 주의 개소를 도시하는 도면이다.

도 10e는 본 발명의 제 3 실시예인 로드록실에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례로서, 가상의 이동 목적 위치를 도시하는 도면이다.

그런데, 상술한 바와 같은 티칭 방법에서는, 반송기구 자체를 티칭해야 할 목적위치의 근방의 충분히 안전한 위치까지 자동적으로 이동시키도록 하고, 그 후에, 안전을 육안으로 확인하면서 매뉴얼 조작으로 픽을 근소한 거리씩 수평 방향 및 상하 방향 등으로 이동시켜 픽을 목적으로 하는 위치까지 움직이도록 하고 있다.

이 때문에, 최초에 픽을 목적위치의 근방의 충분히 안전한 위치까지 자동적으로 이동시켰다고는 해도, 그 후에 매뉴얼 조작으로 픽을 조금씩 이동시키는 구간이 꽤 길어지고, 이 때문에 티칭 조작에 장시간이 필요해져 버린다라고 하는 문제점이 존재했다. 특히, 이러한 티칭 조작은, 상술한 바와 같이 반도체 웨이퍼를 수수하는 거의 모든 위치에서 실행해야 하기 때문에, 티칭 조작의 시간이 전체적으로 매우 길어져버린다고 하는 문제가 있었다.

본 발명은, 이상과 같은 문제점에 착안하여, 이것을 유효하게 해결하도록 창안된 것이다. 본 발명의 목적은, 티칭 조작의 시간을 대폭 삭감하고, 단축화하는 것이 가능한 티칭 방법 및 처리 시스템을 제공하는 것에 있다.

본 발명자들은, 티칭 조작의 시간 단축화에 대해서 예의 연구한 결과, 반송기구를 목적위치의 근방으로 자동으로 이동한 후이더라도, 반송기구의 픽을 특정한 개소의 부분을 주의하여 조정 이동시키도록 하면, 목적위치에 도달할 때까지 자동으로 이동할 수 있는 부분이 어느 정도 존재한다 것을 지각함으로써 본 발명에 이른 것이다.

본 발명에 의한 티칭 방법은, 픽에 의해 피처리체를 유지하여 반송하기 위한 반송기구를 구비한 처리 시스템에 있어서의 상기 반송기구의 이동 목적 위치를 제어 수단에 기억시키는 티칭 방법에 있어서, 상기 반송기구를 가상의 이동 목적 위치까지 이동하는 이동 경로의 도중에서 상기 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소에서 다른 부재와의 간섭이 발생하지 않는 것을 확인시키기 위해서 일시 정지시키는 일시 정지 공정과, 일시 정지된 상기 반송기구를 이동 지령의 입력에 의해 이동 재개시키는 이동 재개 공정과, 상기 일시 정지 공정과 이동 재개 공정을 되풀이하여 실행하는 반복 공정과, 상기 픽이 상기 가상의 이동 목적 위치에 도달했을 때에 상기 픽의 위치를 조정 이동하거나, 또는 조정 이동하지 않고 이동 목적 위치로서 상기 제어 수단에 기억시키는 기억 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같이, 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 장소(개소)만 반송기구를 일시 정지시키고 필요하면 위치 조정하여, 반송기구가 다른 부재와 간섭하지 않는 것 같은 장소에서는 반송기구를 자동으로 적극적으로 이동시키도록 했기 때문에, 전체적으로 티칭 조작에 요하는 시간을 대폭 삭감하는 것이 가능해진다.

이 경우, 상기 일시 정지한 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있을 때에는 상기 반송기구를 다른 부재와 간섭할 우려가 없는 위치까지 조정 이동시킬 수 있다.

또한, 상기 간섭 주의 개소는, 상기 처리 시스템의 설계 치수에 근거하여 상기 제어 수단이 미리 산출하여 구하도록 할 수 있다.

또한, 상기 제어 수단은 상기 반송기구가 일시 정지할 때마다 표시부에 오퍼레이터에 대하여 간섭 주의를 환기시키기 위한 메세지를 표시시킬 수 있다.

이와 같이, 표시부에서 간섭 주의를 환기시키기 위한 메세지를 표시시키도록 했기 때문에, 오퍼레이터가 이 메세지를 인식함으로써, 반송기구에 관해서 다른 부재와의 간섭을 보다 확실히 방지하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 반송기구는 굴신 및 선회 가능하게 이루어진 다관절 아암을 갖고 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 이동 목적 위치는 상기 피처리체를 상기 처리 시스템내로 집어넣는 도입 포트내의 소정의 위치인 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 처리 시스템은, 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하는 처리실과, 피처리체를 도입하기 위한 도입 포트와, 피처리체의 위치 결정을 하는 오리엔터와, 피처리체를 유지하는 픽을 갖고 피처리체를 반송하는 반송기구와, 상기 반송기구의 동작을 제어하는 제어 수단을 갖는 처리 시스템에 있어서, 상기 제어 수단은 상기 반송기구를 가상의 이동 목적 위치까지 이동하는 이동 경로의 도중에서 상기 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소에서 다른 부재와의 간섭이 발생하지 않는 것을 확인시키기 위해서 일시 정지시키는 일시 정지 공정과, 일시 정지된 상기 반송기구를 이동 지령의 입력에 의해 이동 재개시키는 이동 재개 공정과, 상기 일시 정지 공정과 이동 재개 공정을 되풀이하여 실행하는 반복 공정과, 상기 픽이 상기 가상의 이동 목적 위치에 도달했을 때에 상기 픽의 위치를 조정 이동하거나, 또는 조정 이동하지 않고 이동 목적 위치로서 상기 제어 수단에 기억시키는 기억 공정을 실행시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이 경우, 상기 제어 수단은 상기 처리 시스템의 설계 치수에 근거하여 상기 간섭 주의 개소를 미리 산출하여 구하도록 할 수 있다.

또한, 상기 제어 수단은 표시부에 접속되어 있고, 상기 제어 수단은 상기 반송기구가 일시 정지할 때마다, 표시부에 오퍼레이터에 대하여 간섭 주의를 환기시키기 위한 메세지를 표시시킬 수 있다.

이하에, 본 발명에 관한 티칭 방법 및 처리 시스템의 하나의 실시예를 첨부 도면에 근거하여 상술한다.

도 1은 본 발명의 티칭 방법을 실시하기 위한 처리 시스템의 일례를 도시하는 구성도, 도 2는 도 1에 도시하는 처리 시스템의 모식도, 도 3은 도입 포트를 도시하는 개략구성도, 도 4는 오리엔터를 도시하는 개략구성도, 도 5는 로드록실을 도시하는 개략구성도, 도 6은 조작 유닛을 도시하는 평면도이다.

우선, 상기 처리 시스템에 대하여 설명한다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 이 처리 시스템(2)은 복수, 예컨대 4개의 처리실(4A, 4B, 4C, 4D)과, 대략 육각형상의 공통반송실(6)과, 로드록 기능을 갖는 제 1 및 제 2 로드록실(8A, 8B)과, 가늘고 긴 도입측 반송실(10)을 주로 갖고 있다.

구체적으로는, 대략 육각형상의 상기 공통반송실(6)의 4변에 상기 각 처리실(4A 내지 4D)이 접합되고, 타측의 2개의 변에 상기 제 1 및 제 2 로드록실(8A, 8B)이 각각 접합된다. 그리고, 이 제 1 및 제 2 로드록실(8A, 8B)에 상기 도입측 반송실(10)이 공통으로 접속된다.

상기 공통반송실(6)과 상기 4개의 각 처리 장치(4A 내지 4D)와의 사이 및 상기 공통반송실(6)과 상기 제 1 및 제 2 로드록실(8A, 8B)과의 사이는, 각각 기밀하게 개폐 가능하게 이루어진 게이트 밸브(G)가 개재하여 접합되어 클러스터툴화되어 있고, 필요에 따라서 공통반송실(6)내와 연통 가능하게 이루어져 있다. 또한, 상기 제 1 및 제 2 각 로드록실(8A, 8B)과 상기 도입측 반송실(10)과의 사이에도, 각각 기밀하게 개폐 가능하게 이루어진 게이트 밸브(G)가 개재되어 있다.

상기 4개의 처리실(4A 내지 4D)내에는 각각 피처리체로서의 반도체 웨이퍼를 탑재하는 서셉터(12A 내지 12D)가 마련되어 있고, 피처리체인 반도체 웨이퍼(W)에 대하여 동종의, 또는 이종의 처리를 실시하도록 되어 있다. 그리고, 이 공통반송실(6)내에서는, 상기 2개의 각 로드록실(8A, 8B) 및 4개의 각 처리실(4A 내지 4D)에 액세스할 수 있는 위치에, 굴신, 승강 및 선회 가능하게 이루어진 다관절 아암으로 이루어지는 제 2 반송기구(14)가 마련되어 있고, 이것은 서로 반대 방향으로 독립하여 굴신할 수 있는 2개의 픽(B1, B2)을 갖고 있어, 한번에 2장의 웨이퍼를 취급할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상기 제 2 반송기구(14)로서 하나만의 픽을 갖고 있는 것도 이용할 수 있다.

상기 도입측 반송실(10)은 가로로 긴 상자체에 의해 형성되어 있고, 이 가로로 긴 일측에는 피처리체인 반도체 웨이퍼를 도입하기 위한 하나 내지 복수의, 도시예에서는 3개의 반입구(16)가 마련되고, 각 반입구(16)에는 개폐 가능하게 이루어진 개폐도어(21)가 마련된다. 그리고, 이 각 반입구(16)에 대응시켜, 도입 포트(18A, 18B, 18C)가 각각 마련되고, 여기에 각각 하나씩 카세트용기(20)를 탑재할 수 있게 되어 있다. 각 카세트용기(20)에는 복수매, 예컨대 25장의 웨이퍼(W)를 등피치로 다단으로 탑재하여 수용할 수 있게 되어 있다. 이 카세트용기(20)에도 개폐 뚜껑(20A)(도 3 참조)이 장착되어 있다. 도 3에는 상기 3개의 도입 포트(18A 내지 18C) 중 중앙의 도입 포트(18B)가 도시되어 있고, 각 도입 포트(18A 내지 18C)에는 카세트용기(20)의 개폐 뚜껑(20A)을 개폐하기 위해서 승강 및 진퇴 가능하게 이루어진 개폐도어(21)의 구동 장치(21A)가 설치되어 있다.

이 도입측 반송실(10)내에는, 웨이퍼(W)를 그 길이 방향을 따라 반송하기 위한 도입측 반송기구인 제 1 반송기구(22)가 마련된다. 이 제 1 반송기구(22)는 도입측 반송실(10)내의 중심부를 길이 방향을 따라서 연장하도록 마련한 안내 레일(24)상에 슬라이드 이동 가능하게 지지되어 있다. 이 안내 레일(24)에는, 이동기구로서 예컨대 인코더를 갖는 리니어모터가 내장되어 있고, 이 리니어모터를 구동함으로써 상기 제 1 반송기구(22)는 안내 레일(24)을 따라 이동하게 된다.

또한, 상기 제 1 반송기구(22)는, 상하 2단으로 배치된 2개의 다관절 아암(32, 34)을 갖고 있다. 이 각 다관절 아암(32, 34)의 선단에는 각각 2 가랑이형상으로 이루어진 픽(A1, A2)을 장착하고 있고, 이 픽(A1, A2)상에 각각 웨이퍼(W)를 직접적으로 유지하도록 되어 있다. 따라서, 각 다관절 아암(32, 34)은 이 중심으로부터 반경 방향으로 굴신 및 승강 자유롭게 이루어져 있고, 또한, 각 다관절 아암(32, 34)의 굴신 동작은 개별적으로 제어 가능하게 이루어져 있다. 상기 다관절 아암(32, 34)의 각 회전축은, 각각 기대(base)(36)에 대하여 동축형상으로 회전 가능하게 연결되어 있고, 예컨대 기대(36)에 대한 선회 방향으로 일체적으로 회전할 수 있게 되어 있다. 또한, 여기서 상기 픽(A1, A2)은 2개가 아니라, 하나만 마련되는 경우도 있다.

또한, 도입측 반송실(10)의 다른쪽 단부에는 웨이퍼의 위치 정렬을 실행하는 오리엔터(26)가 마련되고, 또한 도입측 반송실(10)의 길이 방향의 도중에는 상기 2개의 로드록실(8A, 8B)이 각각 개폐 가능하게 이루어진 상기 게이트 밸브(G)를 거쳐서 마련된다.

상기 오리엔터(26)는 도 4에도 도시하는 바와 같이 구동모터(27)에 의해서 회전되는 회전대(28)를 갖고 있고, 이 위에 웨이퍼(W)를 탑재한 상태로 회전하도록 되어 있다. 이 회전대(28)의 외주에는 웨이퍼(W)의 주연부를 검출하기 위한 광학센서(30)가 마련되고, 이에 따라 웨이퍼(W)의 위치 결정 절결부, 예컨대 노치 및/또는 오리엔테이션 플랫의 위치 방향 및/또는 웨이퍼(W)의 중심의 위치 어긋남량을 검출할 수 있도록 되어 있다.

또한, 상기 제 1 및 제 2 로드록실(8A, 8B)내에는, 웨이퍼(W)를 일시적으로 탑재하기 위해서 웨이퍼 직경보다도 작은 직경의 탑재대(38A, 38B)가 각각 설치되어 있다(도 5 참조). 그리고, 이 처리 시스템(2)의 동작 전체의 제어, 예컨대 각 반송기구(14, 22) 및/또는 오리엔터(26) 등의 동작 제어는, 예컨대 마이크로 컴퓨터 등으로 이루어지는 제어부(40)에 의해 실행된다. 이 제어부(40)에는, 오퍼레이터에 소정의 메세지 등을 사용할 수 있게 하기 위한 액정 표시 유닛 등으로 이루어지는 표시부(42) 및/또는 소정의 입력을 하는 텐 키(ten key) 등의 키 군(44)이 마련된 조작 유닛(41)이 접속된다. 또한, 표시부(42)에 터치 패널 방식을 이용하여, 키 군(44)의 기능을 표시부(42)에 겸용시키도록 해도 좋다. 티칭 조작은, 티칭을 실행하는 경우에 이 조작 유닛(41)을 가지고 가서 픽 등을 주시하면서 실행된다.

다음에, 이상과 같이 형성된 처리 시스템에서 실시되는 티칭 방법에 대하여 설명한다.

우선, 상술한 바와 같이 처리 시스템(2)을 만드는 것만으로는, 반도체 웨이퍼(W)의 수수나 및/또는 탑재 이송을 위해서 각 반송기구(14, 22)의 이동 목적 위치는 정해져 있지 않아, 이 이동 목적 위치를 좌표로서 그 제어계에 기억시킬 필요가 있고, 이 조작을 티칭이라고 칭한다. 이 경우, 처리 시스템(2)의 조립 오차나 각 반송기구(14, 22)의 초기 설정에 있어서의 오차 등에 기인하여 처리 시스템(2)의 각 부의 설계치수로부터 계산에 의해서 정해지는 가상의 이동 목적 위치는 실제로 조립 후의 처리 시스템(2)에 있어서의 이동 목적 위치와는 어느 정도의 거리만큼 위치 어긋나는 것이 일반적이다.

따라서, 티칭 조작을 위해서 처리 시스템의 설계 치수로부터 계산에 의해서 구한 다른 이동 목적 위치까지 픽을 포함하는 반송기구를 자동적으로 이동시키면, 그 이동 경로에서 다른 부재와 간섭하여 충돌할 우려가 있다. 그 때문에, 종래의 티칭 조작에서는, 계산에 의해서 구한 가상의 이동 목적 위치보다도 꽤 바로 앞의 위치까지, 즉 반송기구가 다른 부재와 절대로 간섭할 우려가 없는 것 같은 위치이며, 또한 가상의 이동 목적 위치에 가장 가까운 위치까지 자동으로 반송 기구를 이동시키고, 그 후에는 전술한 바와 같이 육안으로 다른 부재와 간섭이 발생하지 않는 것을 확인하면서, 매뉴얼 조작으로 근소한 거리씩 반송기구를 이동시켜, 최종적으로 픽을 소정의 적정한 장소에 위치시키고, 그 때의 좌표를 이동 목적 위치로서 기억시키고 있었다. 그러나, 이 종래의 티칭 방법에서는, 육안으로 확인하면서 매뉴얼 조작으로 반송기구를 이동시키는 시간이 매우 길어져, 티칭 조작에 장시간이 필요하다는 문제가 있었다.

그래서, 본 발명의 티칭 방법에서는 반송기구를 가상의 이동 목적 위치까지 이동하는 이동 경로의 도중에서 상기 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소에서 다른 부재와의 간섭이 발생하지 않는 것을 확인시키기 위해서 일시 정지시키는 일시 정지 공정과, 일시 정지된 상기 반송기구를 이동 지령의 입력에 의해 이동 재개시키는 이동 재개 공정과, 상기 일시 정지 공정과 이동 재개 공정을 되풀이하여 실행하는 반복 공정과, 상기 픽이 상기 가상의 이동 목적 위치에 도달했을 때에 상기 픽의 위치를 조정 이동하거나, 또는 조정 이동하지 않고 이동 목적 위치로서 상기 제어 수단에 기억시키는 기억 공정을 구비하도록 하여 실행한다. 즉, 처리 시스템의 설계 치수 등으로부터 구하는 가상의 이동 목적 위치까지의 이동 경로의 도중에서, 반송기구가 다른 부재와 간섭 내지 충돌할 우려가 있는 위치를 간섭 주의 개소로서 미리 구한다. 이 간섭 주의 개소를 구할 때에는, 반송기구의 다관절 아암 및 픽의 치수, 선회 반경 등이 가미되어 요구된다. 이 간섭 주의 개소는, 처리 시스템의 조립 오차 및/또는 반송기구의 구동계의 초기 설정 등의 오차에도 영향을 받지만, 픽을 포함하는 반송기구가 다른 부재에 대하여 예컨대 약 1cm 정도의 거리까지 접근하는 개소(장소)이다. 그리고, 이 조정 이동이 실행된 경우에는, 다음에 일시 정지하는 간섭 주의 개소의 좌표를 조정 이동량만큼 증감시킨다.

상술한 바와 같이, 간섭 주의 개소가 계산상 구해졌으면, 실제로 반송기구를 자동적으로 동작하도록 구동시키는데, 이 때, 간섭 주의 개소에 도달할 때마다 반송기구를 일시 정지시키고, 이 정지했을 때에, 다음 단계로 반송기구를 이동시키더라도 다른 부재와 간섭이 발생하지 않는 것을 육안으로 확인한다. 이 때, 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 발생하고 있으면, 오퍼레이터는 매뉴얼 조작에 의해서 반송기구를 다른 부재와 간섭할 우려가 없는 위치까지 조정 이동시킨다.

다음에, 오퍼레이터가 이동 지령을 입력함으로써 반송기구를 다음 간섭 주의 개소까지 자동으로 이동시킨다. 그리고, 상기한 육안에 의한 간섭이 존재하지 않는다는 확인과 필요한 경우의 조정 이동과 이동 지령의 입력을 순차적으로 반복하여 실행한다.

그리고, 픽이 처리 시스템의 설계 치수 등으로부터 구한 가상의 이동 목적 위치에 도달했으면, 필요하면, 오퍼레이터는 육안으로 확인하면서 매뉴얼 조작에 의해서 픽의 위치를 최적의 위치로 조정 이동하고, 이 위치를 이동 목적 위치로서 제어 수단에 기억시키게 된다. 이에 따라, 당초의 이동 목적 위치에 대한 티칭 조작이 종료하게 된다.

<제 1 실시예>

다음에, 도 7a 내지 7e 및 도 8을 참조하여 도입 포트에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례에 대하여 설명한다.

도 7a 내지 7e는 본 발명 방법의 제 1 실시예인 도입 포트에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례를 나타내고, 도 8은 본 발명의 티칭 방법의 흐름을 나타내는 플 로우차트이다. 도 7a 내지 7e에서는, 3개의 도입 포트(18A 내지 18C)중 중앙의 도입 포트(18B)에 대하여 제 1 반송기구(22)의 한쪽의 픽(A1)의 티칭 조작을 하는 경우를 나타내고 있다. 이 경우, 카세트용기(20)의 최하단의 지지선반(도시하지 않음)에 반도체 웨이퍼와 동일 치수 및 형상으로 성형된 위치 정렬용 기판(W)을 탑재해 두고, 이 위치 정렬용 기판(W)의 바로 아래까지 픽(A1)을 삽입(액세스)한 위치(도 7d)가 가상의 이동 목적 위치라고 가정한다. 또한, 이 최하단의 지지선반에 탑재한 위치 정렬용 기판에 대한 픽의 위치가 정해지면, 각 지지선반의 피치는 특정되어 있기 때문에, 그것에 따라서 각 지지선반에 대한 픽의 액세스가 가능해진다.

우선, 이 제 1 반송기구(22)의 기준 위치로부터, 도 7d에 나타내는 가상의 이동 목적 위치까지의 이동 경로의 도중에서, 이 반송기구(22)가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소를 상술한 바와 같이 처리 시스템(2)의 설계치수 및/또는 반송기구(22)의 다관절 아암의 치수 및/또는 선회 반경 등에 근거하여 미리 구한다. 이 경우, 이 반송기구(22)가 설계 치수상에 있어서 다른 부재와 예컨대 1cm의 거리까지 접근하는 위치를 간섭 주의 개소로서 정하고 있고, 이 정보가 제어 수단(40)에 기억된다. 도 7a 내지 7e에서는, 도 7a 내지 도 7c에 나타내는 아암의 3개의 위치가, 각각 간섭 주의 개소로서 구해진 위치이다. 또한, 여기서는 도 2중에 나타내는 안내 레일(24)의 오른쪽 단부의 위치가, 제 1 반송기구(22)의 기준 위치(홈 포지션)(50)라고 가정하고 있다.

우선, 제 1 반송기구(22)를 기준 위치(50)(도 2 참조)에 위치시킨 상태에서, 오퍼레이터는 도 1의 제어부(40)에 접속되어 있는 키 군(44)의 진행 버튼(44A)(도 6 참조)을 누름으로써(S1), 이동 지령을 입력한다. 그렇게 하면, 제 1 반송기구(22)의 현재의 위치는 가상의 이동 목적 위치가 아니므로(S2의 NO), 제어 수단(40)은 제 1 반송기구(22)의 구동을 제어하여, 예컨대 이것을 수평 방향 이동시켜 도입 포트(18B)에 대응하는 장소까지 이동시켜, 다관절 아암을 상하 방향 및 선회 방향으로 이동시킴과 동시에, 다관절 아암을 굴신시켜, 예컨대 수평 방향으로 늘려 그 픽(A1)을 도 7a에 도시하는 바와 같이 제 1 간섭 주의 개소에서 자동적으로 일시 정지시킨다(S3).

이 제 1 간섭 주의 개소는, 이 픽(A1)의 선단과 위치 정렬용 기판(W)의 선단의 사이의 거리(X1)가, 처리 시스템의 설계 치수상에서 1cm 정도인 위치이다. 이와 같이, 제 1 반송기구(22)가 일시 정지했을 때, 도 6에 도시하는 바와 같이 표시부(42)에는, 오퍼레이터에 대하여 픽의 간섭 주의를 환기하기 위한 메세지로서, 예컨대 "픽 등은 다른 부재와 간섭하지 않습니까?" 등의 문자를 표시한다. 또한, 이것과 동시, 또는 단독으로 스피커 등으로부터 음성에 의해 동일한 메세지를 전하도록 해도 무방하다.

여기서 오퍼레이터는, 픽(A1)의 상하 방향의 거리에 관해서 픽(A1)이 다른 부재, 즉 위치 정렬용 기판(W)의 하단보다도 2 내지 3mm 정도만 아래쪽에 위치하고 있는지 여부, 예컨대 픽(A1)을 그대로 전진시키더라도 위치 정렬용 기판(W)과 간섭할 우려가 있는지 여부를 육안에 의해서 확인한다(S4). 여기서, 위치 정렬용 기판(W)과 픽(A1)이 간섭할 우려가 있는 경우에는(S4의 YES), 오퍼레이터는 매뉴얼 조작으로 픽(A1)을 위치 정렬용 기판(W)과 간섭하지 않을 것 같은 위치까지, 즉 이 하단보다도 2 내지 3mm 정도만 아래쪽에 위치하도록 미소 거리만 조정 이동시킨다(S5). 이 조정 이동은 키 군(44)의 이동 버튼(44C)을 조작함으로써 실행된다.

이와 같이 픽(A1)의 조정 이동이 종료하면, 또는 S4에서 오퍼레이터가 픽(A1)은 다른 부재와 간섭할 우려가 없다(S4의 NO)라고 판단했으면, 오퍼레이터는 다시 진행 버튼(44A)을 누름으로써(S1), 이동 지령을 입력한다. 그러면, 제 1 반송기구(22)의 픽(A1)은 약간 자동적으로 전진하여, 도 7b에 도시하는 바와 같이 설계 치수상에 있어서 픽(A1)의 선단과 위치 정렬용 기판(W)의 주연부가 겹치는 거리(X2)가 5mm 정도가 되는 위치, 즉 제 2 간섭 주의 위치까지 자동적으로 이동하여 일시 정지한다(S2의 NO, S3). 이 일시 정지했을 때에도, 표시부(42)에 픽의 간섭 주의를 환기하기 위한 메세지가 표시된다. 이 때, 오퍼레이터는 픽(A1)의 선단이 위치 정렬용 기판(W)의 아래쪽으로 확실히 침입한 것을 확인한다. 또한, 픽(A1)과 위치 정렬용 기판(W)의 중첩이 5mm 정도가 되는 곳에서 픽(A1)을 일시 정지시킨 이유는, 만일 양자가 간섭한 경우에 파손 등의 피해를 최소한으로 저지하기 위해서이다.

그리고, 다음에 오퍼레이터가 진행 버튼을 누르는 것에 의해(S1), 이동 지령을 입력하면, 제 1 반송기구(22)의 픽(A1)은 다시 약간 자동적으로 전진하여, 도 7c에 도시하는 바와 같이 설계 치수상에 있어서, 픽(A1)의 베이스부와 뚜껑 개폐기구(21)(도 3 참조)의 상단과의 사이의 수평거리(X3)가 1cm 정도가 되는 위치, 즉 제 3 간섭 주의 위치까지 자동적으로 이동하여 일시 정지한다. 이 일시 정지했을 때에도 표시부(42)에 픽의 간섭 주의를 환기하는 메세지가 표시된다. 이 때, 오퍼레이터는 픽(A1)의 베이스부가, 이대로 전진하더라도 뚜껑 개폐기구(21)에 간섭하지 않는 것을 확인한다. 이 때, 오퍼레이터가 이 픽(A1)의 베이스부가 간섭할 우려가 있다고 판단했을 때에는, 픽(A1)을 매뉴얼 조작에 의해 위쪽으로 약간 조정 이동시키는 것은 전술한 것과 같다.

그리고, 다음에 오퍼레이터가 진행 버튼을 누르는 것에 의해, 이동 지령을 입력하면, 제 1 반송기구(22)의 픽(A1)은 다시 자동적으로 전진하여, 도 7d에 도시하는 바와 같이, 설계 치수상에 있어서 가상의 이동 목적 위치까지 이동하여 일시 정지한다. 또한, 이 가상의 이동 목적 위치는, 여기까지의 이동 경로의 도중에서 매뉴얼 조작에 의해서 이동 조정한 경우에는, 그 이동 조정량만큼 시프트하고 있다.

이렇게 하여, 가상의 이동 목적 위치까지 픽(A1)이 전진했으면(S2의 YES), 오퍼레이터는 이 위치가 위치 정렬용 기판(W)에 대하여 적정한 위치인지 여부를 확인하고, 필요하면, 즉 만약 위치 어긋나고 있으면, 매뉴얼 조작으로 이 픽(A1)을 이동 목적 위치까지 미소 거리만 조정 이동시켜 도 7e에 도시하는 바와 같이 위치 정렬용 기판(W)의 바로 아래에 적정하게 위치시킨다(S6). 도 7e에 도시하는 경우에는, 픽(A1)을 근소한 거리만 위쪽으로 이동시킨 상태를 나타낸다. 또한, 도 7d에 도시하는 가상의 이동 목적 위치에 있어서의 픽(A1)의 위치가 도 7e에 도시하는 것 같은 적정한 위치이면, 당연한 것으로서 상기 S6에 나타내는 조정 이동 조작은 불필요해진다.

이렇게 하여 픽(A1)이 적정한 위치, 즉 이동 목적 위치에 도달했으면, 키 군(44)의 기억 버튼(44B)(도 6 참조)을 누름으로써, 이 때의 픽(A1)의 위치 좌표 데이터를 제어 수단(40)에 기억한다(S8). 이에 따라 티칭 조작을 완료한다.

이와 같이, 이동 목적 위치의 위치 좌표를 제어 수단(40)에 기억시켜 놓는 것에 의해, 픽(A1)은 이 이동 목적 위치까지 자동적으로 다른 부재와 간섭하는 일 없이 이동할 수 있다. 카세트용기(20)내에서 웨이퍼를 들어올릴 때에는, 상기한 이동 목적 위치로부터 소정의 높이만큼 상승하여 웨이퍼를 받아들이게 된다. 또한, 다른 지지선반의 웨이퍼를 취하는 경우에는, 전술한 바와 같이 다단으로 마련된 지지선반의 피치를 미리 알고 있기 때문에, 그 지지선반의 단 수에 대응하는 높이를 용이하게 구할 수 있다.

이러한 티칭 조작은 픽(A2)에 대해서도 마찬가지로 실행하고, 또한 다른 도입 포트(18A, 18C)에 대해서도 양 픽(A1, A2)에 대하여 마찬가지로 실행하게 된다. 또한, 이와 관련하여 종래의 티칭 방법에서는 도 7a에 도시하는 제 1 간섭 주의 개소까지 픽(A1)을 자동적으로 진행시킨 후, 도 7e에 도시하는 픽(A1)까지는 매뉴얼 조작에 의해서 조금씩 픽(A1)을 이동하고 있다.

따라서, 본 발명 방법에서는 픽 등이 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소에서만 픽을 일시 정지하고, 일시 정지할 때마다 필요하다면 픽을 매뉴얼 조작으로 조정 이동하고, 다음 간섭 주의 개소까지는 또 자동으로 픽을 움직이게 하도록 하고 있으므로, 픽이 전체 반송 경로를 따라서 이동하는 시간이 짧아지고, 그만큼 티칭 조작을 단시간에 또한 신속하게 실행할 수 있다.

<제 2 실시예>

상기 제 1 실시예에서는 도입 포트에 대하여 티칭 조작을 하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 이 제 2 실시예에서는 오리엔터에 대하여 티칭 조작을 하는 경우를 예로 들어 설명한다.

도 9a 내지 9d는 본 발명의 제 2 실시예인 오리엔터에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례를 도시하는 도면이다. 또한, 이 도 9a 내지 9d에서는 부분적으로 평면도도 병기되어 있다. 여기서도 제 1 반송기구(22)의 픽(A1)에 대하여 티칭 조작을 하는 경우에 대하여 설명한다. 또한, 픽(A1)이 간섭 주의 개소에서 일시 정지할 때마다 표시부에는 오퍼레이터에 대하여 간섭 주의를 환기하기 위한 메세지가 표시되는데, 그 점에 대한 기재는 생략한다.

우선, 제 1 실시예와 같이, 처리 시스템(2)의 설계 치수 등에 근거하여 오리엔터(26)에 대한 간섭 주의 개소 및 가상의 이동 목적 위치를 구하여 제어 수단(40)에 기억해 놓는다. 도시예에서는 도 9a 및 도 9b가 간섭 주의 개소를 도시하고, 도 9c가 가상의 자동 목적 위치를 나타내고 있다.

우선, 제 1 반송기구(22)를 기준 위치(50)(도 2 참조)에 위치시킨 상태에서 진행 버튼(44A)(도 6 참조)을 눌러 이동 지령을 입력하면, 제 1 반송기구(22)는 자동적으로 구동하고, 그 픽(A1)은 도 9a에 도시하는 바와 같이 제 1 간섭 주의 개소에서 일시 정지한다. 이 제 1 간섭 주의 개소는, 오리엔터(26)를 장착하고 있는 도입측 반송실(10)의 벽면(10A)과 픽(A1)의 선단과의 사이의 수평거리(Y1)가 처리 시스템의 설계 치수상에 있어서 예컨대 1cm 정도로 되어 있는 위치이다. 이것은 오리엔터(26)의 개구부의 높이가 3.6cm 정도로 작기 때문에, 픽(A1)의 선단부가 벽면(10A)에 충돌하는 것을 방지하기 위해서이다. 이 제 1 간섭 주의 개소에서 오퍼레이터는, 필요한 경우에는 매뉴얼 조작으로 픽(A1)의 높이 방향의 조정 이동을 하는 등 하여, 픽(A1)이 오리엔터(26)내에 간섭하는 일 없이 침입할 수 있도록 한다.

다음에, 오퍼레이터가 진행 버튼을 눌러 이동 지령을 입력하면, 픽(A1)은 수평 방향으로 자동적으로 진행하고, 도 9b에 도시하는 바와 같이 제 2 간섭 주의 개소에서 일시 정지한다. 이 제 2 간섭 주의 개소는, 회전대(28)의 주연부와 픽(A1)의 사이의 수평거리(Y2)가 처리 시스템의 설계치수상에 있어서, 예컨대 1cm 정도로 되어 있는 위치이다. 이 제 2 간섭 주의 개소에서 오퍼레이터는, 필요한 경우에는 매뉴얼 조작으로 픽(A1)의 수평 방향의 위치 조정함으로써, 평면으로부터 보아 픽(A1)을 더욱 진행한 경우에 이 픽(A1)의 사이에 상기 회전대(28)가 충분히 수습되도록 설정한다. 즉, 픽(A1)을 더욱 진행했을 때에 이것이 회전대(28)와 간섭하지 않도록 매뉴얼 조작으로 위치 조정한다.

다음에, 오퍼레이터가 진행 버튼을 눌러 이동 지령을 입력하면, 픽(A1)은 수평 방향으로 또한 자동적으로 진행하고, 도 9c에 도시하는 바와 같이 가상의 이동 목적 위치에 도달하게 된다.

그리고, 오퍼레이터는, 필요한 경우에는 매뉴얼 조작에 의해서 픽(A1)을 적정한 위치까지 조정 이동하여, 이것을 도 9d에 도시하는 바와 같이 이동 목적 위치에 위치시키고, 기억버튼(44B)(도 6참조)을 누름으로써 이 때의 위치 좌표 데이터를 제어 수단(40)에 기억시킨다. 이 경우, 기억버튼(44B)을 누르는 것에 앞서, 예컨대 도 9d의 평면도에 도시하는 바와 같이 픽(A1)에 예컨대 투명한 위치 정렬용 기판(W)을 탑재하고, 이 대략 중심부에 상기 회전대(28)가 위치하는 것을 확인한다.

도 9d에 나타내는 경우에는, 가상의 이동 목적 위치(도 9c)에서 픽(A1)이 회전대(28)의 아래쪽에 위치해 버렸기 때문에, 이 픽(A1)을 상방향으로 매뉴얼 조작으로 조정 이동하고, 그리고, 위치 정렬용(W)을 이용하여 상술한 바와 같이 적정하게 위치 정렬한 상태를 나타내고 있다.

이 제 2 실시예의 경우에도, 픽 등이 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소만에서 픽을 일시 정지하고, 일시 정지할 때마다 필요하면 픽을 매뉴얼 조작으로 조정 이동하고, 다음 간섭 주의 개소까지는 또 자동으로 픽을 움직이도록 하고 있기 때문에, 픽이 전체 반송 경로를 따라 이동하는 시간이 줄어들어, 그 만큼 티칭 조작을 단시간에 또한 신속히 실행할 수 있다.

<제 3 실시예>

다음에, 제 3 실시예로서 로드록실에 대하여 티칭 조작을 하는 경우에 대하여 설명한다.

도 10a 내지 10e는 본 발명의 제 3 실시예인 로드록실에 대하여 티칭 조작을 할 때의 일례를 도시하는 도면이다.

여기서는 일례로서, 2개의 로드록실(8A, 8B)중 한쪽의 로드록실(8A)에 대하여 픽(A1)을 티칭 조작하는 경우에 대하여 설명한다. 여기서는, 로드록실(8A)내의 탑재대(38A)상에 미리 위치 정렬용 기판(W)을 탑재해 놓는다. 그리고, 처리 시스템의 설계치수 등으로부터, 미리 도 10a 내지 도 10d에 나타내는 것 같은 4개의 간섭 주의 개소가 구해져 있고, 도 10e는 가상의 이동 목적 위치를 나타내고 있다. 또한, 표시부에 관한 표시내용은 상술한 경우와 마찬가지이기 때문에, 여기서도 그 설명은 생략한다.

우선, 제 1 반송기구(22)를 기준 위치(50)(도 2참조)에 위치시킨 상태에서 진행 버튼(44A)(도 6참조)을 눌러 이동 지령을 입력하면, 제 1 반송기구(22)는 자동적으로 구동하여, 그 픽(A1)은 도 10a에 도시하는 바와 같이 제 1 간섭 주의 개소에서 일시 정지한다. 이 제 1 간섭 주의 개소는, 이 로드록실(8A)을 장착하고 있는 도입측 반송실(10)의 벽면(10B)과 픽(A1)의 선단과의 사이의 수평거리(Z1)가 처리 시스템의 설계치수 상에 있어서 예컨대 1cm 정도로 되어 있는 위치이다. 이것은 로드록실(8A)의 개구부의 높이가 4.9cm 정도로 작기 때문에, 픽(A1)의 선단이 벽면(10B)에 충돌하는 것을 방지하기 위해서이다. 이 제 1 간섭 주의 개소에서 오퍼레이터는, 필요한 경우에는 매뉴얼 조작으로 픽(A1)의 높이 방향의 조정 이동하는 등 하여, 픽(A1)이 로드록실(8A)내에 간섭하지 않고 침입할 수 있도록 한다.

다음에, 오퍼레이터가 진행 버튼을 눌러 이동 지령을 입력하면, 픽(A1)은 수평 방향으로 자동적으로 진행하여, 도 10b에 도시하는 바와 같이 제 2 간섭 주의 개소에서 일시 정지한다. 이 제 2 간섭 주의 개소는, 탑재대(38A)상의 위치 정렬 용 기판(W)의 주연부와 픽(A1)과의 사이의 수평거리(Z2)가 처리 시스템의 설계치수상에 있어서, 예컨대 1cm 정도로 되어 있는 위치이다. 이 제 2 간섭 주의 개소에서 오퍼레이터는, 필요한 경우에는 매뉴얼 조작으로 픽(A1)의 높이 방향과 수평 방향의 위치 조정을 함으로써, 픽(A1)을 더욱 진행한 경우에 이 픽(A1)의 사이에 상기 탑재대(38A)가 충분히 수습되도록 설정한다. 즉, 픽(A1)을 더욱 진행했을 때에 이것이 탑재대(38A) 및 위치 정렬용 기판(W)과 간섭하지 않도록 매뉴얼 조작으로 위치 조정한다.

다음에, 오퍼레이터가 진행 버튼을 눌러 이동 지령을 입력하면, 픽(A1)은 수평 방향으로 약간 자동적으로 진행하여, 도 10c에 도시하는 바와 같이 제 3 간섭 주의 개소에서 일시 정지한다. 이 제 3 간섭 주의 개소는, 위치 정렬용 기판(W)의 주연부와 픽(A1)의 선단의 상하 방향에서의 중첩 부분의 수평거리(Z3)가 처리 시스템의 설계치수상에 있어서 5mm 정도가 되는 위치이다. 여기서 픽(A1)을 일시 정지시킨 이유는, 만일 양자가 간섭한 경우에 파손 등의 피해를 최소한으로 막기 위해서이다. 여기서, 픽(A1)이 다음 진행으로 다른 부재와 간섭하지 않도록 필요에 따라서 매뉴얼 조작에 의해 위치 조정한다.

다음에, 오퍼레이터가 진행 버튼을 눌러 이동 지령을 입력하면, 픽(A1)은 수평 방향으로 약간 자동적으로 진행하여, 도 10d에 도시하는 바와 같이 제 4 간섭 주의 개소에서 일시 정지한다. 이 제 4 간섭 주의 개소는, 개방되어 있는 게이트 밸브(G)의 상단과 픽(A1)의 기단과의 사이의 수평거리(Z4)가 처리 시스템의 설계치수상에 있어서 1mm 정도가 되는 위치이다. 여기서 픽(A1)을 일시 정지시킨 이유는, 픽(A1)의 베이스부가 개방되어 있는 게이트 밸브(G)에 충돌하는 것을 피하기 위해서이다. 여기서, 픽(A1)이 다음 진행으로 다른 부재와 간섭하지 않도록 필요에 따라서 매뉴얼 조작에 의해 위치 조정한다.

다음에, 오퍼레이터가 진행 버튼을 눌러 이동 지령을 입력하면, 픽(A1)은 수평 방향으로 또한 자동적으로 진행하여, 도 10e에 도시하는 바와 같이 가상의 이동 목적 위치에 도달하게 된다.

그리고, 오퍼레이터는, 필요한 경우에는 매뉴얼 조작에 의해서 픽(A1)을 적정한 위치까지 조정 이동하여, 이것을 이동 목적 위치에 위치시키고, 기억버튼(44B)(도 6참조)을 누르는 것에 의해 이 때의 위치 좌표 데이터를 제어 수단(40)에 기억시킨다. 이 경우, 기억버튼(44B)을 누르는 것에 앞서, 탑재대(38A)상에 탑재되어 있는 예컨대 투명한 위치 정렬용 기판(W)에 대하여 픽(A1)이 적정한 위치가 되도록 확인한다.

이 제 3 실시예의 경우에도, 픽 등이 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소에서만 픽을 일시 정지하고, 일시 정지할 때마다 필요하면 픽을 매뉴얼 조작으로 조정 이동하고, 다음 간섭 주의 개소까지는 또 자동으로 픽을 움직이도록 하고 있기 때문에, 픽이 전체 반송 경로를 따라 이동하는 시간이 줄어들어, 그 만큼 티칭 조작을 단시간에 또한 신속히 실행할 수 있다.

또한, 상기한 티칭 조작은 각 픽(A1, A2)에 대하여 각각 각 로드록실(8A, 8B)에 대하여 실행하는 것은 물론이다.

상기 각 실시예에서는 제 1 반송기구(22)의 티칭 방법에 대하여 설명했지만, 공통반송실(6)내의 제 2 반송기구(14)의 양 픽(B1, B2)에 관해서도, 각 처리실(4A 내지 4D) 및 각 로드록실(8A, 8B)에 대하여, 상술한 것과 같은 방법으로 실행한다.

또한, 실제로는 상기한 티칭 방법을 한 뒤, 정해진 각 이동 목적 위치에 설치한 위치 정렬용 기판(W)을 완전자동으로 오리엔터(26)까지 반송하고, 그 때의 위치 정렬용 기판(W)의 위치의 미소한 편차량에 근거하여 상기 이동 목적 위치의 좌표 데이터를 더욱 보정하는 것이 된다.

또한, 여기서 설명한 처리 시스템(2)의 구성이나 각 반송기구(14, 22)의 구성은 단지 일례를 나타낸 것에 지나지 않고, 대기압분위기중 및 진공분위기중에 설치되는 모든 반송기구에 대하여, 본 발명의 티칭 방법을 적용할 수 있는 것은 물론 이다.

또한, 여기서는 피처리체로서 반도체 웨이퍼를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 유리 기판, LCD 기판 등의 경우에도 본 발명 방법을 적용할 수 있는 것은 물론이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 티칭 방법 및 처리 시스템에 의하면 다음과 같이 우수한 작용 효과를 발휘할 수 있다.

본 발명에 의하면, 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 장소(개소)만 반송기구를 일시 정지시켜 필요하면 위치 조정하고, 반송기구가 다른 부재와 간섭하지 않는 것 같은 장소에서는 반송기구를 자동으로 적극적으로 이동시키도록 했으므로, 전체적으로 티칭 조작에 요하는 시간을 대폭 삭감할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 표시부에서 간섭 주의를 환기시키기 위한 메세지를 표시시키도록 했으므로, 오퍼레이터가 이 메세지를 인식함으로써, 반송기구에 관해서 다른 부재와의 간섭을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

본 발명에 의하면, 티칭 조작의 시간을 대폭 삭감하고, 단축화하는 것이 가능한 티칭 방법 및 처리 시스템을 제공할 수 있다.

Claims

픽에 의해 피처리체를 유지하여 반송하기 위한 반송기구를 갖춘 처리 시스템에 있어서의 상기 반송기구의 이동 목적 위치를 제어 수단에 기억시키는 티칭 방법에 있어서,

상기 반송기구를, 가상의 이동 목적 위치까지 이동하는 이동 경로의 도중에서 상기 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소에서 다른 부재와의 간섭이 발생하지 않는 것을 확인시키기 위해서 일시 정지시키는 일시 정지 공정과,

일시 정지된 상기 반송기구를 이동 지령의 입력에 의해 이동 재개시키는 이동 재개 공정과,

상기 일시 정지 공정과 이동 재개 공정을 되풀이하여 실행하는 반복 공정과,

상기 픽이 상기 가상의 이동 목적 위치에 도달했을 때에 상기 픽의 위치를 조정 이동하거나, 또는 조정 이동하지 않고 이동 목적 위치로서 상기 제어 수단에 기억시키는 기억 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 티칭 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 일시 정지한 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있을 때에는 상기 반송기구를 다른 부재와 간섭할 우려가 없는 위치까지 조정 이동시키는 것을 특징으로 하는 티칭 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 간섭 주의 개소는, 상기 처리 시스템의 설계치수에 근거하여 상기 제어 수단이 미리 산출하여 구하는 것을 특징으로 하는 티칭 방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제어 수단은, 상기 반송기구가 일시 정지할 때마다, 표시부에 오퍼레이터에 대하여 간섭 주의를 환기시키기 위한 메세지를 표시시키는 것을 특징으로 하는 티칭 방법.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 반송기구는, 굴신 및 선회 가능하게 이루어진 다관절 아암을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 티칭 방법.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 이동 목적 위치는, 상기 피처리체를 상기 처리 시스템내로 집어넣는 도입 포트내의 소정의 위치인 것을 특징으로 하는 티칭 방법.
피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하는 처리실과,

피처리체를 도입하기 위한 도입 포트와,

피처리체의 위치 결정을 하는 오리엔터와,

피처리체를 유지하는 픽을 갖고 피처리체를 반송하는 반송기구와,

상기 반송기구의 동작을 제어하는 제어 수단을 갖는 처리 시스템에 있어서,

상기 제어 수단은,

상기 반송기구를, 가상의 이동 목적 위치까지 이동하는 이동 경로의 도중에서 상기 반송기구가 다른 부재와 간섭할 우려가 있는 간섭 주의 개소에 있어서 다른 부재와의 간섭이 발생하지 않는 것을 확인시키기 위해서 일시 정지시키는 일시 정지 공정과,

일시 정지된 상기 반송기구를 이동 지령의 입력에 의해 이동 재개시키는 이동 재개 공정과,

상기 일시 정지 공정과 이동 재개 공정을 되풀이하여 실행하는 반복 공정과,

상기 픽이 상기 가상의 이동 목적 위치에 도달했을 때에 상기 픽의 위치를 조정 이동하고, 또는 조정 이동하지 않고 이동 목적 위치로서 상기 제어 수단에 기억시키는 기억 공정을 실행시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
제 7 항에 있어서,

상기 제어 수단은, 상기 처리 시스템의 설계치수에 근거하여 상기 간섭 주의 개소를 미리 산출하여 구하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,

상기 제어 수단은 표시부에 접속되어 있고, 상기 제어 수단은, 상기 반송기구가 일시 정지할 때마다, 표시부에 오퍼레이터에 대하여 간섭 주의를 환기시키기 위한 메세지를 표시시키는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.