CN1671519A - 教学方法及处理系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种大幅削减并缩短教学操作时间的教学方法，该方法将具有搬运机构的处理系统中所述搬运机构的移动目标位置存储于控制装置，所述搬运机构以拾取器保持并搬运被处理体，其工序如下：在移动至临时目标位置的移动路径的途中，在所述搬运机构与其它部件有干涉危险的干涉注意位置，为了确认与其它部件不发生干涉，将所述搬运机构临时停止的临时停止工序；通过移动指令的输入，将临时停止的所述搬运机构再次开始移动的移动再开工序；重复进行所述临时停止工序和移动再开工序的重复工序；在所述拾取器到达所述临时移动目标位置时，调整移动所述拾取器的位置，或者不进行调整移动，并将该位置作为移动目标位置存储于所述存储装置的存储工序。

Description

教学方法及处理系统

技术领域

本发明涉及一种用于在半导体晶片等被处理体上实施预定处理的处理系统以及用于该系统的搬运机构的教学(teaching)方法。

背景技术

为了制造半导体集成电路，通常对晶片进行成膜、蚀刻、氧化、扩散等各项处理。此外已知一种，通过半导体集成电路的微细化及高集成化，为了提高生产量以及成品率，经过共通的搬运室，相互结合进行相同处理的多个处理装置、或进行不同处理的多个处理装置，从而使晶片能够不暴露于大气地进行各种工序的连续处理，即所谓的集成(cluster)化处理。

在这种处理系统中，例如从在处理系统前段的被处理体的导入端口上设置的盒式容器，使用搬运机构将半导体晶片取出，进而将其放入处理系统的导入侧搬运室内，此外，该晶片被进行位置重合的导向器进行位置重合之后，搬入可以抽成真空的负载锁定室内，进而使用其它的搬运机构，将该晶片搬运至与多个被抽成真空的处理室周围相连接的真空氛围的共通搬运室，并且以该共通搬运室为中心，将上述晶片依次导入个处理室，从而进行连续处理。此外，处理后的晶片，例如可以经过原来的路径而收存于原来的盒式容器。

然而，如上上述，在这种处理系统中，内部具有单个或多个搬运机构，通过这些搬运机构，自动地进行晶片的传递及搬运。

该搬运结构，例如由能够水平移动、伸缩、旋转、及升降自如的多关节臂所构成，并且以设置于该臂前端的拾取器直接保持晶片，并水平移动至搬运位置，从而将晶片搬运到预定的位置。

在这种情况下，在搬运机构中，不但不得不避免上述臂、拾取器或者保持着的晶片与其它部件发生干涉乃至冲突，还需要适当地保持放置在某固定位置的晶片，并将该晶片搬运到目标位置，进而在适当的位置，高精度地、例如以±0.20mm的高位置精度交接。

因此，在进行装置的组装或进行大的改造时，将在搬运机构的拾取器的移动路径中进行晶片W交接的位置等重要位置，作为位置坐标存储于控制该搬运机构的动作的计算机等的控制部件，即进行所谓的教学操作。

上述教学差不多在用于交接晶片的全部的情况，并存储如下的位置坐标，例如搬运机构和盒式机构的位置关系，用于取得晶片的拾取器和盒式容器的各装载顶高度方向的位置关系，负载锁定室的装载台和拾取器的位置关系，拾取器和导向器的位置关系，拾取器和各处理室内的基座的位置关系等。另外，在全部的驱动系统中，当然组装有用于特定该驱动位置的编码器。

在具体地进行教学操作中，首先，以搬运机构的移动路径的某一点作为绝对基准，进而从装置的设计值求出装置全体的全部教学位置的位置坐标，并且将其作为临时位置坐标，预先输入控制部并进行存储。在这种情况下，以拾取器与其它的部件不发生干涉的方式预设预定量的间隙，并输入各临时坐标。

其次，如果根据各临时位置坐标驱动搬运机构，使该拾取器移动至教学基准位置附近，就将搬运机构的动作切换为手动，从而以拾取器与其它部件不发生干涉的方式，边目测地确认边每次少许地进行手动操作。此外，边目测边操作，使得拾取器和预先在盒式容器内的预定位置上设置的上述位置重合用基板在适当的位置产生接触，并通过将该坐标作为位置坐标存储于控制部而进行教学。

此外，在对负载锁定室、各处理室的装载台或基座等进行教学操作的情况下，对它们的中心也分别设置有上述位置重合用基板，首先，将对应的拾取器自动地移动到不发生干涉的附近的安全位置，然后，对其进行手动操作，与上述同样地使二者正确地一致，并将此时的位置坐标存储于控制部。另外，例如该位置重合用基板由透明板构成，并且在其上预先画出位置整个重合的拾取器或其它装载台的轮廓等。

此外，上述所谓手动操作的具体意思在于，通过键盘或控制杆，将移动方向(+/-)和移动量输入控制部，进而操作包含拾取器的臂等。

此外，在目前技术的日本特开2000-127069号公报中，虽然通过使用导向器，谋求教学操作的省力化及高精度化，但存所谓在教学操作的一部分需要上述手动操作的问题。

发明内容

然而，在如上上述教学方法中，将搬运机构自身自动地移动到全部教学目标位置附近的十分安全的位置，然后，边目测确认安全，边以手动操作将拾取器逐步地每次很小距离地在水平方向及上下方向移动，进而将拾取器移动到目标位置。

因此，虽说最初将拾取器自动地移动到目标位置附近的充分安全的位置，但然后以手动逐渐地移动拾取器的区间很长，因此，存在所谓教学操作中需要很长的时间的问题。特别是，由于不得不如上上述地、差不多在交接半导体晶片全部位置进行如上的教学操作，所以，产生整个教学操作的时间变得非常长的问题。

本发明着眼于上述问题，并提出有效地解决这些问题的方案。本发明的目标在于，提供一种能够大幅度地削减教学时间，并且可以使其缩短的教学方法及处理系统。

本发明者对缩短教学的操作时间进行了深刻的研究，结果表明，即使在将搬运机构自动地移动到目标位置之后，如果注意特定位置的部分而调整移动搬运机构的拾取器，则在到达目标位置之前，会某种程度地存在可自动移动的部分，从而由上述观点提出本发明。

本发明的教学方法通过拾取器保持被处理体，并将在具备用于搬运的搬运机构的处理系统中上述搬运机构的移动目标位置存储于控制装置，该教学方法具有如下工序：在移动至临时移动目标位置的移动路径途中，在上述搬运机构与其它部件有发生干涉危险的干涉注意位置上，为了确认与其它部件不发生干涉，将上述搬运机构临时停止的临时停止工序；通过移动指令的输入，使临时停止的上述搬运机构重新开始移动的移动再开工序；重复进行上述临时停止工序和移动再开工序的重复工序；在上述拾取器到达上述临时移动目标位置时调整上述拾取器的位置，或者不进行调整移动，进而作为移动目标位置而存储于上述存储装置的存储工序。

这样，由于在具有搬运机构与其他部件发生干涉的危险的地方，临时停止搬运机构，并根据需要进行位置调整，使得在搬运机构与其他不见不发生干涉的地方，自动且积极地移动搬运机构，所以，可以作为整体地将上述教学操作中需要的时间大幅地削减。

在这种情况下，在上述临时停止的机构有与其它部件发生干涉的危险时，将上述搬运机构调整移动到与其它部件没有干涉危险的位置。

此外，上述干涉注意位置可以基于上述处理系统的设计尺寸，由上述控制装置预先计算得到。

此外，在每次上述搬运机构临时停止时，上述控制装置可以在显示部显示用于对于操作员提醒注意干涉的信息。

这样，由于在显示部显示有用于提醒操作人员注意干涉的信息，所以，通过操作人员读取该信息，可以更可靠地防止与搬运机构有关的同其他部件发生的干涉。

此外，优选上述搬运机构具有能够弯曲及旋转的多关节臂。

此外，优选上述目标位置是将上述被处理体装入处理系统内的导入板内的预定位置。

本发明的处理系统具有：对被处理体实施预定处理的处理室；用于将被处理体导入的导入板；进行被处理体定位的导向器；具有保持被处理体的拾取器并搬运被处理体的搬运机构；控制上述搬运机构的动作的控制装置；上述控制装置被构成为实施如下工序：在移动到临时移动目标位置的移动路径途中，上述搬运机构有与其它部件发生干涉危险的干涉注意位置处，为了确认其与其它部件不发生干涉，将上述搬运机构临时停止的临时停止工序；通过移动指令的输入，将临时停止的上述搬运机构再次开始移动的移动再开工序；重复进行上述临时停止工序和移动再开工序的重复工序；在上述拾取器到达上述临时移动目标位置时，调整移动上述拾取器的位置，或者不进行调整移动，并且作为移动目标位置而存储于上述控制装置的存储工序。

在这种情况下，上述控制装置基于上述处理系统的设计尺寸，预先计算得出上述干涉注意位置。

此外，上述控制装置与上述显示部连接，并且上述控制装置在每次上述搬运机构临时停止时，在显示部显示用于唤起操作人员注意干涉的信息。

附图说明

图1是表示用于实施本发明的教学方法的处理系统的一例的结构图。

图2是图1所示处理系统的模式图。

图3是表示导入板的概略结构图。

图4是表示导向器的概略结构图。

图5是表示负载锁定室的概略结构图。

图6是表示操作单元的平面图。

图7A是对第一实施方式的导入板进行教学操作时的一例，是表示第一干涉注意位置的图。

图7B是对第一实施方式的导入板进行教学操作时的一例，是表示第二干涉注意位置的图。

图7C是对第一实施方式的导入板进行教学操作时的一例，是表示第三干涉注意位置的图。

图7D是对第一实施方式的导入板进行教学操作时的一例，是表示临时移动目标位置的图。

图7E是对第一实施方式的导入板进行教学操作时的一例，是表示移动目标位置的图。

图8是表示本发明的教学方法的流程的流程图。

图9是表示对第二实施方式的导入板进行教学操作时的一例的图。

图9A是对第二实施方式的导向器进行教学操作时的一例，是表示第一干涉注意位置的图。

图9B是对第二实施方式的导向器进行教学操作时的一例，是表示第二干涉注意位置的图。

图9C是对第二实施方式的导向器进行教学操作时的一例，是表示临时移动目标位置的图。

图9D是对第二实施方式的导向器进行教学操作时的一例，是表示移动目标位置的图。

图10A是对第三实施方式的载荷锁定室进行教学操作时的一例，是表示第一干涉注意位置的图。

图10B是对第三实施方式的载荷锁定室进行教学操作时的一例，是表示第二干涉注意位置的图。

图10C是对第三实施方式的载荷锁定室进行教学操作时的一例，是表示第三干涉注意位置的图。

图10D是对第三实施方式的载荷锁定室进行教学操作时的一例，是表示第四干涉注意位置的图。

图10E是对第三实施方式的载荷锁定室进行教学操作时的一例，是显示临时移动目标位置的图。

具体实施方式

以下，根据附图详细说明本发明的教学方法及处理系统的实施方式。

图1是表示用于实施本发明的教学方法的处理系统的一例的结构图，图2是图1所示处理系统的模式图，图3是表示导入板的概略结构图，图4是表示导向器的概略结构图，图5是表示负载锁定室的概略结构图，图6是表示操作单元的平面图。

首先，对上述处理系统进行说明。

如图1所示，该处理系统2主要具有：多个，例如4个处理室4A、4B、4C、4D；大致呈六边形的共通搬运室6；具有载荷锁定功能的第一及第二载荷锁定室8A、8B；以及细长的导入侧搬运室10。

具体地讲，在大致呈六边形的共通搬运室6的四个边上接合有上述各处理室4A～4D，在另外的两个边上分别接合有上述第一及第二载荷锁定室8A、8B。而且，在该第一及第二载荷锁定室8A、8B上共通地连接有导入侧搬运室10。

在上述共通搬运室6和上述四个各处理装置4A～4D之间，以及在上述共通搬运室6和上述第一及第二载荷锁定室8A、8B之间，各自经过可开闭的气密闸门阀G连接，从而得到集成化，并且根据需要，可以与共通搬运室6内相连通。而且，在上述第一及第二载荷锁定室8A、8B和上述导入侧搬运室10之间，也分别经过可开闭的气密闸门阀G连接着。

在上述4个处理室4A～4D内，分别设置有装载作为被处理体的半导体晶片的基座12A～12D，并且能够对作为被处理体的半导体晶片实施同种或异种处理。而且，在上述共通搬运室6内，在能够与上述两个载荷锁定室8A、8B以及四个处理室4A～4D分别接近的位置上，设置有由可以弯曲、升降及旋转的多关节臂所构成的第二搬运机构14，并且该搬运装置14具有两个能够向相互相反方向独立弯曲的两个拾取器B1、B2，从而可以一次拾取两个晶片。另外，还可以使用仅具有一个拾取器的装置作为第二搬运机构14。

上述导入侧搬运室10由长条箱体所形成，在该长方的一侧面，设置有用于导入作为被处理体的半导体晶片的一个乃至多个搬入口16，在图示中举例有3个搬入口16，并且在各搬入口16上设置有可开闭的开闭门21。此外，对应于各搬入口16分别设置有导入端口18A、18B、18C，并且分别可以在其中装载一个盒式容器20。各盒式容器20内，能够等间距且多段地装载收容多个，例如25个半导体晶片W。在上述盒式容器20上还安装有开闭盖20A(参照图3)。图3表示的是上述三个导入端口18A～18C中的中央导入端口18B，在各导入端口18A～18C，为了开闭盒式容器20的开闭盖20A，设置有可升降及进退的开闭门21的驱动机构21A。

在该导入侧搬运室10内，设置有用于将晶片W沿其长度方向搬运的、作为导入侧搬运机构的第一搬运机构22。在导入侧搬运室10内的中心部，该第一搬运机构22可滑行移动地支撑于以沿着长度方向延伸的方式设置的导向轨24上。在该导向轨24中，内藏有作为移动机构的例如具有编码器的线性电动机，并通过驱动该线性电动机，使第一搬运机构22沿导向轨24移动。

此外，上述第一搬运机构22具有分上下两段配置的两个多关节臂32、34。在上述各多关节臂32、34的前端上分别安装有呈两股状的拾取器A1、A2，并分别在该拾取器A1、A2上直接保持晶片W。所以，各多关节臂32、34能够从中心沿半径方向自由地伸缩及升降，而且，各多关节臂32、34的伸缩动作能够单独控制。上述多关节臂32、34的各转轴，分别与基台36呈同轴状可旋转地连接，例如能够相对基台36沿旋转方向整体旋转。另外，在这里不仅可以设置有两个拾取器A1、A2，也有仅设置有一个的情况。

此外，在导入侧搬运室10的另一端，设置有进行晶片位置重合的导向器26，而且，在导入侧搬运室10的长度方向的中途，通过可开闭的上述门阀G分别设置有两个载荷锁定室8A、8B。

上述导向器26，如图4所示，具有由驱动马达27驱动旋转的旋转台28，并且可在其上以装载晶片W的状态旋转。在该旋转台28的外周设置有用于检测晶片W的周边部的光学传感器30，由此可以检测出晶片W的定位缺口，例如槽口、导向器平面的位置方向或晶片W的中心位置偏差量等。

此外，在上述第一及第二载荷锁定室8A、8B内，为了临时装载晶片W，分别设置有直径比晶片小的装载台38A、38B(参照图5)。而且，上述处理系统2的动作的整体控制，例如各搬运机构14、22或导向器26等的动作控制，例如可以通过微机等所构成的控制部40进行。在该控制部40上连接有用于由显示操作员所使用预定的信息的液晶显示单元等构成的显示部42、或设置进行预定的输入的数字键等键群44的操作单元41。另外，在显示部42可以使用触摸面板方式，也可以在显示部42兼有键群44的功能。在进行教学操作的情况下具有该操作单元41，从而边注视拾取器等边进行教学操作。

接下来，对在如上所述地形成的系统中所实施的教学方法加以说明。

首先，仅在如上所述地组装而成的上述处理系统2中，为了半导体晶片W的交接或装载，需要不决定各搬运机构14、22的移动目标位置，而将该移动目标位置作为坐标存储于控制系统，该操作被称为教学。在这种情况下，因处理系统2的组装误差或在各搬运机构14、22的初期设定中误差等，使得从处理系统2的各部分的设计尺寸通过计算确定出的临时移动目标位置，往往与实际组装后的处理系统2中移动目标位置之间存在有仅仅某种程度的距离的位置偏差。

所以，如果将包含拾取器的搬运装置自动地移动到为了进行教学操作而从处理系统的设计尺寸中通过计算而确定的其它移动目标位置，就会有在该移动路径中与其它的部件发生干涉、碰撞的危险。因此，在目前的教学操作中，将搬运机构自动地移动到通过计算所得的移动目标位置附近的靠前的位置，即搬运机构与其它部件绝对没有干涉危险的位置，还是距离临时移动目标位置最近的位置，然后，边如上所述地通过目测来确定与其它部件不发生干涉，边通过手动操作每次很少距离地移动搬运机构，最后，使拾取器位于预定的合适位置，并将此时的坐标作为移动目标位置进行存储。可是，在目前的教学方法中，由于边目测边通过手动移动搬运机构所花费的时间很长，故存在教学操作中需要很长时间的问题。

因此，在本发明的教学方法中，以如下的工序进行：在移动到临时目标位置的移动路径途中，在上述搬运机构与其它部件有干涉危险的干涉注意位置处，为了确认与其它部件不会发生干涉，将上述搬运机构临时停止的临时停止工序；在上述拾取器到达上述临时移动目标位置时，或调整移动上述拾取器的位置，或不进行调整移动，并作为移动目标位置存储于上述控制装置的存储工序。换言之，在到达从处理系统的设计尺寸所求出的临时移动目标位置的移动路径的途中，将搬运机构与其它部件发生干涉乃至碰撞的危险的位置作为干涉注意位置，并将其求出。在求得该干涉注意位置时，顺便求出搬运机构的多关节臂、拾取器的尺寸或旋转半径等。该干涉注意位置虽然也与处理系统的组装误差或搬运机构的驱动系统的初期设定等误差等有关，但是，是包含拾取器的搬运机构相对其它部件例如距离约1cm的位置。而且，在进行上述调整移动的情况下，仅以调整移动量增减下一次临时停止干涉注意位置的坐标。

如上所述，虽然，如果通过计算求出干涉注意位置，实际上就自动地驱动搬运机构，但是，此时一次次临时停止到达干涉注意位置的搬运机构，并在此停止时，向下一步移动搬运机构还要目测确认与其它部件不发生干涉。此时，如果搬运机构有与其它部件发生干涉的危险，则操作者通过手动操作将搬运机构移动到没有与其它部件发生干涉危险性的位置。

其次，操作者通过输入移动指令，将搬运机构自动地移动到下一个干涉注意位置。而且，按顺序反复进行由如上所述的目测上述进行不存在干涉的确认、必要情况的调整移动和输入移动指令。

此外，如果拾取器到达了从处理系统的设计尺寸所求得的临时移动目标位置，如果需要，操作者就边目测边通过手动操作将拾取器的位置调整移动到最合适的位置，并将该位置作为移动目标位置存储于控制装置。由此，与当初的移动目标位置相对应的教学操作结束。

第一实施方式

接下来，参照图7A～7E及图8，说明对导入端口进行教学操作的一例。

图7A～7E是表示对第一实施方式的导入板进行教学操作时的一例。图8是表示本发明的教学方法的流程的流程图。在图7A～7E中，表示对3个导入口18A～18C内的中央导入口18B进行第一搬运机构22的一个拾取器A1的教学操作的情况。在这种情况下，在盒式容器20的最下段的支撑顶(未图示)上装载有与半导体晶片同样尺寸及形状地成形的位置重合用基板W，将拾取器A1插入(接近)到上述位置重合用基板W位置正下方的位置(图7D)假定为临时移动目标位置。另外，由于如果确定了与装载于该最下段的支撑顶的位置重合用基板相对应的拾取器位置，就特别指定各支撑顶的拾取器，所以基于此能够对各支撑顶进行拾取器的接近。

首先，在从上述第一搬运机构22的基准位置至图7D所示的临时移动目标位置的移动路径的中途，根据如上所述的处理系统2的设计尺寸、搬运机构22的多关节臂的尺寸或旋转半径，预先求出上述搬运机构22于其他部件存在干涉危险的干涉注意位置。这种情况下，将该搬运机构22在设计尺寸上与其他部件例如接近至1cm距离的位置作为干涉注意位置而决定，并对这些信息存储于控制装置40。在图7A～7E中，图7A～图7C所示的臂的三个位置是分别作为干涉注意位置所决定的位置。此外，这里的图2所示的导向轨24的右端位置，假定为第一搬运机构22的基准位置(原来位置)50。

首先，在将第一搬运机构22位于基准位置50(参照图2)的状态，操作者通过按下与图1的控制部40相连接的键群44的进行按钮44A(参照图6)(S1)，输入移动指令。如此，由于第一搬运机构22的现在位置不在临时移动目标位置(S2的NO)，所以控制部40控制第一搬运机构22的驱动，例如使其在水平方向移动，进而移动到对应于导入口18B的位置，并且使多关节臂在上下方向及旋转方向移动，同时，伸缩多关节臂，例如在水平方向上伸长，从而，如图7A所示，使其拾取器A1自动地临时停止于第一干涉注意位置(S3)。

该第一干涉注意位置和与其拾取器A1的前端位置重合用基板W的前端间的距离X1为，处理系统的设计尺寸上约1cm的位置。这样，在第一搬运机构22临时停止时，如图6所示，在显示部42上显示出用于对操作者唤起注意拾取器的干涉的信息，例如显示有“拾取器等是否与其它部件发生干涉？”等文字。另外，与此同时，也可以单独地由扬声器发出同样的信息。

这里，操作者通过目测，确认与拾取器A1的上下方向的距离相关的、拾取器A1是否仅位于其它部件、即位置重合用基板W的下端的下方约2～3mm，确认例如即使原封不动地前进拾取器A1，是否也有与位置重合用基板W发生干涉的危险(S4)。这里，在位置重合用基板W和拾取器A1有发生干涉的危险情况下(S4的YES)，操作者通过手动操作将拾取器A1仅移动微笑距离，使其位于不会与位置重合用基板W发生干涉的位置、即位于其下端仅约2～3mm的下方(S5)。该调整移动是通过操作键群44的移动按钮44C来进行的。

这样，若拾取器A1的移动调整结束，或者，如果在S4中操作者判断了拾取器A1没有与其它部件发生干涉的危险(S4的NO)之后，操作者就再次通过按下进行按钮44A(S1)，输入移动指令。由此，第一搬运机构22的拾取器A1自动前进少许，如图7B所示，自动地移动到设计尺寸上拾取器A1的前端和位置重合用基板W的周边部重合的距离X2约为5mm的位置、即第二干涉注意位置(S2的NO，S3)，进而临时停止。在上述临时停止时，在显示部42也显示用于唤起注意拾取器干涉的信息。此时，操作者确认拾取器A1的前端确实进入了位置重合用基板W的下方。另外，在拾取器A1和位置重合用基板W的重合约为5mm的位置，临时停止拾取器A1的理由在于，在一旦二者发生干涉的情况下，可以将破损等损害减到最小。

此外，接下来，如果操作者通过按下进行按钮(S1)，输入移动指令，则第一搬运机构22的拾取器A1再次自动地前进少许，如图7C所示，自动移动到设计尺寸中拾取器A1的基部和盖开闭机构21(参照图3)的上端之间的水平距离X3约为1cm左右的位置、即第三干涉注意位置，进而临时停止。在该临时停止时，在显示部42也显示唤起注意拾取器的干涉的信息。此时，操作者确认，即使拾取器A1的基部照样前进也不会与盖开闭机构21发生干涉。此时，在操作者判断该拾取器A1的基部有干涉的可能性时，如上述相同地通过手动操作，将拾取器A1向上方少许调整移动。

此外，接下来，如果操作者通过再次按下进行按钮，输入移动指令，则第一搬运机构22的拾取器A1再次自动前进，如图7D所示，移动到设计尺寸上临时移动目标位置，进而临时停止。另外，该临时移动目标位置，在至此的移动路径途中通过手动操作进行移动调整的情况下，仅调整该移动调整量。

这样，如果拾取器A1前进到临时的移动目标位置(S2的YES)，则操作者确认该位置是否是位置重合用基板W的适当位置，如果必要的话、即如果位置发生了偏差，则通过手动操作，将该拾取器A1仅微距地调整移动至移动目标位置，如图7E所示，使其适当地位于位置重合用基板W正下方(S6)。在图7E所示的情况下，表示有将拾取器A1仅向上方移动了少许距离的状态。另外，如果在如图7D所示的移动目标位置的拾取器A1的位置是如图7E所示的适当的位置，理所当然不需要如上述S6中所示的调整移动操作。

这样，如果拾取器A1到达适当的位置、即移动目标位置，则通过按下键群44的存储按狃44B(参照图6)，将此时的拾取器A1的位置坐标数据存储于控制装置40(S8)。由此，教学操作结束。

这样，通过将移动目标位置的位置坐标存储于控制装置40，拾取器A1能够自动地、不与其它部件发生干涉地移动到该移动目标位置。在从盒式容器20内取出晶片时，能够从上述移动目标位置仅上升预定的高度，进而接收晶片。而且，在取得其它支撑顶的晶片时，如上所述，由于预先判断有设置为多段的支撑顶的间距，所以能够容易地求出与该支撑顶的段数相对应的高度。

这样的教学操作，对于拾取器A2也同样进行，而且，对于其它的导入端口18A、18C，对于两个拾取器A1、A2也同样进行。另外，顺便提一下，在目前的教学方法中，在将拾取器A1自动前进到图7A所示的第一干涉注意位置之后，通过手动操作到图7E所示的拾取器A1之前，每次对拾取器A1仅移动少许。

所以，在本发明方法中，由于仅在拾取器等与其它部件存在发生干涉可能性的干涉注意位置将拾取器临时停止，且每一次临时停止时，根据需要通过手动操作调整移动拾取器，进而在到下一个干涉注意位置之前，又自动地移动拾取器，所以，缩短了拾取器沿整个搬运路径移动的时间，并可以短时间且迅速地进行该处的教学操作。

第二实施方式

在上述第一实施方式中，虽然以例子对导入端口进行教学操作的情况为例进行有说明，但在第二实施方式中，以例子对导向器进行教学操作的情况进行说明。

图9A～9D是表示对本发明的第二实施方式的导向器器进行教学操作时的一例的图。另外，在该图9A～9D中，一并记录有部分平面图。这里，也对第一搬运机构22的拾取器A1进行教学操作的情况进行说明。此外，虽然在每次拾取器A1停止于干涉注意位置时，都在显示部显示用于对操作者唤起注意干涉的信息，但对于这一点的记述予以省略。

首先，与第一实施方式同样，基于处理系统2的设计尺寸等求出对于导向器26的干涉注意位置及临时移动目标位置，进而将其存储于控制装置40。在图示例中，图9A及9B表示干涉注意位置，图9C表示临时移动目标位置。

首先，如果在第一搬运机构22位于基准位置50(参照图2)的状态下，按下进行按钮44A(参照图6)，进而输入移动指令，则第一搬运机构22自动地驱动，如图9A所示，上述拾取器A1临时停止于第一干涉注意位置。该第一干涉注意位置是，在安装有导向器26的导入侧搬运室10的壁面10A和拾取器A1的前端之间的水平距离Y1在处理系统的设计尺寸上例如约为1cm的位置。这是为了导向器26的开口部的高度小至3.6cm，以及为了防止拾取器A1的前端与壁面10A发生冲突。在该第一干涉注意位置，操作者在必要的情况下通过手动操作进行拾取器A1高度方向的调整移动，从而能够使拾取器A1无干涉地进入导向器26。

其次，如果操作者按下进行按钮，输入移动指令，则拾取器A1自动地向水平方向行进，如图9B所示，自动停止在第二干涉注意位置。该第二干涉注意位置是，旋转台28的周边部和拾取器A1之间的水平距离Y2在处理系统的设计尺寸中约为例如1cm的位置。在该第二干涉注意位置，通过操作者在必要的情况下以手动操作进行拾取器A1水平方向的位置调整，从平面来看，在进一步行进拾取器A1的情况下，以在该拾取器A1之间充分地纳入旋转台28的方式设定。换言之，以手动操作进行位置调整，使得在进一步行进拾取器A1时，其不与旋转台28发生干涉。

在此，如果操作者按下进行按钮，输入移动指令，则拾取器A1自动地向水平方向行进，如图9C所示，到达临时移动目标位置。

而且，操作者在必要的情况下，通过手动操作将拾取器A1调整移动到适当的位置，如图9D所示，使其位于移动目标位置，进而通过按下存储按钮44B(参照图6)，将此时的位置坐标数据存储于控制装置40。在这种情况下，在按下存储按钮44B之前，例如图9D的平面图所示，在拾取器A1上装载透明的位置重合用基板W，并确认上述旋转台28位于其大致中心部。

在图9D所示的情况下，由于在临时移动目标位置(图9C)，拾取器A1已位于旋转台28的下方，所以通过手动将该拾取器A1向上方调整移动，然后，使用位置重合用基板W，从而表示有如上所述的适当的位置重合的状态。

在该第二实施方式的情况下，由于也仅在拾取器等有与其它部件发生干涉可能性的干涉注意位置，将拾取器临时停止，并且每一次临时停止时，根据需要以手动操作调整移动拾取器，从而，在到下一个干涉注意位置之前，在次自动地移动拾取器，所以，缩短拾取器沿整个搬运路径移动的时间，并且可以短时间且迅速地仅进行该部分的教学操作。

第三实施方式

接下来，作为第三实施方式，说明有对负载锁定室进行教学操作的情况。

行教学操作时的一例的图。

这里，作为一例，说明有对两个负载锁定室8A、8B内一个负载锁定室8A教学操作拾取器A1的情况。这里，在负载锁定室8A的装载台38A上预先装载位置重合用基板W。而且，从处理系统的设计尺寸等，预先求出如图10A～10D的四个干涉注意位置，图10E表示临时移动目标位置。另外，由于与显示部有关的显示内容与前面所述的情况相同，所以在这里对其说明予以省略。

首先，如果在第一搬运机构22位于基准位置50(参照图2)的状态下，按下进行按钮44A(参照图6)，输入移动指令，则第一搬运机构22自动地驱动，如图10A所示，进而该拾取器A1临时停止于第一干涉注意位置。该第一干涉注意位置是，安装有负载锁定室8A的导入侧搬运室10的壁面10B和拾取器A1的前端之间的水平距离Z1在处理系统的设计尺寸上约为例如1cm的位置。这是为了负载锁定室8A的开口部的高度小至约4.9cm，还为了防止拾取器A1的前端与壁面10B发生冲突。在该第一干涉注意位置，操作者在必要的情况下通过手动操作，进行拾取器A1高度方向的调整移动等，使得拾取器A1无干涉地进入负载锁定室8A。

其次，如果操作者按下进行按钮，输入移动指令，则拾取器A1自动地向水平方向行进，如图10B所示，临时停止在第二干涉注意位置。该第二干涉注意位置是，装载台38A上的位置重合用基板W的周边部和拾取器A1之间的水平距离Z2在处理系统的设计尺寸中例如约为1cm的位置。在该第二干涉注意位置，通过操作者在必要的情况下，以手动操作进行拾取器A1的高度方向和水平方向的位置调整，在再次行进拾取器A1的情况下，在该拾取器A1之间装载台38A已充分地纳入的方式设定。换言之，在再次行进拾取器A1时，通过手动操作，以其不与载置台38A及位置重合用基板W发生干涉的方式进行位置调整。

再次，如果操作者按下进行按钮，输入移动指令，则拾取器A1自动地向水平方向少许行进，如图10C所示，自动停止在第三干涉注意位置。该第三干涉注意位置是，位置重合用基板W的周边部和拾取器A1前端的上下方向上重合部分的水平距离Z3在处理系统的设计尺寸中约为5cm的位置。这里，将拾取器A1临时停止的理由在于，在一但二者发生干涉的情况下，能够将破损等损害减到最小。这里，根据需要，通过手动操作进行位置调整，使得在拾取器A1在下次行进中不与其它部件发生干涉。

再次，如果操作者按下进行按钮，输入移动指令，则拾取器A1自动地向水平方向行进少许，如图10D所示，自动停止在第四干涉注意位置。该第四干涉注意位置是，开放的闸门阀G的上端和拾取器A1的基端之间的水平距离Z4在处理系统设计尺寸上约为1mm的位置。这里，临时停止拾取器A1的理由在于，为了使拾取器避免与开放的闸门阀G发生冲突。这里，根据需要，通过手动操作进行位置调整，使得拾取器在下次行进中不与其它部件发生干涉。

其次，如果操作者按下进行按钮，输入移动指令，则拾取器A1又向水平方向自动行进，如图10E所示，到达临时移动目标位置。

此外，操作者在必要的情况下，通过手动操作将拾取器A1调整移动到适当的位置，将其位于移动目标位置，从而通过按下存储按钮44B(参照图6)，将此时的位置坐标数据存储于控制装置40。在这种情况下，在按下存储按钮44B之前，对装载于装载台38A上的例如透明的位置重合用基板W进行确认，使得拾取器A1在适当的位置。

在该第三实施方式的情况下，由于也是仅在拾取器等有与其它部件发生干涉的可能性的干涉注意位置，临时停止拾取器，并且在每一次临时停止时，如果需要，就通过手动操作调整移动拾取器，从而到在下一个干涉注意位置之前，又自动地移动拾取器，所以，缩短拾取器沿整个搬运路径移动的时间，并且里缩短公然地，短时间且迅速地进行该部分的教学操作。

另外，有关各拾取器A1、A2，当然也分别对各载荷锁定室8A、8B分别进行上述教学操作。

在上述各实施方式中，虽然对第一搬运机构22的教学方法进行的说明，但是，即使与共通搬运室6内的第二搬运机构14的两个拾取器B1、B2有关，也对各处理室4A～4D及各载荷锁定室8A、8B，以与上述方法相同的方法来进行。

此外，实际上在进行了上述教学方法之后，将设置于确定的各移动目标位置上的位置重合用基板W完全自动地搬运至导向器26，并基于此时的位置重合用基板W的位置微小偏差量，还对上述移动目标位置的坐标数据进行补正。

另外，这里所说明的处理系统2的结构机或各搬运机构14、22的构成只不过仅在此表示有一例，而对于在大气氛围以及真空氛围中所设置的全部搬运机构，本发明的教学方法当然也可以适用。

此外，这里作为被处理体是以半导体晶片为例进行说明，但并不限于此，在玻璃基板、LCD基板等情况下，当然都可以使用本发明的方法。

如以上的说明所述，根据本发明的教学方法及处理系统，可以发挥如下的优异作用效果。

根据本发明，由于仅在搬运机构有与其它部件发生干涉可能的位置，临时停止搬运机构，进而如果需要，就近行位置调整，并且在搬运机构与其它部件不会发生干涉的位置，使搬运机构自动且积极地移动，所以，可以作为整体地，大幅地削减在教学操作所需要的时间。

此外，根据本发明，由于在显示部显示用于唤起注意干涉的信息，所以，操作者通过读取该信息，可以跟可靠地防止与搬运机构有关的同其他部件的干涉。

Claims (9)

1.一种教学方法，将具有搬运机构的处理系统中所述搬运机构的移动目标位置存储于控制装置，所述搬运机构通过拾取器保持并搬运被处理体，其特征在于，

其具备：

在移动至临时目标位置的移动路径的途中，在所述搬运机构与其它部件有干涉危险的干涉注意位置，为了确认与其它部件不发生干涉，将所述搬运机构临时停止的临时停止工序；

通过移动指令的输入，将临时停止的所述搬运机构再次开始移动的移动再开工序；

重复进行所述临时停止工序和移动再开工序的重复工序；

在所述拾取器到达所述临时移动目标位置时，调整移动所述拾取器的位置，或者不进行调整移动，并将该位置作为移动目标位置存储于所述存储装置的存储工序。

2.如权利要求1所述的教学方法，其特征在于，

在所述临时停止的搬运机构有与其它的部件发生干涉的危险时，将所述搬运机构调整移动到没有与其它部件发生干涉危险的位置。

3.如权利要求1或2所述的教学方法，其特征在于，

所述干涉注意位置是基于所述处理系统的设计尺寸，所述控制装置预先计算求得的。

4.如权利要求1～3的任意一项所述的教学方法，其特征在于，

在每次所述搬运机构的临时停止时，所述控制装置在显示部显示用于对操作员提醒注意干涉的信息。

5.如权利要求1～4的任意一项所述的教学方法，其特征在于，

所述搬运机构具有能够弯曲及旋转的多关节臂。

6.如权利要求1～5的任意一项所述的教学方法，其特征在于，

所述目标位置是将所述被处理体装入处理系统内的导入板内的预定位置。

7.一种处理系统，其特征在于，

处理该系统具有：

对被处理体实施预定处理的处理室；

用于导入被处理体的导入板；

进行被处理体定位的导向器；

具有保持被处理体的拾取器，并且搬运被处理体的搬运机构；

控制所述搬运机构的动作的控制装置，

所述控制装置被构成为可以实施如下工序，

在移动至临时目标位置的移动路径途中，在所述搬运机构与其它部件有干涉危险的干涉注意位置，为了确认与其它部件不发生干涉，将所述搬运机构临时停止的临时停止工序；

通过移动指令的输入，使临时停止的所述搬运机构再次开始移动的移动再开工序；

重复进行所述临时停止工序和移动再开工序的重复工序；

在所述拾取器到达所述临时移动目标位置时，调整所述拾取器的位置，或者不进行调整移动，而将该位置作为移动目标位置存储于所述存储装置的存储工序。

8.如权利要求7所述的处理系统，其特征在于，

所述控制装置基于所述处理系统的设计尺寸，预先计算求得所述干涉注意位置。

9.如权利要求7或8所述的处理系统，其特征在于，

所述控制装置与所述显示部连接，并且所述控制装置在每次所述搬运机构的临时停止时，在显示部显示用于对操作员提醒注意干涉的信息。

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