KR20140047030A - 드라이아이스 스노우 분사 장치 - Google Patents

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Abstract

탄산 가스의 소비 로스를 억제하면서 드라이아이스 스노우를 폭 넓게 분사하여 효율적인 세정을 실현하는 드라이아이스 스노우 분사 장치를 제공한다. 드라이아이스 스노우를 생성하기 위한 탄산가스 공급원과, 드라이아이스 스노우를 추진시키기 위한 정류 가스를 공급하기 위한 정류 가스 공급원과, 드라이아이스 스노우 분사구(1)와, 상기 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하여 경사져서 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3)를 구비함으로써, 분사된 드라이아이스 스노우를 정류 가스의 작용으로 편평하게 하기 때문에, 종래와 같은 드라이아이스 스노우가 노즐 내면에 닿는 것에 의한 로스나 파티클의 발생이 없어, 탄산 가스의 로스나 세정 불량과 같은 사태의 발생을 방지할 수 있다. 이와 같이, 탄산 가스의 소비 로스를 억제하면서 효율적이고 품질이 양호한 세정을 실현할 수 있다.

Description

드라이아이스 스노우 분사 장치{DEVICE FOR SPRAYING DRY ICE SNOW}
본 발명은 폭이 넓은 분사 대상에 대해 효율적으로 드라이아이스 스노우를 분사할 수 있는 드라이아이스 스노우 분사 장치에 관한 것이다.
종래부터, 액화 탄산 가스를 오리피스나 니들 밸브 등의 조임 기구로 단열 팽창시킴으로써, 생성된 미세한 드라이아이스를 가는 관 내에서 응축시키면서 유스 포인트로 분사하여 피세정물을 세정하는 것이 행해지고 있다. 이러한 드라이아이스 스노우 세정은 원료 가스로서 고순도의 액화 탄산 가스가 사용되기 때문에 일렉트로닉스 분야에서 사용이 가능해진다.
이러한 드라이아이스 스노우 세정에 있어서, 폭이 넓은 피세정물을 세정하기 위해서, 피세정물에 맞춰서 드라이아이스 스노우를 폭 넓게 분사하는 것이 검토되고 있다(예를 들면, 하기의 특허문헌 1 내지 3).
특허문헌 1은 분사 노즐의 선단을 편평 형상으로 하고, 분출구를 향하여 넓어지는 테이퍼 형상으로 하는 동시에, 편평 형상의 노즐 선단에, 분출구부의 단변부에 사이드 슬릿의 노치부를 형성하는 것을 행하는 것이다.
특허문헌 2는 특허문헌 1과 같이, 개구부 형상을 편평상으로 한 중공의 제어 커버를 설치하고, 개구부의 길이 방향의 양측부에 선단측으로 개구한 노치부를 형성하는 것이다.
특허문헌 3은 분사 노즐을 복수 나열하여 연결하는 것을 개시하고 있다.
일본 공개특허공보 제2001-179634호 일본 공개특허공보 제2001-340816호 일본 공개특허공보 제2004-322007호
그러나, 상기 특허문헌 1, 2의 분사 노즐에서는, 드라이아이스 스노우를 분사하면, 드라이아이스 스노우의 일부가 노즐 내면에 닿아, 드라이아이스 스노우가 승화하는 것에 의한 로스가 발생한다고 하는 문제가 있다. 드라이아이스에 로스가 발생하면, 탄산 가스의 소비량에 대한 세정 효율이 저하되어, 탄산 가스를 불필요하게 소비해 버린다고 하는 문제가 있다. 또한, 드라이아이스 스노우의 일부가 노즐에 충돌함으로써 파티클이 발생하고, 이 파티클이 드라이아이스 스노우에 혼합되어 분사되기 때문에, 양호한 세정을 실현할 수 없다고 하는 문제도 있다. 한편, 특허문헌 3의 방법에서는, 폭이 넓은 피세정물을 단시간에 세정할 수 있을지도 모르지만, 분사 노즐의 수를 증가시킨 분만큼 탄산 가스의 소비량이 증가하여, 탄산 가스의 소비량에 대한 세정 효율이 좋지 않다고 하는 문제가 있다. 또한, 표준적인 2중관 구조의 노즐을 사용한 장치에서는, 세정 폭이 2 내지 10mm 정도로, 폭이 넓은 피세정물에 대한 효율적인 세정이 곤란하다.
본 발명은 상기와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 탄산 가스의 소비 로스를 억제하면서 드라이아이스 스노우를 폭 넓게 분사하여 효율적인 분사를 실현하는 드라이아이스 스노우 분사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 드라이아이스 스노우 분사 장치는 드라이아이스 스노우를 생성하기 위한 탄산 가스 공급원과, 드라이아이스 스노우를 추진시키기 위한 정류 가스를 공급하기 위한 정류 가스 공급원과, 상기 탄산 가스원과 연통하여 드라이아이스 스노우를 분사하는 드라이아이스 스노우 분사구와, 상기 정류 가스 공급원과 연통하는 동시에, 상기 드라이아이스 스노우 분사구를 사이에 개재하여 경사져서 대치하는 제 1 정류 가스 분출구를 구비하고 있는 것을 요지로 한다.
즉, 본 발명은 드라이아이스 스노우 분사구와, 상기 드라이아이스 스노우 분사구를 사이에 개재하여 경사져서 대치하는 제 1 정류 가스 분출구를 구비하고 있다.
이로 인해, 드라이아이스 스노우 분사구로부터 분사된 드라이아이스 스노우는 대치하는 제 1 정류 가스 분출구로부터 분출된 정류 가스의 작용에 의해 편평하게 넓어져 피세정물에 충돌한다. 이와 같이, 분사된 드라이아이스 스노우를 정류 가스의 작용으로 편평하게 하기 때문에, 종래와 같은 드라이아이스 스노우가 노즐 내면에 닿는 것에 의한 로스나 파티클의 발생이 없어, 탄산 가스의 로스나 세정 불량과 같은 사태의 발생을 방지할 수 있다. 이와 같이, 탄산 가스의 소비 로스를 억제하면서 효율적이고 품질이 양호한 세정을 실현할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 드라이아이스 스노우 분사구가 대치하는 제 1 정류 가스 분출구로부터 분출되는 정류 가스의 합류점 또는 합류점보다 상류측에 배치되어 있는 경우에는, 드라이아이스 스노우는 폭 넓고 균일하게 분사된다. 즉, 드라이아이스 스노우는 고체가 섞여 있기 때문에, 분사 방향은 분사 직후의 분사류 방향에 크게 의존하는 바, 상기 구성에 의해, 드라이아이스 스노우 분사구로부터 분사된 직후의 드라이아이스의 분사 방향이 대치하는 제 1 정류 가스 분출구로부터 분출된 정류 가스가 합류하여 형성하는 가스류에 따르게 되어, 드라이아이스 스노우는 폭 넓고 균일하게 분사된다. 이와 같이, 드라이아이스 스노우는 드라이아이스 스노우 분사구로부터 분사되었을 때 또는 그 후에, 대치하는 제 1 정류 가스 분출구로부터 분출된 정류 가스의 작용에 의해 편평하게 넓어진다. 이로 인해, 드라이아이스 스노우를 효과적으로 편평화시킬 수 있어, 작은 정류 가스의 분출 압력으로 보다 폭이 넓은 피세정물에 대응한 세정이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 상기 드라이아이스 스노우 분사구의 주위에는 드라이아이스 스노우 분사구가 막히는 것을 방지하기 위한 정류 가스를 분출하는 제 2 정류 가스 분출구가 환상으로 형성되고, 드라이아이스 스노우 분사구가 상기 제 2 정류 가스 분출구보다도 돌출되어 배치되어 있는 경우에는, 드라이아이스 스노우 분사구나 유통로에서의 드라이아이스 스노우의 막힘을 억제하여, 드라이아이스 스노우를 안정적으로 계속 분사시켜 세정 트러블의 발생을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 제 1 정류 가스 분출구로부터 분출된 정류 가스의 합류점 근방의 가스류가, 제 2 정류 가스 분출구 자체 또는 거기에서 분출된 정류 가스에 의해, 제 1 정류 가스 분출구로부터 분출된 정류 가스가 흐트러지는 것을 방지할 수 있다. 특히, 드라이아이스 스노우 분사구를 사이에 개재하여 대치하는 제 1 정류 가스 분출구의 경사가 완만한 경우에는, 제 2 정류 가스 분출구 자체 또는 거기에서 분출된 정류 가스에 의해 제 1 정류 가스 분출구로부터 분출된 정류 가스가 보다 현저하게 흐트러지는 것을 방지한다. 또한, 제 2 정류 가스 분출구를 돌출시켰을 때에는, 드라이아이스 스노우 분사구를 사이에 개재하여 경사져서 대치하는 제 1 정류 가스 분출구 사이를 넓게 할 필요가 있고, 제 1 정류 가스 분출구와 합류점까지의 거리가 멀어져 버려 정류 가스의 유속이 떨어져 폭 넓고 균일한 드라이아이스 스노우에 대한 영향을 피할 수 없다. 이와 같이, 드라이아이스 스노우 분사구를 제 2 정류 가스 분출구보다도 돌출시켜 합류점 근방에 배치함으로써, 가스류의 장해가 되지 않도록 하는 것이 가능해져 폭 넓고 균일한 드라이아이스 스노우의 분사가 가능해진다.
도 1은 본 발명의 드라이아이스 스노우 분사 노즐의 일 실시형태를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 드라이아이스 스노우 분사 노즐을 분사구측에서 본 도면이다.
도 3은 세정 시험에 있어서의 치수 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 세정 시험의 결과를 도시하는 선도이다.
다음에, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.
본 실시형태의 드라이아이스 스노우 분사 장치는 드라이아이스 스노우를 생성하기 위한 도시하지 않는 탄산 가스 공급원과, 드라이아이스 스노우를 추진시키기 위한 정류 가스를 공급하기 위한 도시하지 않는 정류 가스 공급원과, 상기 탄산 가스 공급원 및 정류 가스 공급원과 연통하여 드라이아이스 스노우를 분사하는 드라이아이스 스노우 분사 노즐을 구비하여 구성되어 있다.
상기 탄산 가스 공급원은 구체적으로는 액화 탄산 가스 봄베 등을 사용할 수 있다. 상기 정류 가스로서는 예를 들면 질소 가스를 사용할 수 있고, 정류 가스 공급원으로서는 액화 질소 탱크를 사용할 수 있다.
도 1은 본 발명이 적용된 드라이아이스 스노우 분사 노즐의 일 실시형태를 도시하는 단면도, 도 2는 분사구측에서 본 도면이다.
이 드라이아이스 스노우 분사 노즐은 대략 원통상을 나타내고 있고, 선단 중앙에 상기 탄산 가스원과 연통하여 드라이아이스 스노우를 분사하는 드라이아이스 스노우 분사구(1)가 개구하고 있다. 또한, 상기 정류 가스 공급원과 연통하는 동시에, 상기 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하여 경사져서 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3)가 형성되어 있다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 드라이아이스 스노우 분사 노즐은 노즐 본체(6)와 드라이아이스 스노우 유통관(5)을 구비하여 구성되어 있다. 상기 드라이아이스 스노우 유통관(5)은 구체적으로는 수지 튜브나 스테인리스 튜브를 사용할 수 있다.
상기 드라이아이스 스노우 분사구(1)는 드라이아이스 스노우가 유통하는 드라이아이스 스노우 유통관(5)의 선단 개구로서 형성되어 있다. 상기 드라이아이스 스노우 유통관(5)은 중공이며 통 형상인 노즐 본체(6)의 내부 통로(8)에 동축상으로 삽통되어 배치되어 있다. 이것에 의해, 드라이아이스 스노우 유통관(5)이 삽통된 노즐 본체(6)의 내부 통로(8)는 제 2 정류 가스(15)가 유통하는 제 2 유통로(12)에 형성되어 있다. 또한, 상기 드라이아이스 스노우 분사구(1)의 주위에는 드라이아이스 스노우 분사구(1)가 막히는 것을 방지하기 위한 정류 가스를 분출하는 제 2 정류 가스 분출구(4)가 환상으로 형성된다. 드라이아이스 스노우 분사구(1)가 막히는 것을 보다 방지하기 위해서, 또는 노즐의 결로를 방지하기 위해서, 이 제 2 정류 가스를 도시하지 않는 가스 히터 등의 가온 수단에 의해 가온해도 좋다.
또한, 상기 노즐 본체(6)의 내부 통로(8)는, 이 예에서는, 선단의 개구 직경이 작아지도록 설정되어 있고, 상기 제 2 정류 가스 분출구(4) 부근에서 정류 가스가 유통하는 면적을 좁혀 정류 가스의 유속을 빠르게 하도록 되어 있다. 또한, 내부 통로(8)의 선단 개구 직경을 작게 좁히지 않아도 된다. 또한, 드라이아이스 스노우 유통관(5)은 노즐 본체(6)의 선단면 즉 제 2 정류 가스 분출구(4)의 개구부보다도 선단측으로 돌출되어 있다. 이것에 의해, 드라이아이스 스노우 분사구(1)가 상기 제 2 정류 가스 분출구(4)보다도 돌출되어 배치되어 있다.
상기 노즐 본체(6)에는 제 1 정류 가스를 유통시키는 제 1 유통로(11)가 형성된다. 상기 노즐 본체(6)의 선단면에는 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하는 위치에 2개의 돌출부(13)가 형성되고, 양 돌출부(13)의 내측면이 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 향하면서 분사 방향을 향하여 넓어지는 경사면(14)에 형성되어 있다. 이 경사면(14)에 제 1 유통로(11)에 연통하는 제 1 정류 가스 분출구(3)가 개구하고 있다. 이것에 의해, 제 1 정류 가스 분출구(3)는, 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하여, 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 향하는 동시에 분사 방향으로도 향하도록 경사져서 대치하고 있다. 상기 제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출되는 정류 가스는 드라이아이스 스노우 분사구(1) 및 분사 방향을 향하여 비스듬하게 분출된다. 피세정물이 차가워지는 것에 의한 결로를 방지하기 위해서, 이 제 1 정류 가스를 도시하지 않는 가스 히터 등의 가온 수단에 의해 가온해도 좋다.
상기 경사면(14)이 드라이아이스 스노우의 분출 방향과 이루는 각도(θ)는 20°≤0≤45°정도가 바람직하다. 또한, 제 1 정류 가스 분출구(3)의 형상으로서는 바람직하게는 긴 구멍 형상 또는 원형상이 양호하다.
그리고, 상기한 바와 같이, 드라이아이스 스노우 유통관(5)이 노즐 본체(6)의 선단면보다도 돌출되어 있음으로써, 드라이아이스 스노우 분사구(1)는 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출되는 정류 가스의 합류점 또는 합류점보다 상류측에 배치되어 있다.
본 실시형태의 드라이아이스 스노우 분사 노즐은 드라이아이스 스노우 분사구(1)와, 상기 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하여 경사져서 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3)를 구비하고 있다.
이로 인해, 드라이아이스 스노우 분사구(1)로부터 분사된 드라이아이스 스노우는 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출된 정류 가스의 작용에 의해 편평하게 넓어져, 피세정물에 충돌한다. 이와 같이, 분사된 드라이아이스 스노우를 정류 가스의 작용으로 편평하게 하기 위해서, 종래와 같은 드라이아이스 스노우가 노즐 내면에 닿는 것에 의한 로스나 파티칼의 발생이 없어, 탄산 가스의 로스나 세정 불량과 같은 사태의 발생을 방지할 수 있다. 이와 같이, 탄산 가스의 소비 로스를 억제하면서 효율적이고 품질이 양호한 세정을 실현할 수 있다.
또한, 상기 드라이아이스 스노우 분사구(1)가 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출되는 정류 가스의 합류점 또는 합류점보다 상류측에 배치되어 있기 때문에,
드라이아이스 스노우는 폭 넓고 균일하게 분사된다. 즉, 드라이아이스 스노우는 고체가 섞여 있기 때문에, 분사 방향은 분사 직후의 분사류 방향에 크게 의존하는 바, 상기 구성에 의해, 드라이아이스 스노우 분사구(1)로부터 분사된 직후의 드라이아이스의 분사 방향이 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(1)로부터 분출된 정류 가스가 합류하여 형성하는 가스류에 따르게 되어, 드라이아이스 스노우는 폭 넓고 균일하게 분사된다. 이와 같이, 드라이아이스 스노우는 드라이아이스 스노우 분사구(1)로부터 분사되었을 때 또는 그 후에, 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출된 정류 가스의 작용에 의해 편평하게 넓어진다. 이로 인해, 드라이아이스 스노우를 효과적으로 편평화시킬 수 있어, 작은 정류 가스의 분출 압력으로 보다 폭이 넓은 피세정물에 대응한 세정이 가능해진다.
또한, 상기 드라이아이스 스노우 분사구(1)의 주위에는 드라이아이스 스노우 분사구(1)가 막히는 것을 방지하기 위한 정류 가스를 분출하는 제 2 정류 가스 분출구(4)가 환상으로 형성되고, 드라이아이스 스노우 분사구(1)가 상기 제 2 정류 가스 분출구(4)보다도 돌출되어 배치되어 있기 때문에, 드라이아이스 스노우 분사구(1)나 유통로에서의 드라이아이스 스노우의 막힘을 억제하여, 드라이아이스 스노우를 안정적으로 계속 분사시켜, 세정 트러블의 발생을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출된 정류 가스의 합류점 근방의 가스류가, 제 2 정류 가스 분출구(4) 자체 또는 거기에서 분출된 정류 가스에 의해, 제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출된 정류 가스가 흐트러지는 것을 방지할 수 있다.
특히, 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하여 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3)의 경사가 완만한 경우에는, 제 2 정류 가스 분출구(4) 자체 또는 거기에서 분출된 정류 가스에 의해 제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출된 정류 가스가 보다 현저하게 흐트러지는 것을 방지한다. 또한, 제 2 정류 가스 분출구(4)를 돌출시켰을 때에는, 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하여 경사져서 대치하는 제 1 정류 가스 분출구(3) 사이를 넓게 할 필요가 있어, 제 1 정류 가스 분출구(3)와 합류점까지의 거리가 멀어져 버려 정류 가스의 유속이 떨어져 폭 넓고 균일한 드라이아이스 스노우에 대한 영향을 피할 수 없다. 이와 같이, 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 제 2 정류 가스 분출구(4)보다도 돌출시켜 합류점 근방에 배치함으로써, 가스류의 장해가 되지 않도록 하는 것이 가능해지고, 폭 넓고 균일한 드라이아이스 스노우의 분사가 가능해진다.
또한, 본 실시형태에서는, 탄산 가스 소비량이 1 내지 5kg/h가 되어, 효과적으로 폭 넓게 드라이아이스 스노우 분사가 가능해진다.
실시예 1
상기 실시형태에서 설명한 드라이아이스 스노우 분사 노즐을 사용하여 세정 시험을 행하였다.
세정 대상물로서 유리 기판을 준비하고, 유성 펜으로 부착시킨 잉크를 드라이아이스 스노우 세정으로 제거하고, 제거된 세정 폭을 측정하였다.
·시험 조건
제 1 정류 가스 분출구의 경사면 각도(θ): 25°
제 1 정류 가스 분출구의 형상 : φ 1.6mm 긴 구멍 구조
드라이아이스 스노우 유통관 외경 : φ1.6mm
제 2 정류 가스 분출구의 내경 : φ2.8mm
정류 가스 공급 압력 : 0.45MPaG
액화 탄산 가스 공급 압력 : 7.0MPaG
세정 시간 : 120초
도 3은 세정 시험에 있어서의 치수 관계를 설명하는 도면이다.
제 1 정류 가스 분출구(3)가 형성된 경사면(14)과 분사 방향(이 예에서는 노즐의 길이 방향이기도 하다)이 이루는 각도(θ)를 25°로 하였다.
제 2 정류 가스 분출구(4)로부터 피세정물까지의 거리를 25mm으로 하였다.
제 2 정류 가스 분출구(4)는 거리(X)=-3.5mm으로 고정시켰다.
이 세정 시험에서는, 액화 탄산 가스를 4.5kg/h로 공급하였다.
제 1 정류 가스 분출구(3)로부터 분출시킨 제 1 정류 가스의 합류점과 드라이아이스 스노우 분사구(1)의 거리(X)(mm)를 변화시켜 실제로 드라이아이스 스노우 세정을 실시하고, 그 때의 세정 폭(mm)을 측정하였다. 상기 거리(X)는 -X에서 합류점보다 상류, +X에서 합류점보다 하류이다.
도 4는 상기 세정 시험의 결과를 도시하는 선도이다.
도 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 거리(X)의 범위는 -2.5mm≤X≤0mm이 좋고, 더욱 바람직하게는 -2.0mm≤X≤-0.5mm이었다.
실시예 2
실시예 1에서 실시한 드라이아이스 스노우 분사 노즐의 제 2 정류 가스 분출구(4)를 드라이아이스 스노우 유통관(5)과 함께 돌출시켜 세정 시험을 실시하였다.
제 2 정류 가스 분출구(4)와 드라이아이스 스노우 분사구(1)의 위치는 X=0mm으로 고정시켰다. 또한, 제 2 정류 가스 분출구(4)로부터 피세정물까지의 거리를 21.5mm으로 하였다.
실시예 1과 같이, 세정 대상물로서 유리 기판을 준비하고, 유성 펜으로 부착시킨 잉크를 드라이아이스 스노우 세정으로 제거하고, 제거된 세정 폭을 측정하였다.
·시험 조건
제 1 정류 가스 분출구의 경사면 각도(θ): 25°
제 1 정류 가스 분출구의 형상 : φ1.6mm 긴 구멍 구조
드라이아이스 스노우 유통관 외경 : φ1.6mm
제 2 정류 가스 분출구의 내경 : φ2.8mm
제 2 정류 가스 분출구의 외경 : φ4.0mm
정류 가스 공급 압력 : 0.45MPaG
액화 탄산 가스 공급 압력 : 7.0MPaG
세정 시간 : 120초
상기 세정 시험을 행한 결과, 세정 폭은 15mm이었다.
실시예 1에서는, 제 2 정류 가스 분출구를 거리(X)=-3.5mm로 고정하고, 드라이아이스 스노우 분출구(1)가 X=0mm이면, 드라이아이스 스노우 분사구(1)가 제 2 정류 가스 분출구(4)보다도 돌출된 상태이다. 이 때의 세정 폭이 47mm이었다.
실시예 2에서는 제 2 정류 가스 분출구(4)를 드라이아이스 스노우 유통관(5)과 함께 돌출시켰기 때문에, 드라이아이스 스노우 분사구(1)는 제 2 정류 가스 분출구(4)보다도 돌출되어 있지 않은 상태이다. 이 때의 세정 폭이 15mm이었다.
이와 같이, 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 제 2 정류 가스 분출구(4)보다도 돌출시킨 편이 드라이아이스 스노우가 보다 폭 넓게 분사되어 있는 것을 알 수 있다. 드라이아이스 스노우 유통관(5), 제 2 정류 가스 분출구(4)의 구경이 커진 경우, 제 1 정류 가스의 흐트러짐은 보다 커진다.
또한, 상기 실시형태에서는, 제 1 정류 가스 분출구(3)를, 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하여 각각 1개씩 형성하도록 했지만, 이것으로 한정하는 것이 아니며, 드라이아이스 스노우 분사구(1)를 사이에 개재하여 각각 복수개씩 형성하도록 할 수도 있다. 이 경우도, 상기 실시형태와 같은 작용 효과를 나타낸다.
본 발명이 대상으로 하는 것은, 예를 들면, 전자 기판, 전자 부품, 센서 소자, 플랫 패널 디스플레이 기판, 터치 패널, 반도체 기판, 반도체 소자, MEMS, 광학부품, 광학 필름 관련품, 인쇄 관련품, 자기 부품, 반도체 관련품, 금속 부품, 열교환기, 성형 금형, 유리, 식품 등 각종의 것을 들 수 있다. 본 발명에서는 이들 대상물에 부착된 이물, 파티클, 무기물, 유기물 등, 각종 오염물을 제거할 수 있다. 또한, 플라스틱 성형 부품에 생성된 버(burr) 등을 제거하는 것에도 적용할 수 있다. 이러한 형태를 본 발명의 세정에 포함시키는 취지이다.
1: 드라이아이스 스노우 분사구
3: 제 1 정류 가스 분출구
4: 제 2 정류 가스 분출구
5: 드라이아이스 스노우 유통관
6: 노즐 본체
8: 내부 통로
11: 제 1 유통로
12: 제 2 유통로
13: 돌출부
14: 경사면

Claims (3)

  1. 드라이아이스 스노우를 생성하기 위한 탄산 가스 공급원과, 드라이아이스 스노우를 추진시키기 위한 정류 가스를 공급하기 위한 정류 가스 공급원과, 상기 탄산 가스원과 연통하여 드라이아이스 스노우를 분사하는 드라이아이스 스노우 분사구와, 상기 정류 가스 공급원과 연통하는 동시에, 상기 드라이아이스 스노우 분사구를 사이에 개재하여 경사져서 대치하는 제 1 정류 가스 분출구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 드라이아이스 스노우 분사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 드라이아이스 스노우 분사구가 대치하는 제 1 정류 가스 분출구로부터 분출되는 정류 가스의 합류점 또는 합류점보다 상류측에 배치되어 있는 드라이아이스 스노우 분사 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 드라이아이스 스노우 분사구의 주위에는 드라이아이스 스노우 분출구가 막히는 것을 방지하기 위한 정류 가스를 분출하는 제 2 정류 가스 분출구가 환상으로 형성되고, 드라이아이스 스노우 분사구가 상기 제 2 정류 가스 분출구보다도 돌출되어 배치되어 있는 드라이아이스 스노우 분사 장치.
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