JP2001179634A - 洗浄用ドライアイススノー噴射装置とそれを使用した洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ドライアイススノーを広角の幅でかつ噴射密
度を適宜調整し得る洗浄用ドライアイススノー噴射装置
とそれを使用した洗浄方法の提供。 【解決手段】 液化炭酸ガス供給ラインと連設された管
５６と内管２を介して連結しているドライアイススノー
噴射ノズル７を中心にして、その外周面に沿って同軸
に、噴射ガス供給ラインと連設された管４８と外管４を
介して連結してなる先端に噴射ガス噴出口１３を設けた
外筒５を配設してなるとともに、ドライアイススノー噴
射ノズル７の流路が噴出口７ｂに向け拡径されたテーパ
形状９に形成され、かつ噴出口７ｂをサイドスリットの
切り欠き１１を有する偏平形状１０としたもので、噴射
ガスＧの流量や圧力を変化せしめることにより、ドライ
アイススノーＴ_Sの噴射形状や噴射密度を所望する状態
に調整して使用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ドライアイススノ
ーを噴射して被洗浄物を洗浄するためのドライアイスス
ノーを適切に噴射するよう特にドライアイススノ噴射ノ
ズルを改良したドライアイススノー噴射装置に関するも
のであり、そして、複写機のリサイクル部品、半導体ウ
エハー（エッチング時のバリ）、電気基板、ＭＲヘッド
（ディスク読み取り装置）、プラスチック成形のバリ及
び精密部品等に付着した有機物、酸、炭化水素、金属薄
膜、コネクター及びパーティクル等の除去するために有
効に活用し得る洗浄用ドライアイススノー噴射装置とそ
のドライアイススノー噴射装置を使用した洗浄方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ドライアイスを用いて鋼板のスケ
ール除去などの洗浄を行うためのドライアイスブラスト
用の噴射ガンについて、例えば実開平５−４９２５８号
公報の如き考案が提案されている。これは、噴射ガン内
部に微小オリフィスを配し、液化炭酸ガスがこの微小オ
リフィスを通過する時に生じる断熱膨張によりドライア
イススノーを発生させる系統と、噴射ガンの中を二重配
管構造とし、このドライアイススノ−を発生させる系統
とは別に噴射ガスを供給する噴射ガス系統を配して、こ
の噴射ガスの圧力により、前記ドライアイススノー発生
系統で発生したドライアイススノ−を加速制御して、ド
ライアイススノーを被洗浄面に吹き付ける構造としたも
のである。そして、この噴射ガンにおいては、噴射ガン
先端噴出口の形状を、被洗浄物の形状に合わせて形成せ
しめて使用することが開示されている。例えば広幅の被
洗浄物を洗浄する場合には、ガンの先端噴出口の形状を
幅広形状にすることが有効であることが開示されてい
る。

【０００３】しかし、このガンの先端噴出口形状を幅広
形状としても、ドライアイススノ−と同時に噴射される
噴射ガスの噴射は、若干広がるものの噴射ガスの広がり
には限度があり、特に噴射ガスの流量が少ないときに
は、その効果は殆どなく、洗浄幅が幅広にならず開口幅
とほぼ同等の幅でドライアイススノ−は噴出されてしま
うという問題を有していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の問題点や不都合を解決し、噴射ガスの圧力が低いと
きでも噴射せしめるドライアイススノ−に一定の噴射
幅、噴射高さを有して噴射することができる噴射ノズル
を備えたドライアイススノー噴射装置を提供することを
課題とし、常に広角のドライアイススノ−を噴出せしめ
ることができる噴射ガン（以下「噴射ノズル」と記
す。）を備えたドライアイススノー噴射装置を得ること
を目的とした。そして、被洗浄物の汚染の度合いに応
じ、噴射ノズルを交換することなく、一定噴射幅の中の
ドライアイススノ−密度を自由に変更することができる
ことができ、被洗浄物の汚染度に応じ、洗浄の速度を自
由に変更することができるドライアイススノー噴射装置
を得ることも更なる目的とした。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記した従来の問題点や
不都合を解消し、課題を解決するため、請求項１に係わ
る発明は、ドライアイススノ−を用いて被洗浄物を洗浄
するドライアイススノ−噴射装置であって、炭酸ガス源
と連設されてドライアイススノ−を噴射するドライアイ
ススノー噴射ノズルを中心に配し、その外周面に沿って
略同軸に、噴射ガス源と連設されてなる外筒を配してな
るとともに、該外筒の先端に噴射ガスを噴出する噴射ガ
ス噴出口が形成されてなることを特徴とする洗浄用ドラ
イアイススノ−噴射装置としたものである。請求項２に
係わる発明は、ドライアイススノー噴射ノズルは、先端
を偏平形状とした噴出口に向かって広がるテーパー形状
を有してなることを特徴とする請求項１記載の洗浄用ド
ライアイススノ−噴射装置としたものである。請求項３
に係わる発明は、偏平形状をしたドライアイススノー噴
射ノズルの先端噴出口部の短辺部にサイドスリットの切
り欠き部を設けてなることを特徴とする請求項２記載の
洗浄用ドライアイススノ−噴射装置としたものである。
請求項４に係わる発明は、偏平形状をしたドライアイス
スノー噴射ノズルの先端噴出口の長辺部の規制部が略矩
形状を有してなることを特徴とする請求項２又は請求項
３記載の洗浄用ドライアイススノ−噴射装置としたもの
である。請求項５に係わる発明は、噴射ガス噴出口の先
端形状は、細長形状であって、ドライアイススノー噴射
ノズルの先端噴出口に設けたサイドスリットの切り欠き
部を結んだ線と略平行であることを特徴とする請求項２
乃至４のいずれか１項記載の洗浄用ドライアイススノ−
噴射装置としたものである。

【０００６】請求項６に係わる発明は、ドライアイスス
ノー噴射ノズルから噴射するドライアイススノ−と、該
ドライアイススノー噴射ノズルの外周部に沿って配され
た噴射ガス噴出口から噴射される噴射ガスとによって被
洗浄物を洗浄する洗浄用ドライアイススノ−噴射装置を
用いて洗浄するにあたって、噴射ガスの流量または圧力
を変化調整せしめて、ドライアイススノ−噴射ノズルの
噴出口より噴出するドライアイススノーの噴射洗浄領域
範囲を変動調整することを特徴とするドライアイススノ
−を用いた洗浄方法としたものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下本発明の洗浄用ドライアイス
スノー噴射装置（以下「ドライアイススノー噴射装置」
という）の実施の形態について図面を参照して説明す
る。図１は本発明のドライアイススノー噴射装置の一例
を説明する断面図であり、図２は同じくドライアイスス
ノー噴射装置の正面図である。図１及び図２において、
本発明のドライアイススノー噴射装置１は、液化炭酸ガ
ス供給ラインの管５６と接続される内管２と、該内管２
の外周に沿ってこれを間隙３を保って囲繞して配され
た、噴射ガス供給ラインの管４８に接続される外管４が
配設されてなる外筒５とから構成され、内管２は外筒５
に囲繞されてこれらは略同軸の二重管となっている。

【０００８】内管２は、その一端が外筒５の一方の筒端
部面を貫通して、継ぎ手部材５９を介して前記した通り
液化炭酸ガス供給ラインの管５６に接続され、一方その
他端２ｂは外筒５内でスリーブ６を介して先端が外部に
延びて配設されるドライアイススノー噴射ノズル７に接
続されている。従って、内管２と外筒５とは略同軸の二
重管を形成しているが、それぞれスリーブ６で気密に閉
塞区画されているので、内管２内を流れる液化炭酸ガス
が外筒５内に流れる噴射ガスと混合することはない。

【０００９】ドライアイススノー噴射ノズル７における
液化炭酸ガス(ドライアイススノ−)の流路は、ドライア
イススノー噴射ノズル７と内管２との接続側近傍７ａに
口径が狭い絞り部８を有し、先端噴出口７ｂ側に向って
徐々に拡径するテーパー形状９をなしている。その上更
に、その先端噴出口７ｂは徐々に偏平形状１０を形成せ
しめてなり、そしてその偏平形状部１０の短辺部にサイ
ドスリットの切り欠き１１を有し、長辺部には規制部１
２を有していて、噴出口７ｂの正面は、略「＝」文字状の
開口形状をなしている。そして噴出口７ｂの、噴射ノズ
ルの長さ方向にサイドスリットの切り欠き１１で形成さ
れる二つの規制部１２は、矩形状の形状をなし、略平行
に形成されている。かくして、液化炭酸ガスＴ_Lがドラ
イアイススノー噴出ノズル７に導入されると、絞り部８
を通過する時、液化炭酸ガスＴ_Lは断熱膨張してドライ
アイススノ−Ｔ_Sを生成し、規制部１２とサイドスリッ
トの切り欠き部１１で形成されている先端噴出口７ｂか
らドライアイススノーＴ_Sが噴射される。

【００１０】一方、外筒５は、ドライアイススノ−噴射
ノズル７の外周面に沿って配した外筒５の先端面５ａに
は、噴射ガスＧを噴出するための噴射ガス噴出口１３が
設けられている。該噴射ガス噴出口１３の形状は、細長
形状となっている。そして噴射ガス噴出口１３は、前記
ドライアイススノー噴射ノズル７の先端噴出口７ｂに配
設したの２つのサイドスリット切り欠き部１１を結んだ
線と略平行に配置されており、好ましくはサイドスリッ
トの切り欠き部１１を結んだ線を中心にして、略線対称
にして少なくとも２個の噴射ガス噴出口１３を配置する
ことが望ましい。そして、噴射ガス噴出口１３の配置位
置は、サイドスリットの切り欠き部１１を結んだ線と略
平行の関係にあれば良く、噴射ガス噴出口１３を配設す
る数は特に限定されるものでなく、適用状態に応じて適
宜選択して設ければ良い。かくして、この様な構成とす
ることにより噴射ガスの噴出方向は、ドライアイススノ
ー噴射ノズル７内をより噴射されるドライアイススノ−
Ｔ_Sに対して略平行に流すことができる。

【００１１】なお、上記した実施の形態では、図１及び
図２の如くドライアイススノー噴射ノズル７の流路が噴
出側に向って徐々に広がっていくテーパー形状９とし、
その先端噴出口７ｂをサイドスリットの切り欠き１１を
設けた偏平形状１０としたが、本発明のドライアイスス
ノー噴射ノズル７はこれに限定されるものでなく、図１
に示した形状のほかに図３に示す第２の実施の形態のド
ライアイススノー噴射ノズル２１としてもよい。図３は
ドライアイススノー噴射装置の第２の実施の形態のドラ
イアイススノー噴射ノズルの要部拡大図である。このド
ライアイススノー噴射ノズル２１は図１に図示したドラ
イアイススノー噴射装置１におけるドライアイススノー
噴射ノズル７と取り替えて装着して使用するものであ
る。

【００１２】図３に図示する第２の実施の形態のドライ
アイススノー噴射ノズル２１の特徴は、その先端噴出口
２１ｂの端部を曲部有する湾曲形状の規制部２２として
形成せしめたもので、その他の構成は、図１及び図２で
図示した第１の実施の形態のドライアイススノー噴射ノ
ズル７と同一の構成をしているものである。そして、該
ドライアイススノー噴射ノズル２１に液化炭酸ガスＴ_L
を導入すると、先の第２の実施の形態と同様に、液化炭
酸ガスＴ_Lが絞り部８を通過する時、液化炭酸ガスＴ_Lは
断熱膨張し、ドライアイススノ−Ｔ_Sとなり、略「＝」
字状のスリットの切り欠き１１を設けてなる噴出口２１
ｂからドライアイススノ−Ｔ_Sが噴出する。

【００１３】更に、図４はに本発明の第３の実施形態の
ドライアイススノー噴射ノズル３１の概略断面図を示
す。図４に図示した第３の実施の形態のドライアイスス
ノー噴射ノズル３１も、図３に図示した第２の実施の形
態のドライアイススノー噴射ノズル２１と同様に、図１
に図示した本発明のドライアイススノー噴射装置１にお
ける第１の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル
７と取り替えて装着して使用するものである。

【００１４】図４に図示する第３の実施の形態のドライ
アイススノー噴射ノズル３１の特徴は、ドライアイスス
ノー噴射ノズル３１の先端噴出口３１ｂは偏平形状１０
ではあるが、サイドスリットの切り欠き部を有していな
く、噴出口３１ｂの正面が略「口」字形状を有している
事を特徴としている。そしてその他絞り部８や、噴出口
３１ｂに向け徐々に拡径したテーパー形状９のガス流路
を形成していることは、先の第１及び第２の実施の形態
のドライアイススノー噴射ノズル７、２１と共通した構
造をなしている。従って、第１及び第２の実施の形態の
ドライアイススノー噴射ノズル７、２１と同様に、液化
炭酸ガスＴ_Lを第３の実施の形態のドライアイススノー
噴射ノズル３１に導入すると、液化炭酸ガスＴ_Lが絞り
部８を通過する時断熱膨張し、ドライアイススノ−Ｔ_S
となり、略「口」字状の形状の噴出口３１ａからドライ
アイススノ−Ｔ_Sが噴出する。

【００１５】

【実施例】本発明のドライアイススノー噴射装置１をド
ライアイススノ−噴射洗浄装置として使用して、その効
果を確認する実験を行った。この実験に使用したドライ
アイススノ−噴射洗浄装置を図５にその系統概略図を図
示して説明する。図５において、ドライアイススノー噴
射洗浄装置５０は、液化炭酸ガスＴ_Lを貯蔵する液化炭
酸ガス容器５１と管５２で連結された適宜開閉操作可能
な電磁弁等の開閉手段５３、そして該開閉手段５３より
管５４で連結されたオリフィスの如き絞り手段５５を経
て管５６により噴射洗浄ドライアイススノー噴射装置１
に連結されている液化炭酸ガス供給ライン５７が形成さ
れている。なおＰＩは圧力計である。

【００１６】又一方、低露点の窒素ガス等の噴射ガスＧ
が貯蔵されている噴射ガス源容器４１が管４２により圧
力調整器４３に連結され、更に管４４によりイオン化手
段４６を経て弁４７を介して管４８により前記ドライア
イススノー噴射装置１に連結されてなる噴射ガス供給ラ
イン４９が設けられている。そして、前記噴射ガス供給
ライン４９には噴射ガスＧを適切な温度に保持するため
加熱制御手段４５が例えば管４４に併設されている。

【００１７】なお、開閉手段５３としては、本確認実験
においてはボール弁を使用した。また前記絞り手段５６
としては、ニードル弁等を使用して、洗浄対象物や使用
環境に応じて、例えば液化炭酸ガスＴ_Lの流量を調整し
てドライアイススノーＴ_Sの生成量を適宜調整できるよ
うにした。なお又、加熱制御手段４５は、ヒーターとセ
ンサーとそのコントローラーから構成されている。更
に、イオン化手段４６としては、各種のイオナイザー等
を適宜選択して使用した。又、液化炭酸ガス容器５１と
しては、高圧ガス容器（ガスボンベ）を使用し所望の圧
力として使用し、噴射ガスＧとしては、低露点の窒素ガ
スを用いた。

【００１８】本実施例に於いては、上記記載の使用機器
や部材、ガスを用いたが、これらのほかにも適宜選択使
用でき、開閉手段５３としては、電磁弁に代えて空気作
動弁と電磁弁を組み合せて使用することができる。絞り
手段５５としてはオリフィスを有した形状でもよい。液
化炭酸ガス容器５１は、低温液化ガス用断熱容器（貯槽
でも良い）を用い、必要に応じて液化炭酸ガスＴ_Lを加
圧し、所望の圧力として使用してもよい。

【００１９】噴射ガスＧは前記窒素ガスの他に、炭酸ガ
ス、アルゴンガスや圧縮空気等を用いることができる。
これらのガスＧは噴射ガス源容器４１としての高圧ガス
容器（ガスボンベ）に加圧充填して使用してもよく、又
空気の場合は圧縮機で加圧して供給しても良い。この場
合、ガスの露点が高いと、ドライアイススノーＴ_Sを噴
射する際、冷却されて水分が凝結して噴射を阻害するこ
ととなるので、露点が高い場合は別途乾燥器又は除湿器
（図示せず）を用いて、露点を低下せしめて乾燥する必
要がある。

【００２０】［実験１］上記の如き図５に図示したドラ
イアイススノー噴射洗浄装置５０に本発明のドライアイ
ススノー噴射装置を１を用い、それに図１、図３及び図
４に図示した第１、第２及び第３の実施の形態のドライ
アイススノー噴射ノズル７、２１及び３１をそれぞれ装
着してドライアイススノー噴射装置１にとして組み立
て、それぞれのドライアイススノー噴射ノズルについ
て、ドライアイススノ−Ｔ_Sの噴射を幅広に噴出せしめ
ることができるか噴射形状の状態について評価確認し
た。 ●実験条件 ・供給する液化炭酸ガスＴ_L：温度約２０℃、圧力６Ｍ
Ｐａの状態で、流量１ｋｇ／minにて供給した。 ・噴射ガスＧ：流さずに行なった（噴射ノズル形状の差
異によるドライアイススノーの噴射状態のみの確認のた
め）。

【００２１】●ドライアイススノー噴射ノズルの仕様諸
元 ・流路テーパー角度：５度 ・絞り部８の内径：１.４ｍｍφ ・絞り部８から噴出口先端までの長さ：４０ｍｍ ・サイドスリットの切り欠き１１の長さ(第１及び第２
実施形態の噴射ノズル)：５ｍｍ ・規制部１２間の噴出口の間隙：０．８ｍｍ

【００２２】上記した実験条件により、第１乃至第３の
実施形態の各ドライアイススノー噴射ノズル７、２１及
び３１の噴出口から１５ｍｍの位置でのドライアイスス
ノーＴ_Sの噴射形状の観察とその寸法の測定、及び噴射
密度を確認した。噴射形状を調べるに当たっては、シリ
コンシートにアルミテープを張り付け、そこにドライア
イススノ−Ｔ_Sを吹付け、アルミテープの変形痕からド
ライアイススノ−Ｔ_Sの概略噴射面形状寸法を測定し
た。その結果を表１に示す。

【００２３】［比較例］本発明のドライアイススノー噴
射装置の効果を確認するため、比較例として、図６に示
すように噴出口６１ｂに向って徐々にテーパー形状９を
有して広がり、その先端部に互いに１８０度の位置関係
となる部分にサイドスリットの切り欠き１１を有したド
ライアイススノ噴射ノズル６１をドライアイススノー噴
射装置として組み立て、比較実験を行なった。なお、実
験条件、噴射ノズルの仕様諸元、及び噴射形状の観察と
寸法測定、及び噴射密度の確認は、上記実験１と共通し
た状態で行った。その結果を同様に表１に併記した。

【００２４】

【表１】

【００２５】表１で明らかなように、図６で図示した比
較例の噴出口がテーパー形状９の広がりを有するドライ
アイススノー噴射ノズル６１では、噴射形状が略円形で
あり、その中央部はドライアイススノ−Ｔ_Sの密度は疎
の状態にあった。そしてに周辺部のドライアイススノ−
Ｔ_Sの密度は密の状態であった。一方、図１、３及び図
４に示す先端が偏平している形状の本発明の第１乃至第
３の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル７、２１
及び３１を用いた場合には、その噴射形状は、略楕円形
であり、偏平形状１０をしている噴射ノズル先端の噴出
口７ｂ、及び３１ｂの開口の長辺が楕円形の長辺に相当
していることが確認された。又、ノズル先端の噴出口形
状が偏平形状に加え、更に偏平形状の短辺部にサイドス
リットの切り欠き１１を設けることにより、噴射したド
ライアイススノーＴ_Sは楕円形状の長辺側により一層長
くなるように噴射されることが、第１の実施形態のドラ
イアイススノー噴射ノズル７（図１）と第３の実施形態
のドライアイススノー噴射ノズル３１（図４）との比較
により確認された。

【００２６】更に、噴射されたドライアイススノーＴ_S
の噴射密度は、比較例のドライアイススノー噴射ノズル
６１（図６）と異なり、第１の実施形態のドライアイス
スノー噴射ノズル７（図１）、第２の実施形態のドライ
アイススノー噴射ノズル２１（図３）、第３の実施形態
のドライアイススノー噴射ノズル３１（図４）では、楕
円の周部がドライアイスノ−Ｔ_Sが疎の状態にあり、中
央部が密の状態であった。又、図３に示した噴出口２１
ｂの規制部１２先端を湾曲した曲部面をもって形成した
第２の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル２１を
使用すると、噴射形状が楕円形状より矩形に近くなり、
ドライアイススノ−が均一に噴射されることが確認され
た。

【００２７】［実験２］次に実験２として、第１の実施
形態のドライアイススノー噴射ノズル７（図１）を用い
たドライアイススノー噴射装置１で、ドライアイススノ
ーＴ_Sの噴射とともに、外筒５の先端に設けた噴射ガス
噴出口１３から噴射ガスＧを噴出せしめた時の効果を確
認した。 ●実験条件 ・噴射ガスＧ：常温の低露点の窒素ガスを圧力０.４５
ＭＰａにて供給し噴出せしめた。 ・供給する液化炭酸ガスＴ_L：実験１と同様に、温度約
２０℃、圧力６ＭＰａの状態で、流量１ｋｇ／minにて
供給した。

【００２８】●ドライアイススノー噴射ノズルの仕様諸
元 ・噴射ガス噴射口１３：噴射ノズル先端噴出口７ｂに設
けたサイドスリット切り欠き１１を結んだ線を軸対象と
して、その上下に噴射ノズル中心から噴射ガス噴射口１
３の距離を１１.５ｍｍとして配置させた。噴射ガス噴
射口１３の形状は長辺が５.８ｍｍ、短辺が１.６ｍｍの
細長形状として、サイドスリット切り欠き１１を結んだ
線と平行に配置した。 ・その他の仕様諸元は実験１と共通した仕様である。

【００２９】上記した実験条件により、第１の実施形態
のドライアイススノー噴射ノズル７の、噴射ガスＧの噴
出使用の有無により噴出口から１５ｍｍの位置でのドラ
イアイススノーの噴射形状の観察とその寸法の測定、及
び噴射密度を確認した。噴射形状を調べるに当たって
は、実験１と同様にシリコンシートにアルミテープを張
り付け、そこにドライアイススノ−Ｔ_Sを吹付け、アル
ミテープの変形痕からドライアイススノ−Ｔ_Sの概略噴
射面形状寸法を測定した。その結果を表２に示す。

【００３０】

【表２】

【００３１】この結果、表２で明らかなように、噴射ガ
スＧを噴射ガス噴出口１３から噴射すると、ドライアイ
ススノーＴ_Sの噴射形状は楕円形状の長辺寸法は変わら
ないものの、短辺は噴射ガスＧの影響によりドライアイ
ススノ−Ｔ_Sの短辺方向の広がりが抑えられ、２から３
ｍｍへと一層短くなった。又ドライアイススノ−Ｔ_Sの
噴射密度は噴射ガスＧを用いないときと同様に、中央部
が密で、周部が疎であった。ドライアイススノ−Ｔ_Sの
噴出量は一定であるので、単位面積当たりのドライアイ
ススノ−Ｔ_Sの密度は略２倍になっていることが確認さ
れた。これらの結果から、噴射ガスＧを噴射ガス噴出口
１３から噴射すると、より被洗浄物の狙った箇所に一方
向の幅を持って洗浄できることが確認された。又、この
噴射ガスＧの流量または圧力を変化させる事により、ド
ライアイススノ−Ｔ_Sの噴射形状の短辺側の広がりは約
２ｍｍから５ｍｍの間まで、変更が可能であった。

【００３２】上記実験に於いては、絞り部８はドライア
イススノー噴射装置１の各ドライアイススノー噴射ノズ
ル７、２１、及び３１に設けているが、この設置位置
は、ドライアイススノー噴射ノズル部に限定されるもの
でなく、例えば液化ガス供給ライン５７の管５６に設け
ても、同様の効果を得られることは言うまでもない。ま
たサイドスリットの切り欠き１１の長さを調整すること
で、所望の幅でドライアイススノ−Ｔ_Sを噴出すること
もできる。

【００３３】

【発明の効果】本発明の洗浄用ドライアイススノー噴射
装置は上記した形態で実施され、以下の如き効果を奏す
る。本発明のドライアイススノー噴射装置では、ドライ
アイススノー噴射ノズルの周部に噴射ガス噴出口を設け
て、噴射ガスを噴出せしめるようにしたので、噴射ガス
の流量や圧力を調整することにより、ドライアイススノ
ーの噴射領域範囲を適宜所望する範囲に調節し得たり、
被洗浄物への噴射密度を適宜自由に変動せしめることが
できる。この結果、被洗浄物の汚染状態や、大きさによ
ってドライアイススノーの噴射領域や噴射密度を、噴射
ノズルを交換せしめることなく容易に調整し得て、作業
性を向上せしめることができる。

【００３４】又、本発明のドライアイススノー噴射装置
では、噴射ノズルの噴出口先端を偏平形状に形成したの
で、噴射形状が楕円状の広がりを形成することとなり、
面積を有する平面の洗浄に効果的であり、しかも中央部
にドライアイススノーの噴射密度が密となって形成され
ることから、洗浄位置を適切に射程し得て、洗浄を的確
になし得る効果を奏する。

【００３５】更に、偏平形状の噴出口の短辺にサイドス
リットの切り欠きを設けることによりドライアイススノ
ーの噴射形状を幅広の略矩形状に形成することができ、
しかもその矩形形状に沿った中央部にドライアイススノ
ーが略均一の面密度で噴射されるので、被洗浄物を面洗
浄でもって洗浄することができ、効率良く洗浄すること
ができる。特に被洗浄物が矩形形状である場合の洗浄に
は効果的である。

【００３６】又、噴射ガス噴出口を、ドライアイススノ
ー噴射ノズルの噴出口に設けたサイドスリットの切り欠
き同士を結ぶ線と平行な細長形状とし、かつ前記サイド
スリットの切り欠き同士を結ぶ線を軸に線対称の位置に
設けることにより、該噴射ガス噴出口から噴出せしめる
噴射ガスの流量や圧力を調整することにより、噴射形状
である矩形状の短辺側の寸法を可変にすることができ、
更にドライアイススノ−の噴射密度をも可変にすること
ができ、被洗浄物の汚染度合いにより、適宜所望する噴
射状態に効率よく調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態のドライアイススノー
噴射ノズルを装着したドライアイススノ−噴射装置の一
例を説明する断面図。

【図２】 図１の本発明のドライアイススノ−噴射洗浄
装置の正面図。

【図３】 本発明のドライアイススノ−噴射装置の第２
実施形態のドライアイススノー噴射ノズルの概略断面
図。

【図４】 本発明のドライアイススノ−噴射装置の第３
実施形態のドライアイススノー噴射ノズルの概略断面
図。

【図５】 実験に使用したドライアイススノ−噴射洗浄
装置の概略系統図。

【図６】 比較例で用いたドライアイススノ−噴射洗浄
装置のドライアイススノー噴射ノズルの概略断面図。

【符号の説明】

１…ドライアイス噴射装置、 ２…内管、 ３…間隙、
４…外管、５…外筒、 ６…スリーブ、７…第１実施
形態のドライアイススノー噴射ノズル、７ｂ、２１ｂ、
３１ｂ…噴出口、 ８…絞り部、 ９…テーパー形状、
１０…偏平形状、 １１…サイドスリットの切り欠き、
１２、２２…規制部、１３…噴射ガス噴出口、２１…
第２実施形態のドライアイススノー噴射ノズル、３１…
第３実施形態のドライアイススノー噴射ノズル、６１…
比較例のドライアイススノー噴射ノズル、４８…噴射ガ
ス供給ラインの管、 ５６…液化炭酸ガス供給ラインの
管、５９…継ぎ手部材、 Ｔ_L…液化炭酸ガス、 Ｔ_S…
ドライアイススノー、Ｇ…噴射ガス、５０…ドライアイ
ススノー噴射洗浄装置、４１…噴射ガス源容器、 ４３
…圧力調整器、 ４５…加熱制御手段、４６イオン化手
段、 ４９…噴射ガス供給ライン、 ５１…液化炭酸ガ
ス容器、５３…開閉手段、 ５５…絞り手段、 ５７…
液化炭酸ガス供給ライン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 英俊 東京都港区西新橋１丁目16番７号 日本酸 素株式会社内 Ｆターム(参考） 4F033 QA09 QB02Y QB03X QB12Y QB13X QD19 QE14

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ドライアイススノ−を用いて被洗浄物を洗
   浄するドライアイススノ−噴射装置であって、炭酸ガス
   源と連設されてドライアイススノ−を噴射するドライア
   イススノー噴射ノズルを中心に配し、その外周面に沿っ
   て略同軸に、噴射ガス源と連設されてなる外筒を配して
   なるとともに、該外筒の先端に噴射ガスを噴出する噴射
   ガス噴出口が形成されてなることを特徴とする洗浄用ド
   ライアイススノ−噴射装置。
2. 【請求項２】 ドライアイススノー噴射ノズルは、先端
   を偏平形状とした噴出口に向かって広がるテーパー形状
   を有してなることを特徴とする請求項１記載の洗浄用ド
   ライアイススノ−噴射装置。
3. 【請求項３】 偏平形状をしたドライアイススノー噴射
   ノズルの先端噴出口部の短辺部にサイドスリットの切り
   欠き部を設けてなることを特徴とする請求項２記載の洗
   浄用ドライアイススノ−噴射装置。
4. 【請求項４】 偏平形状をしたドライアイススノー噴射
   ノズルの先端噴出口の長辺部の規制部が略矩形状を有し
   てなることを特徴とする請求項２又は請求項３記載の洗
   浄用ドライアイススノ−噴射装置。
5. 【請求項５】 噴射ガス噴出口の先端形状は、細長形状
   であって、ドライアイススノー噴射ノズルの先端噴出口
   に設けたサイドスリットの切り欠き部を結んだ線と略平
   行であることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１
   項記載の洗浄用ドライアイススノ−噴射装置。
6. 【請求項６】ドライアイススノー噴射ノズルから噴射す
   るドライアイススノ−と、該ドライアイススノー噴射ノ
   ズルの外周部に沿って配された噴射ガス噴出口から噴射
   される噴射ガスとによって被洗浄物を洗浄する洗浄用ド
   ライアイススノ−噴射装置を用いて洗浄するにあたっ
   て、噴射ガスの流量または圧力を変化調整せしめて、ド
   ライアイススノ−噴射ノズルの噴出口より噴出するドラ
   イアイススノーの噴射洗浄領域範囲を変動調整すること
   を特徴とするドライアイススノ−を用いた洗浄方法。