JP4120991B2 - 洗浄ノズル及びそれを用いた洗浄方法 - Google Patents
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Description
前記洗浄液供給管の吐出口が、前記ノズル本体の内側壁面から離れて、前記スロート部の中心から下流方向に前記スロート部の直径の5倍の長さの範囲以内に配置され、前記スロート部で音速となった前記圧縮気体を前記ダイバージェント部で断熱膨張させて超音速とし、該洗浄ノズルからの前記洗浄液を微細な氷粒子及び過冷却液滴のいずれか一方又は双方とする。
ラバールノズルは、スロート部の上流側にコンバージェント部が、スロート部の下流側にダイバージェント部が形成される。ここで、ラバールノズルは、特性曲線法(H.W.Lipmann and A.Roshko:「Elements of Gasdynamics」、1960)によって、圧縮気体を適切に断熱膨張させ、洗浄液を微粒化して低温に冷却可能な形状に設計(解析)される。特性曲線法によって設計されたラバールノズルにおいては、ラバールノズルに供給された圧縮気体が、コンバージェント部で亜音速であり、断面積の小さいスロート部で音速となり、断面積の大きくなったダイバージェント部で圧力が下がって超音速となる。
気体供給管から供給される別の圧縮気体Bの成分は、圧縮気体Aと同じであってもよく、しかも、圧縮気体Aよりも高圧で圧縮されて高速で吐出されるのが好ましい。洗浄液は、高速の別の圧縮気体Bと混合されて、微粒化が促進される。
第1の発明に係る洗浄ノズルにおいて、前記圧縮気体は温度及び湿度が調整され、更に前記洗浄液は温度が調整されているのが好ましい。
ここで、例えば、圧縮気体は、温度を0〜40℃、好ましくは10〜30℃(常温程度)に、湿度を露点温度換算で−20〜0℃、好ましくは−15〜−5℃に調整される。また、洗浄液は、温度を−5〜30℃、好ましくは0〜20℃に調整される。
第1の発明に係る洗浄ノズルにおいて、前記スロート部の上流側には、前記圧縮気体の流れを揃える整流板を設けることもできる。
前記ノズル本体の内側壁面から離れて、前記スロート部の中心から下流方向に前記スロート部の直径の5倍の長さの範囲以内に配置された洗浄液供給管の吐出口から前記ノズル本体に供給される圧縮気体の流れと同方向に洗浄液を吐出する第2工程と、
前記ダイバージェント部での圧縮気体の流れにより前記洗浄液が微粒化されて生成した液滴を、急激に冷却して微細な氷粒子及び過冷却液滴のいずれか一方又は双方からなる洗浄材を生成する第3工程と、
超音速の前記洗浄材を前記ノズル本体の噴射口から噴射して、洗浄対象物に衝突させて該洗浄対象物上の汚染物質を剥離させる第4工程と、
前記洗浄材を前記洗浄対象物表面を滑走させて、前記剥離した汚染物質を除去する第5工程とを有する。
また、洗浄液供給管の吐出口が所定範囲以内に配置されているので、洗浄液が圧縮気体の流れで加速されて微細な液滴となって、微細な氷粒子及び過冷却液滴のいずれか一方又は双方からなる洗浄材を生成することができる。また、洗浄材がノズル本体の内側壁面に形成される境界層領域の影響を受け難く、ノズル本体の内側壁面での速度低下を防止でき、洗浄材が十分に加速して、より低温に冷却される。
特に、請求項2記載の洗浄ノズルにおいては、スロート部の上流側が流れ方向に縮径してコンバージェント部となってラバールノズルが形成されているので、コンバージェント部の速度が亜音速でも、スロート部で音速まで加速することができる。
請求項5記載の洗浄ノズルにおいては、圧縮気体の温度及び湿度と、洗浄液の温度とがそれぞれ調整されているので、液滴の凍結比率を変化させることができる。
請求項6記載の洗浄ノズルにおいては、スロート部の上流側に圧縮気体の流れを揃える整流板が設けられているので、圧力損失を少なくして、圧縮気体をスムーズに効率よくスロート部に供給し、圧縮気体のスロート部での速度を音速にできる。
ここで、図1は本発明の第1の実施の形態に係る洗浄ノズルの説明図、図2は同洗浄ノズル内の圧縮気体の速度と温度の関係を示すグラフ、図3は本発明の第2の実施の形態に係る洗浄ノズルの説明図である。
洗浄ノズル10のノズル本体18は、管内径が最小となる断面円形のスロート部(喉部)11と、スロート部11の上流側にあって流れ方向に縮径されたコンバージェント部12と、スロート部11の下流側にあって流れ方向に拡径されたダイバージェント部13とによって形成されるラバールノズル14を有している。なお、ラバールノズル14は、スロート部11の直径を、例えば、3〜10mmとし、コンバージェント部12及びダイバージェント部13を、供給される圧縮気体が適切に断熱膨張されて低温に冷却されるような形状に、特性曲線法で設計(解析)し、求められた形状に加工して製作される。
(第1工程)
まず、圧縮気体供給機構から所定の圧力(5気圧)、温度(常温)、及び湿度(露点温度換算−10℃)の圧縮空気15をノズル本体18の圧縮気体供給部16に供給する。圧縮空気15は、圧縮空気15の流れ方向に縮径するコンバージェント部12によって加速されて音速(およそ330m/sec)となる。なお、圧縮空気15は、スロート部11を通過した後、拡径するダイバージェント部13で圧力が低下して超音速(およそ500m/sec)まで加速されると共に、およそ−110℃に冷却される。
次に、吐出口配置位置24内に配置された洗浄液供給管21の吐出口22から圧縮空気15の流れと同方向に洗浄液20を吐出する。
(第3工程)
ダイバージェント部13において、圧縮空気15の高速の流れにより、洗浄液20が圧縮空気15と衝突して、例えば、数μm程度、例えば、平均粒径が7μm程度に微粒化された液滴30が生成する。液滴30は、ダイバージェント部13内の冷却された−110℃の圧縮空気15によって急激に冷却されて微細な氷粒子31及び過冷却液滴32のいずれか一方又は双方からなる洗浄材33が生成する。
超音速の洗浄材33をノズル本体18の噴射口19から噴射して、洗浄対象物35に衝突させて洗浄対象物35上の汚染物質36を剥離させる。洗浄対象物35に衝突した洗浄材33は、氷粒子31が融解して水となり、過冷却液滴32が瞬時に過冷却解除されて氷となってシャーベット状となる。シャーベット状の洗浄材33は、優れた洗浄効果を有する。なお、平均粒径が7μmの液滴30から形成される氷粒子31では、洗浄対象物35が損傷しない。
(第5工程)
更に、シャーベット状の洗浄材33は、洗浄対象物35表面を滑走し、剥離した汚染物質36を除去する。
洗浄ノズル40は、ノズル本体18内に供給される圧縮空気15の流れと同方向に洗浄液20を吐出する洗浄液供給管41中に、洗浄液20と混合される別の圧縮気体Bの一例である圧縮空気42を供給する気体供給管43が配設されている点が、洗浄ノズル10と異なっている。これによって、液滴30を所定の粒度に微細化することができ、より細かい液滴30とすることで、冷却速度を高め、過冷却液滴32よりも氷粒子31の割合の多い洗浄材33を生成でき、洗浄能力を向上させることができる。
スロート部を5mmとして特性曲線法で設計したラバールノズルと、ラバールノズルの上流側に設けられた圧縮気体供給部と、ラバールノズルの下流側に設けられ徐々に拡径する加速冷却部とが設けられたノズル本体内に、圧縮気体の流れと同方向に洗浄液を吐出する洗浄液供給管を備えた洗浄ノズルを用いて、洗浄対象物表面の汚染物質を除去した。
例えば、前記実施の形態の洗浄ノズル及び洗浄方法において、圧縮気体A及び別の圧縮気体Bとして圧縮空気を、洗浄液として純水をそれぞれ使用したが、洗浄対象物を劣化させず、汚染物質を除去できるもの、例えば、圧縮気体として窒素等を、洗浄液としてアルコール等を使用してもよい。また、ノズル本体をテフロン樹脂で形成したが、他の合成樹脂、又は金属等で形成してもよい。更に、前記実施の形態の洗浄ノズルは、ノズル本体がラバールノズルを有しているが、ノズル本体がスロート部の下流側にダイバージェント部を備えていればよく、スロート部の上流側にコンバージェント部を設けなくてもよい。
Claims (7)
- スロート部の下流側に流れ方向に拡径するダイバージェント部を備えたノズル本体と、該ノズル本体に供給される圧縮気体の流れと同方向に洗浄液を吐出する洗浄液供給管とを有する洗浄ノズルであって、
前記洗浄液供給管の吐出口が、前記ノズル本体の内側壁面から離れて、前記スロート部の中心から下流方向に前記スロート部の直径の5倍の長さの範囲以内に配置され、前記スロート部で音速となった前記圧縮気体を前記ダイバージェント部で断熱膨張させて超音速とし、該洗浄ノズルからの前記洗浄液を微細な氷粒子及び過冷却液滴のいずれか一方又は双方とすることを特徴とする洗浄ノズル。 - 請求項1記載の洗浄ノズルにおいて、前記ノズル本体は、前記スロート部の上流側が流れ方向に縮径してコンバージェント部となってラバールノズルが形成されていることを特徴とする洗浄ノズル。
- 請求項1及び2のいずれか1項に記載の洗浄ノズルにおいて、前記洗浄液供給管中には、前記洗浄液と混合される別の圧縮気体を供給する気体供給管が配設されていることを特徴とする洗浄ノズル。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の洗浄ノズルにおいて、前記ノズル本体は、前記ダイバージェント部の下流側に流れ方向に徐々に拡径する加速冷却部を有していることを特徴とする洗浄ノズル。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の洗浄ノズルにおいて、前記圧縮気体は温度及び湿度が調整され、更に前記洗浄液は温度が調整されていることを特徴とする洗浄ノズル。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の洗浄ノズルにおいて、前記スロート部の上流側には、前記圧縮気体の流れを揃える整流板が設けられていることを特徴とする洗浄ノズル。
- スロート部の下流側に、流れ方向に拡径するダイバージェント部を備えたノズル本体の上流側から圧縮気体を供給して該スロート部で該圧縮気体を音速とする第1工程と、
前記ノズル本体の内側壁面から離れて、前記スロート部の中心から下流方向に前記スロート部の直径の5倍の長さの範囲以内に配置された洗浄液供給管の吐出口から前記ノズル本体に供給される圧縮気体の流れと同方向に洗浄液を吐出する第2工程と、
前記ダイバージェント部での圧縮気体の流れにより前記洗浄液が微粒化されて生成した液滴を、急激に冷却して微細な氷粒子及び過冷却液滴のいずれか一方又は双方からなる洗浄材を生成する第3工程と、
超音速の前記洗浄材を前記ノズル本体の噴射口から噴射して、洗浄対象物に衝突させて該洗浄対象物上の汚染物質を剥離させる第4工程と、
前記洗浄材を前記洗浄対象物表面を滑走させて、前記剥離した汚染物質を除去する第5工程とを有することを特徴とする洗浄方法。
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