WO2012121400A1 - ドライアイススノー噴射装置 - Google Patents

ドライアイススノー噴射装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2012121400A1
WO2012121400A1 PCT/JP2012/056212 JP2012056212W WO2012121400A1 WO 2012121400 A1 WO2012121400 A1 WO 2012121400A1 JP 2012056212 W JP2012056212 W JP 2012056212W WO 2012121400 A1 WO2012121400 A1 WO 2012121400A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
dry ice
ice snow
gas
rectifying
rectifying gas
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/056212
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
忠士 宇川
峻一 馬込
慎平 岩本
Original Assignee
エア・ウォーター株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エア・ウォーター株式会社 filed Critical エア・ウォーター株式会社
Priority to CN201280012621.0A priority Critical patent/CN103415356B/zh
Priority to JP2013503641A priority patent/JP5926725B2/ja
Priority to US14/003,618 priority patent/US20130341427A1/en
Priority to KR1020137023623A priority patent/KR101872671B1/ko
Publication of WO2012121400A1 publication Critical patent/WO2012121400A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/14—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas designed for spraying particulate materials
    • B05B7/1481—Spray pistols or apparatus for discharging particulate material
    • B05B7/1486—Spray pistols or apparatus for discharging particulate material for spraying particulate material in dry state
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
    • B05B7/08—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
    • B05B7/08—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point
    • B05B7/0807—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point to form intersecting jets
    • B05B7/0815—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point to form intersecting jets with at least one gas jet intersecting a jet constituted by a liquid or a mixture containing a liquid for controlling the shape of the latter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0064—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by temperature changes
    • B08B7/0092—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by temperature changes by cooling
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • B24C1/003—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods using material which dissolves or changes phase after the treatment, e.g. ice, CO2
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C7/00—Equipment for feeding abrasive material; Controlling the flowability, constitution, or other physical characteristics of abrasive blasts
    • B24C7/0046—Equipment for feeding abrasive material; Controlling the flowability, constitution, or other physical characteristics of abrasive blasts the abrasive material being fed in a gaseous carrier

Definitions

  • the present invention relates to a dry ice snow injection device capable of efficiently injecting dry ice snow to a wide injection target.
  • Patent Document 1 the tip of the injection nozzle is flattened and tapered toward the jet outlet, and a notch portion of a side slit is provided on the short side of the jet outlet at the flat nozzle tip. Is to do.
  • Patent Document 2 similarly to Patent Document 1, a hollow control cover having a flat opening shape is provided, and cut portions that open to the front end side are formed on both sides in the longitudinal direction of the opening.
  • Patent Document 3 discloses connecting a plurality of injection nozzles side by side.
  • JP 2001-179634 A Japanese Patent Laid-Open No. 2001-340816 JP 2004-322007 A
  • the spray nozzles of Patent Documents 1 and 2 have a problem that when dry ice snow is sprayed, a part of the dry ice snow hits the inner surface of the nozzle and a loss occurs due to sublimation of the dry ice snow.
  • a loss occurs in dry ice, there is a problem that the cleaning efficiency with respect to the consumption amount of carbon dioxide gas is reduced, and the carbon dioxide gas is consumed unnecessarily.
  • particles are generated when a part of the dry ice snow collides with the nozzle, and the particles are jetted mixed with the dry ice snow, so that there is a problem that good cleaning cannot be realized.
  • Patent Document 3 it may be possible to clean a wide object to be cleaned in a short time, but the amount of carbon dioxide consumption increases by the number of injection nozzles, and the amount of carbon dioxide consumption is reduced. There is a problem that the cleaning efficiency is not good.
  • the cleaning width is about 2 to 10 mm, and it is difficult to efficiently clean a wide object to be cleaned.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a dry ice snow injection device that realizes efficient injection by broadly injecting dry ice snow while suppressing consumption loss of carbon dioxide gas. Objective.
  • a dry ice snow injection device of the present invention includes a carbon dioxide gas supply source for generating dry ice snow and a rectifying gas supply source for supplying rectifying gas for propelling the dry ice snow.
  • a dry ice snow injection port that communicates with the carbon dioxide gas source and injects dry ice snow; and a first communication device that communicates with the rectifying gas supply source and is inclined to face the dry ice snow injection port.
  • the gist of the present invention is that it includes a rectifying gas outlet.
  • the present invention includes a dry ice snow injection port and a first rectifying gas injection port that inclines and faces the dry ice snow injection port. For this reason, the dry ice snow injected from the dry ice snow injection port spreads flatly by the action of the rectifying gas ejected from the opposing first rectifying gas outlet and collides with the object to be cleaned. In this way, since the sprayed dry ice snow is flattened by the action of the rectifying gas, there is no loss or particle generation due to the dry ice snow hitting the inner surface of the nozzle, and carbon dioxide gas loss or poor cleaning The occurrence of the situation can be prevented. In this way, efficient and high-quality cleaning can be realized while suppressing the consumption loss of carbon dioxide gas.
  • the dry ice snow injection port when the dry ice snow injection port is arranged on the upstream side of the merging point or the merging point of the rectifying gas ejected from the first rectifying gas jet port facing, Dry ice snow is sprayed widely and uniformly. That is, since dry ice snow is a solid mixture, the injection direction largely depends on the injection flow direction immediately after injection. With the above configuration, the injection direction of dry ice immediately after being injected from the dry ice snow injection port is opposite. Therefore, the rectified gas ejected from the first rectified gas ejection port follows the gas flow formed by joining, and the dry ice snow is widely and uniformly injected.
  • the dry ice snow spreads flatly by the action of the rectifying gas ejected from the opposing first rectifying gas ejection port when it is ejected from the dry ice snow ejection port or thereafter. For this reason, it is possible to effectively flatten the dry ice snow, and it is possible to perform cleaning corresponding to a wider object to be cleaned with a small pressure of the rectifying gas.
  • a second rectifying gas injection port for discharging a rectification gas for preventing clogging of the dry ice snow injection port is provided in an annular shape, and the dry ice snow injection port Is disposed so as to protrude from the second rectifying gas jet port, Dry ice snow can be prevented from clogging at the dry ice snow injection port and the flow passage, and the dry ice snow can be stably sprayed to prevent the occurrence of a cleaning trouble.
  • the gas flow in the vicinity of the confluence of the rectifying gas ejected from the first rectifying gas ejection port is changed from the first rectifying gas ejection port by the second rectifying gas ejection port itself or the rectifying gas ejected therefrom. It is possible to prevent the ejected rectifying gas from being disturbed.
  • the first rectifying gas is generated by the second rectifying gas outlet itself or the rectifying gas ejected therefrom. The rectifying gas ejected from the ejection port is prevented from being disturbed more significantly.
  • the dry ice snow injection device of the present embodiment includes a carbon dioxide gas supply source (not shown) for generating dry ice snow, a rectification gas supply source (not shown) for supplying rectification gas for propelling the dry ice snow, A dry ice snow injection nozzle is provided that communicates with the carbon dioxide gas supply source and the rectifying gas supply source to inject dry ice snow.
  • a carbon dioxide gas supply source specifically, a liquefied carbon dioxide cylinder or the like can be used.
  • nitrogen gas can be used as the rectifying gas
  • a liquefied nitrogen tank can be used as the rectifying gas supply source.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a dry ice snow spray nozzle to which the present invention is applied
  • FIG. 2 is a view seen from the spray port side.
  • the dry ice snow injection nozzle has a substantially cylindrical shape, and a dry ice snow injection port 1 for injecting dry ice snow in communication with the carbon dioxide gas source is opened at the center of the tip.
  • a first rectifying gas outlet 3 is formed which communicates with the rectifying gas supply source and inclines while facing the dry ice snow outlet 1.
  • the dry ice snow injection nozzle includes a nozzle body 6 and a dry ice snow distribution pipe 5.
  • a resin tube or a stainless tube can be used for the dry ice snow distribution tube 5.
  • the dry ice snow injection port 1 is formed as a tip opening of a dry ice snow distribution pipe 5 through which dry ice snow circulates.
  • the dry ice snow distribution pipe 5 is coaxially inserted into an internal passage 8 of a hollow cylindrical nozzle body 6.
  • the internal passage 8 of the nozzle body 6 through which the dry ice snow circulation pipe 5 is inserted is formed in the second flow passage 12 through which the second rectifying gas flows.
  • a second rectifying gas injection port 4 for discharging a rectifying gas for preventing clogging of the dry ice snow injection port 1 is formed in an annular shape.
  • the second rectified gas may be heated by a heating means such as a gas heater (not shown).
  • a heating means such as a gas heater (not shown).
  • the internal passage 8 of the nozzle body 6 is set so that the opening diameter at the tip is small, and the area through which the rectifying gas flows is narrowed in the vicinity of the second rectifying gas ejection port 4. Therefore, the flow rate of the rectifying gas is increased.
  • the tip opening diameter of the internal passage 8 does not have to be narrowed down.
  • the dry ice snow circulation pipe 5 protrudes to the tip side from the tip surface of the nozzle body 6, that is, the opening of the second rectifying gas jet port 4.
  • the dry ice snow injection port 1 is disposed so as to protrude from the second rectifying gas injection port 4.
  • the nozzle body 6 is formed with a first flow passage 11 through which the first rectifying gas flows.
  • Two protrusions 13 are formed on the tip surface of the nozzle body 6 at a position sandwiching the dry ice snow injection port 1, and the inner side surfaces of both protrusions 13 face the dry ice snow injection port 1 in the injection direction. It forms in the inclined surface 14 which spreads toward.
  • a first rectifying gas jet port 3 communicating with the first flow passage 11 is opened on the inclined surface 14.
  • straightening gas ejection port 3 inclines and opposes so that it may face the dry ice snow injection port 1 and it may also face an injection direction on both sides of the dry ice snow injection port 1.
  • the rectified gas ejected from the first rectified gas ejection port 3 is ejected obliquely toward the dry ice snow ejection port 1 and the ejection direction.
  • the first rectified gas may be heated by a heating means such as a gas heater (not shown).
  • the angle ⁇ formed by the inclined surface 14 with respect to the dry ice snow ejection direction is preferably about 20 ° ⁇ ⁇ ⁇ 45 °.
  • the dry ice snow injection port 1 is ejected from the first rectifying gas ejection port 3 that faces the dry ice snow. It is arranged upstream of the merging point of the rectifying gas or the merging point.
  • the dry ice snow injection nozzle of the present embodiment includes a dry ice snow injection port 1 and a first rectifying gas injection port 3 that is inclined to face the dry ice snow injection port 1.
  • the dry ice snow injected from the dry ice snow injection port 1 spreads flatly by the action of the rectifying gas ejected from the opposing first rectifying gas outlet 3 and collides with the object to be cleaned.
  • the sprayed dry ice snow is flattened by the action of the rectifying gas, there is no loss or particle generation due to the dry ice snow hitting the inner surface of the nozzle, and carbon dioxide gas loss or poor cleaning The occurrence of the situation can be prevented. In this way, efficient and high-quality cleaning can be realized while suppressing the consumption loss of carbon dioxide gas.
  • the dry ice snow injection port 1 is disposed upstream of the merging point or the merging point of the rectifying gas ejected from the opposing first rectifying gas jet port 3, Dry ice snow is sprayed widely and uniformly. That is, since dry ice snow is a solid mixture, the injection direction largely depends on the injection flow direction immediately after injection. With the above configuration, the injection direction of dry ice immediately after being injected from the dry ice snow injection port 1 is The rectified gas ejected from the opposed first rectified gas jet port 1 follows the gas flow formed by joining, and the dry ice snow is sprayed widely and uniformly.
  • a second rectification gas injection port 4 for ejecting a rectification gas for preventing clogging of the dry ice snow injection port 1 is provided in an annular shape, and the dry ice snow injection is performed.
  • the mouth 1 is disposed so as to protrude from the second rectifying gas ejection port 4,
  • the clogging of dry ice snow at the dry ice snow injection port 1 and the flow passage can be suppressed, and the dry ice snow can be stably sprayed to prevent the occurrence of cleaning trouble.
  • the gas flow in the vicinity of the confluence of the rectifying gas ejected from the first rectifying gas ejection port 3 is converted into the first rectifying gas jet by the second rectifying gas ejection port 4 itself or the rectifying gas ejected therefrom. It is possible to prevent the rectified gas ejected from the outlet 3 from being disturbed.
  • the first rectifying gas outlet 4 itself or the first rectifying gas ejected from the second rectifying gas outlet 4 itself. This prevents the rectifying gas ejected from the rectifying gas outlet 3 from being disturbed more significantly.
  • the second rectifying gas jet port 4 is protruded, it is necessary to widen the space between the first rectifying gas jet ports 3 that are inclined to face each other with the dry ice snow jet port 1 interposed therebetween. The distance between the jet outlet 3 and the junction is increased, the flow velocity of the rectifying gas is lowered, and the influence on the wide and uniform dry ice snow is inevitable.
  • the dry ice snow injection port 1 is protruded from the second rectifying gas injection port 4 and arranged in the vicinity of the merging point, so that the gas flow can be prevented from being obstructed, and can be widely uniform. Dry ice snow can be jetted. Further, in this embodiment, the consumption of carbon dioxide gas is 1 to 5 kg / h, and it is possible to effectively and widely spray dry ice snow.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining a dimensional relationship in the cleaning test.
  • An angle ⁇ formed by the inclined surface 14 on which the first rectifying gas ejection port 3 is formed and the injection direction (also the longitudinal direction of the nozzle in this example) was set to 25 °.
  • the distance from the second rectifying gas outlet 4 to the object to be cleaned was 25 mm.
  • liquefied carbon dioxide was supplied at 4.5 kg / h. Dry ice snow cleaning is actually performed by changing the distance X (mm) between the confluence of the first rectifying gas ejected from the first rectifying gas ejection port 3 and the dry ice snow ejection port 1.
  • the washing width (mm) of was measured.
  • the distance X is ⁇ X upstream from the junction, and + X downstream from the junction.
  • FIG. 4 is a diagram showing the results of the cleaning test. As can be seen from FIG. 4, the range of the distance X is preferably ⁇ 2.5 mm ⁇ X ⁇ 0 mm, more preferably ⁇ 2.0 mm ⁇ X ⁇ ⁇ 0.5 mm.
  • the cleaning test was carried out by causing the second rectifying gas outlet 4 of the dry ice snow injection nozzle implemented in Example 1 to protrude together with the dry ice snow circulation pipe 5.
  • a glass substrate was prepared as an object to be cleaned, the ink adhered with an oil pen was removed by dry ice snow cleaning, and the removed cleaning width was measured.
  • the dry ice snow outlet 1 becomes the second rectifying gas. It is in a state of protruding from the jet port 4.
  • the washing width at this time was 47 mm.
  • the second rectifying gas ejection port 4 is projected together with the dry ice snow circulation pipe 5, the dry ice snow ejection port 1 is in a state of not projecting from the second rectification gas ejection port 4.
  • the washing width at this time was 15 mm.
  • the dry ice snow is ejected more widely when the dry ice snow injection port 1 is protruded than the second rectifying gas injection port 4.
  • the diameters of the dry ice snow circulation pipe 5 and the second rectifying gas outlet 4 are increased, the disturbance of the first rectifying gas is further increased.
  • one each of the first rectifying gas injection ports 3 is provided with the dry ice snow injection port 1 interposed therebetween, but the present invention is not limited to this, and the dry ice snow injection port 1 is not limited thereto. It is also possible to provide a plurality of each with a gap between them. Also in this case, the same operational effects as the above-described embodiment are obtained.
  • What the present invention targets are, for example, electronic substrates, electronic components, sensor elements, flat panel display substrates, touch panels, semiconductor substrates, semiconductor elements, MEMS, optical components, optical film related products, printing related products, magnetic components, Examples include semiconductor-related products, metal parts, heat exchangers, molding dies, glass, and foods.
  • first rectifying gas jet port 4 second rectifying gas jet port 5: dry ice snow distribution pipe 6: nozzle body 8: internal passage 11: first flow passage 12: first 2 flow passage 13: protrusion 14: inclined surface

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

炭酸ガスの消費ロスを抑えながらドライアイススノーを幅広に噴射して効率的な洗浄を実現するドライアイススノー噴射装置を提供する。 ドライアイススノーを生成するための炭酸ガス供給源と、ドライアイスス ノーを推進させるための整流ガスを供給するための整流ガス供給源と、ドライアイススノー噴射口（１）と、上記ドライアイススノー噴射口（１）を挟んで傾斜して対峙する第１の整流ガス噴出口（３）とを備えたことにより、噴射されたドライアイススノーを整流ガスの作用で扁平にするため、従来のようなドライアイススノーがノズル内面にあたることによるロスやパーティクルの発生がなく、炭酸ガスのロスや洗浄不良といった事態の発生を防止できる。このように、炭酸ガスの消費ロスを抑えながら効率的で品質のよい洗浄を実現することができる。

Description

ドライアイススノー噴射装置
　本発明は、幅広の噴射対象に対して効率的にドライアイススノーを噴射することができるドライアイススノー噴射装置に関するものである。
　従来から、液化炭酸ガスをオリフィスやニードル弁等の絞り機構で断熱膨張させることによって生成した微細なドライアイスを、細管内で凝縮させながらユースポイントで噴射して被洗浄物を洗浄することが行われている。このようなドライアイススノー洗浄は、原料ガスとして高純度の液化炭酸ガスが用いられるためにエレクトロニクス分野で使用が可能となる。
　このようなドライアイススノー洗浄において、幅広の被洗浄物を洗浄するため、被洗浄物に合わせてドライアイススノーを幅広に噴射することが検討されている（例えば、下記の特許文献１~３）。
　特許文献１は、噴射ノズルの先端を偏平形状とし、噴出口に向かって広がるテーパー形状にするとともに、偏平形状のノズル先端に、噴出口部の短辺部にサイドスリットの切り欠き部を設けることを行うものである。
　特許文献２は、特許文献１と同様に、開口部形状を偏平状とした中空の制御カバーを設け、開口部の長手方向の両側部に先端側に開口した切り込み部を形成するものである。
　特許文献３は、噴射ノズルを複数並べて連結することを開示している。
特開２００１−１７９６３４号公報 特開２００１−３４０８１６号公報 特開２００４−３２２００７号公報
　しかしながら、上記特許文献１、２の噴射ノズルでは、ドライアイススノーを噴射すると、ドライアイススノーの一部がノズル内面にあたり、ドライアイススノーが昇華することによるロスが発生するという問題がある。ドライアイスにロスが発生すると、炭酸ガスの消費量に対する洗浄効率が低下し、炭酸ガスを不必要に消費してしまうという問題がある。また、ドライアイススノーの一部がノズルに衝突することによりパーティクルが発生し、このパーティクルがドライアイススノーに混じって噴射されるため、良好な洗浄が実現できないという問題もある。一方、特許文献３の方法では、幅広の被洗浄物を短時間で洗浄できるかもしれないが、噴射ノズルの数を増やした分だけ炭酸ガスの消費量が増えてしまい、炭酸ガスの消費量に対する洗浄効率がよくないという問題がある。また、標準的な２重管構造のノズルを用いた装置では、洗浄幅が２~１０ｍｍ程度であり、幅広の被洗浄物に対する効率的な洗浄が困難である。
　本発明は、上記のような事情に鑑みなされたもので、炭酸ガスの消費ロスを抑えながらドライアイススノーを幅広に噴射して効率的な噴射を実現するドライアイススノー噴射装置を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するため、本発明のドライアイススノー噴射装置は、ドライアイススノーを生成するための炭酸ガス供給源と、ドライアイススノーを推進させるための整流ガスを供給するための整流ガス供給源と、上記炭酸ガス源と連通してドライアイススノーを噴射するドライアイススノー噴射口と、上記整流ガス供給源と連通するとともに、上記ドライアイススノー噴射口を挟んで傾斜して対峙する第１の整流ガス噴出口とを備えていることを要旨とする。
　すなわち、本発明は、ドライアイススノー噴射口と、上記ドライアイススノー噴射口を挟んで傾斜して対峙する第１の整流ガス噴出口とを備えている。
　このため、ドライアイススノー噴射口から噴射されたドライアイススノーは、対峙する第１の整流ガス噴出口から噴出された整流ガスの作用により扁平に広がり、被洗浄物に衝突する。このように、噴射されたドライアイススノーを整流ガスの作用で扁平にするため、従来のようなドライアイススノーがノズル内面にあたることによるロスやパーティクルの発生がなく、炭酸ガスのロスや洗浄不良といった事態の発生を防止できる。このように、炭酸ガスの消費ロスを抑えながら効率的で品質のよい洗浄を実現することができる。
　本発明において、上記ドライアイススノー噴射口が、対峙する第１の整流ガス噴出口から噴出される整流ガスの合流点または合流点より上流側に配置されている場合には、
　ドライアイススノーは幅広く均一に噴射される。すなわち、ドライアイススノーは固体混じりであるため、噴射方向は噴射直後の噴射流方向に大きく依存するところ、上記構成により、ドライアイススノー噴射口から噴射された直後のドライアイスの噴射方向が、対峙する第１の整流ガス噴出口から噴出した整流ガスが合流して形成するガス流に従うことになり、ドライアイススノーは幅広く均一に噴射される。このように、ドライアイススノーは、ドライアイススノー噴射口から噴射されたときまたはその後に、対峙する第１の整流ガス噴出口から噴出された整流ガスの作用により扁平に広がる。このため、ドライアイススノーを効果的に扁平化させることができ、小さな整流ガスの噴出圧力でより幅広の被洗浄物に対応した洗浄が可能となる。
　本発明において、上記ドライアイススノー噴射口の周囲には、ドライアイススノー噴射口の詰まりを防止するための整流ガスを噴出する第２の整流ガス噴出口が環状に設けられ、ドライアイススノー噴射口が、上記第２の整流ガス噴出口よりも突出して配置されている場合には、
　ドライアイススノー噴射口や流通路でのドライアイススノーの詰まりを抑え、ドライアイススノーを安定して噴射させ続け、洗浄トラブルの発生を未然に防止することができる。また、第１の整流ガス噴出口から噴出された整流ガスの合流点近傍のガス流が、第２の整流ガス噴出口自体あるいはそこから噴出された整流ガスによって、第１の整流ガス噴出口から噴出された整流ガスが乱されることを防止することができる。特に、ドライアイススノー噴射口を挟んで対峙する第１の整流ガス噴出口の傾斜が緩やかな場合には、第２の整流ガス噴出口自体あるいはそこから噴出された整流ガスによって第１の整流ガス噴出口から噴出された整流ガスがより顕著に乱れるのを防止する。また、第２の整流ガス噴出口を突き出したときには、ドライアイススノー噴射口を挟んで傾斜して対峙する第１の整流ガス噴出口間を広くする必要があり、第１の整流ガス噴出口と合流点までの距離が離れてしまい、整流ガスの流速が落ちて幅広く均一なドライアイススノーへの影響が避けられない。このように、ドライアイススノー噴射口を第２の整流ガス噴出口よりも突出させて合流点近傍に配置することにより、ガス流の障害とならないようにすることが可能となり、幅広く均一なドライアイススノーの噴射が可能となる。
本発明のドライアイススノー噴射ノズルの一実施形態を示す断面図である。 本発明のドライアイススノー噴射ノズルを噴射口側から見た図である。 洗浄試験における寸法関係を説明するための図である。 洗浄試験の結果を示す線図である。
　つぎに、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
　本実施形態のドライアイススノー噴射装置は、ドライアイススノーを生成するための図示しない炭酸ガス供給源と、ドライアイススノーを推進させるための整流ガスを供給するための図示しない整流ガス供給源と、上記炭酸ガス供給源および整流ガス供給源と連通してドライアイススノーを噴射するドライアイススノー噴射ノズルとを備えて構成されている。
　上記炭酸ガス供給源は、具体的には液化炭酸ガスボンベ等を用いることができる。上記整流ガスとしては、例えば窒素ガスを使用することができ、整流ガス供給源としては、液化窒素タンクを使用することができる。
　図１は本発明が適用されたドライアイススノー噴射ノズルの一実施形態を示す断面図、図２は噴射口側から見た図である。
　このドライアイススノー噴射ノズルは大略円筒状を呈しており、先端中央に上記炭酸ガス源と連通してドライアイススノーを噴射するドライアイススノー噴射口１が開口している。また、上記整流ガス供給源と連通するとともに、上記ドライアイススノー噴射口１を挟んで傾斜して対峙する第１の整流ガス噴出口３が形成されている。
　より詳しく説明すると、上記ドライアイススノー噴射ノズルは、ノズル本体６と、ドライアイススノー流通管５とを備えて構成されている。上記ドライアイススノー流通管５は、具体的には樹脂チューブやステンレスチューブを使用することができる。
　上記ドライアイススノー噴射口１は、ドライアイススノーが流通するドライアイススノー流通管５の先端開口として形成されている。上記ドライアイススノー流通管５は、中空で筒状のノズル本体６の内部通路８に同軸状に挿通されて配置されている。これにより、ドライアイススノー流通管５が挿通されたノズル本体６の内部通路８は、第２の整流ガスが流通する第２の流通路１２に形成されている。また、上記ドライアイススノー噴射口１の周囲には、ドライアイススノー噴射口１の詰まりを防止するための整流ガスを噴出する第２の整流ガス噴出口４が環状に形成される。ドライアイススノー噴射口１の詰まりをより防止するため、あるいはノズルの結露を防止するために、この第２の整流ガスを図示しないガスヒータ等の加温手段によって加温してもよい。
　また、上記ノズル本体６の内部通路８は、この例では、先端の開口径が小さくなるように設定されており、上記第２の整流ガス噴出口４の付近で整流ガスの流通する面積を絞り込んで、整流ガスの流速を速くするようになっている。なお、内部通路８の先端開口径を小さく絞りこまなくてもよい。また、ドライアイススノー流通管５は、ノズル本体６の先端面すなわち第２の整流ガス噴出口４の開口部よりも先端側に突出している。これにより、ドライアイススノー噴射口１が、上記第２の整流ガス噴出口４よりも突出して配置されている。
　上記ノズル本体６には、第１の整流ガスを流通させる第１の流通路１１が形成される。上記ノズル本体６の先端面には、ドライアイススノー噴射口１を挟む位置に２つの突出部１３が形成され、両突出部１３の内側面が、ドライアイススノー噴射口１に向きながら噴射方向に向かって広がる傾斜面１４に形成されている。この傾斜面１４に、第１の流通路１１に連通する第１の整流ガス噴出口３が開口している。これにより、第１の整流ガス噴出口３は、ドライアイススノー噴射口１を挟んで、ドライアイススノー噴射口１に向かうとともに噴射方向にも向くよう傾斜して対峙している。上記第１の整流ガス噴出口３から噴出される整流ガスは、ドライアイススノー噴射口１および噴射方向に向かって斜めに噴出される。被洗浄物が冷えることによる結露を防止するために、この第１の整流ガスを図示しないガスヒータ等の加温手段によって加温してもよい。
　上記傾斜面１４がドライアイススノーの噴出方向となす角度θは、２０°≦θ≦４５°程度が好ましい。また、第１の整流ガス噴出口３の形状としては、好ましくは長穴形状或いは円形状が良い。
　そして、上述したように、ドライアイススノー流通管５がノズル本体６の先端面よりも突出していることにより、ドライアイススノー噴射口１は、対峙する第１の整流ガス噴出口３から噴出される整流ガスの合流点または合流点より上流側に配置されている。
　本実施形態のドライアイススノー噴射ノズルは、ドライアイススノー噴射口１と、上記ドライアイススノー噴射口１を挟んで傾斜して対峙する第１の整流ガス噴出口３とを備えている。
　このため、ドライアイススノー噴射口１から噴射されたドライアイススノーは、対峙する第１の整流ガス噴出口３から噴出された整流ガスの作用により扁平に広がり、被洗浄物に衝突する。このように、噴射されたドライアイススノーを整流ガスの作用で扁平にするため、従来のようなドライアイススノーがノズル内面にあたることによるロスやパーティクルの発生がなく、炭酸ガスのロスや洗浄不良といった事態の発生を防止できる。このように、炭酸ガスの消費ロスを抑えながら効率的で品質のよい洗浄を実現することができる。
　また、上記ドライアイススノー噴射口１が、対峙する第１の整流ガス噴出口３から噴出される整流ガスの合流点または合流点より上流側に配置されているため、
　ドライアイススノーは幅広く均一に噴射される。すなわち、ドライアイススノーは固体混じりであるため、噴射方向は噴射直後の噴射流方向に大きく依存するところ、上記構成により、ドライアイススノー噴射口１から噴射された直後のドライアイスの噴射方向が、対峙する第１の整流ガス噴出口１から噴出した整流ガスが合流して形成するガス流に従うことになり、ドライアイススノーは幅広く均一に噴射される。このように、ドライアイススノーは、ドライアイススノー噴射口１から噴射されたときまたはその後に、対峙する第１の整流ガス噴出口３から噴出された整流ガスの作用により扁平に広がる。このため、ドライアイススノーを効果的に扁平化させることができ、小さな整流ガスの噴出圧力でより幅広の被洗浄物に対応した洗浄が可能となる。
　また、上記ドライアイススノー噴射口１の周囲には、ドライアイススノー噴射口１の詰まりを防止するための整流ガスを噴出する第２の整流ガス噴出口４が環状に設けられ、ドライアイススノー噴射口１が、上記第２の整流ガス噴出口４よりも突出して配置されているため、
　ドライアイススノー噴射口１や流通路でのドライアイススノーの詰まりを抑え、ドライアイススノーを安定して噴射させ続け、洗浄トラブルの発生を未然に防止することができる。また、第１の整流ガス噴出口３から噴出された整流ガスの合流点近傍のガス流が、第２の整流ガス噴出口４自体あるいはそこから噴出された整流ガスによって、第１の整流ガス噴出口３から噴出された整流ガスが乱されることを防止することができる。
特に、ドライアイススノー噴射口１を挟んで対峙する第１の整流ガス噴出口３の傾斜が緩やかな場合には、第２の整流ガス噴出口４自体あるいはそこから噴出された整流ガスによって第１の整流ガス噴出口３から噴出された整流ガスがより顕著に乱れるのを防止する。また、第２の整流ガス噴出口４を突き出したときには、ドライアイススノー噴射口１を挟んで傾斜して対峙する第１の整流ガス噴出口３間を広くする必要があり、第１の整流ガス噴出口３と合流点までの距離が離れてしまい、整流ガスの流速が落ちて幅広く均一なドライアイススノーへの影響が避けられない。このように、ドライアイススノー噴射口１を第２の整流ガス噴出口４よりも突出させて合流点近傍に配置することにより、ガス流の障害とならないようにすることが可能となり、幅広く均一なドライアイススノーの噴射が可能となる。
　また、本実施形態では、炭酸ガス消費量が１~５ｋｇ／ｈとなり、効果的に幅広くドライアイススノー噴射が可能となる。
　上記実施形態で説明したドライアイススノー噴射ノズルを用いて洗浄試験を行った。
　洗浄対象物としてガラス基板を準備し、油性ペンで付着させたインクをドライアイススノー洗浄で除去し、除去された洗浄幅を測定した。
・試験条件
　第１の整流ガス噴出口の傾斜面角度θ：２５°
　第１の整流ガス噴出口の形状　　　　：φ１．６ｍｍ長穴構造
　ドライアイススノー流通管外径　　　：φ１．６ｍｍ
　第２の整流ガス噴出口の内径　　　　：φ２．８ｍｍ
　整流ガス供給圧力　　　　　　　　　：０．４５ＭＰａＧ
　液化炭酸ガス供給圧力　　　　　　　：７．０ＭＰａＧ
　洗浄時間　　　　　　　　　　　　　：１２０ｓｅｃ
　図３は、洗浄試験における寸法関係を説明する図である。
　第１の整流ガス噴出口３が形成された傾斜面１４と噴射方向（この例ではノズルの長手方向でもある）とのなす角度θを２５°とした。
　第２の整流ガス噴出口４から被洗浄物までの距離を２５ｍｍとした。
　第２の整流ガス噴出口４は距離Ｘ＝−３．５ｍｍで固定した。
　この洗浄試験では、液化炭酸ガスを４．５ｋｇ／ｈで供給した。
　第１の整流ガス噴出口３から噴出させた第１の整流ガスの合流点とドライアイススノー噴射口１との距離Ｘ（ｍｍ）を変化させて実際にドライアイススノー洗浄を実施し、そのときの洗浄幅（ｍｍ）を測定した。上記距離Ｘは、−Ｘで合流点より上流、＋Ｘで合流点より下流である。
　図４は、上記洗浄試験の結果を示す線図である。
　図４からわかるように、距離Ｘの範囲は、−２．５ｍｍ≦Ｘ≦０ｍｍが良く、さらに好ましくは−２．０ｍｍ≦Ｘ≦−０．５ｍｍであった。
　実施例１で実施したドライアイススノー噴射ノズルの第２の整流ガス噴出口４をドライアイススノー流通管５とともに突出させて洗浄試験を実施した。
　第２の整流ガス噴出口４とドライアイススノー噴射口１の位置はＸ＝０ｍｍで固定した。また、第２の整流ガス噴出口４から被洗浄物までの距離を２１．５ｍｍとした。
　実施例１と同様に、洗浄対象物としてガラス基板を準備し、油性ペンで付着させたインクをドライアイススノー洗浄で除去し、除去された洗浄幅を測定した。
・試験条件
　第１の整流ガス噴出口の傾斜面角度θ：２５°
　第１の整流ガス噴出口の形状　　　　：φ１．６ｍｍ長穴構造
　ドライアイススノー流通管外径　　　：φ１．６ｍｍ
　第２の整流ガス噴出口の内径　　　　：φ２．８ｍｍ
　第２の整流ガス噴出口の外径　　　　：φ４．０ｍｍ
　整流ガス供給圧力　　　　　　　　　：０．４５ＭＰａＧ
　液化炭酸ガス供給圧力　　　　　　　：７．０ＭＰａＧ
　洗浄時間　　　　　　　　　　　　　：１２０ｓｅｃ
上記洗浄試験を行った結果、洗浄幅は１５ｍｍであった。
　実施例１では、第２の整流ガス噴出口を距離Ｘ＝−３．５ｍｍで固定し、ドライアイススノー噴出口１がＸ＝０ｍｍであれば、ドライアイススノー噴射口１が第２の整流ガス噴出口４よりも突出した状態である。このときの洗浄幅が４７ｍｍであった。
　実施例２では、第２の整流ガス噴出口４をドライアイススノー流通管５とともに突出させたため、ドライアイススノー噴射口１は第２の整流ガス噴出口４よりも突出していない状態である。このときの洗浄幅が１５ｍｍであった。
　このように、ドライアイススノー噴射口１を第２の整流ガス噴出口４よりも突出させた方がドライアイススノーがより幅広く噴射されていることがわかる。ドライアイススノー流通管５、第２の整流ガス噴出口４の口径が大きくなった場合、第１の整流ガスの乱れはより大きくなる。
　なお、上記実施形態では、第１の整流ガス噴出口３を、ドライアイススノー噴射口１を挟んでそれぞれ１つずつ設けるようにしたが、これに限定するものではなく、ドライアイススノー噴射口１を挟んでそれぞれ複数ずつ設けるようにすることもできる。この場合も、上記実施形態と同様の作用効果を奏する。
　本発明が対象とするものは、例えば、電子基板、電子部品、センサー素子、フラットパネルディスプレイ基板、タッチパネル、半導体基板、半導体素子、ＭＥＭＳ、光学部品、光学フィルム関連品、印刷関連品、磁気部品、半導体関連品、金属部品、熱交換器、成形金型、ガラス、食品等各種のものをあげることができる。本発明では、これらの対象物に付着した異物、パーティクル、無機物、有機物等、各種の汚染物を除去することができる。また、プラスチック成形部品にできたバリ等を除去することにも適用できる。これらの態様を本発明の洗浄に含める趣旨である。
　１：ドライアイススノー噴射口
　３：第１の整流ガス噴出口
　４：第２の整流ガス噴出口
　５：ドライアイススノー流通管
　６：ノズル本体
　８：内部通路
１１：第１の流通路
１２：第２の流通路
１３：突出部
１４：傾斜面

Claims (3)

  1. ドライアイススノーを生成するための炭酸ガス供給源と、ドライアイススノーを推進させるための整流ガスを供給するための整流ガス供給源と、上記炭酸ガス源と連通してドライアイススノーを噴射するドライアイススノー噴射口と、上記整流ガス供給源と連通するとともに、上記ドライアイススノー噴射口を挟んで傾斜して対峙する第１の整流ガス噴出口とを備えていることを特徴とするドライアイススノー噴射装置。
  2. 上記ドライアイススノー噴射口が、対峙する第１の整流ガス噴出口から噴出される整流ガスの合流点または合流点より上流側に配置されている請求項１記載のドライアイススノー噴射装置。
  3. 上記ドライアイススノー噴射口の周囲には、ドライアイススノー噴射口の詰まりを防止するための整流ガスを噴出する第２の整流ガス噴出口が環状に設けられ、ドライアイススノー噴射口が、上記第２の整流ガス噴出口よりも突出して配置されている請求項１または２記載のドライアイススノー噴射装置。
PCT/JP2012/056212 2011-03-10 2012-03-05 ドライアイススノー噴射装置 WO2012121400A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201280012621.0A CN103415356B (zh) 2011-03-10 2012-03-05 干冰雪喷射装置
JP2013503641A JP5926725B2 (ja) 2011-03-10 2012-03-05 ドライアイススノー噴射装置
US14/003,618 US20130341427A1 (en) 2011-03-10 2012-03-05 Carbon dioxide snow ejecting device
KR1020137023623A KR101872671B1 (ko) 2011-03-10 2012-03-05 드라이아이스 스노우 분사 장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011052630 2011-03-10
JP2011-052630 2011-03-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012121400A1 true WO2012121400A1 (ja) 2012-09-13

Family

ID=46798351

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/056212 WO2012121400A1 (ja) 2011-03-10 2012-03-05 ドライアイススノー噴射装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20130341427A1 (ja)
JP (1) JP5926725B2 (ja)
KR (1) KR101872671B1 (ja)
CN (1) CN103415356B (ja)
TW (1) TWI569885B (ja)
WO (1) WO2012121400A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016087745A (ja) * 2014-11-05 2016-05-23 有限会社クールテクノス 洗浄装置
JP2020512934A (ja) * 2017-04-04 2020-04-30 クリーンロジックス エルエルシー 受動静電ｃｏ２複合スプレー塗布器

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104069962A (zh) * 2013-03-29 2014-10-01 宁夏嘉翔自控技术有限公司 外槽分层式压缩空气用吹扫喷嘴
KR101692347B1 (ko) * 2015-04-17 2017-01-03 주식회사 에스엠뿌레 분무기 및 분무조절장치
US20160322239A1 (en) * 2015-04-28 2016-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and Apparatus for Cleaning a Substrate
KR101779488B1 (ko) 2015-06-30 2017-09-19 주식회사 아이엠티 마이크로 이산화탄소 스노우 세정장치
CN105149308B (zh) * 2015-10-23 2017-07-25 北京七星华创电子股份有限公司 一种具有去除静电作用的清洗装置和清洗方法
JP6192701B2 (ja) * 2015-11-26 2017-09-06 株式会社ヨシカワ 排出シュートにおける結露防止装置及び粉粒体供給装置
KR102654602B1 (ko) * 2016-12-28 2024-04-03 세메스 주식회사 노즐 조립체 및 이를 포함하는 테스트 핸들러
CN107377531A (zh) * 2017-08-24 2017-11-24 中国汽车工业工程有限公司 一种二氧化碳雪花清洗喷嘴装置
CN109277220B (zh) * 2018-10-31 2023-04-11 厦门理工学院 一种具有稳定干冰流向功能的干冰清洗喷嘴
EP4084930A1 (en) 2019-12-31 2022-11-09 Cold Jet LLC Method and apparatus for enhanced blast stream
CN111451204A (zh) * 2020-04-29 2020-07-28 安徽沃伦科技有限公司 一种真皮面料羽绒服清洗设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11347457A (ja) * 1998-06-04 1999-12-21 Anest Iwata Corp エア・エアレスガン
JP2001179634A (ja) * 1999-12-24 2001-07-03 Nippon Sanso Corp 洗浄用ドライアイススノー噴射装置とそれを使用した洗浄方法
JP2006128332A (ja) * 2004-10-28 2006-05-18 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置および基板処理方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2557383Y2 (ja) * 1991-12-06 1997-12-10 大陽東洋酸素株式会社 ドライアイス・ブラスト用噴射ガン
US5779523A (en) * 1994-03-01 1998-07-14 Job Industies, Ltd. Apparatus for and method for accelerating fluidized particulate matter
US5725154A (en) * 1995-08-18 1998-03-10 Jackson; David P. Dense fluid spray cleaning method and apparatus
JP3033953B2 (ja) * 1997-07-28 2000-04-17 川崎重工業株式会社 電気集塵装置
JP2002177828A (ja) * 2000-12-12 2002-06-25 Canon Inc 洗浄方法，その装置およびこれによる洗浄物ならびにホッパ
JP2002224592A (ja) * 2001-02-01 2002-08-13 Ikeuchi:Kk ノズル
JP4005792B2 (ja) * 2001-11-08 2007-11-14 大陽日酸株式会社 ドライアイス噴射用ノズルおよびブラスト装置
KR20040101948A (ko) * 2004-05-31 2004-12-03 (주)케이.씨.텍 표면세정용 승화성 고체입자 분사용 노즐 및 이를 이용한 세정방법
JP2007203448A (ja) * 2006-02-06 2007-08-16 Stolz Co Ltd ドライアイスブラスト装置
CN102947007A (zh) * 2010-04-19 2013-02-27 喷雾系统公司 外部混合空气辅助的喷雾喷嘴组件

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11347457A (ja) * 1998-06-04 1999-12-21 Anest Iwata Corp エア・エアレスガン
JP2001179634A (ja) * 1999-12-24 2001-07-03 Nippon Sanso Corp 洗浄用ドライアイススノー噴射装置とそれを使用した洗浄方法
JP2006128332A (ja) * 2004-10-28 2006-05-18 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置および基板処理方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016087745A (ja) * 2014-11-05 2016-05-23 有限会社クールテクノス 洗浄装置
JP2020512934A (ja) * 2017-04-04 2020-04-30 クリーンロジックス エルエルシー 受動静電ｃｏ２複合スプレー塗布器

Also Published As

Publication number Publication date
TWI569885B (zh) 2017-02-11
KR20140047030A (ko) 2014-04-21
CN103415356A (zh) 2013-11-27
US20130341427A1 (en) 2013-12-26
KR101872671B1 (ko) 2018-07-02
TW201247329A (en) 2012-12-01
JPWO2012121400A1 (ja) 2014-07-17
CN103415356B (zh) 2015-07-22
JP5926725B2 (ja) 2016-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5926725B2 (ja) ドライアイススノー噴射装置
KR100227018B1 (ko) 세정장치 및 세정방법
JP4971708B2 (ja) 二流体ノズル
CN1796008B (zh) 基板处理装置及其处理方法
EP2235338B1 (en) A nozzle arrangement
JP6159711B2 (ja) 液体噴射装置及び液体噴射方法
JP5922982B2 (ja) ドライアイス噴射用ノズル及びドライアイス噴射装置
JPH09220495A (ja) 流体噴出ノズル
JP4973841B2 (ja) 二流体噴射ノズル
JP2015168861A (ja) 成膜装置
KR101874714B1 (ko) 대면적 기판의 건식 세정 장치용 노즐 어셈블리
KR20090050707A (ko) 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정장치 및 그 세정방법
KR101967115B1 (ko) 드라이아이스 입자 분사 세정장치
JP2001131613A (ja) 噴霧ノズル装置
JPH10174905A (ja) 噴射ノズル
US20140034752A1 (en) Atomizer
KR101056529B1 (ko) 기액혼합류의 분사장치
JP2004050122A (ja) ノズル
CN100387357C (zh) 环喷式喷头
JP6512502B1 (ja) ノズル、及びドライアイス噴射装置
KR101214549B1 (ko) 도착효율과 미립화 성능 향상을 위한 2단 전단 동축 인젝터 장치
JP2001179634A (ja) 洗浄用ドライアイススノー噴射装置とそれを使用した洗浄方法
KR0158189B1 (ko) 분무 방법 및 분무 장치
JP2010240580A (ja) 液体噴射ノズルおよびシャワーヘッド
CN102321789A (zh) 冷却板材的组合式喷管

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12754513

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2013503641

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20137023623

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14003618

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1301005001

Country of ref document: TH

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12754513

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1