KR20140045157A - 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

유기발광 표시장치 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20140045157A
KR20140045157A KR1020120111352A KR20120111352A KR20140045157A KR 20140045157 A KR20140045157 A KR 20140045157A KR 1020120111352 A KR1020120111352 A KR 1020120111352A KR 20120111352 A KR20120111352 A KR 20120111352A KR 20140045157 A KR20140045157 A KR 20140045157A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
solution
surface treatment
pixel region
substrate
Prior art date
Application number
KR1020120111352A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101997571B1 (ko
Inventor
김영일
김의규
이아롱
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020120111352A priority Critical patent/KR101997571B1/ko
Priority to CN201310043589.9A priority patent/CN103715218B/zh
Priority to US13/907,695 priority patent/US8786174B2/en
Priority to TW102127035A priority patent/TWI587500B/zh
Publication of KR20140045157A publication Critical patent/KR20140045157A/ko
Priority to US14/307,278 priority patent/US9337246B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101997571B1 publication Critical patent/KR101997571B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • H10K50/125OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers specially adapted for multicolour light emission, e.g. for emitting white light
    • H10K50/13OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers specially adapted for multicolour light emission, e.g. for emitting white light comprising stacked EL layers within one EL unit
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/14Carrier transporting layers
    • H10K50/15Hole transporting layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/14Carrier transporting layers
    • H10K50/16Electron transporting layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/17Carrier injection layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/17Carrier injection layers
    • H10K50/171Electron injection layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/1201Manufacture or treatment
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/15Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating characterised by the solvent used
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/851Division of substrate
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301Details of OLEDs
    • H10K2102/351Thickness
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/173Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

유기발광 표시장치는 서로 다른 제1 화소영역 및 제2 화소영역이 정의된 기판, 제1 전극, 화소정의막, 공통층, 제1 표면처리층, 제2 표면처리층, 제1 용액층, 제2 용액층, 및 제2 전극을 포함한다. 상기 제1 표면처리층은 제1 폭을 갖고, 상기 제1 화소영역에 대응하게 구비된다. 상기 제2 표면처리층은 상기 제1 폭과 서로 다른 제2 폭을 갖고, 상기 제2 화소영역에 대응하게 구비된다. 상기 제1 용액층은 상기 제1 폭을 갖고, 상기 제2 용액층은 상기 제2 폭을 갖는다. 상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층은 동일한 체적을 갖고, 서로 다른 두께를 갖는다.

Description

유기발광 표시장치 및 그 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법에 관련된 것으로, 더욱 상세하게는 용액 공정을 이용한 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
유기발광 표시장치는 자발광 특성을 가져 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소형화 및 경량화에 유리하다. 또한, 유기발광 표시장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 특성을 지니므로 차세대 표시장치로 주목받고 있다.
유기발광 표시장치는 애노드 전극, 유기 발광층, 및 캐소드 전극을 구비한다. 유기발광 표시장치는 애노드 전극으로부터 주입된 정공과 캐소드 전극으로부터 주입된 전자가 유기 발광층 내에서 결합하여 엑시톤(exciton)을 형성하고, 엑시톤이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발생하는 에너지에 의해 발광이 이루어진다.
유기발광층은 적색, 녹색, 및 청색 유기발광층들로 이루어질 수 있다. 이때, 적색, 녹색, 및 청색 유기발광층들은 서로 다른 발광 효율을 가지므로, 상기 적색, 녹색, 및 청색 유기발광층들의 두께를 서로 다르게 형성하거나, 혹은 상기 적색, 녹색, 및 청색 유기발광층들 각각에 대응하고, 서로 다른 두께를 갖는 보호층들을 형성하여 상기 적색, 녹색, 및 청색 유기발광층들의 발광 효율을 동등하게 조절한다.
한편, 유기발광층 또는 공통층은 용액 공정을 이용하여 형성될 수 있다. 이때, 유기발광층 또는 공통층의 두께를 서로 다르게 형성하기 위해서는 용액이 분사되는 노즐의 사이즈를 달리하거나, 공정 조건을 변경해야 하는 문제가 있다.
본 발명이 이루고자 하는 과제는 용액 공정 조건의 변경 및 용액을 분사하기 위한 노즐의 사이즈의 변경 없이 서로 다른 두께의 용액층을 갖는 유기발광 표시장치를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 과제는 상기 유기발광 표시장치의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 기판, 제1 전극, 화소정의막, 공통층, 제1 표면처리층, 제2 표면처리층, 제1 용액층, 제2 용액층, 및 제2 전극을 포함한다.
상기 기판에는 서로 다른 제1 화소영역 및 제2 화소영역이 정의된다.
상기 제1 전극은 상기 기판 상에 배치되고, 상기 제1 화소영역 및 상기 제2 화소영역 각각에 구비된다.
상기 화소정의막은 상기 기판 및 상기 제1 전극 상에 배치되고, 상기 제1 전극의 일부를 노출하는 개구가 구비된다.
상기 공통층은 상기 기판 상에 전면적으로 형성될 수 있다.
상기 제1 표면처리층 및 상기 제2 표면처리층은 상기 기판 상에 형성되고, 평면상에서 상기 개구 및 상기 개구에 연결된 상기 화소정의막의 일부를 커버한다. 상기 제1 표면처리층은 제1 폭을 갖고, 상기 제1 화소영역에 대응하게 구비된다. 상기 제2 표면처리층은 상기 제1 폭과 서로 다른 제2 폭을 갖고 상기 제2 화소영역에 대응하게 구비된다.
상기 제1 표면처리층 및 상기 제2 표면처리층 각각은 상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층 각각에 대한 친액성 물질로 이루어질 수 있다.
상기 제1 용액층은 상기 제1 표면처리층 상면에 접촉하고, 상기 제1 폭을 가질 수 있다. 상기 제2 용액층은 상기 제2 표면처리층 상면에 접촉하고, 상기 제2 폭을 가질 수 있다.
상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층은 동일한 체적을 갖고, 서로 다른 두께를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법은, 서로 다른 제1 화소영역 및 제2 화소영역이 정의된 기판을 제공하는 단계; 상기 기판 상에 상기 제1 화소영역 및 상기 제2 화소영역 마다 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 기판 상에 상기 제1 전극의 일부를 노출하도록 화소정의막을 형성하는 단계; 상기 기판 전면에 공통층을 형성하는 단계; 상기 기판 상에 상기 제1 화소영역 및 상기 제2 화소영역 마다 표면처리층을 형성하는 단계; 제1 부피를 갖는 제1 용액을 상기 제1 화소영역 내에 분사하여 제1 두께를 갖는 제1 용액층을 형성하는 단계; 및 상기 제1 부피를 갖는 제2 용액을 상기 제2 화소영역 내에 분사하여 제1 두께와 서로 다른 제2 두께를 갖는 제2 용액층을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 유기발광 표시장치에 의하면, 용액 공정 조건의 변경이나 용액을 분사하기 위한 노즐의 사이즈 변경 없이, 동일한 체적을 가지면서도 서로 다른 두께를 갖는 용액층들을 형성하여, 각 화소영역 마다 발광되는 색에 따른 공진 조건을 만족할 수 있다.
또한, 본 발명의 제조 방법에 의하면, 상기 유기발광 표시장치가 제조된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 I-I’ 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기발광 표시장치를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법을 도시한 순서도이다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시장치(1000)의 평면도이고, 도 2는 도 1의 I-I’ 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 유기발광 표시장치(1000)는 기판(100), 제1 전극(110), 화소정의막(120), 공통층(CL), 표면처리층(PL), 용액층(LQ), 및 제2 전극(180)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 공통층(CL)은 정공주입층(130), 정공수송층(140), 전자수송층(150), 및 전자주입층(160)을 포함할 수 있다.
상기 기판(100)에는 서로 다른 제1 화소영역(PA1) 및 제2 화소영역(PA2)이 정의될 수 있다. 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2)에서 출광되는 광은 서로 다른 색의 가시광일 수 있다.
상기 기판(100)은 투명 유리 또는 투명 플라스틱으로 이루어질 수 있다.
도시하지는 않았으나, 상기 유기발광 표시장치(1000)는 상기 기판(100) 상에 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2) 마다 형성된 박막트랜지스터를 더 포함할 수 있다. 상기 박막트랜지스터의 출력단은 상기 제1 전극(110)에 연결되어 상기 제1 전극(110)에 입력단으로부터 제공된 데이터 전압을 인가할 수 있다.
상기 제1 전극(110)은 상기 기판(100) 상에 배치되고, 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2) 각각에 구비될 수 있다.
상기 제1 전극(110)은 정공 주입 전극인 양극일 수 있다. 상기 제1 전극(110)은 상대적으로 높은 일함수를 갖는 물질, 예를 들어, 산화인듐주석(ITO), 산화인듐아연(IZO), 산화주석(SnO2), 산화아연(ZnO) 등으로 이루어질 수 있으며, 필요에 따라, 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 금(Au) 등과 같은 전도성 금속을 포함할 수 있다.
상기 화소정의막(120)은 상기 기판(100) 및 상기 제1 전극(110) 상에 배치되고, 상기 제1 전극(110)의 일부를 노출하는 개구(OP)를 구비할 수 있다. 상기 화소정의막(120)은 평면상에서 상기 제1 전극(110)의 에지를 커버하도록 형성될 수 있다.
상기 화소정의막(120)은 절연물질로 형성되며, 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2)를 분리하는 기능을 한다.
상기 공통층(CL)은 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2)이 공유하는 층이다. 따라서, 상기 공통층(CL)은 상기 기판(100) 상에 전면적으로 형성될 수 있다.
상기 정공주입층(130)은 상기 제1 전극(110)에서 정공이 용이하게 방출되도록 하는 기능을 한다. 상기 정공주입층(130)은 상기 제1 전극(110) 및 상기 화소정의막(120) 상에 전면적으로 형성될 수 있다. 상기 정공주입층(130)은 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2)에서 서로 동일한 두께를 가질 수 있다.
상기 정공수송층(140)은 상기 정공주입층(130)에서 제공된 정공을 상기 용액층(LQ)으로 전달하는 역할을 한다. 상기 정공수송층(140)은 상기 정공주입층(130) 상에 전면적으로 형성될 수 있다. 상기 정공수송층(140)은 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2)에서 서로 동일한 두께를 가질 수 있다.
상기 표면처리층(PL)은 평면상에서 상기 개구(OP) 및 상기 개구(OP)에 연결된 상기 화소정의막(120)의 일부를 커버하도록 배치된다. 도 2에서 상기 표면처리층(PL)은 상기 정공수송층(140) 상에 배치된 것을 일 예로 도시하였다.
상기 표면처리층(PL)은 제1 표면처리층(PL1) 및 제2 표면처리층(PL2)을 포함할 수 있다. 상기 제1 표면처리층(PL1)은 상기 제1 화소영역(PA1)에 구비되고, 제1 방향(D1)으로 제1 폭(W1)을 가질 수 있다. 상기 제2 표면처리층(PL2)은 상기 제2 화소영역(PA2)에 구비되고, 상기 제1 방향(D1)으로 상기 제1 폭(W1)과 서로 다른 제2 폭(W2)을 가질 수 있다. 도 2에서 상기 제1 폭(W1)은 상기 제2 폭(W2) 보다 작은 것을 일 예로 도시하였다.
상기 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2)는 서로 동일한 두께를 가질 수 있다.
상기 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2) 각각은 상기 제1 용액층(LQ1) 및 상기 제2 용액층(LQ2) 각각에 대한 친액성 물질로 이루어질 수 있다. 다시 말해, 상기 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2)은 상기 용액층(LQ)을 형성하기 위한 용액에 친화력이 강한 친액성 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 용액이 친수성 용액이라면, 상기 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2)은 친수성 물질로 이루어질 수 있다.
상기 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2)은 플라즈마 공정을 이용하거나, 친액성 물질을 도포하여 형성될 수 있다.
상기 용액층(LQ)은 용액 공정을 통해 형성될 수 있다. 즉, 휘발성이 있는 용매에 여러가지 용질이 용해된 용액을 준비하고, 상기 용액을 분사하고 건조시켜 상기 용액층(LQ)을 형성할 수 있다.
상기 용액층(LQ)은 실제로 광이 발광되는 유기발광층일 수 있다. 따라서, 상기 용액에는 유기발광물질이 포함될 수 있다.
상기 용액층(LQ)은 제1 용액층(LQ1) 및 제2 용액층(LQ2)을 포함할 수 있다.
상기 제1 용액층(LQ1)은 상기 제1 표면처리층(PL1) 상에 대응하게 배치되고, 상기 제1 방향(D1)으로 상기 제1 폭(W1)을 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 용액층(LQ1)은 제2 방향(D2)으로 제1 두께(T1)를 가질 수 있다.
상기 제2 용액층(LQ2)은 상기 제2 표면처리층(PL2) 상에 대응하게 배치되고, 상기 제1 방향(D1)으로 상기 제2 폭(W2)을 가질 수 있다. 또한, 상기 제2 용액층(LQ2)은 상기 제2 방향(D2)으로 상기 제1 두께(T1)와 서로 다른 제2 두께(T2)를 가질 수 있다.
상기 제1 용액층(LQ1) 및 상기 제2 용액층(LQ2)의 체적은 서로 동일할 수 있다. 즉, 상기 제1 용액층(LQ1) 및 상기 제2 용액층(LQ2)을 형성하기 위한 용액들은 상기 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2) 각각에 동일한 양으로 분사된다. 분사된 용액들은 친액성 물질인 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2) 상에만 존재하게 되고, 상기 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2)이 형성되지 않은 영역에는 존재하지 않는다. 이때, 상기 제1 폭(W1) 및 상기 제2 폭(W2)이 서로 다르므로, 상기 분사된 용액들을 휘발시킨 후 남아있는 고형분의 용질(유기발광물질)은 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2)에서 서로 다른 두께를 갖게 된다.
상기 유기발광 표시장치(1000)는 상기 용액층(LQ)이 형성되는 위치를 정밀하게 제어하기 위해, 상기 정공수송층(140)을 발액성 물질로 형성하거나, 상기 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2) 사이에 형성된 발액성 물질을 더 포함할 수 있다.
상기 전자수송층(150)은 상기 전자주입층(160)에서 제공된 전자를 상기 용액층(LQ)으로 전달하는 역할을 한다. 상기 전자수송층(150)은 상기 용액층(LQ)이 형성된 기판(100) 상에 전면적으로 형성될 수 있다. 상기 전자수송층(150)은 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2)에서 서로 동일한 두께를 가질 수 있다.
상기 전자주입층(160)은 상기 제2 전극(180)에서 전자가 용이하게 방출되도록 하는 기능을 한다. 상기 전자주입층(160)은 상기 전자수송층(150) 상에 전면적으로 형성될 수 있다. 상기 정공주입층(160)은 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2)에서 서로 동일한 두께를 가질 수 있다.
상기 제2 전극(180)은 상기 전자주입층(160) 상에 전면적으로 배치될 수 있다.
상기 제2 전극(180)은 전자 주입 전극인 음극일 수 있다. 상기 제2 전극(180)은 상대적으로 낮은 일함수를 가지는 금속, 합금, 전기전도성 화합물 및 이들의 조합으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제2 전극(180)은 리튬(Li), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 알루미늄-리튬(Al-Li), 칼슘(Ca), 마그네슘-인듐(Mg-In), 마그네슘-은(Mg-Ag), 산화인듐주석(ITO), 산화인듐아연(IZO), 산화주석(SnO2), 산화아연(ZnO)등으로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시장치(1000)에 의하면, 상기 표면처리층(PL)의 폭을 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2) 마다 다르게 형성함으로써, 동일한 양의 용액을 사용하더라도, 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2) 마다 서로 다른 두께의 용액층을 형성할 수 있다. 따라서, 별도의 공정 조건을 변경하거나 용액을 분사하기 위한 노즐의 사이즈를 변경할 필요가 없이 두께가 상이한 용액층들을 형성하여, 각 화소영역 마다 발광되는 색에 따른 공진 조건을 만족할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시장치(1000)는 2개의 화소영역을 예로 들어 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니고, 3개 이상의 화소영역들이 정의된 경우에도 동일하게 적용될 수 있다. 일 예로, 상기 기판(100)에 서로 다른 3개의 화소영역들이 정의된 경우, 상기 3개의 화소영역들 각각에 형성된 용액층의 두께는 서로 다르나, 체적은 서로 동일할 수 있다. 이때, 상기 3개의 화소영역들에서 출광되는 광은 각각 적색, 녹색, 청색 가시광일 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기발광 표시장치(1100)를 도시한 단면도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 일 실시예와 비교하여, 표면처리층 및 용액층의 위치가 상이하고, 용액층과 공통층의 기능이 상이하다. 이하에서는 본 발명의 다른 실시예와 일 실시예의 차이점을 중심으로 설명하고, 설명되지 않은 부분은 일 실시예에 따른다.
도 3을 참조하면, 유기발광 표시장치(1100)는 기판(100), 제1 전극(110), 화소정의막(120), 공통층(CL’) 표면처리층(PL’), 용액층(LQ’), 및 제2 전극(180)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 공통층(CL’), 정공수송층(140), 유기발광층(170), 전자수송층(150), 전자주입층(160)을 포함할 수 있다.
상기 화소정의막(120)은 상기 기판(100) 상에 배치되고, 상기 제1 전극(110)의 일부를 노출하는 개구(OP)를 구비할 수 있다.
상기 표면처리층(PL’)은 평면상에서 상기 개구(OP) 및 상기 개구(OP)에 연결된 상기 화소정의막(120)의 일부를 커버하도록 배치된다. 도 3에서 상기 표면처리층(PL’)은 상기 화소정의막(120) 상에 배치된 것을 일 예로 도시하였다.
상기 표면처리층(PL’)은 제1 표면처리층(PL’1) 및 제2 표면처리층(PL’2)을 포함한다. 상기 제1 표면처리층(PL’1)은 제1 화소영역(PA1)에 구비되고, 제1 방향(D1)으로 제1 폭(W3)을 가질 수 있다. 상기 제2 표면처리층(PL’2)은 제2 화소영역(PA2)에 구비되고, 상기 제1 방향(D1)으로 제2 폭(W4)을 가질 수 있다. 도 3에서 상기 제1 폭(W3)은 상기 제2 폭(W4) 보다 작은 것을 일 예로 도시하였다.
상기 용액층(LQ’)은 정공주입층으로, 용액 공정을 통해 형성될 수 있다.
상기 용액층(LQ’)은 제1 용액층(LQ’1) 및 제2 용액층(LQ2’)을 포함할 수 있다. 상기 제1 용액층(LQ’1)은 상기 제1 표면처리층(PL’1) 상에 대응하게 배치되고, 상기 제1 방향(D1)으로 상기 제1 폭(W3)을 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 용액층(LQ1’)은 제2 방향(D2)으로 제1 두께(T3)를 가질 수 있다.
상기 제2 용액층(LQ’2)은 상기 제2 표면처리층(PL’2) 상에 대응하게 배치되고, 상기 제1 방향(D1)으로 상기 제2 폭(W4)을 가질 수 있다. 또한, 상기 제2 용액층(LQ’2)은 제2 방향(D2)으로 제1 두께(T4)를 가질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유기발광 표시장치에 의하면, 정공주입층을 용액 공정을 통해 형성하여 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2) 마다 정공주입층의 두께를 다르게 형성할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 정공주입층이 용액층인 것으로 설명하였으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니고, 용액층은 정공수송층, 전자수송층, 및 전자주입층 중 적어도 하나 이상일 수 있다. 예를 들어, 전자수송층이 용액층인 경우, 표면처리층은 유기발광층 상에 배치되고, 상기 용액층은 상기 표면처리층과 전자주입층 사이에 배치될 수 있다.
또한, 용액층이 2 이상의 층으로 이루어진 경우, 상기 표면처리층 역시 상기 용액층에 대응하여 2 이상의 층으로 이루어질 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법을 도시한 순서도이다.
도 1, 도 2, 및 도 4를 참조하면, 먼저, 서로 다른 제1 화소영역(PA) 및 제2 화소영역(PA2)이 정의된 기판(100)을 준비한다.(S1) 이때, 상기 기판(100)은 제1 전극(110)이 형성되기 전 상태의 기판일 수 있다. 구체적으로, 상기 기판(100)은 박막트랜지스터와 상기 박막트랜지스터 상에 배치되며, 상기 박막트랜지스터의 출력단을 노출하는 콘택홀이 구비된 평탄화막을 포함할 수 있다.
이후, 상기 기판(100) 상에 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2) 마다 제1 전극(110)을 형성한다.(S2) 상기 제1 전극(110)은 상기 기판(100) 전면에 도전층을 증착하고, 패터닝 하여 형성될 수 있다.
상기 제1 전극(110)이 형성된 기판(100) 상에 화소정의막(120)을 형성한다.(S3) 상기 화소정의막(120)은 상기 기판(100) 전면에 절연물질을 증착하고, 패터닝하여 형성될 수 있다. 이때, 상기 화소정의막(120)은 상기 제1 전극(110)의 일부를 노출하도록 패터닝된다.
이후, 상기 화소정의막(120) 전면에 제1 공통층을 형성한다.(S4) 상기 제1 공통층은 정공주입층(130) 및 정공수송층(140)을 포함할 수 있다.
이후, 상기 제1 공통층 상에 표면처리층(PL)을 형성한다.(S5) 상기 표면처리층(PL)은 상기 제1 공통층 상에 친액성 물질층을 균일한 두께를 갖도록 형성하고, 패터닝하여 형성할 수 있다. 이때, 상기 친액성 물질층은 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2) 마다 서로 다른 제1 방향(D1) 폭을 갖도록 패터닝되어 제1 표면처리층(PL1) 및 제2 표면처리층(PL2)이 형성된다.
이후, 상기 표면처리층(PL) 상에 용액층(LQ)을 형성한다.(S6) 이때, 상기 용액층(LQ)은 용액 공정을 이용하여 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 용액 공정은 스핀 코팅(spin coating), 잉크젯 프린팅(inkjet printing), 그라비어 프린팅(gravure printing), 롤투롤 프로세싱(roll to roll processing), 시린지 인젝션(syringeinjection), 딥 코팅(dip coating), 스프레이 코팅(spray coating), 릴리프 프린팅(relief printing), 리소그라피 프린팅(lithography printing), 플렉소그라피 프린팅(flexography printing) 및 스크린 프린팅(screenprinting) 중 하나일 수 있다.
상기 용액 공정에 사용되는 용액은 상기 제1 화소영역(PA1) 및 상기 제2 화소영역(PA2) 각각에 동일한 양 만큼 분사된다. 이때, 상기 제1 화소영역(PA1) 내에 분사되는 용액은 제1 용액으로 정의되고, 상기 제2 화소영역(PA2) 내에 분사되는 용액은 제2 용액으로 정의될 수 있다.
상기 제1 용액 및 상기 제2 용액 각각은 동일한 사이즈의 노즐을 이용하여 분사될 수 있다.
상기 제1 용액 및 상기 제2 용액 각각의 제1 방향(D1) 폭은 상기 친액성 물질인 제1 표면처리층(PL1) 및 상기 제2 표면처리층(PL2) 각각의 제1 방향(D1) 폭에 의해 제어된다.
이후, 상기 제1 용액 및 상기 제2 용액을 건조시키면, 용매는 증발되고, 고형분의 용질만 남아 제1 용액층(LQ1) 및 제2 용액층(LQ2)이 형성된다. 상기 제1 용액층(LQ1) 및 상기 제2 용액층(LQ2)는 동일한 체적을 가지나, 제1 방향(D1) 폭 차이로 인하여 서로 다른 제2 방향(D2) 두께를 가진다.
이후, 상기 용액층(LQ) 전면에 제2 공통층을 형성한다.(S7) 상기 제2 공통층은 전자수송층(150) 및 전자주입층(160)을 포함할 수 있다.
마지막으로, 상기 제2 공통층 전면에 제2 전극(180)을 형성한다.(S8)
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징으로 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1000, 1100: 유기발광 표시장치 100: 기판
110: 제1 전극 120: 화소정의막
CL, CL’: 공통층 PL, PL’: 표면처리층
LQ, LQ’: 용액층 180: 제2 전극
PA1: 제1 화소영역 PA2: 제2 화소영역

Claims (18)

  1. 서로 다른 제1 화소영역 및 제2 화소영역이 정의된 기판;
    상기 기판 상에 배치되고, 상기 제1 화소영역 및 상기 제2 화소영역 각각에 구비된 제1 전극;
    상기 기판 및 상기 제1 전극 상에 배치되고, 상기 제1 전극의 일부를 노출하는 개구가 구비된 화소정의막;
    상기 기판 상에 전면적으로 형성된 공통층;
    상기 기판 상에 형성되고, 상기 개구 및 상기 개구에 연결된 상기 화소정의막의 일부를 커버하는 표면처리층;
    상기 표면처리층 상에 형성되고, 상기 제1 화소영역 내에 구비된 제1 용액층;
    상기 표면처리층 상에 형성되고, 상기 제2 화소영역 내에 구비된 제2 용액층; 및
    상기 공통층, 상기 제1 용액층, 및 상기 제2 용액층 상에 형성된 제2 전극을 포함하고,
    상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층은 동일한 체적을 갖고, 서로 다른 두께를 갖는 유기발광 표시장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 표면처리층은
    제1 폭을 갖고, 상기 제1 화소영역에 대응하게 구비된 제1 표면처리층;
    상기 제1 폭과 서로 다른 제2 폭을 갖고, 상기 제2 화소영역에 대응하게 구비된 제2 표면처리층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 표면처리층 및 상기 제2 표면처리층 각각은 상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층 각각에 대한 친액성 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층 각각은 상기 제1 표면처리층 및 상기 제2 표면처리층 각각의 상면에 접촉하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 용액층은 상기 제1 폭을 갖고, 상기 제2 용액층은 상기 제2 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층 각각은
    상기 화소정의막 상에 배치된 정공주입층;
    상기 정공주입층 상에 배치된 정공수송층;
    상기 정공수송층 상에 배치된 유기발광층;
    상기 정공수송층 상에 배치된 전자수송층; 및
    상기 전자수송층 상에 배치된 전자주입층 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층 각각이 상기 정공주입층, 상기 정공수송층, 상기 유기발광층, 상기 전자수송층, 및 상기 전자주입층 중 1 이상 4 이하를 포함하는 경우, 상기 공통층은 나머지를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 제1 용액층 및 상기 제2 용액층은 광이 발광되는 유기발광층인 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 공통층은
    상기 화소정의막 상에 배치된 정공주입층;
    상기 정공주입층 상에 배치된 정공수송층;
    상기 정공수송층 상에 배치된 전자수송층; 및
    상기 전자수송층 상에 배치된 전자주입층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 표면처리층, 상기 제1 용액층, 및 상기 제2 용액층은 상기 정공수송층 및 상기 전자수송층 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
  11. 서로 다른 제1 화소영역 및 제2 화소영역이 정의된 기판을 제공하는 단계;
    상기 기판 상에 상기 제1 화소영역 및 상기 제2 화소영역 마다 제1 전극을 형성하는 단계;
    상기 기판 상에 상기 제1 전극의 일부를 노출하도록 화소정의막을 형성하는 단계;
    상기 기판 전면에 공통층을 형성하는 단계;
    상기 기판 상에 상기 제1 화소영역 및 상기 제2 화소영역 마다 표면처리층을 형성하는 단계;
    제1 부피를 갖는 제1 용액을 상기 제1 화소영역 내에 분사하여 제1 두께를 갖는 제1 용액층을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 부피를 갖는 제2 용액을 상기 제2 화소영역 내에 분사하여 제1 두께와 서로 다른 제2 두께를 갖는 제2 용액층을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 표면처리층을 형성하는 단계는
    상기 기판 상에 상기 제1 용액 및 상기 제2 용액에 대해 친액성을 갖는 친액성 물질층을 균일한 두께로 형성하는 단계; 및
    상기 친액성 물질층을 상기 제1 화소영역 및 상기 제2 화소영역 마다 서로 다른 폭을 갖도록 패터닝하여 제1 표면처리층 및 제2 표면처리층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1 용액층을 형성하는 단계는
    상기 제1 용액을 상기 제1 표면처리층과 동일한 폭을 갖도록 분사하는 단계;
    상기 제1 용액을 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 제2 용액층을 형성하는 단계는
    상기 제2용액을 상기 제2 표면처리층과 동일한 폭을 갖도록 분사하는 단계;
    상기 제2 용액을 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 공통층을 형성하는 단계는,
    상기 화소정의막 상에 정공주입층을 형성하는 단계;
    상기 정공주입층 상에 정공수송층을 형성하는 단계;
    상기 정공수송층 상에 전자수송층을 형성하는 단계; 및
    상기 전자수송층 상에 전자주입층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 표면처리층, 상기 제1 용액층, 및 상기 제2 용액층은
    상기 정공수송층이 형성된 후, 상기 전자수송층이 형성되기 전에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 제1 용액 및 상기 제2 용액 각각은 동일한 사이즈의 노즐을 이용하여 분사되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 기판 전면에 제2 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
KR1020120111352A 2012-10-08 2012-10-08 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법 KR101997571B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120111352A KR101997571B1 (ko) 2012-10-08 2012-10-08 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법
CN201310043589.9A CN103715218B (zh) 2012-10-08 2013-02-04 有机发光显示装置及其制造方法
US13/907,695 US8786174B2 (en) 2012-10-08 2013-05-31 Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
TW102127035A TWI587500B (zh) 2012-10-08 2013-07-29 有機發光顯示裝置及其製造方法
US14/307,278 US9337246B2 (en) 2012-10-08 2014-06-17 Organic light emitting display device and method of manufacturing the same using a solution process

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120111352A KR101997571B1 (ko) 2012-10-08 2012-10-08 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140045157A true KR20140045157A (ko) 2014-04-16
KR101997571B1 KR101997571B1 (ko) 2019-07-09

Family

ID=50408052

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120111352A KR101997571B1 (ko) 2012-10-08 2012-10-08 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법

Country Status (4)

Country Link
US (2) US8786174B2 (ko)
KR (1) KR101997571B1 (ko)
CN (1) CN103715218B (ko)
TW (1) TWI587500B (ko)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160024046A (ko) * 2014-08-22 2016-03-04 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20160119351A (ko) * 2015-04-03 2016-10-13 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20160137825A (ko) * 2015-05-22 2016-12-01 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치의 제조 방법 및 이를 이용한 발광 표시 장치
US9709716B2 (en) 2014-10-13 2017-07-18 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus and method of manufacturing the same
KR20180018965A (ko) * 2016-08-12 2018-02-22 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
US10256281B2 (en) 2015-12-22 2019-04-09 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device with first and second pixel defining layers
US10424624B2 (en) 2015-06-29 2019-09-24 Samsung Display Co., Ltd. Light-emitting display device and method of fabricating the same
KR20200134189A (ko) * 2014-08-22 2020-12-01 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101997571B1 (ko) * 2012-10-08 2019-07-09 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR102363252B1 (ko) * 2014-11-12 2022-02-16 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치
KR102431626B1 (ko) * 2015-10-06 2022-08-11 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
CN107799507B (zh) * 2016-08-29 2020-02-04 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 背光系统及其制造方法
CN109427847B (zh) 2017-08-29 2020-12-11 京东方科技集团股份有限公司 发光层的制造方法、电致发光器件及显示装置
CN109301051B (zh) * 2018-09-03 2019-11-22 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制作方法
CN111509143A (zh) * 2019-05-21 2020-08-07 广东聚华印刷显示技术有限公司 功能薄膜及其制备方法、显示面板及打印系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070030140A (ko) * 2005-09-12 2007-03-15 소니 가부시키가이샤 디스플레이 유닛 및 이를 제조하기 위한 방법
JP2011054513A (ja) * 2009-09-04 2011-03-17 Seiko Epson Corp 光学装置の製造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100580872B1 (ko) 2003-12-29 2006-05-16 엘지.필립스 엘시디 주식회사 풀컬러 구조 유기전계발광 소자 및 그 제조방법
KR100672417B1 (ko) 2004-05-19 2007-01-24 엘지전자 주식회사 유기 el 소자
JP4275644B2 (ja) * 2004-06-23 2009-06-10 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板およびその製造方法、並びに電子装置
KR101399215B1 (ko) 2007-11-05 2014-05-26 엘지디스플레이 주식회사 유기발광다이오드 표시장치 및 이의 제조 방법
KR100943948B1 (ko) * 2008-01-08 2010-02-26 삼성모바일디스플레이주식회사 표시 장치
JP2010140787A (ja) * 2008-12-12 2010-06-24 Seiko Epson Corp 発光装置及びその製造方法、並びに電子機器
JP5019644B2 (ja) * 2010-03-24 2012-09-05 株式会社ジャパンディスプレイセントラル 有機el装置
KR101146991B1 (ko) * 2010-05-07 2012-05-23 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조방법
CN102742357A (zh) * 2010-08-06 2012-10-17 松下电器产业株式会社 有机el显示面板、显示装置以及有机el显示面板的制造方法
US9105860B2 (en) * 2011-06-30 2015-08-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting diode
KR101900954B1 (ko) * 2012-01-19 2018-09-21 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조방법
KR101997571B1 (ko) * 2012-10-08 2019-07-09 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR102077142B1 (ko) * 2013-10-11 2020-02-14 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070030140A (ko) * 2005-09-12 2007-03-15 소니 가부시키가이샤 디스플레이 유닛 및 이를 제조하기 위한 방법
JP2011054513A (ja) * 2009-09-04 2011-03-17 Seiko Epson Corp 光学装置の製造方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160024046A (ko) * 2014-08-22 2016-03-04 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20200134189A (ko) * 2014-08-22 2020-12-01 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치
US9709716B2 (en) 2014-10-13 2017-07-18 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus and method of manufacturing the same
KR20160119351A (ko) * 2015-04-03 2016-10-13 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20160137825A (ko) * 2015-05-22 2016-12-01 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치의 제조 방법 및 이를 이용한 발광 표시 장치
US10312443B2 (en) 2015-05-22 2019-06-04 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing light-emitting display device and light-emitting display device manufactured using the method
US10756309B2 (en) 2015-05-22 2020-08-25 Samsung Display Co., Ltd. Light-emitting display device
US10424624B2 (en) 2015-06-29 2019-09-24 Samsung Display Co., Ltd. Light-emitting display device and method of fabricating the same
US11164922B2 (en) 2015-06-29 2021-11-02 Samsung Display Co., Ltd. Method of fabricating light-emitting display device
US10256281B2 (en) 2015-12-22 2019-04-09 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device with first and second pixel defining layers
KR20180018965A (ko) * 2016-08-12 2018-02-22 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR20210118375A (ko) * 2020-11-17 2021-09-30 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치

Also Published As

Publication number Publication date
US20140097414A1 (en) 2014-04-10
TWI587500B (zh) 2017-06-11
US9337246B2 (en) 2016-05-10
CN103715218A (zh) 2014-04-09
KR101997571B1 (ko) 2019-07-09
US8786174B2 (en) 2014-07-22
TW201415621A (zh) 2014-04-16
US20140361278A1 (en) 2014-12-11
CN103715218B (zh) 2018-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101997571B1 (ko) 유기발광 표시장치 및 그 제조 방법
US10784471B2 (en) Organic light emitting display device and method of making the same
KR101640803B1 (ko) 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법
KR101920766B1 (ko) 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
JP2020523767A (ja) Oled表示パネル及びその製造方法
KR20150061921A (ko) 유기전계발광표시장치
CN108242458A (zh) 电致发光显示装置
KR20160045998A (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
CN108417600B (zh) 有机el显示面板以及有机el显示面板的制造方法
US9099408B2 (en) Organic light-emitting diode (OLED) display
US9966418B2 (en) Pixel structure, organic light emitting display panel and method for fabricating the same, and display device
US8698177B2 (en) Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same
WO2021082146A1 (zh) 显示面板及其制造方法
TW200920175A (en) Manufacturing method of display apparatus
KR101319306B1 (ko) 유기전계발광 소자의 제조방법
CN103460357A (zh) 薄膜晶体管器件及其制造方法、有机el显示元件和有机el显示装置
JP6789184B2 (ja) 有機el表示パネル及び有機el表示パネルの製造方法
CN108461659B (zh) Oled薄膜封装方法
JP2007026684A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス表示素子
KR20160038174A (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100551027B1 (ko) 유기 전계 발광 표시 장치
KR102455578B1 (ko) 발광 표시 패널
WO2021240621A1 (ja) 表示装置、及び表示装置の製造方法
GB2423870A (en) Organic EL device and method for fabricating same
JP2003317950A (ja) 有機el素子の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant