KR20160038174A - 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20160038174A
KR20160038174A KR1020140130381A KR20140130381A KR20160038174A KR 20160038174 A KR20160038174 A KR 20160038174A KR 1020140130381 A KR1020140130381 A KR 1020140130381A KR 20140130381 A KR20140130381 A KR 20140130381A KR 20160038174 A KR20160038174 A KR 20160038174A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
substrate
disposed
light emitting
layer
Prior art date
Application number
KR1020140130381A
Other languages
English (en)
Inventor
박용민
허준영
김대희
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020140130381A priority Critical patent/KR20160038174A/ko
Publication of KR20160038174A publication Critical patent/KR20160038174A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/805—Electrodes
    • H10K50/82—Cathodes
    • H10K50/824—Cathodes combined with auxiliary electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/86—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light
    • H10K50/865—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light comprising light absorbing layers, e.g. light-blocking layers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 유기전계발광 표시장치는, 발광 영역과 비발광 영역을 포함하는 제 1 기판; 상기 제 1 기판 상에 배치되는 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제 1 전극; 상기 제 1 전극 상에 구비되고, 상기 발광 영역에서 상기 제 1 전극을 노출하도록 상기 비발광 영역에 배치되는 뱅크 패턴; 상기 제 1 전극 상에 배치되는 유기발광층; 상기 유기발광층 상에 구비되고, 상기 발광 영역 및 비발광 영역에 배치되는 제 2 전극; 상기 제 2 전극 상에, 상기 제 2 전극과 직접 접하도록 배치되는 보조 전극; 및 상기 보조 전극 상에 배치되는 블랙 매트릭스를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법 {Organic light emitting diode display device and fabricating method of the same}
실시예는 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 신뢰성이 향상된 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이(display)분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 여러 가지 다양한 표시장치(Display Device)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이 같은 표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 유기전계발광 표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 전기영동표시장치(Electrophoretic Display: EPD,Electric Paper Display), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display Device: ELD) 및 전기습윤표시장치(Electro-Wetting Display: EWD) 등을 들 수 있다. 이들은 공통적으로 영상을 구현하는 표시패널을 필수적인 구성요소로 하는데, 표시패널은 고유의 발광물질 또는 편광물질층을 사이에 두고 대면 합착된 한 쌍의 기판을 포함하여 이루어진다.
이러한 표시장치 중 하나인 유기전계발광 표시장치(Organic light emitting diode display device)는 자발광소자인 유기발광소자를 포함하므로, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 별도의 광원이 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. 또한, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다.
이러한 유기전계발광 표시장치는 소면적에서는 문제되지 않으나, 대면적으로 형성될 경우, 균일한 휘도를 유지하지 못하고, 외곽 영역과 중심 영역 간에 휘도차가 발생하는 문제점이 발생한다. 보다 자세하게는, 유기발광소자의 상부 전극으로부터 외곽 영역 및 중심 영역 간에 전류가 흐르는 경우, 전류가 유입되는 곳으로부터 거리가 먼 곳까지 도달한다. 이때, 상기 유기발광소자의 상부 전극의 저항에 의해 전압 강하가 일어나 외곽 부분과 중심 부분의 휘도차가 발생하게 된다.
즉, 대면적의 종래 유기전계발광 표시장치의 경우, 유기발광소자의 상부 전극의 저항에 의한 외곽부와 중심부의 휘도 차이로 인해 휘도 균일도가 급격히 저하되며, 휘도 차이를 보완하는 수단을 필요로 한다.
본 발명은 유기발광소자의 제 2 전극 상에 배치되는 보조 전극을 포함하여 제 2 전극의 저항을 작게하고, 전압강하를 감소하여 전 영역에서 균일하게 전류가 전달될 수 있으며, 휘도 불균일 문제점을 개선하는 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 보조전극 및 블랙 매트릭스 형성 공정을 단순화하고, 공정 비용 및 공정 시간을 감소할 수 있는 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 유기발광소자의 손상을 최소화하여, 수명이 연장되고, 신뢰성이 향상된 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위한 본 발명의 유기전계발광 표시장치는, 발광 영역과 비발광 영역을 포함하는 제 1 기판; 상기 제 1 기판 상에 배치되는 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제 1 전극; 상기 제 1 전극 상에 구비되고, 상기 발광 영역에서 상기 제 1 전극을 노출하도록 상기 비발광 영역에 배치되는 뱅크 패턴; 상기 제 1 전극 상에 배치되는 유기발광층; 상기 유기발광층 상에 구비되고, 상기 발광 영역 및 비발광 영역에 배치되는 제 2 전극; 상기 제 2 전극 상에, 상기 제 2 전극과 직접 접하도록 배치되는 보조 전극; 및 상기 보조 전극 상에 배치되는 블랙 매트릭스를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 유기전계발광 표시장치의 제조 방법은, 제 1 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 상에 평탄화막을 형성하는 단계; 상기 평탄화막 상에 제 1 전극, 유기발광층 및 제 2 전극이 적층된 유기발광소자를 형성하는 단계; 상기 유기발광소자 상에 상기 제 2 전극의 일부를 노출하도록 역테이퍼 형상의 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴 및 상기 노출된 제 2 전극 상에 전극물질층 및 차광물질층을 형성하는 단계; 및 상기 포토레지스트 패턴을 제거하고, 상기 제 2 전극 상에 배치된 보조 전극 및 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법은, 유기발광소자의 제 2 전극 상에 배치되는 보조 전극을 포함하여 제 2 전극의 저항을 작게하고, 전압강하를 감소하여 전 영역에서 균일하게 전류가 전달될 수 있으며, 휘도 불균일 문제점을 개선하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법은, 보조전극 및 블랙 매트릭스 형성 공정을 단순화하고, 공정 비용 및 공정 시간을 감소할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법은, 유기발광소자의 손상을 최소화하여, 수명이 연장되고, 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
도 1은 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 단면도이다.
도 2 내지 도 6은 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 다른 실시에에 따른 유기전계발광 표시장치의 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
본 명세서 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간 적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하, 본 발명의 실시예들은 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
먼저, 도 1 내지 도 6을 참조하여, 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치에 대해서 설명한다. 도 1은 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 단면도이다. 도 2 내지 도 6은 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 표시 영역(Active Area)과 비표시 영역(Inactive Area)으로 구분되는 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200)을 포함한다. 또한, 상기 표시 영역은 발광 영역과 비발광 영역을 구분된다.
상기 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200)은 절연 기판이다. 이때, 상기 제 1 기판(100) 또는 제 2 기판(200)은 실리콘(Si), 유리(glass), 플라스틱 또는 폴리이미드(PI)를 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 상기 제 1 기판(100) 또는 제 2 기판(200) 상에 형성되는 다수의 층과 소자를 지지할 수 있는 재료면 충분하다.
상기 제 1 기판(100)의 상에 박막 트랜지스터(Tr), 상기 박막 트랜지스터(Tr)와 전기적으로 연결되는 유기발광소자(OL) 및 상기 유기발광소자(OL)와 연결되는 보조 전극(170)이 배치된다. 상기 보조 전극(170) 상에는 블랙 매트릭스(180)가 배치된다.
상기 박막 트랜지스터(Tr)는 게이트 전극(110), 반도체층(120), 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)을 포함한다. 상기 유기발광소자(OL)는 제 1 전극(151), 유기발광층(152) 및 제 2 전극(153)을 포함한다. 상기 유기발광소자(OL)는 박막 트랜지스터(Tr) 상에 배치된다.
상기 유기발광소자(OL)는 제 1 전극(151), 유기발광층(152) 및 제 2 전극(153)이 순차적으로 적층되어 배치된다. 이때, 상기 제 1 전극(151) 상에 상기 제 1 전극(151)의 일부를 노출하는 뱅크 패턴(160)이 배치되고, 상기 뱅크 패턴(160) 상에 상기 유기발광층(152) 및 제 2 전극(153)이 배치된다. 상기 뱅크 패턴(160)은 발광 영역과 비발광 영역을 정의할 수 있다.
상기 발광 영역은 상기 제 1 전극(151)이 노출된 영역을 의미하며, 상기 비발광 영역은 상기 뱅크 패턴(160)이 형성된 영역을 의미할 수 있다. 즉, 상기 발광 영역에서 상기 제 1 전극(151), 유기발광층(152) 및 제 2 전극(153)은 서로 접하여 중첩되도록 형성될 수 있으며, 광을 방출할 수 있다.
상기 보조 전극(170)은 상기 유기발광소자(OL) 상에 배치된다. 자세하게는, 상기 보조 전극(170)은 상기 유기발광소자(OL)의 제 2 전극(153) 상에서, 상기 제 2 전극(153)과 직접 접촉하도록 배치된다. 또한, 상기 보조 전극(170)은 비발광 영역에 형성되며, 상기 뱅크 패턴(160)과 중첩되는 위치에 배치된다.
상기 보조 전극(170)은 제 2 전극(153)의 전압 강하를 최저화 하기 위해 제 2 전극(153)에 비해 비저항이 낮은 물질로 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 보조 전극(170)은 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 구리(Cu), 은(Ag), 몰디브덴(Mo), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 은-인듐-틴-옥사이드(Ag-ITO) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함한다. 다만, 제 2 전극(153)을 이루는 물질에 따라, 부식 등이 발생되는 금속 물질은 제외되는 것이 바람직하다.
유기전계발광 표시장치가 대면적으로 형성되는 경우, 외곽 영역과 중심 영역 간에 휘도차가 발생하는 문제점이 있었다. 자세하게는, 유기발광소자(OL)의 제 2 전극(153)의 저항에 의해 전압 강하가 일어나 외곽 부분과 중심 부분의 휘도차가 발생하였다.
따라서, 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는, 상기 제 2 전극(153)이 상기 보조 전극(170)과 전기적으로 연결된다. 상기 보조 전극(170)에 의해 제 2 전극(153)의 저항이 작아지고, 전압강하가 감소하므로 표시 영역 전체에 걸쳐 균일하게 전류가 전달될 수 있다. 이로 인해, 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 휘도 균일도를 향상시킬 수 있다.
상기 보조 전극(170) 상에는 블랙 매트릭스(180)가 배치된다. 상기 블랙 매트릭스(180)는 차광물질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 블랙 매트릭스(180)는 불투명한 수지, 크롬(Cr), 크롬화합물 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 일 수 있다.
상기 블랙 매트릭스(180)는 상기 보조 전극(170)과 거의 동일한 폭을 가진다. 또한, 상기 블랙 매트릭스(180)는 상기 보조 전극(170) 상에서, 상기 보조 전극(170)과 직접 접촉하도록 배치된다.
또한, 상기 제 2 기판(200) 상에 상기 컬러필터층(210)이 형성된다. 상기 컬러필터층(210)은 다수의 컬러필터패턴으로 이루어진다. 예를 들면, 상기 컬러필터층(210)은 적색 컬러필터패턴, 녹색 컬러필터패턴 및 청색 컬러필터패턴을 포함한다. 상기 각 컬러필터패턴의 경계는 상기 블랙 매트릭스(180)와 대응되도록 배치된다.
상기 제 1 기판(100)과 상기 제 2 기판(200) 사이에는 봉지층(300)이 개재될 수 있다. 상기 봉지층(300)은 레진(resin)으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 봉지층(300)은 다수의 층으로 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 봉지층(300)은 다수의 페시베이션(passivation)층과 접착(adhesive)층을 포함할 수 있다. 또한, 상기 봉지층(300)은 흡습제인 필러(filler)를 포함할 수 있다.
유기전계발광 표시장치는 외부의 산소와 수분에 의한 유기발광소자(OL)가 손상되어 발광되지 않거나, 수명에 치명적인 영향을 미칠 수 있다. 이때, 상기 봉지층(300)은 상기 제 1 기판(100) 상에 형성된 유기발광소자(OL) 등을 외부의 수분으로부터 보호할 수 있다.
이러한, 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 제조 방법과 함께 자세히 검토하면 다음과 같다.
도 2를 참조하면, 상기 제 1 기판(100) 상에 박막 트랜지스터(Tr)를 형성한다. 상기 박막 트랜지스터(Tr)는 게이트 전극(110), 반도체층(120), 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)을 포함한다.
상기 제 1 기판(100) 상에 게이트 배선(미도시) 및 상기 게이트 배선으로부터 분기된 게이트 전극(110)을 형성한다. 도면 상에는 상기 게이트 전극(110)이 단층으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 게이트 전극(110)은 2이상의 층으로 형성된 다중층으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 게이트 전극(110)은 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 구리(Cu), 은(Ag), 몰디브덴(Mo), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 몰리티타늄(MoTi) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함한다.
상기 게이트 전극(110) 상에는 게이트 절연막(115)을 형성한다. 예를 들면, 상기 게이트 절연막(115)은 SiOx, SiNx, SiON, HfO2, Al2O3, Y2O3, Ta2O5 등과 같은 유전체 또는 고유전율 유전체 또는 이들의 조합으로 이루어진다. 상기 게이트 절연막(115)은 도면 상에는 단층으로 도시되었으나, 2이상의 층으로 형성된 다중층으로 형성될 수 있다.
상기 게이트 절연막(115) 상에는 상기 게이트 전극(110)과 중첩되도록 반도체층(120)을 형성한다. 예를 들면, 상기 반도체층(120)은 산화물 반도체 물질이다. 상기 산화물 반도체 물질은 모빌리티(moblity)가 우수하고, 고해상도의 구현이 가능하다. 상기 산화물 반도체 물질은 AxByCzO(x, y, z ≥0)으로, A, B 및 C 각각은 Zn, Cd, Ga, In, Sn, Hf 및 Zr 중에서 선택된다. 바람직하게는, 상기 제 1 액티브층(104)은 ZnO, InGaZnO4, ZnInO, ZnSnO, InZnHfO, SnInO 및 SnO 중에서 선택될 수 있으나, 이에 국한되지 않는다.
또한, 상기 반도체층(120)은 산화물 반도체 물질보다 열적 안정성 등에서 안정적이고 신뢰성이 우수한 a-Si 및 p-Si를 포함하는 실리콘물질, 유기 반도체 물질, CNT(carbon nanotube) 및 그래핀(graphene)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다. 도면 상에는 상기 반도체층(120)이 단층으로 도시되어 있으나, 2이상의 층으로 형성된 다중층으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 반도체층(120)의 채널 영역 상에 식각정지층(121)을 형성한다. 상기 식각정지층(121)은 SiO2로 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않는다. 상기 반도체층(120)이 산화물 반도체 물질 외의 물질로 형성되는 경우, 상기 식각정지층(121)은 생략될 수 있다.
상기 반도체층(120)이 형성된 제 1 기판(100) 상에 데이터 배선(미도시), 상기 데이터 배선으로부터 분기된 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)을 형성한다. 상기 데이터 배선은 상기 게이트 배선과 다른 방향으로 형성되어 서로 교차되도록 배치된다. 또한, 상기 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)은 상기 반도체층(120)과 중첩되고, 서로 이격되어 배치된다.
또한, 도면 상에는 상기 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)이 단층으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)은 2이상의 층으로 형성된 다중층으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)은 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 구리(Cu), 은(Ag), 몰디브덴(Mo), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 몰리티타늄(MoTi) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함한다.
이로 인해, 상기 제 1 기판(100) 상에 상기 게이트 전극(110), 반도체층(120), 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)으로 이루어진 박막 트랜지스터(Tr)를 형성한다. 상기 박막 트랜지스터(Tr)의 구성은 도면에 한정되지 않는다. 도면 상에는 게이트 전극(110) 상에 순차적으로 게이트 절연막(115), 반도체층(120), 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)이 형성되는 바텀 게이트(bottom gate) 구조를 도시하였으나, 상기 박막 트랜지스터(Tr)는 탑 게이트(top gate) 구조 또는 이중 게이트(double gate) 구조 등 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 변경이 가능하다.
상기 박막 트랜지스터(Tr) 상에 보호층(125)을 형성한다. 상기 보호층(125)은 유기절연물질 또는 무기절연물질로 이루어진다. 상기 보호층(125) 상에 평탄화막(135)을 형성한다. 상기 평탄화막(135)은 상기 박막 트랜지스터(Tr) 상에서 단차 없이 평탄화하는 역할을 할 수 있다. 상기 보호층(125) 및 상기 평탄화막(135)은 상기 드레인 전극(140)을 노출하는 콘택홀을 포함한다.
도면 상에는 상기 보호층(125) 및 상기 평탄화막(135)이 순차적으로 적층되고, 상기 보호막(125) 및 상기 평탄화막(135)을 관통하는 하나의 콘택홀을 통해 드레인 전극(140)이 노출되는 구성을 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 보호층(125)이 상기 드레인 전극(140)을 노출하는 콘택홀을 포함하고, 상기 콘택홀을 통해 상기 노출된 드레인 전극(140)과 연결되는 연결전극이 더 형성될 수 있다. 이때, 상기 평탄화막(13)은 상기 연결전극을 노출하는 콘택홀을 포함할 수 있다.
상기 평탄화막(135) 상에 유기발광소자(OL)를 형성한다. 상기 유기발광소자(OL)는 제 1 전극(151), 유기발광층(152) 및 제 2 전극(153)을 포함한다. 상기 유기발광소자(OL)는 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(151)과 제 2 전극(153)으로 소정의 전압이 인가되면, 양극으로부터 제공된 정공과 음극으로부터 주입된 전자가 유기발광층(152)으로 수송되어 엑시톤(exiton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이될 때, 광이 생성되며 가시광선의 형태로 방출된다.
즉, 상기 유기발광소자(OL)는 광이 생성되는 자발광소자이다. 상기 유기발광소자(OL)에서 생성된 광은 상기 제 1 기판(100)의 상면 측으로 출광되는 상부 발광 방식으로 형성된다.
자세하게는, 상기 평탄화막(135) 상에 상기 드레인 전극(140)과 전기적으로 연결되도록 유기발광소자(OL)의 제 1 전극(151)을 형성한다. 도면 상에는 상기 제 1 전극(151)이 단일층으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 제 1 전극(151)은 다중층일 수도 있다. 상기 제 1 전극(151)은 애노드 전극일 수 있다. 또한, 상기 제 1 전극(151)은 상부 발광을 위해 반사층을 더 포함할 수 있다.
상기 제 1 전극(151)이 노출되도록 형성된 뱅크(bank) 패턴(160)을 형성한다. 도면 상에는 상기 뱅크 패턴(160)이 단일층으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 뱅크패턴(160)은 다중층일 수도 있다. 상기 제 1 전극(151)이 노출된 영역은 발광영역이며, 뱅크 패턴(160)이 배치된 영역은 비발광영역이다. 즉, 상기 박막 트랜지스터(Tr) 및 유기발광소자(OL)가 형성된 제 1 기판(100)은 발광 영역 및 비발광 영역을 포함한다.
상기 뱅크 패턴(160)은 절연물질로 형성된다. 예를 들면, 상기 뱅크 패턴(160)은 감광성의 유기절연물질로 형성될 수 있다. 이러한 뱅크 패턴(160)은 격자 구조의 매트릭스 타입으로 배치될 수 있다.
상기 뱅크 패턴(160)으로 인해 노출된 제 1 전극(151) 상에 유기발광층(152)을 형성한다. 상기 유기발광층(152)은 노즐코팅 장치, 디스펜싱 장치 또는 잉크젯 장치를 이용하여 코팅 또는 분사함으로써 형성할 수 있으며, 쉐도우 마스크를 이용하여 열증착 함으로써 형성할 수도 있다.
도면 상에는 상기 유기발광층(152)이 제 1 기판(100) 전면에 배치되는 것으로 도시되었으나, 상기 유기발광층(152)은 발광 영역에만 배치될 수도 있다. 즉, 상기 유기발광층(152)은 노출된 제 1 전극(151) 상에만 배치될 수도 있다.
또한, 상기 유기발광층(152)은 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 필요에 따라 다중층으로 구성될 수도 있다. 예를 들면, 상기 유기발광층(152)은 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(Hole Injection Layer;HIL), 정공수송층(Hole Transporting Layer;HTL), 발광층 (Emitting Material Layer;EML), 전자수송층(Electron Transporting Layer;ETL) 및 전자주입층(Electron Injection Layer;EIL)의 다중층으로 구성할 수 있다. 또한, 상기 제 1 전극(151)과 상기 유기발광층(152) 사이의 계면 안정화를 위해 상기 제 1 전극(151)과 상기 유기발광층(152) 사이에 버퍼층이 더 형성될 수도 있다.
상기 유기발광층(152) 상에 유기발광소자(OL)의 제 2 전극(153)을 형성한다. 도면 상에는 상기 제 2 전극(153)이 단일층으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 제 2 전극(153)은 다중층으로 형성될 수도 있다. 상기 제 2 전극(153)은 캐소드 전극일 수 있다.
즉, 상기 뱅크 패턴(160)에 의해 노출된 상기 제 1 전극(151) 상에 상기 유기발광층(152) 및 상기 제 2 전극(153)이 순차적으로 적층되어 형성된다. 상기 발광영역은 상기 제 1 전극(151), 상기 유기발광층(152) 및 상기 제 2 전극(153)이 적층되어 형성된 영역으로 정의할 수도 있다. 상기 제 1 전극(151), 상기 유기발광층(152) 및 상기 제 2 전극(153)으로 이루어지는 유기발광소자(OL)에서 생성된 광은 상기 제 1 기판(100)의 상면으로 출광된다.
상기 제 2 전극(153) 상에 포토레지스트(171)를 도포한다. 상기 포토레지스트(171)는 상기 제 2 전극(153)이 형성된 제 1 기판(100) 전면에 도포된다.
도 3을 참조하면, 투과부와 차단부로 이루어진 마스크를 이용하여 상기 포토레지스트(172)를 노광 및 현상하여 상기 제 2 전극(153) 상에 포토레지스트 패턴(172)을 형성한다. 상기 포토레지스트 패턴(172)은 역테이퍼 형상을 갖도록 한다.
상기 포토레지스트 패턴(172)은 상기 발광영역에 형성된다. 즉, 상기 포토 레지스트 패턴(172)은 상기 노출된 제 1 전극(151)과 중첩되는 영역에 형성될 수 있다. 또한, 상기 포토레지스트 패턴(172)은 상기 뱅크 패턴(160)과 이격하여 배치될 수 있다. 이때, 상기 포토레지스트 패턴(172)의 상면 끝단은 상기 뱅크 패턴(160)과 중첩되는 위치에 배치될 수 있다.
상기 포토레지스트 패턴(172)은 상기 제 2 전극(153)의 일부를 노출하도록 배치된다. 이때, 상기 포토레지스트 패턴(172)은 비발광영역에서 상기 제 2 전극(153)의 상면의 일부를 노출하도록 배치된다.
도 4를 참조하면, 상기 포토레지스트 패턴(172) 상에 전극물질층(181) 및 차광물질층(182)을 순차적으로 형성한다. 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)은 직진성을 갖고 성막될 수 있다. 예를 들면, 상기 전극물질층(181) 및 차광물질층(182)은 증착(evaporation) 방법으로 형성될 수 있다.
상기 포토레지스트 패턴(172)이 역테이퍼 형상으로 형성됨에 따라, 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)은 상기 포토레지스트 패턴(172)이 배치된 영역과 배치되지 않은 영역에서 서로 끊어지도록 배치된다. 즉, 상기 포토레지스트 패턴(172)이 배치된 영역에서는, 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)이 상기 포토레지스트 패턴(172)의 상면에만 배치된다. 또한, 상기 포토레지스트 패턴(172)이 배치되지 않은 영역에서는, 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)이 상기 노출된 제 2 전극(153) 상면에만 배치된다.
따라서, 상기 비발광영역에만, 상기 제 2 전극(153) 상에 상기 전극물질층(181) 및 차광물질층(182)이 배치된다. 또한, 상기 제 2 전극(153) 상에 배치된 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)은 상기 포토레지스트 패턴(172) 상에 배치된 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)과 서로 이격되어 배치된다.
도 5를 참조하면, 상기 포토레지스트 패턴(172)을 리프트 오프(lift-off)하여 제거한다. 이때, 상기 포토레지스트 패턴(172) 상에 배치된 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)도 함께 제거된다. 즉, 상기 포토레지스트 패턴(172)을 제거하면, 상기 제 2 전극(153) 상에 배치된 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)만 남아있게 된다. 상기 제 2 전극(153) 상에 배치된 상기 전극물질층(181) 및 상기 차광물질층(182)은 각각 보조 전극(170) 및 블랙 매트릭스(180)가 된다.
상기 보조 전극(170) 및 블랙 매트릭스(180)는 비발광 영역에 형성된다. 따라서, 상기 보조 전극(170) 및 블랙 매트릭스(180)는 상기 뱅크 패턴(160)이 형성된 영역에서 형성된다. 즉, 상기 보조 전극(170) 및 블랙 매트릭스(180)는 상기 뱅크 패턴(160)과 중첩되는 영역에서 형성된다.
상기 보조 전극(170)은 비발광 영역에서 상기 제 2 전극(153)과 접하도록 형성되어, 휘도의 균일도를 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 블랙 매트릭스(180)는 비발광 영역에서 빛샘을 방지할 수 있으며, 혼색 등을 방지할 수 있다.
상기 보조 전극(170)과 상기 블랙 매트릭스(180)는 동일 공정으로 함께 형성될 수 있다. 이로 인해, 상기 보조 전극(170)과 상기 블랙 매트릭스(180)는 실질적으로 동일한 폭을 갖도록 배치될 수 있다. 또한, 상기 보조 전극(170)과 상기 블랙 매트릭스(180)가 동일 공정으로 형성되어, 공정을 단순화 하고, 공정 비용 및 공정 시간을 절감할 수 있다.
또한, 상기 포토레지스트 패턴(172)을 제거함으로써, 상기 보조 전극(170)과 상기 블랙 매트릭스(180)의 형성이 가능하므로, 에칭(etching)과 같은 공정이 생략될 수 있다. 이로 인해, 유기발광소자(OL)의 손상을 최소화 할 수 있으며, 수명이 향상되고, 신뢰성이 확보될 수 있다.
이와 같이, 상기 제 1 기판(100) 상에 박막 트랜지스터(Tr), 상기 박막 트랜지스터(Tr)와 전기적으로 연결되는 유기발광소자(OL), 상기 유기발광소자(OL)와 연결되는 보조 전극(170) 및 상기 보조 전극(170) 상에 배치되는 블랙 매트릭스(180)가 형성될 수 있다.
도 6을 참조하면, 제 2 기판(200) 상에 컬러필터층(210)을 형성한다. 상기 제 2 기판(200) 상에는 컬러필터층(210)만 형성될 수 있다. 즉, 상기 제 1 기판(100) 상에 블랙 매트릭스(180)가 배치된 바, 제 2 기판(210) 상에는 블랙 매트릭스가 생략될 수 있다.
상기 컬러필터층(210)은 다수의 컬러필터패턴(210a, 210b, 210c)으로 이루어진다. 예를 들면, 상기 컬러필터층(210)은 적색 컬러필터패턴(210a), 녹색 컬러필터패턴(210b) 및 청색 컬러필터패턴(210c)을 포함한다. 상기 적색 컬러필터패턴(210a), 녹색 컬러필터패턴(210b) 및 청색 컬러필터패턴(210c)은 각각 별도 공정으로 형성될 수 있다.
이후, 상기 보조 전극(170) 및 블랙 매트릭스(180)가 형성된 제 1 기판(100) 상에 봉지층(300)을 형성하고, 컬러필터층(210)이 형성된 제 2 기판(200)과 합착한다. 이때, 상기 각 컬러필터패턴(210a, 210b, 210c)의 경계는 상기 블랙 매트릭스(180)와 대응되도록 배치한다.
이때, 상기 제 1 기판(100) 상에 배치된 블랙 매트릭스(180)와 상기 제 2 기판(200) 상에 배치된 컬러필터층(210)은 서로 이격되어 배치된다. 즉, 상기 제 1 기판(100) 상에 배치된 블랙 매트릭스(180)와 상기 제 2 기판(200) 상에 배치된 컬러필터층(210) 사이에는 봉지층(300)이 배치된다.
따라서, 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법은, 유기발광소자(OL)의 제 2 전극(153) 상에 배치되는 보조 전극(170)을 포함하여 제 2 전극(153)의 저항을 작게하고, 전압강하를 감소하여 전 영역에서 균일하게 전류가 전달될 수 있으며, 전 면적에서 휘도를 균일하게 할 수 있다. 또한, 보조 전극(170) 및 블랙 매트릭스(180)를 동시에 형성함으로써, 형성 공정을 단순화하고, 공정 비용 및 공정 시간을 감소할 수 있다. 또한, 이러한 보조 전극(170) 및 블랙 매트릭스(180)를 형성하는 공정은 유기발광소자(OL)의 손상을 최소화하여, 수명이 연장되고, 신뢰성이 향상될 수 있다.
이어서, 도 7을 참조하여, 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치에 대해서 설명한다. 도 7은 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 단면도를 도시한 도면이다. 앞서 설명한 실시예에 따른 유기전계발광 표시 장치와 동일 유사한 구성을 포함할 수 있으며, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다. 앞서 설명한 실시예와 중복되는 설명은 생략될 수 있다.
도 7을 참조하면, 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 표시 영역과 비표시 영역으로 구분되는 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200)을 포함한다. 또한, 상기 표시 영역은 발광 영역과 비발광 영역을 구분된다.
상기 제 1 기판(100)의 상에 박막 트랜지스터(Tr), 상기 박막 트랜지스터(Tr)와 전기적으로 연결되는 유기발광소자(OL) 및 상기 유기발광소자(OL)와 연결되는 보조 전극(270)이 배치된다. 상기 보조 전극(270) 상에는 블랙 매트릭스(180)가 배치된다.
상기 박막 트랜지스터(Tr)는 게이트 전극(110), 반도체층(120), 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)을 포함한다. 보다 자세하게는, 상기 제 1 기판(100) 상에 상기 게이트 전극(110)이 배치되고, 상기 게이트 전극(110) 상에 게이트 절연막(115)이 배치된다. 상기 게이트 절연막(115) 상에 상기 게이트 전극(110)과 중첩되도록 상기 반도체층(120)이 배치된다. 상기 반도체층(120) 상에는 식각정지층(121)이 더 구비될 수 있다.
상기 반도체층(120)과 중첩되도록 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)이 배치된다 상기 소스 전극(130)과 상기 드레인 전극(140)은 서로 이격하여 배치된다. 다만, 박막 트랜지스터(Tr)의 구조는 도면에 한정되지 않는다. 상기 박막 트랜지스터(Tr)는 바텀 게이트 구조 외에 탑 게이트 구조 또는 이중 게이트(double gate) 구조 등 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 변경이 가능하다.
상기 박막 트랜지스터(Tr) 상에 보호층(125)이 배치된다. 또한, 상기 보호층(125) 상에 평탄화막(135)이 배치된다. 상기 보호층(125) 및 상기 평탄화막(135)은 상기 박막 트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(140)을 노출하는 콘택홀을 포함할 수 있다.
상기 유기발광소자(OL)는 제 1 전극(151), 유기발광층(152) 및 제 2 전극(153)을 포함한다. 상기 유기발광소자(OL)는 박막 트랜지스터(Tr) 상에 배치된다.
보다 자세하게는, 상기 노출된 드레인 전극(140)과 전기적으로 연결되도록 상기 평탄화막(135) 상에 유기발광소자(OL)의 제 1 전극(151)이 배치된다. 상기 제 1 전극(151) 상에 뱅크 패턴(160)이 구비된다.
상기 뱅크 패턴(160)은 상기 제 1 전극(151)의 일부를 노출하도록 배치된다. 상기 제 1 전극(151)이 노출되는 영역을 발광 영역, 상기 뱅크 패턴(160)이 배치된 영역을 비발광 영역으로 정의할 수 있다.
상기 노출된 제 1 전극(151) 상에 유기발광층(152)이 형성된다. 도면 상에는 노출된 제 1 전극(151) 및 뱅크 패턴(160) 상에 유기발광층(152)이 배치되는 구성이 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 유기발광층(152)은 상기 노출된 제 1 전극(151) 상에만 배치될 수도 있다.
상기 유기발광층(152) 상에 제 2 전극(153)이 배치된다. 상기 제 2 전극(153)은 상기 노출된 제 1 전극(151)이 배치된 영역 및 상기 뱅크 패턴(160)이 배치된 영역에 모두 배치된다. 즉, 상기 제 2 전극(153)은 발광 영역 및 비발광 영역에 배치된다.
상기 보조 전극(270)은 상기 유기발광소자(OL) 상에 배치된다. 자세하게는, 상기 보조 전극(270)은 상기 유기발광소자(OL)의 제 2 전극(153) 상에서, 상기 제 2 전극(153)과 직접 접촉하도록 배치된다. 또한, 상기 보조 전극(270)은 비발광 영역에 형성되며, 상기 뱅크 패턴(160)과 중첩되는 위치에 배치된다.
상기 블랙 매트릭스(280)는 상기 보조 전극(270) 상에 배치된다. 상기 블랙 매트릭스(280)는 상기 보조 전극(270)과 거의 동일한 폭을 가진다. 또한, 상기 블랙 매트릭스(280)는 상기 보조 전극(270)과 직접 접촉하도록 배치된다.
실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제 1 기판(100) 상에 박막 트랜지스터(Tr), 유기발광소자(OL), 보조 전극(170) 및 블랙 매트릭스(180)를 형성하는 공정은 앞서 설명한 실시예의 유기전계발광 표시장치의 제조 방법과 동일할 수 있다.
상기 제 2 기판(200) 상에 컬러필터층(210)이 형성된다. 상기 컬러필터층(210)은 다수의 컬러필터패턴으로 이루어진다. 예를 들면, 상기 컬러필터층(210)은 적색 컬러필터패턴, 녹색 컬러필터패턴 및 청색 컬러필터패턴을 포함한다. 상기 각 컬러필터패턴의 경계는 상기 블랙 매트릭스(280)와 대응되도록 배치된다.
실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제 2 기판(200) 상에 컬러필터층(210)을 형성하는 공정은 앞서 설명한 실시예의 유기전계발광 표시장치의 제조 방법과 동일할 수 있다.
이후, 상기 제 1 기판(100) 또는 상기 제 2 기판(200)의 테두리를 따라 접착층(미도시)을 형성한다. 또한, 진공 또는 질소 분위기에서 상기 제 1 기판(100)에 배치된 블랙 매트릭스(280)와 제 2 기판(200)에 배치된 컬러필터층(210)이 서로 접하도록 배치하고, 상기 제 1 기판(100)과 상기 제 2 기판(200)을 합착한다.
즉, 상기 제 1 기판(100) 또는 상기 제 2 기판(200)의 가장자리 상에는 접착층(미도시)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 기판(100) 상에 배치된 블랙 매트릭스(280)와 상기 제 2 기판(200) 상에 배치된 컬러필터층(210)은 서로 접하도록 배치될 수 있다.
상기 블랙 매트릭스(280)가 상기 컬러필터층(210)과 접하도록 배치됨으로써, 비발광 영역에서 빛샘을 더욱 방지할 수 있으며, 서로 다른 색이 혼색되는 컬러 워시아웃 현상을 방지할 수 있다.
상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 제 1 기판
170: 보조 전극
180: 블랙 매트릭스
200: 제 2 기판
210: 컬러필터층
Tr: 박막 트랜지스터
OL: 유기발광소자

Claims (17)

  1. 발광 영역과 비발광 영역을 포함하는 제 1 기판;
    상기 제 1 기판 상에 배치되는 박막 트랜지스터;
    상기 박막 트랜지스터 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제 1 전극;
    상기 제 1 전극 상에 구비되고, 상기 발광 영역에서 상기 제 1 전극을 노출하도록 상기 비발광 영역에 배치되는 뱅크 패턴;
    상기 제 1 전극 상에 배치되는 유기발광층;
    상기 유기발광층 상에 구비되고, 상기 발광 영역 및 비발광 영역에 배치되는 제 2 전극;
    상기 제 2 전극 상에, 상기 제 2 전극과 직접 접하도록 배치되는 보조 전극; 및
    상기 보조 전극 상에 배치되는 블랙 매트릭스를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스는 상기 보조 전극과 동일한 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조 전극 및 블랙 매트릭스는 비발광 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조 전극 및 블랙 매트릭스는 상기 뱅크 패턴과 중첩되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 기판과 대향하여 배치되는 제 2 기판; 및
    상기 제 1 기판과 대면하는 상기 제 2 기판의 일면에 배치된 컬러필터층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 배치된 봉지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 상에 배치된 블랙 매트릭스와 상기 제 2 기판 상에 배치된 컬러필터층은 상기 봉지층을 사이에 두고, 서로 이격하여 배치된 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 상에 배치된 블랙 매트릭스와 상기 제 2 기판 상에 배치된 컬러필터층은 서로 접하도록 배치된 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  9. 제 1 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;
    상기 박막 트랜지스터 상에 평탄화막을 형성하는 단계;
    상기 평탄화막 상에 제 1 전극, 유기발광층 및 제 2 전극이 적층된 유기발광소자를 형성하는 단계;
    상기 유기발광소자 상에 상기 제 2 전극의 일부를 노출하도록 역테이퍼 형상의 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;
    상기 포토레지스트 패턴 및 상기 노출된 제 2 전극 상에 전극물질층 및 차광물질층을 형성하는 단계; 및
    상기 포토레지스트 패턴을 제거하고, 상기 제 2 전극 상에 배치된 보조 전극 및 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 전극물질층 및 차광물질층은 직진성을 갖고 성막되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 유기발광소자를 형성하는 단계는,
    상기 평탄화막 상에 제 1 전극을 형성하는 단계;
    상기 제 1 전극 상에 상기 제 1 전극을 노출하도록 뱅크 패턴을 형성하는 단계;
    상기 노출된 제 1 전극 상에 유기발광층을 형성하는 단계; 및
    상기 유기발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 포토레지스트 패턴은 상기 뱅크 패턴과 중첩되는 영역에서 상기 제 2 전극을 노출하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 포토레지스트 패턴은 노출된 제 1 전극과 중첩되는 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 포토레지스트 패턴의 상면 끝단은 상기 뱅크 패턴과 중첩되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
  15. 제 9 항에 있어서,
    제 2 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 단계;
    상기 컬러필터층이 상기 제 1 기판과 대면하도록 상기 제 2 기판을 상기 제 1 기판 상에 배치하는 단계; 및
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 합착하는 단계를 더 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 합착하는 단계이전에,
    상기 제 1 기판 상에 봉지층을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 합착하는 단계는,
    상기 제 1 기판 또는 상기 제 2 기판의 가장자리에 접착층을 형성하는 단계; 및
    진공 또는 질소 분위기에서 상기 제 1 기판에 배치된 블랙 매트릭스와 제 2 기판에 배치된 컬러필터층이 서로 접하도록 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조 방법.
KR1020140130381A 2014-09-29 2014-09-29 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법 KR20160038174A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140130381A KR20160038174A (ko) 2014-09-29 2014-09-29 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140130381A KR20160038174A (ko) 2014-09-29 2014-09-29 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160038174A true KR20160038174A (ko) 2016-04-07

Family

ID=55789406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140130381A KR20160038174A (ko) 2014-09-29 2014-09-29 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160038174A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111584761A (zh) * 2020-05-28 2020-08-25 合肥京东方卓印科技有限公司 显示面板及其制作方法和显示装置
US10879323B2 (en) 2017-12-26 2020-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of manufacturing the same
EP3605641A4 (en) * 2017-03-31 2021-01-06 BOE Technology Group Co., Ltd. PIXEL CELL, DISPLAY SUBSTRATE, AND DISPLAY PANEL

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3605641A4 (en) * 2017-03-31 2021-01-06 BOE Technology Group Co., Ltd. PIXEL CELL, DISPLAY SUBSTRATE, AND DISPLAY PANEL
US11688830B2 (en) 2017-03-31 2023-06-27 Boe Technology Group Co., Ltd. Pixel unit, display substrate and display panel with shielding auxiliary electrode
US10879323B2 (en) 2017-12-26 2020-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of manufacturing the same
US11700750B2 (en) 2017-12-26 2023-07-11 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of manufacturing the same
CN111584761A (zh) * 2020-05-28 2020-08-25 合肥京东方卓印科技有限公司 显示面板及其制作方法和显示装置
CN111584761B (zh) * 2020-05-28 2022-12-02 合肥京东方卓印科技有限公司 显示面板及其制作方法和显示装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102611500B1 (ko) 유기발광표시장치와 그의 제조방법
KR102315094B1 (ko) 고 개구율 유기발광 다이오드 표시장치 및 그 제조방법
US9190630B2 (en) Flexible organic electroluminescent device and method for fabricating the same
KR102028505B1 (ko) 유기발광 표시패널 및 이의 제조방법
US9236419B2 (en) Organic light emitting display device having electrodes of subpixels with different thicknesses and method of manufacturing the same
US9520578B2 (en) Flexible organic electroluminescent device and method for fabricating the same
KR101391244B1 (ko) 유기 발광 표시 장치
KR102166341B1 (ko) 고 개구율 유기발광 다이오드 표시장치 및 그 제조 방법
EP3021363B1 (en) Organic light-emitting diode display having high aperture ratio and method for manufacturing the same
KR20180066320A (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20150061921A (ko) 유기전계발광표시장치
CN104576957A (zh) 有机电致发光显示设备及其制造方法
KR20160032742A (ko) 유기전계발광 표시장치
KR20150059478A (ko) 유기전계 발광소자
US10692959B2 (en) Electroluminescent display device
KR20100106693A (ko) 유기전계발광 표시장치와 그 제조방법
KR20140139864A (ko) 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
US10797127B2 (en) Electroluminescent display device
KR102255063B1 (ko) 유기전계발광표시장치
WO2020065963A1 (ja) 表示装置及び表示装置の製造方法
KR20160038174A (ko) 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR20160013443A (ko) 칼라 필터를 구비한 하부 발광형 유기발광 다이오드 표시장치 및 그 제조 방법
KR100590255B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR20150033345A (ko) 유기발광 다이오드 표시장치 및 그 제조 방법
KR102355605B1 (ko) 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid