KR20140038426A - 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법 - Google Patents

탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법 Download PDF

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KR20140038426A
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silicon carbide
carbon composite
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silicon nitride
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오위 첸
요시나리 미야모토
테츠로 토조
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도요탄소 가부시키가이샤
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    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9607—Thermal properties, e.g. thermal expansion coefficient

Abstract

본 발명은 신규인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법을 제공한다. 질화규소가 표면에 부착된 탄소질 재료(2)를 포함하는 성형체를 소성함으로써 탄화규소-탄소 복합재(1)를 제조한다.

Description

탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법{METHOD FOR PRODUCING SILICON CARBIDE-CARBON COMPOSITE}
본 발명은 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법에 관한 것이다.
종래, 흑연 등의 탄소와 탄화규소를 복합화한 탄화규소-탄소 복합재가 알려져 있다. 예를 들면 특허문헌 1에는, 탄소 기재와 SiO2 가스를 반응시켜, 탄화규소로 피복된 탄소 기재를 제조하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는 탄소와 탄화규소를 혼합 후, 소성하여, 탄화규소와 탄소와의 복합재를 제조하는 방법이 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제2011-51866호 공보 일본 특허 공개 제2011-51867호 공보
탄화규소-탄소 복합재의 한층 더 유력한 제조 방법이 요구되고 있다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그의 목적은 신규인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법은 질화규소와 탄소질 재료를 포함하는 성형체를 소성하는 공정을 구비한다. 탄소질 재료의 표면에는 질화규소가 부착되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법에 있어서는 질화규소와 탄소질 재료와 결합제를 혼합하여, 질화규소가 표면에 부착된 탄소질 재료를 포함하는 혼합물을 얻고, 혼합물을 성형하여 성형체를 얻는 것이 바람직하다.
본 발명의 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법에 있어서는 겔 캐스팅법에 의해 성형체를 얻을 수 있다.
본 발명의 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법에 있어서는 입자상의 질화규소를 이용할 수도 있다.
질화규소의 입경은 탄소질 재료의 입경의 1/100 내지 1/5의 범위 내인 것이 바람직하다.
본 발명의 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법에 있어서는 질화규소와 탄소질 재료와의 부피비가 5:95 내지 50:50인 성형체를 이용하는 것이 바람직하다.
본 발명의 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법에 있어서는 성형체의 소성을 1700℃ 이상에서 행하는 것이 바람직하다.
본 발명의 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법은 복수의 탄소질 재료를 덮고 있고, 또한 복수의 탄소질 재료를 접속하고 있는 탄화규소를 갖는 탄화규소-탄소 복합재를 제조하기 위한 방법이다.
본 발명에 따르면, 신규인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법을 제공할 수 있다.
[도 1] 도 1은 본 발명의 일실시 형태에 따른 제조 방법에 의하여 얻어지는 탄화규소-탄소 복합재의 개략도적 단면도이다.
[도 2] 도 2는 실시예 1에서 얻어진 탄화규소- 흑연 복합재의 주사형 전자현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)이다.
[도 3] 도 3은 실시예 2에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)이다.
[도 4] 도 4는 실시예 3에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)이다.
[도 5] 도 5는 실시예 4에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)이다.
[도 6] 도 6은 실시예 5에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)이다.
[도 7] 도 7은 비교예 1에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재 표면의 주사형 전자현미경 사진이다.
[도 8] 도 8은 비교예 2에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재 표면의 주사형 전자현미경 사진이다.
이하, 본 발명을 실시한 바람직한 형태의 일례에 대하여 설명한다. 단, 하기의 실시 형태는 단순한 예시이다. 본 발명은 하기의 실시 형태에 어떠한 한정이 되지 않는다.
실시 형태 등에 있어서 참조하는 도면은 모식적으로 기재된 것이고, 도면에 묘화된 물체의 치수 비율 등은 현실의 물체의 치수 비율 등과는 다른 경우가 있다. 구체적인 물체의 치수 비율 등은 이하의 설명을 참작하여 판단되어야 한다.
(탄화규소-탄소 복합재(1))
도 1은 본 실시 형태에 따른 제조 방법에 의하여 얻어지는 탄화규소-탄소 복합재를 나타내는 개략도적 단면도이다. 우선, 도 1을 참조하면서, 본 실시 형태에 따른 제조 방법에 의하여 얻어지는 탄화규소-탄소 복합재의 구성에 대하여 설명한다.
탄화규소-탄소 복합재(1)는 복수의 탄소질 재료(2)와, 탄화규소(3)를 포함하는 복합재이다.
탄소질 재료(2)는, 예를 들면 인상 흑연, 인편상 흑연, 토상 흑연 등을 포함하는 천연 흑연, 코크스나 메소페이즈 소구체를 원료로 한 인조 흑연 등이 바람직하게 이용된다. 탄소질 재료는 입자상일 수도 있다. 즉, 탄소질 재료(2)는 탄소 입자일 수도 있다. 탄소질 재료(2)의 입경은 50 nm 내지 500 ㎛ 정도인 것이 바람직하고, 1 ㎛ 내지 250 ㎛ 정도인 것이 보다 바람직하고, 5 ㎛ 내지 100 ㎛ 정도인 것이 더욱 바람직하다. 탄소질 재료(2)의 입경이 너무 작으면, 응집하여 버릴 가능성이 있다. 탄소질 재료(2)가 너무 응집하면, 탄화규소-탄소 복합재(1)가 탄소의 특성을 얻을 수 없는 경우가 있다. 한편, 탄소질 재료(2)의 입경이 너무 크면, 소성한 세라믹-탄소 복합재의 강도가 저하되는 경우가 있다. 복수의 탄소질 재료(2)는 1종의 탄소질 재료(2)만을 포함하고 있을 수도 있고, 복수 종의 탄소질 재료(2)를 포함하고 있을 수도 있다.
탄화규소(3)은 복수의 탄소질 재료(2) 사이에 형성되어 있다. 탄화규소(3)은 복수의 탄소질 재료(2)를 덮고 있고, 또한 복수의 탄소질 재료(2)를 접속하고 있다. 탄화규소(3)는 연속한 구조를 갖고 있는 것이 바람직하다. 탄화규소(3)은 3차원 메쉬 구조를 갖고 있는 것이 보다 바람직하다. 즉, 복수의 탄소질 재료(2)는 3차원 메쉬 구조를 갖는 탄화규소(3)에 의하여 일체화되어 있는 것이 바람직하다. 탄화규소-탄소 복합재(1)에 있어서, 탄화규소(3) 중에 탄소 입자(2)가 분산하고 있는 것이 바람직하다. 탄화규소(3) 중에 탄소 입자(2)가 덩어리상이 되어 분산하고 있을 수도 있다.
또한, 탄화규소(3)는 연속한 하나의 덩어리에 의해 구성되어 있을 수도 있고, 고립한 복수의 덩어리에 의해 구성되어 있을 수도 있다.
탄화규소-탄소 복합재(1)에 있어서의 탄소질 재료(2)와 탄화규소(3)와의 부피비(탄소질 재료(2)의 부피:탄화규소(3)의 부피)는 95:5 내지 50:50인 것이 바람직하고, 90:10 내지 70:30인 것이 보다 바람직하다.
탄화규소(3)의 두께는 100 nm 내지 10 ㎛ 정도인 것이 바람직하다.
탄화규소-탄소 복합재(1)는 소결 보조제 유래의 화합물을 포함하고 있을 수도 있다. 소결 보조제로서는 Y2O3 등의 산화이트륨, Al2O3 등의 산화알루미늄, CaO 등의 산화칼슘, SiO2 등의 산화규소, 그 밖의 희토류 산화물 등을 들 수 있다.
다음으로, 탄화규소-탄소 복합재(1)의 제조 방법의 일례를 설명한다.
(성형체 제작 공정)
질화규소가 표면에 부착된 탄소질 재료(2)를 포함하는 성형체를 제작한다.
탄소질 재료(2)의 표면에 부착시키는 질화규소의 형상은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면 입자상, 피막상 등을 들 수 있다.
질화규소가 입자상인 경우, 질화규소의 입경은 50 nm 내지 10 ㎛ 정도인 것이 바람직하고, 100 nm 내지 1 ㎛ 정도인 것이 보다 바람직하다.
질화규소의 입경은 탄소질 재료(2)의 입경의 1/100 내지 1/5의 범위 내인 것이 바람직하다. 이 경우, 탄소질 재료(2)의 표면의 실질적으로 전체를 질화규소로 덮는 것이 가능해진다. 질화규소의 입경은 탄소질 재료(2)의 입경의 1/50 내지 1/10의 범위 내인 것이 보다 바람직하고, 1/40 내지 1/20의 범위 내인 것이 더욱 바람직하다.
질화규소와 탄소질 재료(2)와의 혼합 비율(질화규소의 부피:탄소질 재료(2)의 부피(부피비))는 5:95 내지 50:50인 것이 바람직하고, 10:90 내지 30:70인 것이 보다 바람직하다.
탄소질 재료(2)의 표면에 질화규소를 부착시키는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 탄소질 재료(2)와 질화규소를 혼합할 수 있다. 구체예로서는 기상법, 액상법, 믹서 등을 이용하여 질화규소와 탄소질 재료(2)를 혼합하는 기계적 혼합 방법, 슬러리법 또는 이들을 조합한 방법을 들 수 있다. 기상법의 구체예로서는 화학 기상 증착법(CVD법), 전화법(CVR법) 등을 들 수 있다. 액상법의 구체예로서는, 예를 들면 화학 침전법 등을 들 수 있다. 슬러리법의 구체예로서는, 예를 들면 겔 캐스팅법, 슬립 캐스팅, 테이프 캐스팅 등을 들 수 있다.
질화규소가 표면에 부착된 탄소질 재료(2)를 성형하는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면 겔 캐스팅법에 따르면, 탄소질 재료(2)의 표면에의 질화규소의 부착과 성형을 동시에 행할 수 있다. 겔 캐스팅법으로서는 액체인 용매 및 결합제를 혼합하여 슬러리로 하고, 이 슬러리 중에 탄소질 재료를 첨가하여, 혼합한 후, 건조시켜 고형 혼합물이 얻어진다. 예를 들면, 결합제로서 아크릴아미드와 N,N'-메틸렌비스아크릴아미드를 가한 이소프로판올 유기 용매에 탄소 분말과 질화규소 분말을 가하여, 자전·공전 믹서로 교반함으로써, 슬러리를 제조하고, 그의 슬러리를 형에 넣어 건조시켜, 성형체를 얻는다.
(소성 공정)
다음으로, 성형체를 소성한다. 소성 방법으로서는, 예를 들면 방전 플라즈마 소결법 등을 들 수 있다.
성형체의 소성 온도나 소성 시간, 소성 분위기의 종류, 소성 분위기의 압력 등은 사용하는 재료의 종류, 형상, 크기 등에 따라서 적절하게 설정할 수 있다. 소성 온도는, 예를 들면 1700℃ 이상으로 할 수 있다. 소성 온도는 1700℃ 내지 2100℃ 정도인 것이 바람직하고, 1800℃ 내지 2000℃ 정도인 것이 보다 바람직하다. 소성 시간은, 예를 들면 5분간 내지 2시간 정도로 할 수 있다. 소성 분위기의 종류는, 예를 들면 진공, 질소, 아르곤 등의 불활성 가스 분위기로 할 수 있다. 소성 분위기의 압력은, 예를 들면 0.01 MPa 내지 10 MPa 정도로 할 수 있다.
소성 공정에서, 탄소질 재료(2)의 표면에 탄화규소(3)가 형성된다. 이 때, 탄화규소(3)는 복수의 탄소질 재료(2) 사이에 형성된다. 즉, 소성 공정에서, 복수의 탄소질 재료(2)는 탄화규소(3)에 의해 덮이고, 탄화규소(3)에 의해 접속된다. 또한, 탄화규소-탄소 복합재(1)에는 질화규소가 남아 있을 수도 있다.
본 실시 형태의 제조 방법에 의하여 얻어지는 탄화규소-탄소 복합재(1)는 탄화규소를 원료로서 얻어지는 탄화규소-탄소 복합재에 비하여, 강도, 열 전도도 등의 점에서 우수하다. 이것은 원료로서 탄화규소를 이용하는 것보다도, 질화규소를 이용하는 쪽이 소성 공정에서, 탄소질 재료(2)의 표면에서 탄화규소(3)를 보다 저온에서 형성하기 쉽고, 탄화규소의 소결이 진행되기 쉬워지는 것에 기인하는 것은 아닌가라고 생각된다. 즉, 탄화규소를 원료로 한 경우, 소결의 구동력은 입자 표면 에너지의 감소에 의존할 수밖에 없지만, 질화규소를 원료로 한 경우에는 질화규소로부터 탄화규소로 전환하는 화학 반응이 소결을 더욱 촉진하는 것이라고 생각된다. 소결이 진행할수록, 탄화규소-탄소 복합재(1)에 있어서의 탄화규소(3)의 연속성은 높아지고, 탄화규소(3)의 연속성이 높아질수록, 강도나 열 전도도는 향상된다고 생각된다. 즉, 본 실시 형태의 제조 방법에서는 질화규소를 원료로서 이용하고 있기 때문에, 강도, 열 전도도 등의 점에서 우수한 탄화규소-탄소 복합재(1)가 얻어지는 것으로 생각된다.
본 실시 형태에 따른 제조 방법에 따르면, 원료로서 탄화규소를 사용하지 않더라도, 보다 저온에서 탄화규소-탄소 복합재(1)를 간이하게 제조할 수 있다.
이하, 본 발명에 대해서, 구체적인 실시예에 기초하여, 더욱 상세히 설명한다. 본 발명은 이하의 실시예에 전혀 한정되지 않는다. 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 적절하게 변경하여 실시하는 것이 가능하다.
(실시예 1)
이하와 같이 하여 탄화규소-탄소 복합재(1)와 실질적으로 동일한 구성을 갖는 탄화규소-탄소 복합재를 제작하였다.
탄소질 재료(2)로서 흑연(메소페이즈 소구체, 도요 탄소 가부시끼가이샤 제조)을 사용하였다. 질화규소로서, 우베 고산 가부시끼가이샤 제조의 Si3N4를 사용하였다.
흑연(10 g)과, 질화규소(4.63 g)와 소결 보조제로서의 Al2O3(0.31 g) 및 Y2O3(0.15 g)를 혼합한 분말과, 아크릴아미드(8 g) 및 N,N'-메틸렌비스아크릴아미드(1 g)를 이소프로판올(45 g)에 용해한 결합제 용액(3.57 g)을 겔 캐스팅법에 의해 혼합하고, 혼합물을 플라스틱 몰드에 캐스팅하였다. 혼합물 중의 흑연과 세라믹과의 부피비는 80:20이었다. 얻어진 혼합물을 상압하, 80℃에서 12시간 건조하여 건조물을 얻었다. 다음으로, 건조물을 진공 중, 700℃에서 1시간 가열하여 결합제인 아크릴아미드를 제거하였다. 또한, 방전 플라즈마 소결법으로, 30 MPa의 압력을 인가하면서, 1700℃에서 5분간, 진공 조건에서 펄스 통전 소결하였다. 그 결과, 탄화규소-탄소 복합재로서 탄화규소-흑연 복합재가 얻어졌다.
얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 벌크 밀도, 상대 밀도, 굽힘 강도 및 열전도율을 하기의 요령으로 측정하였다. 결과를 하기의 표 1에 나타내었다.
〔벌크 밀도〕
아르키메데스법에 의해, 벌크 밀도를 측정하였다. 구체적으로는 JIS A 1509-3에 기초하여 측정하였다.
〔상대 밀도〕
상기한 방법으로 측정한 벌크 밀도와, 동일 샘플의 이론 밀도(기공이 없는 상태에 있어서의 밀도)와의 비에 의해 상대 밀도를 계산하였다(JIS Z 2500-3407을 참조).
〔굽힘 강도〕
3점 굽힘 강도 시험에 의해, 굽힘 강도를 측정하였다. 구체적으로는 JIS A 1509-4에 기초하여 측정하였다.
〔열 전도율〕
레이저 플래시법에 의해, 열 전도율을 측정하였다. 구체적으로는 JIS R 1650-3에 기초하여 측정하였다.
실시예 1에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자 현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)을 도 2에 나타내었다(배율 1000배).
(실시예 2)
1750℃에서 펄스 통전 소결한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 탄화규소-흑연 복합재를 얻었다. 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 벌크 밀도, 상대 밀도, 굽힘 강도 및 열 전도율을 실시예 1과 동일하게 하여 측정하였다. 결과를 하기의 표 1에 나타내었다. 실시예 2에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자 현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)을 도 3에 나타내었다(배율 1000배).
(실시예 3)
1800℃에서 펄스 통전 소결한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 탄화규소-흑연 복합재를 얻었다. 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 벌크 밀도, 상대 밀도, 굽힘 강도 및 열 전도율을 실시예 1과 동일하게 하여 측정하였다. 결과를 하기의 표 1에 나타내었다. 실시예 3에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자 현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)을 도 4에 나타내었다(배율 1000배).
(실시예 4)
1900℃에서 펄스 통전 소결한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 탄화규소-흑연 복합재를 얻었다. 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 벌크 밀도, 상대 밀도, 굽힘 강도 및 열 전도율을 실시예 1과 동일하게 하여 측정하였다. 결과를 하기의 표 1에 나타내었다. 실시예 4에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자 현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)을 도 5에 나타내었다(배율 1000배).
(실시예 5)
흑연(10 g)과, 질화규소(5.96 g)와 소결 보조제로서의 Al2O3(0.39 g) 및 Y2O3(0.20 g)를 혼합한 분말과, 유기 단량체로서 아크릴아미드를 포함한 1-프로판올(3.83 g)을 겔 캐스팅법에 의해 혼합한 것 이외에는 실시예 4와 동일하게 하여, 탄화규소-흑연 복합재를 얻었다. 혼합물 중의 흑연과 세라믹과의 부피비는 80:20이었다.
얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 벌크 밀도, 상대 밀도, 굽힘 강도 및 열 전도율을 실시예 1과 동일하게 하여 측정하였다. 결과를 하기의 표 1에 나타내었다.
실시예 5에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 주사형 전자 현미경 사진((a) 표면 (b) 파단면)을 도 6에 나타내었다((a)가 배율 500배, (b)가 배율 1000배).
(비교예 1)
흑연(10 g)과, 탄화규소(SiC 4.50 g)와 소결 보조제로서의 Al2O3(0.30 g) 및 Y2O3(0.15 g)을 혼합한 분말과, 아크릴아미드(8 g) 및 N,N'-메틸렌비스아크릴아미드(1 g)를 이소프로판올(45 g)에 용해한 결합제 용액(3.03 g)을 겔 캐스팅법에 의해 혼합한 것 이외에는 실시예 4와 동일하게 하여, 탄화규소-흑연 복합재를 얻었다. 혼합물 중의 흑연과 세라믹과의 부피비는 75:25였다.
얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 벌크 밀도, 상대 밀도, 굽힘 강도 및 열 전도율을 실시예 1과 동일하게 하여 측정하였다. 결과를 하기의 표 1에 나타내었다. 비교예 1에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재 표면의 주사형 전자 현미경 사진을 도 7에 나타내었다(배율 1000배).
(비교예 2)
흑연(10 g)과, 탄화규소(SiC 5.96 g)와 소결 보조제로서의 Al2O3(0.39 g) 및 Y2O3(0.20 g)을 혼합한 분말과, 유기 단량체로서 아크릴아미드를 포함한 1-프로판올(3.24 g)을 겔 캐스팅법에 의해 혼합한 것 이외에는 실시예 4와 동일하게 하여, 탄화규소-흑연 복합재를 얻었다. 혼합물 중의 흑연과 세라믹과의 부피비는 70:30이었다.
얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 벌크 밀도, 상대 밀도, 굽힘 강도 및 열 전도율을 실시예 1과 동일하게 하여 측정하였다. 결과를 하기의 표 1에 나타내었다. 비교예 2에서 얻어진 탄화규소-흑연 복합재 표면의 주사형 전자 현미경 사진을 도 8에 나타내었다(배율 1000배).
(비교예 3)
흑연(10 g)과, 질화알루미늄(AlN 3.54 g)과 소결 보조제로서의 Y2O3(0.19 g)을 혼합한 분말과, 아크릴아미드(8 g) 및 N,N'-메틸렌비스아크릴아미드(1 g)를 이소프로판올(45 g)에 용해한 결합제 용액(2.49 g)을 겔 캐스팅법에 의해 혼합한 것 이외에는 실시예 4와 동일하게 하여, 탄화규소-흑연 복합재를 얻었다. 혼합물 중의 흑연과 세라믹과의 부피비는 70:30이었다.
얻어진 탄화규소-흑연 복합재의 벌크 밀도, 상대 밀도, 굽힘 강도 및 열 전도율을 실시예 1과 동일하게 하여 측정하였다. 결과를 하기의 표 1에 나타내었다.
Figure pct00001
1…탄화 규소-탄소 복합재
2…탄소질 재료
3…탄화규소

Claims (8)

  1. 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법이며,
    질화규소와 탄소질 재료를 포함하는 성형체를 소성함으로써, 탄화규소-탄소 복합재를 얻는 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 성형체에 있어서의 상기 탄소질 재료의 표면에는 상기 질화규소가 부착되어 있는 것인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 질화규소와 상기 탄소질 재료와 결합제를 혼합하고, 상기 질화규소가 표면에 부착된 상기 탄소질 재료를 포함하는 혼합물을 얻어, 상기 혼합물을 성형함으로써 상기 성형체를 얻는 것인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법.
  4. 제1항 또는 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 입자상의 상기 질화규소를 이용하는 것인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 질화규소의 입경은 상기 탄소질 재료의 입경의 1/100 내지 1/5의 범위 내인 것인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 질화규소와 탄소질 재료와의 부피비가 5:95 내지 50:50인 성형체를 이용하는 것인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 성형체의 소성을 1700℃ 이상에서 행하는 것인 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 탄소질 재료를 덮고 있고, 또한 상기 복수의 탄소질 재료를 접속하고 있는 탄화규소를 갖는 탄화규소-탄소 복합재를 제조하기 위한 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법.
KR1020137031027A 2011-05-27 2012-05-24 탄화규소-탄소 복합재의 제조 방법 KR20140038426A (ko)

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