KR20140019727A - 드레서 디스크 세정용 브러시, 세정 장치 및 세정 방법 - Google Patents

드레서 디스크 세정용 브러시, 세정 장치 및 세정 방법 Download PDF

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Abstract

CMP 장치의 드레서 디스크를 세정했을 때에, 드레서 디스크에서 분리된 먼지를 세정계의 외부로 효과적으로 배출해서 재부착하는 일이 없도록 세정용 브러시 및 세정 장치를 구성한다. 상면에 다수개의 브러시(31a)가 돌출설치한 세정용 브러시(3)를, 그 내부에 세정 유체를 분출하는 노즐(24)이 삽입되는 상하로 관통된 관통 구멍(31b, 32a)을 설치하고, 관통 구멍(31b, 32a)의 하단부가 면하는 하면에 오목 홈(32b)을 설치해서 형성하고, 드레서 디스크를 세정했을 때에 생기는 브러시(31a)에 부착된 먼지가, 세정 유체와 함께 노즐(24)의 주위와 관통 구멍(31b, 32a) 내면 사이의 간극을 통해 오목 홈(32b)으로부터 외부로 배출되도록 구성한다.

Description

드레서 디스크 세정용 브러시, 세정 장치 및 세정 방법{CLEANING METHOD, CLEANING APPARATUS AND CLEANING BRUSH OF DRESSER DISK}
본 발명은, CMP 장치의 연마 패드 표면을 연마하는 드레서 디스크를 세정하기 위한 세정용 브러시와 그 장치 및 이 세정 장치를 사용한 드레서 디스크의 세정 방법에 관한 것이다.
CMP 장치는, 예를 들어 도 13에 도시된 바와 같이, 구동 모터의 회전축(101)의 상단부에 설치된 원반 형상의 연마 플레이트(102)의 상면에, 표면에 미세한 다공질 홀을 갖는 연마 패드(103)를 장착해서 연마 테이블(100)을 구성하고, 이 연마 테이블(100)의 상방에서 회전 가능하게 지지된 웨이퍼 캐리어(104)의 하면에 연마 대상인 웨이퍼(105)를 유지시켜, 회전하는 연마 패드(103)의 상면에 연마제인 슬러리를 공급 장치(S)로부터 공급해 유동시키면서, 웨이퍼 캐리어(104)에 의해 웨이퍼(105)를 회전시키면 연마 패드(103)의 표면에 압박함으로써, 웨이퍼(105)의 표면을 평탄하게 연마하도록 구성되어 있다.
그리고, 부대 설비로서, 연마 테이블(100)의 측방에, 웨이퍼(105)의 연마를 반복함으로써 막힘이나 찌부러진 연마 패드(103)의 표면을 절삭 연마해서 재생하는 드레서 디스크(106)를, 이동 아암(107)의 선단에 회전 구동 기구(108)와 함께 설치해서 배치하는 동시에, 연마 패드(103)의 표면을 절삭 연마함으로써 드레서 디스크(106)의 패드 접촉면에 부착된 오물이나 연마 칩, 연마 패드 칩, 슬러리 입자 등의 먼지를 제거하기 위한 세정 장치(109)를 설치해서 구성되어 있다.
드레서 디스크(106)를 세정하는 장치(109)로서는, 예를 들어 도 14에 도시된 바와 같이, 순수 등의 세정액의 유입구(110a)와 배수구(110b)를 구비한 풀 조(110)의 저부에, 적절한 회전 구동 수단에 의해 회전 구동하는 브러시(111)를 설치하고, 풀 조(110)내에 체류시킨 세정액에 드레서 디스크(106)를 침지시키고, 그 패드 접촉면을 회전하는 브러시(111)에 접촉시킴으로써, 패드 접촉면에 부착된 먼지가 풀 조(110) 내에서 제거되도록 한 구성의 것이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1, 2 참조). 또한, 도면부호 112는 기포 발생 수단이다.
또한, 피연마면이나 피세정면에 브러시를 접촉시켜서 연마하고 또는 세정하는 브러시 구조체로서, 브러시를 돌출설치한 면내에 유체 공급구를 설치하고, 이 유체 공급구로부터 연마액이나 세정액을 분출시키면서 연마하거나 세정하거나 하는 구성의 것이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 2, 3, 4, 5 참조).
일본 특허 출원 공개 평11-129153호 공보 일본 특허 출원 공개 제2001-260024호 공보 일본 특허 출원 공개 제2003-188125호 공보 일본 특허 출원 공개 제2003-117819호 공보 일본 특허 출원 공개 평10-294261호 공보
상기 종래의 세정 장치(109)는, 풀 조(110)내에 세정액을 순환공급하거나 세정액중에 기포를 발생시키거나 해도, 드레서 디스크(106)의 패드 접촉면으로부터 분리된 어느 정도의 먼지가 풀 조(110)내에 체류하는 것은 피할 수 없고, 무거운 먼지는 풀 조(110) 내에 가라앉아 그 저부나 브러시(111)내에 퇴적하고, 가벼운 것은 세정액중이나 액면에 부유해서 풀 조(110)의 외부로는 완전하게는 배출되지 않기 때문에, 드레서 디스크(106)를 풀 조(110)로부터 끌어올릴 때에, 이들 체류된 먼지가 드레서 디스크(106)에 재부착하기 쉽다는 문제가 있었다.
드레서 디스크(106)의 세정 수단으로서, 풀 조(110) 대신에 상기 유체 공급구를 구비한 공지의 브러시 구조체를 사용했을 경우, 브러시의 접촉에 의해 드레서 디스크(106)로부터 분리된 먼지가 브러시와 브러시의 사이나 브러시와 유체 공급구의 사이에 부착되어 퇴적하기 쉽고, 퇴적된 먼지가 브러시의 미끄럼 이동 동작에 따라 드레서 디스크(106)에 재부착하거나, 세정액의 공급의 방해가 되거나 한다는 문제가 있다.
어떠한 세정 수단도, 세정중에 드레서 디스크(106)로부터 분리된 먼지를, 드레서 디스크(106)와 세정 수단이 대면하는 세정계의 외부로 배출하는 유효한 수단을 구비하고 있지 않기 때문에 세정 효율을 개선할 수 없고, 드레서 디스크(106)를 세정하는 메인테넌스 주기를 짧게 설정한 운용이 필요하게 되는 등 만족한 세정 효과를 얻을 수 없다는 것이 실상이다.
본 발명은 종래 기술이 갖는 이러한 문제점을 감안하고, CMP 장치의 드레서 디스크를 세정했을 때에, 드레서 디스크로부터 분리한 먼지를 세정계의 외부에 효과적으로 배출해서 재부착하는 일이 없도록 세정용 브러시 및 세정 장치를 구성하고, 이들을 사용해서 드레서 디스크의 세정 효율의 향상을 도모하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은, 세정 유체를 분출하는 노즐이 상면으로 돌출설치된 세정 장치 본체의 아암부에 고정부착하여서 드레서 디스크의 세정 장치를 구성하는 세정용 브러시에 있어서,
상면에 다수개의 브러시가 돌출설치되어 있어서 상기 노즐이 삽입되는 상하로 관통된 관통 구멍을 내부에 갖는 동시에, 당해 관통 구멍의 하단부가 면하는 하면에 오목 홈을 설치해서 형성되어 이루어지고,
상기 노즐로부터 세정 유체를 분출시켜서 드레서 디스크를 세정했을 때에 생기는 브러시에 부착된 먼지가, 세정 유체와 함께 상기 노즐의 주위와 관통 구멍 내면 사이의 간극을 통해 상기 오목 홈으로부터 외부로 배출되도록 한 구성을 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 구성의 세정용 브러시는, CMP 장치의 연마 테이블의 측방에 설치되는, 세정 유체를 분출하는 노즐이 상면에 돌출설치된 세정 장치 본체의 아암부에 고정부착하여서 드레서 디스크를 세정하는 장치를 구성한다.
이 세정 장치를 사용한 드레서 디스크의 세정은, 우선 세정용 브러시에 드레서 디스크의 패드 접촉면을 접촉시킨 상태에서, 노즐로부터 세정 유체를 분출시키면서 드레서 디스크를 회전 유지하고, 상기 패드 접촉면을 스크럽 세정하고, 이어서, 세정용 브러시의 상방에 드레서 디스크를 배치한 상태에서, 노즐로부터 세정 유체를 분출시키면서 드레서 디스크를 회전 유지하고, 상기 패드 접촉면을 린스 세정함으로써 행해진다.
이것에 따르면, 상기 스크럽 세정 공정에서, 브러시의 상대 미끄럼 이동에 의해 드레서 디스크의 패드 접촉면으로부터 분리된 먼지는, 세정 유체와 함께 세정용 브러시의 상면에 흘러내리고, 세정용 브러시의 내부에 설치된, 노즐이 삽입된 관통 구멍의 내면과 노즐의 주위 사이에 형성된 간극을 통해 관통 구멍 내를 흘러내리고, 관통 구멍의 하단부에 연통된 세정용 브러시 하면의 오목 홈으로부터 세정용 브러시의 외부로 배출된다.
이와 같이, 노즐이 삽입된 세정용 브러시의 관통 구멍 내면과 노즐의 주위 사이에, 드레서 디스크로부터 분리된 먼지가 세정용 유체와 함께 유하하는 간극이 확보되도록 설치함으로써, 스크럽 세정 공정에서 발생하는 먼지를 세정 유체와 함께 세정용 브러시의 외부로 배출할 수 있으므로, 브러시와 브러시의 사이나 노즐의 상방에 위치하는 관통 구멍의 상단부에 먼지가 부착되거나 퇴적하거나 하는 일은 없고, 드레서 디스크로의 먼지의 재부착을 효과적으로 방지하고, 노즐로부터 새로운 세정 유체를 상시 분출할 수 있다.
또한, 스크럽 세정후에, 드레서 디스크에 세정 유체를 분출시켜서 린스 세정함으로써, 스크럽 세정시에 제거할 수 없었던 먼지를 확실하게 흘려 떨어트리는 것이 가능하다.
상기 구성의 세정용 브러시는, 상면에 다수개의 브러시가 돌출설치되어 있어서 상기 노즐이 삽입되는 상하에 관통한 관통 구멍을 내부에 갖는 브러시 본체부와, 상기 노즐이 삽입되는 상하에 관통한 관통 구멍을 내부에 갖는 동시에 당해 관통 구멍의 하단부가 면하는 하면에 오목 홈이 형성되어 이루어지는 대좌부의 2 부재로 구성할 수 있다. 이러한 세정용 브러시는, 대좌부 위에 브러시 본체부를 겹친 상태에서, 상기 노즐이 상면에 돌출설치된 아암부에 일체로 고정부착하여서 세정 장치를 구성한다.
이렇게 세정용 브러시를 브러시 본체부와 대좌부의 2 부재로 구성함으로써, 메인테넌스 작업시에, 양 부재를 분해해서 먼지가 배출되는 통로를 간단하게 청소 할 수가 있고, 또한 브러시가 마모했을 때는 브러시 본체부만을 교환함으로써, 소모품인 세정용 브러시의 비용 저감을 도모하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 구성의 세정용 브러시에 있어서, 노즐이 삽입되는 관통 구멍은 세정용 브러시의 중앙 부근에 설치하는 동시에, 세정용 브러시의 상면에 있어서 상기 관통 구멍의 상단부의 주위를, 평면에서 보아 지그재그 격자형상으로 배치해서 돌출설치시킨 브러시 군으로 둘러싼 구성으로 하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 노즐이 삽입되는 관통 구멍을 둘러싸도록 브러시를 복수열 배치하고, 또한 이웃하는 브러시가 번갈아서 위치를 어긋나게 한 지그재그 격자형상으로 배치함으로써, 드레싱 세정 공정에서 드레서 디스크의 패드 접촉면을 세정용 브러시에 접촉시켜서 세정용 유체를 분출시켰을 때에, 브러시 군으로 둘러싸인 부분의 압력이 주변 부분보다도 증가하고, 이에 의해 드레서 디스크의 패드 접촉면으로부터 분리한 먼지와 패드 접촉면으로부터 튀어 오른 세정 유체의 상기 노즐이 삽입한 관통 구멍 내면의 간극에의 유입을 촉진시켜서, 세정용 브러시의 외부로 배출하는 효과를 높일 수 있다.
상기 구성의 세정용 브러시에 있어서, 관통 구멍에 노즐을 삽입했을 때에, 노즐의 주위와 관통 구멍 내면 사이에 먼지가 통과가능한 간극이 확보되도록, 관통 구멍의 내경은 노즐의 외경보다도 크게 설정되고, 노즐의 주위에 1㎜ 내지 5㎜ 정도의 간극이 확보되도록 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 노즐이 삽입되는 관통 구멍과는 별도로, 먼지가 세정 유체와 함께 통과가능한 크기의 유통로이며, 일단부가 브러시가 돌출설치된 상면에서 개방하고, 타단부가 오목 홈에 연통한 먼지 배출로를 설치해서 세정용 브러시를 구성해도 좋다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태의 세정 장치의 외관도.
도 2는 도 1의 세정용 브러시의 반면을 파단해서 도시한 측면도.
도 3은 도 1의 세정용 브러시의 상면도와 하면도.
도 4는 도 1의 세정 장치의 세정용 브러시가 설치된 아암부의 확대 단면도.
도 5는 세정 장치의 아암부와 세정용 브러시의 구성 부재를 전개해서 도시한 도면.
도 6은 도 1의 세정 장치의 세정용 브러시를 설치한 부분의 주요부 단면도.
도 7은 도 1의 세정 장치로 드레서 디스크를 스크럽 세정하고 있는 상태의 외관도.
도 8은 도 7의 주요부 측면도.
도 9는 도 1의 세정 장치로 드레서 디스크를 린스 세정하고 있는 상태의 단면사시도.
도 10은 세정용 브러시의 다른 실시형태의 외관도.
도 11은 세정용 브러시의 또 다른 실시형태의 외관도.
도 12는 세정용 브러시의 또 다른 실시형태에 있어서의 세정 장치의 아암부에 설치한 상태의 단면도.
도 13은 CMP 장치의 일 예의 구성을 설명하기 위한 것으로, (A)는 평면도이며, (B)는 측면도.
도 14는 종래의 드레서 디스크의 세정 장치의 일 예의 구성을 도시한 도면.
본 발명의 적절한 실시형태를 도면에 기초해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태의 드레서 디스크 세정 장치를 도시하고 있고, 이 세정 장치(1)는 세정 장치 본체(2)와 세정용 브러시(3)로 이루어지고, 세정 유체를 분출하는 노즐(24)이 상면에 돌출설치된 세정 장치 본체(2)의 아암부(21)에 세정용 브러시(3)를 일체로 고정부착하여서 구성하고 있다. 세정 장치(1)는 도시되어 있지 않은 CMP 장치의 연마 테이블의 측방에 설치된다.
세정 장치 본체(2)는 수평한 아암부(21)의 일측의 단부에 상방에 돌기부(22)를 돌출하고, 그 내부에, 후술하는 도 9에 도시된 바와 같이, 세정 유체의 공급로(23)를 설치해서 형성되어 있고, 상반부를 아암부(21)의 상방에 돌출설치시키고, 하단부를 상기 공급로(23)에 연통시키고, 아암부(21)의 상면에 돌출설치시켜서 설치된 세개의 노즐(24)과, 동일하게 상기 공급로(23)에 연통시켜서 돌기부(22)의 상단부에 설치된 노즐(25)로부터, 세정 유체를 분출시킬 수 있도록 구성하고 있다. 세정 유체의 공급은 도시되어 있지 않은 세정 유체 공급 기구를 구동해서 행해진다.
세정용 브러시(3)는 합성 수지재 등의 탄성을 갖는 재료로 성형되어 있고, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 가로로 긴 평면에서 보아 대략 타원 형상을 나타내는 상면에, 나일론제의 가는 털의 집합체를 묶어서 이루어지는 다수개의 브러시(31a)를 일체로 직설해서 형성하고 있다.
상세하게는, 세정용 브러시(3)는, 상기 다수개의 브러시(31a)가 상면에 돌출설치되어 있어 상기 각 노즐(24)이 삽입되는 상하로 관통된 3개의 관통 구멍(31b)을 내부에 갖는 브러시 본체부(31)와, 마찬가지로 상기 각 노즐(24)이 삽입되는 상하로 관통된 3개의 관통 구멍(32a)을 내부에 갖고, 상면에 브러시 본체부(31)를 탑재해서 지지하는 대좌부(32b)와의 2개의 부재로 구성되어 있다.
대좌부(32)의 하면이며 상기 각 관통 구멍(32a)의 하단부가 면하는 부분에는, 관통 구멍(32a)보다도 폭이 넓어서 대좌부(32)의 짧은 양측면에 걸치는 오목 홈(32b)을 각각 형성하고 있다.
또한, 브러시 본체부(31)와 대좌부(31)의 길이방향 양측단부에는, 멈춤 나사 등의 고착구(4)가 결합하는 단면 U자형의 절취부(31c, 32c)를 각각 설치하고 있다.
브러시 본체부(31)의 관통 구멍(31b)과 대좌부(32)의 관통 구멍(32a)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 세정 장치 본체(2)의 아암부(21)의 노즐(24)의 돌출설치 위치에 대응시켜서, 브러시 본체부(31)와 대좌부(32)의 중앙 부근에 등간격을 두고서 각각 동일한 내경으로 형성되어 있고, 브러시 본체부(31)의 상면에 돌출설치한 다수의 브러시(31a)는, 그 각 관통 구멍(31b)의 상단부의 주위를 둘러싸서 복수열 배치하고, 또한 이웃하는 브러시가 번갈아서 위치를 어긋나게 한 지그재그 격자형상으로 배치하고 있다.
또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 브러시 본체부(31)의 관통 구멍(31b)과 대좌부(32)의 관통 구멍(32a)은, 그 내경(φa)을 노즐(24)의 외경(φb)보다도 크게 설치해서 형성되고, 브러시 본체부(31)와 대좌부(32)를 겹쳐서 상기 아암부(21)의 상면에 겹쳐서 설치하고, 상기 양쪽 관통 구멍(31b, 32a)에 노즐(24)을 삽입한 상태에서, 노즐(24)의 주위와 양쪽 관통 구멍(31b, 32a)의 내면간에 1㎜ 내지 5㎜ 정도의 간극이 확보되고, 또한 이 간극과 대좌부(32)의 하면에 형성된 오목 홈(32b)이 연통하도록 설치하고 있다.
세정용 브러시(3)는, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 세정 장치 본체(2)의 아암부(21)의 상면에, 대좌부(32)와 브러시 본체부(31)를 각각의 관통 구멍(31b, 32a)에 노즐(24)을 삽입시켜서 순차 상하로 겹쳐서 설치하고, 양쪽 부분의 양측단부에 설치한 절취부(31c, 32c)에 고착구(4)를 각각 결합하고, 고착구(4)의 축부를 아암부(21)에 고정부착함으로써 고정되고, 이 세정용 브러시(3)의 고정부착 완료에 의해 세정 장치(1)가 구성된다.
이와 같이 구성된 본 형태의 세정 장치(1)를 사용해서 드레서 디스크를 세정하기 위해서는, 우선 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 이동 아암(51)의 하부에 지지된 드레서 디스크(5)의 패드 접촉면을, 세정용 브러시(3)의 브러시(31a)에 접촉시킨 상태에서, 노즐(24)로부터 세정 유체를 분출시키면서 드레서 디스크(5)를 회전 유지하고, 상기 패드 접촉면을 스크럽 세정한다.
이때, 브러시(31a)의 상대 미끄럼 이동에 의해 드레서 디스크(5)의 패드 접촉면에 부착된 먼지를 긁어 내어, 패드 접촉면으로부터 분리된 먼지는, 세정 유체와 함께 세정용 브러시(3)의 상면으로 흘러떨어져, 노즐(24)이 삽입된 관통 구멍(32b, 32a)의 내면과 노즐(24)의 주위 사이에 확보된 간극을 통해 관통 구멍(32b, 32a) 내를 흘러떨어지고, 관통 구멍(32a)의 하단부에 연통된 오목 홈(32b)으로부터 세정용 브러시(3)의 외부로 배출된다.
이에 의해, 패드 접촉면으로부터 분리된 먼지가 브러시(31a)와 브러시(31a) 사이나 노즐(24)의 상방에 위치하는 관통 구멍(31b)의 상단부에 부착되거나 퇴적하거나 하는 일이 없고, 드레서 디스크(5)에의 먼지의 재부착을 효과적으로 방지하고, 노즐(24)에서 새로운 세정 유체를 상시 분출하는 것이 가능해진다.
다음에, 도 9에 도시된 바와 같이, 세정용 브러시(3)의 상방에 적절한 간격을 두고서 드레서 디스크(5)를 배치한 상태에서, 세정용 브러시(3)의 상면 내에 배치된 노즐(24)과, 세정 장치 본체(2)의 돌기부(23)의 상부에 설치된 노즐(25)로부터 세정 유체를 분출시키면서 드레서 디스크(5)를 회전 유지하고, 상기 패드 접촉면을 린스 세정함으로써 드레서 디스크(5)의 세정을 완료한다.
이와 같이, 스크럽 세정후에, 드레서 디스크(5)에 세정 유체를 분출시켜서 린스 세정함으로써, 스크럽 세정시에 제거할 수 없었던 먼지를 확실하게 흘려 떨어트리는 것이 가능해진다.
상기 세정용 브러시(3)에 설치하는 노즐(24)을 삽입하는 관통 구멍(31b, 32a)은 세정 장치 본체(2)의 아암부(21) 위에 돌출설치한 노즐(24)의 수에 따라서 형성되고, 예를 들어 도 10에 도시된 바와 같이, 아암부(21)에 4개의 노즐(24)이 돌출설치하고 있을 때는, 이것에 대응시켜서 각 노즐(24)이 삽입되는 관통 구멍(31b, 32a)이 4개 형성된다.
또한, 도 11에 도시된 바와 같이, 세정용 브러시(3)는, 그 상면이며 관통 구멍(31b, 31b)의 사이의 부분에 브러시(31a)를 돌출설치시켜서 형성해도 좋다.
또한, 도 12 도시된 바와 같이, 노즐(24)이 삽입되는 관통 구멍(31b, 32a)과는 별도로, 먼지가 세정 유체와 함께 통과가능한 크기의 유통로이며, 일단부가 세정용 브러시(3)의 상면에서 개방하고, 타단부가 오목 홈(32b)에 연통한 먼지 배출로(33)를 설치하고, 이 먼지 배출로(33)를 통해 먼지가 외부로 배출되도록 설치하여도 된다.
또한, 도시한 세정용 브러시(3), 세정 장치 본체(2) 및 세정 장치(1)는 본 발명의 실시형태의 일 예를 나타내는 것이며, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 다른 적절한 형태로 구성하는 것이 가능하다. 세정용 브러시(3)는 브러시 본체부(31)와 대좌부(32)를 일체로 설치해서 형성되어 있어도 된다.
1 : 세정 장치
2 : 세정 장치 본체
21 : 아암부
22 : 돌기부
23 : 유체 공급로
24, 25 : 노즐
3 : 세정용 브러시
31 : 브러시 본체부
32 : 대좌부
31a : 브러시
31b, 32a : 관통 구멍
32b : 오목 홈
31c, 32c : 절취부
4 : 고착구
5 : 드레서 디스크

Claims (6)

  1. 세정 유체를 분출하는 노즐이 상면에 돌출설치된 세정 장치 본체의 아암부에 고정부착하여서 드레서 디스크 세정 장치를 구성하는 세정용 브러시에 있어서,
    상면에 다수개의 브러시가 돌출설치되어 있어서 상기 노즐이 삽입되는 상하로 관통된 관통 구멍을 내부에 갖는 동시에, 당해 관통 구멍의 하단부가 면하는 하면에 오목 홈을 설치해서 형성되어 이루어지고,
    상기 노즐로부터 세정 유체를 분출시켜서 드레서 디스크를 세정했을 때에 생기는 브러시에 부착된 먼지가, 세정 유체와 함께 상기 노즐의 주위와 관통 구멍 내면 사이의 간극을 통해 상기 오목 홈으로부터 외부로 배출되도록 한 구성을 갖는 것을 특징으로 하는, 드레서 디스크 세정용 브러시.
  2. 제1항에 있어서, 상면에 다수개의 브러시가 돌출설치되어 있어서 상기 노즐이 삽입되는 상하로 관통된 관통 구멍을 내부에 갖는 브러시 본체부와,
    상기 노즐이 삽입되는 상하로 관통된 관통 구멍을 내부에 갖는 동시에 당해 관통 구멍의 하단이 면하는 하면에 오목 홈이 형성되어 이루어지는 대좌부에 의해 구성된, 드레서 디스크 세정용 브러시.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 노즐이 삽입되는 관통 구멍을 세정용 브러시의 중앙 부근에 설치하는 동시에, 세정용 브러시의 상면에 있어서 상기 관통 구멍의 상단부의 주위를, 평면에서 보아 지그재그 격자형상으로 배치해서 돌출설치시킨 브러시 군으로 둘러싼 구성을 갖는, 드레서 디스크 세정용 브러시.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 노즐이 삽입되는 관통 구멍과는 별도로, 일단부가 세정용 브러시의 상면에서 개방하고, 타단부가 오목 홈에 연통된 먼지 배출로를 설치한 구성을 갖는, 드레서 디스크 세정용 브러시.
  5. 세정 유체를 분출하는 노즐이 상면에 돌출설치된 세정 장치 본체의 아암부에 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 세정용 브러시를 고정 부착시켜서 구성된, 드레서 디스크 세정 장치.
  6. 제5항에 기재된 세정 장치를 사용해서 드레서 디스크를 세정하는 방법이며,
    세정용 브러시에 드레서 디스크의 패드 접촉면을 접촉시킨 상태에서, 노즐로부터 세정 유체를 분출시키면서 드레서 디스크를 회전 유지하고, 상기 패드 접촉면을 스크럽 세정하는 공정과,
    세정용 브러시의 상방에 드레서 디스크를 배치한 상태에서, 노즐로부터 세정 유체를 분출시키면서 드레서 디스크를 회전 유지하고, 상기 패드 접촉면을 린스 세정하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는, 드레서 디스크의 세정 방법.
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