KR20130118778A - 테이프 파지 기구, 시트 박리 장치, 및 시트 박리 방법 - Google Patents

테이프 파지 기구, 시트 박리 장치, 및 시트 박리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 시트에 박리 테이프를 적절히 부착할 수 있는 테이프 파지 기구를 제공한다. 테이프 파지 기구(테이프 파지부)는 절단된 박리 테이프의 일단을 파지하고, 박리 테이프의 타단을 피부착 부재(반도체 웨이퍼)에 부착된 시트에 부착하고, 시트가 꺾여 피부착 부재로부터 박리되도록 박리 테이프를 당길 경우에 사용되고, 박리 테이프의 일단으로부터 타단으로의 방향에 수직인 방향을 박리 테이프의 횡 방향이라 할 경우, 테이프 파지 기구는 박리 테이프를 횡 방향으로 구부려서 박리 테이프를 파지한다.

Description

테이프 파지 기구, 시트 박리 장치, 및 시트 박리 방법{TAPE HOLDING MECHANISM, SHEET PEELING APPARATUS, AND SHEET PEELING METHOD}
본 발명은 테이프 파지 기구, 시트 박리 장치, 및 시트 박리 방법에 관한 것이다.
칩 제조는 반도체 웨이퍼(이하 간단히 웨이퍼로 약기함)를 연삭하는 공정 및 웨이퍼를 다이싱하는 공정을 포함한다. 웨이퍼의 연삭 시, 웨이퍼의 표면이 연삭액에 의해 오염되는 것을 방지하기 위해, 웨이퍼의 전면(front surface)(회로면)을 보호하는 백 그라인드(BG; back grind) 테이프 및 웨이퍼의 이면을 보호하는 LC 테이프 등의 보호 테이프가 부착된다. 또한, 연삭 후 웨이퍼의 다이싱 시, 개편화된 칩이 흩어지는 것을 방지하기 위해 웨이퍼의 이면에 다이싱 테이프가 부착된다. 이하, 보호 테이프, LC 테이프, 다이싱 테이프 등을 총칭하여 시트라고 한다.
웨이퍼의 표면을 보호 시트는 웨이퍼의 연삭 후에 박리된다. 예를 들면, 일본국 특개2007-173495에 개시된 박리 장치는, 박리 테이프의 일단을 파지하고, 박리 테이프의 타단을 웨이퍼에 부착된 시트에 부착하고, 시트가 꺾여 웨이퍼로부터 박리되도록 박리 테이프를 당기는 테이프 파지 수단을 이동시킨다.
일본국 특개2007-173495에 개시된 박리 장치에서는, 박리 테이프의 일단을 파지할 경우, 박리 테이프의 타단이 아래로 내려뜨려진다. 따라서, 박리 테이프의 타단을 시트에 적절히 부착하는 것이 곤란하다.
본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어졌으며, 박리 테이프를 시트에 적절히 부착할 수 있는 테이프 파지 기구, 시트 박리 장치, 및 시트 박리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 하나의 예시적인 양태에 따른 테이프 파지 기구는 절단된 박리 테이프의 일단을 파지하고, 박리 테이프의 타단을 피부착 부재에 부착된 시트에 부착하고, 시트가 꺾여 피부착 부재로부터 박리되도록 박리 테이프를 당길 경우에 사용되는 테이프 파지 기구이며, 박리 테이프의 일단으로부터 타단으로의 방향에 수직인 방향을 박리 테이프의 횡 방향이라 할 경우, 테이프 파지 기구는 박리 테이프를 횡 방향으로 구부려서 박리 테이프를 파지한다.
본 발명의 다른 예시적인 양태에 따른 시트 박리 장치는 상술한 테이프 파지 기구를 포함한다.
본 발명의 다른 예시적인 양태에 따른 시트 박리 방법은 박리 테이프의 일단을 파지하는 단계, 박리 테이프의 타단을 피부착 부재에 부착된 시트에 부착하는 단계, 및 시트가 꺾여 피부착 부재로부터 박리되도록 박리 테이프를 당기는 단계를 포함하고, 박리 테이프의 일단으로부터 타단으로의 방향에 수직인 방향을 박리 테이프의 횡 방향이라 할 경우, 박리 테이프를 파지하는 단계에서 박리 테이프를 횡 방향으로 구부려서 파지한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 시트 박리 장치를 나타내는 구성 블록도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 테이프 파지 기구를 나타내는 개략 상면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 테이프 파지 기구의 제 1 파지부를 나타내는 개략 상면도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 테이프 파지 기구를 나타내는 전면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 테이프 파지 기구의 제 2 파지부를 나타내는 개략 상면도.
도 6a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 시트 박리 장치를 이용하여 웨이퍼에 부착된 시트를 박리하는 동작을 나타내는 도면.
도 6b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 시트 박리 장치를 이용하여 웨이퍼에 부착된 시트를 박리하는 동작을 나타내는 도면.
도 6c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 시트 박리 장치를 이용하여 웨이퍼에 부착된 시트를 박리하는 동작을 나타내는 도면.
도 6d는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 시트 박리 장치를 이용하여 웨이퍼에 부착된 시트를 박리하는 동작을 나타내는 도면.
도 6e는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 시트 박리 장치를 이용하여 웨이퍼에 부착된 시트를 박리하는 동작을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 테이프 파지 기구에서 웨이퍼에 부착된 시트의 박리 시의 전면도.
도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 테이프 파지 기구에서 제 2 파지부를 나타내는 개략 상면도.
도 9는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 테이프 파지 기구에서 제 2 파지부를 나타내는 개략 하면도.
도 10은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 테이프 파지 기구에서 제 2 파지부를 나타내는 개략 상면도.
도 11은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 테이프 파지 기구에서 제 2 파지부를 나타내는 개략 하면도.
도 12는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 시트 박리 장치에서 가압부를 나타내는 도면.
도 13은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 시트 박리 장치에서 가압부의 동작을 설명하는 도면.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 및 장점은 단지 예시로서 주어지는 이하에 제시되는 상세한 설명 및 첨부 도면으로부터 더 완벽히 이해될 것이며, 따라서 이들은 본 발명을 제한하는 것으로 생각되어서는 안 된다.
본 발명의 각 실시형태에 따른 테이프 파지 기구, 시트 박리 장치, 및 시트 박리 방법을 설명한다. 그러나, 본 발명은 이하에 기술하는 실시형태에 제한되는 것은 아니다. 또한, 다음 설명 및 도면은 설명의 명확화를 위해 적절히 단순화되어 있다. 또한, 다음 설명에서 수직 방향, 횡 방향, 및 전후 방향은 테이프 파지 기구의 사용 형태에 따라 적절히 변경될 수 있다.
<제 1 실시형태>
제 1 실시형태에 따른 테이프 파지 기구, 시트 박리 장치, 및 시트 박리 방법은 웨이퍼의 이면의 연삭 시 웨이퍼의 전면을 보호하기 위해 부착된 시트를 박리할 때 사용되는 것이 바람직하다. 웨이퍼(6)는 일반적인 웨이퍼와 같은 원반 형상을 가지지만, 그 형상은 특별히 제한되지 않는다.
우선, 시트 박리 장치의 구조를 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 시트 박리부(1)는 가동부(2), 테이프 파지부(테이프 파지 기구)(3), 및 컨트롤러(4)를 포함한다. 도 6a 내지 도 6e에 나타낸 바와 같이, 가동부(2)는, 테이프 파지부(3)가 박리 테이프(5)의 일단을 파지하면서 박리 테이프(5)의 타단을 웨이퍼(6)에 부착된 시트(7)에 부착하고, 시트(7)가 꺾여 웨이퍼(6)로부터 박리되도록 박리 테이프(5)를 당기도록, 테이프 파지부(3)를 이동시킨다.
박리 테이프(5)가 시트(5)에 부착될 수 있는 부재로 이루어지는 한, 박리 테이프(5)는 특별히 제한되지 않음을 유의한다. 박리 테이프(5)는, 예를 들면 접착제 및 정전 인력(electrostatic attraction)과 같은 방법에 의해 시트(7)에 부착된다. 제 1 실시형태에 따른 박리 테이프(5)는 시트(7)에 부착되는 피부착면인 하면을 갖는다.
가동부(2)는 컨트롤러(4)에 의한 제어에 의거하여 동작된다. 가동부(2)로서 로봇 팔을 사용하는 것이 바람직할 수 있다. 그러나, 가동부(2)가 테이프 파지부(3)를 수직 방향, 횡 방향, 및 전후 방향으로 이동시킬 수 있고, 테이프 파지부(3)를 수직 방향 규정 축선, 횡 방향 규정 축선, 및 전후 방향 규정 축선을 중심으로 회전시킬 수 있는 한, 가동부(2)는 어떠한 구조여도 된다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 박리 테이프(5)의 타단을 웨이퍼(6)에 부착된 시트(7)에 부착하고 시트(7)가 꺾여 웨이퍼(6)로부터 박리되도록 박리 테이프(5)를 당기기 위해, 테이프 파지부(3)는 스트립 형상으로 절단된 박리 테이프(5)의 일단을 파지한다.
제 1 실시형태에 따른 테이프 파지부(3)는 제 1 파지부(8), 제 2 파지부(9), 및 베이스부(10)를 포함한다. 제 1 파지부(8) 및 제 2 파지부(9)는 박리 테이프(5)의 일단을 파지한다. 제 1 실시형태에 따른 제 1 파지부(8)는 수직 방향으로 가동되도록 베이스부(10)에 설치된다. 구체적으로, 제 1 파지부(8)는 베이스부(10)의 측부에서 수직 방향으로 이동한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 제 1 파지부(8)의 하면에 형성된 제 1 파지면(8a)은 횡 방향에서 만곡되고 하방으로 볼록하게 만곡된다. 예를 들면, 제 1 파지부(8)의 파지면(8a)은 원호 형상을 갖는다.
제 2 파지부(9)는 베이스부(10)에 설치된다. 구체적으로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제 2 파지부(9)는 베이스부(10)의 하부로부터 실질적으로 수평 방향으로 돌출되고, 그 돌출부는 수직 방향에서 제 1 파지부(8)와 겹쳐진다. 제 2 파지부(9)의 상면에 형성된 파지면(9a)은 제 1 파지부(8)의 파지면(8a)에 대응하는 형상으로 된다. 구체적으로, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제 2 파지부(9)의 파지면(9a)은 횡 방향에서 만곡되고, 하방으로 오목하게 만곡된다. 예를 들면, 제 2 파지부(9)의 파지면(9a)은 원호 형상을 갖는다.
따라서, 제 1 파지부(8)의 파지면(8a)은 상방으로 이동되고, 박리 테이프(5)의 일단이 제 1 파지부(8)의 파지면(8a)과 제 2 파지부(9)의 파지면(9a) 사이에 배치된다. 이어서, 제 1 파지부(8)의 파지면(8a)이 하방으로 이동되고 제 1 파지부(8)의 파지면(8a) 및 제 2 파지부(9)의 파지면(9a)은 박리 테이프(5)의 일단을 파지한다. 이어서, 도 2에 나타낸 바와 같이, 박리 테이프(5)는 횡 방향(횡 방향)의 단면이 하방으로 볼록하게 만곡되도록 형성된다. 따라서, 박리 테이프(5)의 수직 방향의 강성이 향상되어, 박리 테이프(5)의 타단이 아래로 내려뜨려지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 박리 테이프(5)의 타단의 위치를 제어하기 용이해져 박리 테이프(5)의 타단을 시트(7)에 적절히 부착할 수 있다.
또한, 테이프 파지부(3)가 박리 테이프(5)의 일단을 파지할 경우, 테이프 파지부(3)는 박리 테이프(5)의 횡 방향의 중앙부 근방의 에어리어를 실질적으로 수평되게 파지하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 제 1 파지부(8)의 파지면(8a) 및 제 2 파지부(9)의 파지면(9a)에서 수평면이 부분적으로 형성된다. 따라서, 제 1 파지부(8)의 파지면(8a) 및 제 2 파지부(9)의 파지면(9a)에 의해 박리 테이프(5)의 일단을 파지할 경우 수평부가 형성되어, 박리 테이프(5)의 타단을 시트(7)에 확실하게 부착할 수 있다.
컨트롤러(4)는, 테이프 파지부(3)가 박리 테이프(5)의 일단을 파지하면서 박리 테이프(5)의 타단을 웨이퍼(6)에 부착된 시트(7)에 부착하고, 시트(7)가 꺾여 웨이퍼(6)로부터 박리되게 박리 테이프(5)를 당기도록, 가동부(2) 및 테이프 파지부(3)를 제어한다.
이어서, 시트 박리 장치(1)를 이용하여 웨이퍼(6)로부터 시트(7)를 박리하는 공정을 설명한다. 도 6a 내지 도 6e에 나타낸 바와 같이, 우선, 시트(7)가 부착된 면을 갖는 웨이퍼(6)를 소정의 스테이지(11) 상에 위치시킨다(도 6a). 스테이지(11)는 흡입 디바이스(도시 생략)를 포함하며, 흡입 디바이스는 웨이퍼(6)를 하방으로 흡입해서 위치를 고정한다. 이 때, 컨트롤러(4)는 센서 등에 의해, 시트(7)가 부착된 웨이퍼(6)가 스테이지(11) 상에 위치됨을 검출하고, 흡입 디바이스를 제어한다.
이어서, 시트(7)가 부착된 웨이퍼(6)가 스테이지(11) 상에 위치됨을 검출할 경우, 컨트롤러(4)는 박리 테이프의 공급 디바이스(12)를 제어해서 스트라이프 형상의 박리 테이프(5)를 공급한다(도 6b). 공급 디바이스(12)는 컨트롤러(4)에 의한 제어에 의거하여 롤 형상으로 연속적으로 감긴 박리 테이프의 소정의 길이를 공급 및 절단해서 배출 개구로부터 절단되는 박리 테이프(5)의 일단을 배출한다.
이어서, 컨트롤러(4)는, 테이프 파지부(3)가 제 1 파지부(8) 및 제 2 파지부(9)로 박리 테이프(5)의 일단을 파지하도록, 가동부(2) 및 테이프 파지부(3)를 제어한다(도 6c). 이어서, 컨트롤러(4)는, 가동부(2)가 박리 테이프(5)의 타단을 웨이퍼(6)에 부착된 시트(7)에 부착하도록 제어한다(도 6d). 이 때, 박리 테이프(5)의 타단은 실질적으로 웨이퍼(6)의 직경의 단부에 부착되는 것이 바람직하다.
이어서, 컨트롤러(4)는 가동부(2)를 제어한다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 테이프 파지부(3)에 의해 박리 테이프(5)를 화살표 A 방향으로 당김으로써, 시트(7)가 꺾여 웨이퍼(6)로부터 박리된다(도 6e). 이 때, 가동부(2)는 실질적으로 상술한 웨이퍼(6)의 직경의 일단으로부터 웨이퍼(6)의 직경의 타단을 넘은 위치로 이동하는 것이 바람직하다. 그러나, 시트(7)가 웨이퍼(6)로부터 적절히 박리될 수 있는 한, 박리 테이프(5)가 부착되는 위치 및 테이프 파지부(3)의 이동 경로는 특별히 제한되지 않는다.
그 후, 도시하지는 않았지만, 컨트롤러(4)는 소정의 위치에 시트(7)가 부착된 박리 테이프(5)를 폐기하도록 가동부(2) 및 테이프 파지부(3)를 제어한다. 테이프 파지부(3)에 의해 박리 테이프(5)가 폐기되는 것을 테이프 파지부(3)에 설치된 접촉 센서(13)(도 2) 등에 의해 검출하는 것이 바람직하다. 그러나, 박리 테이프(5)가 테이프 파지부(3)로부터 폐기되는 것을 검출할 수 있는 한, 그 방법은 특별히 제한되지 않는다.
상술한 테이프 파지 기구, 시트 박리 장치, 및 시트 박리 방법은, 박리 테이프(5)의 일단이 제 1 파지부(8)의 파지면(8a)과 제 2 파지부(9)의 파지면(9a) 사이에 파지될 경우, 횡 방향(횡 방향)의 박리 테이프(5)의 단면을 만곡된 형상으로 형성할 수 있다. 따라서, 박리 테이프(5)의 수직 방향의 강성을 향상시켜서, 박리 테이프(5)의 타단이 하방으로 내려뜨려지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 박리 테이프(5)의 타단의 위치를 제어하기 용이해져, 박리 테이프(5)의 타단을 시트(7)에 적절히 부착할 수 있다.
<제 2 실시형태>
제 2 실시형태에 따른 테이프 파지부는, 시트가 웨이퍼로부터 박리된 후 박리 테이프가 테이프 파지부로부터 적절히 박리될 수 있는 구조를 갖는다. 제 2 실시형태에 따른 테이프 파지부의 다른 구조는 제 1 실시형태에 따른 테이프 파지부와 마찬가지이므로, 중복되는 설명을 생략하고 동일 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 부여한다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 박리 테이프(5)가 테이프 파지부(3)에 의해 파지되고 시트(7)가 꺾일 경우, 박리 테이프(5)가 부착된 면은 테이프 파지부(3)의 제 2 파지부(9)와 접촉한다. 따라서, 제 1 파지부(8) 및 제 2 파지부(9)의 파지 상태가 해제될 경우에도, 즉 시트(7)가 부착된 박리 테이프(5)를 폐기하기 위해 제 1 파지부(8)의 파지면(8a) 및 제 2 파지부(9)의 파지면(9a)이 떨어지더라도, 박리 테이프(5)는 제 2 파지부(9)에 부착되어 박리 테이프(5)의 적절한 폐기가 불가능하다.
도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 제 2 실시형태에 따른 제 2 파지부(20)는 박리부(21)를 포함한다. 박리부(21)는, 예를 들면 에어에 의해 박리 테이프(5)를 제 2 파지부(20)로부터 박리한다. 구체적으로, 박리부(21)는 박리 테이프(5)와 접촉하는 제 2 파지부(20)의 에어리어에 형성된 에어 분출구(21a)로부터 에어를 분사한다. 박리부(21)는 컨트롤러(4)에 의해 제어되며, 시트(7)가 부착된 박리 테이프(5)를 폐기할 때 동작한다.
따라서, 시트(7)가 부착된 박리 테이프(5)의 폐기 시, 박리 테이프(5)를 제 2 파지부(20)로부터 확실히 박리시킬 수 있어, 작업성 향상에 기여한다.
<제 3 실시형태>
제 3 실시형태에 따른 테이프 파지부는, 또한 웨이퍼로부터 시트의 박리 후 박리 테이프가 테이프 파지부로부터 적절히 박리될 수 있는 구조를 갖는다. 제 3 실시형태에 따른 테이프 파지부의 다른 구조는 제 1 실시형태에 따른 테이프 파지부와 마찬가지이므로, 중복되는 설명을 생략하고 동일 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 부여한다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 박리 테이프(5)가 테이프 파지부(3)에 의해 파지되고 시트(7)가 꺾일 경우, 박리 테이프(5)가 부착된 면은 테이프 파지부(3)의 제 2 파지부(9)와 접촉한다. 따라서, 시트(7)가 부착된 박리 테이프(5)를 폐기하기 위해 제 1 파지부(8) 및 제 2 파지부(9)의 파지 상태를 해제할 경우에도, 박리 테이프(5)가 제 2 파지부(9)에 부착되어 박리 테이프(5)의 적절한 폐기가 불가능하다.
도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 제 3 실시형태에 따른 제 2 파지부(30)는 비점착부(31)(도 10 및 도 11의 음영 영역)를 포함한다. 예를 들면, 비점착부(31)에서, 박리 테이프(5)와 접촉하는 제 2 파지부(30)의 에어리어에 표면 처리를 행함으로써 박리 테이프(5)와 접촉하는 에어리어를 줄인다. 예를 들면, 비점착부(31)로서, 다수의 요철부를 엠보싱과 같이 박리 테이프(5)와 접촉하는 제 2 파지부(30)의 에어리어에 형성함으로써, 박리 테이프(5)와 접촉하는 에어리어를 최소화한다.
따라서, 시트(7)가 부착된 박리 테이프(5)의 폐기 시, 박리 테이프(5)를 제 2 파지부(30)로부터 확실히 박리시킬 수 있어, 작업성 향상에 기여한다.
요철면에 행해진 테플론(Teflon)(등록 상표) 등의 비점착 처리는 박리 테이프(5)에 보다 낮은 접착성을 제공한다.
<제 4 실시형태>
제 4 실시형태에 따른 시트 박리 장치는, 박리 테이프의 타단이 시트에 적절히 부착될 수 있는 구조를 갖는다. 제 4 실시형태에 따른 시트 박리 장치의 다른 구조는 제 1 실시형태에 따른 시트 박리 장치와 마찬가지이다. 따라서, 중복되는 설명을 생략하고, 동일 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 부여한다.
제 4 실시형태에 따른 시트 박리 장치는 도 12에 나타낸 바와 같이 가동부(2), 테이프 파지부(3), 및 컨트롤러(4) 이외에도 가압부(40)를 포함한다. 예를 들면, 가압부(40)는 박리 테이프(5)의 타단을 시트(7)에 가압하는 롤러(40a)를 포함한다.
도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 가압부(40)에서, 롤러(40a)는 수직 방향 및 전후 방향으로 가동되고, 전후 방향 규정 축선 및 횡 방향 규정 축선을 포함하는 평면에서 회전 가능한 것이 바람직하다.
가압부(40)는 컨트롤러(4)에 의해 제어된다. 구체적으로, 도 13에 나타낸 바와 같이, 가압부(40)가 박리 테이프(5)의 타단을 가압하지 않을 경우, 롤러(40a)는 전후 방향으로 배치되고, 박리 테이프(5)의 타단을 시트(7)에 부착하기 위해 테이프 파지부(3)가 소정의 위치에 배치될 경우, 롤러(40a)는 수평 방향으로 회전되고 횡 방향으로 배치된다. 롤러(40a)는 하방으로 이동되고, 이어서 박리 테이프(5)의 타단과의 접촉을 유지하면서 전방으로 이동된다. 따라서, 박리 테이프(5)의 타단이 롤러(40a)에 의해 시트(7)에 가압되어, 박리 테이프(5)의 타단이 시트(7)에 확실하게 부착될 수 있다.
그 후, 롤러(40a)가 후방으로 이동되고, 이어서 롤러(40a)가 박리 테이프(5)의 타단과 처음 접촉한 위치에서 상방으로 이동된다. 이어서, 롤러(40a)는 수평 방향으로 회전되며 전후 방향에 배치된다. 따라서, 롤러(40a)가 시트(7)로부터 배제됨으로써, 테이프 파지부(3)를 적절히 이동시킬 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태로 제한되는 것은 아니며, 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않고 적절히 변경될 수 있다.
상술한 제 1 내지 제 4 실시형태는 적절히 조합될 수 있다.
상술한 제 1 내지 제 4 실시형태에 따른 박리 테이프는 하방으로 볼록하게 만곡되지만, 상방으로 볼록하게 만곡될 수 있다. 요컨대, 박리 테이프의 타단이 아래로 내려뜨려지는 것을 방지할 수 있는 한, 만곡 형상은, 예를 들면 파도 형상, 예각, 또는 둔각일 수 있다.
상술한 제 1 내지 제 4 실시형태에서 웨이퍼에 부착된 시트가 박리되는 한, 시트가 부착되는 부재는 특별히 제한되지 않는다.
상술한 제 1 내지 제 4 실시형태에서 피부착 부재의 전면에 부착된 시트가 박리되는 동안, 피부착 부재의 이면에 부착된 시트가 박리될 경우 마찬가지인 동작이 행해질 수 있다.
상술한 제 1 내지 제 4 실시형태는, 피부착 부재에 부착된 시트로부터 필름 등이 박리될 경우에도 적용할 수 있다.
또한, 도 6e에 나타낸 바와 같이, 시트를 박리할 때, 테이프 파지부(3)를 이동시키는 대신 테이프 파지부(3)를 고정할 수 있다. 이 경우에, 스테이지(11)를 화살표 A의 반대 방향으로 이동시킴으로써, 시트(7)를 박리할 수 있다.
본 발명을 특별히 실시형태를 참조하여 도시 및 설명하였지만, 본 발명은 이들 실시형태로 제한되는 것은 아니다. 특허청구범위에서 규정된 본 발명의 사상 및 범주로부터 벗어나지 않고 형태 및 세부에서 다양한 변경이 이루어질 수 있음을 당업자는 이해할 것이다.
1 : 시트 박리 장치 2 : 가동부
3 : 테이프 파지부 4 : 컨트롤러
5 : 박리 테이프 7 : 시트
8 : 제 1 파지부 8a : 파지면
9 : 제 2 파지부 9a : 파지면
10 : 베이스부 11 : 스테이지
12 : 공급 디바이스

Claims (11)

  1. 절단된 박리 테이프의 일단을 파지하고, 상기 박리 테이프의 타단을 피부착 부재에 부착된 시트에 부착하고, 상기 시트가 꺾여 상기 피부착 부재로부터 박리되도록 상기 박리 테이프를 당길 경우에 사용되는 테이프 파지 기구로서,
    상기 박리 테이프의 일단으로부터 타단으로의 방향에 수직인 방향을 상기 박리 테이프의 횡 방향이라 할 경우, 상기 테이프 파지 기구는 상기 박리 테이프를 상기 횡 방향으로 구부려서 상기 박리 테이프를 파지하는 테이프 파지 기구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    제 1 파지 수단 및 제 2 파지 수단을 포함하고,
    상기 제 1 파지 수단의 파지면은 볼록부를 포함하고, 상기 제 2 파지 수단의 파지면은 상기 볼록부에 대응하는 오목부를 포함하는 테이프 파지 기구.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 파지 수단의 파지면 및 상기 제 2 파지 수단의 파지면에는, 수평면이 부분적으로 형성되는 테이프 파지 기구.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리 테이프와 접촉하는 에어리어에 박리 수단을 포함하고, 상기 박리 수단은 상기 에어리어로부터 상기 박리 테이프를 박리하는 테이프 파지 기구.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 박리 수단은 에어(air)에 의해 상기 박리 테이프를 박리하는 테이프 파지 기구.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리 테이프와 접촉하는 에어리어에는, 비점착 수단이 설치되는 테이프 파지 기구.
  7. 제 1 항에 기재된 테이프 파지 기구를 포함하는 시트 박리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 박리 테이프의 타단을 상기 시트에 가압하는 가압 수단을 포함하는 시트 박리 장치.
  9. 박리 테이프의 일단을 파지하는 단계,
    상기 박리 테이프의 타단을 피부착 부재에 부착된 시트에 부착하는 단계, 및
    상기 시트가 꺾여 상기 피부착 부재로부터 박리되도록 상기 박리 테이프를 당기는 단계를 포함하고,
    상기 박리 테이프의 일단으로부터 타단으로의 방향에 수직인 방향을 상기 박리 테이프의 횡 방향이라 할 경우, 상기 박리 테이프의 일단을 파지하는 단계에서 상기 박리 테이프를 상기 횡 방향으로 구부려서 파지하는 시트 박리 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 피부착 부재로부터 상기 시트를 박리한 후, 상기 박리 테이프와 상기 박리 테이프의 일단을 파지하는 테이프 파지 수단과의 사이의 접촉 상태를 에어에 의해 해제하는 단계를 포함하는 시트 박리 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 박리 테이프를 상기 시트에 부착하는 단계에서, 가압 수단에 의해 상기 박리 테이프의 타단을 상기 시트에 가압하는 시트 박리 방법.
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