KR20130108530A - 구리에칭폐액의 처리방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 고농도로 과산화수소를 함유하는 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해 처리하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여 과산화수소를 함유한 구리에칭폐액을 pH4이상으로 조정하는 구리에칭폐액의 처리방법에 관한 것이다. 통상 pH3이하의 강산성액인 구리예칭폐액의 pH를 4 이상으로 조정하면, 구리를 함유하는 SS가 발생하고, 발생된 SS가 과산화수소의 분해촉매로서 기능하게 되기 때문에, 구리에칭폐액을 pH4이상으로 조정하는 것만으로, 희석이나 가열을 필요로 하지 않고, 또, pH 조정을 위한 알칼리제 이외의 약품을 필요로 하지 않고, 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해할 수 있다.

Description

구리에칭폐액의 처리방법{METHOD OF TREATING COPPER ETCHING WASTE LIQUOR}
본 발명은, 액정제조공정 등으로부터 배출되는 과산화수소를 함유하는 구리에칭폐액의 처리방법에 관한 것이다.
액정제조공정에 있어서의 구리 에칭 처리에는, 고농도의 과산화수소를 포함한 약제가 사용된다. 이 때문에, 구리 에칭 공정으로부터 배출되는 구리에칭폐액에는 고농도의 과산화수소가 함유되어 있으며, 그 과산화수소 농도는 통상 1중량% 이상이며, 6중량% 정도인 경우도 있다.
종래, 과산화수소 농도가 높은 구리에칭폐액은, 수처리가 곤란하기 때문에, 희석하여 산업폐기물로서 처리되고 있었지만, 과산화수소 농도가 높으면, 산업폐기 처리시에 폭발 위험성이 있어서, 폐수처리에 제공될 경우에도 과산화수소를 처리해 둘 필요가 있다.
과산화수소의 처리방법으로서는, 일반적으로, 활성탄, 카타라제, 망간 촉매 등이 사용되고 있지만, 과산화수소 농도 1000mg/L를 넘을 경우에는, 촉매성능의 저하 또는 촉매사용량 증대 등의 과제가 있다. 이 때문에, 과산화수소 농도 1중량% 이상의 구리에칭폐액에 대해서, 이러한 처리방법을 적용하는 것은 실용상 문제가 있었다.
종래, 고농도로 과산화수소를 함유하는 구리에칭폐액에 포함되는 과산화수소의 처리방법으로서는, 구리에칭폐액을 6O~80℃로 가열하고, 동 온도 범위로 0.5~10시간 유지하는 방법이 제안되어 있다(특허 문헌 1).
그러나, 이 방법에서는, 과산화수소의 분해에 가열을 위한 열에너지를 필요로 할 뿐만 아니라, 분해에 필요한 시간이 길다고 하는 결점이 있다. 실제, 특허 문헌 1의 실시예에서는, 구리에칭폐액을 80℃로 가열한 후 7시간 유지하여 과산화수소를 분해하고 있다.
또, 고농도 과산화수소 함유액을 처리하기에 앞서, 처리수 등으로 희석하여 과산화수소 농도를 저감해서 통상의 방법에 따라 처리하는 방법도 있지만, 이 방법에서는 희석수를 필요로 하고, 또, 희석에 의해 공연히 처리액의 양이 증가하여 반응조 등이 대형화된다는 문제가 있다.
특허 문헌 1:일본국 특개2004-238683호 공보
본 발명은, 고농도로 과산화수소를 함유하는 구리에칭폐액이라도, 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해 처리하는 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명자는 상기 과제를 해결하기 위하여 예의검토를 거듭한 결과, 통상 pH3이하의 강산성액인 구리에칭폐액의 pH를 4이상으로 조정한 바, 구리를 함유하는 SS가 발생하고, 발생된 SS가 과산화수소의 분해촉매로서 기능하는 것, 따라서, 구리에칭폐액을 pH4 이상으로 조정하는 것만으로, 희석이나 가열을 필요로 하지 않고, 또, pH 조정을 위한 알칼리제 이외의 약품을 필요로 하는 일 없이, 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해할 수 있음을 발견했다.
본 발명은, 이러한 지견에 따라 달성된 것이며, 이하를 요지로 한다.
제 1 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액을 pH 4 이상으로 조정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
제 2 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 1 상태에 있어서, 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액을 pH4 이상으로 조정하는 것에 의해, 발생한 SS를 고액분리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
제 3 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 2 상태에 있어서, 고액분리된 상기 SS의 일부 또는 전부를 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 첨가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
제 4 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 2 또는 제 3 상태에 있어서, 고액분리된 상기 SS를 회수하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
제 5 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 1 내지 제 4 상태의 어느 하나에 있어서, 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액의 처리로 얻은 처리수를 희석수로서 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 첨가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
제 6 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 1 내지 제 5 상태의 어느 하나에 있어서, 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액의 과산화수소 농도가 1중량% 이상이며, pH가 3 이하인 것을 특징으로 한다.
제 7 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 6 상태에 있어서, 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액의 과산화수소 농도가 1~10중량%이고, pH가 1~3이며, 과산화수소 이외의 성분의 함유량이, 구리 O.1~1.0중량%, 전질소 O.3~2.0중량%, TOC O.5~3.0중량%인 것을 특징으로 한다.
제 8 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 1 내지 제 7 상태의 어느 하나에 있어서, 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 알칼리제를 첨가하여 pH6~9로 조정하는 것을 특징으로 한다.
제 9 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 2 내지 제 8 상태의 어느 하나에 있어서, 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액을 pH4 이상으로 조정하여 0.25~2.0시간 반응시킨 후, 발생한 SS를 고액분리하는 것을 특징으로 한다.
제 10 상태의 구리에칭폐액의 처리방법은, 제 5 내지 제 9 상태의 어느 하나에 있어서, 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 상기 희석수를 첨가함으로써, 액체의 온도를 40~70℃로 유지하는 것을 특징으로 한다.
제 11 상태의 구리에칭폐액의 처리장치는, 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액이 도입되는 pH조정조와, pH조정조에 알칼리제를 첨가하는 알칼리제첨가수단과, pH조정조 내의 pH를 측정하는 pH계와, pH계의 측정치에 따라 알칼리제첨가 수단을 제어하는 제어수단과, pH조정조의 유출액이 도입되는 반응조와, 반응조의 유출액이 도입되는 고액분리수단과, 고액분리수단으로 분리된 진흙의 일부를 pH조정조에 반송하는 수단과, 분리 진흙의 잔여부가 도입되는 탈수수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
제 12 상태의 구리에칭폐액의 처리장치는, 제 11 상태에 있어서, 상기 고액분리수단으로 분리된 처리수의 일부를 상기 pH조정조에 첨가하는 수단을 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 알칼리제를 첨가하여 pH4 이상으로 조정하는 것만으로, 가열을 위한 에너지나 희석, 알칼리제 이외의 약품의 첨가 등을 필요로 하지 않고, 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해 제거할 수 있다.
즉, 구리에칭폐액을 pH4 이상으로 조정하면, 구리를 포함한 SS가 발생한다. 그럼으로써, 이 SS 중에 포함되는 구리가, 과산화수소의 분해 촉매로서 기능한다. 이 때문에, 본 발명에 의하면, 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 알칼리제를 첨가하여 pH4 이상으로 조정하는 것만으로, 가열을 위한 에너지나 희석, 알칼리제 이외의 약품의 첨가 등을 필요로 하지 않고, 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해 제거할 수 있다.
본 발명에 있어서는, 발생한 SS를 고액분리하여 구리에칭폐액에 첨가해도 된다. 또, 이 SS는 구리를 주성분으로 하는 것이므로, 고액분리한 SS를 구리 원료로서 회수하여, SS로부터 분리 회수한 구리를 재이용해도 된다.
본 발명으로 처리하는 구리에칭폐액은 통상 1중량% 이상의 고농도의 과산화수소를 함유하고, pH3이하의 강산성 폐액이다.
도 1은 본 발명의 구리에칭폐액의 처리방법의 실시형태의 일례를 나타내는 계통도이다;
도 2는 본 발명의 구리에칭폐액의 처리방법의 실시형태의 다른 예를 나타내는 계통도이다;
도 3은 본 발명의 구리에칭폐액의 처리방법의 실시형태의 다른 예를 나타내는 계통도이다;
이하에 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다.
본 발명에서 처리 대상으로 하는 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액이란, 과산화수소를 포함한 약제를 이용한 구리 에칭 공정으로부터 배출되는 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액이며, 통상, 그 과산화수소 농도는 O.1~10중량% 정도이지만, 본 발명은 특히 통상 방법에 따르는 과산화수소의 분해가 곤란한 과산화수소 농도 1중량% 이상, 예를 들면 1~10중량% 정도의 구리에칭폐액에 유효하다.
또, 이러한 구리에칭폐액의 pH는, 통상 3 이하, 예를 들면 1~3 정도이며, 과산화수소 이외의 성분의 함유량으로서는, 통상, 이하와 같다.
구리 함유량: O.1~1.0중량%
전질소: O.3~2.0중량%
TOC: O.5~3.0중량%
본 발명에 있어서는, 이러한 과산화수소 함유 구리에칭폐액에 알칼리제를 첨가하여 pH4 이상, 바람직하게는 6 이상, 보다 바람직하게는 7~9로 조정한다. 조정 pH값이 4 이상임으로써, 과산화수소를 효율적으로 분해 제거할 수 있다. 과산화수소의 분해효율 면에서는, 조정 pH값은 높은 것이 바람직하지만, 알칼리제 사용량의 저감, 작업환경의 안전성 면에서, 조정 pH값은 상기 상한 이하인 것이 바람직하다.
구리에칭폐액의 pH조정에 이용하는 알칼리제로서는 특별한 제한은 없으며, 수산화나트륨, 수산화칼륨 등 범용의 알칼리제의 1종 또는 2종 이상을 이용할 수 있다.
구리에칭폐액을 pH조정한 후의 반응시간으로서는, 구리에칭폐액 중의 과산화수소가 충분히 분해 제거되는 시간이면 되고, 특별한 제한은 없지만, 본 발명의 방법에 의하면, pH조정으로 발생하는 SS 중의 구리를 촉매로 하여 액 중에서의 과산화수소는 단시간에 효율적으로 분해 제거되기 때문에, 그 반응 시간(후술하는 도 1에 나타내는 배치식에서는, 반응조 유지시간, 도 2, 3에 나타내는 연속식에서는 반응조 체류시간)은, 0.25~2.0시간, 특히 0.5~2.0시간의 단시간이면 된다.
본 발명에 있어서는, 구리에칭폐액의 pH를 4 이상으로 조정하는 것만으로 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해 제거할 수 있으며, 가열, 희석이나, 알칼리제 이외의 다른 약품은 불필요하지만, 과산화수소의 분해반응은 발열반응이기 때문에, 반응설비의 내열성 재료 등의 설계 면에서, 피처리수인 구리에칭폐액을, 그 처리로 얻을 수 있는 처리수 등으로 희석하여 처리하도록 해도 된다.
즉, 과산화수소의 분해 반응식은
H202→H20+1/202
로 나타내며, 분해의 반응열은 23.45kcal/mol이다. 따라서, 예를 들면, 6중량% 과산화수소용액 중의 과산화수소를 모두 분해할 경우에는, △t=41℃의 액체온도 상승이 있으며, 3중량%의 과산화수소 용액 중의 과산화수소를 모두 분해할 경우에는, △t=21℃의 액체온도 상승이 있다. 따라서, 실용에 있어서는, 처리수 등으로 pH조정에 제공하는 구리에칭폐액을 희석하여, 반응액의 온도를 40~70℃의 범위로 유지하도록 하는 것이 바람직하다.
또, 구리에칭폐액의 pH조정으로 발생하는 SS는, 통상 구리 함유량 40~80중량% 정도의 구리를 주체로 하는 SS이기 때문에, 이것을 고액분리하여 회수하고, 구리원료로서 구리의 회수처리에 제공해도 된다. 또, 이 SS 중의 구리는, 과산화수소의 분해촉매로서 기능하기 때문에, 고액분리한 SS를 pH조정에 제공하는 구리에칭폐액에 첨가해도 되고, 이와 같이 함으로써, 구리에칭폐액 중의 구리촉매량을 증가시켜 과산화수소의 분해효율을 높일 수 있다. 고액분리된 SS의 구리에칭폐액으로의 첨가는, 구리 농도가 낮은 구리에칭폐액의 처리에 특히 유효하다.
이하에 도면을 참조하여 본 발명의 구리에칭폐액의 처리방법의 실시형태를 보다 구체적으로 설명한다.
도 1은, 배치식에서의 처리방법을 나타내며, 반응조(1) 내에 투입한 구리에칭폐액(2)에 알칼리제를 첨가하여 교반조(3)으로 교반한다. 이때, pH계(4)에 의해 반응조(1) 내의 액 pH를 측정하여, pH값이 소정의 pH값으로 되면 알칼리제의 첨가를 정지하고, 또한 소정 시간 교반하여 반응을 종료한다. 반응 후, 반응조(1) 내에는 SS가 발생하고 있기 때문에, 이것을 고액분리하여 처리수를 얻음과 동시에, 분리한 SS를 구리에칭폐액의 처리에 이용하거나 혹은 구리원료로서 회수한다.
도 2는, 연속식에서의 처리방법을 나타내며, 반응조(1)에 구리에칭폐액을 소정의 유량으로 연속적으로 통액함과 동시에, 교반하에, 알칼리제를 소정의 유량으로 첨가한다. 알칼리제는, pH계(4)와 연동하는 약주펌프(5)에 의해, 반응조(1) 내의 액 pH가 소정의 pH값으로 되도록 첨가된다. 구리에칭폐액은 알칼리제가 첨가되어 반응조(1) 내에서 소정의 체류시간 유지된다. 반응에 의해 과산화수소가 분해 제거된 처리수는, 반응조(1)로부터 인출되어 다음 공정으로 송급되며, SS의 고액분리, 분리한 SS의 회수 등을 행한다.
도 3은, 공업적인 연속 처리의 일례를 나타내며, 구리에칭폐액은 맨 먼저 pH조정조(11)에 도입되고, 알칼리제가 첨가되어 pH 조정된다. 알칼리제는, 도 2에 있어서와 같이 도시하지 않은 pH계에 연동하는 약주펌프로 첨가량이 제어된다. pH조정조(11)의 유출액은 이어 반응조(12)로 송급되며, 반응조(12) 내에서 소정 시간 반응이 행해지고, 반응액은 뒤이어 침전조(13)에 송급되어 고액분리된다. 침전조(13)에서 고액분리된 분리수는 처리수로서 인출되어, 다시 배수 처리 또는 산업폐기 처리에 제공된다. 한편, 분리 진흙은 일부가 반송 진흙으로서 pH조정조(1)에 반송되고, 잔여부는 탈수기(14)로 탈수처리된 후 회수된다. 또한, 침전조(13)에서 분리된 처리수는, 그 일부를 pH 조정조(11)에 반송하여 구리에칭폐액을 희석하도록 해도 된다.
실시예
이하에 실험예 및 실시예를 든다.
<실험예 1>
아래와 같은 조성의 구리에칭폐액(pH2.2)을 pH 조정하지 않고, 그대로 방치하여, 구리에칭폐액 중의 과산화수소 농도의 경시변화를 조사했는데, 1일 경과 후의 구리에칭폐액의 과산화수소 농도는 2.9중량%이며, 과산화수소 농도는 대부분 저하하지 않았다. 즉, 그대로는 구리에칭폐액 중의 과산화수소는 분해되지 않는 것임을 알 수 있다.
(구리에칭폐액 조성)
과산화수소 : 3중량%
구리 : O.4중량%
전질소 : O.8중량%
TOC : 1.1중량%
<실시예 1>
비교예 1에 있어서와 같은 조성의 구리에칭폐액에 수산화나트륨을 첨가하여, pH4~10으로 조정하고, 1시간 경과 후의 구리에칭폐액의 과산화수소 농도를 측정했다. 결과를 표 1에 나타낸다.
pH(-) 4 6 8 9 10
H202(mg/L) 1350 〈1 〈1 〈1 〈1
표 1로부터, 구리에칭폐액의 pH를 4 이상, 특히 6 이상으로 조정함으로써, 1 시간이라고 하는 단시간에 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해 제거할 수 있음을 알 수 있다.
<실시예 2>
과산화수소 농도 6중량%, 구리 농도 O.7중량%의 구리에칭폐액(pH2.2, 그 외의 성분은 실험예 1에 있어서의 구리에칭폐액과 동일)에 대하여, 실시예 1과 같이 pH를 조정하고, 조정 pH값과 1시간 경과 후의 구리에칭폐액의 과산화수소 농도와의 관계를 조사했다. 결과를 표 2에 나타낸다. 표 2에는 1 시간 후의 구리에칭폐액의 액체의 온도의 상승온도(△t)를 병기했다.
pH(-) 4 6 8 9 10
H202(mg/L) 42200 840 2 1 1
상승온도△t(℃) 10 28 33 35 37
표 2로부터, 구리에칭폐액의 pH를 4 이상, 특히 6 이상으로 조정함으로써, 1 시간이라고 하는 단시간에 구리에칭폐액 중의 과산화수소를 효율적으로 분해 제거할 수 있는 것, 또, 과산화수소의 분해는 발열반응이기 때문에, 분해한 과산화수소량에 따라 액체의 온도가 상승하는 것을 알 수 있다.
<실시예 3, 4>
실시예 2에서 처리한 구리에칭폐액과 같은 조성의 구리에칭폐액을 원액으로서, 도 2에 도시하는 반응조를 이용하여, 연속식으로 처리를 실시했다. 반응조(1)에는 미리 처리수를 가득 채우고, 원액을 소정의 유량으로 흐르게 하였다. 반응조(1)에는 알칼리제로서 수산화나트륨을 첨가하여, 조(槽) 안의 액 pH를 7(실시예 3) 또는 8(실시예 4)로 조정했다. 반응조(1)의 용적은 1시간 당의 원액 통액량의 2배로 하고, 반응조(1)에서의 원액의 체류시간은 2시간으로 했다. 이때의 통액시간과 얻은 처리수의 과산화수소 농도와의 관계를 표 3에 나타낸다.
통액시간(hr) 1 2 3 4 5 6
실시예 3(pH7) H202
(mg/L)		 720 270 290 210 210 210
실시예 4(pH8) 〈1 〈1 〈1 〈1 〈1 〈1
표 3으로부터, 본 발명에 의하면, 연속 처리에 있어서도, 체류 시간 2시간이라고 하는 단시간에, 과산화수소를 효율적으로 분해 제거할 수 있음을 알 수 있다. 또한, pH7로 조정한 실시예 3에 있어서, 통액시간 1~4시간에서 점차 처리수의 과산화수소 농도가 저감된 것은, 반응조의 온도가 상승했기 때문에, 반응속도가 커져 분해 효율이 향상한 것에 의한다.
〈실험예 2>
실시예 4 (pH8)의 처리로 발생한 SS를 고액분리하여, 105℃에서 2시간 건조 후, 산에 용해시켜 분석한 결과, 이 SS의 구리(Cu0) 함유량은 45중량% 이상인 것이 확인되었다.
이 SS를 이용하여 이하의 과산화수소 분해처리를 실시했다.
시약 과산화수소를 이용하여 과산화수소 농도 3중량%의 수용액(pH2.2)을 조제하고, 이 과산화수소 수용액을 시험액으로서 SS를 1중량% 첨가한 것과, SS 미첨가한 것에 대해서, 각각 수산화나트륨을 첨가하여 pH8로 조정하고, 1시간 경과 후의 액 중의 과산화수소 농도를 측정했다. 결과를 표 4에 나타낸다.
SS 첨가의 유무 H202(mg/L)
SS 미첨가 30000
SS 첨가 11
표4로부터, 구리에칭폐액의 처리로 발생한 SS 중의 구리가 과산화수소의 분해 촉매로서 기능하고, 이로써, 과산화수소가 효율적으로 분해 제거되는 것이 확인되었다.
1 : 반응조 2 :구리에칭폐액
3 : 교반기 4 : pH계
5 : 약주펌프 11 : pH조정조
12 : 반응조 13 : 침전조
14 : 탈수기
본 발명을 특정의 상태를 사용해서 상세히 설명했지만, 본 발명의 의도와 범위를 벗어나지 않고 여러가지 변경이 가능한 것임은 당업자에게는 명확하다.
또한, 본 출원은, 2010년 9월 8일자로 출원된 일본 특허출원(특원 2010-201158)에 의거하고 있으며, 그 전체가 인용에 의해 원용된다.

Claims (12)

  1. 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액을 pH4이상으로 조정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액을 pH4이상으로 조정함으로써 발생한 SS를 고액분리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  3. 제 2항에 있어서,
    고액분리된 상기 SS의 일부 또는 전부를 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 첨가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    고액분리된 상기 SS를 회수하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  5. 청구항 1 내지 4의 어느 한 항에 있어서,
    상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액의 처리로 얻은 처리수를 희석수로서 상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 첨가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액의 과산화수소 농도가 1중량% 이상이며, pH가 3 이하인 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액의 과산화수소 농도가 1~10중량%이고, pH가 1~3이며, 과산화수소 이외의 성분의 함유량이, 구리 0.1~1.0중량%, 전질소 O.3~2.0중량%, TOC O.5~3.0중량%인 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 알칼리제를 첨가하여 pH6~9로 조정하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  9. 제 2항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액을 pH4이상으로 조정하여 0.25~2.0시간 반응시킨 후, 발생한 SS를 고액분리하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  10. 제 5항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액에 상기 희석수를 첨가하는 것으로서, 액체의 온도를 40~70℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리방법.
  11. 과산화수소를 포함한 구리에칭폐액이 도입되는 pH조정조와, pH조정조에 알칼리제를 첨가하는 알칼리제 첨가수단과, pH조정조 내의 pH를 측정하는 pH계와, pH계의 측정치에 따라 알칼리제 첨가수단을 제어하는 제어수단과, pH조정조의 유출액이 도입되는 반응조와, 반응조의 유출액이 도입되는 고액분리수단과, 고액분리수단으로 분리된 진흙의 일부를 pH조정조에 반송하는 수단과, 분리 진흙의 잔여부가 도입되는 탈수 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 고액분리수단으로 분리된 처리수의 일부를 상기 pH조정조에 첨가하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 구리에칭폐액의 처리장치.
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