KR20130068665A - 슬릿 코터 장치 및 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 슬릿 코터 장치 및 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법에 관한 것으로, 약액을 도포하는 슬릿 노즐과; 상기 슬릿 노즐과 제1통로로 연결되어, 상기 제1통로를 통해 약액을 상기 슬릿 노즐에 공급하는 약액 공급 펌프와; 상기 제1통로에 형성되어 상기 제1통로와 분기되는 제2통로와의 연결부에 위치하여, 상기 슬릿 노즐과 상기 약액 공급 펌프를 연통시키는 제1위치와, 상기 슬릿 노즐과 상기 제2통로를 연통시키는 제2위치로 조작 가능한 연결 밸브와; 용매와 고압 공기가 혼합된 고압의 용매 혼합 가스를 상기 제2통로에 공급하는 용매가스 공급부를; 포함하여 구성되어, 상기 연결 밸브가 상기 제1위치와 상기 제2위치 중 어느 하나에 위치하여 상기 약액 공급 펌프로부터 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하거나 상기 용매가스 공급부로부터 상기 노즐에 고압의 용매 혼합 가스가 공급함으로써, 일정 시간 동안 사용된 슬릿 노즐의 내부에 부착된 약액 슬러지 등의 고형물을 제거하는 공정을 자동화하여 약액 슬러지의 제거 공정에 소요되는 시간을 단축하여 공정의 효율성을 향상시키고, 작업자의 수동 작업을 배제하고 자동으로 약액 슬러지를 제거함에 따라, 작업자의 건강을 해치지 않게 되고, 노즐 내벽을 긁어 손상시킬 가능성을 근본적으로 제할 수 있는 슬릿 코터 장치 및 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법을 제공한다.

Description

슬릿 코터 장치 및 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법 {SLIT COATER APPARATUS AND METHOD OF REMOVING PR SLURRIES ON INSIDE WALL OF SLIT NOZZLE THEREOF}

본 발명은 슬릿 코터 장치 및 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 일정 시간 동안 사용된 슬릿 노즐의 내부에 부착된 약액 슬러지 등의 고형물을 제거하는 공정을 자동화하여 보다 짧은 시간 내에 이루어지도록 하여 공정의 효율을 개선하고, 인체에 유해한 약액으로부터 작업자를 격리시킨 상태로 공정이 이루어짐에 따라 작업자의 안전을 담보할 수 있는 릿 코터 장치 및 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법에 관한 것이다.

LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.

그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.

도1 내지 도3은 일반적인 슬릿 코터 장치(1)의 구성 및 작용을 도시한 것이다. 도1에 도시된 바와 같이, 기판척(10)에 피처리 기판(G)을 고정시킨 상태로, 슬릿 노즐(20)이 도1의 화살표로 표시된 방향(20d)으로 이동하면서 피처리 기판(G)의 표면에 약액(55)을 도포한다. 슬릿 노즐(20)에도 토출되는 약액은 외부로부터 공급관(31)을 통해 펌프(30)에 모여졌다가 도면부호 20d로 표시된 방향으로 슬릿 노즐(20)이 이동하면서 기판(G)에 도포된다.

슬릿 노즐(20)을 이용한 코팅 방법은 한꺼번에 피처리 기판의 전체 폭에 걸쳐 약액을 도포할 수 있으며, 전체적으로 균일한 두께로 약액을 도포할 수 있는 장점이 있다. 그러나, 슬릿 노즐(20)을 이용하여 피처리 기판(G)의 표면에 균일한 두께로 코팅하기 위해서는, 슬릿 노즐(20)과 피처리 기판(G)과의 사이 간극이 슬릿을 따라 일정해야 할 뿐만 아니라, 슬릿 노즐(20)의 토출구(21)로부터 약액이 균일하게 분사되어야 한다.

한편, 피처리 기판(G)의 표면에 약액(55)을 도포하는 슬릿 노즐(20)은 현장의 생산 라인이 야간에 오랜시간동안 중단되기도 하고, 슬릿 코터 장치(1)에 슬릿 노즐(20)이 2개 구비되어 이 중 하나의 슬릿 노즐(20)로 기판 도포 공정을 행하고 다른 하나의 슬릿 노즐(20)은 교체될 때까지 장시간 동안 대기하기도 한다. 이와 같이 장시간동안 슬릿 노즐(20)의 사용을 중단할 경우에는 토출구(21) 주변에서 약액(55)이 응고되는 것을 방지하기 위하여 시너(thinner)에 토출구(21)를 담가둔다.

이와 같이, 장시간 동안 사용하지 않는 슬릿 노즐(20)의 토출구를 시너에 담가두면, 토출구(21) 주변의 약액이 응고되는 것을 어느정도 방지할 수 있지만, 이를 완전히 방지할 수 있지 못하다. 따라서, 이와 같은 슬릿 노즐(20)에 의하여 토출되는 약액은 전체 슬릿에 걸쳐 균일하게 도포되지 않는 문제점이 야기되었다.

이로 인하여, 도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 대략 수시간동안 피처리 기판(G)의 표면에 포토레지스트 등의 약액(55)을 도포하고 나면, 얇은 판 형상의 쉼(shim, 50)을 작업자가 노즐(20)의 토출구(21)로 삽입(50u)하여 슬릿의 방향(50d)을 따라 이동하는 것에 의해, 슬릿 노즐(20)의 토출구(21) 내측에 응고된 약액 슬러지(44)를 제거하는 공정을 거쳐야 했다.

그러나, 이와 같이 쉼(50)을 슬릿 노즐(20)의 토출구(21)에 삽입하여 슬릿 노즐(20)의 토출구(21) 내부의 약액 슬러지(44)를 제거하는 공정은 대략 20분/회 정도가 소요되므로, 피처리 기판(G)의 표면에 약액을 도포하는 공정을 지연시켜 생산성이 저하되는 문제가 야기되었다.

이 뿐만 아니라, 작업자가 직접 쉼(50)을 토출구(21)의 내부에 삽입시킨 상태로, 슬릿 노즐(20)의 슬릿 방향(50d)을 따라 금속 재질의 쉼(50)을 이동시키는 동안에 슬릿 노즐(20)의 토출구가 손상될 위험이 상존하였으며, 인체에 유해한 약액에 작업자가 노출됨에 따라 작업자의 건강에 악영향을 미치는 문제점도 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 일정 시간 동안 사용된 슬릿 노즐의 내부에 부착된 약액 슬러지 등의 고형물을 제거하는 공정을 자동화하여 약액 슬러지의 제거 공정에 소요되는 시간을 단축하여 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 슬릿 코터 장치 및 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 슬릿 노즐의 토출구의 내벽에 고착된 약액 슬러지를 제거하는 데 있어서, 작업자의 수동 작업을 배제하고 자동으로 약액 슬러지를 제거함에 따라, 작업자의 건강을 해치지 않게 되고, 금속 재질의 쉼(shim)을 노즐의 토출구에 삽입하여 이동하는 과정에서 쉼과 노즐 내벽이 균일하게 접촉하지 않아 노즐의 내벽을 긁어 손상시킬 가능성을 근본적으로 제거하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 약액을 도포하는 슬릿 노즐과; 상기 슬릿 노즐과 제1통로로 연결되어, 상기 제1통로를 통해 약액을 상기 슬릿 노즐에 공급하는 약액 공급 펌프와; 상기 제1통로에 형성되어 상기 제1통로와 분기되는 제2통로와의 연결부에 위치하여, 상기 슬릿 노즐과 상기 약액 공급 펌프를 연통시키는 제1위치와, 상기 슬릿 노즐과 상기 제2통로를 연통시키는 제2위치로 조작 가능한 연결 밸브와; 용매와 고압 공기가 혼합된 고압의 용매 혼합 가스를 상기 제2통로에 공급하는 용매가스 공급부를; 포함하여 구성되어, 상기 연결 밸브가 상기 제1위치와 상기 제2위치 중 어느 하나에 위치하여 상기 약액 공급 펌프로부터 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하거나 상기 용매가스 공급부로부터 상기 노즐에 고압의 용매 혼합 가스가 공급되는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 장치를 제공한다.

이는, 슬릿 노즐이 피처리 기판의 표면에 약액을 장시간 동안 도포하면, 도포하는 약액의 일부가 응고되어 슬릿 노즐의 토출구의 내벽에 고착되는 약액 슬러지 등의 이물질을 제거함에 있어서, 슬릿 노즐의 토출구 내부에 쉼을 삽입하지 않고 약액을 녹일 수 있는 용매와 고압 건조 공기가 혼합된 고압의 용매 혼합 가스를 토출구에 불어주는 것에 의해, 고착된 약액 슬러지를 녹이면서 고압의 가스의 풍압에 의해 내벽으로부터 떨어져나가 바깥으로 밀어내는 방식으로, 슬릿 노즐의 토출구 내벽의 약액 슬러리를 효과적으로 제거하기 위함이다.

이와 같은 방식에 의하여, 본 발명은 작업자의 수작업에 의존하지 않고 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내벽에 고착된 약액 슬러리 등의 이물질을 자동으로 제거할 수 있으므로, 슬릿 노즐의 내벽 세정 공정에 작업자가 노출되지 않으므로 인체에 유해한 약액에 의해 작업자의 건강에 악영향을 끼치는 것을 방지할 수 있으며, 작업자의 숙련도에 따라 내벽의 세정 상태가 달라지는 것도 방지할 수 있다.

이 뿐만 아니라, 본 발명은 고압의 용매 혼합 가스를 토출구를 통해 분사하도록 구성됨에 따라, 슬릿 노즐의 내벽에 고착되어 있는 약액 슬러리를 제거하는 시간이 종래에 쉼(shim)에 의한 세정에 비하여 훨씬 짧아진다. 따라서, 기판의 약액 도포 공정의 효율이 향상되는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

그리고, 본 발명은 슬릿 노즐의 내부 세정 공정에 작업자가 노출되는 것을 차단할 수 있고, 내벽에 묻은 이물질을 제거하는 데 소요되는 시간이 종래에 비하여 훨씬 짧아지므로, 슬릿 노즐의 토출구 내벽을 보다 자주 세정할 수 있게 되어, 보다 우수한 품질로 약액 도포 공정을 할 수 있는 효과도 얻어진다.

상기 용매가스 공급부는 용매(Solvent)와 고압 건조 공기(CDA)가 각각 유입되어 혼합되는 버퍼 탱크를 포함하여 구성된다. 이에 의하여, 고압 건조 공기와 용매가 균질하게 혼합된 고압의 용매 혼합 가스에 의하여, 슬릿 노즐을 통과할 때에 주변에 고착된 슬러리 등의 이물질을 녹이면서 제거할 수 있게 된다. 즉, 용매 성분에 의해 노즐 내벽에 고착된 이물질을 내벽으로부터 화학적으로 분리시키고, 고압 가스 성분에 의해 노즐 내벽에 고착된 이물질을 기계적인 힘을 가해 분리시키면서 토출구를 통해 외부로 배출시킨다.

그리고, 상기 연결 밸브는 상기 슬릿 노즐의 내부의 고형물을 제거하고자 하는 경우에만 상기 용매가스 공급부와 상기 슬릿 노즐을 연통시키도록 조작된다.

한편, 상기 슬릿 노즐에 용매 혼합 가스가 주입되는 위치에서 상기 슬릿 노즐의 하측에 설치된 트래이를 더 포함하여 구성되어, 고압의 용매 혼합 가스가 토출구를 통해 이물질과 함께 배출되는 것을 담아 주변의 오염을 방지하고, 내벽 세정 공정이 종료된 후에 별도로 처리할 수 있다.

그리고, 상기 용매 혼합 가스는 상기 슬릿 노즐의 슬릿 방향을 따라 다수의 위치에서 분사되는 것을 주요한 특징으로 한다. 일반적으로 약액은 슬릿 노즐의 중앙부 1개의 통로에 공급되어, 공급되는 약액이 슬릿 노즐의 약액 챔버를 채운 후 토출구로 배출되므로, 토출구 전체에 대하여 액체 성분의 약액이 균일하게 도포되는 것이 가능하다. 그러나, 주로 기체 성분으로 공급되는 용매 혼합 가스는 상기와 같이 구성할 경우에는 압력을 크게 높이지 않으면, 고압의 용매 혼합 가스는 슬릿 노즐을 통과하면서 슬러지 등이 없는 영역에 대다수가 통과하여 슬러리 등의 고착된 이물질을 제거하기 어려울 수 있다. 따라서, 상기와 같이 용매 혼합 가스가 슬릿 노즐 내에 주입되는 것은 슬릿 방향을 따라 다수의 위치에서 각각 분사되도록 함으로써, 용매 혼합 가스의 압력을 적절하게 유지하면서도 슬릿 노즐의 내벽을 깨끗하게 세정하는 것이 가능해진다.

한편, 발명의 다른 분야에 따르면, 본 발명은 상기와 같이 구성된 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 처리 방법으로서, 상기 약액 공급 펌프와 상기 슬릿 노즐이 연통하도록 상기 연결 밸브를 제1위치로 조작하여, 상기 슬릿 노즐을 통해 약액을 도포하는 약액 도포 단계와; 상기 용매가스 공급부와 상기 슬릿 노즐이 연통하도록 상기 연결 밸브를 제2위치로 조작하여, 상기 슬릿 노즐 내에 고압의 용매 혼합 가스를 공급하여 노즐 내부의 슬러지를 제거하는 노즐 세정 단계를; 포함하여 구성된 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법을 제공한다.

이 때, 상기 슬릿 노즐을 트래이의 상측으로 이동시키는 단계를; 상기 노즐 세정 단계의 이전에 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 연결 밸브의 조작은 원격으로 이루어짐으로써, 작업자가 슬릿 코터 주변에서 작업하지 않더라도 슬릿 노즐의 내벽의 세정을 자동으로 행할 수 있게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 슬릿 노즐의 토출구의 내벽에 고착되는 약액 슬러지 등의 이물질을 제거함에 있어서, 슬릿 노즐의 토출구 내부에 쉼을 삽입하지 않고 약액을 녹일 수 있는 용매와 고압 건조 공기가 혼합된 고압의 용매 혼합 가스를 토출구에 불어주는 것에 의해, 고착된 약액 슬러지를 녹이면서 고압의 가스의 풍압에 의해 내벽으로부터 떨어져나가 바깥으로 밀어내는 방식으로, 슬릿 노즐의 토출구 내벽의 약액 슬러리를 자동으로 제거하므로, 슬릿 노즐의 내부 세정 공정에 소요되는 시간을 단축하여 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 작업자의 수작업에 의존하지 않고 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내벽에 고착된 약액 슬러리 등의 이물질을 자동으로 제거하므로, 인체에 유해한 약액에 작업자가 노출되지 않게 되어, 작업자의 건강이 악화되는 것을 방지할 수 있는 잇점도 얻을 수 있다.

도1은 일반적인 슬릿 코터 장치의 개략적인 구성을 도시한 사시도
도2는 도1의 슬릿 코터 장치의 쉼(shim) 세정 방법을 도시한 개략도
도3은 도2의 쉼이 토출구 내부에 삽입된 상태를 도시한 횡단면도
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터 장치의 내부 세정을 위한 구성을 도시한 도면
도5a는 도4의 구성을 이용하여 약액을 도포하는 상태를 도시한 도면
도5b는 도4의 구성을 이용하여 슬릿 노즐의 내부를 세정하는 상태를 도시한 도면
도6은 도4의 노즐의 종단면도

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터 장치(100)을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터 장치의 내부 세정을 위한 구성을 도시한 도면, 도5a는 도4의 구성을 이용하여 약액을 도포하는 상태를 도시한 도면, 도5b는 도4의 구성을 이용하여 슬릿 노즐의 내부를 세정하는 상태를 도시한 도면, 도6은 도4의 노즐의 종단면도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터 장치(100)는, 피처리 기판(G)의 표면에 약액을 도포하고 이송 기구에 의해 종횡으로 이동 가능하게 설치된 슬릿 노즐(110)과, 슬릿 노즐(110)과 제1통로(135, 135')로 연결되어 제1통로(135, 135')를 통해 약액(55)을 슬릿 노즐(110)에 공급하는 약액 공급 펌프(130)와, 제1통로(135, 135')와 분기된 제2통로(145)에 위치하여 고압의 용매 혼합 가스를 공급하는 용매가스 공급부(140)와, 제1통로(135, 135')와 제2통로(145)의 분기 위치에서 약액 공급 펌프(130)와 용매가스 공급부(140) 중 어느 하나를 슬릿 노즐(110)과 연통시키는 연결 밸브(150)와, 제1통로(135')를 통해 슬릿 노즐(110)로 공급되는 유체의 압력을 측정하는 압력 센서(160)와, 슬릿 노즐(110)의 상류측에서 유체의 공급을 선택적으로 차단하는 개폐 밸브(170)와, 슬릿 노즐(110)의 내부 세정 공정 시에 슬릿 노즐(110)의 하측에 위치하여 고압 용매 가스 및 이물질을 수거하는 트래이(180)를 포함하여 구성된다.

상기 슬릿 노즐(110)은 도4에 도시된 바와 같이 제1통로(135, 135')의 끝단과 연통되는 약액 챔버(112)와, 약액(55)을 토출하는 토출구(111)를 구비한다. 약액(55)을 토출하는 경우에는 약액 챔버(112)에 액체 상태의 약액(55)이 모두 채워진 상태에서 토출구(111)를 통해 약액(55)을 토출하므로, 토출구(111)의 슬릿 방향에 걸쳐 약액(55)이 균일한 양만큼 토출된다.

상기 약액 공급 펌프(130)는 슬릿 노즐(110)의 상측에 설치되어 포토레지스트 등의 약액을 제1통로(135, 135')를 통해 슬릿 노즐(110)에 공급한다. 제1통로(135)상에 설치된 약액 필터(138)는 공급되는 약액 내에 있을 지 모르는 이물질을 미리 제거하여 배출(138')시키고, 정제된 약액(55)만을 슬릿 노즐(110)로 공급하도록 한다.

상기 용매가스 공급부(140)는 고압가스공급부(143)로부터 고압 건조 공기와 용매공급부(142)로부터 약액의 용매를 공급받아 이들을 균질 상태로 섞는 버퍼 탱크(141)가 구비되어, 용매와 고압 건조 공기가 적절한 비율로 혼합된 고압의 용매 혼합 가스를 제2통로(145)와 제1통로(135')를 통해 슬릿 노즐(110)에 공급한다. 용매 가스 공급부(140)로부터 공급되는 고압의 용매 혼합 가스는 슬릿 노즐(110)의 슬릿 방향을 따라 다수의 위치(135a, 135b)에서 직접 토출구(111)를 향해 분사된다. 이를 통해, 슬릿 노즐(110)의 내벽에 고착된 슬러지 등에 용매 혼합 가스가 고압 상태로 분사되므로 고착된 이물질을 한번에 제거할 수 있다.

이 때, 용매와 고압 건조 가스는 버퍼 탱크(141)에 서로 다른 방향으로 유입되어, 버퍼 탱크(141) 내에서 이들의 혼합이 보다 균질한 상태로 혼합된다.

상기 연결 밸브(150)는 제1통로(135, 135')와 제2통로(145)의 분기 위치에 설치되어, 슬릿 노즐(110)과 약액 공급 펌프(130)를 연통시키는 제1위치 및 슬릿 노즐(110)과 용매가스 공급부(140)를 연통시키는 제2위치 중 어느 하나로 조작 가능한 3방 밸브(three-way valve)로 설치된다.

상기 압력 센서(160)는 약액(55)이나 고압의 용매 혼합 가스의 공급 압력을 실시간으로 측정하여, 약액 도포 시의 약액의 공급 압력과 노즐 내벽의 세정 시의 용매 혼합 가스의 공급 압력이 적정 범위에 있도록 제어하는 기초 데이터를 얻는다.

상기 개폐 밸브(170)는 제1통로(135, 135')의 하류측 통로(135')에 설치되며, 도6에 도시된 바와 같이 슬릿 노즐(110)의 여러 위치(135a, 135b)에 도달하도록 다수의 분기 통로(135d')에 각각 설치된다. 약액의 도포 시에는 개폐 밸브(170)는 중앙 위치(135b)의 중앙 개폐 밸브(170b)만을 개방하고 나머지 개폐 밸브(170a)는 모두 폐쇄 상태로 제어되어, 중앙 통로(135b)에 의해서만 약액이 슬릿 노즐(110)에 공급되도록 한다. 그리고, 노즐의 내부 세정 시에는 개폐 밸브(170)는 중앙 위치(135b)의 중앙 개폐 밸브(170b)와 그 이외 위치(135a)의 주변 개폐 밸브(170a)를 모두 개방하도록 제어되어, 다수의 통로(135a, 135b)에서 고압의 용매 혼합 가스가 유입되어 고압 상태를 유지한 용매 혼합 가스가 슬릿 노즐(110)의 내벽에 고착된 약액 슬러지(44)에 도달하도록 함으로써, 슬릿 노즐(110)의 내벽에 고착된 이물질을 한번에 모두 깨끗하게 제거할 수 있게 된다.

상기 트래이(180)는 슬릿 노즐(110)의 내부 세정 공정 시에 슬릿 노즐(110)이 트래이(180)가 설치된 위치로 이동하여 세정 공정을 행함으로써, 토출구(111)를 통해 분사되는 용매 혼합 가스 및 이물질을 모두 수거한다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터 장치(100)의 작동 원리를 상술한다.

먼저, 슬릿 노즐(110)의 토출구(111)를 통해 약액(55)을 토출하는 경우에는, 도5a에 도시된 바와 같이, 연결 밸브(150)가 제1위치로 이동하여 슬릿 노즐(110)과 약액 공급 펌프(130)가 서로 연통된다. 이 때, 개폐 밸브(170)는 중앙 통로(135b)에 설치된 밸브(170b)만 개방되고 나머지는 모두 폐쇄되어, 약액(55)이 중앙 통로(135b)로만 슬릿 노즐(110)로 유입되도록 한다.

이에 따라, 약액(55)은 약액 공급 펌프(130)로부터 제1통로(135)를 따라 슬릿 노즐(110)로 유입된 후, 약액 챔버(112)를 모두 채운 후에 토출구(111)를 통해 토출된다. 즉, 도면부호 55d로 표시된 방향의 경로로 이동하면서 토출구(111)로 토출된다.

정해진 시간 동안 슬릿 노즐(110)을 이용하여 약액(55)을 도포한 이후에, 슬릿 노즐(110)의 내벽에 고화되어 묻어있는 슬러지 등을 제거하고자 할 경우에는, 슬릿 노즐(110)은 트래이(180)의 위치로 이송된다. 그리고, 약액 챔버(112) 내의 약액을 모두 비운 후에, 도5b에 도시된 바와 같이, 연결 밸브(150)가 제2위치로 이동하여 슬릿 노즐(110)과 용매 가스 공급부(140)가 서로 연통된다. 이 때, 개폐 밸브(170)는 중앙 통로(135b) 및 그 주변 통로(135a)에 설치된 모든 밸브(170a, 170b)가 개방되어, 고압의 용매 혼합 가스는 슬릿 방향을 따라 다수의 통로(135a, 135b)에서 균일하게 공급되어 전체적으로 높은 압력의 용매 혼합 가스가 내벽을 세차게 가하도록 주입된다.

이에 따라, 슬릿 노즐(110)의 내벽에 고착된 고화된 약액 슬러지(44) 등의 이물질은 슬릿 노즐(110)의 내벽으로부터 떨어져 나가 토출구(111)로 배출(88)되어 트래이(180)에 모인다. 트래이(180)에 모인 이물질은 슬릿 노즐(110)의 내벽 세정 공정이 종료되면 비워진다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구 범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.

100: 슬릿 코터 장치 110: 슬릿 노즐
130: 약액 공급 펌프 140: 용매 가스 공급부
141: 버퍼 챔버 150: 연결 밸브
160: 압력 센서 170: 개폐 밸브
180: 트래이

Claims (8)

1. 약액을 도포하는 슬릿 노즐과;
   상기 슬릿 노즐과 제1통로로 연결되어, 상기 제1통로를 통해 약액을 상기 슬릿 노즐에 공급하는 약액 공급 펌프와;
   상기 제1통로에 형성되어 상기 제1통로와 분기되는 제2통로와의 연결부에 위치하여, 상기 슬릿 노즐과 상기 약액 공급 펌프를 연통시키는 제1위치와, 상기 슬릿 노즐과 상기 제2통로를 연통시키는 제2위치로 조작 가능한 연결 밸브와;
   용매와 고압 공기가 혼합된 고압의 용매 혼합 가스를 상기 제2통로에 공급하는 용매가스 공급부를;
   포함하여 구성되어, 상기 연결 밸브가 상기 제1위치와 상기 제2위치 중 어느 하나에 위치하여 상기 약액 공급 펌프로부터 상기 슬릿 노즐에 약액을 공급하거나 상기 용매가스 공급부로부터 상기 노즐에 고압의 용매 혼합 가스가 공급되는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 장치.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 용매가스 공급부는 용매(Solvent)와 고압 건조 공기(CDA)가 각각 유입되어 혼합되는 버퍼 탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 장치.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 연결 밸브는 상기 슬릿 노즐의 내부의 고형물을 제거하고자 하는 경우에 상기 용매가스 공급부와 상기 슬릿 노즐을 연통시키도록 조작되는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 장치.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 슬릿 노즐에 용매 혼합 가스가 주입되는 위치에서 상기 슬릿 노즐의 하측에 설치된 트래이를;
   더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 장치.
   
5. 제 1항에 있어서,
   상기 용매 혼합 가스는 상기 슬릿 노즐의 슬릿 방향을 따라 다수의 위치에서 분사되는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 장치.
   
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 처리 방법으로서,
   상기 약액 공급 펌프와 상기 슬릿 노즐이 연통하도록 상기 연결 밸브를 제1위치로 조작하여, 상기 슬릿 노즐을 통해 약액을 도포하는 약액 도포 단계와;
   상기 용매가스 공급부와 상기 슬릿 노즐이 연통하도록 상기 연결 밸브를 제2위치로 조작하여, 상기 슬릿 노즐 내에 고압의 용매 혼합 가스를 공급하여 노즐 내부의 슬러지를 제거하는 슬러지 제거 단계를;
   포함하여 구성된 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법.
   
7. 제 6항에 있어서,
   상기 슬릿 노즐을 트래이의 상측으로 이동시키는 단계를;
   상기 노즐 세정 단계의 이전에 더 포함하는 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법.
   
8. 제 6항에 있어서,
   상기 연결 밸브의 조작은 원격으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 장치의 슬릿 노즐의 내부 세정 방법.
   
   

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