KR0121510Y1

KR0121510Y1 - 버블 제거수단이 장착된 감광액 제거장치

Info

Publication number: KR0121510Y1
Application number: KR2019940021009U
Authority: KR
Inventors: 이승용; 정경수; 권순호
Original assignee: 김주용; 현대전자산업주식회사
Priority date: 1994-08-20
Filing date: 1994-08-20
Publication date: 1998-08-17
Also published as: KR960009281U

Abstract

본 고안은 감공액 제거장치에 관한 것으로, 특이 버블(bubble) 제거수단을 장착하여 용제(thinner)가 웨이퍼로 튀는 것을 방지하는 버블 제거수단이 장착된 감광액 제거장치에 관한것으로, 질소 공급노즐(2)에 의한 가압으로 용제를 공급관(4)에 공급하는 용제 탱크(6); 상기 용제 탱크(6)에서 공급된 용제의 이물질을 제거하는 필터(8); 상기 용제 공급관(4)에 흐르는 용제의 유량을 조절하는 플로우미터(10); 상기 용제에 포함된 질소 버블을 제거하는 버블 제거수단(12); 웨이퍼(14)의 에지에 상기 버블 제거수단(12)을 통과한 용제를 공급하는 용제 노즐(16); 및 상기 용제 노즐(16)의 끝에 용제 방울이 맺히는 것을 방지하기 위하여 잔류 용제를 흡입시키는 뒷흡입 밸브(18)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

버블 제거수단이 장착된 감광액 제거장치

도1은 종래 기술에 따른 감광액 제거장치를 개략적으로 나타낸 구성도.

도2는 본 고안에 의한 버블 제거수단이 장착된 감광액 제거장치를 개략적으로 나타낸 구성도.

도3은 도2의 A부 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10:신나 탱크 20:신나공급관

21:필터 22:플로우미터

23:뒷흡입밸브 30:질소공급노즐

40:신나노즐 50:버블제거수단

51:역티형 엘보관 52:니들밸브

53:체크밸브

본 고안은 감광액 제거장치에 관한 것으로, 특히 버블(bubble) 제거수단을 장착하여 상기 버블이 파열됨으로 인하여 신나(thinner)가 웨이퍼의 중앙측으로 튀는 것을 방지하는 버블제거수단이 장착된 감광액 제거장치에 관한 것이다.

일반적으로, 트랙 코터(track coater)는 현상액 노즐을 통하여 감광액을 웨이퍼상에 도포하고, 이 도포된 감광액 중에서 웨이퍼의 외주면으로부터 약 3.5㎜ 정도까지 신나를 분사하여 녹인다. 이는 웨이퍼 에지(edge)부분의 감광액을 제거함으로써 노광시 스텝핑(stepping)이 정확도를 높이고 다른 장치나 다수의 웨이퍼가 수용되는 카세트내의 웨이퍼 오염을 방지하는데 도움을 준다.

그러면, 첨부된 도1을 참조하여 종래 기술에 따른 감광액 제거장치를 간략히 설명한다.

도1에 도시된 바와 같이, 종래의 감광액 제거장치는, 웨이퍼 상에 도포된 감광액을 제거하기 위한 신나가 수용되는 신나 탱크(1)와, 상기 신나 탱크(1)에 수용되어 있는 신나에 질소를 제공하여 신나공급관(2)을 통해 신나가 공급되도록 하는 질소공급 노즐(3)과, 상기 신나공급관(2)의 웨이퍼측 단부에 장착되어 신나를 상기 웨이퍼의 에지부분에 분사하는 신나노즐(4)을 포함하고 있다.

여기서, 상기 신나 탱크(1)와 신나노즐(4)사이에는, 상기 신나공급관(2)을 통해 공급되는 신나에 포함된 이물질을 제거하는 필터(5)와, 상기 필터(5)에서 여과되어 공급되는 신나의 유량을 조절하는 플로우미터(6)와, 신나의 공급이 중단된 후에 상기 신나노즐(4)에 신나방울이 맺히는 것을 방지하기 위하여 잔류신나를 흡입하는 뒷흡입밸브(7)가 구비되어 있다.

그러나, 상기한 바와 같은 종래의 감광액 제거장치는, 질소공급노즐을 통해 공급되는 질소에 의해 신나공급관을 따라 이동되는 신나에 질소버블이 포함되며, 이 상태에서 웨이퍼 상에 신나를 분사할 경우 상기 질소버블이 파열되어 신나가 웨이퍼의 중앙부분측으로 튀는 경우가 다발하여 웨이퍼의 불량을 초래하는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 신나공급관을 통해 공급되는 신나에 포함되는 질소버블을 제거하는 버블제거수단을 구비하므로써, 신나의 분사시 상기 신나가 웨이퍼의 중앙부분측으로 튀어 웨이퍼의 불량을 초래하는 것을 방지하는 감광액 제거장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 감광액 제거장치에 있어서, 질소공급노즐에서 주입된 질소에 의해 가압되어 용제공급관을 따라 전송되는 용제가 수용된 용제탱크; 상기 용제공급관 상에 장착되어, 전송되는 용제에 함유된 이물질을 제거하는 필터; 상기 용제공급관 상에 장착되어, 전송되는 용제의 유량을 조절하는 플로우미터; 상기 용제공급관의 일단부에 장착되어, 용제를 웨이퍼의 에지부분에 분사하는 용제노즐; 상기 플로우미터와 용제노즐 사이에 장착되어 용제의 분사가 종료된 후에, 상기 용제 노즐 끝부분에 용제방울이 맺히는 것을 방지하기 위해 잔류용제를 흡입하는 뒷흡입밸브; 상기 뒷흡입밸브와 용제노즐 사이에 장착되며, 용제에 포함된 질소버블이 부유되도록 인입구에서 직각방향으로 구멍 폭이 넓게 형성되며, 질소버블이 터지지 않고 유연하게 빠져나갈 수 있도록 내벽이 코팅 처리된 역티(T)형 엘보관; 상기 역티형 엘보관의 상단구멍에 관을 매개로 장착되며, 질소버블의 양에 따라 개폐정도를 변경하는 니들밸브; 및 상기 니들밸브를 통과하는 용제가 역류되지 않도록 통과시키는 체크밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광액 제거장치를 제공한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.

도2는 본 고안에 따른 버블제거수단이 장착된 감광액 제거장치를 개략적으로 나타낸 구성도이며, 도3은 도2의 A부 단면도이고 도면에서 10은 신나 탱크, 20은 신나 공급관, 21은 필터, 22는 플로우미터, 23은 뒷흡입밸브, 30은 질소공급노즐, 40은 신나 노즐, 50은 버블제거수단, 51은 역티(T)형 엘보관, 52는 체크밸브를 각각 나타낸다.

도2에 도시된 바와 같이, 본 고안의 버블제거수단이 장착된 감광액 제거장치는, 웨이퍼의 에지부분에 도포된 감광액을 제거하기 위한 신나가 수용된 신나 탱크(10)와, 그 일단부는 신나 탱크(10)의 내부에 위치되고, 타단부는 웨이퍼측에 위치되어 신나의 이동경로를 제공하는 신나공급관(20)과, 상기 신나공급관(20)을 따라 전송되도록 상기 신나 탱크(10)에 수용된 신나에 질소를 공급하는 질소공급노즐(30)과, 상기 신나공급관(20)의 웨이퍼측에 장착되어 신나를 웨이퍼의 에지부분에 분사하는 신나노즐(40)을 포함한다.

그리고, 상기 신나공급관(20) 상에는 전송되는 신나에 포함된 이물질을 제거하는 필터(21)와, 전송되는 신나의 유속이 초당 4-5㏄로 일정하도록 조절하는 플로우미터(22)와, 신나의 공급이 중단되었을 경우, 신나노즐(40) 끝단에 신나방울이 맺히는 것을 방지하기 위해 잔류신나를 흡입하는 뒤흡입밸브(23)가 구비된다.

또한, 본 고안은, 상기 뒷흡입밸브(23)와 신나노즐(40) 사이에 장착되어, 신나와 함께 전송되는 질소버블을 제거하여 외부로 방출시키는 버블제거수단(50)을 더 포함한다. 여기서, 상기 버블제거수단(50)은, 도3에 도시된 바와 같이, 뒷흡입밸브(23)와 신나노즐(40) 사이에 장착되는 역티형 엘보관(51)과, 상기 역티형 엘보관(51)에 연결되어 질소버블의 양에 따라 개폐정도가 변경되는 니들밸브(52)와, 상기 니들밸브(52)를 통과한 신나가 역류하지 않고 별도의 용기(도시되지 않음)에 수용되도록 하는 체크밸브(53)를 구비한다. 여기서, 상기 역티형 엘보관(51)은, 도3에 도시된 바와 같이 인입구로부터 직각방향을 구멍 폭이 넓어지도록 형성하므로써, 미세한 질소버블이 상부로 부유되도록 하고 있다. 또한, 상기 역티형 엘보관(51)의 내벽은 질소버블이 파열되지 않고 유연하게 빠져 나갈 수 있도록 코팅된다.

이에 따라, 신나공급관(20)을 통하여 노즐(40)로 공급되는 질소버블을 포함하는 신나는 역티형 엘보관(51)의 상부로 배출되고, 신나는 노즐(40)측으로 공급되므로써, 웨이퍼의 감광막 제거시 질소버블에 의한 영향을 완전히 배제하게 되는 것이다.

상기한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 고안은, 신나공급관(20)을 통과하는 신나에 포함된 질소버블을 완전히 제거하므로써, 상기 신나가 웨이퍼의 에지부분에 공급될 경우, 질소버블의 파열에 의해 신나가 웨이퍼의 중앙부분측으로 튀어들어가는 것을 방지하는 효과가 있다.

Claims

감광액 제거장치에 있어서, 질소공급노즐(30)에서 주입된 질소에 의해 가압되어 용제공급관(20)을 따라 전송되는 용제가 수용된 용제탱크(10); 상기 용제공급관(20) 상에 장착되어, 전송되는 용제에 함유된 이물질을 제거하는 필터(21); 상기 용제공급관(20) 상에 장착되어, 전송되는 용제의 유량을 조절하는 플로우미터(22); 상기 용제공급관(20)의 일단부에 장착되어, 용제를 웨이퍼의 에지부분에 분사하는 용제노즐(40); 상기 플로우미터(22)와 용제노즐(40) 사이에 장착되어 용제의 분사가 종료된 후에, 상기 용제노즐(40) 끝부분에 용제방울이 맺히는 것을 방지하게 위해 잔류용제를 흡입하는 뒷흡입밸브(23); 상기 뒷흡입밸브(23)와 용제노즐(40) 사이에 장착되며, 용제에 포함된 질소버블이 부유되도록 인입구에서 직각방향으로 구멍 폭이 넓게 형성되며, 질소버블이 터지지 않고 유연하게 빠져나갈 수 있도록 내벽이 코팅 처리된 역티(T)형 엘보관; 상기 역티형 엘보관(51)의 상단구멍에 관을 매개로 장착되며, 질소버블의 양에 따라 개폐정도를 변경하는 니들밸브(52); 및 상기 니들밸브(52)를 통과하는 용제가 역류되지 않도록 통과시키는 체크밸브(53)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광액 제거장치.