KR200195101Y1 - 감광제 공급 시스템 - Google Patents

Abstract

본 고안은 감광제 공급 시스템에 관한 것으로서, 감광제에 함유되어 있는 이물이 여과되지 않은 상태로 펌프를 경유함에 의해 시간의 경과에 따라 펌프의 성능이 저하되는 문제점과, 필터의 오염상태를 정확하게 모니터하기가 어려워 지나치게 오염된 상태의 필터를 계속 사용함에 의해 웨이퍼의 표면이 오염되는 문제점을 인식하여, 감광제 보틀로부터 버퍼를 거치고 펌프를 경유하여 노즐로 감광제를 분사하도록 되는 감광제 공급 시스템에 있어서 ; 상기 버퍼와 펌프의 사이에는 제1 필터가 설치되고, 펌프와 노즐의 사이에는 제2 필터가 설치되어 감광제에 포함된 이물을 여과하도록 구성된 것을 특징으로 하는 감광제 공급 시스템을 제공하므로써 상기한 문제점을 해결할 수 있도록 한 것이다.

Description

감광제 공급 시스템

본 고안은 감광제 공급 시스템에 관한 것으로서, 특히 펌프의 성능저하를 방지하고 필터의 상태를 모니터하는데 적합한 감광제 공급 시스템에 관한 것이다.

제1도는 종래 감광제 공급 시스템의 구성을 보인 장치도로서, 이에 도시한 바와 같이, 종래의 감광제 공급 시스템은 감광제(미도시)가 담긴 감광제 보틀(1)과, 감광제 보틀(1)에 담긴 감광제 중 일부가 옳겨지는 버퍼(2)와, 감광제 공급 시스템 전체를 구동하는 펌프(3)와, 감광제에 있는 이물을 거르는 필터(4)를 포함하여 구성되며, 상기 필터(4)를 통과한 감광제는 노즐(5)을 통해 회전하는 척(6) 상에 놓인 웨이퍼(미도시)에 분사되면서 감광제를 웨이퍼의 표면에 코팅하게 된다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 감광제 공급 시스템은 펌프(3)의 구동에 의해 감광제 보틀(1)에 담긴 감광제 중 일부가 옮겨져 버퍼(2)에 담겨진 후 펌프(3)를 경유하여 상기 필터(4)에 의해 감광제에 포함된 이물이 여과되어 펌프(3)의 압력에 의해 노즐(5)로 분사되면서 척(6)에 얹혀져 회전하는 웨이퍼 상에 도포되도록 하는 작용을 행하였다.

한편, 펌프(3)에 의해 감광제가 옮겨지는 과정에서 기포가 발생하게 되는데 이러한 기포가 웨이퍼 코팅시 노즐(5)에서 사출되는 감광제에 함유되는 경우에는 코팅불량이 유발될 수 있으므로 상기 버퍼(2)와 필터(4)에서 제거되도록 하고 있는데, 특히 필터(4)쪽에서는 기포가 가벼워 위로 뜬다는 점에 착안하여 상측의 일부 감광제를 외부로 드레인 하도록 구성하고 있다.

그리고 상기 감광제 보틀(1)에서는 펌프(3)의 초기 구동시 감광제가 옮겨지는 것을 용이하게 하기 위해 질소(N₂)를 사용하여 가압하도록 하고 있다.

상기 펌프(3)는 내부에 실린더(미도시)를 구비하여 실린더의 왕복에 의해 감광제를 펌프(3)의 내부로 빨아들였다가 배출하도록 하는 방식으로 작용하게 되는데, 웨이퍼에 분사되는 감광제의 양은 실린더의 이동거리에 의해 결정되게 되고 실린더의 이동 속도에 의해 노즐(5)에서 사출되는 감광제의 압력이 결정되며 이러한 감광제의 압력은 코팅불량 및 균일도에 영향을 미치게 된다.

그런데 상기한 바와 같은 구조로 되는 종래 감광제 공급 시스템에는 다음과 같은 문제점이 있었다.

즉, 감광제에 함유되어 있는 이물이 여과되지 않은 상태로 펌프(3)를 경유하게 되므로 시간의 경과에 따라 펌프(3)의 성능이 저하되게 되는 문제점이 있었으며, 필터(4)의 오염상태를 정확하게 모니터하기가 어려워 지나치게 오염된 상태의 필터(4)를 계속 사용함에 의해 이물이 걸러지지 못한 상태에서 감광제가 분사되어 웨이퍼의 표면을 오염시키게 되는 문제점이 있었던 것이다.

따라서, 상기한 바와 같은 문제점을 인식하여 안출된 본 고안의 목적은 펌프로 감광제 내의 이물이 유입되는 것을 방지하고 필터의 오염상태를 보다 정확하게 모니터할 수 있도록 하는데 적합한 감광제 공급 시스템을 제공하고자 하는 것이다.

제1도는 종래 감광제 공급 시스템의 구성을 보인 장치도.

제2도는 본 고안의 일실시례에 의한 감광제 공급 시스템의 구성을 도시한 장치도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 감광제 보틀 2 : 버퍼

3 : 펌프 4 : 필터

5 : 노즐 6 : 척

10 : 제1 필터 11 : 제2 필터

12 : 피드백 라인

상기한 바와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 감광제 보틀로부터 버퍼를 거치고 펌프를 경유하여 노즐로 감광제를 분사하도록 되는 감광제 공급 시스템에 있어서; 상기 버퍼와 펌프의 사이에는 제1 필터가 설치되고, 펌프와 노즐의 사이에는 제2 필터가 설치되어 감광제에 포함된 이물을 여과하도록 구성된 것을 특징으로 하는 감광제 공급 시스템이 제공된다.

이하, 첨부도면에 도시한 본 고안의 일실시례에 의거하여 본 고안을 상세히 설명한다.

제2도는 본 고안의 일실시례에 의한 감광제 공급 시스템의 구성을 도시한 장치도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 감광제 공급 시스템은 감광제가 담긴 감광제 보틀(1)과, 감광제 보틀(1)에 담긴 감광제 중 일부가 옮겨지는 버퍼(2)와, 감광제 공급 시스템 전체를 구동하는 펌프(3)를 포함하여 구성되는 것은 종래와 동일하나, 펌프(3)와 노즐(5)의 사이에 하나의 필터(4)가 설치되던 종래와 달리 상기 버퍼(2)와 펌프(3)의 사이에 제1 필터(10)가 설치되고, 펌프(3)와 노즐(5)의 사이에는 제2필터(11)가 설치되어 감광제에 포함된 이물을 여과하도록 구성된다는 점에서 종래와 차이가 있다.

이때 상기 제2필터(11)와 버퍼(2) 간에는 제2필터(11)의 상측에 있는 감광제의 일부를 버퍼(2)로 피드백하는 피드백 라인(12)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 고안에 의한 감광제 공급 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.

상기 펌프(3)가 구동되면 감광제 보틀(1)에 담긴 감광제가 버퍼(2)로 옮겨지게 되는데, 이때 펌프(3)를 구동하는 초기에 이러한 감광제의 움직임을 용이하게 하기 위해 종래와 마찬가지로 질소(N₂)를 사용하여 감광제 보틀(1)의 내부를 가압하는 것이 바람직하다. 버퍼(2)에 옮겨진 감광제는 제1 필터(10)를 거쳐 펌프(3)로 유입되게 되는데 이러한 펌프(3)로 유입하는 과정까지 펌프(3)의 내부에 있는 실린더(미도시)가 일방향으로 일정거리 만큼 이동하게 된다. 그 후에는 펌프(3)의 내부에 있는 실린더가 유입된 감광제를 밀어내게 되는데 밀려난 감광제는 제2 필터(11)를 거친 후 노즐(5)로 분사되어 회전하는 척(6) 상에 놓인 웨이퍼의 상면을 코팅하게 된다.

이러한 과정에서 발생하는 기포는 버퍼(2)에서는 종래와 마찬가지 방식으로 제거되고 노즐(5)의 직전에 있는 필터인 제2 필터(11)에서는 종래와 달리, 단순히 상부에 있는 일정량의 감광제를 드레인하는 대신, 피드백 라인(12)을 통해 버퍼(2)로 다시금 상부에 있는 일정량의 감광제를 피드백하게 된다.

펌프(3) 내부의 실린더는 펌프(3)의 내부로 감광제를 빨아들인 후 빨아들인 감광제를 노즐(5)로 분사하기 위하여 펌프(3)의 외부로 밀어내는 작용을 반복하게 되는데 종래와 마찬가지로 웨이퍼에 분사되는 감광제의 양은 실린더의 이동거리에 의해 결정되게 되고 실린더의 이동 속도에 의해 노즐(5)에서 사출되는 감광제의 압력이 결정되며 이러한 감광제의 압력은 코팅불량 및 균일도에 영향을 미치게 된다.

이러한 실린더의 이동속도는 필터(10,11)의 오염 상태에 따라 변하게 되는데 제1 필터(10)의 오염 상태는 펌프(3)로 감광제가 유입될 때의 속도에 직접적인 영향을 미치게 되고 제2 필터(11)의 오염 상태는 펌프(3)로부터 감광제가 노즐(5)로 배출될 때의 속도에 직접적인 영향을 미치게 되므로 이러한 양 속도를 비교하는 것에 의해 현재의 이물 수준과 필터(10,11)의 오염 상태를 보다 정확하게 모니터 하여 이에 대처하게 된다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 고안에 의한 감광제 공급 시스템은 펌프의 전방에 있는 제1필터에 의해 감광제에 포함된 이물이 여과된 상태에서 펌프의 내부로 감광제가 유입되므로 시간의 경과에 따른 펌프의 성능저하 내지 수명감소를 방지할 수 있는 효과가 있음과 아울러 펌프로 감광제가 유입될 때의 속도와 펌프로부터 감광제가 배출될 때의 속도를 비교하는 것에 의해 필터의 상태를 보다 정확하게 모니터 할 수 있어 오염된 필터의 지속적인 사용에 의한 웨이퍼 오염을 방지할 수 있는 효과도 있다. 그리고 기포에 의한 코팅불량을 방지하기 위하여 제2 필터의 상부 일정량의 감광제를 드레인하여 버리는 대신 피드백 라인을 통해 버퍼로 피드백 시킴으로서 감광제를 절감할 수 있는 효과도 있다.

Claims (2)

1. 감광제 보틀로부터 버퍼를 거치고 펌프를 경유하여 노즐로 감광제를 분사하도록 되는 감광제 공급 시스템에 있어서; 상기 버퍼와 펌프의 사이에는 제1 필터가 설치되고, 펌프와 노즐의 사이에는 제2필터가 설치되어 감광제에 포함된 이물을 여과하도록 구성된 것을 특징으로 하는 감광제 공급 시스템.
2. 제1항에 있어서, 상기 제2필터와 버퍼 간에는 제2필터의 상측에 있는 감광제의 일부를 버퍼로 피드백하는 피드백 라인이 형성되는 것을 특징으로 하는 감광제 공급 시스템.