KR20130036703A

KR20130036703A - 마더 기판의 스크라이브 방법 및 분단 방법

Info

Publication number: KR20130036703A
Application number: KR1020120094916A
Authority: KR
Inventors: 토시유키 사카이
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-10-04
Filing date: 2012-08-29
Publication date: 2013-04-12
Also published as: KR101361604B1; CN103030264B; TW201315695A; TWI474983B; CN103030264A

Abstract

(과제) 기판을 분단할 때의 「이빠짐」「쪼개짐」「교점 건너뜀」 등의 문제를 억제하는 마더 기판의 스크라이브 방법을 제공한다.
(해결 수단) (a) 마더 기판의 제1 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 스크라이브함으로써, 이로부터 절출하는 단책 형상 기판의 하변을 구분하는 가로 방향의 제1 스크라이브 라인을 형성하는 공정, (b) 단책 형상 기판의 상변을 이루는 위치에 설정되는 제2 가로 스크라이브 예정 라인까지, 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동일한 수만큼 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 단위 제품의 실질적인 우변 및 좌변을 각각 형성하는 세로 방향의 제2, 제3 스크라이브 라인을 형성하는 공정, (c) 제2 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 스크라이브함으로써, 단책 형상 기판의 상변을 구분하는 가로 방향의 제4 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 행한다.

Description

마더 기판의 스크라이브 방법 및 분단 방법{METHOD FOR SCRIBING MOTHER BOARD AND DIVIDING METHOD THEREFOR}

본 발명은, 유리 기판 등의 취성 재료로 이루어지는 마더 기판의 스크라이브 방법 및 분단 방법에 관한 것이다.

특히 본 발명은, 대면적의 마더 기판 상에 형성한 스크라이브 라인으로부터 단책(短冊) 형상 기판을 절출(切出)하고, 이 단책 형상 기판으로부터 단위 제품을 분단하는 분단 방법 및 이 분단 방법에 있어서 사용되는 스크라이브 방법에 관한 것이다. 여기에서, 단책 형상 기판이란, 복수의 단위 기판(단위 제품)이 일렬로 배열된 상태의 기판을 말한다. 단책 형상 기판에서는 단위 기판이 나열되는 방향이 길이 방향이 된다.

유리 기판 등의 마더 기판으로부터 단책 형상 기판을 절출하는 경우, 도 19에 나타내는 바와 같이, 마더 기판(W)에 대하여, 서로 직교하는 방향으로 배치한 커터 휠(20, 21)을 눌러대면서 전동(轉動)시킴으로써, 서로 교차하는 세로, 가로의 복수조(條)의 스크라이브 라인(Sa, Sb)(도 19에서는 1조만을 나타내고 있음)을 형성하고, 계속해서 세로 방향의 스크라이브 라인(Sb)으로부터 브레이크 바(22)로 기판(W)을 브레이크함으로써 단책 형상 기판(Wa)을 형성하고, 이 단책 형상 기판(Wa)을 90도 회전시켜, 브레이크 바(23)로 스크라이브 라인(Sa)을 따라서 브레이크하여 단위 제품(W1)을 취출하는 방법이 알려져 있다(예를 들면 특허문헌 1 등).

이 분단 방법을 실시하는 가공 장치에서는, 기판(W)을 직선 방향으로 반송하는 반송 기구와 함께, 단책 형상 기판(Wa)을 재치(載置) 평면상에서 수평 자세를 유지시킨 채 90도 회전시키는 회전 기구가 이용되고 있다.

또한, 상기 순서에 따른 분단 방법에서는, 마더 기판(W)에 세로, 가로로 교차하는 스크라이브 라인(Sa, Sb)을 커터 휠(20, 21)로 크로스 스크라이브할 때에, 스크라이브 라인(Sa, Sb)의 교점에서 「이빠짐」이나 「쪼개짐」이라고 불리는 가공 불량이 발생하는 경우가 있었다.

「이빠짐」이란, 도 20에 나타내는 바와 같이, 맨 처음에 가로 방향의 스크라이브 라인(Sa)을 형성한 후, 커터 휠(21)을 압접 전동하여 세로 방향의 스크라이브 라인을 형성할 때에, 커터 휠(21)의 압접력이 부하(負荷)되고 있는 측의 기판(도면의 좌측의 기판)이 화살표로 나타내는 바와 같이 가라앉아, 이미 형성된 스크라이브 라인(Sa)을 넘는 곳에서, 반(半)분단 상태에 있는 우측의 기판으로 올라탈 때에 발생하는 미세한 이빠짐(도면 중 α로 나타냄)을 말한다.

또한, 「쪼개짐」이란, 도 21에 나타내는 바와 같이, 맨 처음에 가로 방향의 스크라이브 라인(Sa)을 형성한 후, 세로 방향의 스크라이브 라인을 형성할 때에, 커터 휠(21)이 이미 형성된 스크라이브 라인(Sa)를 넘는 곳에서, 스크라이브 라인(Sa)의 수직 방향의 크랙(K)이 기판의 이면(裏面) 근방에서 기울어짐 방향으로 W진전되는 것을 말한다. 이 「쪼개짐」을 도면 중 β로 나타낸다.

이러한 「이빠짐」이나 「쪼개짐」은, 당연히 분단 후의 제품의 품질을 손상시키는 것으로, 제조 수율을 저하시키는 큰 원인이 된다.

그래서, 마더 기판을 크로스 스크라이브할 때에, 스크라이브 라인의 교점 근방에서 커터 휠의 스크라이브압을 일시적으로 낮추도록 압압력을 제어하여, 「이빠짐」이나 「쪼개짐」의 발생을 막도록 한 방법이 특허문헌 2에서 개시되어 있다.

일본공개특허공보 2006-315901호 일본공개특허공보 2009-132614호

전술한 종래의 분단 방법에서는, 단책 형상 기판(Wa)을 재치 평면 상에서 수평 자세를 유지시킨 채 90도 회전시키는 회전 기구가 필요하기 때문에, 턴테이블을 설치하게 되어 그것을 위한 설비나 스페이스가 필요해지고, 또한 단책 형상 기판(Wa)이 회전하면 회전에 수반하는 각도 위치의 미조정 작업을 필요로 하여, 제조 설비비가 증가함과 함께, 제조 라인이 길어진다는 결점이 있었다.

종래의 분단 방법에서는 크로스 스크라이브가 행해지기 때문에, 「이빠짐」이나 「쪼개짐」이 발생할 우려가 있어, 이것을 막는 목적으로, 특허문헌 2에 기재된 바와 같이, 스크라이브 라인의 교점 근방에서 커터 휠의 스크라이브압을 일시적으로 낮추도록 압압력을 제어하는 방법이 채용되는 경우가 있지만, 그러기 위해서는 압압력을 복잡하게 변화시키는 전용의 제어 프로그램이나 기계적인 동작 시스템이 필요해져 수고와 비용이 들게 된다. 또한, 두께가 있는 기판이나 재료 조성에 따라서는 스크라이브압을 그다지 낮출 수 없는 것이 있어, 「이빠짐」이나 「쪼개짐」을 완전하게 막을 수 없었다.

또한, 스크라이브 라인의 교점 근방에서 커터 휠의 스크라이브압을 낮추면 「교점 건너뜀」이라고 불리는 좋지 못한 현상이 발생할 우려가 있다. 이 현상은, 맨 처음에 형성된 스크라이브 라인과, 이것과 교차하는 제2 스크라이브 라인을 커터 휠에 의해 형성할 때에, 나중에 형성되어야 할 스크라이브 라인이 교점 부근에서 형성되지 않는 것을 말한다. 이것은, 맨 처음에 형성된 스크라이브 라인의 홈 양측에 응력이 잔존하여, 이 응력이 잔존하고 있는 개소를 커터 휠이 가로지를 때에, 커터 휠의 압압력이 줄어버리는 것이 원인이라고 생각되고 있다. 이러한 「교점 건너뜀」의 현상이 발생하면, 당연히 스크라이브 라인으로부터 기판을 분단했을 때에 깨끗한 분단면을 얻지 못해, 고품질의 제품을 만들 수 없다.

그래서, 본 발명의 제1 목적은, 회전 기구를 이용하지 않고 단책 형상 기판을 분단할 때의 「이빠짐」「쪼개짐」「교점 건너뜀」과 같은 크로스 스크라이브에 기인하는 문제을 억제한 마더 기판의 스크라이브 방법 및 분단 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명의 제2 목적은, 마더 기판으로부터 단위 제품을 취출할 때에, 단책 형상 기판을 회전시키는 회전 기구를 이용하는 일 없이, 단책 형상 기판의 긴 길이 방향을 한 방향으로 유지한 상태인 채로 반송을 행하도록 하여 분단 가공을 행하는 마더 기판의 분단 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명 방법에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명에 따른 마더 기판의 스크라이브 방법은, 커터 휠에 의한 마더 기판의 스크라이브 방법으로서, (a) 마더 기판의 제1 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 스크라이브함으로써, 이로부터 절출하는 단책 형상 기판의 하변을 구분하는 가로 방향의 제1 스크라이브 라인을 형성하는 공정, (b) 이어서, 상기 제1 스크라이브 라인과 평행하며 상기 단책 형상 기판의 상변을 이루는 위치에 설정되는 제2 가로 스크라이브 예정 라인까지, 상기 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동일한 수만큼 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 상기 단위 제품의 실질적인 우변을 각각 형성하는 세로 방향의 제2 스크라이브 라인, 및, 상기 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동일한 수만큼 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 상기 단위 제품의 실질적인 좌변을 각각 형성하는 세로 방향의 제3 스크라이브 라인을 형성하는 공정, (c) 이어서, 상기 제2 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 스크라이브함으로써, 상기 단책 형상 기판의 상변을 구분하는 가로 방향의 제4 스크라이브 라인을 형성하는 공정으로 이루어지도록 했다.

본 발명의 스크라이브 방법에 의하면, 단책 형상 기판 상에서, 각 단위 제품을 구분하는 세로 방향의 스크라이브 라인(제2 스크라이브 라인, 제3 스크라이브 라인)이, 가로 방향의 스크라이브 라인(제1 스크라이브 라인, 제4 스크라이브 라인)의 사이에서 형성되기 때문에, 가로 방향의 스크라이브 라인을 뛰어넘어 교차함으로써 형성되는 교점이 존재하지 않게 되고, 이에 따라, 전술한 교점에서의 「이빠짐」이나 「쪼개짐」의 발생을 현저하게 감소할 수 있음과 함께, 「교점 건너뜀」의 현상도 없앨 수 있어, 분단면이 깨끗한 고품질의 단책 형상 기판을 얻을 수 있다.

여기에서, 세로 방향의 제2 스크라이브 라인, 및, 세로 방향의 제3 스크라이브 라인은, 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동(同)수의 커터 휠을 사용하여, 제2 스크라이브 라인끼리, 제3 스크라이브 라인끼리를 동시에 스크라이브하도록 해도 좋다.

형성되는 단책 형상 기판의 각 단위 제품을 구분하는 세로 방향의 스크라이브 라인은, 단책 형상 기판의 단위 제품의 수와 동일한 수의 커터 휠을 사용하여 행해지기 때문에, 스크라이브 작업을 단시간으로 효율적으로 행할 수 있는 효과가 있다.

또한, 가로 방향의 제1 스크라이브 라인을 형성하는 공정과 제4 스크라이브 라인을 형성하는 공정에서는, 마더 기판을 고정하고 커터 휠을 가로 방향으로 이동함으로써 가공하고, 세로 방향의 제2 스크라이브 라인과 제3 스크라이브 라인을 형성하는 공정에서는, 커터 휠을 고정하고, 마더 기판을 이동함으로써 가공하도록 해도 좋다.

이에 따라, 기판을 90도 회전시키는 일 없이, 세로 방향과 가로 방향과의 스크라이브 라인을 효율 좋게 형성할 수 있다.

또한, 다른 관점에서 이루어진 본 발명의 분단 방법은, 커터 휠을 마더 기판의 제1 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 스크라이브함으로써, 마더 기판의 하변 부분의 단재(端材) 영역을 구분하는 가로 방향의 제1 스크라이브 라인을 형성하고, 이어서, 이 단재 영역을 제1 스크라이브 라인으로부터 제1 브레이크부에 의해 분단하여 단재 영역을 파기하고, 이어서, 형성해야 할 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동일한 수의 커터 휠을 사용하여, 마더 기판의 분단된 하변에서 이것과 평행한 제2 가로 스크라이브 예정 라인까지 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 단위 제품의 실질적인 우변을 형성하는 세로 방향의 제2 스크라이브 라인과, 좌변을 형성하는 제3 스크라이브 라인을 형성하고, 이어서, 상기 제2 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 커터 휠을 스크라이브함으로써 가로 방향의 제4 스크라이브 라인을 가공하고, 이어서, 제4 스크라이브 라인으로부터 제1 브레이크부에 의해 마더 기판을 분단함으로써, 세로 방향의 스크라이브 라인에 의해 구분된 복수의 단위 제품이 긴 길이 방향을 따라서 일렬로 배열된 단책 형상 기판을 절출하고, 이 절출된 단책 형상 기판을 그 자세를 유지한 채 기판의 긴 길이 방향을 따라서 반송부에 의해 제2 브레이크부로 반송하여 세로 방향의 스크라이브 라인으로부터 순차 분단함으로써 단위 제품을 취출하도록 한 분단 방법으로 해도 좋다.

이 방법에 의하면, 마더 기판으로부터 절출된 단책 형상 기판이 그 자세를 유지한 채 기판의 긴 길이 방향을 따라서 브레이크부까지 반송되어 단위 제품으로 분단되는 것이기 때문에, 종래와 같이 단책 형상 기판을 90도 회전시키기 위한 기구를 생략할 수 있고, 이에 따라 설비의 노동력 절감과, 비용의 저감화를 도모할 수 있음과 함께, 제조 라인의 콤팩트화를 도모할 수 있다.

추가로, 각 단위 제품을 구분하는 세로 방향의 스크라이브 라인이, 가로 방향의 스크라이브 라인의 사이에서 형성되어 있기 때문에, 가로 방향의 스크라이브 라인을 뛰어넘어 형성되는 교점이 존재하지 않게 되고, 이에 따라, 전술한 교점에서의 「이빠짐」이나 「쪼개짐」의 발생을 현저하게 감소할 수 있음과 함께, 「교점 건너뜀」의 현상도 없앨 수 있어, 분단면이 깨끗한 고품질의 단책 형상 기판을 얻을 수 있다. 또한, 형성되는 단책 형상 기판의 각 단위 제품을 구분하는 세로 방향의 스크라이브 라인은, 단책 형상 기판의 단위 제품의 수와 동일한 수의 커터 휠을 사용하여 행해지기 때문에, 스크라이브 작업을 단시간으로 효율적으로 행할 수 있다는 효과가 있다.

또한, 상기 발명에 있어서, 단책 형상 기판을 제1 브레이크부로 절출하는 가공까지는 당해 단책 형상 기판의 긴 길이 방향과 직교하는 방향으로 반송하도록 하여 가공을 행하고, 절출된 단책 형상 기판을 제2 브레이크부로 단책 형상 기판으로부터 단위 제품으로 분단하는 가공은, 상기 단책 형상 기판의 긴 길이 방향과 동일한 방향으로 반송하도록 하여 가공을 행하도록 해도 좋다.

도 1은 본 발명의 분단 방법을 실시할 때에 사용되는 분단 장치의 일 예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 분단 장치에 있어서의 스크라이브부를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 분단 장치에 있어서의 브레이크부의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 분단 장치에 의한 제1 순서를 나타내는 도 1과 동일한 설명도이다.
도 5는 본 발명의 분단 장치에 의한 제2 순서를 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 분단 장치에 의한 제3 순서를 나타내는 설명도이다.
도 7은 본 발명의 분단 장치에 의한 제4 순서를 나타내는 설명도이다.
도 8은 본 발명의 분단 장치에 의한 제5 순서를 나타내는 설명도이다.
도 9는 본 발명의 분단 장치에 의한 제6 순서를 나타내는 설명도이다.
도 10은 본 발명의 분단 장치에 의한 제7 순서를 나타내는 설명도이다.
도 11은 본 발명의 분단 장치에 의한 제8 순서를 나타내는 설명도이다.
도 12는 본 발명의 분단 장치에 의한 제9 순서를 나타내는 설명도이다.
도 13은 본 발명의 분단 장치에 의한 제10 순서를 나타내는 설명도이다.
도 14는 본 발명의 분단 장치에 의한 제11 순서를 나타내는 설명도이다.
도 15는 본 발명의 분단 장치에 의한 제12 순서를 나타내는 설명도이다.
도 16은 본 발명의 분단 장치에 의한 제13 순서를 나타내는 설명도이다.
도 17은 본 발명의 분단 장치에 의한 제14 순서를 나타내는 설명도이다.
도 18은 본 발명의 분단 장치에 의한 제15 순서를 나타내는 설명도이다.
도 19는 종래의 단책 형상 기판의 절출 수단을 나타내는 설명도이다.
도 20은 종래의 크로스 스크라이브시에 발생하는 「이빠짐」의 현상을 설명하는 도면이다.
도 21은 종래의 크로스 스크라이브시에 발생하는 「쪼개짐」의 현상을 설명하는 도면이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 본 발명에 따른 스크라이브 방법 및 분단 방법의 상세를, 도 1～도 18에 기초하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명의 분단 방법을 실시할 때에 사용되는 분단 장치(1)의 일 예를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 이 분단 장치(1)는, 마더 기판(W)에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 스크라이브부(A)와, 스크라이브 라인으로부터 마더 기판(W)을 단책 형상으로 분단하는 제1 브레이크부(B)와, 분단된 단책 형상 기판(Wa)(도 11 참조)을 단위 제품(W1)으로 분단하는 제2 브레이크부(C)와, 상기 제1 브레이크부(B)로 분단된 단책 형상 기판(Wa)을 수취하여 기판 의 긴 길이 방향을 따라서 제2 브레이크부(C)로 반송하는 반송부(D)로 이루어진다.

스크라이브부(A)(도 2 참조)는, 좌우 한 쌍의 지주(支柱; 2, 2)와, 이들 지주(2, 2)에 걸쳐진 횡량(橫梁)(빔이라고도 함)(3)을 구비하고, 횡량(3)은 X방향을 따라서 배치되어 있다. 횡량(3)에는 복수의, 본 실시예에서는 4개의 스크라이브 헤드(4)가 가이드(5)를 따라서 X방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이 스크라이브 헤드(4)의 개수는, 후술하는 단책 형상 기판(Wa)에 형성되는 단위 제품(W1)의 수에 맞추어 설정된다. 스크라이브 헤드(4)의 하단에는 마더 기판(W)에 세로, 가로의 스크라이브 라인을 가공하기 위한 커터 휠(6)이 부착되어 있다. 커터 휠(6)은, 스크라이브 헤드(4)에 내장되는 전환 기구(도시하지 않음)에 의해, 그 전동 방향이 X방향, 그리고 X방향과 평면 상에서 직교하는 Y방향의 양쪽으로 전환할 수 있도록 부착되어 있다.

스크라이브 헤드(4)의 하방에는, 올려놓여진 마더 기판(W)을 지지함과 함께, 올려놓여진 기판(W)을 테이블(7) 상으로부터 Y방향으로 반송하는 Y방향 반송 롤러 부착 테이블(7)이 배치되어 있다. 또한, 정확하게 직선 반송을 행하기 위해, 테이블(7)의 편측(기판을 반출하는 제1 브레이크부(B)측과는 반대측)에, 마더 기판(W)의 상단변(上端邊)을 파지(把持)함과 함께 테이블(7)의 Y방향 반송 롤러의 반송 운동과 연동하여, 마더 기판(W)을 Y방향으로 반송하는 척 기구(도시하지 않음)를 설치해도 좋다. 이들 반송 기구에 의해 마더 기판(W)을 Y방향으로 전후 이동할 수 있도록 되어 있다.

제1 브레이크부(B) 그리고 제2 브레이크부(C)(도 3 참조)는, 스크라이브 라인을 따라서 외력을 인가하여 기판을 휘게 함으로써 기판을 분단하는 일반적인 브레이크 기구가 이용된다. 상세한 기구의 설명은 생략하지만, 기판(W)의 스크라이브 라인(S)을 형성한 면과는 반대의 면(본 실시예에서는 하면)의 하방에, 스크라이브 라인(S)을 따라서 길게 연장되는 판 형상의 브레이크 바(10)를 설치하고, 기판(W)의 상면측에는 스크라이브 라인(S)의 좌우 양옆 부분에 한 쌍의 누름바 또는 롤러(11)가 설치되어 있다. 그리고 브레이크 바(10)를 상승시켜 기판(W)을 근소하게 역(逆)V자 형상으로 휘게 함으로써, 스크라이브 라인(크랙)을 깊이 방향으로 침투시켜 분단하도록 형성되어 있다.

제1 브레이크부(B)의 브레이크 바는, 후술하는 가로 방향(X방향)의 스크라이브 라인으로부터 마더 기판(W)을 분단할 수 있도록 X방향을 따라서 벋어있고, 스크라이브부(A)와 반송부(D)와의 사이에 설치되어 있다.

제2 브레이크부(C)의 브레이크 바는, 분단된 단책 형상 기판(Wa)을 세로 방향(Y방향)의 스크라이브 라인으로부터 분단할 수 있도록 Y방향으로 벋어있고, 반송부(D)의 반출측에 설치되어 있다.

반송부(D)는, 제1 브레이크부(B)로 분단된 단책 형상 기판(Wa)을, Y방향(단책 형상 기판의 긴 길이 방향과 직교하는 방향)으로 이동시키는 Y방향 반송 롤러(도시하지 않음)와, X방향(단책 형상 기판의 긴 길이 방향과 동일한 방향)으로 이동시키는 X방향 반송 롤러(도시하지 않음)를 구비한 테이블로 구성되어 있고, 우선 Y방향 반송 롤러를 작동시켜 제1 브레이크부(B)로 분단된 단책 형상 기판(Wa)을 수취하여, 소정의 정(定)위치에 정지시킨 후, 계속해서 X방향 반송 롤러를 작동시켜 제2 브레이크부(C)측으로 반출하도록 되어 있다.

따라서, 도 1에 나타나는 바와 같이, 스크라이브부(A)와, 제1 브레이크부(B)와, 반송부(D)의 단책 형상 기판(Wa)을 수취하는 부분은 이 순서로 기판이 반송되도록 Y방향으로 나열하고, 반송부(D)와 제2 브레이크부(C)는 이 순서로 기판이 반송되도록 X방향으로 나열하도록 배치되어 있다.

또한, 반송 기구는 전술한 반송 롤러로 한정되지 않고, 예를 들면 기판을 흡착 가능한 로봇 아암 등으로 이동시키도록 해도 좋다.

또한, 제1 브레이크부(B) 그리고 테이블(7)은, 도면의 복잡화를 피하기 위해 도 4～도 18에서는 생략되어 있다.

다음으로 상기 분단 장치(1)를 사용한 본 발명의 스크라이브 방법 및 그 후의 분단 방법에 대해서 설명한다.

앞서, 도 1 그리고 도 2에 나타내는 바와 같이, 스크라이브부(A)의 테이블(7) 상에 마더 기판(W)이 배치된다. 테이블(7)에 올려놓여질 때까지의 전(前) 공정에 대해서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 테이블(7) 자체에 X방향, Y방향으로 이동하기 위한 구동 기구(도 2의 볼 나사(9), 레일(8) 등)를 설치해 두고, 테이블(7)을 X방향이나 Y방향으로 이동시킴으로써 마더 기판을 본 발명에 의한 스크라이브 가공이나 분단 가공을 시작하기 위한 원점 위치로 이동시켜도 좋다.

도 1에 있어서, 마더 기판(W)에 2점 쇄선으로 그려져 있는 가상선은, 앞으로 절출하려고 하는 단책 형상 기판 및 그에 포함되는 단위 제품의 스크라이브 예정 라인을 나타내는 것이며, W1은 최종적으로 스크라이브 예정 라인으로부터 분단하여 취출되는 단위 제품의 영역을 나타낸다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 마더 기판(W)을 스크라이브 헤드(4)의 하방까지 이동시키고, 우단(右端)에 있는 1개의 스크라이브 헤드(4)의 커터 휠을 마더 기판(W)의 하변(도 2에 있어서의 마더 기판(W)의 바로 앞측의 변)의 근방에서 가로 방향(X방향)으로 연장되는 제1 스크라이브 예정 라인(L1) 상(도 1 참조)을 따라서 눌러대면서 전동시켜 스크라이브한다. 이에 따라, 마더 기판(W)의 하변 부분의 단재 영역(13)을 구분하는 가로 방향의 제1 스크라이브 라인(S1)을 가공한다.

이후, 도 5에서 나타내는 바와 같이, 이 단재 영역(13)을 제1 스크라이브 라인(S1)으로부터 제1 브레이크부(B)(도 5에서는 생략되기 때문에 도 1 참조)로 분단하여, 단재 영역(13)을 외부에 파기한다. 이때 로봇 아암 등으로 잡아 파기해도 좋고, 압축 에어에 의한 블로우로 제거해도 좋다.

이어서, 모든 스크라이브 헤드(4)의 커터 휠의 전동 방향을 Y방향으로 전환한 후, 도 6 그리고 도 7에 나타내는 바와 같이, 4개의 모든 스크라이브 헤드(4)를 사용하여, 마더 기판(W)의 이미 분단된 하변에서, 분단 후에는 단책 형상 기판(Wa)의 긴 길이 방향을 따른 한쪽의 변(상변)을 형성하게 되는 가로 방향의 제2 스크라이브 예정 라인(L2)까지, 세로 방향(Y방향)으로 동시에 스크라이브한다. 이때 커터 휠(4)은 정지하고, 테이블(7)의 Y방향 반송 롤러에 의해 마더 기판(W)을 Y방향으로 이동함으로써 스크라이브가 행해진다. 이에 따라, 단위 제품의 실질적인 우변을 형성하는 세로 방향의 제2 스크라이브 라인(S2)을 가공한다.

이어서, 도 8 그리고 도 9에 나타내는 바와 같이, 동일한 방법으로, 4개의 스크라이브 헤드(4)로 마더 기판(W)의 하변에서 제2 가로 스크라이브 예정 라인(L2)까지 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 단위 제품의 실질적인 좌변을 형성하는 세로 방향의 제3 스크라이브 라인(S3)을 가공한다. 또한, 제2 스크라이브 라인(S2)과 제3 스크라이브 라인(S3)은 역순으로 가공해도 좋다.

이어서, 도 10에 나타내는 바와 같이, 제2 가로 스크라이브 예정 라인(L2) 상(도 9 참조)을 따라서, 우단에 있는 스크라이브 헤드(4)의 커터 휠을 X방향으로 이동시켜 스크라이브함으로써 가로 방향의 제4 스크라이브 라인(S4)을 형성한다.

이후, 도 11에 나타내는 바와 같이, 테이블(7)의 Y방향 반송 롤러 및 반송부(D)의 Y방향 반송 롤러에 의해 마더 기판(W)을 Y방향으로 이동하고, 제4 스크라이브 라인(S4)의 이면측으로부터 마더 기판(W)을 제1 브레이크부(B)(도 1 참조)로 X방향으로 분단함으로써, 맨 처음의 단책 형상 기판(Wa)이 완전 분단되어 절출된다.

절출된 단책 형상 기판(Wa)은, 세로 방향(Y방향)의 스크라이브 라인(S2, S3)에 의해 구분된 4개의 단위 제품(W1)이 긴 길이 방향을 따라서 일렬로 배열된 장방형의 형상을 구비하며, 그 긴 길이 방향을 X방향을 향한 자세로 절출된다.

절출된 단책 형상 기판(Wa)은, 그 긴 길이 방향을 X방향을 향한 자세인 채로, 반송부(D)의 Y방향 반송 롤러에 의해, 기판의 긴 길이 방향과 직교하는 방향(－Y방향)으로 반송부(D)의 소정의 정위치까지 반송된다. 반송부(D)의 정위치로 이송된 단책 형상 기판(Wa)은, 계속해서, 그 긴 길이 방향을 X방향을 향한 자세를 유지한 채 X방향으로 반송되고, 제2 스크라이브부(C)까지 반송되어 단위 제품(W1)으로 순차 분단된다.

또한, 맨 처음의 단책 형상 기판(Wa)이 절출된 후, 전술한 순서와 동일한 순서를 거쳐, 마더 기판(W)으로부터 다음의 단책 형상 기판(Wa)이 분단된다. 즉, 맨 처음의 단책 형상 기판(Wa)이 절출된 후, 도 11에 나타내는 바와 같이, 우단에 있는 스크라이브 헤드(4)의 커터 휠을, 제3 가로 스크라이브 예정 라인(L3) 상(도 1 참조)을 따라서 스크라이브함으로써 가로 방향의 제5 스크라이브 라인(S5)을 가공한다. 이후, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제5 스크라이브 라인(S5)으로부터 단재 영역(14)을 분단하여 외부에 파기한다.

또한, 제3 가로 스크라이브 예정 라인(L3)과, 하나 전에 가공한 단책 형상 기판(Wa)에 있어서의 제2 가로 스크라이브 예정 라인(L2)을 일치시킴으로써 단재 영역(14)을 형성하지 않게 해도 좋다. 그 경우, 제5 스크라이브 라인(S5)은 이미 형성되어 있게 된다.

이어서, 도 13 그리고 도 14에 나타내는 바와 같이, 4개의 모든 스크라이브 헤드(4)를 사용하여, 마더 기판(W)의 이미 분단된 하변에서 제4 가로 스크라이브 예정 라인(L4)까지 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 단위 제품(W1)의 실질적인 우변을 형성하는 세로 방향의 제6 스크라이브 라인(S6)을 형성한다.

이어서, 도 15 그리고 도 16에 나타내는 바와 같이, 4개의 스크라이브 헤드(4)로 마더 기판(W)의 이미 분단된 하변에서 제4 가로 스크라이브 예정 라인(L4)까지 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 단위 제품의 실질적인 좌변을 형성하는 제7 스크라이브 라인(S7)을 가공한다.

이 경우도, 제6 스크라이브 라인(S6)과 제7 스크라이브 라인(S7)은 역순으로 형성해도 좋다.

이후, 도 17에 나타내는 바와 같이, 제4 가로 스크라이브 예정 라인(L4)(도 1 참조)을 따라서, 우단에 있는 스크라이브 헤드(4)의 커터 휠을 스크라이브함으로써 가로 방향의 제8 스크라이브 라인(S8)을 형성한다.

이어서, 도 18에 나타내는 바와 같이, 상기 제8 스크라이브 라인으로부터 마더 기판(W)을 제1 브레이크부(B)(도 1 참조)로 분단함으로써 다음의 단책 형상 기판(Wa)이 완전 분단되어, 절출된다.

상기의 순서를 거쳐 얻어진 단책 형상 기판(Wa)에서는, 각 단위 제품(W1)을 구분하는 세로 방향의 제2, 제3 스크라이브 라인(S2, S3)(또는 제6, 제7 스크라이브 라인(S6, S7)이, 가로 방향의 제1 및 제4 스크라이브 라인(S1, S4)(또는 제5, 제8 스크라이브 라인(S5, S8))의 사이에서 형성되어 있기 때문에, 가로 방향의 스크라이브 라인을 뛰어넘어 교차함으로써 형성되는 교점이 존재하지 않게 된다. 이에 따라, 전술한 교점에서의 「이빠짐」이나 「쪼개짐」의 발생을 현저하게 억제할 수 있음과 함께, 「교점 건너뜀」의 현상도 없앨 수 있다.

또한, 마더 기판(W)으로부터 절출된 단책 형상 기판(Wa)이 방향을 바꾸는 일 없이, 그 자세를 유지한 채 ―Y방향으로 반송되고, 계속해서 반송부(D)에 의해 제2 브레이크부(C)를 향하여 X방향으로 반송되어 단위 제품(W1)으로 순차 분단되기 때문에, 직선 운동만의 반송이 행해진다. 종래와 같이 단책 형상 기판을 90도 회전시키기 위한 회전 기구(턴테이블)를 생략할 수 있고, 이에 따라 설비 비용의 저감을 도모할 수 있음과 함꼐, 제조 라인의 콤팩트화를 도모할 수 있다. 또한 단책 형상 기판의 회전에 수반하는 각도의 미조정 작업도 필요없게 된다.

상기 실시예에 있어서, 마더 기판(W)을 Y방향으로 이동시켜 세로 방향의 스크라이브 라인을 가공했지만, 반대로 스크라이브 헤드(4)를 지지하는 횡량(3)이나 지주(2)를 이동할 수 있도록 하여 스크라이브하도록 해도 좋다. 또한, 가로 방향의 스크라이브 라인은 우단의 1개의 커터 휠로 가공했지만, 다른 커터 휠을 사용하여 가공하도록 해도 좋다.

상기 실시예에 있어서, 단책 형상 기판(Wa) 중의 단위 제품(W1)과 동수의 스크라이브 헤드(4)를 준비했지만, 생산 속도를 문제시하지 않으면, 스크라이브 헤드를 하나만으로 하고, 세로 방향의 스크라이브 라인을 하나하나 형성하도록 해도 좋다.

그리고 본 실시예의 분단 방법에서는, 마더 기판으로부터 스크라이브 라인에 의해 구분된 복수의 단위 제품이 긴 길이 방향을 따라서 일렬로 배열된 단책 형상 기판을 제1 브레이크부에 의해 절출하고, 이 절출된 단책 형상 기판의 방향을 바꾸는 일 없이 그 자세를 유지한 채 기판의 긴 길이 방향을 따라서 반송부에 의해 제2 브레이크부로 반송하여 상기 스크라이브 라인으로부터 순차 분단함으로써, 단위 제품을 절출하도록 했다.

　이와 같이 함으로써, 마더 기판으로부터 절출된 단책 형상 기판이 그 자세를 유지한 채, 회전되는 일 없이 기판의 긴 길이 방향을 따라서 브레이크부까지 반송되어 단위 제품으로 분단되는 것이기 때문에, 종래와 같이 단책 형상 기판을 90도 회전시키기 위한 기구를 생략할 수 있고, 이에 따라 설비 비용의 저감을 도모할 수 있음과 함께, 제조 라인의 콤팩트화를 도모할 수 있다는 효과도 있다.

이상 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시 형태로 특정되는 것은 아니다. 그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.

본 발명의 분단 방법은, 유리 기판 등의 취성 재료로 이루어지는 마더 기판으로부터, 단책 형상 기판을 형성하고, 또한 단위 제품으로 분단하는 분단 방법에 이용된다.

A : 스크라이브부
B : 제1 브레이크부
C : 제2 브레이크부
D : 반송부
L1 : 제1 가로 스크라이브 예정 라인
L2 : 제2 가로 스크라이브 예정 라인
L3 : 제3 가로 스크라이브 예정 라인
L4 : 제4 가로 스크라이브 예정 라인
S1 : 제1 스크라이브 라인
S2 : 제2 스크라이브 라인
S3 : 제3 스크라이브 라인
S4 : 제4 스크라이브 라인
W : 마더 기판
Wa : 단책 형상 기판
W1 : 단위 제품
1 : 분단 장치
4 : 스크라이브 헤드
6 : 커터 휠
7 : 테이블
13, 14 : 단재 영역

Claims

커터 휠에 의한 마더 기판의 스크라이브 방법으로서,
마더 기판의 제1 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 스크라이브함으로써, 이로부터 절출하는 단책(短冊) 형상 기판의 하변을 구분하는 가로 방향의 제1 스크라이브 라인을 형성하는 공정,
이어서, 상기 제1 스크라이브 라인과 평행하며 상기 단책 형상 기판의 상변을 이루는 위치에 설정되는 제2 가로 스크라이브 예정 라인까지, 상기 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동일한 수만큼 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 상기 단위 제품의 실질적인 우변을 각각 형성하는 세로 방향의 제2 스크라이브 라인, 및, 상기 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동일한 수만큼 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 상기 단위 제품의 실질적인 좌변을 각각 형성하는 세로 방향의 제3 스크라이브 라인을 형성하는 공정,
이어서, 상기 제2 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 스크라이브함으로써, 상기 단책 형상 기판의 상변을 구분하는 가로 방향의 제4 스크라이브 라인을 형성하는 공정으로 이루어지는 마더 기판의 스크라이브 방법.
제1항에 있어서,
상기 세로 방향의 제2 스크라이브 라인, 및, 상기 세로 방향의 제3 스크라이브 라인은, 상기 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동(同)수의 커터 휠을 사용하여, 제2 스크라이브 라인끼리, 제3 스크라이브 라인끼리를 동시에 스크라이브하는 마더 기판의 스크라이브 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 가로 방향의 제1 스크라이브 라인을 형성하는 공정과 제4 스크라이브 라인을 형성하는 공정에서는, 상기 마더 기판을 고정하고 상기 커터 휠을 가로 방향으로 이동함으로써 가공하고,
상기 세로 방향의 제2 스크라이브 라인과 제3 스크라이브 라인을 형성하는 공정에서는, 상기 커터 휠을 고정하고, 상기 마더 기판을 이동함으로써 가공하는 마더 기판의 스크라이브 방법.
커터 휠을 마더 기판의 제1 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 스크라이브함으로써, 마더 기판의 하변 부분의 단재(端材) 영역을 구분하는 가로 방향의 제1 스크라이브 라인을 형성하고,
이어서, 이 단재 영역을 제1 스크라이브 라인으로부터 제1 브레이크부에 의해 분단하여 단재 영역을 파기하고,
이어서, 형성해야 할 단책 형상 기판 중의 단위 제품의 수와 동일한 수의 커터 휠을 사용하여, 마더 기판의 분단된 하변에서 이것과 평행한 제2 가로 스크라이브 예정 라인까지 세로 방향으로 스크라이브함으로써, 단위 제품의 실질적인 우변을 형성하는 세로 방향의 제2 스크라이브 라인과, 좌변을 형성하는 제3 스크라이브 라인을 형성하고,
이어서, 상기 제2 가로 스크라이브 예정 라인을 따라서 커터 휠을 스크라이브함으로써 가로 방향의 제4 스크라이브 라인을 형성하고,
이어서, 제4 스크라이브 라인으로부터 제1 브레이크부에 의해 마더 기판을 분단함으로써, 세로 방향의 스크라이브 라인에 의해 구분된 복수의 단위 제품이 긴 길이 방향을 따라서 일렬로 배열된 단책 형상 기판을 절출하고,
이 절출된 단책 형상 기판을 그 자세를 유지한 채 기판의 긴 길이 방향을 따라서 반송부에 의해 제2 브레이크부로 반송하여 세로 방향의 스크라이브 라인으로부터 순차 분단함으로써 단위 제품을 절출하는 것을 특징으로 하는 마더 기판의 분단 방법.
제4항에 있어서,
상기 단책 형상 기판을 제1 브레이크부로 절출하는 가공까지는 당해 단책 형상 기판의 긴 길이 방향과 직교하는 방향으로 반송하도록 하여 가공을 행하고,
상기 절출된 단책 형상 기판을 제2 브레이크부로 단책 형상 기판으로부터 단위 제품으로 분단하는 가공은, 상기 단책 형상 기판의 긴 길이 방향과 동일한 방향으로 반송하도록 하여 가공을 행하는 마더 기판의 분단 방법.