JP4256724B2 - 脆性材料基板のスクライブ方法及びその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する利用分野】
本発明は、フラットパネルディスプレイ(以下、FPDという)に使用されるガラス基板、或いは半導体ウエハやセラミックスといった各種脆性材料基板の分断に際し、脆性材料基板の表面に相互に交差する複数本のスクライブラインを形成する脆性材料基板のスクライブ方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
FPD関連の商品として、液晶表示パネル、液晶プロジェクター基板、有機エレクトロルミネセエンス素子などが、画像及び文字を含む情報の表示手段として使用されている。そうしたFPDのうち、例えば、一対のガラス基板を貼り合わせて形成される液晶表示パネルは、その製造過程において、それぞれが大寸法の一対のマザーガラス同士が相互に貼り合わされた後に、所定の大きさになるように分断される。このマザーガラス基板の分断には、次のようなスクライブ方法及び装置が用いられる。
【0003】
まず、マザーガラス基板の表面に対してカッターホイール(基板圧子)に荷重をかけて一方向に走行させる。走行開始位置を順次ずらせながらこの作業を所定回数繰り返し、これによって互いに並行する第1の方向のスクライブラインを複数本形成する。次にカッターホイールの走行方向を、それまでの第1の方向と交差する方向に変え、第2の方向のスクライブラインを複数本形成する。
【0004】
このようなクロススクライブ作業を行った後、マザーガラス基板をブレークマシンにセットする。そこで該基板に対してスクライブラインを中心軸として所定の曲げ応力を印加することにより、スクライブラインに沿ってマザーガラス基板を分断する。
【0005】
このような脆性材料基板のクロススクライブを行うためのスクライブ装置に好適なカッターホイールとして、本願出願人は、先に、刃先稜線に微細な切り欠きを等間隔で設けることで突起を形成してなる「ガラスカッターホイール」(特許文献1参照)を開発した。
【0006】
図8に示すカッターホイール8(8A)は、脆性材料基板の表面に短周期の打点衝撃を与える基板圧子である。図8(a)は回転軸方向から見たカッターホイール8の外観図であり、図8(b)は回転軸と直角な方向から見たカッターホイール8の外観図である。また図8(c)は刃先稜線部Aの拡大図である。ここでは、カッターホイールの刃先稜線10に、拡大図に示すようにU字形状の溝11を切り欠くことで、高さhの突起12(圧子)をピッチPの間隔で得ている。
【0007】
ここで例示したカッターホイール8Aは、ホイール径φが2.5mm、ホイール厚wが0.65mm、刃先角度2θが125°、突起数が125個、突起の高さhが5μm、ピッチpが63μmである。
【0008】
図9〜図11は他のカッターホイールの円周部分を示す拡大図である。図9のカッターホイール8Bは、上記のカッターホイール8Aとは異なる形状の突起121を有している。ここでは刃先稜線101にV字形状の溝111を切り欠くことで突起121が形成されている。
【0009】
図10に示すカッターホイール8Cは、カッターホイール8A、8Bと更に異なる形状の突起122を有している。ここでは刃先稜線102に鋸形状の溝112を切り欠くことで突起122が形成されている。
【0010】
図11に示すカッターホイール8Dは、上記のカッターホイールとは異なる形状の突起123を有している。ここでは刃先稜線103に矩形の溝113を切り欠くことで突起123が形成されている。
【0011】
このような突起を有するカッターホイール8を採用したスクライブ装置にあっては、スクライブ時の残留応力の発生を抑えるとともに、ブレーク後、ガラス分断面に不用な欠け(水平クラック)の発生を増大させることなく、ガラス基板を厚み方向に貫通するような高浸透の垂直クラックを得ることができる。
【0012】
刃先稜線に凹凸などの加工が何ら施されていないカッターホイールを採用したスクライブ装置を用いて脆性材料基板のスクライブを行うと、交点飛びと呼ばれる現象が発生する。最初に形成されたスクライブライン(垂直クラックのライン)の両側には応力が残存している。新たにカッターホイールがこの応力の残存箇所を交差すると、脆性材料基板に新たな垂直クラックを生成させるためのカッターホイールの押圧力が削がれてしまう。このために、後から形成されるべきスクライブラインが形成されなくなってしまう。この現象を交点飛びという。しかし、突起を有するカッターホイール8を備えたスクライブ装置によりスクライブを行った場合、その突起により脆性材料基板に打点衝撃が加えられ、上述の応力が残存している箇所をカッターホイール8が通過するときに、そのカッターホイール8の押圧力が削がれにくくなる。このため突起を有するカッターホイール8では、上述の交点飛び現象は発生しなくなり、また高浸透の垂直クラックが得られる。このことから、スクライブ後のブレークマシンによる分断作業が何ら支障なく行えるといった利点があった。
【0013】
【特許文献1】
特許第3074143号公報
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記特許文献1のカッターホイール8を採用したスクライブ装置にあっては、脆性材料基板にスクライブラインを一方向にのみ形成するときは何ら問題ないが、図12のようなクロススクライブを行う場合、スクライブライン同士(L1〜L3とL4〜L7)の交点Sにおいて、当業界において「カケ」、「コジリ」、「ソゲ」と呼ばれる不良が発生することがあった。
【0015】
カケとは、図13に示すように、カッターホイール8が脆性材料基板90に圧接転動している側の基板が図中の矢印で示されるように沈み込み、既設のスクライブラインL1〜L3にさしかかったところで、半分断状態にある反対側の基板に乗り上げるときに発生する現象である。こうして生じる欠陥をカケαという。
【0016】
また、コジリとは、図14に示すように、カッターホイール8が脆性材料基板90に圧接転動して、既設のスクライブラインL1〜L3にさしかかる手前で、半分断状態にある基板同士が競り合って、それぞれの端面部に生じる微細なカケであり、これをコジリβという。
【0017】
ソゲとは、図15に示すように、カッターホイール8が脆性材料基板90に圧接転動して、既設のスクライブラインL1〜L3の何れかにさしかかろうとするときに発生する現象である。即ち半分断状態、即ち垂直クラックKが脆性材料基板90の厚みの約90%まで達している状態のスクライブラインL1〜L3が、脆性材料基板90の裏面近傍で斜め方向に分断される。この不具合をソゲγという。上記したような各種の不良はいずれも、製品の品質を損ねるものであり、FPD基板の製造歩留りを低下させる原因となっていた。
【0018】
そこで、本願の発明者等は、特許文献1に開示したカッターホイールで脆性材料基板90に対してスクライブを行った場合、これによって生じる特有の現象について更なる考察を行った。
【0019】
カッターホイール8によって脆性材料基板に垂直クラックが発生するメカニズムを、図16及び図17に基づいて検討してみる。図16に示すように、まずスクライブ過程において、カッターホイール8の刃先に荷重が作用することで、刃先と当接している脆性材料基板90の表面に弾性変形が生じ、ついで、刃先荷重の増大に伴って上記箇所に塑性変形が発生する。さらに刃先荷重が増大すると、塑性変形の限界点を超えることになり、その結果、脆性破壊が発生し、図17(イ)に示す状態から脆性材料基板の厚み方向に垂直クラックが成長し始め、図17(ロ)に示す状態となる。この垂直クラックの成長は、垂直クラックの先端が、刃先荷重の大きさや、脆性材料基板の材質や厚みなどの応じた深度に達した時点で終息する。この状態を図17(ハ)に示す。
【0020】
上記のカッターホイール8により脆性材料基板をスクライブした場合、スクライブ開始直後、カッターホイール8の刃先稜線に形成された突起によって、カッターホイール8自体が脆性材料基板上をスリップせず、深い垂直クラックがスクライブ方向とは逆方向にも進展していくことが確認できた。図17(イ)〜(ヘ)はカッターホイールの進行方向から見た基板の断面図である。図17(ニ)〜(ヘ)及び及び図18に示すように、深い垂直クラックが分断ラインに沿って形成されていることが判る。図中の矢印で示すように、カッターホイール8に刃先荷重が加えられた状態でスクライブが開始され、図17(イ)〜(ハ)に示すように負荷過程に入ったカッターホイール8は、上述したように刃先稜線の突起によって脆性材料基板90上をスリップしないことから、カッターホイール8の回転移動(転動)に伴い脆性材料基板90に垂直クラックKが生成されていく。このスクライブ開始直後に生成される高浸透の垂直クラックKが、除荷過程でもスクライブ方向とは逆方向にも進展して形成される。
【0021】
また、打点衝撃により脆性材料基板内に垂直クラックがスクライブ方向へ進展するエネルギーが蓄積され、スクライブ停止後も垂直クラックの先端がさらに該停止位置よりも先に向かって伸長する。その結果、高浸透の垂直クラックがスクライブ方向へ進展していくように形成される。
【0022】
カッターホイール8を用いて脆性材料基板に対してクロススクライブを行う場合、脆性材料基板における第1の方向にスクライブラインを形成する際に、カッターホイール8に加える荷重をP1とし、第1の方向のスクライブラインと交差する第2の方向のスクライブラインを形成する際に、カッターホイール8に加える荷重をP2とする。荷重P1とP2とを同一にすると、図12のスクライブラインの交点Sで、前述したようなカケやコジリ、ソゲといった不具合が生じることが判った。
【0023】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、相互に交差するスクライブラインを、前述のようなスクライブラインの交点に発生しがちな不具合を招くことなく、液晶マザーガラス基板のような脆性材料基板をクロススクライブできる脆性材料基板のスクライブ方法及び脆性材料基板のスクライブ装置を実現することを目的とする。
【0024】
【課題を解決するための手段】
本願の請求項1の発明は、脆性材料基板の第1の分断予定ライン、及び前記第1の分断予定ラインと交差する前記脆性材料基板の第2の分断予定ラインに沿って、基板圧子を用いて複数のスクライブラインを形成する脆性材料基板のスクライブ方法において、前記スクライブラインの交点となる位置付近に、前記基板圧子の荷重を緩和させる島状の保護膜を形成し、前記脆性材料基板の第1の分断予定ライン及び第2の分断予定ラインに沿って前記基板圧子により短周期の打点衝撃を与えることで、前記脆性材料基板に前記スクライブラインを形成することを特徴とする。
【0025】
本願の請求項2の発明は、脆性材料基板の第1の分断予定ライン、及び前記第1の分断予定ラインと交差する前記脆性材料基板の第2の分断予定ラインに沿って、基板圧子を用いて複数のスクライブラインを形成する脆性材料基板のスクライブ装置において、前記スクライブラインの交点となる位置付近に、前記基板圧子の荷重を緩和させる島状の保護膜を形成する保護膜形成手段を具備することを特徴とする。
【0026】
本願の請求項3の発明は、請求項1の脆性材料基板のスクライブ方法において、前記保護膜は、熱硬化型のペーストを用いて成膜されることを特徴とする。
【0027】
本願の請求項4の発明は、請求項1の脆性材料基板のスクライブ方法において、前記保護膜は、紫外線硬化型のペーストを用いて成膜されることを特徴とする。
【0028】
本願の請求項5の発明は、請求項1の脆性材料基板のスクライブ方法において、前記保護膜は、フィルムを用いて塗膜されることを特徴とする。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態における脆性材料基板のスクライブ方法及び装置について、図面を参照して説明する。
【0030】
図1は、本発明の実施の形態におけるスクライブ装置を示す概略斜視図である。このスクライブ装置1は、移動体5、塗布部21、乾燥部22、及びスクライブ部23を含んで構成される。移動体5は、一対の案内レール3a、3bに沿って、ボ−ルネジ4とモータ6の駆動によりy軸方向に駆動され、所定位置で位置決めされる。脆性基板材料90は、テーブル2上で位置決めユニット(図示せず)により位置決めされ、保持される。テーブル2に保持された脆性基板材料90は、塗布部21、乾燥部22、スクライブ部22の順に各部で夫々の処理がなされ、移動することによりスクライブが完了する。
【0031】
脆性材料基板90はスクライブ装置1の塗布部21でテーブル2に載置され、例えば真空吸引手段により保持される。ボールネジ4はモータ6の駆動により回転し、案内レール3a,3bに沿って移動体5を定位置に移動させる。移動体5の上面にはモータ7が設けられ、モータ7はテーブル2をxy平面で回転させて所定位置で位置決めする。ガイドバー9はテーブル2の上方に支柱19a、19bによりx方向に架設されている。移動ベース16は、ガイドバー9に設けられたガイド13に沿ってx方向に摺動可能になっている。モータ14は移動ベース16を摺動させる駆動源である。脆性材料基板90の所定の位置に保護膜の成膜材料としてペースト等を塗布するために、ディスペンサー18が保持部材17に保持されている。この保持部材17は、脆性材料基板90とペーストが吐出される吐出口18aとの距離を調節するために、ガイド15に沿って図示しないモータ等により上下にスライドできるようになっている。CCDカメラ36は、テーブル2の上方に設置され、テーブル2上の脆性材料基板90に刻印されたアラインメントマークを撮影する。撮像されたアライメントマーク等の位置データが処理されてモータ6及びモータ7は、スクライブ予定ラインがx方向と一致するようにテーブル2をy方向に位置決めすると共に、テーブル2をxy平面で回転移動させる。こうしてテーブル2が定位置で保持される。ここで塗布部21は、脆性材料基板のスクライブラインの交点となる位置に、基板圧子の荷重応力を緩和する島状の保護膜を形成する保護膜形成手段の機能を達成している。
【0032】
塗布部21において、ディスペンサー18によって脆性材料基板90の所定の位置にペースト等が塗布されると、テーブル2上に保持された脆性材料基板90は更にy方向に移動する。塗料やペースト等が塗布された脆性材料基板90は、乾燥条件に合わせたスピードで乾燥部22に設けられた赤外線乾燥装置25の下方を通過する。こうして塗膜材料が乾燥し、保護膜が形成される。
【0033】
乾燥部22を通過し、脆性材料基板90を保持したテーブル2は、スクライブ部23のアライメント位置で停止する。そして、テーブル2の上方に設置されたCCDカメラ37は、脆性材料基板90に刻印されたアラインメントマークを再び撮影する。図示しないテーブル位置決め制御手段はモータ6及びモータ7を駆動させることにより、脆性材料基板90のスクライブ予定ラインと、カッターホイール8により形成されるスクライブラインとが一致するようにテーブル2をy方向に移動し、且つxy平面上でテーブル2を回転させる。
【0034】
スクライブ部23において、ガイドバー31はx軸方向に沿ってテーブル2の上方に支柱39a、39bにより架設されている。スクライブヘッド33はガイドバー31に設けられたガイド32に沿ってx軸方向に摺動可能となっている。モータ35はスクライブヘッド33をx軸方向に摺動させる駆動源である。チップホルダ34はスクライブヘッド33の下部に昇降動可能、且つ首振り自在に設けられている。カッターホイール8はチップホルダ34の下端に回転自在に装着され、塗布部21及び乾燥部22を経て保護膜が形成された脆性材料基板90に対してスクライブラインを形成する。
【0035】
また、上述した第1及び第2のスクライブラインを形成する際、スクライブヘッド33の(x―y)平面内における位置決め、及び摺動動作及びチップホルダ34の昇降動作を制御するソフトウェアも機械制御手段として設けられている。
【0036】
なお、上記したスクライブ装置1は一例であって、ディスペンサー18とスクライブヘッド33が固定され、テーブル2がx及びy軸方向に移動するタイプや、テーブル2が固定され、ディスペンサー18とスクライブヘッド34がx及びy軸方向に移動するタイプのものであってもよい。
【0037】
また、上述のスクライブ装置1では塗布部21の保護膜形成手段としてディスペンサー18を用いた例を示したが、スクリーン印刷等のような印刷技術を用いた膜形成手段であってもよい。また紫外線硬化型のペーストを用いて成膜してもよい。この場合図1に示す乾燥部22が、紫外線照射部に置き換わる。
【0038】
次に前述したスクライブ装置1のテーブル2に載置する脆性材料基板90が液晶マザーガラス基板90Aであって、例えば、液晶マザーガラス基板90Aから複数の液晶ガラス基板に分断する場合のスクライブ工程について説明する。図2は、液晶マザーガラス基板のスクライブ予定ラインが交差する交点付近に、予め、カッターホイール8による液晶マザーガラス基板90Aに対する押圧力(荷重)緩和用の保護膜Qを形成した液晶マザーガラス基板90Aの平面図である。この液晶マザーガラス基板90Aからは、4枚の液晶ガラス基板が分断される。y軸と平行なスクライブラインL1,L2,L3を第1のスクライブラインとする。またx軸と平行なスクライブラインL4,L5,L6を第2のスクライブラインとする。これらの第1及び第2のスクライブラインの交点をSとする。そして、各スクライブラインL1〜L6が形成される前に、予め各交点Sの中心付近に島状の保護膜Qを設ける。
【0039】
保護膜Qの形状は、図3に示すように交点Sを中心とし、直径が2mm程度の円形とする。好ましくは、中心からx軸方向の径rxは1mm以内とし、y軸方向の径ryも1mm以内とする。保護膜Qは後述するUV硬化型の樹脂材料であるペーストや、前述した熱硬化型のペーストを用いてディスペンサ又はスクリーンにより印刷又は成膜される。塗布時のペーストは溶剤を含むので、粘性が低く、硬度が低い。UV硬化型のペーストの場合、所定形状に印刷されたのち、紫外線照射による架橋反応により硬化する。加熱硬化型のペーストの場合、加熱乾燥により溶剤が揮発して硬化する。
【0040】
市場で容易に供されるペーストとして、導電性ペーストがある。ポリアミドイミド(PAI)をバインダーに用いたものは、フィラーとして銀又はカーボンが含まれる。塗布時の粘度は80〜500dPa・sである。成膜後の物性の1つとして、表面硬度(鉛筆硬度)3H〜4Hが得られる。このときの膜厚は7μm程度である。
【0041】
また市場で容易に供されるUV硬化型の樹脂材料であるペーストとして、ソルダーレジストや絶縁オーバコートがある。この材料は電気絶縁性を有し、塗布時の粘性は50〜300dPa・s程度である。硬化後の表面硬度(鉛筆硬度)として、2B〜Hが得られる。このときの膜厚は7μm程度である。このような材料以外に、ファインパターン用のエッチングレジストがある。また所定形状にカッティングされたフィルムを基板に貼りつけることでも、後述する保護膜の機能が得られる。いずれの材料を用いた保護膜Qであっても、基板のスクライブ、及び分断後は専用の溶剤によって除去してもよいし、そのまま放置してもよい。何故なら分断した基板を液晶パネルとして利用する場合、交点Sはパネルのコーナになり、電極やタブのパターンから離れた位置となるからである。
【0042】
なお、保護膜のパターンは、図4に示すように、第1のスクライブラインL1〜L3と、第2のスクライブラインL4〜L7との交点S付近のみならず、液晶パネルとしての有効領域Tにも塗布させるパターンであってもよい。この場合、スクライブ工程とブレーク工程とを備える分断工程が完了した段階で、領域Tの保護膜を除去する必要がある。このようなパターンによれば、脆性材料基板の分断工程において発生するカレット(材料の粉を含む)等によって、脆性材料基板の表裏面に傷が付くことを防止することができる。また、分断工程内の脆性材料基板の搬送において、基板の強度を維持させることができるため、基板を損傷させずに安定した基板の搬送を実現させることができる。
【0043】
このような保護膜Qを設けた1.1mm厚の脆性材料基板90に対してカッターホイール8を押圧し、刃先荷重0.35N、スクライブ速度300mm/secの条件でスクライブしたときの脆性材料基板90の断面を図5に示す。脆性材料基板90の上面に存在する圧痕は、カッターホイール8を脆性材料基板の上面を圧接転動させたときに生じたものであり、これをスクライブラインLと称している。このスクライブラインLは紙面に対し垂直方向に延在する。このスクライブラインLのスクライブと同時に、スクライブラインLから直下方向に延びる垂直クラックKが発生する。この垂直クラックKは実測例で962μmであり、脆性材料基板90の厚み(1.1mm)に近い深さまで浸透している。
【0044】
図6は、スクライブ予定ラインが交差する交点付近に保護膜が施されていない場合の脆性材料基板90に対して、y軸方向と平行な第1のスクライブラインを形成した後に、x方向と平行な第2のスクライブラインを形成したときの脆性材料基板における内部の状態を示す模式断面図である。本図において、x3の位置に第1のスクライブライン沿って垂直クラックK1が既に形成されている。この状態で、第1のスクライブラインと交差する方向に、所定の荷重をカッターホイール8に加えて、x1の位置、x3の位置及びx2の位置をカッターホイール8が脆性材料基板90上を転動して通過する。この場合、垂直クラックK1は垂直クラックK2の形成時におけるカッターホイール8の脆性材料基板90に対する押圧力により、脆性材料基板90の下面方向に伸展させられ、「ソゲ」γが発生する。また、カッターホイール8がx3の位置を通過するとき、前述の「カケ」「コジリ」の製品欠陥もしばしば発生する。
【0045】
また図7(a)は、カッターホイール8により脆性材料基板の所定距離を直線状にスクライブしたときに、垂直クラックが形成される範囲を示した脆性材料基板の内部の状態を示す模式断面図である。脆性材料基板90上のスクライブ開始位置x4からスクライブを開始させると、カッターホイール8の進行方向と逆方向のx4−Δxの位置まで垂直クラックが進展する。これは上述の図17及び図18で説明したメカニズムで生じる。また、x5のスクライブ終了位置までカッターホイール8を転動させてスクライブを終了させると、垂直クラックはx5+Δxの位置まで進展する。即ち、垂直クラックの形成範囲は、カッターホイール8のスクライブ範囲(転動範囲)x4〜x5よりも長く(x4−Δx)〜(x5+Δx)となる。
【0046】
図7(b)はスクライブ予定ラインが交差する交点付近に保護膜Qを脆性材料基板90の表面に設けた場合、カッターホイール8でクロススクライブしたとき、脆性材料基板90の内部の状態を示す模式断面図である。カッターホイール8は、クロススクライブ時に転動して移動中に、x6の位置で保護膜Qに乗り上げ、x7の位置で保護膜Qから脆性材料基板上を再度転動する。カッターホイール8が保護膜上(x6〜x7)を転動するときには、カッターホイール8の脆性材料基板に対する押圧力(荷重)が減少あるいは除去されるため、カッターホイール8により垂直クラックK2は生成されない。しかし、x6の位置までカッターホイール8でスクライブされたときの垂直クラックK2は、前述の説明のようにスクライブ方向へ進展する。x7の位置で再びカッターホイール8でスクライブを開始するとき、スクライブ方向とは逆方向に垂直クラックが進展する。このため、x6〜x7の間の位置で両方向から進展してきた垂直クラックは繋がる。
【0047】
このように、脆性材料基板のスクライブ予定ラインが交差する付近に保護膜Qを形成し、スクライブを行っても、垂直クラックは途切れることなく繋がる。このため、脆性材料基板はスクライブ工程後のブレーク工程において不都合なく分断させることができる。またスクライブラインの交点付近に保護膜が施され、カッターホイール8が保護膜上を転動するとき、カッターホイール8の脆性材料基板に対する押圧力(荷重)は減少又は除去されるため、前述の「カケ」、「コジリ」、「ソゲ」等の製品欠陥を発生させることなくスクライブすることが可能となる。
【0048】
このようなクロススクライブ時に生じる脆性材料基板の損傷を防止するために、前述した機械制御手段とそのソフトウェアを用いてチップホルダ7の摺動動作、及びチップホルダ7の昇降と荷重を制御する方法も考えられる。本発明はこのようなスクライブ装置のハードウェアとソウトウェアによって荷重制御を行うものではなく、保護膜をスクライブ加工前に成膜することにより、スクライブ中のカッターの基板に対する押圧力の低減あるいは除去を行うことを特徴とする。
【0049】
以上のように本実施の形態のスクライブ装置は、脆性材料基板のスクライブラインの交点付近の位置に、基板圧子の荷重(押圧力)を緩和する島状の保護膜を、スクリーン印刷又は他の塗布方法を用いて形成する保護膜形成手段を設け、脆性材料基板の第1の分断予定ライン及び第2の分断予定ラインに沿って基板圧子により短周期の打点衝撃を与えることで、脆性材料基板にスクライブラインを生成させるスクライブ手段とを設けている。なお、上記した実施の形態においては、スクライブ手段として、スクライブヘッド33、チップホルダ34、カッターホイール8等から構成されたものを例示したが、脆性材料基板90の表面に短周期の打点衝撃を与えうるものであれば、他の構成の基板圧子であってもよい。
【0050】
例えば、脆性材料基板90の表面に押圧した圧子に、振動アクチュエータの周期的伸縮に伴う振動を加えて、圧子に付与される押圧力(荷重)を周期的に変化させて、脆性材料基板90に打点衝撃を与えるようにしたものであってもよい。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、いわゆるソゲ、カケ、コジリといった不具合を招来することなく、相互に交差するスクライブラインを形成することができる。したがって脆性材料基板から構成されるFPDの製品の歩留りを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態におけるスクライブ装置の全体構成を示す概略斜視図である。
【図2】本実施の形態に用いられる脆性材料基板の保護膜の配置図(その1)である。
【図3】本実施の形態に用いられる脆性材料基板の保護膜の形状図である。
【図4】本実施の形態に用いられる脆性材料基板の保護膜の配置図(その2)である。
【図5】カッターホイールにより脆性材料基板をスクライブしたときに生じる垂直クラックを示す拡大断面図である。
【図6】カッターホイールの荷重を一定にした状態で、保護膜のない脆性材料基板をクロススクライブした状態を示す模式断面図である。
【図7】(a)カッターホイールでスクライブしたときに垂直クラックが生成される範囲を示した模式断面図である。
(b)本実施の形態におけるスクライブ装置を用いて、保護膜を有する脆性材料基板をスクライブした状態を示す模式断面図である。
【図8】本実施の形態において使用されるカッターホイール(その1)を示す図面である。
【図9】カッターホイール(その2)の要部拡大図である。
【図10】カッターホイール(その3)の要部拡大図である。
【図11】カッターホイール(その4)の要部拡大図である。
【図12】従来のスクライブ方法を説明するための脆性材料基板の平面図である。
【図13】従来のスクライブ方法により発生するカケを説明する図である。
【図14】従来のスクライブ方法により発生するコジリを説明する図である。
【図15】従来のスクライブ方法により発生するソゲを説明する図である。
【図16】垂直クラックの発生を説明する図(その1)である。
【図17】垂直クラックの発生を説明する図(その2)である。
【図18】垂直クラックの進展現象を説明する図である。
【符号の説明】
1 スクライブ装置
2 テーブル
4 ボールネジ
5 移動体
6,7,14,35 モータ
8 カッターホイール
18 ディスペンサー
21 塗布部
22 乾燥部
23 スクライブ部
25 赤外線乾燥装置
33 スクライブヘッド
34 チップホルダ
90 脆性材料基板
L スクライブライン
K、K1,K2 垂直クラック
P 荷重
Q 保護膜
S スクライブラインの交点
Claims (5)
- 脆性材料基板の第1の分断予定ライン、及び前記第1の分断予定ラインと交差する前記脆性材料基板の第2の分断予定ラインに沿って、基板圧子を用いて複数のスクライブラインを形成する脆性材料基板のスクライブ方法において、
前記スクライブラインの交点となる位置付近に、前記基板圧子の荷重を緩和させる島状の保護膜を形成し、
前記脆性材料基板の第1の分断予定ライン及び第2の分断予定ラインに沿って前記基板圧子により短周期の打点衝撃を与えることで、前記脆性材料基板に前記スクライブラインを形成することを特徴とする脆性材料基板のスクライブ方法。 - 脆性材料基板の第1の分断予定ライン、及び前記第1の分断予定ラインと交差する前記脆性材料基板の第2の分断予定ラインに沿って、基板圧子を用いて複数のスクライブラインを形成する脆性材料基板のスクライブ装置において、
前記スクライブラインの交点となる位置付近に、前記基板圧子の荷重を緩和させる島状の保護膜を形成する保護膜形成手段を具備することを特徴とする脆性材料基板のスクライブ装置。 - 前記保護膜は、熱硬化型のペーストを用いて成膜されることを特徴とする請求項1記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 前記保護膜は、紫外線硬化型のペーストを用いて成膜されることを特徴とする請求項1記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 前記保護膜は、フィルムを用いて塗膜されることを特徴とする請求項1記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
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