KR20130024738A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20130024738A
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후미히코 이케다
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다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
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Abstract

기판 반송을 효율적으로 행함으로써, 기판 처리의 스루풋을 향상시키는 기술을 제공한다.
기판(9)을 처리하는 기판 처리 장치(100)이다. 기판 처리 장치(100)는, 외부로부터 기판을 받아들이는 기판 수입부(1)와, 기판(9)에 처리액을 도포하는 도포부(2)와, 처리액이 도포된 기판(9)을 건조시키는 건조부(3)와, 기판(9)을 외부에 배출하는 기판 배출부(4)를 구비하고 있다. 또, 기판 처리 장치(100)는, 기판 수입부(1)에 있는 복수의 기판(9)을 동시에 도포부(2)에 반송하는 반송 기구(5)와, 도포부(2)에 있어서 처리액이 도포된 복수의 기판(9)을 동시에 건조부(3)로 반송하는 반송 기구(6)와, 건조부(3)에서 건조된 복수의 기판(9)을 동시에 기판 배출부(4)로 반송하는 반송 기구(7)를 구비하고 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
이 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
종래, 칼라 필터나 반도체 웨이퍼에 대해, 레지스트 등의 처리액을 도포 처리하는 기판 처리 장치가 알려져 있다.
이러한 기판 처리 장치에서는, 기판 처리의 스루풋을 향상시키기 위해서, 복수의 도포 장치 또는 복수의 건조 장치를 설치하는 것이 제안되어 있다(예를 들면 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2).
보다 구체적으로, 특허 문헌 1에서는, 처리액을 도포하는 복수의 회전계 유닛이 반송 장치의 반송 경로를 따라 나란히 설치되고, 또, 처리액이 도포된 기판을 건조시키는 복수의 열형 유닛이 다단으로 겹쳐 배치되는 기판 처리 장치가 개시되어 있다. 또 특허 문헌 2에서는, 일방향으로 연장되는 토출구를 가지는 도포액 토출 장치를 복수대 구비한 도포 장치가 개시되어 있다.
특허 문헌 1: 일본국 공개특허 2001-351852호 공보 특허 문헌 2: 일본국 공개특허 평10-216599호 공보
그런데, 종래의 기판 처리 장치에서는, 도포 장치 또는 건조 장치에 대한 각 처리부로의 기판의 반송이 1장씩 행해진다. 따라서, 동시에 복수의 기판을 각 처리부에 대해 반송할 수 없기 때문에, 기판 처리의 스루풋이 저하될 우려가 있었다.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 기판 반송을 효율적으로 행함으로써, 기판 처리의 스루풋을 향상시키는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 제1 양태는, 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서, 외부로부터 기판을 받아들이는 기판 수입부와, 상기 기판에 처리액을 도포하는 도포부와, 상기 기판 수입부에 있는 복수의 상기 기판을 동시에 상기 도포부에 반송하는 반송 기구를 포함하는 반송 계통을 구비한다.
또, 제2 양태는, 제1 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 도포부는, 상기 복수의 기판에 대해 동시에 처리액을 도포한다.
또, 제3 양태는, 제1 또는 제2 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 도포부에 있어서 상기 처리액이 도포된 기판을 건조시키는 건조부를 더 구비한다.
또, 제4 양태는, 제3 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 건조부는, 복수의 상기 기판을 동일 공간 내에 유지하는 챔버를 구비하고 있으며, 상기 챔버 내에 있어서, 상기 처리액이 도포된 복수의 상기 기판이 동시에 건조된다.
또, 제5 양태는, 제3 또는 제4 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 반송 계통은, 복수의 상기 기판을 동시에 상기 건조부로 반송하는 반송 기구를 더 포함한다.
또, 제6 양태는, 제1 내지 제5까지의 양태 중 어느 일양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 도포부는, 일방향으로 연장되는 슬릿 형상의 토출구로부터 처리액을 토출하는 슬릿 노즐과, 상기 슬릿 노즐을 상기 기판에 대해 상대적으로 이동시키는 상대 이동 기구를 구비한다.
또, 제7 양태는, 제6 양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 슬릿 노즐에는, 상기 토출구가 복수 형성되어 있으며, 상기 슬릿 노즐의 복수의 상기 토출구 사이에, 오목부가 형성되어 있다.
또, 제8 양태는, 제1 내지 제7까지의 양태 중 어느 일양태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 반송 계통은, 복수의 상기 기판의 상방을 이동하기 위한 이동 기구와, 복수의 상기 기판을 상방으로부터 접근하여 지지하는 기판 지지부를 가지는 반송 기구를 포함한다.
제1 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 복수의 기판을 동시에 도포부로 반입함으로써, 기판을 효율적으로 반송할 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치에 의한 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 제2 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 복수의 기판에 처리액을 동시에 도포함으로써, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 제3 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 처리액이 도포된 기판을 효율적으로 건조시킬 수 있다.
또, 제4 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 복수의 기판을 동시에 건조시킴으로써, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 제5 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 복수의 기판을 건조부로 반송할 수 있기 때문에, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 제6 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 슬릿 형상의 토출구로부터 처리액을 토출하면서 슬릿 노즐을 기판에 대해 이동시킴으로써, 효율적으로 기판에 처리액을 도포할 수 있다.
또, 제7 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 복수의 토출구가 형성되어 있는 슬릿 노즐을 이용함으로써, 한 번에 복수의 기판에 처리액을 도포할 수 있다. 또, 복수 형성되어 있는 토출구 사이에 오목부가 형성되어 있음으로써, 토출구 간에서 처리액이 연통하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 토출구 주변에 처리액이 머무는 것을 억제할 수 있음과 함께, 토출구 주변을 청정하게 유지할 수 있다.
또, 제8 양태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 반송 기구가 기판의 상방을 이동하기 때문에, 반송 기구가 장치 내에 차지하는 면적을 작게 할 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치가 차지하는 면적을 작게 할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 관련된 도포부를 (+X)측에서 보았을 때의 개략 정면도이다.
도 3은 제1 실시 형태에 관련된 슬릿 노즐의 하단측의 일부분을 나타낸 사시도이다.
도 4는 제1 실시 형태의 변형예에 관련된 도포부를 (+X)측에서 보았을 때의 개략 정면도이다.
도 5는 제1 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치에서의 기판 처리의 타임 차트를 나타낸 도이다.
도 6은 제2 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 7은 제2 실시 형태에 관련된 반송 기구의 개략 측면도이다.
도 8은 제2 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 변형예를 나타낸 개략 평면도이다.
도 9는 제3 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 10은 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 11은 제4 실시 형태에 관련된 기판 수입부의 2장의 기판을 반송하는 반송 셔틀(5C)의 개략 평면도이다.
도 12는 도 11에 나타낸 XII-XII선 단면도이다.
도 13은 제5 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 14는 제5 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치를 (+X)측에서 본 개략 측면도이다.
도 15는 2장의 기판을 도포 처리하는 제5 실시 형태에 관련된 슬릿 노즐의 이동 궤적을 나타낸 도포부의 개략 측면도이다.
도 16은 2장의 기판을 도포 처리하는 제5 실시 형태에 관련된 슬릿 노즐의 그 외의 이동 궤적을 나타낸 도포부의 개략 측면도이다.
도 17은 제6 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 18은 제6 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치를 (+X)측에서 보았을 때의 개략 측면도이다.
도 19는 제7 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 20은 제7 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치를 (+X)측에서 보았을 때의 개략 측면도이다.
도 21은 제8 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
이하, 도면을 참조하여 실시 형태를 상세하게 설명한다. 단, 이하의 실시 형태에 기재되어 있는 구성 요소는 어디까지나 예시이며, 본 발명의 범위를 그들 만으로 한정하는 취지의 것은 아니다.
<1. 제1 실시 형태>
도 1은, 제1 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100)의 개략 평면도이다. 기판 처리 장치(100)는, 반도체 기판, 포토마스크용 기판, 칼라 필터용 기판, 광디스크용 기판, 태양전지용 기판 등의 각종 기판(이하, 간단히 「기판」으로 칭한다)(9)에 레지스트액 등의 각종 처리액을 도포한 후, 그 기판(9)을 건조시킴으로써, 기판(9)의 표면에 박막을 형성하는 장치로서 구성되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 기판(9)은, 직사각형(정사각형을 포함한다.)인 것으로 하지만, 형상은 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 원형(타원형을 포함한다) 등 그 외의 형상이어도 된다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 처리 장치(100)는, 기판 수입부(1), 도포부(2), 건조부(3), 기판 배출부(4), 반송 기구(5, 6, 7) 및 제어부(8)를 구비하고 있다. 또한, 도 1 및 이후의 각 도에는, 그들의 방향 관계를 명확하게 하기 위해, 필요에 따라 Z축방향을 연직 방향으로 하고 XY평면을 수평면으로 하는 왼손 좌표계의 XYZ 직교 좌표계가 첨부되어 있다. 또 기판 처리 장치(100)에서는, 기판(9)의 처리의 단계로 진행됨에 따라, 기판(9)이 일방향으로 반송된다. 본 실시 형태에서는, 이 기판(9)의 반송되는 방향을 (+Y)방향으로 한다. 또, 도포부(2)가 구비하는 슬릿 노즐(21)은, 기판(9)에 대해 일방향으로 이동하여 처리액을 도포한다. 본 실시 형태에서는, 이 슬릿 노즐(21)의 이동 방향을 (+X)방향으로 한다. 또 본 실시 형태에서는, 연직 방향 상향이 (+Z)방향으로 되어 있다. 단 이들의 방향 관계는, 기판 처리 장치(100)의 구성의 배치 관계를 설명하기 위해서 편의상 정의된 것이며, 본원 발명을 한정하는 취지의 것은 아니다.
｛기판 수입부(1)｝
기판 수입부(1)는, 도포부(2)에 반입하는 복수의 기판(9)을 외부로부터 받아들여, 일시적으로 보관하는 장소를 제공하는 장치이다. 기판 처리 장치(100)에서는, 처리해야 할 복수의 기판(9)이, 도시하지 않은 반송 기구에 의해, 외부로부터 기판 수입부(1)에 반입된다. 이 때, 1장씩 기판(9)이 반입되도록 해도 되고, 동시에 복수의 기판(9)이 반입되도록 해도 된다. 본 실시 형태에 관련된 기판 수입부(1)는, 2장의 기판(9, 9)을 Y방향으로 나란히 동시에 유지할 수 있을 정도의 넓이의 유지면을 가지는 스테이지(11)를 구비하고 있다.
기판 수입부(1)로부터 기판(9)을 반출하는 경우, 스테이지(11)의 유지면으로부터 복수의 리프트 핀(111)이 돌출함으로써, 기판(9)이 상방으로 들어 올려져 있다. 그리고, 반송 기구(5)가 (-X)방향으로 이동함으로써, 기판(9)의 하방에 반송 기구(5)가 구비하는 복수의 지지 부재(511)가 진입한다. 그리고, 리프트 핀(111)이 하강(또는 지지 부재(511)가 상승한다)함으로써, 기판(9)이 리프트 핀(111)으로부터 복수의 지지 부재(511)에 수도(受渡)된다. 이와 같이 하여 반송 기구(5)는, 도포 처리 전의 2장의 기판(9, 9)을 동시에 들어 올리고, (+Y)방향으로 이동하여 2장의 기판(9, 9)을 동시에 도포부(2)에 반입한다. 여기서, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 반송한다는 것은, 2장의 기판(9, 9)이 적어도 동일한 타이밍에 도포부(2) 등으로의 이동이 개시된다는 것을 의미하는 것으로 한다.
｛도포부(2)｝
도 2는, 제1 실시 형태에 관련된 도포부(2)를 (+X)측에서 보았을 때의 개략 정면도이다. 또 도 3은, 제1 실시 형태에 관련된 슬릿 노즐(21)의 하단측의 일부분을 나타낸 사시도이다. 슬릿 노즐(21)은, 가교 구조(22)에 장착되어 있다. 가교 구조(22)는, (+Y)측 및 (-Y)측에 배치되는 2장의 지주부(221, 221)와, 이들 지주부(221, 221)에 걸쳐져 있으며, 슬릿 노즐(21)을 지지하는 지지부(222)를 구비하고 있다. 가교 구조(22)는, 2장의 기판(9, 9)이 올려 놓아지는 스테이지(23)의 상방을 Y축에 관해서 걸쳐지도록 설치되어 있다.
가교 구조(22)의 양측의 지주부(221, 221)의 하단부에는, 이동자와 지지대(24)에 고정된 고정자(스테이터)로 구성되는 한 쌍의 AC 코어리스 리니어 모터(이하, 간단히 「리니어 모터」로 칭한다.)(25)를 구비하고 있다. 리니어 모터(25)를 구동함으로써 가교 구조(22)가 X축을 따라 이동한다. 이것에 의해, 도포부(2)는, 스테이지(23)에 올려 놓아진 기판(9, 9)에 대해, 슬릿 노즐(21)을 X축을 따라 상대 이동시킬 수 있다. 즉, 리니어 모터(25)는, 상대 이동 기구를 구성한다.
또, 지주부(221, 221)는, 지지부(222)를 Z축을 따라 상하로 승강시키기 위한 승강 기구(26)를 구비하고 있다. 승강 기구(26)는, 예를 들면, 볼 나사와 볼 나사를 회전시키는 모터와, 볼 나사에 나사 결합하는 나사구멍이 형성된 너트 부재로 구성되어 있다. 승강 기구(26)는, 모터에 의해 볼 나사를 회전시킴으로써, 너트 부재를 Z축을 따라 승강시킨다. 지지부(222)의 양단부는, 지주부(221, 221)에 내장된 승강 기구(26)의 너트 부재에 연결되어 있기 때문에, 너트 부재의 승강에 따라 지지부(222)도 상하로 승강한다. 이것에 의해, 도포부(2)는, 슬릿 노즐(21)을 Z축을 따라 상하로 승강시킬 수 있다. 또한, 그 외의 구성에 의해 승강 기구(26)가 실현되어 있어도 된다.
슬릿 노즐(21)은, 스테이지(23) 상에 Y축을 따라 병렬 배치된 2장의 기판(9, 9)의 폭보다도 약간 길게 연장되는 장척 부재이다. 슬릿 노즐(21)은, 도관(271)을 통하여, 처리액을 공급하는 처리액 공급 펌프(27)에 접속되어 있다. 처리액 공급 펌프(27)로부터 처리액이 슬릿 노즐(21)에 공급되면, 처리액이 슬릿 노즐(21)의 내부를 지나, 슬릿 노즐(21)의 하단부에 형성되어 있는 2개의 토출구(211, 211)로부터 각각 처리액이 토출된다.
토출구(211)는 Y축을 따라 연장되어 있으며, 기판(9)에 처리액을 도포하는 도포 영역의 크기에 대응하는 길이로 되어 있다. 또한, 이 도포 영역은, 일반적으로는, 기판(9)의 표면 중, 둘레 가장자리의 일부분을 제외한 영역이 된다. 승강 기구(26)가 슬릿 노즐(21)을 (-Z)방향으로 하강시킴으로써, 슬릿 노즐(21)의 토출구(211, 211)를 기판(9, 9)의 각각에 근접시킬 수 있다.
슬릿 노즐(21)의 토출구(211, 211) 사이에는, (+Z)방향으로 노치된 오목부(213)가 형성되어 있다. 토출구(211)가 형성되어 있는 슬릿 노즐(21)의 하단면은, 립면(214)을 형성하고 있다. 양측의 토출구(211, 211)로부터 처리액이 토출되면, 각각의 립면(214, 214)에 처리액이 부착된다. 이 때, 오목부(213)가 형성되어 있지 않은 경우, 양측의 립면(214, 214)에 부착된 처리액이 서로 연결되는 경우가 있다. 이러한 상태로, 도포 처리를 행하면, 스테이지(23)에 올려 놓아진 기판(9, 9) 사이의 위치에 처리액이 부착되어 버릴 우려가 있다. 이에 반해, 슬릿 노즐(21)에서는, 오목부(213)에 의해 슬릿 노즐(21)의 하단면이 2개의 립면(214, 214)으로 분단된다. 이 때문에, 오목부(213)에서 처리액을 분단시킬 수 있기 때문에, 동시에 2장의 기판(9, 9)에 대해 양호하게 처리액을 도포할 수 있다.
도포부(2)에 있어서 기판(9, 9)에 처리액을 도포하는 경우, 상기 서술한 바와 같이 기판 수입부(1)에서 2장의 기판(9, 9)을 수취한 반송 기구(5)가, 기판(9, 9)을 스테이지(23) 상에 반송한다. 이 때, 스테이지(23)의 상면으로부터, 복수의 리프트 핀(231)이 상방으로 돌출한다. 그리고 반송 기구(5)가 복수의 지지 부재(511)를 하강(또는, 복수의 리프트 핀(231)을 상승시킨다)시킴으로써, 기판(9, 9)이 복수의 리프트 핀(231)의 상단부로 수도된다. 그 후, 반송 기구(5)는, (+X)방향으로 후퇴하고, 복수의 리프트 핀(231)이 하강함으로써, 기판(9, 9)이 스테이지(23) 상에 올려 놓아진다. 이와 같이 하여, 도포부(2)에 복수의 기판(9)이 동시에 반입된다.
그리고, 기판(9, 9)이 스테이지(23)에 올려 놓아질 때, 스테이지(23)의 상면에 형성된 도시하지 않은 흡착 구멍을 통하여, 기판(9, 9)이 스테이지(23)에 흡착 고정된다. 이 상태로 슬릿 노즐(21)이 기판(9, 9)의 (+X)측(또는 -X측)의 도포 영역 단부의 상방에 배치된다. 그리고, 처리액 공급 펌프(27)로부터 처리액을 공급하면서, 또한, 리니어 모터(25)를 구동함으로써, 기판(9, 9)의 도포 영역에 처리액을 도포한다. 이와 같이, 슬릿 노즐(21)이 스테이지(23)에 올려 놓아진 기판(9, 9) 상을 주사함으로써, 동시에 2장의 기판(9, 9)에 대해 처리액이 도포된다.
도포 처리가 완료되면, 도포부(2)는 다시 복수의 리프트 핀(231)을 상승시킴으로써, 기판(9)을 스테이지(23)로부터 들어 올린다. 그리고 반송 기구(6)의 복수의 지지 부재(611)가 기판(9)의 하측에 진입하고, 그 복수의 지지 부재(611)가 상승(또는, 리프트 핀(231)이 하강)한다. 이것에 의해, 기판(9, 9)이 반송 기구(6)에 수도된다.
도 4는, 제1 실시 형태의 변형예에 관련된 도포부(2a)를 (+X)측에서 보았을 때의 개략 정면도이다. 도포부(2a)는, 도 1 또는 도 2에 나타낸 도포부(2)에 설치되어 있는 슬릿 노즐(21) 대신에, 2개의 슬릿 노즐(21a, 21a)을 구비한 것으로 되어 있다. 도포부(2a)에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 스테이지(23)에 올려 놓아진 기판(9, 9)의 각각에 대응하는 위치에, 슬릿 노즐(21a, 21a)이 각각 설치되어 있다. 그리고, 처리액 공급 펌프(27)로부터 슬릿 노즐(21a, 21a)의 각각에 처리액이 공급됨으로써, 2장의 기판(9, 9)에 동시에 처리액이 도포된다. 이러한 도포부(2a)를 기판 처리 장치(100)에 적용하는 것이 가능하다.
｛건조부(3)｝
다시 도 1로 되돌아와, 건조부(3)는, 기판(9)에 도포된 처리액을 건조시켜, 기판(9)에 박막을 형성시킨다. 건조부(3)는, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 수납하는 대략 직육면체 형상의 챔버(31)를 구비하고 있다. 챔버(31)는, 도시하지 않은 프레임으로 지지된 뚜껑부에 의해 그 상부가 덮여 있다. 그 뚜껑부를 상하 방향(Z축)으로 상승시킴으로써, 챔버(31)가 개방되고, 그 내부에 2장의 기판(9, 9)을 수납하는 것이 가능해진다.
챔버(31) 내부에는, 챔버(31) 내의 온도를 상승시키는 히터가 설치되어 있으며, 또, 챔버(31) 내부를 감압하는 진공 펌프 등의 감압 수단이 접속되어 있다. 챔버(31) 내의 재치대(도시하지 않음.)에 기판(9, 9)이 올려 놓아지면, 뚜껑부를 하강시킴으로써 챔버(31)가 대략 밀폐된다. 이 상태로 감압 수단을 구동시킴으로써, 챔버(31) 내가 감압되고, 또, 히터를 구동시킴으로써 기판(9, 9)이 가열된다. 이것에 의해, 기판(9)의 표면에 도포된 처리액을 건조시킬 수 있다.
건조부(3)의 경우, 챔버(31)에 의해 복수의 기판(9)(여기에서는 2장의 기판(9, 9))을 동일 공간 내에 동시에 수납하여 감압 건조한다. 이 때문에, 1장씩 기판(9)을 건조 처리하는 경우에 비해 효율적으로 기판을 처리할 수 있다. 또, 건조부(3)의 경우, 챔버(31)나 진공 펌프 등 감압 수단을 적어도 1대분 설치함으로써 복수의 기판(9)을 동시에 처리할 수 있다. 따라서, 1장씩 건조 처리하는 챔버를 복수대 준비하는 경우에 비해, 장치 비용의 억제나 장치 사이즈의 축소화를 도모할 수 있다. 단, 건조부(3) 대신에, 기판(9)을 1장씩 건조시키는 챔버를 복수대 구비한 건조부를 기판 처리 장치(100)에 적용하는 것은 무방하다.
건조부(3)로의 기판(9, 9)의 반송은, 반송 기구(6)에 의해 행해진다. 도포부(2)에서 도포 처리가 완료된 기판(9, 9)을 수취한 반송 기구(6)는, (+Y)방향으로 이동하고, 기판(9, 9)을 챔버(31) 내에 반송한다. 그리고, 챔버(31) 내의 기판을 올려 놓는 재치면으로부터 돌출시킨 복수의 리프트 핀(311)에 기판(9, 9)이 건네진다. 또한, 반송 기구(6)가 (+X)방향으로 후퇴하고, 복수의 리프트 핀(311)이 하강함으로써, 챔버(31) 내에 기판(9, 9)이 올려 놓아진다.
또 건조 처리가 완료된 기판(9, 9)은, 복수의 리프트 핀(311)에 의해 들어 올려져, 반송 기구(7)가 구비하는 복수의 지지 부재(711)에 수도된다. 그리고 반송 기구(7)가 (+Y)방향으로 이동함으로써, 기판(9, 9)이 기판 배출부(4)에 반송된다.
｛기판 배출부(4)｝
기판 배출부(4)는, 2장의 기판(9, 9)이 동시에 올려 놓아지는 스테이지(41)를 구비하고 있다. 건조부(3)에서 건조 처리를 끝낸 기판(9, 9)은, 일단 기판 배출부(4)에 올려 놓아지며, 도시하지 않은 반송 수단에 의해, 외부로 배출된다. 이 때, 기판(9, 9)이 1장씩 배출되도록 해도 되고, 동시에 2장의 기판(9, 9)이 배출되도록 해도 된다.
반송 기구(7)는, 건조부(3)로부터 수취한 기판(9, 9)을 기판 배출부(4)로 반송한다. 이 때, 복수의 리프트 핀(411)이 스테이지(41)의 상면으로부터 상방으로 돌출한다. 그리고 반송 기구(7)가 복수의 지지 부재(711)를 하강시킴으로써(또는, 복수의 리프트 핀(411)을 상승시킴으로써), 기판(9, 9)이 복수의 지지 부재(711)로부터 복수의 리프트 핀(411)의 상단부로 수도된다. 그리고 반송 기구(7)가 (+X)방향으로 후퇴하고, 리프트 핀(411)이 하강함으로써 기판(9, 9)이 스테이지(41)에 올려 놓아진다.
｛반송 기구(5, 6, 7)｝
반송 기구(5, 6, 7)는, 기판 처리 장치(100)에 있어서 기판(9)을 반송하기 위한 기판 반송 계통을 구성한다. 반송 기구(5, 6, 7)는, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 유지하고, 이들을 각 처리부 간에서 반송한다. 반송 기구(5, 6, 7)는, 기판 수입부(1), 도포부(2), 건조부(3) 및 기판 배출부(4)의 (+X)측에 배치되어 있다. 반송 기구(5, 6, 7)는, X축 및 Y축을 따라 이동하기 위한 이동 기구를 구비하고 있다.
반송 기구(5, 6, 7)는, 기판(9, 9)을 유지하는 장척의 지지 부재(511, 611, 711)를 복수 구비하고 있다. 도 1에 나타낸 예에서는, 각 반송 기구(5, 6, 7)는, 지지 부재(511, 611, 711)를 각각 4개씩 구비하고 있으며, 2개의 지지 부재(511, 611, 711)로 1장의 기판(9)을 반송한다. 또한, 지지 부재(511, 611, 711)의 수량은, 적절히 변경할 수 있다.
이미 서술한 바와 같이, 반송 기구(5)는, 기판 수입부(1)에 올려 놓아진 기판(9, 9)을 반출하고, 도포부(2)에 반입한다. 또, 반송 기구(6)는, 도포부(2)에서 도포 처리가 완료된 기판(9, 9)을 반출하고, 건조부(3)에 반입한다. 그리고 반송 기구(7)는, 건조부(3)에서 감압 건조가 완료된 기판(9, 9)을 반출하고, 기판 배출부(4)에 반입한다.
｛제어부(8)｝
제어부(8)는, CPU 및 RAM을 구비한 일반적인 컴퓨터로서 구성되어 있다. 제어부(8)는, 기판 수입부(1), 도포부(2), 건조부(3), 기판 배출부(4) 및 반송 기구(5, 6, 7)와 전기적으로 접속되어 있다. 제어부(8)는, 이들 각 부에 제어 신호를 송신의 동작을 제어한다. 제어부(8)의 제어에 기초하여, 기판 처리 장치가 구비하는 각 요소가 동작한다.
본 실시 형태에서는, 제어부(8)는 예를 들면 반송 기구(5, 6, 7)에 대해 제어 신호를 출력한다. 즉, 1대분의 제어 신호를 반송 기구(5, 6, 7)의 각각에 송신함으로써, 각 반송 기구(5, 6, 7)는 동시에 2장의 기판(9, 9)을 반송한다.
이상이, 기판 처리 장치(100)의 구성 및 기능에 대한 설명이다. 다음에, 기판 처리 장치(100)에서의 기판 처리의 플로우에 대해서 설명한다.
도 5는, 제1 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100)에서의 기판 처리의 타임 차트를 나타낸 도이다. 또한, 도 5에서는, 좌측의 열에 기판 처리 장치(100)의 각 동작 항목이 나타나 있으며, 횡축은 시간을 나타내고 있다. 또, 1매스 분이 1처리 단위 시간에 상당한다. 또한, 이 1처리 단위 시간의 구체적인 시간의 길이는, 기판(9)의 처리 조건(처리액의 종류나 형성하는 박막의 두께 등)이나 각 처리부의 처리 능력(가교 구조(22)의 이동 속도나 슬릿 노즐(21)의 단위 시간당의 처리액의 토출량, 또는 챔버(31)의 가열 능력 등), 또는, 반송 기구의 기판 반송 속도 등을 고려하여 적절히 설정되는 것이다.
여기서, 「기판 수입(1)」~ 「기판 수입(4)」는, 기판 처리 장치(100)가 1장째~4장째의 기판(9)의 각각을 외부로부터 기판 수입부(1)에 받아들이는 동작을 나타낸다. 「도포부로의 반입」은, 반송 기구(5)가 기판 수입부(1)에 올려 놓아진 2장의 기판(9, 9)을 도포부(2)에 반입하는 동작을 나타낸다. 「도포 처리」는, 도포부(2)가 2장의 기판(9, 9)에 도포 처리를 행하는 동작을 나타낸다. 「도포부로부터 반출」은, 반송 기구(6)가 도포 처리를 끝낸 2장의 기판(9, 9)을 도포부(2)로부터 반출하고, 건조부(3)로 반송하는 동작을 나타낸다. 「감압 건조」는, 건조부(3)에 있어서 2장의 기판(9, 9)을 동시에 감압 건조하는 동작을 나타낸다. 「건조부로부터 반출」은, 반송 기구(7)가 건조 처리를 끝낸 2장의 기판(9, 9)을 건조부(3)로부터 반출하고, 기판 배출부(4)에 기판(9, 9)을 반송하는 동작을 나타낸다.
기판 처리 장치(100)에서는, 「기판 수입(1)」~ 「기판 수입(4)」, 「도포부로 반입」, 「도포부로부터 반출」, 「건조부로부터 반출」의 각 동작에 필요로 하는 시간이, 1매스 분의 처리 단위 시간(즉 1처리 단위 시간)이 되고, 「도포 처리」 및 「감압 건조」의 동작 시간에서는, 2매스 분의 처리 단위 시간(즉 2처리 단위 시간)으로 되어 있다.
또, 기판 처리 장치(100)에서는, 1장째의 기판(9)과 2장째의 기판(9)이, 도포부(2)에서 도포 처리되고 있을 때에(「도포 처리」), 기판 수입부(1)에 3번째의 기판(9) 및 4번째의 기판(9)이 각각 반입된다(「기판 수입(3)」, 「기판 수입(4)」). 이와 같은 타이밍으로, 처리해야 할 기판(9)이 외부로부터 기판 처리 장치(100)에 순차적으로 반입된다.
도 5에 나타낸 예에서는, 1장째 및 2장째의 기판(9, 9)의 도포 처리가 개시되고 나서(시간 T1), 다음의 3번째 및 4번째의 기판(9, 9)의 도포 처리가 개시될 때까지(시간 T2), 3매스 분의 처리 단위 시간(3처리 단위 시간)으로 되어 있다. 즉, 기판 처리 장치(100)에서는, 3처리 단위 시간마다, 2장의 기판(9, 9)을 도포 처리되게 된다. 따라서, 기판 처리 장치(100)는, 1.5처리 단위 시간마다 1장의 기판(9)을 처리할 수 있게 된다. 즉, 기판 처리 장치(100)에서는, 1장씩 기판(9)을 처리하는 경우에 비해, 절반의 택트 타임에 기판(9)을 처리할 수 있다.
이상과 같이, 본 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100)에 의하면, 반송 기구(5), 반송 기구(6) 또는 반송 기구(7)의 각각이, 복수의 기판(9)을 유지한다. 이 때문에, 기판 수입부(1)로부터 도포부(2)로의 기판 반송, 도포부(2)로부터 건조부(3)로의 기판 반송, 또는, 건조부(3)로부터 기판 배출부(4)로의 기판 반송에 있어서, 동시에 복수의 기판(9)을 반송할 수 있다. 이와 같이 기판 처리 장치(100)에서는, 기판 반송을 효율적으로 행할 수 있기 때문에, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
만일 반송 기구(5, 6, 7)를 1장씩 반송하는 반송 기구로 대용한 경우, 복수의 기판(9)을 동시에 반송하기 위해서는, 다수의 반송 기구를 준비할 필요가 있다. 이러한 경우, 반송 기구의 장치 비용이 증대함과 함께, 제어 대상이 증대되어 버리게 된다. 이에 반해, 반송 기구(5, 6, 7)와 같이, 1대의 반송 기구로 복수의 기판(9)을 반송함으로써, 이동 기구 등의 장치 구성을 단일화시킬 수 있으며, 또, 반송 계통에 관한 제어를 단순화시킬 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치의 전체 비용을 억제할 수 있다.
<2. 제2 실시 형태>
도 6은, 제2 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100A)의 개략 평면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 제1 실시 형태의 경우와 동일한 기능을 가지는 요소에 대해서는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
기판 처리 장치(100A)는, 기판 수입부(1A), 기판 배출부(4A), 반송 기구(5A)를 구비하고 있다. 기판 처리 장치(100A)에서도, 제1 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100)와 마찬가지로, 2장의 기판(9, 9)이 동시에 도포부(2), 건조부(3) 등에 반송된다. 그러나, 도포부(2) 또는 건조부(3)로의 기판 반송이 1대의 반송 기구(5A)로 실현되고 있는 점이, 기판 처리 장치(100)와 상이하며, 또, 반송 기구(5A)의 반송 양태에 맞추어 기판 수입부(1A), 도포부(2), 건조부(3) 및 기판 배출부(4A)의 배치 위치가 설정되어 있다.
기판 수입부(1A)는, 도포부(2)에 반송하는 2장의 기판(9, 9)을 외부로부터 받아들여 일시적으로 보관하는 기능을 가진다. 기판 수입부(1A)의 (-Y)측은, 기판(9)의 반입을 받는 영역(수입 영역 R11)으로 되어 있으며, 기판 수입부(1A)의 (+Y)측은, 기판(9)을 반송 기구(5A)에 수도하는 영역(수도 영역 R12)으로 되어 있다. 기판 수입부(1A)의 수입 영역 R11에는, X축에 관해서 소요 간격을 두고 배치된 복수의 반송 롤러(12)가 설치되어 있다. 또, 기판 수입부(1A)의 수입 영역 R11 및 수도 영역 R12의 쌍방에, Y축에 관해서 소요 간격을 두고 배치된 복수의 반송 롤러(13)가 설치되어 있다.
반송 롤러(12)는, Y축을 따라 연장되는 회전축(121)과, 회전축(121)에 분산되어 고정된 복수의 원판 형상 부재(123)로 구성되어 있다. 도시하지 않은 모터에 의해 회전축(121)이 회전함으로써, 원판 형상 부재(123)가 회전한다. 이것에 의해, 반송 롤러(12)는, 원판 형상 부재(123)로 지지되어 있는 기판(9)을 X축을 따르는 방향(여기에서는, +X방향)으로 반송한다.
반송 롤러(13)는, X축을 따라 연장되는 회전축(131)과, 회전축(131)에 분산되어 고정된 복수의 원판 형상 부재(133)로 구성되어 있다. 회전축(131)이 도시하지 않은 모터로부터의 구동력에 의해 X축 주위로 회전함으로써, 원판 형상 부재(133)가 Y방향으로 회전한다. 이것에 의해, 반송 롤러(13)는, 원판 형상 부재(133)로 지지할 수 있는 기판(9)을 Y축을 따르는 방향(여기에서는, +Y방향)으로 반송한다.
또, 반송 롤러(12)는, 도시하지 않은 승강 기구에 접속되어 있으며, 반송 롤러(13)에 대해, Z축을 따라 상하로 승강하도록 구성되어 있다. 반송 롤러(12)에 의해 기판(9)을 (+X)방향으로 반송하는 경우에는, 반송 롤러(12)를 소요 높이 위치로 상승시킨다. 이것에 의해, 기판(9)을 반송 롤러(13)의 원판 형상 부재(133)에 접촉시키지 않고, (+X)방향으로 이동시킬 수 있다. 또, 반송 롤러(13)로 기판(9)을 (+Y)방향으로 반송하는 경우에는, 반송 롤러(12)를 소요 위치로 하강시킨다. 이것에 의해, 기판(9)을 반송 롤러(12)의 원판 형상 부재(123)에 접촉시키지 않고, (+Y)방향으로 이동시킬 수 있다.
기판 수입부(1A)에서는, 수입 영역 R11의 (-X)측에, 기판(9)이 반입된다. 이 기판(9)은, 반송 롤러(12)에 의해 (+X)방향의 소요 위치로 반송된다. 이것에 의해, 수입 영역 R11의 (-X)측에, 다음의 기판(9)을 받아들이는 공간을 설치할 수 있다. 이와 같이 하여 기판 수입부(1A)는, 1장씩 기판(9)을 받아들여, 최종적으로 2장의 기판(9)을 수입 영역 R11에서 유지한다. 또한, 수입 영역 R11의 (+X)측에 기판(9)이 반입되는 경우에는, 반송 롤러(12)에 의해, 기판(9)을 (-X)방향으로 반송하면 된다.
기판 수입부(1A)는, 2장의 기판(9, 9)을 받아들이면, 반송 롤러(13)를 구동함으로써, 이들 기판(9, 9)을 수도 영역 R12로 이동시킨다. 수도 영역 R12는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 반송 기구(5A)에 기판(9, 9)을 건네주는 영역으로 되어 있다.
또한, 반송 롤러(12) 대신에, 기판(9)을 (+X)방향 및 (+Y)방향의 양성분을 갖는 경사 방향으로 반송하는 반송 컨베이어를 설치해도 된다. 이 경우, 기판 수입부(1A)는, 1장째의 기판(9)을 상기 경사 방향으로 반송하고, 다른 1장의 기판(9)에 대해서는 반송 롤러(13)에 의해 (+Y)방향으로 반송한다. 이 경우에서도, 2장의 기판(9, 9)을 X축을 따라 병렬시킨 상태로, 수도 영역 R12에 배치할 수 있다.
또, 외부로부터 기판 수입부(1A)에 기판(9)을 반입할 때에, 1장째와 2장째에 반입 위치가 변경되도록 해도 된다. 예를 들면 1장째의 기판(9)이 기판 수입부(1A)의 (-X)측에 반입된 후, 2장째의 기판(9)이 기판 수입부(1A)의 (+X)측에 반입되도록 해도 된다. 이 경우, 반송 롤러(12)를 생략할 수 있다.
기판 배출부(4A)는, 기판 배출부(4)와 마찬가지로, 기판 처리 장치(100A)에 있어서 처리가 완료된 기판(9)을 외부로 배출하기 위한 기판(9)의 재치 장소를 제공한다. 본 실시 형태에 관련된 기판 배출부(4A)는, 건조부(3)(보다 구체적으로는, 챔버(31))의 하부에 배치되어 있다. 즉 본 실시 형태에서는, 건조부(3)과 기판 배출부(4A)가 다단으로 겹쳐져 배치되어 있다.
기판 배출부(4A)의 (-Y)측은, 건조부(3)에 있어서 감압 건조된 복수의 기판(9, 9)을 수취하는 수취 영역 R41로 되어 있으며, (+Y)측은, 외부에 기판(9, 9)을 배출하는 배출 영역 R42로 되어 있다. 수취 영역 41R 및 배출 영역 42R의 쌍방에는, 복수의 반송 롤러(13)가 Y축을 따라 소요 간격을 두고 설치되어 있으며, 배출 영역 42R에는, 반송 롤러(12)가 X축을 따라 소요 간격을 두고 설치되어 있다.
기판 배출부(4A)에 설치되어 있는 반송 롤러(12, 13)의 구성은, 기판 수입부(1A)에 설치되어 있는 반송 롤러(12, 13)와 대략 동일하다. 또한, 반송 롤러(13)는, Y축을 따라 병렬된 2장의 기판(9, 9)을, 배출 영역 R42까지 반송한다. 반송 롤러(12)는, 기판(9)을 X축을 따르는 방향(여기에서는, -X방향)으로 반송한다.
기판 배출부(4A)에서는, 배출 영역 R42의 (-X)측으로부터, 1장씩 기판(9)이 외부로 배출된다. 즉, 배출 영역 R42에 반송된 2장의 기판(9, 9) 중, (-X)측의 기판(9)이 우선 외부로 배출된다. 그 후, 반송 롤러(12)에 의해 (+X)측의 기판(9)이 (-X)측의 빈 공간에 반송되고, 그리고 외부로 배출된다.
또한, 배출 영역 R42의 (+X)측으로부터 기판(9)이 외부에 배출되도록 해도 된다. 이 경우는, 반송 롤러(12)가 배출 영역 R42의 (-X)측의 기판(9)을 (+X)측으로 반송하도록 하면 된다.
또 기판 배출부(4A)로부터 기판을 배출하는 기구로서, 반송 롤러(12) 등과 같이 롤러를 이용하는 반송 기구, 또는, 반송 기구(5) 등과 같이 기판(9)을 들어 올려, 옮기는 반송 기구 등을 채용할 수 있다.
도 7은, 제2 실시 형태에 관련된 반송 기구(5A)의 개략 측면도이다. 반송 기구(5A)는, 기판(9)을 유지하는 상측 핸드(51A) 및 하측 핸드(52A)와, 상측 핸드(51A) 및 하측 핸드(52A)를 Z축 주위로 일체적으로 선회시키는 선회 기구(53)와, 상측 핸드(51A) 및 하측 핸드(52A)를 일체적으로 승강시키는 승강 기구(54)를 구비하고 있다.
상측 핸드(51A)는, 선단에 장척의 지지 부재(511)가 장착된 굴곡 아암(512)을 구비하고 있다. 또 하측 핸드(52A)에 대해서도, 선단에 장척의 지지 부재(521)가 복수 장착된 굴곡 아암(522)을 구비하고 있다. 굴곡 아암(512, 522)은, 2개의 아암 부재로 구성되어 있다. 2개의 아암 부재는, 상호의 단부에 있어서, Z축을 회전축으로 하여 회전 가능하게 연결되어 있다. 이 연결 부분을 축으로 하여 한쪽의 아암 부재를 다른쪽의 아암 부재에 대해 회전시킴으로써, 2개의 아암 부재가 수평 방향(XY평면에 평행한 방향)에 관해서 연신하거나 굴곡한다. 이것에 의해, 반송 기구(5A)는, 굴곡 아암(512, 522)의 선단에 장착되어 있는 복수의 지지 부재(511) 또는 복수의 지지 부재(521)을 전후로 진퇴시킨다.
반송 기구(5A)는, 기판 수입부(1A)의 수도 영역 R12로부터 2장의 기판(9, 9)을 상측 핸드(51A)(또는 하측 핸드(52A))로 수취하여, 90도 선회하여 (-X)측에 있는 도포부(2)에 기판(9, 9)을 반입한다. 이 때, 도포 처리를 끝낸 기판(9)이 도포부(2)에 있는 경우는, 기판(9)을 유지하고 있지 않는 하측 핸드(52A)(또는 상측 핸드(51A))에 의해 이것을 반출하면 된다.
또, 반송 기구(5A)는, 도포부(2)로부터 기판(9, 9)을 수취하면, 90도 선회하여 (+Y)측에 있는 건조부(3)에 기판(9, 9)을 반입한다. 이 때, 이미 건조 처리를 끝낸 기판(9)이 건조부(3)에 있는 경우는, 기판(9)을 유지하고 있지 않는 상측 핸드(51A)(또는 하측 핸드(52A))에 의해 이것을 반출하면 된다.
또, 반송 기구(5A)는, 건조 처리 후의 2장의 기판(9, 9)을 도포부(2)로부터 꺼낸 후, 기판(9, 9)을 하강시켜 기판 배출부(4A)의 수취 영역 R41에 이것을 수도한다.
이상과 같이 반송 기구(5A)에 의해 기판 반송을 행함으로써, 반송 시간을 큰 폭으로 단축할 수 있기 때문에, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또, 1대의 반송 기구(5)로 복수의 기판(9)의 반송을 행하기 때문에, 장치 비용을 억제할 수 있다.
또한, 반송 기구(5A)는, 상측 핸드(51A) 및 하측 핸드(52A) 중 한쪽만을 구비하도록 해도 된다. 이 경우에서도, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 반송할 수 있기 때문에, 기판(9)을 1장씩 옮기는 것보다도 반송 효율이 개선된다. 또 기판(9)을 1장씩 반송하는 반송 기구를 2대 설치하는 경우보다도, 장치 비용을 낮게 억제하는 것이 가능하다.
도 8은, 제2 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100A)의 변형예를 나타낸 개략 평면도이다. 도 6에 나타낸 기판 처리 장치(100A)에서는, 건조부(3)와 기판 배출부(4A)를 다단으로 구성하여, 기판 배출부(4A)와 반송 롤러(12, 13)를 설치함으로써 기판(9)을 외부에 배출하도록 하고 있었다. 이에 반해, 도 8에 나타낸 변형예에서는, 건조부(3)와 기판 배출부(4Aa)가 Y축을 따라 배치되어 있다. 그리고, 건조부(3)와 기판 배출부(4Aa) 사이에 반송 기구(5Aa)가 설치되어 있다.
기판 배출부(4Aa)는, 제1 실시 형태에 관련된 기판 배출부(4)와 거의 동일한 구성을 구비하고 있으며, 2장의 기판(9, 9)을 올려 놓는 스테이지(41)를 구비하고 있다. 반송 기구(5Aa)는, 반송 기구(5A)와 거의 동일한 구성을 구비하고 있지만, 상측 핸드(51A) 및 하측 핸드(52A) 중, 어느 한쪽만을 구비하고 있는 점에서 상이하다. 단, 반송 기구(5Aa)는, 상측 핸드(51A) 및 하측 핸드(52A)의 양쪽을 구비하고 있어도 된다. 반송 기구(5Aa)는, 건조부(3)에 있어서 건조 처리가 완료된 2장의 기판(9, 9)을, 챔버(31)로부터 수취하여, 180도 선회한 후, 기판 배출부(4Aa)에 기판(9, 9)을 반송한다.
기판 처리 장치(100A)를 도 8에 나타낸 구성으로 함으로써, 도포부(2)와 기판 배출부(4Aa) 사이의 기판(9)의 반송을 반송 기구(5Aa)에 담당시킬 수 있다. 따라서, 반송 기구(5A)의 부담을 줄일 수 있기 때문에, 기판 반송을 보다 원활히 행할 수 있다. 따라서, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
<3. 제3 실시 형태>
도 9는, 제3 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100B)의 개략 평면도이다. 기판 처리 장치(100B)는, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 반송하는 반송 기구(5B)를 1대 구비하고 있으며, 그 주위에 기판 수입부(1B), 도포부(2B), 건조부(3B)가 배치되어 있다. 이 점에서는, 기판 처리 장치(100B)는, 제2 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100A)와 유사하다. 단, 반송 기구(5B)는, 지지 부재(511)보다도 장척의 지지 부재(511B)를 복수 구비하고 있다. 반송 기구(5B)는, 이 지지 부재(511B)의 연장 방향을 따라 2장의 기판(9, 9)을 병렬시킨 상태로 유지하면서 반송한다.
또, 기판 수입부(1B), 도포부(2B) 및 건조부(3B)는, 반송 기구(5B)가 반송하는 기판(9, 9)의 배치에 맞추어 기판(9, 9)을 올려 놓을 수 있도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 기판 수입부(1B)는, Y축을 따라 2장의 기판(9, 9)을 배치시키는 스테이지(11B)를 구비하고 있다. 또 도포부(2B)는, X축을 따라 2장의 기판(9, 9)을 배치시키는 스테이지(23B)를 구비하고 있다. 또 건조부(3B)는, Y축을 따라 2장의 기판(9, 9)을 배치시키는 챔버(31B)를 구비하고 있다.
또 도포부(2B)에는, 2장의 기판(9, 9) 상을 Y축을 따라 이동하면서 처리액을 토출함으로써, 기판(9, 9)의 각각에 동시에 처리액을 도포하는 슬릿 노즐(21B)이 설치되어 있다. 또한, 슬릿 노즐(21B) 대신에, 도 4에 나타낸 슬릿 노즐(21a)과 같이 기판(9, 9)의 각각에 개별적으로 처리액을 도포하는 슬릿 노즐을 설치해도 된다.
또, 도포부(2B)에는, 스테이지(23B)를 사이에 두고 슬릿 노즐(21B)과 대향하는 위치에, 슬릿 노즐(21Ba)이 설치되어 있다. 이 슬릿 노즐(21Ba)에는, 슬릿 노즐(21B)과는 상이한 처리액이 공급된다. 이 때문에, 슬릿 노즐(21Ba)은, 슬릿 노즐(21B)과는 종류가 상이한 처리액을 기판(9, 9)에 토출한다. 이러한 슬릿 노즐(21Ba)을 설치해 둠으로써, 처리액의 종별을 선택하여 기판(9)에 도포할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면, 특정의 기판(9)에만 다른 것과는 상이한 처리액을 도포한다는 요구에 대해서도 용이하게 대응할 수 있다. 또, 동일한 기판(9)에 상이한 2종류의 처리액을 도포한다는 요구에 대해서도 용이하게 대응할 수 있다. 또한, 슬릿 노즐(21B)에 공급하는 처리액과 동일한 처리액을 슬릿 노즐(21Ba)에 공급해도 된다. 이 경우, 슬릿 노즐(21B) 및 슬릿 노즐(21Ba) 중 어느 한쪽을 메인트넌스하고 있는 동안에, 다른쪽을 도포 처리에 사용한다고 할 수 있다.
도시를 생략하지만, 기판 배출부(4A)와 같이 기판 배출부를 건조부(3B)의 하측에 다단 형상으로 설치해도 된다. 또, 기판 배출부(4Aa)와 같이, 건조부(3B)의 (+Y)측에 기판 배출부를 설치하여, 건조부(3B)와 그 기판 배출부 사이에서 도시하지 않은 반송 기구에 의해 기판(9)이 반송되도록 해도 된다.
<4. 제4 실시 형태>
도 10은, 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100C)의 개략 평면도이다. 또, 도 11은, 제4 실시 형태에 관련된 기판 수입부(1)의 2장의 기판(9, 9)을 반송하는 반송 셔틀(5C)의 개략 평면도이다. 또한, 도 12는, 도 11에 나타낸 XII-XII선 단면도이다.
본 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100C)는, 기판 수입부(1), 도포부(2) 및 건조부(3)가 Y축을 따라 이 순서로 배열되어 있다. 또, 기판 처리 장치(100C)는, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 반송하는 반송 셔틀(5C, 6C)을 구비하고 있다. 반송 셔틀(5C)은, 외부로부터 기판 수입부(1)에 반입된 기판(9, 9)을 도포부(2)에 반송한다. 또 반송 셔틀(6C)은, 도포부(2)에서 도포 처리된 기판(9, 9)을 건조부(3)로 반송한다. 반송 셔틀(5C, 6C)은, 거의 동일한 구성을 구비하고 있으며, 여기에서는 반송 셔틀(5C)의 구성에 대해서 설명한다.
반송 셔틀(5C)은, Y축을 따라 배치된 레일(51C) 상을 이동하는 리니어 모터 등으로 구성되는 이동부(52C)(이동 기구)와, X축을 따라 연장되어 있으며, 이동부(52C)와 함께 Y축을 따라 이동하는 지지체(53C)를 구비하고 있다. 지지체(53C)의 (+Y)측 및 (-Y)측에는, 기판 지지부(54C), 기판 지지부(54C)가 설치되어 있다.
기판 지지부(54C)는, 기판(9)의 단부를 지지하는 횡단면(길이 방향과 직각을 이루는 평면을 따라 자른 절단면) 대략 L자 형상의 지지 부재(541, 542, 543, 544)를 구비하고 있다. 또한, 지지 부재(541, 542, 543)는, 지지체(53C)에 접속되어 있는 연신 아암(551, 552, 553)의 선단에 장착되어 있다. 연신 아암(551, 552)은, Y축을 따라 연장됨으로써, 지지 부재(541, 542)를, 기판(9)의 서로 대향하는 X축을 따른 2개의 측변부 중앙 부근에 각각 배치시킨다. 또 연신 아암(553)은, Y축을 따라 연장됨으로써, 지지 부재(543)를, 기판(9)의 Y축을 따르는 측변부 중앙 부근에 배치시킨다.
지지 부재(541, 542, 543)는, 연신 아암(551, 552, 553)과의 연결 부분을 축으로 하여 회전 가능하게 장착되어 있으며, 지지 부재(544)는, 지지체(53C)와의 연결 부분을 축으로 하여 회전 가능하게 장착되어 있다.
반송 셔틀(5C)에 의해 2장의 기판(9, 9)을 반송하는 경우, 우선 이동부(52C)에 의해 반송 셔틀(5C)이 기판 수입부(1)에 지지되어 있는 기판(9, 9)의 대략 중간 위치로 이동한다. 그리고 도 11에 나타낸 바와 같이, 연신 아암(551, 552, 553)이 연신한다. 이것에 의해, 지지 부재(541, 542, 543)가 소정 위치에 배치된다. 이 상태로, 도 12에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(541~544)의 단부가 하방으로 전도됨으로써, 각 지지 부재(541~544)의 기판(9)을 지지하는 지지면(56)이 기판(9)의 하방에 배치된다.
도 12에 나타낸 바와 같이, 기판(9)은 복수의 리프트 핀(111)에 의해 스테이지(11)의 상방에 배치되어 있다. 따라서, 복수의 리프트 핀(111)이 하강함으로써, 기판(9)이 지지 부재(541~544)에 지지된다. 반송 셔틀(5C)은, 2장의 기판(9, 9)을 수취하면 (+Y)방향으로 이동함으로써, 기판(9, 9)을 도포부(2)로 반송한다. 그리고 도포부(2)의 스테이지(23) 상에서 정지하면, 복수의 리프트 핀(231)이 상승한다. 리프트 핀(231)의 상단이 지지 부재(541~544)의 지지면(56)보다도 높아지면, 기판(9, 9)이 상승하는 리프트 핀(231)에 의해 상방으로 밀어 올려져 지지되게 된다. 이 상태로 반송 셔틀(5C)은 지지 부재(541~544)를 회전시킴으로써 기판(9)의 하방으로부터 지지면(56)을 상측으로 퇴피시킨다.
본 실시 형태에서도, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 반송 셔틀(5C, 6C)에서 도포부(2) 또는 건조부(3)로 반송할 수 있다. 따라서, 효율적으로 기판 반송을 행할 수 있기 때문에, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 반송 셔틀(5C, 6C)은, 기판 수입부(1), 도포부(2) 또는 건조부(3)의 설치 영역 외로 2장의 기판(9, 9)이 나가지 않도록, 상방의 공간에서 반송할 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치(100) 등과 같이, 기판(9)이 외측 영역으로 나가도록 반송하는 경우에 비해, 장치의 풋 프린트를 작게 할 수 있다.
<5. 제5 실시 형태>
도 13은, 제5 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100D)의 개략 평면도이다. 기판 처리 장치(100D)는, 기판 수입부(1D), 도포부(2D), 건조부(3D) 및 기판 배출부(4D)가 Y축을 따라 배열되어 있다.
도 14는, 제5 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100D)를 (+X)측에서 본 개략 측면도이다. 기판 수입부(1D), 도포부(2D), 건조부(3D) 및 기판 배출부(4D)의 각각에는, 복수의 반송 롤러(13D)가 Y축에 관해서 소요 간격을 두고 설치되어 있다. 반송 롤러(13D)는, 도 6에 나타낸 반송 롤러(13)와 마찬가지로, X축 주위로 회전하는 복수장의 원판 형상 부재를 X축을 따라 소요 간격을 두고 구비하고 있어, 그들의 상단부에서 기판(9)을 지지하면서 (+Y)방향으로 반송한다. 기판 처리 장치(100D)에서는, 기판(9)의 기판 수입부(1D)로부터 기판 배출부(4D)까지의 이동이, 복수의 반송 롤러(13D)에 의해 실현되어 있다.
기판 수입부(1D)는, 외부로부터 1장의 기판(9)을 (-X)측의 영역에서 수취하여, 그 기판(9)을 (+X)측의 영역으로 반송한다. 이 (+X)방향으로의 기판 반송은, 도시를 생략하지만, 도 6에 나타낸 반송 롤러(12)를 적용함으로써 실현된다. 그리고 다른 1장의 기판(9)이, 외부로부터 반입됨으로써, 기판 수입부(1D)에 2장의 기판(9, 9)이 준비된다. 그 후, 복수의 반송 롤러(13D)에 의해, 기판(9, 9)이 동시에 도포부(2D)를 향해 반송된다. 또한, 기판 수입부(1D)에 있어서, (+X)측의 영역에 기판(9)이 1장씩 반입되도록 해도 된다. 또, (+X)측 및 (-X)측의 영역의 각각에 기판(9)이 동시에 반입되도록 해도 된다.
도포부(2D)는, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 유지하는 스테이지(23D)와, Y축을 따라 소요 간격을 두고 배치되는 복수의 승강 롤러(231D)를 구비하고 있다. 승강 롤러(231D)는, 스테이지(23)의 상면으로부터 돌출되거나, 상면보다 하측에 매몰되도록 설치되어 있다. 도포부(2D)에서는, 승강 롤러(231D)가 X축 주위로 회전함으로써 기판(9, 9)을 (+Y)측으로 반송하고, 도포 처리에 적절한 도포 위치까지 반송한다. 그리고 승강 롤러(231D)가 회전을 정지하고, 하강함으로써, 기판(9, 9)이 스테이지(23D)에 올려 놓아진다. 이 때, 스테이지(23D)에 설치된 흡착 구멍을 통하여 기판(9, 9)을 스테이지(23D)에 흡착시키도록 해도 된다.
또한, 본 실시 형태에서도, 슬릿 노즐(21D)이 기판(9) 상을 주사함으로써, 기판(9)에 처리액을 도포한다. 여기서, 슬릿 노즐(21D)은, 1장의 기판(9)의 가로폭(Y축을 따르는 측변부의 길이)에 대응하는 길이를 가지고 있으며, 1장의 기판(9)에 처리액을 도포한다.
도 15는, 2장의 기판(9, 9)을 도포 처리하는 제5 실시 형태에 관련된 슬릿 노즐(21D)의 이동 궤적을 나타낸 도포부(2D)의 개략 측면도이다. 도 15에 나타낸 바와 같이, 도포부(2D)에 있어서 2장의 기판(9, 9)을 도포하기 위해서, 슬릿 노즐(21D)은, 메인트넌스 위치 L10으로부터 이동을 개시한다. 메인트넌스 위치 L10은, 메인트넌스부(28)에 있어서 슬릿 노즐(21D)을 메인트넌스(초기화)할 때에, 슬릿 노즐(21D)이 배치되는 위치이다. 본 실시 형태에서는, 메인트넌스 위치 L10은, 예를 들면 메인트넌스부(28)가 구비하는 프리디스펜스 롤러(281)의 바로 위의 위치가 된다.
메인트넌스부(28)는, 슬릿 노즐(21D)로부터 토출되는 처리액을 받아들이는 프리디스펜스 롤러(281)를 구비하고 있다. 프리디스펜스 롤러(281)는, 슬릿 노즐(21D)의 길이 방향(여기에서는, Y축을 따르는 방향)으로 연장되는 원통 형상 부재이며, Y축을 따르는 회전축심을 구비하고 있다. 도시하지 않은 구동원의 동력이 이 회전축심에 전달됨으로써, 프리디스펜스 롤러(281)가 Y축 주위로 회전한다.
롤러 배트(282)는, 프리디스펜스 롤러(281)의 하방에 설치되어 있으며, 내부에 소정의 세정액이 저장되어 있다. 또한 프리디스펜스 롤러(281)의 하단 부분이 롤러 배트(283) 내에 저장된 세정액에 담궈져 있다. 따라서, 프리디스펜스 롤러(281)가 회전함으로써 세정되어, 그 표면에 부착된 처리액이 제거된다.
롤러 배트(282)의 내부에는, 액제거 블레이드(283)가 구비되어져 있다. 액제거 블레이드(283)는, (-Y)측에서 보아, 프리디스펜스 롤러(281)의 표면을 향해 돌출된 돌기 형상을 가지고 있으며, Y축을 따르는 방향으로 그 길이 방향을 가지고 있다. 또, 액제거 블레이드(283)의 돌기 형상의 선단부는, Y축을 따르는 프리디스펜스 롤러(281) 표면의 폭전체에 걸쳐 접촉하고 있다. 프리디스펜스 롤러(281)를 회전시킴으로써, 액제거 블레이드(283)에 의해, 프리디스펜스 롤러(281) 표면에 부착된 처리액 또는 세정액이 긁어내진다.
노즐 클리너(284)는, 슬릿 노즐(21D)의 토출구 부근(노즐 립)을 세정한다. 노즐 클리너(284)는, 상부가 슬릿 노즐(21D)의 하단의 형상(여기에서는, XZ평면으로 절단했을 때의 단면이 대략 삼각형 형상이 되는 대략 삼각기둥 형상)에 대응하는 오목부를 가지고 있다. 노즐 클리너(284)에는, 세정액이나 질소 가스가 공급된다. 노즐 클리너(284)는, 그 상면의 오목부에 슬릿 노즐(21D)의 토출구가 삽입된 상태로, 도시하지 않은 이동 기구에 의해 Y축을 따라 이동하면서, 슬릿 노즐(21D)의 노즐 립에 세정액을 내뿜어 세정을 행한다. 또, 노즐 클리너(284)는, 질소 가스를 내뿜음으로써, 노즐 립을 건조시킨다.
도 15에 나타낸 예에서는, 도포부(2)에 기판(9, 9)이 스테이지(23D)에 올려 놓아지면, 슬릿 노즐(21D)이 메인트넌스 위치 L10으로부터 소요 높이까지 상승하고, (-X)측에 올려 놓아진 기판(9)의 (-X)측단부까지(+X)방향으로 이동한 후, 하강하여 위치 L11로 이동한다. 이 위치 L11은, (-X)측의 기판(9)에 대한 도포를 개시하는 도포 개시 위치이다. 슬릿 노즐(21D)은, 처리액을 토출하면서 (+X)방향으로 이동하고, (-X)측의 기판(9)에 대한 도포를 종료하는 도포 종료 위치(위치 L12)까지 이동한다.
(-X)측의 기판(9)의 도포를 종료하면, 슬릿 노즐(21D)은, (+X)측에 있는 기판(9)의 도포를 계속하여 행한다. 이 때문에, 슬릿 노즐(21D)은, 위치 L12로부터 소요 높이까지 상승한 후, (+X)측의 기판(9)의 (-X)측단부의 위치로 이동하고, 위치 L13까지 하강한다. 이 위치 L13은, (+X)측의 기판(9)에 대한 도포를 개시하는 도포 개시 위치에 상당한다. 슬릿 노즐(21D)은, 처리액을 토출하면서 위치 L13으로부터 (+X)방향으로 이동하고, (+X)측의 기판(9)에 대한 도포를 종료하는 도포 종료 위치(위치 L14)까지 이동한다.
(+X)측의 기판(9)에 대한 도포가 완료되면, 슬릿 노즐(21D)은 위치 L14로부터 소요 높이까지 상승하고, (-X)방향으로 이동하여 프리디스펜스 롤러(281)의 상방까지 이동한다. 그리고 슬릿 노즐(21D)은, 메인트넌스 위치 L10까지 하강함으로써, 노즐 립의 메인트넌스가 다시 행해진다. 또한, 다음의 도포 처리 전의 기판(9, 9)이 스테이지(23D)에 반송될 때까지의 동안, 슬릿 노즐(21D)이 메인트넌스되지 않고, 메인트넌스 위치 L10에 단지 대기시켜 두도록 해도 된다. 또, 슬릿 노즐(21D)의 대기 위치는, 메인트넌스 위치 L10 이외여도 된다. 또, 슬릿 노즐(21D)의 상하의 이동에 관해서는, 프리디스펜스 롤러(281)의 높이 위치나 기판(9, 9)의 높이 위치에 따라 적절히 변경된다.
도 16은, 2장의 기판(9, 9)을 도포 처리하는 제5 실시 형태에 관련된 슬릿 노즐(21D)의 그 외의 이동 궤적을 나타낸 도포부(2D)의 개략 측면도이다. 도 16에 나타낸 예에서는, 슬릿 노즐(21D)이 (-X)측의 기판(9)을 처리한 후, 위치 L12로부터 메인트넌스 위치 L10으로 되돌아와 메인트넌스가 행해지고, (+X)측의 기판(9)에 처리액을 도포하기 위해서 위치 L13으로 이동한다. 이와 같이 1장의 기판(9)을 처리할 때마다, 슬릿 노즐(21D)의 메인트넌스가 행해지도록 해도 된다.
또한, 도 15 및 도 16에 나타낸 예에서는, (-X)측의 기판(9)으로부터 도포 처리가 행해지고 있다. 그러나, (+X)측의 기판(9)으로부터 도포 처리가 개시하도록 해도 된다. 또, 도 15 및 도 16에 나타낸 예에서는, 기판(9)에 대해 슬릿 노즐(21D)이 (+X)측으로 이동함으로써 도포 처리가 행해지고 있으며, 도포 방향(주사 방향)이 (+X)방향으로 되어 있다. 그러나, 이 도포 방향은 역방향(즉, -X방향)이어도 된다.
도 14로 되돌아와, 건조부(3D)는, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 수납하는 챔버(31D)를 구비하고 있다. 또한, 챔버(31D)는, 그 내부에, 기판(9, 9)을 (+Y)방향으로 반송하는 반송 롤러(13D)를 내장하고 있는 점에서 챔버(31)와 상이하지만, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 감압 건조하는 점에서는 챔버(31)와 공통되는 기능을 구비하고 있다.
기판 배출부(4D)에서는, (-X)측의 영역에서, 기판(9)이 1장씩 외부로 배출된다. 보다 구체적으로는, 건조부(3D)로부터 반송된 2장의 기판(9, 9) 중, 우선, (-X)측의 기판(9)이 외부로 배출된다. 그리고 (+X)측의 기판(9)이, 빈 (-X)측의 영역에 반송되고, 그 후, 그 기판(9)이 외부로 배출된다. 이 (-X)방향으로의 기판 반송은, 도시를 생략하지만, 도 6에 나타낸 반송 롤러(12)를 적용함으로써 실현할 수 있다. 또한, (+X)측의 영역으로부터 기판(9)이 외부에 배출되도록 해도 된다. 물론, 2장의 기판(9, 9)이 동시에 배출되도록 해도 된다. 또, (+X)측 및 (-X)측의 영역의 각각으로부터, 기판(9, 9)이 동시에 배출되도록 해도 된다.
본 실시 형태에서도, 복수의 기판(9, 9)을 동시에 도포부(2D) 또는 건조부(3D)에 반입할 수 있기 때문에, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 기판 처리 장치(100D)에서는, 반송 롤러(13D) 또는 승강 롤러(231D)에 의해 기판(9)의 반송이 행해진다. 반송 롤러(13D) 또는 승강 롤러(231D)에 의하면, 기판 수입부(1D), 도포부(2D), 건조부(3D) 또는 기판 배출부(4D)의 설치 영역 외(여기에서는, +X측 및 -X측의 외측 영역)로 2장의 기판(9, 9)이 나가지 않도록 반송할 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치(100) 등과 같이, 기판(9)이 외측 영역으로 나가도록 반송하는 경우에 비해, 장치의 풋 프린트를 작게 할 수 있다.
<6. 제6 실시 형태>
도 17은, 제6 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100E)의 개략 평면도이다. 또 도 18은, 제6 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100E)를 (+X)측에서 보았을 때의 개략 측면도이다. 기판 처리 장치(100E)는, 도 13 또는 도 14에 나타낸 기판 처리 장치(100D)와 거의 동일한 구성을 구비하고 있지만, 도포부(2D) 대신에 이하에 설명하는 도포부(2E)를 구비하고 있는 점에서 상이하다.
도포부(2E)는, Y축을 따라 연장되는 슬릿 노즐(21E)을 구비하고 있다. 슬릿 노즐(21E)은, 처리액을 토출하면서 Y축을 따라 이동함으로써, X축을 따라 병렬로 늘어 놓아진 2장의 기판(9, 9)에 대해, 동시에 도포 처리를 행한다. 또한, 도포부(2E)는, 기판(9)의 반송 경로(복수의 반송 롤러(13D) 또는 복수의 승강 롤러(231D)에 의해 반송될 때에 기판(9)이 지나는 길)의 상측에, 슬릿 노즐(21E)의 노즐 립을 메인트넌스하는 메인트넌스부(28E)가 설치되어 있다. 메인트넌스부(28E)는, 메인트넌스부(28D)와 거의 동일한 구성을 구비하고 있지만, 슬릿 노즐(21E)의 길이나 연장 방향에 대응하도록 구성되어 있는 점에서 메인트넌스부(28D)와는 상이하다.
도 18에 나타낸 바와 같이, 도포부(2E)에 있어서, 2장의 기판(9, 9)에 대해 도포 처리가 행해지는 경우, 슬릿 노즐(21E)은, 메인트넌스 위치 L20으로부터 (+Y)방향으로 이동하고, 스테이지(23E)에 올려 놓아져 있는 기판(9)의 (-Y)측단부의 위치까지 이동한다. 그리고 슬릿 노즐(21E)은, 기판(9, 9)에 도포 처리를 개시하는 위치 L21까지 하강한다. 그리고 슬릿 노즐(21E)은, 처리액을 토출하면서, 위치 L21로부터 (+Y)방향으로 이동하고, 도포를 종료하는 위치 L22까지 이동한다. 여기서, 슬릿 노즐(21E)이 (-Y)방향으로 이동(즉, 위치 L22로부터 위치 L21로 이동한다)함으로써, 도포 처리가 행해지도록 해도 된다.
기판 처리 장치(100E)에 의하면, 슬릿 노즐(21E)을 설치함으로써, 2장의 기판(9, 9)을 동시에 도포 처리할 수 있기 때문에, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
<7. 제7 실시 형태>
도 19는, 제7 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100F)의 개략 평면도이다. 또 도 20은, 제7 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100F)를 (+X)측에서 보았을 때의 개략 측면도이다. 기판 처리 장치(100F)는, 도 13 또는 도 14에 나타낸 기판 처리 장치(100D)와 거의 동일한 구성을 구비하고 있지만, 도포부(2D) 대신에 이하에 설명하는 도포부(2F)를 구비하고 있는 점에서 상이하다.
도포부(2F)는, 슬릿 노즐(21E)과 마찬가지로 Y축을 따라 연장되는 슬릿 노즐(21F)을 구비하고 있다. 도포부(2F)에서는, 도 20에 나타낸 바와 같이, (+Y)방향으로 반송되는 2장의 기판(9, 9)을 향해, 소요 위치에 고정된 슬릿 노즐(21F)로부터 처리액이 토출됨으로써 도포 처리가 행해진다. 도포부(2F)에서는, 반송 롤러(13D) 및 후술하는 도포용 반송 롤러(231F)에 의해 기판(9)을 슬릿 노즐(21F)에 대해 상대적으로 이동시킨다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 반송 롤러(13D) 및 도포용 반송 롤러(231F)가, 상대 이동 기구를 구성하고 있다.
도포용 반송 롤러(231F)는, 기판(9, 9)에 처리액을 도포할 때의 슬릿 노즐(21F)이 배치되는 위치의 바로 아래에 설치되어 있다. 도포용 반송 롤러(231F)의 기판(9)을 지지하는 원판 형상 부재는, 다른 반송 롤러(13D)의 것에 비해, 직경이 크고, 또, X축을 따르는 방향에 관해서 두껍게 형성되어 있다. 따라서, 도포용 반송 롤러(231F)에 의해, 기판(9)을 안정적으로 지지할 수 있기 때문에, 도포 처리를 적절히 행할 수 있다. 또한, 도포용 반송 롤러(231F)의 원판 형상 부재를 원통 형상으로 길게 형성해도 된다. 이 경우, 기판(9)을 안정적으로 지지하면서 반송할 수 있다. 또 도포용 반송 롤러(231F)의 기판(9)에 접하는 부분을, 고무, 실리콘 또는 합성 수지 소재 등의 탄성 소재로 형성함으로써, 기판(9)에 발생하는 진동을 적절히 흡수하도록 해도 된다.
기판 처리 장치(100F)에 의하면, 복수의 기판(9, 9)을 반송하면서 도포 처리를 행함으로써, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또, 도포 처리를 위해서 기판(9)을 올려 놓아 두는 공간을 큰 폭으로 생략할 수 있기 때문에, 장치의 풋 프린트를 작게 할 수 있다.
<8. 제8 실시 형태>
도 21은, 제8 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치(100G)의 개략 평면도이다. 기판 처리 장치(100G)는, Y축을 따라 배열되어 있는 기판 수입부(1G), 도포부(2G), 건조부(3G) 및 기판 배출부(4G)를 구비하고 있다. 기판 처리 장치(100G)에서는, 도 14에 나타낸 기판 처리 장치(100D)와 마찬가지로, 각 부에 설치되어 있는 복수의 반송 롤러에 의해 기판(9)이 (+Y)방향으로 이동함으로써 각 부에 순차적으로 반송된다.
기판 처리 장치(100G)에서는, 도 21에 나타낸 바와 같이, Y축에 관해서, 기판(9)이 일렬이 되어 반송된다. 단, 기판 처리 장치(100G)에서는, 2장의 기판(9)을 1세트로 하여, 도포부(2G) 또는 건조부(3G)에 반입하도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 기판 처리 장치(100G)는, 기판 수입부(1G)에 있어서, 기판(9)을 1장씩, 또는, 2장 동시에 외부로부터 수취하여 Y축을 따라 병렬시킨다. 그리고, 2장의 기판(9, 9)이 갖춰진 단계에서, 반송 롤러의 구동에 의해, 2장의 기판(9, 9)이 함께 도포부(2G)를 향해 동시에 반송된다. 마찬가지로, 도포부(2G)에서 도포 처리를 끝낸 2장의 기판(9, 9)은, 반송 롤러의 구동에 의해, 함께 건조부(3G)로 반송된다.
도포부(2G)에서는, 슬릿 노즐(21G)이 동시에 2장의 기판(9, 9)을 향해 처리액을 토출하면서 X축을 따라 이동함으로써, 도포 처리가 행해진다. 또한, 2장 동시에 도포 처리하는 슬릿 노즐(21G) 대신에, 1장씩 처리액을 도포하는 슬릿 노즐(예를 들면, 도 13에 나타낸 슬릿 노즐(21D) 등)에 의해, 도포 처리를 행하도록 해도 된다.
건조부(3G)는, 2장의 기판(9, 9)을 Y축을 따라 병렬시킨 상태로 건조시키는 챔버(31G)를 구비하고 있다. 이 챔버(31G)에 의해, 2장의 기판(9, 9)을 한 번에 감압 건조할 수 있다. 건조부(3G)에서 건조 처리를 끝낸 2장의 기판(9, 9)은, 반송 롤러에 의해 기판 배출부(4G)에 반송되어, 외부로 배출된다.
이상과 같이 기판 처리 장치(100G)에서도, 2장의 기판(9)을 동시에 도포부(2G) 또는 건조부(3G)에 반송함으로써, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
<9. 변형예>
이상, 실시 형태에 대해서 설명해 왔지만, 본 발명은 상기와 같은 것에 한정되는 것은 아니며, 다양한 변형이 가능하다.
예를 들면 상기 실시 형태에서는, 동시에 2장의 기판을 도포부 또는 건조부로 반송하도록 하고 있지만, 3장 이상의 기판을 반송하도록 해도 된다.
또, 상기 실시 형태에서는, 2장의 기판에 대해 동시에 도포 처리, 또는, 건조 처리하는 예에 대해서 설명했다. 그러나, 3장 이상의 기판을 동시에 처리할 수 있도록 해도 된다.
또, 상기 실시 형태에서는, 슬릿 형상으로 개구하는 토출구로부터 처리액을 선 형상으로 토출하도록 하고 있다. 그러나, 예를 들면, 원형 형상의 복수의 토출구를 일방향을 따라 배열함으로써, 처리액을 대략 선 형상으로 토출하도록 해도 된다. 또, 상기 실시 형태에서는, 슬릿 노즐을 기판에 대해 상대적으로 일방향으로 이동시키는 이른바 슬릿 코트법에 의해 도포 처리가 행해지고 있다. 그러나, 기판을 회전시켜 처리액을 도포하는 스핀 코트법에 의해 도포 처리가 행해져도 된다.
또, 상기 실시 형태(예를 들면, 제5 실시 형태, 제6 실시 형태, 제7 실시 형태 또는 제8 실시 형태)에서는, 반송 롤러(13D)에 의해, 도포부로부터 직접 건조부로 기판(9)을 반송하고 있다. 그러나, 도포부와 건조부 사이에, 기판(9)을 일시적으로 대기시켜 두는 대기부를 설치해도 된다. 이러한 대기부는, 예를 들면, 기판(9)이 재치 가능한 영역을, 몇개의 반송 롤러에 의해 형성함으로써 실현할 수 있다. 반송 롤러의 회전을 정지시킴으로써, 기판(9)을 대기시킬 수 있고, 반송 롤러를 회전시킴으로써, 기판(9)을 건조부로 반송할 수 있다. 이러한 대기부를 설치함으로써, 도포부에서의 도포 처리 시간보다도 건조부에서의 건조 시간 쪽이 긴 경우여도, 도포 처리가 끝난 기판(9)을 대기부로 반송하여 대기시킬 수 있다. 즉, 선행하는 기판(9)의 건조 처리가 끝날 때까지, 도포 처리 후의 기판(9)을 도포부에 대기시키지 않아도 되어, 다음의 도포 처리 전의 기판(9)을 도포부에 신속히 반입할 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치에 의한 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 상기 각 실시 형태 및 각 변형예에서 설명한 각 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합하거나, 또는 생략할 수 있다.
100, 100A~100G: 기판 처리 장치 1, 1A, 1B, 1D, 1G: 기판 수입부
11, 11B: 스테이지 12, 13, 13D: 반송 롤러
121: 회전축 123: 원판 형상 부재
2, 2a, 2B, 2D~2G: 도포부
21, 21a, 21B, 21Ba, 21D~21G: 슬릿 노즐
211: 토출구 213: 오목부
214: 립면 22: 가교 구조
23, 23B, 23D: 스테이지 231, 231D: 승강 롤러
231F: 도포용 반송 롤러(상대 이동 기구)
25: 리니어 모터(상대 이동 기구)
26: 승강 기구 27: 처리액 공급 펌프
28, 28D, 28E: 메인트넌스부 3, 3B, 3D, 3G: 건조부
31, 31B, 31D, 31G: 챔버 4, 4A, 4Aa, 4D, 4G: 기판 배출부
5, 5A, 5Aa, 5B, 6, 7: 반송 기구 5C, 6C: 반송 셔틀
51C: 레일 52C: 이동부(이동 기구)
53: 선회 기구 54: 승강 기구
541~544: 지지 부재 54C: 기판 지지부
551, 552, 553: 연신 아암 56: 지지면
61: 반송 아암 8: 제어부
9: 기판

Claims (8)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서,
    외부로부터 기판을 받아들이는 기판 수입부(受入部)와,
    상기 기판에 처리액을 도포하는 도포부와,
    상기 기판 수입부에 있는 복수의 상기 기판을 동시에 상기 도포부에 반송하는 반송 기구를 포함하는 반송 계통을 구비하는, 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 도포부는 상기 복수의 기판에 대해 동시에 처리액을 도포하는, 기판 처리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 도포부에 있어서 상기 처리액이 도포된 기판을 건조시키는 건조부를 더 구비하는, 기판 처리 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 건조부는,
    복수의 상기 기판을 동일 공간 내에 유지하는 챔버를 구비하고 있으며, 상기 챔버 내에 있어서, 상기 처리액이 도포된 복수의 상기 기판이 동시에 건조되는, 기판 처리 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 반송 계통은 복수의 상기 기판을 동시에 상기 건조부로 반송하는 반송 기구를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 도포부는,
    일방향으로 연장되는 토출구로부터 처리액을 토출하는 노즐과,
    상기 노즐을 상기 기판에 대해 상대적으로 이동시키는 상대 이동 기구를 구비하는, 기판 처리 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 노즐에는 상기 토출구가 복수 형성되어 있으며,
    상기 노즐의 복수의 상기 토출구 사이에 오목부가 형성되어 있는, 기판 처리 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 반송 계통은,
    복수의 상기 기판의 상방을 이동하기 위한 이동 기구와, 복수의 상기 기판을 상방으로부터 접근하여 지지하는 기판 지지부를 가지는 반송 기구를 포함하는, 기판 처리 장치.
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