KR20130016927A - 기판 표면처리용 블레이드 모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 콤팩트한 구조로 간단한 장비 구성이 가능하고, 기판 표면, 특히 실리콘막의 표면에 형성된 실리콘 산화막을 효과적으로 제거하고, 기판 표면의 균일도를 높여주며, 세정율을 정밀하게 조절하기 위한 것으로, 길이방향을 따라 기판을 향해 에칭액 및 물 중 적어도 하나를 제공하는 액제공 모듈과, 길이방향을 따라 공기분사 노즐이 구비되어 상기 기판을 향해 액절 공기를 분사하는 공기분사 모듈과, 상기 액제공 모듈의 양단과 상기 공기분사 모듈의 양단을 고정시켜 상기 액제공 모듈과 상기 공기분사 모듈을 조립하는 프레임을 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈에 관한 것이다.

Description

기판 표면처리용 블레이드 모듈{Blade module for treating of surface of substrate }

본 발명은 기판 표면처리용 블레이드 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세히는 에칭액과 액절공기의 제공이 가능한 기판 표면처리용 블레이드 모듈에 관한 것이다.

유기 발광 표시 장치 또는 액정 표시 장치를 형성하기 위한 기판에는 복수의 박막 트랜지스터를 포함한 구동 소자들이 형성된다.

이를 위해 상기 기판에는 폴리 실리콘막과 같은 실리콘막이 형성된다.

그런데 폴리 실리콘막은 자연 상태에서 표면에 실리콘 산화막을 갖는다.

이처럼 폴리 실리콘막의 표면에 형성된 실리콘 산화막은 폴리 실리콘막으로 형성될 전자 소자의 특성에 영향을 미치고, 공정 중 파티클 등의 오염원으로 작용할 수 있기 때문에 이를 제거하지 않으면 안 된다.

또한 폴리 실리콘막은 비정질 실리콘막을 ELA 등의 결정화 공정을 거쳐 형성하는 데, 표면 러프니스가 높아 그 표면 균일도를 높일 필요도 있다.

이러한 이유로 인해 상기 실리콘막이 형성되어 있는 기판의 표면에 대하여 표면처리를 해야 하는 데, 표면 처리를 위한 장비의 경우 표면처리액을 제공하기 위한 다양한 노즐이 설치되어야 하기 때문에 구성이 복잡해지게 되는 문제가 발생된다.

선행기술문헌 1의 경우, 샤워노즐 및 스프레이노즐을 이용하여 동일한 세정액을 분사하고, 기판의 세정효과를 증대시키기 위하여 가스 압력을 이용하여 스프레이 노즐을 통해 세정액을 강하게 분사하는 것을 특징으로 하고 있다. 그러나 이는 세정 효과를 위해 세정액의 분사압을 높이기 위한 것이기 때문에 장비의 콤팩트한 구성과 세정율의 정밀한 제어에는 맞지 않는 한계가 있다.

1: 대한민국 공개특허공보 제2007-0097715호

본 발명은, 기판 표면, 특히 실리콘막의 표면에 형성된 실리콘 산화막을 효과적으로 제거하고, 기판 표면의 균일도를 높여주며, 세정율을 정밀하게 조절할 수 있는 기판 표면처리용 블레이드 모듈을 제공하는 데에 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 콤팩트한 구조로 간단한 장비 구성이 가능한 기판 표면처리용 블레이드 모듈을 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 길이방향을 따라 기판을 향해 에칭액 및 물 중 적어도 하나를 제공하는 액제공 모듈과, 길이방향을 따라 공기분사 노즐이 구비되어 상기 기판을 향해 액절 공기를 분사하는 공기분사 모듈과, 상기 액제공 모듈의 양단과 상기 공기분사 모듈의 양단을 고정시켜 상기 액제공 모듈과 상기 공기분사 모듈을 조립하는 프레임을 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈을 제공한다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 액제공 모듈은, 길이방향을 따라 형성된 복수의 액공급 홀과, 상기 기판을 향해 형성된 액제공 노즐을 포함하고, 상기 액공급 홀과 상기 액제공 노즐의 사이는 다단 경로로 구비된 것일 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 액공급 홀에 각각 결합된 복수의 제1공급관들과, 상기 제1공급관들을 연결하는 제2공급관을 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 액제공 모듈은, 상기 에칭액 또는 물이 수용되고 상부에서 상기 에칭액 또는 물이 넘쳐 흐르도록 구비된 수용부와, 상기 수용부를 넘쳐 흐르는 에칭액 또는 물을 상기 기판의 표면 방향으로 가이드하도록 상기 수용부와 연결된 가이드부를 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 상부면이 일부 개구되도록 형성되어 상기에칭액 또는 물이 투과되도록 구비된 투과 슬릿을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 상부면에 형성되고 상기 투과 슬릿과 연결되며 상기 수용부의 너비 방향 및 외측 방향으로 연장된 복수의 가이드 홈을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 수용부는, 상기 에칭액 또는 물의 유입구를 포함하고 상기 가이드부와 연결된 하측 수용부와, 상기 하측 수용부와 연통되고 상부면에 상기 투과 슬릿이 형성된 상측 수용부와, 상기 하측 수용부와 상측 수용부의 사이에 개재되어 상기 하측 수용부와 상측 수용부를 서로 연통시키고, 상기 하측 수용부 및 상측 수용부보다 좁게 구비된 협로를 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 수용부는 단면이 사각형으로 형성되고, 상기 수용부는 상면의 전체가 개방되도록 형성된 개방부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 내부에 수평 방향으로 배치되는 완충 격벽을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 완충 격벽은 복수의 완충 투과공을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 수용부는 액공급관과 연결되고, 상기 완충 격벽은 상기 액공급관과의 연결 부분보다 상측에 배치될 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 가이드부는 수직 하부로 갈수록 좁아지도록 점진적인 경사를 이루도록 구비될 수 있다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 공기분사 모듈은 상기 프레임에 경사방향으로 설치되어 상기 기판을 향해 사선방향으로 액절 공기를 분사하는 것일 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 프레임은, 상기 공기분사 모듈의 양단에 결합되고 각도 조절 슬릿을 구비한 한 쌍의 제1프레임과, 상기 제1프레임들이 결합되는 한 쌍의 제2프레임을 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 제2프레임은 상기 제1프레임들이 결합되는 결합부와 상기 결합부와 이격된 지지부를 포함하고, 상기 지지부는 상기 한 쌍의 제2프레임 사이를 연결하는 지지프레임에 결합된 것일 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 액제공 모듈은 상기 기판을 향해 에칭액을 제공하는 제1 액제공 모듈과 상기 기판을 향해 물을 제공하는 제2액제공 모듈을 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 프레임은 상기 제1액제공 모듈과 제2액제공 모듈을 결합시키는 제3프레임을 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 공기분사 모듈의 길이방향을 따라 상기 공기분사 모듈에 결합된 복수의 제3공급관과, 상기 제3공급관을 연결하는 제4공급관을 포함할 수 있다.

상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 보다 간단하고 콤팩트한 구조의 기판 표면처리장치의 구성이 가능해진다.

에칭율의 조절이 용이해 보다 정밀한 기판 표면처리를 수행할 수 있다.

에천트에 의해 실리콘막 표면의 세정과 함께 실리콘 산화막을 에칭할 수 있고, 실리콘 산화막이 에칭된 후의 실리콘막 표면의 평활도가 더욱 향상될 수 있다.

또한, 에천트와 물 및 서로 다른 에천트들을 다른 시간대로 제공함으로써, 에천트들의 에칭 정도를 조절할 수 있다.

그리고 에천트의 제공 후에 물을 제공함으로써 완충 기능을 통해 에칭 정도의 정밀한 제어가 가능해지고, 제1액과 제2액의 혼합에 의해 원하는 에칭율이 달라지는 문제 및 이로 인한 양산성 저하를 방지할 수 있다.

본 발명은 또한 액절 공기의 제공을 통해 에천트와 물을 기판의 표면에서 제거함으로써, 기판 표면에서 에천트와 물이 섞이지 않도록 해, 애초 원하는 바와 같은 에칭 정밀도를 얻을 수 있다.

이러한 에천트 및 물의 제공이 동일 챔버 내에서 이뤄지도록 함으로써 보다 콤팩트한 장치 구성이 가능하게 된다.

본 발명은 에천트 및 물을 하나의 노즐을 이용해 공급시킴으로써, 장치를 컴팩트하게 할 수 있고, 부품 수를 줄일 수 있다.

뿐만 아니라, 액절 공기의 공급 장치를 액 공급 장치와 일체로 구비시킴으로써 장치를 보다 컴팩트하게 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 기판의 처리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 구성도,
도 2는 도 1의 블레이드 모듈의 장치 구성도.
도 3은 도 1의 블레이드 모듈의 일 예를 보다 상세히 도시한 분해 사시도,
도 4는 도 1의 제1프레임과 제2프레임의 결합관계를 도시한 정면도,
도 5는 도 1의 제1공기분사 모듈의 단면도,
도 6은 도 1의 제1액제공 모듈의 단면도,
도 7은 도 1의 블레이드 모듈의 다른 일 예를 보다 상세히 도시한 분해 사시도,
도 8은 도 7의 제1액제공 모듈의 일 실시예를 도시한 단면도,
도 9는 도 8의 제1액제공 모듈의 투과 슬릿 및 가이드 홈의 일 예를 도시한 평면도,
도 10은 도 8의 제1액제공 모듈의 투과 슬릿 및 가이드 홈의 다른 일 예를 도시한 평면도,
도 11은 도 7의 제1액제공 모듈의 다른 일 실시예를 도시한 단면도,
도 12는 도 7의 제1액제공 모듈의 또 다른 일 실시예를 도시한 단면도,
도 13은 도 7의 제1액제공 모듈의 또 다른 일 실시예를 도시한 단면도.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 실시예들에 대하여 보다 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 표면처리 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 기판 표면처리 장치는, 챔버(20)와, 챔버(20) 내에 설치되는 블레이드 모듈(30)을 포함한다.

챔버(2)의 내부에는 일 방향으로 복수의 롤러(21)들이 배치되어 있다. 이 롤러(21)들은 별도의 구동원에 연결되어 그 위로 공급되는 기판(10)을 평면 방향으로 도 1에서 볼 때 좌우로 이송시킬 수 있게 된다.

롤러(21)들의 하부에는 기판(10)을 지지하는 지지대(22)가 배치된다.

상기 지지대(22)는 상기 롤러(21) 들의 사이에 배열된 복수의 지지핀(222)들을 포함하는 데, 이 지지핀(222)들은 구동 바아(221)에 배설되어, 구동 바아(221)가 상하부로 이동함에 따라 롤러(21)들의 사이를 지나 기판(10)을 밀어 올려 지지할 수 있다. 지지핀(222)의 첨단에는 탄성부재(223)가 배치되어 기판(10)에 충격을 주는 것을 방지하고 기판(10)이 미끄러지지 않도록 할 수 있다. 상기 구동 바아(221)는 별도의 구동장치(미도시)에 연결되어 도 1에서 볼 때 상하 방향으로 운동하도록 구비된다.

본 발명에 있어, 상기 지지대(22)는 반드시 도 1에 도시된 예로 한정되는 것은 아니며, 상기 기판(10)을 고정시키거나 및/또는 얼라인할 수 있는 어떠한 형태의 구조물도 적용될 수 있음은 물론이다. 상기 지지대(22)는 지면에 수평하게 구비될 수 있는 데, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 별도의 경사 조절부(미도시)를 구비해, 기판(10)이 지면과 경사지게 배치되도록 지지대(22)를 조절할 수 있다. 이 경사 조절부는 지지대(22)를 회동시켜 기판(10)이 지면에 수직하게 되도록 하거나, 기판(10)이 지면에 예각을 이루며 경사지도록 할 수도 있다. 이 때, 상기 지지대(22)가 기판(10)이 경사질 때, 기판(10)을 고정할 수 있는 것이면 어떠한 형태이든 무방할 것이다. 또한 상기 기판(10)은 반드시 상기 지지대(22)에 의해 고정 지지되어 있을 필요는 없으며 기판이 처리되는 동안에 상기 롤러(21)들 위에 놓여 있을 수 있다.

상기 기판(10)의 상부에는 블레이드 모듈(30)이 설치되는 데, 이 블레이드 모듈(30)은 구동 블록(41)과 가이드(42)에 의해 수평 방향으로 왕복 운동할 수 있다. 구동 블록(41)과 가이드(42)는 리니어 모터 시스템이 될 수 있다.

상기 블레이드 모듈(30)은 적어도 상기 기판(10)의 너비에 대응되는 길이로 구비되어 기판(10) 전체 면적에 걸쳐 소정의 액이 공급되도록 할 수 있다.

상기 구동 블록(41)은 상기 가이드(42)를 따라 왕복 운동하고, 이에 따라 블레이드 모듈(30)로부터 토출되는 액 및 액절 공기에 의해 기판(10) 표면이 처리된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 표면처리 장치로서, 도 1에 도시된 실시예에서는 기판(10)이 고정된 상태에서 블레이드 모듈(30)이 운동하면서 기판(10)의 표면에 소정의 액 및/또는 액절 공기를 공급하는 것이다. 그러나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 블레이드 모듈(30)이 고정된 상태에서 기판(10)이 움직이도록 구비될 수도 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 블레이드 모듈(30)을 포함하는 기판의 표면처리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.

도 2에서 볼 수 있듯이, 특정 챔버 내에 설치되는 기판의 표면처리 장치는 블레이드 모듈(30)과 제어부(70)와 제1저장조(35) 내지 제3저장조(55) 및 공기 탱크(65)를 포함한다.

본 발명에 의해 처리되기 전의 상기 기판(10)은 특히 디스플레이용으로 사용되는 다양한 종류의 기판을 포함할 수 있는 데, 베이스 기판(11), 실리콘막(12), 실리콘 산화막(13)을 포함한다.

상기 베이스 기판(11)은 글라스, 플라스틱 또는 메탈 기판을 포함할 수 있는 데, 비록 도면으로 도시하지는 않았지만 표면에 유기물 및/또는 무기물에 의한 절연막이 더 구비될 수 있다.

상기 실리콘막(12)은 상기 베이스 기판(11)의 표면에 비정질 실리콘막을 성막하여 얻을 수 있다. 이러한 실리콘막(12)은 후속 공정으로 결정화 공정을 통해 폴리 실리콘막으로 될 수 있다. 결정화 공정은 ELA와 같은 레이저 결정화 공정이 사용될 수 있는 데, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 결정화 공정이 사용될 수 있다. 상기 실리콘막(12)을 결정화하여 얻어지는 폴리 실리콘막은 디스플레이의 박막 트랜지스터의 활성층 등으로 사용될 수 있다. 물론, 상기 비정질 실리콘막도 패터닝과 도핑 등을 통해 박막 트랜지스터의 활성층으로 사용될 수 있다.

상기 실리콘 산화막(13)은 상기 실리콘막(12)의 표면에 형성된다. 이 실리콘 산화막(13)은 실리콘막(12)의 표면이 공기 중에서 산소 또는 질소와 결합하여 자연적으로 형성된 산화막으로, 일반적으로 5~1,000Å 두께로 형성된다.

상기와 같은 기판(10)은 전술한 바와 같이 베이스 기판(11) 상에 실리콘막(12)이 성막된 기판에 한정되는 것은 아니며, 실리콘막을 포함하는 실리콘 웨이퍼 등 실리콘막을 포함하는 다양한 종류의 기판이 적용될 수 있음은 물론이다.

상기 블레이드 모듈(30)은 상기 기판(10)의 표면에 제1액 내지 제3액을 선택적으로 제공하기 위한 것으로, 엄밀하게는 실리콘막(12)의 표면에 형성된 실리콘 산화막(13)의 표면에 제1액 내지 제3액을 선택적으로 제공하기 위한 것이다.

상기 제1액은 제1저장조(35)에 저장되는 데, 실리콘막(12)의 표면에 형성된 실리콘 산화막(13)을 에칭할 수 있는 성분의 용액을 포함한다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에 있어, 상기 제1액은 오존 용액을 포함하는 용액이 될 수 있다. 상기 제1액은 실리콘 산화막(13)에 대한 에칭율은 후술하는 제2액에 비해 떨어지는 것을 사용하는 데, 오히려 기판(10) 표면의 유기물을 세정하는 세정제의 기능을 할 수 있다. 이로 인해, 상기 제1액은 중성 또는 알카리성 세정제로 대체 가능하다.

상기 제2액은 제2저장조(45)에 저장되는 데, 실리콘막(12)의 표면에 형성된 실리콘 산화막(13)을 에칭할 수 있고, 상기 제1액과는 다른 성분을 가지며, 제1액보다 실리콘 산화막에 대한 에칭율이 높은 용액을 사용한다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에 있어, 상기 제2액은 불산 또는 불화 암모늄 용액을 포함하는 용액이 될 수 있다.

상기 제3액은 제3저장조(55)에 저장되는 데, 상기 기판(10)의 표면으로부터 상기 제1액 및 제2액을 적어도 희석시킬 수 있는 것으로, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면 물을 포함할 수 있고, 이 물은 탈이온화된 순수(DI water)를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 제3액은 에천트인 제1액 및 제2액의 기판(10) 표면에서의 작용을 멈추게 하는 완충수로서의 기능을 할 수 있다.

상기 블레이드 모듈(30)은 상기 제1액 내지 제3액을 각각 기판(10)에 고루 퍼지도록 제공하는 데, 이를 위해, 기판(10) 표면과 소정거리 이격된 상태로 기판(10)의 면방향 중 일 방향으로 편도 또는 왕복운동하면서 기판(10)의 표면에 제1액 내지 제3액을 제공하도록 구비된다.

상기 블레이드 모듈(30)에는 상기 제1액 내지 제3액을 상기 블레이드 모듈(30)로 선택적으로 공급할 수 있도록 기능을 겸하도록 설계될 수 있다. 이를 위해 상기 블레이드 모듈(30)로 제1액 내지 제3액의 토출을 위한 별도의 펌프 수단(미도시)이 구비될 수 있다.

제1저장조(35)와 제3저장조(55)는 제1액제공 모듈(311)에 연결되고, 제2저장조(45)는 제2액제공 모듈(312)에 연결된다. 제1저장조(35)와 제1액제공 모듈(311)의 사이에는 제1개폐변(36)이 개재되어 연결될 수 있다. 제2저장조(45)와 제2액제공 모듈(312)의 사이에는 제2개폐변(46)이 개재되어 연결될 수 있다. 제3저장조(55)와 제1액제공 모듈(311)의 사이에는 제3개폐변(56)이 개재되어 연결될 수 있다. 이 제1개폐변(36) 내지 제3개폐변(56)은 각각 제어부(70)에 연결되어 제어부(70)에 의해 개폐가 제어되는 전자변이 사용될 수 있다.

상기 제3저장조(55)는 제1액제공 모듈(311)에만 연결되어 있는 데, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 제2액제공 모듈(312)에도 연결되어 제2액과 제3액이 제2액제공 모듈(312)을 통해 선택적으로 기판(10)에 제공되도록 할 수 있다.

도 2에 따른 실시예에서는 제1액제공 모듈(311)과 제2액제공 모듈(312)의 결합체만이 도시되어 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 별도의 제3액제공 모듈을 더 포함시켜 제1액 내지 제3액이 각각 별도의 액제공 모듈을 통해 기판에 제공되도록 할 수 있고, 하나의 액제공 모듈만을 구비토록 하여 제1액 내지 제3액이 단일의 액제공 모듈을 통해 기판에 제공되도록 할 수도 있다. 단일의 액제공 모듈을 이용하는 경우에도 제1개폐변(36) 내지 제3개폐변(56)이 모두 구비되어 선택적으로 분사 가능하도록 할 수 있다.

상기 기판(10)에 대하여 제1액, 제3액, 및 제2액의 순으로 제공될 수 있다. 블레이드 모듈(30)이 왕복 운동을 하면서 동작하는 경우에는 제1액, 제3액, 제2액, 제3액, 및 제1액의 순으로 제공될 것이다.

이러한 제1액 내지 제3액의 제공순서는 공정 조건에 따라 변경 가능하며, 예컨대 제2액, 제3액, 및 제1액의 순으로 제공될 수도 있고, 제1액, 및 제3액의 순으로, 또는 제2액 및 제3액의 순으로 제공될 수도 있다. 물론 이 경우에도 블레이드 모듈(30)이 왕복 운동을 하면서 동작하는 경우에는 역순의 제공이 반복될 수 있다.

뿐만 아니라, 제3액을 제공하지 않고 제1액 및 제2액의 순으로 제공될 수 있다. 이 경우에도 블레이드 모듈(30)이 왕복 운동을 하면서 동작하는 경우에는 역순의 제공이 반복될 수 있다.

본 발명은 이처럼 서로 에칭율이 다른 에천트인 제1액과 제2액을 서로 다른 시간대에 기판(10)에 제공함으로써 기판(10) 표면의 세정과 동시에 실리콘 산화막(13)의 에칭 정도를 효과적으로 제어할 수 있고, 또, 실리콘 산화막(13)이 제거된 실리콘막(12) 표면의 평활도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 제3액을 기판(10)에 제공함으로써, 기판(10) 표면에 잔존해 있는 제1액 및/또는 제2액을 제3액으로 씻어주는 효과를 갖게 되며, 이에 따라 기판(10) 표면에 잔존하는 제1액과 제2액이 섞여 원하는 에칭율을 얻지 못하게 되는 문제를 사전에 방지할 수 있게 된다. 이에 따라 정확한 에칭율 관리가 가능해지며, 양산 공정에 적용 시에도 품질의 균일도를 높일 수 있게 된다.

상기와 같은 제1액 내지 제3액의 제공은 1회 왕복 스캔에 한정되지 않고 각 액 당 적어도 2회 이상의 스캔으로 제1액 내지 제3액 중 적어도 두 가지 액이 선택적으로 제공하는 경우를 포함한다.

한편, 상기 제1액제공 모듈(311)의 전단에는 제1공기분사 모듈(321)이 구비되고, 상기 제2액제공 모듈(312)의 후단에는 제2공기분사 모듈(322)이 구비된다. 제1공기분사 모듈(321)과 제2공기분사 모듈(322)은 모두 공기 탱크(65)에 연결되며, 제어부(70)에 의해 조절되는 제4개폐변들(66a)(66b)이 제1공기분사 모듈(321)및 제2공기분사 모듈(322)과 공기 탱크(65)의 사이에 각각 개재된다. 이 제4개폐변들(66a)(66b)도 제어부(70)에 연결되어 제어부(70)에 의해 개폐가 제어되는 전자변일 수 있다.

상기 액절 공기는 그 전 단계에서 기판(10)에 제공되어 기판(10)의 표면에 잔존하는 제1액 내지 제3액 중 적어도 하나를 공기 압력에 의해 밀어내어 제거하는 것으로, 이에 따라 제1액 내지 제3액은 기판(10)의 표면에서 서로 섞이는 일이 없게 되고, 이에 따라 특히 제1액 및 제2액과 같은 에천트의 농도가 원래 의도한 농도와 달리 변하는 것을 방지할 수 있다. 따라서 상기 액절 공기에 의해 특히 제1액 및 제2액의 에칭 속도 등을 정확하게 제어할 수 있게 되고, 제3액에 의한 완충 작용도 용이하게 컨트롤 가능해진다.

이러한 액절 공기는 전술한 제1액 내지 제3액 중 적어도 하나와 동시에 및/또는 순차로 기판에 분사될 수 있다.

도 3은 상기 블레이드 모듈(30)의 일 예를 보다 상세하게 도시한 부분 사시도이다.

도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 블레이드 모듈(30)은, 길이방향을 따라 액제공 노즐이 구비되어 기판을 향해 적어도 하나의 에칭액 및 물 중 적어도 하나를 제공하는 액제공 모듈(310)과, 길이방향을 따라 공기분사 노즐이 구비되어 상기 기판을 향해 액절 공기를 분사하는 공기분사 모듈(320)과, 상기 액제공 모듈(310)의 양단과 상기 공기분사 모듈(320)의 양단을 고정시켜 상기 액제공 모듈(310)과 상기 공기분사 모듈(320)을 조립하는 프레임(31)을 포함한다.

도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 액제공 모듈(310)은 제1액제공 모듈(311)과 제2액제공 모듈(312)이 구비되며, 이들은 서로 그 측면이 붙은 상태로 그 길이방향의 양단이 제3프레임(350)에 의해 고정되어 있다.

전술한 바와 같이, 상기 제1액제공 모듈(311)은 오존 용액 및/또는 순수와 같은 물을 기판에 제공하는 것이 될 수 있고, 상기 제2액제공 모듈(312)은 에칭액을 기판에 제공하는 것이 될 수 있다. 물론, 제1액제공 모듈(311)로부터 오존 용액만이, 제2액제공 모듈(312)로부터 에칭액이 나오도록 할 수도 있고, 제1액제공 모듈(311)로부터 오존 용액이, 제2액제공 모듈(312)로부터 물만이 나오도록 할 수도 있다. 제2액제공 모듈(312)에서도 에칭액과 물이 선택적으로 나오도록 할 수 있다. 제1액제공 모듈(311) 및 제2액제공 모듈(312)은 별도의 제어부에 연결되어 서로 선택적으로 동작하도록 하는 것이 바람직하다.

한편, 도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 액제공 모듈(310)은 제1액제공 모듈(311)과 제2액제공 모듈(312)의 결합체로서 구비되어 있는 데, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 별도의 제3액제공 모듈(미도시)이 더 구비되어 제1액 내지 제3액이 각각 별도의 액제공 모듈을 통해 기판에 제공되도록 할 수 있다.

상기 공기분사 모듈(320)도 제1공기분사 모듈(321)과 제2공기분사 모듈(322)을 포함할 수 있다. 제1공기분사 모듈(321)과 제2공기분사 모듈(322)은 상기 액제공 모듈(310)을 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.

상기 공기분사 모듈(320)은 상기 프레임(31)에 경사방향으로 설치되어 기판을 향해 사선방향으로 액절 공기를 분사한다.

상기 프레임(31)은, 상기 공기분사 모듈(320)의 양단에 결합된 한 쌍의 제1프레임(330)과, 상기 제1프레임들이 결합되는 한 쌍의 제2프레임(340)과, 상기 제1액제공 모듈(311)과 제2액제공 모듈(312)을 결합하고 상기 제2프레임(340)에 결합되는 한 쌍의 제3프레임(350)을 포함한다.

상기 각 제1프레임(330)들은 도 4에서 볼 수 있듯이, 각도 조절 슬릿(333)이 설치되어 있다.

상기 제1프레임(330)은 제1공기분사 모듈(321) 및 제2공기분사 모듈(322) 당 한 쌍씩 구비된다. 상기 제1프레임(330)은 제1공기분사 모듈(321) 및 제2공기분사 모듈(322)의 양단에 체결 볼트(331)(332)에 의해 결합되는 데, 이 중 하나의 체결 볼트(332)가 제1프레임(330)의 각도 조절 슬릿(333)에 체결된다. 각도 조절 슬릿(333)은 부채꼴 형태의 호를 이루도록 형성되어 있으며, 하나의 체결 볼트(331)가 제1프레임(330)의 상부에 고정적으로 체결되고, 다른 체결 볼트(332)가 각도 조절 슬릿(333)을 따라 적당한 위치에 체결됨으로써 상기 제1공기분사 모듈(321) 및 제2공기분사 모듈(322)은 각각 제1프레임(330)에 경사지게 설치될 수 있게 된다. 제1프레임(330)에는 각도 조절 슬릿(333)을 따라 눈금(333)이 설정되어 있어 제1공기분사 모듈(321) 및 제2공기분사 모듈(322)의 경사 각도를 설정할 수 있다.

이러한 제1프레임(330)은 제2프레임(340)에 결합된다. 상기 제2프레임(340)의결합부(341)에는 상하 방향으로 길게 형성된 체결 슬릿(343)이 구비되며, 이 체결 슬릿(343)에 한 쌍의 체결 볼트(344)(345)가 결합되어 제1프레임(330)의 일측 가장자리를 고정한다.

상기 각 제2프레임(340)은 상기 제1프레임들(330) 및 제3프레임들(350)이 결합되는 결합부(341)와, 상기 결합부와 이격된 지지부(342)를 포함한다. 상기 지지부는 상기 한 쌍의 제2프레임(340) 사이를 연결하는 지지프레임(360)에 결합된다. 도 3에서 볼 때, 상기 지지프레임(360)은 그 길이방향을 따라 장방형인 중공의 판상체로 형성될 수 있고, 이 중공의 상부에 제2프레임(340)의 지지부(342)가 하부에 제2프레임(340)의 결합부(341)가 위치하는 형태로 배치될 수 있다. 지지부(342)는 상기 지지프레임(360)을 따라 적절한 위치에 고정적으로 결합될 수 있다.

한편, 상기 액제공 모듈(310)에는 그 길이방향을 따라 복수의 제1공급관(313)이 설치되어 에칭액 및/또는 물을 공급한다. 그리고 이들 제1공급관(313) 사이에는 제2공급관(314)이 설치되어 제1공급관들(313)을 서로 연결한다.

따라서 외부의 별도 저장조(미도시)로부터 공급된 에칭액 및/또는 물은 상기 제2공급관(314) 및 제1공급관(313)을 거쳐 액제공 모듈(310)에 공급된다.

상기 공기분사 모듈(320)에도 그 길이방향을 따라 복수의 제3공급관(323)이 설치되어 액절 공기를 공급한다. 그리고 이들 제3공급관(323) 사이에는 제4공급관(324)이 설치되어 제3공급관들(323)을 서로 연결한다.

따라서 외부의 별도 공기 탱크(미도시)로부터 공급된 액절 공기는 상기 제4공급관(324) 및 제3공급관(323)을 거쳐 공기분사 모듈(320)에 공급된다.

전술한 실시예에서 액제공 모듈(310)은 제1액제공 모듈(311)과 제2액제공 모듈(312)이 결합되어 구비되었으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 단일의 제1액제공 모듈(311)과 제2액제공 모듈(312) 중 어느 하나만 구비될 수도 있다. 또한 공기분사 모듈(320)도 제1공기분사 모듈(321)과 제2공기분사 모듈(322)이 액제공 모듈(310)의 전방과 후방에 하나씩 설치되었으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 제1공기분사 모듈(321)과 제2공기분사 모듈(322) 중 어느 하나만 구비될 수도 있다.

도 5는 상기 제1공기분사 모듈(321)의 단면을 도시한 것이다. 도 5에는 상기 제1공기분사 모듈(321)을 도시하였으나, 제2공기분사 모듈(322)도 동일한 구성을 가짐은 물론이다.

상기 제1공기분사 모듈(321)은 도 5에서 볼 수 있듯이, 제1판상 부재(322a)와 제2판상 부재(322b)를 서로 결합하여 형성할 수 있다.

제1공기분사 모듈(321)에는 그 측면으로 공기 공급 홀들(325)이 형성되어 있다. 이 공기 공급 홀들(325)은 제1공기분사 모듈(321)의 측면을 따라 길이 방향으로 일정 간격으로 복수 개 형성되어 있다. 이들 공기 공급 홀들(325)에는 도 3에서 볼 수 있듯이 전술한 제3공급관(323)들이 각각 결합된다.

상기 제1공기분사 모듈(321)의 하단에는 공기분사 노즐(328)이 구비된다.

상기 제1공기분사 모듈(321)의 내부는 상기 공기 공급 홀들(325)에 연결된 제1공기경로 공간(326a) 내지 제3공기경로 공간(326c)을 거쳐 공기분사 노즐(328)로 다단 경로를 형성하면서 연결된다. 이러한 다단 경로를 형성하는 상기 공기 공급 홀들(325) 및 제1공기경로 공간(326a) 내지 제3공기경로 공간(326c)은 도 5에서 볼 수 있듯이 제2판상 부재(322b)의 내면에 가공되고 제1판상부재(322a)는 평면으로 형성될 수도 있다.

도 6은 상기 제1액제공 모듈(311)의 단면을 도시한 것이다. 도 6에는 상기 제1액제공 모듈(311)을 도시하였으나, 제2액제공 모듈(312)도 동일한 구성을 가짐은 물론이다.

상기 제1액제공 모듈(311)은 도 6에서 볼 수 있듯이, 두개의 판상 부재, 즉, 제3판상부재(311a)와 제4판상부재(311b)를 결합하여 형성할 수 있으며, 결합되는 부분에는 도시하지는 않았지만 오링을 배치하여 결합 부위를 통해 액이 세어 나가지 않도록 할 수 있다.

제1액제공 모듈(311)에는 그 측면으로 액공급 홀들(315)이 형성되어 있다. 이 액공급 홀들(315)은 제1액제공 모듈(311)의 측면을 따라 일정 간격으로 복수개 형성되어 있다. 이들 액공급 홀들(315)에는 전술한 제1공급관(313)들이 각각 결합된다.

상기 제1액제공 모듈(311) 내에는 복수의 경로 공간들, 예컨대 제1액경로 공간(316a) 내지 제7액경로 공간(316g)이 구획되어 있다. 제1액경로 공간(316a) 내지 제3액경로 공간(316c)의 사이에 구비된 제1액배리어(317a), 제3액경로 공간(316c) 내지 제5액경로 공간(316e)의 사이에 구비된 제2액배리어(317b), 제5액경로 공간(316e) 내지 제7액경로 공간(316g)의 사이에 구비된 제3액배리어(317c)에 의해 제1액제공 모듈(311) 내부의 액 경로는 지그재그 형태의 다단 경로를 형성하게 된다. 이렇게 다단 경로를 형성함으로써 제1액제공 모듈(311)로 유입된 액 내에 이물질이 포함되어 있을 경우에도 이물질을 걸러낼 수 있고, 액의 제공 유량을 미세하게 컨트롤해 정확한 유량이 기판으로 공급될 수 있도록 할 수 있다.

이 때, 수직 방향으로 액이 떨어지는 경로인 제2액경로 공간(316b), 제4액경로 공간(316d) 및 제6액경로 공간(316f)은 수평 방향의 액 경로인 제1액경로 공간(316a), 제3액경로 공간(316c) 및 제7액경로 공간(316g)보다 좁게 형성한다. 이에 따라 상기 제1액제공 모듈(311) 내에서 낙하하는 액의 낙하 속도를 조절할 수 있고, 액에 포함되어 있을 수 있는 이물질이 낙하되지 않도록 한다. 그리고 수평 방향의 액 경로인 제1액경로 공간(316a), 제3액경로 공간(316c) 및 제7액경로 공간(316g)이 넓게 형성됨으로 인해 이 공간들에 액이 충분히 저장될 수 있도록 해, 수직 경로로 액이 흐를 수 있는 충분한 유압을 제공하고, 액 내에 포함될 수 있는 입자 혹은 이물질들이 저장되도록 할 수 있다.

그리고 수평 방향의 액 경로들 중 하나인 제5액경로 공간(316e)은 다른 수평 방향의 액 경로인 제1액경로 공간(316a), 제3액경로 공간(316c) 및 제7액경로 공간(316g)보다 좁게 형성함으로써 유속의 제어가 정밀하게 이뤄지도록 한다.

마지막 수평 방향 액 경로인 제7액경로 공간(316g)은 수직 방향으로 형성되어 있는 액제공 노즐(318)에 연결된다. 액제공 노즐(318)은 제1액제공 모듈(311)의 길이방향을 따라 직선상으로 연장되어 형성될 수 있다. 그리고 전술한 제1액경로 공간(316a) 내지 제7액경로 공간(316g)도 제1액제공 모듈(311)의 길이방향을 따라 직선상으로 연장되어 형성될 수 있다. 이 때 액공급 홀(315)에 연결된 제1액경로 공간(316a)의 일부는 액공급 홀(315)별로 구획되도록 구비될 수 있다.

상기와 같이 액공급 홀(315)로부터 액제공 노즐(318)까지의 다단 경로는 액의 제공 속도 등을 감안하여 다양하게 설계될 수 있다.

도 7은 상기 블레이드 모듈(30)의 다른 일 예를 보다 상세하게 도시한 부분 사시도이다.

도 7에 도시된 블레이드 모듈(30)은 제1액제공 모듈(311) 및 제2액제공 모듈(312)을 제외하면 다른 모든 구성은 전술한 도 3에 따른 블레이드 모듈(30)의 실시예와 동일 또는 유사하다.

상기 액제공 모듈(310)에는 그 길이방향의 양단에 액공급관(P)이 설치되어 에칭액 및/또는 물을 공급한다. 액공급관(P)은 액제공 모듈(310)의 일단에만 설치되어도 무방하고, 액제공 모듈(310)의 길이방향을 따라 일정한 간격을 두고 복수개 설치되어도 무방하다. 외부의 별도 저장조(미도시)로부터 공급된 에칭액 및/또는 물은 상기 액공급관(P)을 거쳐 액제공 모듈(310)에 공급된다.

도 8은 도 7에 도시된 블레이드 모듈(30)의 제1액제공 모듈(311)의 일 실시예를 도시한 단면도이고, 도 9는 그 평면도이다. 도 8에는 상기 제1액제공 모듈(311)을 도시하였으나, 제2액제공 모듈(312)도 동일한 구성을 가짐은 물론이며, 이는 이하 설명될 제1액제공 모듈(311)의 모든 실시예들의 경우에도 동일하게 적용될 것이다.

상기 제1액제공 모듈(311)은 도 8에서 볼 수 있듯이, 액공급관(P)과 연결되어 에칭액 또는 물을 수용하는 수용부(3111)와, 상기 수용부(3111)에 수용되는 에칭액 또는 물이 상기 수용부(3111)를 빠져 나와 넘쳐 흘러 상기 기판(10)의 표면으로 흘러 내리도록 가이드하는 가이드부(3112)를 포함한다.

상기 가이드부(3112)는 상기 에칭액 또는 물이 상기 수용부(3111)의 외주면을 따라 이동하여 자연스럽게 기판(10)의 표면으로 전달될 수 있도록 상기 수용부(3111), 특히 수용부(3111)의 하부와 연결되며, 연결되는 부분에서 기판 방향으로 이어지는 부분이 도시된 바와 같이 점진적으로 좁아지는 경사를 이루는 형상으로 이루어짐이 바람직하다. 도 8에서 상기 가이드부(3112)는 수용부(3111)와 일체로 형성된 것으로 나타내었으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 수용부(3111)와 접합된 것일 수 있다. 또한 상기 가이드부(3112)는 판을 절곡하여 형성할 수도 있다.

상기 수용부(3111)의 상부면에는 일정부분이 개구된 형태의 투과슬릿(3113)이 형성되어 수용부(3111)에서 넘쳐흐르는 에칭액 또는 물이 수용부(3111)의 외부로 흐를 수 있도록 한다.

상기 투과슬릿(3113)은 도 9에서 볼 수 있듯이, 상기 수용부(3111)의 길이방향으로 형성될 수 있다.

상기 투과슬릿(3113)의 바깥쪽 방향으로는 에칭액 또는 물을 상기 가이드부(3112)로 고르게 유도할 수 있도록 다수의 가이드 홈(3114)이 구비될 수 있다. 상기 가이드 홈(3114)은 상기 수용부(3111)의 상부면에 형성되고 상기 투과 슬릿(3113)과 연결되며 상기 수용부(3111)의 너비 방향 및 외측 방향으로 연장된다. 상기 가이드 홈(3114)은 상기 투과슬릿(3113)과는 직교하는 방향으로 에칭액 또는 물이 흐를 수 있도록 유도 홈을 음각으로 형성할 수 있다. 이를 통해 자연스럽게 에칭액 또는 물이 상기 수용부(3111)의 몸통부의 굴곡을 타고 상기 가이드부(3112)로 유도될 수 있도록 한다.

다른 실시예로는 도 10에 도시된 것처럼, 상기 투과슬릿(3113)과 가이드 홈(3114)을 일체로 형성하여 투과슬릿(3113)을 상기 수용부(3111)의 길이방향과 수직하는 방향으로 형성한 후, 투과슬릿(3113)의 양끝부분에 가이드 홈(3114)을 형성하는 것도 가능하다.

상기 수용부(3111)의 내부에는 완충격벽(3115)을 구비한다. 상기 완충격벽(3115)은 상기 수용부(3111)의 내부에 배치되며 얇은 박판 형상에 복수의 완충투과공(3116)이 형성되어 구비된다. 이 완충격벽(3115)을 통해 수용부(3111)에 공급되는 에칭액 또는 물의 급격한 상승을 막아 에칭액 또는 물의 공급속도와 유량을 조절할 수 있고, 에칭액 또는 물의 고른 흐름을 유도 할 수 있도록 한다.

상기 완충투과공(3116)은 단순히 완충격벽(3115)의 두께에 해당하는 관통공으로 구비될 수 있으며, 상기 관통공의 형상을 원통형으로 하거나, 쐐기 형상으로 하여 보다 효율적인 에칭액 또는 물의 상승속도의 제어를 할 수 있도록 함이 바람직하며, 필요에 따라 상기 관통공의 단면 형상은 사각 모양이나 마름모, 타원 등 여러 형태의 타공 모양을 사용할 수 있다.

상기 수용부(3111)의 형상은 매우 다양하게 형성이 가능하다. 에칭액 또는 물이 고르게 공급될 수 있는 구조라면 단면을 타원형상으로 하던지, 또는 단면이 원형상, 또는 상부는 일정경사를 구비하여 에칭액 또는 물의 흐름을 원활이 하고 수용부의 외주면을 곡률을 가지도록 형성하는 것도 가능하다.

도 11은 상기 제1액제공 모듈(311)의 다른 일 실시예를 도시한 단면도이다. 도 11에 따른 실시예도 도 9 또는 도 10과 같은 평면 형상을 가질 수 있다.

도 11에 따른 실시예는 상기 수용부가 두개의 수용부로 나뉘어지고, 두개의 수용부가 연결되는 부분은 좁은 통로인 협로(夾路)(3117)로 연결되어 있다. 구체적으로, 상기 수용부는 상측 수용부(3111a)와 하측 수용부(3111b)로 구성되어 있고, 상기 하측 수용부(3111b)와 상측 수용부(3111a)는 연통되도록 연결되되, 상기 상측 수용부(3111a) 및 하측 수용부(3111b)의 공간보다 더 작은 좁은 통로인 협로(3117)에 의하여 연결되고 연통된다.

상기 하측 수용부(3111b)는 액공급관(P)과 연결되어 있어, 외부에서 주입되는 상기 에칭액 또는 물을 수용한다. 상기 에칭액 또는 물을 수용하는 과정에서, 상기 에칭액 또는 물은 상기 하측 수용부(3111b) 내부에서 차오르게 된다.

상기 하측 수용부(3111b)의 상측에는 상기 상측 수용부(3111a)가 연결되어 있다. 상기 상측 수용부(3111a)는 상기 하측 수용부(3111b)의 상단과 협로(3117)를 통하여 연통되고, 상기 하측 수용부(3111b)로부터 차 올라서 상측으로 유입되는 상기 에칭액 또는 물을 수용한다. 즉, 상기 하측 수용부(3111b)로 계속해서 유입되는 에칭액 또는 물은 그 양이 많아져서, 상기 협로(3117)를 거쳐 상기 상측 수용부(3111a)까지 차오르게 된다. 상기 상측 수용부(3111a)로 차오르게 되는 상기 에칭액 또는 물은 상기 상측 수용부(3111a)의 상부를 통해 넘쳐 흐르게 되고, 이 넘쳐 흐르는 에칭액 또는 물은 상기 상측 수용부(3111a)의 겉면과 하측 수용부(3111b)의 겉면을 타고 하방향으로 흘러 내려간다. 이 흘러 내려오는 에칭액 또는 물은 가이드부(3112)를 따라 상기 기판 표면으로 전달된다.

상기 하측 수용부(3111b)와 상기 상측 수용부(3111a)를 서로 연통되도록 하는 상기 협로(3117)는 도 11에 도시된 바와 같이, 말 그대로 좁은 통로를 형성한다. 이러한 상기 협로(3117)는 상기 하측 수용부(3111b)로부터 차오르는 에칭액이 급속하게 상기 상측 수용부(3111a)로 차오르는 것을 방지한다. 결국, 상기 상측 수용부(3111a)로 유입되는 에칭액 또는 물은 상기 상측 수용부(3111a) 내부에서 천천히 차오르게 되고, 상기 상측 수용부(3111a)의 상부를 통해 일정하게 흘러 나간다.

도 11에 도시된 상기 협로(3117)는 완전히 뚫려 있는 좁은 통로의 형태인데, 경우에 따라서 통공 다수개 형성된 플레이트(미도시)가 상기 협로(3117)를 가로 막게 설치될 수도 있다. 이 경우, 상기 하측 수용부(3111b)에서 상기 상측 수용부(3111a)로 유입되는 에칭액 또는 물은 더 완만하게 유입될 수 있고, 결과적으로, 일정한 양으로 상기 에칭액 또는 물이 상기 상측 수용부(3111a)의 상부면을 통해 흘러 나갈 수 있다.

상기 상측 수용부(3111a)의 상부면에는 상기 에칭액 또는 물이 넘쳐 흐를 수 있도록 전술한 투과 슬릿(3113) 및/또는 가이드 홈(3114)이 형성될 수 있다.

이러한 도 11에 따른 실시예에 의하면, 하측 수용부(3111b)와 상기 상측 수용부(3111a)를 구성하고, 하측 수용부(3111b)와 상기 상측 수용부(3111a) 사이의 연결을 좁은 통로인 협로(3117)로 연결하기 때문에, 상측 수용부(3111a)의 상부면을 통해 유출되는 에칭액 또는 물의 양을 일정하게 유지할 수 있고, 급속한 에칭액 또는 물의 유출을 방지할 수 있다.

따라서, 상기 하측 수용부(3111b)와 상기 상측 수용부(3111a)로 구성되는 수용부의 크기 및 너비를 작게 형성할 수도 있고, 이에 따라, 액제공 모듈의 개수를 더욱 증가시킬 수 있다.

한편, 상기 완충격벽(3115)은 하측 수용부(3111b)에 설치되는 데, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 완충격벽(3115)이 상측 수용부(3111a)에도 설치될 수 있으며, 또는 하측 수용부(3111b)와 상측 수용부(3111a) 모두에 구비될 수도 있다.

도 11에 따른 실시예의 경우 상측 수용부(3111a)를 넘쳐 흐르는 에칭액 또는 물이 상측 수용부(3111a)와 하측 수용부(3111b)를 순차로 흘러 가이드부(3112)를 통해 기판(10)에 제공되는 데, 이 때, 에칭액 또는 물은 상측 수용부(3111a)와 하측 수용부(3111b)로 이어지는 굴곡진 형상을 따라 흘러 내려야 한다. 이 과정에서 에칭액 또는 물은 상측 수용부(3111a)의 측면에서 하측 수용부(3111b)의 측면으로 바로 떨어질 수 있어 가이드부(3112)에서의 액량 조절이 균일하게 되지 않을 수도 있다. 따라서 상측 수용부(3111a)의 너비가 하측 수용부(3111b)의 너비보다 좁게 형성되도록 해, 에칭액 또는 물이 상측 수용부(3111a)와 하측 수용부(3111b)로 순차로 흐르도록 할 수 있다.

이에 더하여 도 12에서 볼 수 있듯이, 상측 수용부(3111a)와 하측 수용부(3111b)의 사이에 측면 부재(3118)를 더 부착시켜, 에칭액 또는 물이 측면 부재(3118)를 지나 가이드부(3112)로 자연스럽게 흐르도록 할 수도 있다.

도 13은 상기 제1액제공 모듈(311)의 또 다른 일 실시예를 도시한 단면도이다.

도 13에 따른 실시예에서, 상기 수용부(3111)는 단면이 사각형으로 형성되고, 상면의 전체가 개방되도록 형성된 개방부(3119)를 더 포함한다.

이 경우, 수용부(3111)의 내부 너비가 일정하기 때문에 수용부(3111) 내부에서 차오르는 에칭액 또는 물의 유량과 유속이 일정하게 할 수 있고, 이에 따라 수용부(3111)의 상부의 개방부(3119)를 통해 넘쳐 흐르는 에칭액 또는 물의 유량 및 유속을 일정하게 할 수 있다.

따라서, 본 실시예에서의 상기 수용부(3111)는 상기 에칭액 또는 물이 차오르는 수용부의 너비가 각 구간마다 동일하다. 즉, 상기 수용부(3111)의 마주보는 측면이 서로 평행하면서 수직하게 형성된다. 결과적으로, 상기 본 실시예에 따른 상기 수용부(3111)는 단면이 사각형이고 상면이 완전 개방된 긴 육면체 형상이 된다. 상기 수용부(3111)의 상면은 완전 개방되어, 상기 에칭액 또는 물이 균일하게 넘쳐 흐를 수 있도록 한다.

상기 수용부(3111) 내에도 완충격벽(3115)이 설치되는 데, 액공급관(P)과의 연결 부분보다 상측에 설치된다. 완충격벽(3115)은 도 13에서와 같이 반드시 하나일 필요는 없으며, 상부로부터 하부에 걸쳐 복수 개가 설치될 수 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (18)

1. 길이방향을 따라 기판을 향해 에칭액 및 물 중 적어도 하나를 제공하는 액제공 모듈;
   길이방향을 따라 공기분사 노즐이 구비되어 상기 기판을 향해 액절 공기를 분사하는 공기분사 모듈; 및
   상기 액제공 모듈의 양단과 상기 공기분사 모듈의 양단을 고정시켜 상기 액제공 모듈과 상기 공기분사 모듈을 조립하는 프레임;을 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
2. 제1항에 있어서,
   상기 액제공 모듈은, 길이방향을 따라 형성된 복수의 액공급 홀과, 상기 기판을 향해 형성된 액제공 노즐을 포함하고,
   상기 액공급 홀과 상기 액제공 노즐의 사이는 다단 경로로 구비된 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
3. 제2항에 있어서,
   상기 액공급 홀에 각각 결합된 복수의 제1공급관들과, 상기 제1공급관들을 연결하는 제2공급관을 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
4. 제1항에 있어서,
   상기 액제공 모듈은, 상기 에칭액 또는 물이 수용되고 상부에서 상기 에칭액 또는 물이 넘쳐 흐르도록 구비된 수용부와, 상기 수용부를 넘쳐 흐르는 에칭액 또는 물을 상기 기판의 표면 방향으로 가이드하도록 상기 수용부와 연결된 가이드부를 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
5. 제4항에 있어서,
   상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 상부면이 일부 개구되도록 형성되어 상기 에칭액 또는 물이 투과되도록 구비된 투과 슬릿을 더 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
6. 제5항에 있어서,
   상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 상부면에 형성되고 상기 투과 슬릿과 연결되며 상기 수용부의 너비 방향 및 외측 방향으로 연장된 복수의 가이드 홈을 더 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
7. 제5항에 있어서,
   상기 수용부는,
   상기 에칭액 또는 물의 유입구를 포함하고 상기 가이드부와 연결된 하측 수용부;
   상기 하측 수용부와 연통되고 상부면에 상기 투과 슬릿이 형성된 상측 수용부; 및
   상기 하측 수용부와 상측 수용부의 사이에 개재되어 상기 하측 수용부와 상측 수용부를 서로 연통시키고, 상기 하측 수용부 및 상측 수용부보다 좁게 구비된 협로;를 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
8. 제4항에 있어서,
   상기 수용부는 단면이 사각형으로 형성되고,
   상기 수용부는 상면의 전체가 개방되도록 형성된 개방부를 더 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
9. 제4항에 있어서,
   상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 내부에 수평 방향으로 배치되는 완충 격벽을 더 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
10. 제9항에 있어서,
    상기 완충 격벽은 복수의 완충 투과공을 더 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
11. 제9항에 있어서,
    상기 수용부는 액공급관과 연결되고,
    상기 완충 격벽은 상기 액공급관과의 연결 부분보다 상측에 배치되는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
12. 제4항에 있어서,
    상기 가이드부는 수직 하부로 갈수록 좁아지도록 점진적인 경사를 이루도록 구비된 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공기분사 모듈은 상기 프레임에 경사방향으로 설치되어 상기 기판을 향해 사선방향으로 액절 공기를 분사하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
14. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 공기분사 모듈의 양단에 결합되고 각도 조절 슬릿을 구비한 한 쌍의 제1프레임; 및
    상기 제1프레임들이 결합되는 한 쌍의 제2프레임;을 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
15. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2프레임은 상기 제1프레임들이 결합되는 결합부와 상기 결합부와 이격된 지지부를 포함하고, 상기 지지부는 상기 한 쌍의 제2프레임 사이를 연결하는 지지프레임에 결합된 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
16. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 액제공 모듈은 상기 기판을 향해 에칭액을 제공하는 제1 액제공 모듈과 상기 기판을 향해 물을 제공하는 제2액제공 모듈을 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
17. 제16항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 제1액제공 모듈과 제2액제공 모듈을 결합시키는 제3프레임을 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.
18. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공기분사 모듈의 길이방향을 따라 상기 공기분사 모듈에 결합된 복수의 제3공급관과, 상기 제3공급관을 연결하는 제4공급관을 포함하는 기판 표면처리용 블레이드 모듈.

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