KR100734752B1 - Lcd 유리 슬리밍장치 - Google Patents

Lcd 유리 슬리밍장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100734752B1
KR100734752B1 KR1020060063465A KR20060063465A KR100734752B1 KR 100734752 B1 KR100734752 B1 KR 100734752B1 KR 1020060063465 A KR1020060063465 A KR 1020060063465A KR 20060063465 A KR20060063465 A KR 20060063465A KR 100734752 B1 KR100734752 B1 KR 100734752B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lcd glass
etching solution
lcd
nozzle
cassette
Prior art date
Application number
KR1020060063465A
Other languages
English (en)
Inventor
김왕태
김준동
Original Assignee
에버테크노 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에버테크노 주식회사 filed Critical 에버테크노 주식회사
Priority to KR1020060063465A priority Critical patent/KR100734752B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100734752B1 publication Critical patent/KR100734752B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133302Rigid substrates, e.g. inorganic substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

본 발명은 LCD 판넬을 구성하는 상/하부 LCD 유리를 균일하게 식각할 수 있는 LCD 유리 슬리밍장치에 관한 것으로, 본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치는 메인프레임(10)과, 메인프레임(10)의 하측에 설치되는 직선이송기구(20)와, 메인프레임(10)의 상측에 설치되는 승강기구(30)와, 직선이송기구(20)에 장착되며 다수개의 LCD 유리(1)가 로딩되는 카세트(40)와, 승강기구(30)의 하측에 설치되어 카세트(40)에 로딩된 다수개의 LCD 유리(1)의 양측면으로 식각용액을 분사하는 노즐부(50)로 구성되며, 직선이송기구(20)에 의해 카세트(40)를 수평방향으로 왕복 이송시키며, 승강기구(30)에 의해 노즐부(50)를 수직방향으로 승/하강시켜 노즐부(50)로부터 분사되는 식각용액이 카세트(40)에 로딩된 LCD 유리(1)의 양측 표면으로 각각 균일하게 분사시키도록 구비됨을 특징으로 한다.
유리, 카세트, 노즐, 식각, 슬리밍

Description

LCD 유리 슬리밍장치{Liquid Crystal Display Glass Slimming Apparatus}
도 1은 종래의 LCD 유리 슬리밍장치의 개략적인 구성도,
도 2는 본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치의 정면도,
도 3은 도 2에 도시된 LCD 유리 슬리밍장치의 측면도,
도 4는 도 3에 도시된 노즐의 확대사시도,
도 5는 도 4에 도시된 노즐의 전단면도,
도 6은 도 4에 도시된 노즐부의 다른 실시예를 나타낸 사시도,
도 7은 도 6에 도시된 노즐의 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
10: 메인 프레임 11: 로딩부
12: 언로딩부 20: 직선이송기구
30: 승강기구 31: 상측 플레이트
32: 하측 플레이트 40: 카세트
50: 노즐부 51: 식각용액 챔버
52: 제2공급관 53: 제3공급관
54: 제4공급관 55: 다운 스트림 분사부재
본 발명은 LCD 유리 슬리밍시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD 판넬을 구성하는 상/하부 LCD 유리를 균일하게 식각할 수 있는 LCD 유리 슬리밍장치에 관한 것이다.
LCD 판넬(Liquid Crystal Display panel)은 상부 LCD 유리와 하부 LCD 유리로 구성된다. 하부 LCD 유리에는 TFT(Thin Film Transistor) 화소전극이 형성되며, 하부 LCD 유리에 TFT 화소전극이 형성되면 그 전면에 액정이 도포된다. 하부 LCD 유리에 액정이 도포되면 하부 LCD 유리에 상부 LCD 유리를 합착하여 LCD 판넬을 제조하게 된다.
하부 LCD 유리에 상부 LCD 유리가 합착된 상태에서 하부 LCD 유리와 상부 LCD 유리의 표면에 제조과정에서 발생되어 부착되는 오염물질의 제거하기 위해 상/하부 LCD 유리(이하, LCD 유리라 칭함)의 표면을 세정하거나 슬림(slim)형 이동통신단말기등과 같이 슬림형을 추구하는 가전제품에 LCD 판넬을 적용하기 위해 LCD 유리의 두께를 더욱 얇게 식각하고 있다.
LCD 유리를 식각하는 방법으로 디핑(dipping)방식 등이 있으며 이러한 디핑방식의 식각장치를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 1에 도시된 바와 같이 디핑방식의 식각장치는 식각용기(6), 카세트(cassette)(2), 제 내지 제3공급관(3a,4a,4b), 제1 및 제2배출관(3b,4c) 및 스크류(screw)장치(5)로 구성되며, 이러한 구성을 갖는 디핑방식의 식각장치를 개략적 으로 설명하면 다음과 같다.
식각용기(6)의 내측에는 식각될 다수개의 LCD 유리(1)가 적재되는 카세트(2)가 위치되며, 식각용기(6)의 상/하측에는 식각용기(6)의 내측으로 식각용액 이나 세정용역을 공급 및 배출하기 위한 제1 내지 제3공급관(3a,4a,4b) 및 제1 및 제2배출관(3b,4c)이 설치된다.
식각용기(6)에 설치된 제1공급관(3a)은 아이소프로필 알코올(isoprophyl alcohol)의 공급로이고, 제2공급관(4a)은 식각용액의 공급로이며, 제3공급관(4b)은 초순수(D.I water ; deionized water)의 공급로를 형성하여 각각 식각용기(6) 내로 공정에 필요한 세정액이나 식각용액을 공급하게 된다. 식각용기(6) 내로 공급된 초순수, 아이소프로필 알코올 및 식각원액이 공급되면 카세트(2)에 로딩된 다수개의 LCD 유리(1)의 표면을 세정하거나 식각하게 된다.
LCD 유리(1)를 식각하기 위한 식각용액은 식각원액에 초순수를 혼합하거나 다른 화학용액을 혼합하여 사용되며, 아이소프로필 알코올은 일반적으로 세정액으로 사용된다. 식각용액을 이용하여 LCD 유리(1)의 식각이 완료되면 식각용액이나 세정액은 제1 및 제2배출관(3b,4c)을 통해 배출된다. 즉, 제1배출관(3b)을 통해 식각용액이나 초순수가 배출되면 제2배출관(4c)을 통해서는 아이소프로필 알코올을 분리하여 배출하게 된다.
LCD 유리(1)를 원하는 두께만큼 식각하기 위해 식각용액이 공급된 식각용기(6)에 일정시간 동안 디핑하게 된다. 디핑시간이 길어지게 되면 식각용기(6)내로 공급된 식각용액이 혼합농도가 다르게 될 수 있어 식각용액을 교반하기 위해 스크 류장치(5)가 구비된다. 스크류장치(5)는 식각용액을 구성하는 식각원액과 초순수를 연속적으로 교반시켜 식각용기(6) 내에 식각용액의 혼합농도를 일정하게 유지시켜 준다.
종래와 같이 식각용기에 디핑한 상태에서 교반장치를 이용하여 식각용액을 혼합하는 경우에 기포 등이 발생될 수 있으며, 이러한 기포로 인해 LCD 유리의 표면의 식각이 불균일하게 될 수 있다. LCD 유리의 표면이 불균일하게 식각되는 경우에 LCD 판넬의 표면이 불균일하게 되어 LCD 판넬의 광특성이 저하되는 등의 문제점이 발생된다.
본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, LCD 유리의 슬리밍을 위한 식각시 LCD 유리의 양측면으로 식각용액을 균일하게 분사함으로써 LCD 유리의 표면을 전체적으로 균일하게 식각할 수 있는 LCD 유리 슬리밍장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 LCD 유리의 표면을 전체적으로 균일하게 식각함으로써 LCD 유리의 평탄도 및 광특성을 개선시킬 수 있도록 함에 있다.
본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치는 메인프레임(main frame)과, 메인프레임의 하측에 설치되는 직선이송기구와, 메인프레임의 상측에 설치되는 승강기구와, 직선이송기구에 장착되며 다수개의 LCD 유리가 로딩되는 카세트(cassette)와, 승강기구의 하측에 설치되어 카세트에 로딩된 다수개의 LCD 유리의 양측면으로 식각용액을 분사하는 노즐부로 구성되며, 직선이송기구에 의해 카세트를 수평방향으로 왕복 이송시키며, 승강기구에 의해 노즐부를 수직방향으로 승/하강시켜 노즐부로부터 분사되는 식각용액이 카세트에 로딩된 LCD 유리의 양측 표면으로 각각 균일하게 분사시키도록 구비됨을 특징으로 한다.
(실시예)
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치의 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 LCD 유리 슬리밍장치의 측면도이다. 도시된 바와 같이 본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치는 메인프레임(10)과, 메인프레임(10)의 하측에 설치되는 직선이송기구(20)와, 메인프레임(10)의 상측에 설치되는 승강기구(30)와, 직선이송기구(20)에 장착되며 다수개의 LCD 유리(1)가 로딩되는 카세트(40)와, 승강기구(30)의 하측에 설치되어 카세트(40)에 로딩된 다수개의 LCD 유리(1)의 양측면으로 식각용액을 분사하는 노즐부(50)로 구성되며, 직선이송기구(20)에 의해 카세트(40)를 수평방향으로 왕복 이송시키며, 승강기구(30)에 의해 노즐부(50)를 수직방향으로 승/하강시켜 노즐부(50)로부터 분사되는 식각용액이 카세트(40)에 로딩된 LCD 유리(1)의 양측 표면으로 각각 균일하게 분사시키도록 구비된다.
본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치의 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 메인프레임(10), 직선이송기구(20), 승강기구(30), 카세트(40) 및 노즐부(50)로 구성되 며, 각각의 구성을 순차적으로 설명하면 다음과 같다.
메인프레임(10)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치를 전반적으로 지지하는 구조물이며, 일측에 로딩부(11)가 설치되고 타측에 언로딩부(12)가 설치된다. 로딩부(11)는 모터(11a)와 다수개의 롤러(roller)(11b)로 구성되어 빈 카세트(40)에 LCD 유리(1)가 로딩(loading)되면 카세트(40)를 노즐부(50)로 이송하게 된다. 노즐부50)는 식각용액을 LCD 유리(1)로 분사하기 하여 LCD 유리(1)의 표면을 식각하게 된다. LCD 유리(1)의 표면으로 분사되는 식각용액이 외부로 튀는 것을 방지하기 위해 메인프레임(10)의 내측에는 커버(62)가 설치되며, 커버(62)의 하측에는 배출구(63a)가 설치된 용액 배출용기(63)가 설치된다.
노즐부(50)에서 식각용액을 분사하여 LCD 유리(1)의 표면을 식각하는 작업이 완료되면 노즐부(50)는 슬리밍(slimming) 작업이 완료된 LCD 유리(1)는 언로딩부(12)로 이송한다. 언로딩부(12)는 모터(12a)와 다수개의 롤러(12b)로 구성되어 노즐부(50)로부터 카세트(40)를 이송받아 슬리밍 작업이 완료된 LCD 유리(1)가 로딩된 카세트(40)를 언로딩(unloading) 위치로 이송하게 된다.
직선이송기구(20)는 메인프레임(10)의 하측에 설치되어 로딩부(11)로부터 이송된 카세트(40)를 슬리밍 작업이 진행되는 동안 카세트(40)를 도 2에 도시된 화살표 방향으로 주기적으로 왕복 이송시키고, 슬리밍 작업이 완료된 카세트(40)를 언로딩부(12)로 이송하게 된다. 카세트(40)를 주기적으로 왕복 이송시키는 직선이송기구(20)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 모터(21)와 다수개의 롤러(22)로 구 성되는 롤러이송기구가 적용되거나 벨트 이송기구가 적용된다.
승강기구(30)는 메인프레임(10)의 상측에 설치되며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상측 플레이트(plate)(31), 하측 플레이트(32), 다수개의 가이드부재(33) 및 구동원 발생부재(34)로 구성된다.
상측 플레이트(plate)(31)는 메인프레임(10)의 상측에 설치되며 하측 플레이트(32)는 상측 플레이트(31)의 하측에 설치된다. 즉, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 메인프레임(10)의 상측을 기준으로 상측에는 상측 플레이트(31)가 설치되고, 하측에는 하측 플레이트(32)가 설치된다. 메인프레임(10)의 하측에 설치되는 하측 플레이트(32)에는 노즐부(50)가 설치된다.
상측 및 하측 플레이트(31,32) 사이에는 다수개의 가이드부재(33)가 설치된다. 다수개의 가이드부재(33)는 각각의 양단이 상측 및 하측 플레이트(31,32)에 고정되도록 설치되어 상측 및 하측 플레이트(31,32)의 승/하강 동작시 메인프레임(10)에 설치된 부싱부재(35)에 가이드되어 수직방향으로 승/하강 된다. 가이드부재(33)에 의해 가이드되어 상측 및 하측 플레이트(31,32)를 승/하강시키기 위해 구동원 발생부재(34)가 메인프레임(10)의 상측에 설치된다.
구동원 발생부재(34)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 메인프레임(10)의 상측에 고정 설치되어 상측 플레이트(31)를 수직방향으로 승/하강시킨다. 구동원 발생부재(34)에 의해 상측 플레이트(31)를 수직방향으로 승/하강되면 상측 플레이트(31)의 하측에 설치된 하측 플레이트(32)에 설치된 노즐부(50)가 수직방향으로 승/하강된다. 노즐부(50)를 수직방향으로 승/하강시키기 위한 구동력을 발생하는 구동원 발생부재(34)는 볼스크류 이송기구, 유압 실린더 및 공압 실린더 중 어느 하나가 적용된다.
카세트(40)는 다수개의 LCD 유리(1)가 로딩되며 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 카세트 프레임(41), 다수개의 지지부재(42) 및 클램프(clamp)(43)로 구성된다. 카세트 프레임(41)은 식각용액을 배출할 수 있도록 다수개의 홈(도시 않음)이 형성되며, 상측면에 다수개의 지지부재(42)가 설치된다. 다수개의 지지부재(42)에는 LCD 유리(1)가 카세트(40에 로딩되면 LCD 유리(1)를 고정시키기 위한 클램프(43)가 설치된다. 클램프(43)는 도 6에 도시된 바와 같이 내측에 홈을 형성하여 LCD 유리(1)가 삽입될 수 있도록 형성된다.
노즐부(50)는 승강기구(30)의 하측에 설치되어 카세트(40)에 로딩된 다수개의 LCD 유리(1)의 양측면으로 식각용액을 분사하기 위해 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 식각용액 챔버(chamber)(51), 다수개의 한 쌍의 제2공급관(52), 다수개의 한 쌍의 제3공급관(53) 및 다수개의 노즐부재(54)로 구성된다. 여기서, 한 쌍의 제2공급관(52)은 도 3에서 점선으로 도시된 LCD 유리(1)를 기준으로 LCD 유리(1)의 일측에 설치된 두개의 제2공급관(52)을 나타낸다. 또한, 한 쌍의 제3공급관(53)은 LCD 유리(1)를 기준으로 LCD 유리(1)의 타측에 설치된 두 개의 제3공급관(53)을 나타낸다.
노즐부(50)를 구성하는 식각용액 챔버(51)는 제1공급관(55)으로부터 공급되는 식각용액을 공급받기 위해 하측 플레이트(32)의 일측과 타측에 각각 설치된다. 식각용액 챔버(51)는 제1공급관(55)을 통해 일정한 압력으로 공급되는 식각용액을 공급받으며, 식각용액 공급장치(도시 않음)로부터 일정한 압력으로 식각용액을 공급받는 제1공급관(55)은 노즐부(50)의 승/하강시 손상되지 않도록 연성재질이 사용된다.
제1공급관(55)을 통해 식각용액을 공급받는 식각용액 챔버(51)에는 다수개의 한 쌍의 제2공급관(52)과 다수개의 한 쌍의 제3공급관(53)이 각각 설치된다. 다수개의 한 쌍의 제2공급관(52)은 하측 플레이트(32)의 일측에 설치된 식각용액 챔버(51)와 연통되도록 설치되며, 다수개의 한 쌍의 제3공급관(53)은 하측 플레이트(32)의 타측에 설치된 식각용액 챔버(51)와 연통되도록 설치되어 각각 식각용액을 공급받는다.
식각용액 챔버(51)로부터 각각 식각용액을 공급받는 다수개의 한 쌍의 제2공급관(52)과 다수개의 한 쌍의 제3공급관(53)으로부터 각각 식각용액을 공급받아 LCD 유리(1)의 표면으로 분사하기 위해 다수개의 한 쌍의 제2공급관(52)과 다수개의 한 쌍의 제3공급관(53)과 각각 연통되도록 다수개의 노즐부재(54)가 설치된다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이 노즐부재(54)는 제2공급관(52)과 제3공급관(53)과 연통되도록 설치된다.
제2공급관(52)과 제3공급관(53)과 연통되도록 설치되는 노즐부재(54)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 제4공급관(54a)과 블레이드(blade)(54b)로 구성된다. 제4공급관(54a)은 제2 및 제3공급관(52,53)과 연통되도록 설치되어 제2 및 제3공급관(52,53)으로부터 공급되는 식각용액을 LCD 유리(1)의 표면으로 분사하기 위한 다수개의 분사구(54c)가 형성된다. 분사구(54c)를 통해 분사되는 식각용액의 분사방 향을 조절하기 위해 제4공급관(54a)에 블레이드(54b)가 설치된다.
블레이드(54b)는 "〈 " 형상으로 형성되며, "〈 " 형상의 내측에 길이방향으로 제4공급관(54a)이 고정부재(54d)로 고정되어 설치된다. 고정부재(54d)로 제4공급관(54a)을 블레이드(54b)에 설치시 도 5에 도시된 분사구(54c)의 방향을 조절하여 설치하는 경우에 식각용액의 분사방향을 조절할 수 있게 된다.
블레이드(54b)에 제4공급관(54a)에 형성된 다수개의 분사구(54c)를 방향을 조절하여 제4공급관(54a)을 설치할 수 있는 노즐부재(54)의 다른 실시예를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 6 및 도 7에 도시된 다른 실시예의 노즐부재(61)는 제5공급관(61a) 및 다수개의 노즐(61b)로 구성된다. 여기서 도 6은 도 2에 도시된 노즐부(50)의 구성에서 한 쌍의 제2공급관(52) 및 제3공급관(53)의 구성을 상세히 나타낸 사시도이다.
노즐부재(61)에 구성되는 제5공급관(61a)은 제2 및 제3공급관(52,53)으로부터 식각용액을 공급받기 위해 제2 및 제3공급관(52,53)과 연통되도록 설치된다. 식각용액을 공급받은 제5공급관(61a)은 공급된 식각용액을 LCD 유리(1)의 표면으로 분사하기 위해 제5공급관(61a)의 하측에 다수개의 노즐(61b)이 설치된다. 제5공급관(61a)은 제2 및 제3공급관(52,53)에 설치시 노즐(61b)의 방향을 조절하여 설치하게 되며, 노즐(61b)의 방향을 조절하게 되면 노즐(61b)을 통해 분사되는 식각용액의 분사방향을 조절할 수 있게 된다.
LCD 유리(1)의 양측 표면으로 노즐부재(54)를 통해 식각용액을 공급하여 LCD 유리(1)의 표면을 식각하는 경우에 LCD 유리(1)의 전체 표면에 식각용액이 균일하 게 흐를 수 있도록 도 2 및 도 3에서와 같이 다운 스트림(down stream) 분사부재(55)가 설치된다. 다운 스트림 분사부재(55)는 한 쌍의 제2 및 제3공급관(52,53) 사이에 위치되도록 메인프레임(10)에 고정 설치된다. 다운 스트림 분사부재(55)는 한 쌍의 제2 및 제3공급관(52,53) 사이에 위치되도록 설치됨으로써 LCD 유리(1)의 상측으로 식각용액을 분사하여 식각용액이 LCD 유리(1)의 양측 표면으로 균일하게 공급되며, 이로 인해 LCD 유리(1)의 표면을 균일하게 식각될 수 있도록 한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
식각용액을 노즐부(50)를 통해 분사하여 LCD 유리(1)의 양측 표면을 고르게 식각하여 LCD 유리(1)가 슬림(slim)화 되도록 하기 위해 LCD 유리(1)가 로딩된 카세트(40)에 로딩부(11)에서 노즐부(50)로 이송한다. 노즐부(50)로 카세트(40)가 이송되면 노즐부재(54)를 통해 식각용액을 LCD 유리(1)의 양측 표면으로 분사함과 아울러 다운 스트림 분사부재(55)를 통해 LCD 유리(1)의 양측 표면으로 식각용액이 흐르게 한다.
LCD 유리(1)의 표면으로 노즐부재(54)와 다운 스트림부재(55)를 통해 식각용액이 분사되는 동안에 제2직선이송기구(20)는 카세트(40)를 도 2 및 도 3에 도시된 화살표 방향으로 왕복 이송시키며, 승강기구(30)는 노즐부(50)를 수직방향으로 승/하강시켜 다수개의 노즐부재(54)를 통해 분사되는 식각용액의 LCD 유리(1)의 양측 표면에 고르게 분사되도록 한다.
직선이송기구(20)와 승강기구(30)에 의해 카세트(40)와 노즐부(50)를 수평 및 수직방향으로 왕복 이송시키면서 LCD 유리(1)로 식각용액을 분사하여 LCD 유리(1)의 양측 표면을 식각하는 작업이 완료되면 노즐부(50)로 초순수를 공급한다. 노즐부(50)로 초순수가 공급되면 노즐부(50)는 노즐부재(54)를 통해 LCD 유리(1)의 양측 표면으로 초순수를 분사하여 LCD 유리(1)를 세정하게 된다.
LCD 유리(1)의 세정 작업시 LCD 유리(1)를 식각하는 과정과 동일하게 세정 효과를 극대화하기 위해 제1직선이송부(20)와 승강기구(30)에 의해 카세트(40)와 노즐부(50)를 수평 및 수직방향으로 이송시키면서 세정시킬 수 있다. 카세트(40)에 로딩된 LCD 유리(1)의 세정 작업이 완료되면 직선이송기구(20)는 카세트(40)를 언로딩부(12)로 이송한다. 언로딩부(12)는 카세트(40)를 다시 언로딩 위치로 이송하여 LCD 유리(1)를 다음 공정으로 이송할 수 있도록 한다.
이와 같이 LCD 유리(1)의 슬리밍을 위해 노즐부재(54)를 이용하여 LCD 유리(1)의 양측 표면으로 식각용액을 분사시 LCD 유리(1)를 수평 및 수직방향으로 왕복 이송시킨 상태에서 식각용액을 분사함으로써 LCD 유리(1)의 양측 표면을 전체적으로 균일하게 식각될 수 있어 LCD 유리(1)의 평탄도를 개선할 수 있게 된다.
이상에 설명한 바와 같이 본 발명의 LCD 유리 슬리밍장치는 LCD 유리의 슬리밍을 위한 식각시 LCD 유리의 양측면으로 식각용액을 균일하게 분사함으로써 LCD 유리의 표면을 전체적으로 균일하게 식각할 수 있는 이점을 제공하며, LCD 유리의 표면을 균일하게 식각함으로써 LCD 유리의 평탄도 및 광특성을 개선시킬 수 있는 이점을 제공한다.

Claims (9)

  1. 메인프레임과,
    상기 메인프레임의 하측에 설치되는 직선이송기구와,
    상기 메인프레임의 상측에 설치되는 승강기구와,
    상기 직선이송기구에 장착되며 다수개의 LCD 유리가 로딩되는 카세트와,
    상기 승강기구의 하측에 설치되어 상기 카세트에 로딩된 다수개의 LCD 유리의 양측면으로 식각용액을 분사하는 노즐부로 구성되며,
    상기 직선이송기구에 의해 상기 카세트를 수평방향으로 왕복 이송시키며, 상기 승강기구에 의해 상기 노즐부를 수직방향으로 승/하강시켜 상기 노즐부로부터 분사되는 식각용액이 상기 카세트에 로딩된 LCD 유리의 양측 표면으로 각각 균일하게 분사시킴을 특징으로 하는 LCD 유리 슬리밍장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 메인프레임은 일측에 상기 카세트에 LCD 유리를 로딩하는 로딩부가 설치되고, 타측에 슬리밍 작업이 완료된 카세트로부터 LCD 유리를 언로딩하는 언로딩부가 설치됨을 특징으로 하는 LCD 유리 슬리밍장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 직선이송기구는 롤러이송기구와 벨트 이송기구 중 어느 하나가 적용됨을 특징으로 하는 LCD 유리 슬리밍장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 승강기구는 상측 플레이트와,
    상기 상측 플레이트의 하측에 설치되며 상기 노즐부가 하측에 설치되는 하측 플레이트와,
    상기 상측 및 하측 플레이트 사이에 설치되는 다수개의 가이드부재와,
    상기 메인프레임에 설치되어 상기 상측 플레이트를 수직방향으로 승/하강시켜 상기 하측 플레이트에 설치된 상기 노즐부를 승/하강시키는 구동원 발생부재로 구비됨을 특징으로 하는 LCD 유리 슬리밍장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 구동력발생부재는 볼스크류 이송기구, 유압 실린더 및 공압 실린더 중 어느 하나가 적용됨을 특징으로 하는 LCD 유리 슬리밍장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐부는 하측 플레이트의 일측과 타측에 각각 설치되어 제1공급관으로부터 각각 식각용액을 공급받는 식각용액 챔버와,
    상기 하측 플레이트의 일측에 설치된 식각용액 챔버와 연통되도록 설치되는 다수개의 한 쌍의 제2공급관과,
    상기 하측 플레이트의 타측에 설치된 식각용액 챔버와 연통되도록 설치되는 다수개의 한 쌍의 제3공급관과,
    상기 제2 및 제3공급관과 각각 연통되도록 설치되어 제2 및 제3공급관으로 공급되는 식각용액을 LCD 유리의 표면으로 분사하는 다수개의 노즐부재로 구비됨을 특징으로 하는 LCD 유리 슬리밍장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 한 쌍의 제2 및 제3공급관 사이에는 각각 LCD 유리의 상측으로 식각용액을 분사하여 식각용액이 LCD 유리의 양측 표면으로 공급하는 다운 스트림 분사부재가 설치됨을 특징으로 LCD 유리 슬리밍장치.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 노즐부재는 상기 제2 및 제3공급관과 연통되도록 설치되어 제2 및 제3공급관으로부터 공급되는 식각용액을 LCD 유리의 표면으로 분사하기 위한 다수개의 분사구가 형성되는 제4공급관과,
    상기 제4공급관에 각각 설치되어 분사구로부터 분사되는 식각용액의 분사방향을 조절하는 블레이드로 구비됨을 특징으로 하는 LCD 유리 슬리밍장치.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 노즐부재는 상기 제2 및 제3공급관과 연통되도록 설치되어 제2 및 제3공급관으로부터 식각용액을 공급받는 제5공급관과,
    상기 제5공급관으로부터 공급되는 식각용액을 LCD 유리의 표면으로 분사하기 위해 제5공급관의 하측에 설치되는 다수개의 노즐로 구비됨을 특징으로 하는 LCD 유리 슬리밍장치.
KR1020060063465A 2006-07-06 2006-07-06 Lcd 유리 슬리밍장치 KR100734752B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060063465A KR100734752B1 (ko) 2006-07-06 2006-07-06 Lcd 유리 슬리밍장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060063465A KR100734752B1 (ko) 2006-07-06 2006-07-06 Lcd 유리 슬리밍장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100734752B1 true KR100734752B1 (ko) 2007-07-03

Family

ID=38503009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060063465A KR100734752B1 (ko) 2006-07-06 2006-07-06 Lcd 유리 슬리밍장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100734752B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100946215B1 (ko) * 2009-08-17 2010-03-08 주식회사 지디 글라스 식각용 분사 노즐 시스템
KR101021931B1 (ko) * 2008-11-26 2011-03-16 주식회사 엠엠테크 복합형 에칭 장치 및 이를 이용한 에칭 시스템
KR101315865B1 (ko) * 2012-01-20 2013-10-10 주식회사 이코니 에칭 대상물의 이동장치
KR101371159B1 (ko) 2012-01-30 2014-03-06 (주) 청심이엔지 유리기판 충격 방지 에칭 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0180850B1 (ko) * 1996-06-26 1999-03-20 구자홍 유리기판 에칭장치
JPH11217240A (ja) 1998-01-30 1999-08-10 Central Glass Co Ltd ガラス板面の酸処理方法およびその装置
JPH11307494A (ja) 1998-04-17 1999-11-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
KR20040033923A (ko) * 2002-10-16 2004-04-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 절연막 식각장치 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0180850B1 (ko) * 1996-06-26 1999-03-20 구자홍 유리기판 에칭장치
JPH11217240A (ja) 1998-01-30 1999-08-10 Central Glass Co Ltd ガラス板面の酸処理方法およびその装置
JPH11307494A (ja) 1998-04-17 1999-11-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
KR20040033923A (ko) * 2002-10-16 2004-04-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 절연막 식각장치 및 방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101021931B1 (ko) * 2008-11-26 2011-03-16 주식회사 엠엠테크 복합형 에칭 장치 및 이를 이용한 에칭 시스템
KR100946215B1 (ko) * 2009-08-17 2010-03-08 주식회사 지디 글라스 식각용 분사 노즐 시스템
KR101315865B1 (ko) * 2012-01-20 2013-10-10 주식회사 이코니 에칭 대상물의 이동장치
KR101371159B1 (ko) 2012-01-30 2014-03-06 (주) 청심이엔지 유리기판 충격 방지 에칭 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100734752B1 (ko) Lcd 유리 슬리밍장치
KR101004439B1 (ko) 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템
JP4516034B2 (ja) 塗布方法及び塗布装置及び塗布処理プログラム
KR100741291B1 (ko) Lcd 유리 슬리밍장치
KR20070121204A (ko) 기판이송장치 및 이를 이용한 기판세정시스템
KR101287564B1 (ko) 인쇄판 세정장치
KR100578558B1 (ko) 슬릿노즐 세정 장치 및 슬릿노즐 처리 장치
KR100595302B1 (ko) 액정표시소자 제조를 위한 유리기판 식각장치
TW201308500A (zh) 具有緻密結構之基底表面處理系統以及基底表面處理方法
JP2000254605A (ja) 可撓性基板の洗浄装置
KR20200115848A (ko) 필름 세정 장치
US8791026B2 (en) Method and apparatus for treating silicon substrate
KR20090021970A (ko) 도포장치
JP3267822B2 (ja) 基板への塗布液塗布装置
KR101308136B1 (ko) 기판 처리 장치
KR101212803B1 (ko) 표면을 에칭할 수 있는 실리콘 기판의 처리 장치
JP2017145481A (ja) 基板処理システムおよび基板処理方法
KR20050064377A (ko) 버블판을 포함하는 식각장치 및 이를 이용한 식각 방법
KR100538546B1 (ko) 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 설비 및 방법 그리고이에 사용되는 슬릿 노즐 처리장치
KR102404086B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR20100123196A (ko) 기판 표면 처리장치 및 그 처리방법
KR100854313B1 (ko) 기판 처리 장치
KR101042322B1 (ko) 기판 처리 장치 및 방법
KR100521399B1 (ko) 평판 표시 소자 제조 장치
KR101303461B1 (ko) 약액의 얼룩을 방지하는 인라인 타입의 기판 코터 장치 및 그 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110627

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee