KR20130004245A

KR20130004245A - 점착 시트

Info

Publication number: KR20130004245A
Application number: KR1020127016429A
Authority: KR
Inventors: 다케시 마츠시타; 다케시 하세가와; 스스무 구리시마
Original assignee: 키모토 컴파니 리미티드
Priority date: 2010-02-23
Filing date: 2011-02-09
Publication date: 2013-01-09
Also published as: CN102762683A; KR101812353B1; JPWO2011105217A1; TWI515283B; JP5748735B2; CN102762683B; TW201137079A; WO2011105217A1

Abstract

기재 상에 점착층을 갖는 점착 시트로서, 점착층의 크리프율을 2.5% 이하로 하고, 탄성 변화율을 73% 이상으로 한다. 또한 점착층의 마르텐스 경도를 80 N/㎟ 이하로 한다. 이 점착 시트는, 피접착물에 요철이 있는 경우에, 볼록부와의 압착을 반복해도, 볼록부에 의한 변형이 억제되어, 변형에 기인하는 광투과율의 저하, 즉 백화를 방지할 수 있다. 따라서, 스루홀(through hole) 등의 요철이 있는 기판을 사용해서 프린트 배선판 등을 제조할 때에 사용되는 포토마스크용 표면 보호 필름으로서 매우 적합하게 사용된다.

Description

점착 시트{Adhesive sheet}

본 발명은, 점착 시트에 관한 것으로, 특히, 강한 압력이 반복해서 가해져도, 점착층의 광투과율이 저하되는 것을 방지하는 점착 시트에 관한 것이다.

통상, 프린트 배선판이나 수지 볼록판은, 액상 포토레지스트 등의 점착성이 있는 포토레지스트에 포토마스크(노광용 원고)를 밀착 노광하여 제작된다. 이 때문에, 포토마스크의 표면에 어떠한 처리를 행하지 않으면, 노광 종료 후 포토마스크를 포토레지스트로부터 때어낼 때에, 포토레지스트의 일부가 포토마스크 표면에 부착되어, 닦아내도 포토마스크 상에 잔존해 버려서, 노광 정밀도의 저하를 초래해 버린다고 하는 문제를 발생시킨다. 이러한 사정으로부터, 종래부터 포토마스크 상의 포토레지스트에 대향하는 면에, 이형성을 갖는 표면 보호 필름을 설치하여, 포토레지스트가 포토마스크에 부착되는 것을 방지하고 있다.

이러한 포토마스크용 표면 보호 필름으로서는, 플라스틱 필름의 한쪽 면에 이형성을 갖는 표면 보호막을 갖고, 다른 한쪽 면에 점착층을 갖는 것이 제안되어 있다(특허문헌 1 참조).

그리고, 이러한 표면 보호 필름은, 포토레지스트에 대향하는 면에, 점착층을 매개로 첩합(貼合)되는데, 포토마스크 등에 단차부(段差部)가 있으면, 점착층으로 덮은 단차부분에 기포가 잔존하는(기포의 휩쓸려 들어감이라고도 한다) 등의 문제가 있어, 기포를 휩쓸려 들어가게 하지 않는 점착층이 요구되고 있다(특허문헌 2 참조).

일본국 특허공개 평11-7121호 공보(단락번호 0002) 일본국 특허공개 제2003-322958호 공보(종래의 기술)

점착층을 부드럽게 하여, 단차에 추종하기 쉽게 함으로써, 기포의 휩쓸려 들어감을 방지할 수 있지만, 그 경우, 밀착 노광을 반복함으로써, 점착층의 일부가 백화되어, 광투과율이 저하되는 등의 문제가 발생하였다.

이에, 본 발명에서는, 밀착 노광을 반복해도, 점착층이 백화되지 않아, 광투과율이 저하되는 것을 방지할 수 있는 점착 필름을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 예의 연구한 결과, 프린트 배선판 등의 베이스가 되는 기판의 스루홀(through hole) 등의 요철에 의해, 밀착 노광될 때에 볼록부는 평활부보다도 강한 압력이 가해지는 것을 알 수 있었다. 그리고 당해 볼록부가, 노광을 반복할 때마다, 점착층에 강하게 내려 눌러지기 때문에, 점착층에 강한 변형이 일어나고, 변형된 부분에서 빛의 산란이 일어나기 때문에, 점착층의 광투과율이 저하되는 것을 발견하고, 이것을 해결하기에 이르렀다.

즉, 본 발명은, 점착층에 생기는 불가역적인 변형이 전술한 광투과율 저하의 원인이 되는 것, 그리고 점착층의 변형에 관계되는 물리적 특성을 소정의 범위로 함으로써, 광투과율의 저하, 즉 백화의 문제를 해결하는 것을 발견한 것이다.

본 발명의 점착 시트는 기재 상에 점착층을 가지며, 상기 점착층은 크리프율이 2.5% 이하 및/또는 탄성 변형률이 73% 이상인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 점착 시트의 점착층은 마르텐스 경도가 80 N/㎟ 이하인 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 상기 점착 시트의 점착층의 두께가 0.5~20 ㎛인 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 점착 시트는, 점착 시트의, 상기 기재의 점착층이 설치된 반대면에, 기능층이 설치된 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 점착 시트는, 점착 시트 표면과 요철이 있는 부재가 접촉을 반복하는 경우에도, 점착층의 광투과율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 점착 시트는 피착체로 첩합할 때에 기포의 혼입을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 점착 시트의 일실시형태와 그 사용예를 나타내는 도면이다.

본 발명의 점착 시트의 실시형태에 대해서 설명한다.

기재로서 사용되는 합성 수지 필름으로서는, 폴리에스테르, ABS(아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌), 폴리스티렌, 폴리카보네이트, 아크릴, 폴리올레핀, 셀룰로오스 수지, 폴리설폰, 폴리페닐렌설피드, 폴리에테르설폰, 폴리에테르에테르케톤, 폴리이미드, 폴리아미드, 염화비닐계 수지, 불소 수지 등의 합성 수지 필름 등을 들 수 있다. 그 중에서도 평면성이 우수한 것이 매우 적합하게 사용되고, 특히 연신 가공, 이축연신 가공된 폴리에스테르 필름이 기계적 강도, 치수 안정성이 우수하며, 또한 탄성이 강하기 때문에 바람직하다. 또한, 두께는, 1~100 ㎛ 정도가 바람직하다.

특히, 점착 시트를 포토마스크 보호용 점착 시트로 하는 경우에는, 노광시에 사용되는 자외선의 광투과율이 높은 것이 바람직하고, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리스티렌, 트리아세틸셀룰로오스, 아크릴, 폴리염화비닐 등의 투명성이 우수한 고분자 필름이 사용된다. 특히 이축연신된 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 기계적 강도, 치수 안정성이 우수하기 때문에 매우 적합하게 사용되고, 적절히 이접착층(易接着層) 등을 설치한 것도 매우 적합하게 사용된다. 투명 고분자 필름의 두께는, 해상도에 영향을 미치기 때문에 얇은 편이 바람직하지만, 취급성도 고려해서, 두께의 하한으로서는 1 ㎛ 이상, 바람직하게는 2 ㎛ 이상, 더욱이 4 ㎛ 이상이 보다 바람직하고, 상한으로서는 50 ㎛ 이하, 바람직하게는 25 ㎛ 이하, 더욱이 12 ㎛ 이하의 범위가 보다 바람직하다.

다음으로, 점착층으로서는, 일반적으로 사용되는 아크릴계 점착제, 고무계 점착제, 우레탄계 점착제, 실리콘계 점착제 등의 투명 점착제를 사용할 수 있지만, 점착층으로 했을 때에, 후술하는 소정의 물리적 특성을 갖도록 조정될 필요가 있다. 또한, 대전 방지 등의 성능을 갖는 점착제를 사용해도 된다. 점착제에 사용하는 수지의 분자량(중량 평균 분자량)은 1만~100만이 바람직하고, 특히 30만~80만이 바람직하다.

본 발명의 점착 시트를, 화상 등의 보호를 목적으로 하는 경우에는, 점착제도 투명하고 그것 자체가 높은 내광성을 가지고 있는 것이 바람직하다. 이러한 점착제로서는, 우레탄 가교성 또는 에폭시 가교성의 고분자량 아크릴계 점착제가 매우 적합하다. 특히, 점착력을 저하시키지 않고, 목적하는 크리프율을 유지하기 위해서는, 에폭시 가교성의 고분자량 아크릴계 점착제가 바람직하다. 또한, 에폭시 가교제와, 우레탄 가교제를 병용한 가교성(고분자량 아크릴계) 점착제여도 된다.

또한 점착층은, 점착성 기타 특성을 조정하기 위해서 경화제를 포함할 수 있다. 경화제로서는, 에폭시계 경화제, 이소시아네이트계 경화제 등을 들 수 있지만, 이 중, 에폭시계 경화제는 특성의 조정이 용이하여, 매우 적합하다.

다음으로 점착층의 특성에 대해서 설명한다. 일반적으로 점착층에 요구되는 특성은, 점착력, 경도, 탄성 등이 있다.

먼저 점착력은, 피착체로의 JIS Z0237에 준거한 방법으로 측정한 점착력이, 0.5~5.0 N/25 ㎜ 폭인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.0 N/25 ㎜ 폭 이상, 4.0 N/25 ㎜ 폭 이하, 더욱 바람직하게는 3.5 N/25 ㎜ 폭 이하이다. 0.5 N/25 ㎜ 이상으로 함으로써, 노광 작업중에 포토마스크로부터 용이하게 박리되는 것을 방지할 수 있고, 5.0 N/25 ㎜ 폭 이하로 함으로써, 보호 필름의 부착 교환을 행할 수 있다.

경도는, ISO-14577-1에 준거한 방법으로 측정한 마르텐스 경도가 80 N/㎟ 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 60 N/㎟ 이하, 특히 바람직하게는 50 N/㎟ 이하이다. 마르텐스 경도를 80 N/㎟ 이하로 함으로써, 첩착(貼着)시의 기포의 휩쓸려 들어감을 방지할 수 있다.

마르텐스 경도란, 비커스 압자에 의해 접착층의 표면을 압입했을 때의 시험 하중과 압입 표면적으로부터 구해지는 접착층의 경도(움푹 파이기 어려움)를 나타내고, 접착층 경도의 지표가 되는 것이다.

이와 같이, 첩착시의 기포의 휩쓸려 들어감을 방지하기 위해서, 점착층을 마르텐스 경도가 작은 비교적 부드러운 것으로 하는 것이 유효한 수단이지만, 단순히 부드러운 점착층으로 한 경우에는, 점착층의 변형을 발생시키기 쉽게 한다. 그 때문에, 본 발명에서는, 점착층의 변형을 발생시키지 않도록, 크리프율을 2.5% 이하로 하거나, 탄성 변형률을 73% 이상으로 한다.

본 발명에 있어서, 크리프율이란, ISO-14577-1에 준거한 방법으로 측정한 것으로, 구체적으로는, 부하 하중(1 mN)에 도달했을 때의 압입 깊이와, 일정 유지시간(5초) 후의 압입 깊이로부터 다음 식에 의해 구해지는 것이다.

h1: 부하 하중(1 mN)에 도달했을 때(부하 개시로부터 20초 후)의 압입 깊이

h2: 유지시간(5초) 후의 압입 깊이

본 발명에 있어서, 탄성 변형률이란, ISO-14577-1에 준거한 방법으로 측정한 것으로, 구체적으로는, 측정 대상시에 대해서 소정의 하중(1 mN)을 걸었을 때의 작업량(전체 작업량 Wt)과, 일정 유지시간(5초) 후, 압자의 하중을 0 mN으로 되돌릴 때의 작업량(소성 변형 작업량 Wp)으로 부터, 탄성 변형률을 구할 수 있다.

크리프율은 2.5% 이하이고, 바람직하게는 2.0% 이하이다. 또한 점착층의 탄성 변형률은 73% 이상, 바람직하게는 77% 이상이다. 본 발명자들의 검토에 의하면, 크리프율과 탄성 변형률 사이에는 상관이 있어, 탄성 변형률이 높을수록 크리프율은 저하된다. 크리프율을 2.5% 이하, 또한 탄성 변형률을 73% 이상으로 함으로써, 요철이 있는 부재의 볼록부가 강한 압력으로 점착층에 내려 눌러져서 점착층에 변형이 일어나도 원래 상태로 되돌릴 수 있다. 그 결과, 점착층의 변형부분에서 빛의 산란이 일어나 광투과율을 저하시키는 현상, 즉 점착층의 백화를 방지할 수 있다.

전술한 점착층의 특성(크리프율, 탄성 변형률 및 마르텐스 경도)은, 점착층에 사용하는 점착제의 분자량이나 분기쇄의 비율, 점착제와 경화제의 배합비나 경화제의 종류 등에 의해 조정할 수 있다. 예를 들면, 크리프율은 분자량이 커질수록 작아지고, 또한 점착층의 전체 고형분 중의 경화제의 함유량이 많을수록 작아진다. 탄성 변형률은, 분자량이 커질수록 크고, 또한 점착층의 전체 고형분 중의 경화제의 함유량이 많을수록 커진다. 단, 마르텐스 경도도 분자량이 커질수록 크고, 또한 점착층의 전체 고형분 중의 경화제의 함유량이 많을수록 커지기 때문에, 마르텐스 경도가 지나치게 커지지 않도록 조정하는 것이 필요하다. 분기쇄율이 높은 것을 사용한 경우에는, 마르텐스 경도를 크게 하지 않고, 크리프율을 작게, 탄성 변형률을 크게 할 수 있다.

구체적으로는, 점착제의 분자량(중량 평균 분자량)으로서는, 1만~100만이 바람직하고, 특히 30만~80만이 바람직하다. 점착층의 전체 고형분 중에 경화제는 0.01~5 중량%의 범위가 바람직하다. 특히, 에폭시계 경화제의 경우에는 0.01~2 중량%가 바람직하다. 탄성 변형률을 크게, 또한 크리프율을 작게 한 채로 마르텐스 경도를 작게 하기 위해서는, 분기쇄가 긴 것을 사용한다.

점착층의 두께는, 투명성(해상도)을 저해하지 않고 적당한 점착성이 얻어지도록, 하한으로서 0.5 ㎛ 이상, 바람직하게는 1 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 2 ㎛ 이상의 범위가 바람직하며, 상한으로서는 20 ㎛ 이하, 바람직하게는 12 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 6 ㎛ 이하의 범위가 바람직하다.

또한, 점착층에는, 그 점착성에 의해 점착 시트의 취급성이 저하되지 않도록 하기 위해서, 표면에 이형처리를 행한 이형 필름을 첩합하는 것도 적절히 행할 수 있다.

본 발명의 점착 시트의 점착층이 설치되어 있지 않은 면에는, 이형층, 하드 코트층, 방담층(防曇層), 광촉매층, 기록층, 블로킹 방지층 등의 기능층을 설치해도 된다.

이형층은 점착 시트 표면에 포토레지스트 등을 부착하기 어렵게 하기 위한 층으로, 바인더 수지에 이형제를 함유한 층이다. 이형층을 가짐으로써, 피착체로의 포토레지스트의 부착을 방지할 수 있다.

하드 코트층은, 점착 시트 표면의 흠집 발생을 방지하기 위한 층으로, 경화형 수지에 의해 형성된 층이다. 하드 코트층을 가짐으로써, 피착체에 흠집이 발생하기 어렵게 할 수 있다. 하드 코트층 중에는, 비침 방지를 위해 매트제를 첨가할 수 있다. 또한, 전술한 이형층의 기능을 겸비하도록 하는 것도 가능하다.

방담층은, 수증기에 의한 흐림을 방지하기 위한 층으로, 친수화 수지나 계면활성제에 의해 표면을 친수화한 층이다. 광촉매층은, 이산화티탄 등의 광촉매로 되어 빛에 의해 친수성을 발현하는 층으로, 표면에 부착된 먼지나 티끌을 물로 씻어낼 수 있는 기능을 갖는다.

기록층은, 점착 시트에 잉크젯 기록, 레이저 프린터 등에 의한 기록 등의 잉크 수용성을 부여하기 위한 층으로, 기록방식에 따른 공지의 기록층을 형성할 수 있다. 블로킹 방지층은, 점착 시트끼리 또는 다른 필름을 겹칠 때의 블로킹을 방지하기 위한 층으로, 하드 코트층 등의 다른 기능층에 블로킹 방지 기능을 겸비하도록 하는 것도 가능하다. 이들 기능층 중에는, 레벨링제, 자외선 흡수제, 산화 방지제 등의 첨가제를 첨가해도 된다.

기능층은, 그 기능에 따라서 적절히 조합시켜 설치하는 것도 가능하다. 예를 들면, 블로킹 방지층 위에 기록층을 설치하는 것도 가능하다.

기능층은, 점착층과 동일하게, 기능층을 구성하는 재료를 포함하는 도포액을 롤 코팅법, 바 코팅법, 스프레이 코팅법, 에어 나이프 코팅법 등의 공지의 방법에 의해 플라스틱 필름 상에 도포하고, 필요에 따라서 가열이나 전리방사선 조사함으로써 형성할 수 있다.

이상과 같이 본 실시형태에 의하면, 점착층으로서 소정 범위의 특성을 갖는 것으로 함으로써, 점착 시트 표면과 요철이 있는 부재가 접촉을 반복하는 경우에도, 점착층의 광투과율이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 점착 시트는 피착체로 첩합할 때에 기포의 혼입을 방지할 수 있다.

본 발명의 점착 시트의 일실시형태를 도 1에 나타낸다. 도 1에 나타내는 예에서는, 점착 시트(10)는, 기재(11)와, 기재의 한쪽 면에 형성된 점착층(12)과, 점착층(12)을 덮는 이형 필름(13)과, 기재(11)의 다른 쪽 면에 형성된 기능층(14)으로 구성되어 있다.

이러한 구성의 점착 시트는, 이형 필름(13)을 박리하고, 목적하는 피접착 부재(15)에 점착층(12)을 압착함으로써, 부재(15)의 표면 보호 필름으로서 사용할 수 있다. 필요에 따라서, 부재(15)로부터 박리하고, 재접착하는 것이 가능하다. 본 발명의 점착 시트는, 포토마스크의 표면 보호 필름으로서 매우 적합하게 사용될뿐 아니라, 피접착 부재(15)의 표면에 특정 기능을 부여하기 위한 점착 시트로서 사용하는 것도 가능하다.

실시예

이하, 실시예에 의해 본 발명을 추가적으로 설명한다. 또한, 「부」, 「%」는 특별히 나타내지 않는 한, 중량 기준으로 한다.

[실시예 1]

두께 6 ㎛의 투명 고분자 필름(루미러: 도오레사)의 한쪽 표면에 하기 조성의 이형층용 도포액을 바 코팅에 의해 도포하고, 120℃에서 5분 가열 경화시켜서, 두께 약 0.5 ㎛의 이형층을 형성하였다. 또한 다른 한쪽 면에 하기 처방의 점착층용 도포액을 도포하고, 건조시킴으로써, 두께 약 2 ㎛의 점착층을 형성하여, 표면 보호 필름으로서 사용할 수 있는 점착 시트를 제작하였다. 점착층에는, 취급상, 두께 25 ㎛의 폴리에틸렌테레프탈레이트 이형 필름(MRB: 미츠비시 쥬시사)을 첩합하였다.

＜이형층용 도포액＞

·전리방사선 경화형 수지 33부

(데소라이트 7501: 고형분 50%, JSR사)

·실리콘 아크릴레이트 이형제 0.2부

(실리콘 함유율 70%, 고형분 100%)

·다가 불포화 유기 화합물 4부

(KAYARAD R167: 고형분 100%, 니폰 카야쿠사)

·실란 커플링제 0.1부

(KBM5103: 고형분 100%, 신에츠 실리콘사)

·희석 용매 65부

＜점착층용 도포액＞

·아크릴계 점착제 (표 1 기재의 부)

(SK-1442: 고형분 45%, 소켄 가가쿠사)

·표 1 기재의 경화제 (표 1 기재의 부)

·희석 용매 (표 1 기재의 부)

또한, 표 1 중의 경화제 A는 에폭시계 경화제(E-5XM: 고형분 5%, 소켄 가가쿠사)를 나타낸다. 경화제 B는 이소시아네이트계 경화제(L-45: 고형분 45%, 소켄 가가쿠사)를 나타낸다.

얻어진 점착 시트(실험예 1~8)와 시판의 표면 보호 필름(택웰＃157SD-N4, 세키스이 가가쿠 고교사)(참고예 1, 2)에 대해서, 하기의 평가를 행하였다. 결과를 표 2에 나타낸다.

[크리프율 및 탄성 변형률]

실험예 1~8 및 참고예 1, 2의 점착 시트로부터 이형 필름을 박리하고, 점착 시트를 포토마스크의 표면에 라미네이트하여, 투명 고분자 필름(이형층)면측으로부터, 온도 20℃, 상대온도 60%의 분위기하에서, 초미소 경도 시험장치(상품명: 피셔·스코프 HM2000, 피셔·인스트루먼트사)에 의해, ISO-14577-1에 준거한 방법으로, 크리프율 및 탄성 변형률을 측정하였다.

측정 조건

사용 압자: 다이아몬드 비커스 압자

부하 조건

부하 하중: 1 mN

압입하는 부하시간: 20초

유지시간: 5초

제하(除荷) 조건: 20초

[마르텐스 경도]

실험예 1~8 및 참고예 1, 2의 점착 시트로부터 이형 필름을 박리하고, 점착 시트를 포토마스크의 표면에 라미네이트하여, 투명 고분자 필름(이형층)면측으로부터, 온도 20℃, 상대온도 60%의 분위기하에서, 초미소 경도 시험장치(상품명: 피셔·스코프 HM2000, 피셔·인스트루먼트사)에 의해, ISO-14577-1에 준거한 방법으로, 마르텐스 경도를 측정하였다. 단, 최대 시험 하중: 1 mN으로 측정한 값이다.

[타점 시험]

타점 선단부가 쇼어 경도(Shore Hardness) 60의 고무재 선단에 동선을 붙인 타점 내구 시험장치를 사용하여, 하중 20 g, 타점 사이클 1만회/시간으로, 실험예 1~8 및 참고예 1, 2의 점착 시트의 투명 고분자 필름(이형층)측을, 100회 타점 후에, 점착층을 관찰하고, 점착층으로의 압흔의 유무를 확인하였다. 현미경으로 점착층에 압흔을 확인할 수 없는 것을 「◎」, 현미경으로는 압흔을 확인할 수 있었지만, 육안으로는 확인할 수 없는 것을 「○」, 육안으로 압흔을 확인할 수 있었던 것을 「×」로 하여 평가하였다.

[점착력]

실험예 1~8 및 참고예 1, 2의 점착 시트를 100 ㎜×25 ㎜ 폭으로 컷트하고, 이형 필름을 박리하여, 피착체(루미러 T60-100 ㎛)에 첩합하고, 20분 경과 후, 180°박리를 행하여, JIS Z0237에 준거한 방법으로, 점착력을 측정하였다. 또한, 실험예 1~8 및 참고예 1, 2의 점착 시트를, 포토마스크의 표면 보호 필름으로서 사용하고, 노광 작업과 그 후의 부착 교환작업을 행하여, 박리성을 확인하였다.

[기포의 혼입]

실험예 1~8 및 참고예 1, 2의 점착 시트의 이형 필름을 박리하고, 포토마스크에 첩합한 상태에서, 포토마스크 단차부에 있어서 점착층에 포함되는 기포를 현미경으로 관찰하였다. 육안으로는 기포를 확인할 수 없는 것을 「○」, 육안으로 기포를 확인할 수 있었던 것을 「×」로 하여 평가하였다.

실험예 1~4의 점착 시트는, 크리프율이 2.5% 이하였기 때문에, 강한 압력으로 내려 눌러져서 점착층에 변형이 일어난 경우에도, 점착층이 원래 상태로 되돌아가기 쉬워, 점착층의 변형이 보이지 않았다. 실험예 1~4의 점착 시트는 탄성 변형률이 73% 이상이었다. 또한 점착층 타점 시험의 결과도 양호하였다.

특히, 실험예 1~3의 점착 시트는 크리프율이 2.0 이하, 탄성 변형률이 77% 이상이었기 때문에, 타점 시험에 있어서, 점착층의 변형이 보이지 않고, 양호한 것이었다.

또한, 실험예 1~4의 점착 시트는 점착력이 1~3.5 N/25 ㎜였기 때문에, 실제로 포토마스크의 표면 보호 필름으로서 사용하여, 노광 작업중에 포토마스크에 첩착했을 때에, 포토마스크로부터 용이하게 박리되지 않고, 표면 보호 필름의 부착 교환으로 포토마스크로부터 박리할 때, 용이하게 박리할 수 있었다.

실험예 5~7의 점착 시트는 크리프율이 2.5%보다 크고, 탄성 변형률도 73%보다 작은 것이었기 때문에, 타점 시험에 있어서, 점착층에 변형이 보였다.

또한, 실험예 6, 7의 점착 시트는 점착력이 3.5~5 N/25 ㎜였기 때문에, 실제로 포토마스크의 표면 보호 필름으로서 사용하여, 노광 작업중에 포토마스크에 첩착했을 때에, 포토마스크로부터 용이하게 박리되는 경우는 없었지만, 표면 보호 필름의 부착 교환으로 포토마스크로부터 박리할 때, 실험예 1~4, 8과 비교해서 박리하기 어려운 것이었다.

실험예 1~7의 점착 시트는 마르텐스 경도가 80 N/㎟ 이하였기 때문에, 기포가 혼입되지 않고, 피착체로의 첩합도 양호하게 행할 수 있는 것이었지만, 실험예 8의 점착 시트는 마르텐스 경도가 80 N/㎟보다 컸기 때문에, 기포의 혼입이 보였다.

참고예 1, 2의 점착 시트는 마르텐스 경도가 80 N/㎟ 이하였기 때문에, 기포가 혼입되지 않고, 피착체로의 첩합도 양호하게 행할 수 있는 것이었지만, 크리프율도 2.5%보다 크고, 또한 탄성 변형률이 73%보다 작은 것이었기 때문에, 타점 시험에 있어서, 점착층에 변형이 보였다.

10…점착 시트
11…기재
12…점착층
13…이형 필름
14…기능층

Claims

기재 상에 점착층을 갖고, 상기 점착층은 크리프율이 2.5% 이하인 것을 특징으로 하는 점착 시트.
기재 상에 점착층을 갖고, 상기 점착층은 탄성 변형률이 73% 이상인 것을 특징으로 하는 점착 시트.
기재 상에 점착층을 갖고, 상기 점착층은 크리프율이 2.5% 이하, 또한 탄성 변형률이 73% 이상인 것을 특징으로 하는 점착 시트.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착 시트의 점착층은 마르텐스 경도가 80 N/㎟ 이하인 것을 특징으로 하는 점착 시트.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착 시트의 점착층은 아크릴계 점착제와 경화제를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 시트.
제5항에 있어서,
상기 경화제가 에폭시계 경화제인 것을 특징으로 하는 점착 시트.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착 시트의 점착층의 두께가 0.5~2.0 ㎛인 것을 특징으로 하는 점착 시트.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 점착 시트의, 상기 기재의 점착층이 설치된 반대면에, 기능층이 설치된 것을 특징으로 하는 점착 시트.