KR20110120298A - 비열성 플라즈마 생성을 위한 전극 배열 - Google Patents

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KR20110120298A
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KR1020117019953A
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그레고르 유진 모르필
베른트 스테페스
테츠지 시미주
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막스-플랑크-게젤샤프트 츄어 푀르더룽 데어 비쎈샤프텐 에.파우.
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Abstract

본 발명은 비열성 플라즈마를 생성하기 위한 전극 배열(1)에 관한 것이고, 전기 전도성 물질로 만들어진 층-형상 제1 전극(2), 전기 전도성 물질로 만들어진 층-형상 제2 전극(4)을 포함하고, 제2 전극(4)은 제1 전극(2)으로부터 전기적으로 절연되고, 제1 전극(2)과 제2 전극(4) 사이에 배열된 유전체 배리어(3)를 포함하고, 비열성 플라즈마는 유전체 배리어 방전에 의해 생성된다. 본 발명의 전극 배열은 제1 전극(2) 및 제2 전극(4) 중 적어도 하나가 전극 위로 배치되는 몇몇 구멍들을 포함한다.

Description

비열성 플라즈마 생성을 위한 전극 배열 {ELECTRODE ARRANGEMENT FOR GENERATING A NON-THERMAL PLASMA}
본 발명은 비열성 플라즈마를 생성하기 위한 전극 배열에 관한 것으로, 특히 환자 치료를 위함이다.
부상자들의 치료 및 특히 부상자들의 생체 살균, 오염제거 또는 소독을 위한 비열성 플라즈마의 사용이, 예를 들어 WO2007/031250 A1 및 PCT/EP2008/003568에 개시된다.
그러나, 플라즈마 치료를 위한 이러한 종래 장치들은 고가이고 제조가 어려운 복잡한 전극 배열을 포함한다.
그러므로, 비열성 플라즈마의 생성을 위한 향상된 전극 배열을 제공하는 것이 본 발명의 일반적인 목적이다.
이러한 목적은 주요 청구항에 따른 신규한 전극 배열에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 전극 배열은 전기 전도 물질로 만들어진 층-형상의 제1 및 제2 전극들을 포함하고, 제1 및 제2 전극들은 제1 전극과 제2 전극 사이에 배열되는 유전체 배리어(barrier)에 의해 서로 전기적으로 절연되어서, 비열성 플라즈마는 종래 기술에서 잘 알려져 있어서 추가 설명이 필요 없는 유전체 배리어 방전(dielectric barrier discharge; DBD)에 의해 생성된다. 본 발명에 따른 신규한 전극 배열은 적어도 하나의 제1 전극 및 제2 전극이 전극 위에 분포된 몇몇 구멍들을 포함하는 것을 특징으로 한다. 그러므로, 플라즈마는 전극의 구멍 내에서 생성된다.
본 발명의 바람직한 실시예에서, 제1 전극 및 제2 전극 중 적어도 하나는 와이어-메시를 포함하고, 전술한 구멍들은 와이어-메시의 개별적인 메시들 사이에 배열된다. 다시 말해서, 와이어-메시의 각각의 메시는 전술한 구멍들 중 하나를 형성한다. 그러한 배열의 일 이점은 배열은 그것이 스케일 가능하고(scalable), 적용성이 있으며(adaptive), 형태와 형상을 만들 수 있어서, 예를 들어 이후에 자세히 설명할 상처 드레싱(dressing)과 같은, 새로운 적용을 허용한다는 것이다. 게다가, 그러한 전극 배열은 제조가 쉽고 아주 경제적이다. 플라즈마 약을 위해 제안된 종래 유전체 배리어 장치와 달리, 그것은 인체 조직을 통해 전류를 통과시키지 않는다. 더욱이, 이중 메시 시스템은 가스 투과성이어서 가스 흐름은 전극 배열을 가로질러 침투하여서 그것은 공기 정화, 살균 및 오염(배기) 제어에 유용하다.
더욱이, 전술한 이중-메시 전극 시스템들 일부를 몇 센티미터의 거리에 배열할 수 있으며, 이중-메시 시스템은 바람직하게 서로 평행하게 정열된다.
본 발명의 다른 실시예에서, 제1 전극 및 제2 전극 중 적어도 하나는 전술한 구멍들이 배열되는 천공된 플레이트를 포함한다. 예를 들어, 플레이트는 구리 또는 알루미늄으로 만들어질 수 있고, 플레이트 내 구멍들은 플레이트로부터 펀칭된다. 더욱이, 전극 배열의 양 전극들은 유전체 배리어에 의해 분리된 천공된 플레이트들로 구성된다.
본 발명의 다른 실시예에서, 제1 및 제2 전극들 중 적어도 하나는 전기 전도성 물질로 만들어진 평행한 와이어들 또는 스트립(stripe)들로 구성된다.
본 발명의 전술한 실시예들에서, 구멍들은 바람직하게 전극 표면 위로 동일하게 배치되어서 플라즈마 생성의 강도가 또한 전극의 표면 위로 동일하게 배치된다는 것이 더 주목되어야 한다.
본 발명의 일 실시예에서, 제1 전극은 전기 전도성 물질로 만들어진 플레이트를 포함하고, 플레이트는 바람직하게 규모가 크고 어떠한 구멍들도 포함하지 않는다. 유전체 배리어는 대체로 층-형상(layer-shaped)이고 플레이트의 표면 위에 형성된다. 예를 들어, 유전체 배리어는 0.5-1mm 범위의 두께를 가질 수 있다. 이러한 실시예에서, 제2 전극은 전술한 와이어-메시 또는 전기 전도성 물질로 만들어진 천공된 플레이트 중 하나를 포함한다. 큰 플레이트로 형성된 제1 전극은 바람직하게 10-20kV의 전압 및 일반적으로 10-30mA의 전류를 가지는 교류로 활성화되고 와이어-메시로서 형성된 제2 전극은 바람직하게 전기적으로 접지된다.
본 발명의 다른 실시예에서, 제1 전극 및 제2 전극 양자는 와이어-메시를 포함하고 유전체 배리어는 제1 전극 및 제2 전극 중 적어도 하나의 와이어를 둘러싸서 제1 전극을 제2 전극으로부터 절연하는 전기적 절연 및 유전체 물질로 만들어진 피복(cladding)을 포함한다. 다시 말해서, 전기 절연 및 유전체인 와이어-메시의 개별적인 와이어들의 피복은 유전체 배리어를 형성한다. 제1 전극 및 제2 전극은 서로 부착되어 있고, 바람직하게는 접착 본드에 의해 부착되어서, 제1 및 제2 전극들의 와이어-메시들은 물리적으로 서로 접촉한다.
본 실시예의 일 변형에서, 제1 전극 및 제2 전극 양자는 와이어-메시의 개별적인 와이어들을 둘러싸는 피복을 포함하여서 유전체 배리어를 형성한다.
본 실시예의 다른 변형에서, 제1 및 제2 전극들 중 오직 하나는 와이어-메시의 개별적인 와이어들을 둘러싸는 피복을 포함하여서 유전체 배리어를 형성한다. 다시 말해서, 제1 및 제2 전극들 중 오직 하나가 피복에 의해 전기적으로 절연되고 제1 및 제2 전극들 중 다른 하나는 피복에 의해 절연되어 있지 않다.
본 발명은 두 개의 전극들만을 포함하는 실시예들로 제한되지 않음이 더 주목되어야 한다. 예를 들어, 제3 전극 및 추가적인 유전체 배리어를 제공할 수 있어서 중앙 전극의 양 측면들 상에 두 개의 유전체 배리어 방전이 있어서 샌드위치와 같은 배열을 형성할 수 있다.
전극들은 바람직하게 서로 부착된다는 것은 이미 설명하였다. 유전체 배리어가 제1 및 제2 전극들 중 적어도 하나에 부착되는 것이 또한 가능하다.
본 발명의 다른 실시예에서, 전극 배열은 캐리어 가스(carrier gas)가 튜브 안으로 들어가기 위한 축방향 정렬 입구 및 비열성 플라즈마가 튜브 밖으로 배출되기 위한 축방향 정렬 출구를 가지는 중공 튜브의 형태로 형성되어서, 플라즈마는 튜브 내에서 생성된다.
이러한 튜브-형상 배열의 일 변형에서, 튜브의 벽은 전술한 제1 및 제2 전극들 및 유전체 배리어를 포함하는 DBD 배열로 구성된다.
이러한 실시예의 다른 변형에서, 제1 전극 및 제2 전극은 튜브 내에 배열되고, 제1 전극 및 제2 전극은 바람직하게 선형 전극들이고, 이들은 튜브 내에 대체로 동축으로 정렬된다. 제1 전극 및 제2 전극 중 적어도 하나는 바람직하게 유전체 배리어를 형성하는 전기 절연 및 유전체 물질로 만들어진 피복에 의해 둘러싸인다.
다시 말해서, DBD 배열의 전극들은 튜브-형상 전극 배열 안 또는 튜브-형상 전극 배열의 벽 안 중 어느 하나에 배열된다.
전체 전극 배열이 평평하고, 2-차원이고, 평면이고/또는 곡면일 수 있음이 더 주목되어야 한다. 다시 말해서, 본 발명에 따른 신규한 전극 배열은 원하는 형상으로 쉽게 적용될 수 있다.
바람직하게, 전극 배열은 대체로 2-차원이고, 평평하고 변형가능하여서 전체 전극 배열의 형상은 처리되는 몸체 부분의 윤곽에 적용될 수 있다. 그러한 배열은 이후에 자세히 설명할 상처 드레싱에서 본 발명의 전극 배열의 사용을 허용한다.
본 발명의 다른 실시예에서, 전극 배열은 전극 배열을 덮는 커버를 더 포함한다. 커버는 플라즈마의 반응 종들(species)의 국부적 밀도를 증가시키도록 할 수 있어서 살균에 필요한 시간을 감소시킨다. 게다가, 커버는 사용되지 않은 반응 종들을 여과하는데 적합할 수 있다. 커버가 플라즈마의 양호한 제어에 효과적이도록 할 수 있다. 마지막으로, 커버는 전극 배열이 감소된 압력 하에서 작동할 수 있도록 할 수 있다.
유전체 배리어는 전기 절연성 및 유전체 물질로 구성된다. 유전체 배리어는 바람직하게 높은 성능이 필요하다면 세라믹들로 구성된다. 또는, 유전체 배리어는 전극 배열의 더 낮은 성능으로도 충분하다면 폴리테트라플루오로에틸렌 (polytetrafluoroethylene)으로 만들어질 수 있다. 더욱이, 유전체 배리어는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 유연하거나 견고한 유리-세라믹, 유리, 마일라(Mylar®), 캐스팅 세라믹 또는 산화물들로 만들어질 수 있다. 그러나, 유전체 물질의 녹는점은 바람직하게 +100℃ 이상이어야 한다.
본 발명이 단일 구성요소로서의 전극 배열에 제한되지 않아야 함이 더 주목되어야 한다. 본 발명은 비열성 플라즈마를 생성하기 위한 전술한 신규한 전극 배열을 포함하는 플라즈마 처리를 위한 완전한 장치를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에서, 그러한 장치는 손에 비열성 플라즈마를 가함으로써 사람의 손을 살균하는데 적용된다. 그러한 장치는 살균 동안 손을 임시로 수용하고 하우징 내 손에 플라즈마를 가하기 위한 하우징을 포함한다. 더욱이, 하우징은 하우징 안으로 입구 개구를 통해 손이 들어오도록 하기 위한 입구 개구를 포함한다. 손의 살균을 위한 전술한 실시예는 참조로 포함된 EP 09002200.5에 상세히 기술되어 있다.
본 발명의 장치의 다른 실시예에서, 전극 배열은 튜브 밖으로 비열성 플라즈마를 분산하기 위한 축방향 정렬 출구 및 튜브 내로 캐리어 가스를 들어오게 하기 위한 축방향 정렬 입구를 가지는 중공 튜브의 형태로 형성되어 있어서, 플라즈마는 튜브 내에서 생성된다. 장치는 바람직하게 튜브-형상 전극 배열의 입구 내로 그리고 튜브-형상 전극 배열의 축방향을 통해 캐리어 가스를 불어주기 위한 팬 또는 압축기를 포함한다. 게다가, 노즐이 장치를 떠나는 플라즈마 제트를 형성하기 위한 튜브-형상 전극 배열의 출구에 부착될 수 있다.
전극 배열의 출구에 가이드 파이프를 더 부착할 수 있고 가이드 파이프는 특정 방향으로 플라즈마 제트를 향하게 한다. 전술한 가이드 파이프는 바람직하게 유연하여서 플라즈마 제트의 방향은 원하는 처리 위치에 가이드 파이프를 조준함으로써 변경될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서, 장치는, 특히 박테리아, 바이러스 또는 포자와 같은, 오염원들로부터 공기를 청정하게 하도록 된다.
이러한 실시예의 일 변형에서, 전극 배열은 가스 투과성이고 오염된 공기는 전극 배열을 통해 가로질러 지나가서 오염된 공기는 전극 배열을 통해 지나가면서 전극 배열은 오염원들로부터 공기를 청결하게 한다.
이러한 실시예의 다른 변형에서, 전극 배열은 튜브-형상이고 오염된 공기는 전극 배열을 통해 축방향으로 통과하여서 오염된 공기가 전극 배열을 통해 지나가면서 전극 배열은 오염원들로부터 공기를 청결하게 한다.
본 발명에 따른 장치가 휴대가능하거나 손으로 쥘 수 있음이 더 언급되어야 한다.
더욱이, 본 발명에 따른 장치는 바람직하게 통합된 배터리 또는 전기 동력 전극 배열을 포함한다.
게다가, 신규한 전극 배열은 또한 주부백선(tinea pedis)와 같은 사상균병(mycosis)의 치료를 위해 사용될 수 있다. 본 발명자는 환자의 피부 표면에 비열성 플라즈마의 적용이 플라즈마가 양말을 통해 가해지더라도 사상균병을 신속히 죽이는 것을 파악하였다. 그러므로, 본 발명은 또한 사상균병의 치료를 위한 신규한 장치를 포괄하고 장치는 환자가 발을 넣는 입구 개구를 포함한다. 그리고, 플라즈마는 장치의 하우징 내 발에 가해진다.
플라즈마 치료를 위한 다른 가능한 적용은 화장 영역이다. 예를 들어 비열성 플라즈마는 표백 이를 위해 사용될 수 있다.
마지막으로, 본 발명은 또한 드레싱, 특히 상처 드레싱에 관한 것이고, 환자의 몸 표면(예를 들어 상처)을 덮기 위해 위에서 언급한 바와 같이 유연하고 평평한 전극 배열을 포함한다. 상처 드레싱 안으로 DBD 전극 배열의 통합은 상처의 플라즈마 치료를 허용하고 상처는 드레싱에 의해 덮인다.
본 발명 및 그것의 특정한 특징들 및 이점들은 첨부된 도면을 참조하여 고려될 다음의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.
본 명세서 내에 포함되어 있음.
도 1A는 제1 전극 및 제2 전극으로서 와이어-메시로서 플레이트를 포함하는 본 발명에 따른 DBD 전극 배열의 바람직한 실시예의 사시도를 도시한다.
도 1B는 도 1A에 따른 전극 배열의 단면도를 도시한다.
도 2는 튜브-형상 전극 배열의 사시도를 도시한다.
도 3은 두 개의 와이어-메시들을 포함하는 전극 배열의 사시도를 도시한다.
도 4는 추가적으로 커버를 포함하는 도 3에 따른 전극 배열의 변형을 도시한다.
도 5는 튜브 내 두 개의 선형 전극들을 포함하는 튜브-형상 전극을 도시한다.
도 6은 몇몇의 와이어-미시들의 와이어들의 접합의 사시도를 도시한다.
도 7은 두 개의 절연 와이어들의 접합의 사시도를 도시한다.
도 8은 세 개의 전극들을 포함하는 샌드위치와 같은 DBD 전극 배열의 단면도를 도시한다.
도 9는 플라즈마 제트를 생성하기 위한 일명 플라즈마 제트 장치의 개략도를 도시한다.
도 10은 손을 소독하기 위한 장치의 사시 단면도를 도시한다.
도 11은 와이어-메시가 유전체 배리어 내로 삽입되는, 도 1A 및 1B에 따른 실시예의 변형의 단면도를 도시한다.
도 1A 및 1B는 비열성 플라즈마를 생성하기 위한 DBD(유전체 배리어 방전; dielectric barrier discharge) 전극 배열(1)의 바람직한 실시예를 도시한다. 전극 배열(1)은, 예를 들어 구리 또는 알루미늄과 같은, 전기 전도성 물질로 만들어진 플레이트-형상 전극(2)를 포함한다. 플레이트-형상 전극(2)는 0.5-1mm 범위의 두께를 가진다.
게다가, 전극 배열(1)은 폴리테트라플루오로에틸렌으로 만들어진 유전체 배리어(3)를 포함하고, 유전체 배리어(3)의 물질은 플레이트-형상 전극(2)의 하부 표면에 적용된다.
더욱이, 전극 배열(1)은 전극(2)에 대향 측 상에 유전체 배리어(3)에 부착되는 와이어-메시(wire-mesh)에 의해 형성된 다른 전극(4)을 포함한다.
전극(4)은 전기적으로 접지되고 다른 전극(2)은 f=12,5kHz의 주파수 및 HV=18kVpp의 피크-대-피크-전압(peak-to-peak-voltage)를 가지는 전극(2)에 교류 신호를 가하는 고전압 생성기(5)에 전기적으로 연결된다. 그러므로, 고전압 생성기(5)는 플라즈마가 메시-형상 전극(4)의 메시들 내에서 생성되는 유전체 방전을 유발한다.
도 2는 비열성 플라즈마를 생성하기 위한 튜브-형상 전극 배열(6)을 도시하고 전극 배열(6)의 형상을 설명하기 위해 특히 일부를 절단하여 나타낸다.
튜브-형상 전극 배열(6)은 전기 전도성 물질로 만들어진 큰 외부 전극(7)을 포함하고 외부 전극(7) 중공이고 튜브-형상이다.
더욱이, 전극 배열(6)은 전기 전도성 물질로 만들어진 메시에 의해 형성된 내부 전극(8)을 포함한다.
외부 전극(7) 및 내부 전극(8)은 튜브-형상 유전체 배리어(9)에 의해 분리된다.
외부 전극(7)은 위에서 언급한 바와 같이 고전압 생성기(10)에 전기적으로 연결되고 내부 전극(8)은 전기적으로 접지된다. 그러므로, 고전압 생성기(10)는 유전체 배리어 방전을 유발하고 비열성 플라즈마는 내부 전극(8)의 개별적인 메시들 내에서 생성된다.
도 3은 도 1A 및 1B에 도시된 전극 배열(1)과 유사한 2-차원 전극 배열(11)의 다른 실시예를 도시한다.
그러나, 전그 배열(11)은 두 개의 메시-형상 전극들(12, 13)을 포함하고, 전극들(12, 13) 중 적어도 하나의 개별적인 와이어들은 전극들(11, 12) 사이에서 유전체 배리어를 형성하는 전기적 절연 및 유전체 물질로 만들어진 피복에 의해 둘러싸인다.
전극(13)은 전기적으로 접지되고 다른 전극(12)은 플라즈마가 전극들(12, 13)의 메시들 내에서 생성되는 전극 배열(11) 내에서 유전체 배리어 방전을 유발하는 고전압 생성기(14)에 연결된다.
전극 배열(11)은 유연하여서 전극 배열(11)이 원하는 형상으로 될 수 있다는 것을 더 주목해야 한다.
도 4는 인접한 메시-형상 전극들의 개별적인 와이어들(15, 16, 17) 사이의 접합을 도시한다. 본 실시예에서, 와이어(16)는 전기적 절연 및 유전체 물질로 만들어진 피복(18)에 의해 둘러싸여서 유전체 배리어를 형성한다. 다른 와이어들(15, 17)은 절연되지 않는다.
도 5는 인접한 메시-형상 전극들의 와이어들(19, 20)의 접합의 다른 실시예를 도시한다. 본 실시예에서 와이어(19) 및 와이어(20) 양자는 전기적 절연 및 유전체 물질로 만들어진 피복(21, 22)으로 둘러싸인다.
도 6은 도 3에 도시된 전극 배열의 변형을 도시하여서 도 3과 관련한 위의 설명을 참조한다.
본 실시예의 하나의 특징적인 특성은 전극 배열(11)이 추가적으로 커버(23)를 포함한다는 것이다. 커버는 다른 목적, 예를 들어 반응 종들의 국부적 밀도 증가, 살균 시간 감소, 사용되지 않는 반응 종들의 여과, 플라즈마의 양호한 제어 또는 감소된 압력 하에서의 작동을 가질 수 있다.
도 7은 유전체 배리어를 형성하는 전기적 절연 및 유전체 물질로 만들어진 피복에 의해 둘러싸이는 와이어롤 각각 구성되는 두 개의 선형 전극들(25, 26)을 포함하는 튜브-형상 전극 배열(24)의 다른 실시예를 도시한다.
전극(26)은 전기적으로 접지되고 다른 전극(25)은 전극 배열(24) 내 유전체 배리어 방전을 유발하는 고전압 생성기(27)에 전기적으로 연결된다.
도 8은 비열성 플라즈마를 생성하기에 적합한 전극 배열(28)의 다른 실시예를 도시한다. 전극 배열(28)은 구리로 만들어진 큰 플레이트에 의해 형성된 중앙 전극(29)을 포함한다.
게다가, 전극 배열(28)은 두 개의 평평한 유전체 배리어(30, 31)를 포함하고, 각각은 폴리테트라플루오로데틸렌으로 만들어진 평평한 플레이트로 구성되며, 유전체 배리어들(30, 31)은 중앙 전극(29)의 대향 측에 부착된다.
더욱이, 전극 배열(28)은 두 개의 메시-형상 외부 전극들(32, 33)을 포함하고 이들은 유전체 배리어(30, 31)의 외부 측에 부착된다.
외부 전극들(32, 33)은 전기적으로 접지되고 중앙 전극(29)은 고전압 생성기에 전기적으로 연결된다.
도 9는 플라즈마 제트를 생성하기 위한 소위 플라즈마 제트 장치를 도시한다.
플라즈마 제트 장치는 비열성 플라즈마를 생성하기 위해 도 2에 도시된 바와 같은 전극 배열(6)을 포함한다.
게다가, 플라즈마 제트 장치는 튜브-형상 전극 배열(6) 내로 캐리어 가스를 불어주기 위해 팬(34)을 포함한다.
마지막으로, 플라즈마 제트 장치는 튜브-형상 전그 배열(6)의 출구에 부착되는 노즐(35)을 포함하고 노즐(35)은 전극 배열(6)을 떠나는 플라즈마 제트를 형성한다.
마지막으로, 도 10은 손에 비열성 플라즈마를 가함으로써 손을 살균하기 위한 장치(36)를 도시한다. 장치(36)는 살균 동안 손을 임시로 수용하기 위한 하우징(37) 및 하우징(37) 내로 손을 들어가게 하기 위한 입구 개구(38)를 포함한다.
하우징 내에서, 치료 영역 위와 아래로 두 개의 평평한 전극 배열(39, 40)이 있다.
장치(36)는 참조로 포함되는 EP 09 00 2200.5에 더욱 상세히 설명된다.
도 11은 도 1A 및 1B에 도시된 전극 배열의 변형을 도시하여서 도 1A 및 1B와 관련된 설명이 참조된다. 게다가, 동일한 도면부호는 대응하는 부분들과 상세요소들을 위해 사용된다.
도 11에 따른 전극 배열(1)의 하나의 특징적 특성은 전극(4)이 유전체 배리어(3) 내로 삽입되는 것이다. 전극(4)의 와이어-메시 및 전극(2)의 하부 표면 사이에는 거리(d1=1mm)가 있다. 더욱이, 전극(4)의 와이어-메시 및 유전체 배리어(3)의 외부 표면 사이에는 거리(d2=0.1mm)가 있다. 거리(d1)가 거리(d2)보다 큰 것이 필수적이다. 그러나, 일 측에서만 방전을 가지기를 원한다면, 삽입된 전극(4)은 전극들(2, 4) 사이의 거리(d1)보다 더 깊게 삽입되어야 한다.
유연한 전극 배열(1)이 필요하다면, 전극들(2, 4) 양자는 유연한 와이어-메시 또는 대략 1cm의 거리를 가지는 평행한 와이어들로 만들어지고, 유전체 배리어(3)는 예를 들어 실리콘 고무와 같은 유연한 물질로 만들어질 수 있다.
비록 본 발명이 특별한 부분의 배열, 특징 등을 참조하여 설명되었지만, 이들은 모든 가능한 특징들의 배열을 소진하고자 함이 아니고, 많은 다른 변형들 및 변경들이 당업자에게 확인될 것이다.
1 : 전극 배열
2: 제1 전극
3: 유전체 배리어
4: 제2 전극

Claims (22)

  1. 전기 전도성 물질로 만들어진 층-형상 제1 전극(2; 7; 12; 29);
    상기 제1 전극(2,; 7; 12; 29)으로부터 전기적으로 절연되고, 전기 전도성 물질로 만들어진 층-형상 제2 전극(4; 8; 13; 32, 33); 및
    제1 전극(2; 7; 12; 29) 및 제2 전극(4; 8; 13; 32, 33) 사이에 배열되어서 비열성 플라즈마가 유전체 배리어 방전에 의해 생성되는 유전체 배리어(3; 9; 18; 21, 22; 30, 31);
    를 포함하고,
    제1 전극(2; 7; 12; 29) 및 제2 전극(4; 8; 13; 32, 33) 중 적어도 하나는 전극 위로 분포되는 몇몇 구멍들을 포함하는 것을 특징으로 하는, 비열성 플라즈마를 생성하기 위한 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40).
  2. 제1항에 있어서,
    제1 전극(2; 12) 및제2 전극(4; 8; 13; 32, 33) 중 적어도 하나는 와이어-메시를 포함하고, 구멍들은 상기 와이어-메시의 메시들 사이에 배열되거나;
    상기 제1 전극 및 제2 전극 중 적어도 하나는 구멍들이 배열되는 천공된 플레이트를 포함하는 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40).
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    제1 전극(2)은 전기 전도성 물질로 만들어진 플레이트를 포함하고,
    유전체 배리어(3)는 대체로 층-형성이고 플레이트의 표면 위에 형성되며,
    제2 전극(4)은 제1 전극(2)에 대향하는 유전체 배리어(3)의 표면 위에 형성되고, 제2 전극(4)은 바람직하게 와이어-메시 또는 천공된 플레이트를 포함하는 전극 배열(1).
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    제1 전극(12) 및 제2 전극(13) 양자는 와이어-메시를 포함하고,
    유전체 배리어(18; 21, 22)는 제1 전극(12) 및 제2 전극(!3) 중 적어도 하나의 와이어들을 둘러싸는 전기적 절연성 및 유전체 물질로 ask들어진 피복을 포함하여서 제2 전극(13)으로부터 제1 전극(12)을 전기적으로 절연하고,
    제1 전극(12) 및 제2 전극(13)은, 바람직하게 부착 본드에 의해, 서로 부착되는 전극 배열(11).
  5. 제4항에 있어서,
    제1 전극(2) 및 제2 전극(13) 양자는 유전체 배리어(18; 21, 22)를 형성하는 전기 절연성 및 유전체 피복에 의해 둘러싸이거나,
    제1 및 제2 전극들(12, 13) 중 하나만이 유전체 배리어(18)를 형성하는 전기 절연성 및 유전체 피복에 의해 둘러싸이고, 제1 전그 및 제2 전극 중 다른 하나는 피복에 의해 비절연되는 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40).
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    제3 전극(32) 및 다른 유전체 배리어(30)를 더 포함하여서 중앙 전극(29)의 양 측 상에 두 개의 유전체 배리어 방전 배열들이 있는 전극 배열(28).
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전극들은 서로 부착되고, 및/또는
    유전체 배리어(3; 9; 18; 21, 22; 30, 31)는 제1 전극 또는 제2 전극(4; 8; 13; 32, 33)에 부착되며, 및/또는
    제1 및 제2 전극들(2, 4) 중 적어도 하나는 유전체 배리어(3) 안으로 삽입되는 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40).
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    전극 배열(6; 24)은 튜브 안으로 캐리어 가스가 들어가기 위한 축방향 정렬 입구 및 튜브 밖으로 비열성 플라즈마를 분산시키기 위한 축방향 정렬 출구를 가지는 중공 튜브의 형태이어서, 플라즈마가 튜브 내에서 생성되는 전극 배열(6; 24).
  9. 제8항에 있어서,
    제1 전극(25) 및 제2 전극(26)은 튜브 내에 배열되고, 및/또는
    제1 전극(25) 및 제2 전극(26)은 튜브 내에서 대체로 동축으로 정렬되는 선형 전극들이며, 및/또는
    제1 전극(25) 및 제2 전극(26) 중 적어도 하나는 유전체 배리어를 형성하는 전기적 절연성 및 유전체 물질로 만들어지는 피복에 의해 둘러싸이는 전극 배열(6).
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    전극 배열은 대체로,
    평평하고, 및/또는
    2-차원이고, 및/또는
    평면이고, 또는
    곡면인,
    전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40).
  11. 제10항에 있어서,
    전극 배열은 대체로 2-차원이고 변형가능하여서 전체 전극 배열의 형상은 치료받는 몸의 부분의 윤곽에 적합하도록 될 수 있는 전극 배열(11).
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    전극 배열(11)을 덮는 커버(23)를 더 포함하고,
    커버(23)는,
    반응 종들의 국부적 밀도를 증가시키고 살균을 위해 필요한 시간을 감소시키며, 및/또는
    사용하지 않는 반응 종들을 여과시키고, 및/또는
    플라즈마 위로 더 나은 제어 효과를 가지며, 및/또는
    감소된 압력 하에서 작동하도록 하는, 전극 배열(11).
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    유전체 배리어(3; 9; 18; 21; 22; 30, 31)는,
    폴리테트라플루오로에틸렌,
    세라믹들,
    의 그룹들로부터 선택된 물질로 구성되는, 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40).
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 비열성 플라즈마를 생성하기 위한 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40)을 포함하는 플라즈마 처리를 위한 장치(36).
  15. 제14항에 있어서,
    상기 장치는 손에 비열성 플라즈마를 가함으로써 사람의 손을 살균하도록 되고,
    상기 장치는 살균 동안 손을 임시로 수용하고 하우징(37) 내 손에 플라즈마를 가하기 위한 하우징(37)을 포함하며,
    상기 하우징(37)은 하우징(37) 내로 입구 개구(38)를 통해 손을 들어오게 하기 위한 입구 개구(38)를 포함하는, 장치(36).
  16. 제14항에 있어서,
    전극 배열(6)은 튜브 내로 캐리어 가스가 들어오게 하기 위한 축방향 정렬도니 입구 및 튜브 밖으로 비열성 플라즈마를 분산시키기 위한 축방향 정렬된 출구를 가지는 중공 튜브의 형태로 형성되어서, 플라즈마가 튜브 내에서 생성되고,
    상기 장치는 전극 배열(6)의 입구 안으로 그리고 축방향으로 전극 배열(6)을 통해 캐리어 가스를 불어주기 위한 팬(34)을 포함하고, 및/또는
    노즐(35)이 장치를 떠나는 플라즈마 제트를 형성하기 위해 전극 배열(6)의 출구에 부착되고, 및/또는
    가이드 파이프가 특정 방향으로 플라즈마 제트를 향하게 하기 위해 전극 배열(6)의 출구에 부착되고, 및/또는
    상기 가이드 파이프는 유연하여서 플라즈마 제트의 방향이 원하는 처리 장소로 가이드 파이프를 조준함으로써 변경될 수 있는, 장치.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 장치는, 특히 박테리아, 바이러스 또는 포자들과 같은, 오염원들로부터 공기를 정화시키도록 되는, 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40)은 가스 투과성이고,
    오염된 공기는 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40)을 통해 가로질러 지나가서 오염된 공기가 전극 배열을 통해 지나가면서 전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40)이 오염원들로부터 공기를 정화하는, 장치.
  19. 제17항에 있어서,
    전극 배열(1; 6; 11; 24; 28; 39; 40)은 튜브-형상이고,
    오염된 공기는 전극 배열을 축방향으로 지나가서 오염된 공기가 전극 배열을 통해 지나가면서 전극 배열이 오염원들로부터 공기를 정화하는, 장치.
  20. 제14항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 장치는 손으로 쥘 수 있거나 휴대가능하고, 및/또는
    상기 장치는 전극 배열에 동력을 공급하기 위한 통합된 배터리를 포함하는, 장치.
  21. 환자의 몸 표면을 덮기 위해 제1항 내지 제13항 중 어느 한 하에 따른 전극 장치(11)를 포함하는, 특히 상처 드레싱과 같은, 드레싱(11).
  22. 제21항에 있어서,
    상기 전극 배열(11)은 유연하여서 전극 배열의 형상은 환자의 몸 표면에 적합할 수 있는, 드레싱.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150142162A (ko) * 2014-06-10 2015-12-22 광운대학교 산학협력단 플라즈마 소스를 이용한 무좀균 치료기
KR101586573B1 (ko) * 2014-07-10 2016-01-18 광운대학교 산학협력단 피부 처리용 플라즈마 룰러
WO2018230789A1 (ko) * 2017-06-15 2018-12-20 대양의료기(주) 피부 치료용 플라즈마 전극 구조체 및 이를 이용한 피부 치료용 플라즈마 발생장치
WO2019093604A1 (ko) * 2017-11-13 2019-05-16 국방과학연구소 플라즈마 구동기 보호 장치 및 이의 조립 방법
KR20220033834A (ko) * 2020-09-10 2022-03-17 한국기계연구원 유전체 격벽 방전 플라즈마 반응기

Families Citing this family (99)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10478517B2 (en) 2008-09-19 2019-11-19 Fipak Research And Development Company Method and apparatus for purging unwanted substances from air
US8795265B2 (en) 2010-01-28 2014-08-05 Bovie Medical Corporation Electrosurgical apparatus to generate a dual plasma stream and method thereof
EP2445320A1 (en) 2010-10-25 2012-04-25 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Energy harvesting cold atmospheric plasma generator
US9387269B2 (en) 2011-01-28 2016-07-12 Bovie Medical Corporation Cold plasma jet hand sanitizer
DE102011003533A1 (de) 2011-02-02 2012-08-02 Beiersdorf Ag Desodorierender Hautfilm
DE102011003781B3 (de) * 2011-02-08 2012-05-24 Meiko Maschinenbau Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Speiseresteentsorgung
DE102011003782A1 (de) 2011-02-08 2012-08-09 Meiko Maschinenbau Gmbh & Co. Kg Reinigungsvorrichtung zur Reinigung von Reinigungsgut
EP2678046B1 (de) 2011-02-25 2015-01-21 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Desinfektionseinrichtung, behälter, verwendung eines behälters und desinfektionsverfahren zur desinfektion eines behälters, insbesondere für einen lebensmittelbehälter
WO2012119617A1 (en) 2011-03-10 2012-09-13 Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V. Disinfection appliance and disinfection method
DE102011017249A1 (de) 2011-04-07 2012-10-11 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Plasmaeinrichtung
EP2760536A4 (en) * 2011-09-17 2015-05-06 Moe Medical Devices Llc MACHINE-READABLE SYSTEMS, METHODS AND PROGRAMS FOR THE TREATMENT OF ELECTRIC FIELD AND / OR PLASMA-ASSISTED ONYCHOMYCOSES
EP2782869A1 (de) 2011-11-22 2014-10-01 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und vorrichtung zur erzeugung eines nicht-thermischen plasmas mit vorherbestimmter ozonkonzentration
GB2496879A (en) * 2011-11-24 2013-05-29 Creo Medical Ltd Gas plasma disinfection and sterilisation
JP5852878B2 (ja) * 2011-12-26 2016-02-03 俊介 細川 沿面放電型プラズマ生成器ならびにそれを用いた成膜方法
JP6317927B2 (ja) * 2012-01-09 2018-04-25 ムー・メディカル・デバイスズ・エルエルシーＭｏｅ Ｍｅｄｉｃａｌ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｌｌｃ プラズマ補助皮膚処置
DE102012003549A1 (de) 2012-02-23 2013-08-29 Dräger Medical GmbH Gerät zur maschinellen Beatmung eines Patienten und Verfahren zur hygienischen Aufbereitung desselben
DE102012003557B4 (de) 2012-02-23 2023-05-04 Dräger Safety AG & Co. KGaA Einrichtung und Verfahren zur hygienischen Aufbereitung von Gegenständen
DE102012003563B4 (de) * 2012-02-23 2017-07-06 Drägerwerk AG & Co. KGaA Einrichtung zur desinfizierenden Wundbehandlung
DE102012003548A1 (de) 2012-02-23 2013-08-29 Dräger Medical GmbH Medizinisches Gerät zur Behandlung eines Patienten
DE102012003555A1 (de) 2012-02-23 2013-08-29 Dräger Medical GmbH Inkubator zur Neonatalversorgung und Verfahren zum Deinfizieren desselben
US9070536B2 (en) 2012-04-24 2015-06-30 Applied Materials, Inc. Plasma reactor electrostatic chuck with cooled process ring and heated workpiece support surface
DE102012207750A1 (de) * 2012-05-09 2013-11-28 Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. Vorrichtung zur plasmabehandlung von menschlichen, tierischen oder pflanzlichen oberflächen, insbesondere von haut oder schleimhautarealen
DE102012215028A1 (de) * 2012-08-23 2014-02-27 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Luftreinigereinheit einer Dunstabzugsvorrichtung
JP2016502450A (ja) * 2012-10-04 2016-01-28 フィパック・リサーチ・アンド・ディベロップメント・カンパニー 空気から不必要な物質を除去するための方法と装置
GB201217781D0 (en) * 2012-10-04 2012-11-14 Gyrus Medical Ltd Electrosurgical apparatus and system
CN103876678A (zh) * 2012-12-21 2014-06-25 陈晓波 一种等离子式干手机
CN103028127A (zh) * 2012-12-24 2013-04-10 西安交通大学 一种大气压低温等离子体对医疗器械消毒灭菌的装置
CN103120602A (zh) * 2013-01-18 2013-05-29 北京大学 一种非接触式低温等离子体牙齿美白装置
US9339572B2 (en) 2013-03-15 2016-05-17 EP Technologies LLC Methods and solutions for killing or deactivating spores
DE202013012156U1 (de) 2013-09-06 2015-06-30 Inp Greifswald E.V. Desinfektionsvorrichtung
CN103656857B (zh) * 2013-11-29 2015-09-09 南京航空航天大学 一种便携式低温等离子体杀菌、美容设备
CN103656856B (zh) * 2013-11-29 2015-09-09 南京航空航天大学 一体化微放电冷等离子体美容仪
WO2015088948A1 (en) * 2013-12-09 2015-06-18 EP Technologies LLC Shape conforming flexible dielectric barrier discharge plasma generators
WO2015126431A1 (en) * 2014-02-24 2015-08-27 Empire Technology Development Llc Increased interlayer adhesions of three-dimensional printed articles
US9498637B2 (en) 2014-05-30 2016-11-22 Plasmology4, Inc. Wearable cold plasma system
GB2529173B (en) * 2014-08-12 2016-08-24 Novaerus Patents Ltd Flexible electrode assembly for plasma generation and air ducting system including the electrode assembly
CN104661422A (zh) * 2015-02-09 2015-05-27 大连民族学院 一种等离子体对窥镜表面消毒杀菌的装置
CN104623704A (zh) * 2015-03-03 2015-05-20 湖北新方向医药有限公司 一种腔式常压低温等离子体消毒灭菌装置
WO2016145375A1 (en) 2015-03-11 2016-09-15 Plasmology4, Inc. Container treatment system
CN107427693B (zh) * 2015-04-13 2019-11-29 株式会社首琳医疗保险 利用等离子体的皮肤治疗装置
US10589114B2 (en) 2015-04-14 2020-03-17 The Board Of Regents For Oklahoma State University Plasma thread
KR101657895B1 (ko) * 2015-05-14 2016-09-19 광운대학교 산학협력단 플라즈마 패드
AU2016263428B2 (en) 2015-05-15 2021-04-22 Clear Intradermal Technologies, Inc. Systems and methods for tattoo removal using cold plasma
US11490947B2 (en) 2015-05-15 2022-11-08 Clear Intradermal Technologies, Inc. Tattoo removal using a liquid-gas mixture with plasma gas bubbles
JP6544524B2 (ja) * 2015-05-18 2019-07-17 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 紫外光照射装置
CN107710879B (zh) * 2015-05-29 2019-09-13 皇家飞利浦有限公司 用于使用非热等离子体处理皮肤的设备
DE102015213975A1 (de) * 2015-07-23 2017-01-26 Terraplasma Gmbh Elektrodenanordnung und Plasmaquelle zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Plasmaquelle
WO2017019722A1 (en) 2015-07-28 2017-02-02 EP Technologies LLC Scrubbing device for cleaning, sanitizing or disinfecting
WO2017040463A1 (en) 2015-08-31 2017-03-09 EP Technologies LLC Methods of and system for generating antimicrobial wipes
KR20170040654A (ko) * 2015-10-05 2017-04-13 주식회사 에프티넷 연면방전과 공간방전을 동시에 사용하는 복합형 유전체 장벽 방전 전극
DE102015119446B3 (de) * 2015-11-11 2017-03-02 Hochschule Für Angewandte Wissenschaft Und Kunst Hildesheim/Holzminden/Göttingen Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung und plasmagestützten Desinfektion von Händen
EP3411085B1 (de) 2016-02-05 2022-01-26 Terraplasma GmbH Vorrichtung und verfahren zum behandeln von gegenständen, insbesondere von zahnprothesen und/oder zähnen
WO2017153898A1 (en) * 2016-03-07 2017-09-14 King Abdullah University Of Science And Technology Non thermal plasma surface cleaner and method of use
US10849215B2 (en) 2016-03-22 2020-11-24 Koninklijke Philips N.V. Cold plasma device for treating a surface
DE102016205821B4 (de) * 2016-04-07 2020-01-09 ITP GmbH Gesellschaft für intelligente textile Produkte Plasmaquelle zur Wundbehandlung
CN105854048A (zh) * 2016-04-12 2016-08-17 北京交泰科技有限公司 一种高效率石墨烯增强的等离子体电磁耦合电流传到灭菌装置和方法
US10765850B2 (en) 2016-05-12 2020-09-08 Gojo Industries, Inc. Methods and systems for trans-tissue substance delivery using plasmaporation
KR101795944B1 (ko) * 2016-07-05 2017-11-08 광운대학교 산학협력단 플라즈마 패드
KR102072461B1 (ko) * 2016-08-02 2020-02-03 주식회사 피글 유연성 플라즈마 발생 장치 및 그를 이용하는 살균기
KR101847281B1 (ko) 2016-08-17 2018-04-10 광운대학교 산학협력단 고효율 플라즈마 박판 소스
JPWO2018042700A1 (ja) * 2016-09-02 2019-06-24 シャープ株式会社 プラズマ生成素子
CN106362278A (zh) * 2016-09-14 2017-02-01 苏州超等医疗科技有限公司 一种等离子大型手术设备
KR101873106B1 (ko) * 2016-09-29 2018-07-02 광운대학교 산학협력단 대기압 플라즈마를 이용한 활성종 발생장치
US10692704B2 (en) 2016-11-10 2020-06-23 Gojo Industries Inc. Methods and systems for generating plasma activated liquid
DE102017100192A1 (de) * 2017-01-06 2018-07-12 Cinogy Gmbh Permanente Wundauflage mit Plasmaelektrode
CN106731366A (zh) * 2017-01-22 2017-05-31 浙江大学 用于室内空气净化的等离子体织网装置
DE102017106570A1 (de) * 2017-03-28 2018-10-04 Cinogy Gmbh Flächige flexible Auflageanordnung
US10262836B2 (en) * 2017-04-28 2019-04-16 Seongsik Chang Energy-efficient plasma processes of generating free charges, ozone, and light
US10293303B2 (en) 2017-07-28 2019-05-21 Thrivaltech, Llc Modular plasma reformer treatment system
CN107466150A (zh) * 2017-09-19 2017-12-12 南京工业大学 一种三维低温等离子体处理装置
KR101922507B1 (ko) * 2017-11-29 2018-11-28 주식회사 서린메디케어 프락셔널 플라즈마를 이용한 피부 치료장치
KR101978481B1 (ko) * 2018-03-13 2019-05-14 부산대학교병원 플라즈마를 이용한 말초신경 치료장치
SG11202009277PA (en) * 2018-03-23 2020-10-29 Coldplasmatech Gmbh Plasma applicator
DE102018209735A1 (de) * 2018-06-15 2019-12-19 Terraplasma Gmbh Plasmaeinrichtung zur Behandlung von Körperoberflächen
JP2020000405A (ja) * 2018-06-27 2020-01-09 積水化学工業株式会社 プラズマ式治療装置
US11629860B2 (en) 2018-07-17 2023-04-18 Transient Plasma Systems, Inc. Method and system for treating emissions using a transient pulsed plasma
WO2020018327A1 (en) 2018-07-17 2020-01-23 Transient Plasma Systems, Inc. Method and system for treating cooking smoke emissions using a transient pulsed plasma
KR20200018101A (ko) * 2018-08-10 2020-02-19 아주대학교산학협력단 유전체 장벽 방전 시스템
CN109289065A (zh) * 2018-11-15 2019-02-01 西安交通大学 一种常温下等离子体灭菌装置及方法
AU2019402973A1 (en) 2018-12-19 2021-07-01 Clear Intradermal Technologies, Inc. Systems and methods for tattoo removal using an applied electric field
EP3915343A1 (en) * 2019-01-25 2021-12-01 Terraplasma GmbH Electrode arrangement and plasma source for generating a non-thermal plasma, as well as method for operating a plasma source
CN109905954A (zh) * 2019-03-26 2019-06-18 西安交通大学 沿面放电等离子体装置
CN113796164A (zh) * 2019-05-05 2021-12-14 佛山昀健科技有限公司 等离子体表面消毒器及相关方法
US11696388B2 (en) 2019-05-07 2023-07-04 Transient Plasma Systems, Inc. Pulsed non-thermal atmospheric pressure plasma processing system
CN110404171B (zh) * 2019-08-01 2023-08-15 南京工业大学 用于足部干式灭菌的一体式柔性等离子体装置
CN110420387B (zh) * 2019-08-01 2023-07-18 南京工业大学 基于大气压柔性低温等离子体的足部干式灭菌装置
CN110495401A (zh) * 2019-09-27 2019-11-26 武汉海思普莱生命科技有限公司 一种用于宠物毛发护理的等离子体放电结构
EP3826434A1 (en) * 2019-11-19 2021-05-26 Terraplasma GmbH Plasma device
JP7407607B2 (ja) * 2020-01-31 2024-01-04 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス プラズマ発生装置および基板処理装置
KR200492629Y1 (ko) * 2020-02-25 2020-11-12 주식회사 프라뱅크 바늘형 마이크로-유전장벽방전 플라즈마 방출 다이오드 소자
WO2021207771A1 (en) * 2020-04-06 2021-10-14 Luong Thi Hong Lien Portable cold plasma sterilization device
DE102020112847A1 (de) 2020-05-12 2021-11-18 Krömker Holding GmbH Desinfektionsvorrichtung
US11984309B1 (en) * 2020-05-29 2024-05-14 Microplasma Systems, Llc Non-radioactive plasma ion source
WO2021247637A1 (en) * 2020-06-02 2021-12-09 The Trustees Of Princeton University Low-temperature fabric dielectric barrier discharge devices
EP4001785A1 (en) * 2020-11-17 2022-05-25 Calistair SAS Insert device for an air conditioning installation and air conditioning installation with insert device
WO2022187226A1 (en) 2021-03-03 2022-09-09 Transient Plasma Systems, Inc. Apparatus and methods of detecting transient discharge modes and/or closed loop control of pulsed systems employing same
CN112870398A (zh) * 2021-03-31 2021-06-01 辽宁春光制药装备股份有限公司 一种食品包装材料表面等离子体快速消毒装置
CN113332585B (zh) * 2021-05-28 2022-12-23 深圳市普瑞艾尔科技有限公司 一种用于脚部杀菌的等离子体装置
EP4321325A1 (en) 2022-08-11 2024-02-14 Terraplasma GmbH Additive manufacturing apparatus, system, method, and use

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5775663A (en) * 1980-07-22 1982-05-12 Kiichirou Sarui Apparatus for treating dermatophytosis
DE4332866C2 (de) 1993-09-27 1997-12-18 Fraunhofer Ges Forschung Direkte Oberflächenbehandlung mit Barrierenentladung
EP0801809A2 (en) * 1995-06-19 1997-10-22 The University Of Tennessee Research Corporation Discharge methods and electrodes for generating plasmas at one atmosphere of pressure, and materials treated therewith
AU747047B2 (en) * 1997-09-09 2002-05-09 Accentus Plc Treatment of gaseous emissions
JPH11244384A (ja) * 1998-03-05 1999-09-14 Toshitake Nakada 精神安定器
JP2000197579A (ja) * 1999-01-08 2000-07-18 Sanyo Electric Co Ltd 手指洗浄装置
JP3061983U (ja) * 1999-03-08 1999-09-28 弘始 横道 オゾン循環式殺菌装置
FR2790962B1 (fr) 1999-03-16 2003-10-10 Absys Procede et dispositifs de sterilisation par plasma
DE60017113T2 (de) * 1999-05-06 2006-01-12 Intecon Systems, Inc., Carlsbad Reinigung von partikelfeststoffen und chemischen verunreinigungen von händen
US20020092616A1 (en) * 1999-06-23 2002-07-18 Seong I. Kim Apparatus for plasma treatment using capillary electrode discharge plasma shower
US6629974B2 (en) * 2000-02-22 2003-10-07 Gyrus Medical Limited Tissue treatment method
US6723091B2 (en) * 2000-02-22 2004-04-20 Gyrus Medical Limited Tissue resurfacing
US20080125775A1 (en) * 2001-02-28 2008-05-29 Morris David L Hemostasis and/or coagulation of tissue
US7422586B2 (en) 2001-02-28 2008-09-09 Angiodynamics, Inc. Tissue surface treatment apparatus and method
US6911225B2 (en) * 2001-05-07 2005-06-28 Regents Of The University Of Minnesota Method and apparatus for non-thermal pasteurization of living-mammal-instillable liquids
US20020187066A1 (en) * 2001-06-07 2002-12-12 Skion Corporation Apparatus and method using capillary discharge plasma shower for sterilizing and disinfecting articles
JP3435543B2 (ja) * 2001-10-12 2003-08-11 シャープ株式会社 イオン発生装置及びこれを備えた空気調節装置
WO2003084294A1 (fr) * 2002-03-28 2003-10-09 Apit Corp. S.A. Procede de traitement de surface par plasma atmospherique et dispositif pour sa mise en oeuvre
TWI264313B (en) 2002-08-07 2006-10-21 Access Business Group Int Llc Nonthermal plasma air treatment system
JP4467389B2 (ja) * 2004-09-09 2010-05-26 シャープ株式会社 殺菌方法および殺菌装置
JP2006198029A (ja) * 2005-01-18 2006-08-03 Sharp Corp 空気浄化装置
EP1705965A1 (en) * 2005-03-21 2006-09-27 Universiteit Gent Method and system for plasma treatment under high pressure
WO2006116252A2 (en) * 2005-04-25 2006-11-02 Drexel University Methods for non-thermal application of gas plasma to living tissue
BG66022B1 (bg) * 2005-06-14 2010-10-29 ДИНЕВ Петър Метод за плазмено-химична повърхнинна модификация
EP1765044A1 (en) * 2005-09-16 2007-03-21 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Plasma source
JP4982851B2 (ja) 2006-11-20 2012-07-25 国立大学法人京都大学 プラズマ生成装置、表面処理装置、および流体改質装置
JP2008183025A (ja) * 2007-01-26 2008-08-14 National Univ Corp Shizuoka Univ 包装物の滅菌方法及び滅菌装置
CN201018709Y (zh) * 2007-04-05 2008-02-06 北京白象新技术有限公司 低温等离子灭菌装置中等离子体的检测装置
EP1993329A1 (en) 2007-05-15 2008-11-19 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Plasma source
JP5158084B2 (ja) * 2007-08-31 2013-03-06 東芝三菱電機産業システム株式会社 誘電体バリア放電ガスの生成装置
JP5835985B2 (ja) * 2010-09-16 2015-12-24 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150142162A (ko) * 2014-06-10 2015-12-22 광운대학교 산학협력단 플라즈마 소스를 이용한 무좀균 치료기
KR101586573B1 (ko) * 2014-07-10 2016-01-18 광운대학교 산학협력단 피부 처리용 플라즈마 룰러
WO2018230789A1 (ko) * 2017-06-15 2018-12-20 대양의료기(주) 피부 치료용 플라즈마 전극 구조체 및 이를 이용한 피부 치료용 플라즈마 발생장치
KR20180136692A (ko) * 2017-06-15 2018-12-26 대양의료기(주) 피부 치료용 플라즈마 전극 구조체 및 이를 이용한 피부 치료용 플라즈마 발생장치
WO2019093604A1 (ko) * 2017-11-13 2019-05-16 국방과학연구소 플라즈마 구동기 보호 장치 및 이의 조립 방법
KR20220033834A (ko) * 2020-09-10 2022-03-17 한국기계연구원 유전체 격벽 방전 플라즈마 반응기

Also Published As

Publication number Publication date
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JP5746980B2 (ja) 2015-07-08
EP2399432B1 (en) 2017-10-18

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