KR20110102410A - 유리 시트의 고속 이송 방법 및 장치 - Google Patents

유리 시트의 고속 이송 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20110102410A
KR20110102410A KR1020117015553A KR20117015553A KR20110102410A KR 20110102410 A KR20110102410 A KR 20110102410A KR 1020117015553 A KR1020117015553 A KR 1020117015553A KR 20117015553 A KR20117015553 A KR 20117015553A KR 20110102410 A KR20110102410 A KR 20110102410A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass sheet
high speed
lifting
vertical lifting
lifting carriage
Prior art date
Application number
KR1020117015553A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101275423B1 (ko
Inventor
토마스 로스만
Original Assignee
그렌체바흐 마쉬넨바우 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 그렌체바흐 마쉬넨바우 게엠베하 filed Critical 그렌체바흐 마쉬넨바우 게엠베하
Publication of KR20110102410A publication Critical patent/KR20110102410A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101275423B1 publication Critical patent/KR101275423B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/6776Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Abstract

본 발명은 광기전 요소를 제조하기 위한 클린룸 환경의 대량 생산 플랜트 내의 서로 다른 생산 스테이션 사이에서 유리 시트를 고속 이송하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로서, 리프팅 갠트리를 운반하기 위한 자유 가동식 장착부와, 텔레스코픽 잭 플레이트를 이용하여 유리 시트를 수직으로 이송하기 위한 적어도 하나의 수직 리프팅 캐리지로서, 상기 플레이트는 2개의 대향 방향으로 연장될 수 있고, 국부 하강 및 상승 기능을 가지며, 수직 리프팅 캐리지의 일 측부로부터 다른 측부로 유리 시트를 연속적으로 이송할 수 있는, 상기 수직 리프팅 캐리지와, 상기 장착부를 작동시키기 위한 무선형 전력 공급 유닛을 포함하며, 작동을 위해, 기계적으로 이동하는 부분들이 클린룸의 방출물로부터 보호받을 수 있도록 캡슐화되고, 내마모성 물질로 제조된다.

Description

유리 시트의 고속 이송 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR THE RAPID TRANSPORT OF GLASS SHEETS}
본 발명은 대량 생산 플랜트에서 서로 다른 생산 스테이션 사이에서 유리 시트의 고속 이송을 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 광기전 소자의 생산을 이러한 환경에서 고려할 수 있다.
종래 기술과 관련하여, 독일특허공보 제 84 29 202 U1호는 U자형 유리 웹에 대한 적층가능한 저장 및 이송 프레임을 개시한다. 이는 U자형 유리 웹을 저장, 로딩 및 이송하기 위한 이송 시스템을 제공하는 목적에 근거하며, 이러한 이송 시스템은 2개의 U자형 금속 프레임으로 구성되고, 그 내부로 직립 방식으로 U자형 유리 웹이, 유리 웹에 대한 어떤 손상 압축력도 가하지 않으면서, 중간 탄성층을 사이에 두고, 삽입된다.
이 목적을 달성하기 위해, 상기 공보에서는 포크 리프트 트럭의 포크를 위한 슬립-인 포켓과 U자형 유리 프레임에 대한 지지 표면을 형성하는 앵글 프로파일이 수평 금속 프로파일에 평행하게 각각의 U자형 금속 프레임의 기저부 상에 배열된다. 추가적으로, 스페이서 브래킷과 상측 영역에서 상호작용하는 관형 슬리브가, U자형 금속 프레임의 측부를 형성하는 수직 앵글 프로파일 상에 배열된다. 대량 생산 플랜트에서 유리 시트의 고속 이송에 대한 어떤 제시사항도 상기 공보에서 찾을 수 없다.
독일특허공보 제 15 56 146 A1호는 제 1 위치로부터 제 2 위치로 관형 품목을 이송하기 위한 방법을 개시한다. 이 방법은, 접착 작용에 의해 가동성 흡입 부재 상에 관형 품목을 보지하기 위해, 제 1 위치에서, 관형 품목의 상부 표면 상에 상당한 음의 압력이 인가된다는 점을 특징으로 한다. 더욱이, 위 공보는 제 2 위치로 품목 이동 중, 상대적으로 낮은 음의 압력이 상부 표면 상에 유지되고, 그후 품목이 가동성 흡입 부재로부터 기계적으로 분리되어, 상부 표면에 주위 에어를 안내하고, 따라서, 품목이 요망 제 2 위치로 강하된다. 대량 생산 플랜트에서의 유리 시트의 고속 전송에 관하여, 이 공보 역시 전혀 제시하는 바가 없다.
독일특허공보 제 12 92 581 A호는 선반 상에 레일에 대해 롤러를 통해 지지되는 선반 적층 유닛의 형태로 스택 리프팅 유닛을 개시한다. 이 유닛은 리프팅 체인을 이용하여 작동할 수 있는 리프팅 캐리지와, 압력-매체 프레스를 이용하여 작동될 수 있는 숏-리프트 장치를 갖는다. 모든 장치들이 여기서 수동으로 작동한다. 추가적으로, 이러한 스택 리프팅 유닛은 관련 선반 상에서 지지되고, 따라서, 자유로운 가동성을 나타내지 않는다. 리프팅 기술의 잘 알려진 작동 원리와는 달리, 이 공보에서는 클린룸 환경에서 광기전 요소를 제조하기 위한 현대적 생산 플랜트에서의 적용에 관하여 전혀 제시하는 바가 없다.
독일특허공보 제 101 38 619 A1 호는 워크피스 캐리어를 이송, 제거 및 배치하기 위한 장치를 설명한다. 이 장치의 경우에, 리프팅 장치에 관계없이, 바람직하게는 저장 시스템의 C 프로파일 사이에서, 추출 장치가 독립적 구동을 이용하여 수축될 수 있고, 이 경우에 리프팅 장치는 완전히 비워지게 된다는 점이 중요하다. 명백한 장점과 달리, 이러한 목적을 중심으로 정형화된 청구범위를 갖는 이러한 공보로부터는 어떠한 적용가능한 교시도 얻을 수 없다.
독일특허공보 제 20 2005 013 680 U1 호는 중앙 이송 위치와 연장 전달 위치 사이에서 선반 깊이 방향으로 이동할 수 있고 수직으로 이동할 수 있는 하중-지지 수단과 함께, 선반 전방을 따라 선반 차량을 이동시키기 위한 컨테이너 스토어용 선방 차량을 개시한다. 컨테이너의 저장 및 호출에 필요한 작동 시간을 감소시키기 위해, 이 공보는 요구되는 프로세스를 제어하는 제어 장치의 제공을 실질적으로 설명한다. 본 발명에서 취급되는 문제에 대한 해법은 이 공보에서 얻을 수 없다.
독일특허공보 제 10 2004 045 517 A1 호는 전력 공급 유닛을 통해 전력을 공급받을 수 있는 전기 장치를 각각 구비한 복수의 고정식 기능 장치와 적어도 하나의 가동식 기능 장치를 포함하는, 전력 공급에 요구되는 비용을 절감하기 위한 목적에 근거한 시스템을 설명한다. 본 공보는 유도형 전력 공급원을 제공하는 잘 알려진 방법을 제시한다. 본 발명에 따른 장치에서 이러한 방법을 수행하기 위한 제안사항은 독일특허공보 제 10 2004 045 517 A1 호에서 전혀 언급 및 제시되는 바가 없다.
독일특허공보 제 21 54 709 A1 호는 높은 선반에 서비스하기 위한 저장-검색 차량을 개시하며, 이러한 선반의 각각의 통로에는 리프팅 수단을 구비한 리스팅 마스트가 수평으로 이동할 수 있도록 제공된다. 공간 손실을 감소시키기 위해, 본 공보에서는 리프팅 마스트 상에 적어도 2개의 수직 가동성 리프팅 캐리지가 제공된다. 본 발명에 따른 장치의 측면에서 종래 기술의 우월성이 본 공보로부터 얻을 수 없다.
유럽특허공보 제 1 254 852 A1 호는 저장된 상품을 보지하기 위한 복수의 선반 평면과, 복수의 레일 라인과, 복수의 레일 바운드 차량에 한 줄 이상의 선반을 포함하는 저장 및 이송 시스템을 개시하며, 그 목적은 볼륨 활용 정도를 증가시키고, 용량 증가를 위해 가능한 간단하고 가격 경쟁력있는 확장을 행하는 것이다. 이 목적을 달성하기 위해, 본 공보는 작동 중 차량에 무선 방식으로 외부 동력을 공급하는 수단이 제공되고, 개별 차량에 대해 저장된 상품을 보지 및 운반하기 위한 수단이 라디오 연결을 통해 형성되며, 제어 컴퓨터에 의해 송신되는 제어 신호를 수신 및 변환하기 위한 수신 시스템이 차량에 장착된다. 본 발명에 따른 장치에서 이러한 방법의 수행에 관하여 제시하는 바를 유럽특허공보 제 1 254 852 A1 호로부터 얻을 수 없다.
독일특허공보 제 40 00 081 A1 호는 자체-추진 플로어 컨베이어 차량을 위한 스위치 제어 유닛을 개시한다. 본 공보에서 제시되는 특징은 본 발명에 따른 장치의 지엽적인 부분에 불과하며, 따라서, 본 발명에서 취급되는 문제점에 대한 해법에 대해 제시하는 바가 없다.
독일특허공보 제 199 10 478 C2 호는 기판 이송 장치를 이용하여 기판을 이송하기 위한 방법에 관한 것이다. 이는 상대적으로 소형의 웨이퍼의 이송에 관련되고, 반면, 본 발명은 상대적으로 대형의 유리 시트의 고속 이송에 관련된다. 여기서 개시되는 슬라이딩 커버는, 입자의 발생을 크게 감소시키고, 내측에서 필요하다. 본 발명에 따른 장치에 필적할만한 방법을 수행하기 위한 제시사항을 독일특허공보 제 199 10 478 C2 호로부터 얻을 수 없다.
따라서, 본 발명에 따른 장치 및 본 발명에 따른 방법은, 유리 시트의 이송을 위한 이송 장치를 제공하고자 하는 목적에 근거하며, 상기 이송 장치는 이송 경로의 양 측부 상에 스택 형태로 유리 시트를 신뢰할 수 있게 수용하고, 긴 거리에 걸쳐 신속하게 상기 시트를 이송할 수 있으며, 그리고, 이송 경로의 양 측부 상에 신뢰가능하게 상기 시트를 내려놓을 수 있고, 케이블 없이 전력이 공급되고, 클린룸 조건이 관측될 수 있다.
이 목적은 특허청구범위 제 1 항에 기재된 장치에 의해, 그리고 특허청구범위 제 6 항에 기재된 방법에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 장치는 아래에서 더욱 상세하게 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 이송 장치의 사시도,
도 2는 리프팅 갠트리를 통한 제 1 단면도,
도 3은 리프팅 갠트리를 통한 제 2 단면도,
도 4는 리프팅 갠트리의 단면도,
도 5는 리프팅 갠트리를 통한 상세 단면도,
도 6은 본 발명에 따른 이송 장치의 기능 영역의 전체 사시도.
도 1은 로딩 스테이션이나 언로딩 스테이션이 없는, 본 발명에 따른 이송 장치의 사시도다. 레일(2) 상에서 이동할 수 있는 수직 배향 리프팅 갠트리(vertically oriented lifting gantry)(5)의 장착부(1)가 종방향으로 이어지는 2개의 레일(2) 상의 우측 영역에 도시된다. 리프팅 갠트리(5)의 좌측부에서, 도 1은 텔레스코픽 리프팅 캐리지(11) 및 텔레스코픽 리프팅 캐리지(11) 상에 설치되는 텔레스코픽 잭 플레이트(6)의 수직 상향 운동 및 하향 운동을 위한 리프팅 구동부(4)를 도시한다. 텔레스코픽 잭 플레이트(6)는, 레일(2)에 의해 결정되는, 장착부(1)의 변위 경로의 양 측부 상에서 지점 범위 내에서 수축 및 연장될 수 있다. 여기서, 작업 높이는 리프팅 구동부(4) 및 수직 리프팅 캐리지(11)를 이용하여 각각의 경우에 설정될 수 있다. 도시되는 도면에서, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)는 우측 레일(2)의 우측부로 연장된다. 이는, 도 3에 도시되는 배치에 비해, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가, 저장소 또는 대응하는 저장소에 수용되는 유리 시트(12)를 내려놓을 수 있는 위치에 놓임을 의미한다.
도 2는 리프팅 갠트리(5)를 통한 제 1 단면도를 도시한다. 이 도면은 도 1과 동일한 측면에서 바라본 것이다. 리프팅 갠트리(5)를 형성하는 2개의 수직 지지부 사이에서 수직 리프팅 캐리지(11)가 이동할 수 있고, 상기 2개의 수직 지지부는 레일(2) 상에서 이동하는 장착부(1)를 기초로 하여 형성되는 것으로 도시된다. 이를 위해 각각의 톱니형 벨트(10)가 리프팅 갠트리(5)의 수직 지지부의 내측 측부 상의 수직 리프팅 캐리지(11)의 2개의 종방향 측부의 좌측 및 우측에 평행하게 연장된다. 이러한 2개의 톱니형 벨트(10)는 좌측 수직 지지부의 좌측부 상에 도시되는 리프팅 장치(4)를 이용하여 구동된다. 텔레스코픽 암(9)이 수직 리프팅 캐리지(11)의 중간에 단면으로 도시된다. 텔레스코픽 잭 플레이트(6)와 연계하여, 텔레스코픽 암(9)은 그 위에 놓인 유리 시트에 대한 왕복 운동기로 작용한다. 도 2에서, 이러한 텔레스코픽 왕복 운동기를 위한 구동부(8)가 수직 리프팅 캐리지(11) 상의 테레스코픽 암(9) 아래에 설치된다. 도 2에서, 장착부(1)를 위한 구동부(7)가 오른쪽의 수직 지지체의 우측에 도시되어 있다.
도 3은 도 2에 도시되는 구성에 비해 90도 회전한 도해를 제공하는 리프팅 갠트리(5)를 통한 제 2 단면도를 도시한다. 여기서, 수직 리프팅 캐리지(11)가 하측 위치에 놓여, 생산 라인으로부터 이송 롤러(15)를 통해 유리 시트(12)를 공급한다. 이를 위해, 해당 유리 시트(12)는 이송 롤러(15)에 의해 도시되는 전달 장치 상에서 운반된다. 리프팅 장치의 조정가능한 수직 지지부(14)를 이용하여, 전달 장치의 수직 지지부(13) 상에서 안내되는 각각의 유리 시트(12)를 상승 및/또는 하강시킬 수 있다. 따라서, 전달 장치는 생산 라인 상에 도달하는 유리 시트(12)에 대한 중간 저장소로서 기능한다. 복수의 유리 시트(12)가 본 발명에 따른 장치에 의해 동시에 멀리 이송될 수 있기 때문에(도 5 참조), 중간 저장소가 로딩되어 있는 동안, 장착부(1)는 복수의 유리 시트(12)를 지정 목적지로 동시에 이동시키고, 유리 시트(12)를 언로딩하며, 그 후, 되돌아가 새 적재물을 적재할 수 있다.
전달 장치로부터 각각의 유리 시트(12)를 획득하기 위해, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)는 수직 리프팅 캐리지(11)를 이용하여 작은 크기만큼 각각의 경우에 하강할 수 있고, 그 후, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가 하강된 후, 다시 상승할 수 있다. 이 프로세스는, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가 유리 시트(12)를 수용하기 전에, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)의 각각의 정상 위치에 대해 독립적으로 이루어진다. 지정 저장소에 놓이기 위해, 이 프로세스는 역으로 진행된다. 도 3에서, 레일(2)의 영역 내의 송신기로서 유도 루프(3)가 도시되고, 장착부(1) 영역 위의 전력 수용을 위한 관련 수신기(16)가 이에 대응된다. 상대적으로 큰 거리를 극복하기 위해, 이러한 무선형 전력 송신(cable-free power transmission)은 전력을 공급하기 위한 적절한 케이블을 갖는 적절한 유도 코일이 상대적으로 큰 산업 플랜트의 플로어에 쉽게 설치될 수 있다는 장점을 갖는다. 장착부(1)가 경주하는 거리에 따라 별도의 장치에 의해 감기거나 감기지 않아야 하는, 전력의 공급에 통상적으로 사용되는 케이블은 상대적으로 긴 거리를 극복하기 위해 성가실 뿐 아니라, 간섭을 일으키기 쉽다. 따라서, 전력의 본 발명에 따른 송신기는 본 특정 의도를 위해 상당한 장점을 제공한다.
도 4는 유리 시트(12)의 이송 중 리프팅 갠트리(5)와 위치 조건의 단면도를 도시한다. 도 3의 도면에 따르면, 도 4의 좌측부는 연장된 텔레스코픽 잭 플레이트(6) 상에서, 생산 라인에 의해 전달된 유리 시트(12)를 도시한다. 이 경우에, 여기서 도시되는 위치 센서(17)는 수직 리프팅 캐리지(11)의 다른 측부까지의 텔레스코픽 잭 플레이트(6) 및 그 경주의 연장을 제어하는 데 사용될 수 있다. 수직 리프팅 캐리지(11)는 리프팅 갠트리(5)의 중심에 관련 유닛을 갖는 형태로 도시된다. 장착부(1)는 배향을 위해 도시된다. 도 4의 우측부는 표적 스테이션을 로딩 또는 언로딩하기 위한, 유리 시트(12)를 갖는 연장 상태의 텔레스코픽 잭 플레이트(6)(쇄선으로 도시됨)를 도시한다. 여기서, 도시되는 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가, 작업 완수를 위해, 수직 리프팅 캐리지(11)의 일 측부로부터 다른 일 측부까지 유리 시트(12)를 운반할 수 있다는 것을 명확하게 알 수 있다.
도 5는 수직 리프팅 캐리지(11)가 최상 위치에 있을 때 리프팅 갠트리(5)를 통한 상세 단면도를 도시한다. 장착부(1)에 대한 구동부(7) 및 레일(2)에 추가하여, 텔레스코픽 잭 플레이트(6) 상에 각각 놓이는 2개의 텔레스코픽 암(9)은, 수직 리프팅 캐리지(11)에서 서로 상하로 설치된다. 현재까지, 단 하나의 텔레스코픽 잭 플레이트(6) 또는 하나의 텔레스코픽 암(9)만이 도시되지만, 이 도면은 복수의 유리 시트(12)의 고속 이송을 위해 복수의 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가 서로 상하로 배열될 수 있음을 명확히 한다. 라인(18)은 유도 수신기(16)로부터 들어와서, 전력을 공급하고 텔레스코픽 장치를 제어하는 기능을 한다. 여기서, 제어 신호는 유도를 이용하여 및/또는 라디오를 통해 송신될 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 이송 장치의 기능 영역의 전체 사시도다. 여기서, 도 1에 도시되는 장치의 기본 구조는, 전달 장치(19)를 공급 스테이션 및/또는 제거 스테이션으로, 스퍼터링 및 코팅 장치(20)를 추가적인 공급 스테이션 및/또는 제거 스테이션으로 갖는 예를 이용하는 공장에서 도시된다. 순수히 예로서, 여기서 도시되는 텔레스코픽 이동 및 리프팅 장치(21)는 단지 하나의 텔레스코픽 잭 플레이트(6)만을 장착하고 있다. 예를 들어, 전달 장치(19) 및 장치(2)에 단 2개의 스택 평면이 도시된다. 여기서, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가 수직 리프팅 캐리지(11)의 일 측부로부터 다른 일 측부까지 연속적으로 유리 시트(12)를 이송시킬 수 있다. 이는, 그렇지 않을 경우, 이송 장치(19)로부터 장치(20)로, 또는 장치(20)로부터 이송 장치(19)로 유리 시트를 운반하는 것이 불가능할 수 있기 때문이다. 대응하는 유리 시트(12)의 고속 이송을 위해, 리프팅 갠트리(5)의 전체 높이에 도달할 때까지, 각각의 경우에 사용되는 수직 리프팅 캐리지(11)에 각각의 추가 유닛을 갖는 수많은 텔레스코픽 잭 플레이트(6)를 설치하는 것이 물론 가능하다.
폭넓은 공장의 관리를 위해, 스위치를 이용하여 본 발명에 따른 장치를 업그레이드하는 것이 또한 가능하고, 이는 유도 전력 공급원이 쉽게 업그레이드될 수 있기 때문이다. 추가적으로, 관리 네트워크 내에서 본 발명에 따른 복수의 장치를 동시에 작동시키는 것 역시 가능하다. 케이블을 이용하여 전력이 공급되는 종래의 플랜트의 경우에, 스위치 배치를 이용한 작동은 가능하지 않을 것이다.
설명한 이동 프로파일의 복합한 제어는 전용 제어 프로그램을 필요로 한다.
1 : 리프팅 갠트리의 장착부 2 : 레일
3 : 유도 루프 4 : 리프팅 구동부
5 : 수직 리프팅 갠트리 6 : 텔레스코픽 잭 플레이트
7 : 장착부의 구동부 8 : 텔레스코픽 왕복 운동기의 구동부
9 : 텔레스코픽 암
10 : 수직 리프팅 캐리지의 구동부의 톱니형 벨트
11 : 수직 리프팅 캐리지 12 : 유리 시트
13 : 전달 장치의 수직 지지부
14 : 전달 장치의 리프팅 장치의 수직 지지부
15 : 생산 라인의 이송 롤러 16 : 유도 수신기
17 : 위치 센서
18 : 텔레스코픽 장치의 전력 공급 유닛 및 제어 라인
19 : 전달 장치 20 : 스퍼터링 및 코팅 장치
21 : 텔레스코픽 이동 및 리프팅 장치

Claims (11)

  1. 광기전 요소를 제조하기 위한 클린룸 환경의 대량 생산 플랜트 내의 서로 다른 생산 스테이션 사이에서 유리 시트를 고속 이송하기 위한 장치에 있어서,
    리프팅 갠트리(5)를 운반하기 위한 자유 가동식 장착부(1)와,
    텔레스코픽 잭 플레이트(6)를 이용하여 유리 시트(12)를 수직으로 이송하기 위한 적어도 하나의 수직 리프팅 캐리지(11)로서, 상기 플레이트(6)는 2개의 대향 방향으로 연장될 수 있고, 국부 하강 및 상승 기능을 가지며, 수직 리프팅 캐리지(11)의 일 측부로부터 다른 측부로 유리 시트(12)를 연속적으로 이송할 수 있는, 상기 수직 리프팅 캐리지(11)와,
    상기 장착부(1)를 작동시키기 위한 무선형 전력 공급 유닛을 포함하며,
    클린룸 환경에서의 작동을 위해, 기계적으로 이동하는 부분들이 방출물로부터 보호받을 수 있도록 캡슐화되고, 내마모성 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    각각의 수직 리프팅 캐리지(11)는 복수의 텔레스코픽 잭 플레이트(6)를 수용하도록 구성되는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    추가적인 생산 스테이션에 접근할 수 있게 하는 스위치가 상기 레일(2)에 의해 사전 구획된 이송 경로에 끼워 맞춤되고, 스위치를 조정하기 위한 전력의 제공 및 정보의 전송이 유도적으로(inductively) 및/또는 무선 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각각 복수의 수직 리프팅 캐리지(11) 및 복수의 텔레스코픽 잭 플레이트(6)를 구비한 복수의 장착부(1)가 복수의 생산 라인 및/또는 복수의 생산 스테이션을 제공하는데 사용되는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유리 시트(12)의 위치 설정은 레이저 및/또는 적절한 센서, 예를 들어, 센서(17)를 이용하여 모니터링되는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 장치.
  6. 광기전 요소를 제조하기 위한 클린룸 환경의 대량 생산 플랜트 내의 서로 다른 생산 스테이션 사이에서 유리 시트를 고속 이송하기 위한 방법에 있어서,
    a) 운반할 유리 시트(12)를, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)를 이용하여 각각의 생산 스테이션으로부터 들어올리거나 또는 각각의 생산 스테이션에 내려놓는 유리 시트의 들어올림 또는 내려놓음 단계로서, 상기 유리 시트를 들어올리거나 내려놓기 전에 국부 하강 및 상승 기능이 개시되는, 상기 유리 시트의 들어올림 또는 내려놓음 단계와,
    b) 리프팅 갠트리(5)의 구성 부분으로서, 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가 레일(2) 상의 장착부(1)를 통해 각각의 생산 스테이션 사이에서 이동하는 단계로서, 상기 텔레스코픽 잭 플레이트(6)는 상기 리프팅 갠트리(5) 내의 수직 리프팅 캐리지(11)의 구성 부분으로서 수직으로 이동할 수 있는, 상기 각각의 생산 스테이션 사이에서 이동하는 단계와,
    c) 상기 수직 리프팅 캐리지(11) 상의 구동부(8)를 이용하여 레일(2) 방향을 가로지르는 2개의 대향 방향으로 텔레스코픽 암(9)을 통해 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가 이동하는 단계로서, 수직 리프팅 캐리지(11)의 일 측부로부터 다른 측부로 유리 시트(12)가 연속적으로 이송될 수 있는, 상기 텔레스코픽 잭 플레이트(6)가 이동하는 단계와,
    d) 상기 리프팅 갠트리(5)를 작동시키기 위한 전력이 장착부(1)에 끼워 맞춤된 유도 수신기(16) 및 지면에 놓인 유도 루프를 통해 상기 레일(2)의 영역에서 케이블 없이 공급되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 수직 리프팅 캐리지(11)는 복수의 텔레스코픽 잭 플레이트(6)를 수용하도록 구성되는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 방법.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    추가적인 생산 스테이션에 접근할 수 있게 하는 스위치가 상기 레일(2)에 의해 사전 구획된 이송 경로에 끼워 맞춤되고, 스위치를 조정하기 위한 전력의 공급 및 정보의 전송이 유도적으로 및/또는 무선 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 방법.
  9. 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유리 시트(12)의 위치 설정은 레이저 및/또는 적절한 센서, 예를 들어, 센서(17)를 이용하여 모니터링되는 것을 특징으로 하는
    유리 시트의 고속 이송 방법.
  10. 컴퓨터 상에서 실행될 때, 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 유리 시트의 고속 이송 방법을 실행하기 위한 프로그램 코드를 갖는
    컴퓨터 프로그램.
  11. 컴퓨터 상에서 실행될 때, 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 유리 시트의 고속 이송 방법을 실행하기 위한 컴퓨터 프로그램의 프로그램 코드를 갖는
    기계 판독형 저장 매체.
KR1020117015553A 2008-12-17 2009-11-26 유리 시트의 고속 이송 방법 및 장치 KR101275423B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008062153A DE102008062153A1 (de) 2008-12-17 2008-12-17 Verfahren und Vorrichtung zum Schnelltransport von Glasplatten
DE102008062153.6 2008-12-17
PCT/DE2009/001677 WO2010075830A1 (de) 2008-12-17 2009-11-26 Verfahren und vorrichtung zum schnelltransport von glasplatten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110102410A true KR20110102410A (ko) 2011-09-16
KR101275423B1 KR101275423B1 (ko) 2013-06-18

Family

ID=42079159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117015553A KR101275423B1 (ko) 2008-12-17 2009-11-26 유리 시트의 고속 이송 방법 및 장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8911197B2 (ko)
EP (1) EP2358615B1 (ko)
JP (1) JP5497777B2 (ko)
KR (1) KR101275423B1 (ko)
CN (1) CN102239094B (ko)
DE (2) DE102008062153A1 (ko)
WO (1) WO2010075830A1 (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9004839B2 (en) * 2011-10-18 2015-04-14 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Glass substrate storage and transportation system and a glass substrate storage platform
DE102012013282A1 (de) * 2012-07-05 2014-05-08 Abb Ag System und Verfahren zur Erfassung undWeiterverarbeitung der Lage mindestens eines Schüttgutbewegenden Lagerplatzgerätes
CN102807096A (zh) * 2012-07-31 2012-12-05 芜湖耀华玻璃园艺有限公司 轨道上运输玻璃的小车
DE102012020679B4 (de) * 2012-10-22 2022-01-05 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum schnellen Versetzen von Platten
KR101410246B1 (ko) * 2013-03-18 2014-06-20 주식회사 로보스타 패널 반송용 트리플 암 로봇
CN104148852A (zh) * 2014-07-29 2014-11-19 苏州市华宁机械制造有限公司 适用于轨道的焊接夹具
CN105000369B (zh) * 2015-08-06 2017-11-28 上海鼎凡电工机械股份有限公司 一种自动辐条送料机
CN105632987B (zh) * 2016-01-05 2019-03-26 新奥光伏能源有限公司 一种周转设备、周转方法以及太阳能电池生产线
DE102017005809B4 (de) 2017-06-20 2019-07-18 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum sicheren und schnellen Transfer neuer Glasplatten von der Fertigungslinie zu einem Transportfahrzeug
CN114104694B (zh) * 2021-12-01 2023-08-11 广东瑞辉智能科技有限公司 一种金属板移料装置及金属板生产线
CN117262731A (zh) * 2023-10-09 2023-12-22 旭显未来(北京)科技有限公司 一种led显示模组自动老化设备

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1292581B (de) * 1963-05-30 1969-04-10 Demag Zug Gmbh Stapelhubgeraet
GB1156926A (en) 1966-10-26 1969-07-02 Pilkington Brothers Ltd Improvements in or relating to a Method and Apparatus for Stacking Glass in Sheet Form
DE2154709C3 (de) * 1971-11-04 1981-04-09 Erwin Mehne GmbH & Co, 7100 Heilbronn Regalförderzeug
DE2602622A1 (de) * 1976-01-24 1977-07-28 Kaspar Klaus Vorrichtung zum transport von glasplatten
DE8429202U1 (de) 1984-10-05 1984-11-15 VEGLA Vereinigte Glaswerke GmbH, 5100 Aachen Stapelbares Lager- und Transportgestell fuer profilglasbahnen
DE9018150U1 (de) * 1990-01-03 1996-10-31 Uttscheid Georg Weichensteuerung für ein selbstfahrendes Bodenfördererfahrzeug
JPH0710267A (ja) 1993-06-29 1995-01-13 Metsukusu:Kk クリーンルーム用移載装置
JP3484067B2 (ja) * 1998-02-20 2004-01-06 平田機工株式会社 ロボット装置
DE19910478C2 (de) 1998-03-12 2002-02-28 Tokyo Electron Ltd Substrattransportverfahren und Substratbearbeitungssystem
US6449749B1 (en) 1999-11-18 2002-09-10 Pdf Solutions, Inc. System and method for product yield prediction
JP2001253536A (ja) * 2000-03-09 2001-09-18 Hirata Corp 基板移載ロボット装置
DE10142395C5 (de) * 2001-05-03 2009-07-30 Dematic Gmbh & Co. Kg Lager- und Transportsystem in modularer Bauweise
DE10138619A1 (de) * 2001-08-13 2003-03-20 Christoph Keller Vorrichtung zum Transportieren, Entnehmen und Belegen von Werkstückträgern
JP2004281821A (ja) 2003-03-17 2004-10-07 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
AU2003304270A1 (en) 2003-07-04 2005-01-21 Rorze Corporation Transfer device, thin plate-like article transfer method, and thin plate-like article production system
US20060216137A1 (en) 2004-07-02 2006-09-28 Katsunori Sakata Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate
DE102004045517A1 (de) 2004-09-20 2006-04-06 Siemens Ag System mit stationären und mobilen Funktionseinrichtungen
JP2007054939A (ja) 2005-08-26 2007-03-08 Mitsubishi Electric Corp 産業用ロボット及びその輸送方法
DE202005013680U1 (de) * 2005-08-30 2005-11-17 Witron Logistik + Informatik Gmbh Regalfahrzeug für Behälterlager
JP4667187B2 (ja) * 2005-09-27 2011-04-06 アテル株式会社 基板搬送装置
JP4996102B2 (ja) 2006-02-06 2012-08-08 日本電産サンキョー株式会社 ロボット装置
JP2008049356A (ja) * 2006-08-23 2008-03-06 Murata Mach Ltd 板材搬出装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN102239094B (zh) 2015-08-19
EP2358615A1 (de) 2011-08-24
US8911197B2 (en) 2014-12-16
DE102008062153A1 (de) 2010-12-30
EP2358615B1 (de) 2013-07-31
US20110243691A1 (en) 2011-10-06
CN102239094A (zh) 2011-11-09
KR101275423B1 (ko) 2013-06-18
WO2010075830A1 (de) 2010-07-08
JP2012510941A (ja) 2012-05-17
JP5497777B2 (ja) 2014-05-21
DE112009003125A5 (de) 2012-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101275423B1 (ko) 유리 시트의 고속 이송 방법 및 장치
CN107878989B (zh) 一种仓储自动取料机
KR101531936B1 (ko) 물품 반송 설비
KR101259966B1 (ko) 물품 수납 설비
KR101862731B1 (ko) 물품 반송 설비
KR20130143592A (ko) 오버헤드 로봇시스템과 그 작동 방법
CN107840059B (zh) 一种双向仓储自动取料机
JP2013129501A (ja) 物品搬送設備
CN110436107B (zh) 物料运送机器人及其运送方法
CN110831873B (zh) 搬运系统以及搬运方法
CN109843750A (zh) 多层货物存储装置、操作该装置的方法和用于在其中操作的拾取器传送车
WO2011021453A1 (ja) 物品移載装置及びこれを備えたスタッカークレーン
KR20150026835A (ko) 반송 장치
CN104310009A (zh) 一种上下料机构
KR101427323B1 (ko) 타이어 휠 보호용 패드 공급장치
CN110406922A (zh) 一种rgv小车
KR20100112855A (ko) 자동 수직 적재 장치
CN204161996U (zh) 一种上下料机构
KR101398929B1 (ko) 반송차 시스템
CN217946428U (zh) 储存机构及货物搬运设备
CN207417770U (zh) 一种可升降搬运车
JP5413660B2 (ja) 物品搬送装置及びこれを備えた物品収納設備
EP1752398B1 (en) Apparatus for loading/unloading ceramic products to/from roller storage boxes
JP4411537B2 (ja) 物品収集設備
CN219057412U (zh) 一种工业物流仓储自动码垛设备

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160602

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170602

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180529

Year of fee payment: 6