KR20110093606A

KR20110093606A - 수신 장치, 시험 장치, 수신 방법, 및 시험 방법

Info

Publication number: KR20110093606A
Application number: KR1020107024098A
Authority: KR
Inventors: 슈스케 칸타케; 히데노부 마츠무라
Original assignee: 가부시키가이샤 어드밴티스트
Priority date: 2009-11-18
Filing date: 2009-11-18
Publication date: 2011-08-18
Also published as: WO2011061796A1; TW201140101A; US20110115468A1; JP4714306B1; US8604773B2; TWI412772B; JPWO2011061796A1

Abstract

수신 신호에 대해서 서로 위상이 다른 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생하는 멀티 스트로브 발생부와, 복수의 스트로브의 각각에 의해 수신 신호를 취득하는 취득부와, 취득부의 취득 결과로부터, 수신 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출하는 검출부와, 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택하는 선택부를 포함하는 수신 장치 및 수신 방법을 제공한다. 또한, 미리 설정된 주기의 기준 클록을 발생하는 기준 클록 발생부를 더 포함하고, 멀티 스트로브 발생부는, 기준 클록의 펄스마다, 멀티 스트로브를 발생하여도 된다.

Description

수신 장치, 시험 장치, 수신 방법, 및 시험 방법{RECEIVING APPARATUS, TEST APPARATUS, RECEIVING METHOD, AND TEST METHOD}

본 발명은, 수신 장치, 시험 장치, 수신 방법, 및 시험 방법에 관한 것이다.

데이터 신호 및 해당 데이터 신호의 취득 타이밍을 나타내는 클록 신호를 병렬로 출력하는 디바이스(DDR-SDRAM 등)가 알려져 있다. 이러한 디바이스를 시험하는 시험 장치는, 멀티 스트로브 기능을 이용하여, 데이터 신호와 클록 신호의 사이의 위상 관계를 시험한다.

일본특허공개 2003-315428호 공보 일본특허공개 2004-127455호 공보

그런데, 데이터 신호 및 클록 신호를 병렬로 출력하는 디바이스를 시험하는 경우, 시험 장치는, 적절한 타이밍에 멀티 스트로브를 발생시키도록, 시험에 앞서 조정해야 한다. 그렇지만, 시험 장치는, 이러한 조정을 자동으로 수행하는 것은 곤란했다.

여기에서, 본 발명의 하나의 측면에서는, 상기의 과제를 해결할 수 있는 수신 장치, 시험 장치, 수신 방법, 및 시험 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은 청구의 범위에서의 독립항에 기재된 특징의 조합에 의해 달성된다. 또한, 종속항은 본 발명의 한층 더 유리한 구체적인 예를 규정한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1 태양에 의하면, 수신 신호에 대해서 서로 위상이 다른 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생하는 멀티 스트로브 발생부와, 복수의 스트로브의 각각에 의해 수신 신호를 취득하는 취득부와, 취득부의 취득 결과로부터, 수신 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출하는 검출부와, 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택하는 선택부를 포함하는 수신 장치를 제공한다.

또한, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 모두를 열거한 것이 아니고, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.

도 1은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 구성을 피시험 디바이스(10)와 함께 도시한다.
도 2는, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 구성을 나타낸다.
도 3은, 본 실시 형태에 관한 수신 신호의 변화 위치의 일례를 나타낸다.
도 4는, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 스트로브 위치 선택 방법의 일례를 나타낸다.
도 5는, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의, 데이터 위상이 빨라지는 경우의 스트로브 위치 선택 방법의 일례를 나타낸다.
도 6은, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의, 데이터 위상이 늦어지는 경우의 스트로브 위치 선택 방법의 일례를 나타낸다.
도 7은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 동작 플로우의 일례를 나타낸다.
도 8은, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 제1 변형예를 나타낸다.
도 9는, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 제2 변형예를 나타낸다.
도 10은, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 제2 변형예가 취득하는 수신 신호의 복수의 논리값의 일례를 나타낸다.
도 11은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 변형예를 나타낸다.
도 12는, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 변형예가 출력하는 아이 패턴의 일례를 나타낸다.

이하, 발명의 실시 형태를 통해서 본 발명의 일 측면을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 청구의 범위에 걸리는 발명을 한정하는 것이 아니고, 또한 실시 형태 중에서 설명되는 특징의 조합의 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.

도 1은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 구성을 피시험 디바이스(10)와 함께 도시한다. 시험 장치(100)는, 아날로그 회로, 디지털 회로, 메모리, 및 시스템·온·칩(SOC) 등의 피시험 디바이스(10)를 시험한다. 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)를 시험하기 위한 시험 패턴에 기초하는 시험 신호를 피시험 디바이스(10)에 입력하고, 시험 신호에 따라 피시험 디바이스(10)가 출력하는 출력 신호에 기초하여 피시험 디바이스(10)의 양부를 판정한다.

시험 장치(100)는, 시험 신호 공급부(110)와, 수신 장치(120)와, 기대값 비교부(130)를 구비한다. 시험 신호 공급부(110)는, 피시험 디바이스(10)에 대해서 시험 신호를 공급한다. 시험 신호 공급부(110)는, 피시험 디바이스(10)를 시험하기 위한 시험 패턴에 기초하는 시험 신호를 피시험 디바이스(10)에 송신한다. 시험 신호 공급부(110)는, 시험 신호에 따라 피시험 디바이스(10)가 출력하는 응답 신호의 기대값을 생성하여도 된다. 시험 신호 공급부(110)는, 복수의 피시험 디바이스(10)에 접속되어, 복수의 피시험 디바이스(10)를 시험하여도 된다.

수신 장치(120)는, 피시험 디바이스(10)가 출력하는 응답 신호를 수신 신호로서 수신한다. 수신 장치(120)는, 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브에 의해 수신 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출하여, 변화 위치로부터 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호를 수신 데이터 값으로 한다.

기대값 비교부(130)는, 수신 장치(120)가 수신한 수신 데이터 값을 기대값과 비교한다. 기대값 비교부(130)는, 기대값을 시험 신호 공급부(110)로부터 수신하여도 된다. 시험 장치(100)는, 기대값 비교부(130)의 비교 결과에 기초하여, 피시험 디바이스(10)의 양부를 판정하여도 된다.

도 2는, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 구성을 나타낸다. 수신 장치(120)는, 기준 클록 발생부(210)와, 멀티 스트로브 발생부(220)와, 레벨 컴퍼레이터(230)와, 취득부(240)와, 검출부(250)와, 선택부(260)와, FIFO 메모리(270)를 가진다.

기준 클록 발생부(210)는, 미리 설정된 주기의 기준 클록을 발생한다. 기준 클록 발생부(210)는, 시험 장치(100)의 시스템 클록에 기초하여 동작하는 타이밍 발생기를 포함해, 타이밍 발생기에 의해 시스템 클록을 솎아내어 기준 클록과 실질적으로 동일한 펄스 빈도로 한 다음 펄스 간격을 실질적으로 동일하게 함으로써, 피시험 디바이스(10)가 출력하는 신호와 실질적으로 동일 주기의 기준 클록을 생성하여도 된다.

또한, 기준 클록 발생부(210)는, 수정 진동자 등을 이용한 발진 회로이어도 된다. 기준 클록 발생부(210)는, 트리거 신호 등에 동기하여 클록 신호를 발생시켜도 된다. 이에 대신하여, 기준 클록 발생부(210)는, 외부로부터의 클록 신호에 동기하여, 클록 신호의 주파수를 체배시킨 기준 클록 신호를 발생시켜도 된다. 기준 클록 발생부(210)는, 피시험 디바이스(10)가 출력하는 신호와 동기한 기준 클록 신호를 출력하여도 되고, 이에 대신하여, 피시험 디바이스(10)가 출력하는 신호와 비동기화된 기준 클록 신호를 출력하여도 된다.

멀티 스트로브 발생부(220)는, 수신 신호에 대해서 서로 위상이 다른 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생한다. 멀티 스트로브 발생부(220)는, 기준 클록 발생부(210)로부터 수취한 기준 클록의 펄스마다, 멀티 스트로브를 발생하여도 된다. 멀티 스트로브 발생부(220)는, 일례로서 기준 클록의 펄스에서의 기준 위상으로부터, 소정 간격마다 지연된 복수의 스트로브를 발생한다.

레벨 컴퍼레이터(230)는, 외부로부터 입력된 수신 신호를 임계값과 레벨 비교하여, 논리값을 나타내는 수신 신호를 출력한다. 취득부(240)는, 멀티 스트로브 발생부(220)에 의해 발생된 복수의 스트로브의 각각의 타이밍에서, 레벨 컴퍼레이터(230)로부터 출력된 수신 신호의 값을 취득한다.

검출부(250)는, 취득부(240)의 취득 결과로부터, 수신 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출한다. 즉, 검출부(250)는, 시계열로 배열된 수신 신호의 값에서의 변화 위치로부터, 복수의 스트로브 중 어느 쪽의 스트로브에 의해 수신 신호의 엣지 위치가 검출되었는지를 판단한다. 그리고, 검출부(250)는, 수신 신호의 엣지 위치를 검출한 스트로브의 위치를 선택부(260)에 출력한다.

선택부(260)는, 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택한다. 일례로서, 선택부(260)는, 변화 위치에 대해서 0.5 UI(Unit Interval： 클록 주파수의 역수) 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택하여도 된다. 선택부(260)는, 선택한 수신 데이터를 FIFO 메모리(270)에 송신한다.

FIFO 메모리(270)는, 선택부(260)가 순차적으로 선택하는 복수의 수신 데이터 값을 선입선출에 의해 버퍼링하여 사이클마다 출력한다. FIFO 메모리(270)는, 복수의 수신 데이터 값을 기억할 수 있으므로, 멀티 스트로브에 의한 수신 신호의 검출을 랜덤인 타이밍에 복수 사이클 실행하여도, 수신 데이터를 소실하지 않으면서 버퍼링한다. 이상의 수신 장치(120)는, 멀티 스트로브로 취득한 수신 신호의 변화 위치를 검출하여, 변화 위치로부터 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브가 취득한 신호의 값을, 수신 데이터 값으로 한다.

도 3은, 본 실시 형태에 관한 수신 신호의 변화 위치의 일례를 나타낸다. 예를 들면, 수신 장치(120)는, 피시험 디바이스(10)로부터 싱글엔드 신호를 수신하는 경우, 변화 위치를 검출하는 목적으로, 레벨 컴퍼레이터(230)의 비교 전압을 임계값 전압 VT로 설정한다. 여기서 수신 장치(120)는, 싱글엔드 신호의 하이 레벨과 로우 레벨의 중간의 전압을 VT로서 설정하여도 된다. 이에 의해, 수신 장치(120)는, 신호 전압이 로우 레벨로부터 하이 레벨로 상승하는 과정에서 VT를 상회하는 타이밍(도면 중의 T1 및 T3), 및 신호 전압이 하이 레벨로부터 로우 레벨로 하강하는 과정에서 VT를 하회하는 타이밍(도면 중의 T2 및 T4)을, 변화 위치로 한다.

또한, 수신 장치(120)는, 피시험 디바이스(10)로부터 차동 신호를 수신하는 경우, 레벨 컴퍼레이터(230)의 임계값 전압 VT를 0V로 설정하여도 된다. 이에 의해, 수신 장치(120)는, 차동 신호가 크로스하는 타이밍(도면 중의 T5, T6, T7, 및 T8)을, 변화 위치로 한다. 여기서, 수신 신호의 하나의 변화 위치로부터 다음의 변화 위치까지의 시간 간격을 1 UI(Unit Interval)로 한다.

도 4는, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 스트로브 위치 선택 방법의 일례를 나타낸다. 본 예에서는, 수신 장치(120)는, 1 UI가 125 ps인 데이터 신호를 싱글엔드 신호로서 수신한다. 또한, 일례로서 멀티 스트로브 발생부(220)는, 1 사이클 16 스트로브를 포함하여, 각 스트로브의 간격이 20 ps인 멀티 스트로브를 발생한다. 이 경우, 취득부(240)는, 1 UI가 125 ps인 것으로부터 멀티 스트로브의 1 사이클 300 ps의 사이에, 수신 신호의 적어도 2개소의 변화 위치의 값을 취득할 수 있다.

또한, 수신 장치(120)는, 수신 신호의 상승 엣지와 하강 엣지를 각각 검출하는 목적으로, 멀티 스트로브 발생부(220), 레벨 컴퍼레이터(230), 및 취득부(240)을 각각 2조 가져도 된다. 예를 들면, 최초의 변화 위치가 5번째와 6번째의 스트로브의 사이에 있는 경우, 2개의 취득부(240)의 일방은, 1번째에서 5번째까지의 스트로브의 값이 로우 레벨로, 6번째 이후부터 하이 레벨로 되는 데이터를 취득한다. 멀티 스트로브가 취득한 이러한 값을 수취한 검출부(250)는, 5번째의 스트로브 위치를 변화 위치로 하여도 된다.

또한, 다른 일방의 취득부(240)는, 12번째의 스트로브까지의 값이 하이 레벨로, 13번째 이후부터 로우 레벨로 되는 데이터를 취득한다. 멀티 스트로브가 취득한 이러한 값을 수취한 검출부(250)는, 12번째의 스트로브 위치를 변화 위치로 하여도 된다. 이에 대신하여, 수신 장치(120)는, 1조의 멀티 스트로브 발생부(220), 레벨 컴퍼레이터(230), 및 취득부(240)에 의해 변화 위치를 검출하여도 된다.

예를 들면, 상기의 취득부의 하나는, 1번째에서 5번째까지의 스트로브의 값이 로우 레벨이고, 6번째에서 12번째의 스트로브까지의 값이 하이 레벨로 되고 나서, 13번째 이후부터 다시 로우 레벨로 된다. 따라서, 1개의 임계값으로 상승 및 하강을 검출하는 경우는, 1조의 멀티 스트로브 발생부(220), 레벨 컴퍼레이터(230), 및 취득부(240)로 변화 위치를 검출할 수 있다.

선택부(260)는, 검출부(250)가 검출한 변화 위치의 정보를 수취하여, 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택한다. 예를 들면, 선택부(260)는, 미리 정해진 위상을 0.5 UI에 상당하는 80 ps로 하여도 되고, 변화 위치인 5번째의 스트로브로부터 80 ps 어긋난 9번째의 스트로브가 취득한 값을 수신 데이터 값으로서 선택하여도 된다.

상기의 예에서는, 선택부(260)는, 5번째의 스트로브로부터 80 ps 지연된 9번째의 스트로브를 선택했지만, 이에 대신하여 선택부(260)는, 5번째의 스트로브로부터 80 ps 앞선 1번째의 스트로브를 선택하여도 된다. 이와 같이, 선택부(260)는, 변화 위치를 기준으로 하여 수신 데이터 값을 선택하므로, 수신 장치(120)는 복잡한 동기 회로 등을 이용하지 않고 수신 신호의 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

여기에서, 수신 장치(120)는, 복수의 스트로브에 의해 취득한 취득 결과로부터 2 이상의 변화 위치가 검출되었던 것에 따라, 선택부(260)는, 취득 결과로부터 연속하는 2 이상의 수신 데이터 값을 선택하여도 된다. 상기의 예에서는, 2개의 취득부(240)의 일방은, 1번째에서 5번째까지의 스트로브의 값이 로우 레벨로, 6번째 이후부터 하이 레벨로 되는 상승 엣지의 데이터를 취득하고, 다른 일방은 12번째의 스트로브까지의 값이 하이 레벨로, 13번째 이후부터 로우 레벨로 되는 하강 엣지의 데이터를 취득한다. 따라서, 검출부(250)는, 5번째의 스트로브 위치에 더하여 12번째의 스트로브 위치도 변화 위치로서 선택부(260)에 송신하여도 된다.

이로부터, 선택부(260)는, 9번째의 수신 데이터 값에 더하여, 제2 변화 위치인 12번째의 스트로브로부터 80 ps 어긋난 16번째의 스트로브가 취득한 값도, 수신 데이터 값으로서 선택하여도 된다. 여기서 선택부(260)는, 변화 위치가 13번째 이후의 스트로브 위치인 경우, 80 ps 어긋난 스트로브가 존재하지 않기 때문에, 2번째의 변화 위치에 따른 수신 데이터 값을 선택할 수 없다. 이와 같이, 설정한 개수의 수신 데이터 값을 선택할 수 없었던 경우, 선택부(260)는, 선택할 수 있던 변화 위치에 대응하는 수신 데이터의 선택 결과와, 선택할 수 없었던 변화 위치의 개수와 스트로브 위치 등의 정보를 FIFO 메모리(270)에 송신하여도 된다.

이에 대신하여 선택부(260)는, 제1 변화 위치로부터 80 ps 앞선 1번째의 스트로브, 및 제2 변화 위치로부터 80 ps 앞선 8번째의 스트로브가 각각 취득한 값을 수신 데이터 값으로서 선택하여도 된다. 이와 같이, 1 사이클의 멀티 스트로브에 대해서, 연속하는 2개의 수신 데이터를 얻을 수 있다. 또한, 수신 신호의 주기에 따라, 멀티 스트로브 신호의 스트로브 간격 및 스트로브의 개수를 적절히 설계하는 것으로, 연속하는 2 이상의 수신 데이터 값을 얻을 수도 있다.

여기서, 기준 클록 발생부(210)는, 수신 신호의 주기와 동일 주기로 설정된 기준 클록을 발생하여도 된다. 예를 들면, 수신 장치(120)는, 1 사이클의 멀티 스트로브에 대해서 적어도 1개의 수신 데이터를 얻을 수 있으므로, 멀티 스트로브의 발생을 수신 신호의 주기와 동일하거나 그 이하로 설정하는 것으로, 연속하는 수신 신호의 수신 데이터를 얻을 수 있다.

여기서, 멀티 스트로브 발생부(220)는, 수신 신호의 1 주기를 넘는 시간폭으로 분산된 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생하여도 된다. 예를 들면, 수신 신호의 1 주기 이하의 시간폭 120 ps의 6번째에서 12번째의 스트로브로 구성된 멀티 스트로브의 경우, 검출부(250)는, 변화 위치를 검출할 수 없다. 따라서, 수신 장치(120)는, 변화 위치로부터 0.5 주기 지연된 스트로브 위치의 수신 데이터 값을 선택할 수 없다.

이에 대신해, 예를 들면, 도면 중의 6번째에서 13번째의 스트로브로 구성된, 수신 신호의 1 주기를 넘는 시간폭 140 ps의 멀티 스트로브의 경우, 검출부(250)는, 변화 위치로서 12번째의 스트로브를 검출할 수 있다. 이 검출 결과로부터 선택부(260)는, 12번째의 스트로브로부터 80 ps 앞선 8번째의 스트로브를 선택할 수 있다.

또한, 예를 들면, 도면 중의 5번째에서 12번째의 스트로브로 구성된, 수신 신호의 1 주기를 넘는 시간폭 140 ps의 멀티 스트로브의 경우, 검출부(250)는, 변화 위치로서 5번째의 스트로브를 검출할 수 있다. 이 검출 결과로부터 선택부(260)는, 5번째의 스트로브로부터 80 ps 지연된 9번째의 스트로브를 선택할 수 있다. 즉, 수신 신호의 1 주기를 넘은 시간폭으로 분산된 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생시키는 것으로, 수신 장치(120)는, 0.5 주기만큼 앞선 스트로브 또는 0.5 주기만큼 지연된 스트로브 위치의 어느 하나의 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

여기서, 멀티 스트로브 발생부(220)는, 수신 신호의 1.5 주기 이상의 시간폭으로 분산된 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생하여도 된다. 예를 들면, 수신 신호의 1.5 주기 이하의 시간폭의 6번째에서 15번째의 스트로브로 구성된 멀티 스트로브의 경우, 검출부(250)는, 변화 위치로서 12번째의 스트로브를 검출할 수 있다. 그렇지만, 이 검출 결과로부터 선택부(260)는, 12번째의 스트로브로부터 80 ps 지연된 스트로브만을 선택할 수 있다.

즉, 수신 신호의 1.5 주기 이하의 시간폭의 멀티 스트로브를 발생시켰을 경우, 수신 장치(120)는, 0.5 주기 지연된 스트로브 위치의 수신 데이터 값을 선택할 수 없다. 이에 대신하여, 예를 들면, 도면 중의 6번째에서 16번째의 스트로브로 구성된, 수신 신호의 1.5 주기 이상의 시간폭 220 ps의 멀티 스트로브의 경우, 선택부(260)는, 12번째의 스트로브로부터 80 ps 지연된 16번째의 스트로브를 선택할 수 있다.

또한, 5번째에서 15번째의 스트로브로 구성된, 수신 신호의 1.5 주기 이상의 시간폭 220 ps의 멀티 스트로브의 경우, 검출부(250)는, 변화 위치로서 5번째 및 12번째의 스트로브의 2개를 검출할 수 있다. 이 검출 결과로부터 선택부(260)는, 5번째의 스트로브로부터 80 ps 지연된 9번째의 스트로브를 선택할 수 있다. 즉, 수신 신호의 1.5 주기 이상의 시간폭으로 분산된 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생시키는 것으로, 수신 장치(120)는, 0.5 주기 지연된 스트로브 위치의 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

여기서, 멀티 스트로브 발생부(220)는, 실질적으로 동일한 시간 간격으로, 수신 신호의 1.5 주기에 시간 간격의 2배를 더한 시간폭 이상의 시간폭으로 분산된 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생하여도 된다. 또한, 멀티 스트로브 발생부(220)는, 수신 신호의 1.5 주기에 시간 간격의 1배를 더한 시간폭 이상의 시간폭으로 분산된 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생하여도 된다. 예를 들면, 5번째에서 16번째의 스트로브로 구성된 멀티 스트로브의 경우, 검출부(250)는, 변화 위치로서 5번째 및 12번째의 스트로브의 2개를 검출할 수 있다.

이 검출 결과로부터, 선택부(260)는, 5번째의 스트로브로부터 80 ps 지연된 9번째의 스트로브, 및 12번째의 스트로브로부터 80 ps 지연된 16번째의 스트로브를 선택할 수 있다. 즉, 수신 신호의 1.5 주기에 시간 간격의 2배를 더한 시간폭 이상의 시간폭으로 분산된 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생했을 경우, 수신 장치(120)는, 연속하는 2 이상의 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

여기서, 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치에 대응하는 스트로브가 존재하지 않는 경우, 선택부(260)는, 현 사이클에서의 취득 결과로부터 수신 데이터 값을 선택하는 대신해, 전 사이클 또는 다음 사이클에서 해당 위치에 대응하는 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을 수신 데이터 값으로서 선택한다. 피시험 디바이스(10)는, 지터 또는 완더(wander)라고 하는 주파수 변동을 가진 신호를, 수신 신호로서 수신 장치(120)에 송신하는 경우가 있어, 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치에 대응하는 스트로브가 항상 존재한다고는 할 수 없다. 이러한 경우의 스트로브 위치 선택 방법을, 이하에 설명한다.

도 5는, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의, 데이터 위상이 빨라지는 경우의 스트로브 위치 선택 방법의 일례를 나타낸다. 예를 들면, 피시험 디바이스(10)로부터 수신하는 수신 신호의 신호 주기의 지터에 의해, 기준 클록의 주기와의 차이가 발생하고, 수신 장치(120)는, 기준 클록과 비교하여 데이터 위상이 점점 빨라지는 데이터를 수신하는 경우를 설명한다. 본 예서도, 수신 장치(120)는, 1 UI가 125 ps인 차동 신호를 수신 신호로서 수신하고, 멀티 스트로브 발생부(220)는, 1 사이클 16 스트로브를 포함하여, 각 스트로브의 간격이 20 ps인 멀티 스트로브를 발생한다.

검출부(250)는, 사이클 1에서 발생한 멀티 스트로브의 2번째의 스트로브 위치를 변화 위치로서 검출하고, 선택부(260)는, 0.5 UI 지연된 6번째의 스트로브가 취득한 값을 수신 데이터 값으로서 선택한다. 사이클 2에서도, 검출부(250)는, 변화 위치를 1번째의 스트로브 위치를 변화 위치로서 검출하고, 선택부(260)는, 0.5 UI 지연된 5번째의 스트로브가 취득한 값을 수신 데이터 값으로서 선택할 수 있다.

그러나, 다음의 사이클 3에서, 같은 방향으로 주파수가 변동하여 변화 위치가 1번째의 스트로브보다도 전으로 이동했을 경우, 검출부(250)는, 이 변화 위치를 검출할 수 없다. 거기에서 검출부(250)는, 사이클 2에서, 2번째의 변화 위치인 7번째의 스트로브 위치도 검출하여, 2개의 변화 위치의 정보를 선택부(260)에 송신한다. 선택부(260)는, 0.5 UI 지연된 11번째의 스트로브가 취득한 값을 2번째의 수신 데이터 값으로서 선택한다.

사이클 3에서, 한층 더 주파수가 변동하여 변화 위치가 1번째의 스트로브보다도 전으로 이동했을 경우, 검출부(250)는, 이 변화 위치를 검출할 수 없지만, 2번째의 변화 위치를 검출할 수 있다. 선택부(260)는, 2번째의 변화 위치에 대응하는 11번째의 스트로브가 취득한 값을 수신 데이터 값으로서 선택한다. 검출부(250)는, 사이클 3 이후에 대해서는, 2번째의 변화 위치를 1번째의 변화 위치로서 검출하여 수신을 계속하여도 된다.

이렇게 하여, 선택부(260)는, 사이클 1의 6번째의 스트로브, 사이클 2의 5번째 및 11번째의 스트로브, 사이클 3의 11번째의 스트로브가 취득한 값을, 연속한 4개의 수신 데이터 값으로서 선택할 수 있다. 즉, 지터 등에 의해 수신 신호의 데이터 위상이 빨라져도, 적절한 사이클로 2개의 적절한 데이터를 선택함으로써, 사이클 슬립에 의한 데이터의 누락을 방지할 수 있다.

도 6은, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의, 데이터 위상이 늦어지는 경우의 스트로브 위치 선택 방법의 일례를 나타낸다. 예를 들면, 피시험 디바이스(10)로부터 수신하는 수신 신호의 신호 주기의 지터에 의해, 기준 클록의 주기와의 차이가 발생하고, 수신 장치(120)는, 기준 클록과 비교하여 데이터 위상이 점점 늦어지는 데이터를 수신하는 경우를 설명한다. 본 예에서도, 수신 장치(120)는, 1 UI가 125 ps인 차동 신호를 수신 신호로서 수신하고, 멀티 스트로브 발생부(220)는, 1 사이클 16 스트로브를 포함하여, 각 스트로브의 간격이 20 ps의 멀티 스트로브를 발생한다.

검출부(250)는, 사이클 1에서 발생한 멀티 스트로브의 12번째의 스트로브 위치를 변화 위치로서 검출하고, 선택부(260)는, 0.5 UI 지연된 16번째의 스트로브가 취득한 값을 수신 데이터 값으로서 선택한다. 본 예에서는, 주파수 변동에 의해, 수신 신호의 데이터 위상이 늦어지고, 사이클 2의 멀티 스트로브에서, 변화 위치가 13번째의 스트로브로 이동한 예를 설명한다. 사이클 2에서, 검출부(250)는, 변화 위치를 13번째의 스트로브 위치를 변화 위치로서 검출하지만, 선택부(260)는, 0.5 UI 지연된 스트로브가 16번째 이후로 되므로 선택할 수 없다.

거기서 검출부(250)는, 사이클 2에서, 1개 전의 변화 위치인 7번째의 스트로브 위치를 검출하고, 변화 위치의 정보를 선택부(260)에 송신한다. 선택부(260)는, 0.5 UI 지연된 11번째의 스트로브가 취득한 값을 수신 데이터 값으로서 선택한다. 검출부(250)는, 사이클 3 이후에 대해서는, 사이클 2에서 7번째의 스트로브에 대응한 변화 위치를 1번째의 변화 위치로서 검출하여 수신을 계속한다. 따라서, 검출부(250)는, 사이클 3에서, 7번째의 스트로브 위치를 변화 위치로서 검출하고, 선택부(260)는, 11번째의 스트로브가 취득한 값을 수신 데이터 값으로서 선택한다.

이렇게 하여, 선택부(260)는, 사이클 1의 16번째의 스트로브, 사이클 3의 11번째의 스트로브가 취득한 값을, 연속하는 2개의 수신 데이터 값으로서 선택할 수 있다. 즉, 지터 등에 의해 수신 신호의 데이터 위상이 늦어져도, 적절한 사이클로 데이터를 선택하지 않는 것에 의해, 데이터의 중복을 방지할 수 있다. 이상의 지터를 포함한 수신 신호에 대한 스트로브 위치 선택 방법에서도, 수신 장치(120)는, 복잡한 동기 회로 등을 이용하지 않고 적절한 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

이상의 본 실시예에 관한 수신 장치(120)가 수신하는 신호는, 1 주기마다 하이 레벨과 로우 레벨을 교대로 반복하는 신호를 예로서 설명했지만, 실제의 신호는 하이 레벨 또는 로우 레벨을 2 주기 이상 연속하는 경우도 있어, 1 주기마다 변화 위치를 항상 검출할 수 없는 경우도 있다. 거기서, 검출부(250)는, 취득부(240)의 취득 결과로부터 변화 위치를 검출할 수 없는 경우에, 수신 신호에서의 이전의 수신 데이터에 대응하여 검출한 변화 위치를, 수신 신호의 현 수신 데이터에 대응하는 변화 위치로서 선택부(260)에 출력한다.

이렇게 하여, 수신 장치(120)는, 비교적 지터가 적은 수신 신호에 대해서 변화 위치를 검출할 수 없는 경우, 이전의 변화 위치의 검출 위치를 이용하는 것으로, 복잡한 동기 회로 등을 이용하지 않고 적절한 수신 데이터 값을 선택할 수 있다. 또한, 수신 장치(120)는, 지터를 포함한 수신 신호에 대해서 변화 위치를 검출할 수 없는 경우는, 이하에 설명하는 보간에 의해 변화 위치를 구하여도 된다.

검출부(250)는, 취득부(240)의 취득 결과로부터 변화 위치를 검출할 수 없는 경우에, 수신 신호의 현 수신 데이터 이외의 2 이상의 수신 데이터에 대해서 검출한 2 이상의 변화 위치로부터, 수신 신호의 현 수신 데이터에 대응하는 변화 위치를 보간한다. 예를 들면, 최초의 사이클의 변화 위치가 5번째의 스트로브 위치, 2번째의 사이클의 변화 위치가 6번째의 스트로브 위치, 3번째의 사이클의 변화 위치가 7번째의 스트로브 위치로 변화하고, 4번째의 사이클로 변화 위치를 검출할 수 없는 경우, 검출부(250)는, 단조롭게 변화해 나가는 모습을 보간하여 변화 위치를 8번째의 스트로브로 하여도 된다. 검출부(250)는, 예를 들면, 보다 많은 수신 데이터를 기본으로 보간하는 것으로, 수신 신호의 주파수가 완더와 같은 비교적 천천히 변동하는 경우에, 적절한 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

또한, 검출부(250)는, 수신 신호에서의 이전의 2 이상의 수신 데이터에 대응하여 검출한 2 이상의 변화 위치로부터, 수신 신호의 현 수신 데이터에 대응하는 변화 위치를 보간한다. 검출부(250)는, 변화 위치를 검출할 수 없는 경우, 검출할 수 있던 이전의 2개 이상의 사이클의 정보에 기초하여 변화 위치를 보간하여 구하여도 된다. 이에 의해 검출부(250)는, 예를 들면, 수신 신호의 주파수가 지터와 같이 비교적 빠르게 변동하는 경우에, 직전의 2개의 사이클의 변동에 기초하여 적절한 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

또한, 검출부(250)는, 수신 신호의 현 사이클 이전의 사이클 및 현 사이클 이후의 사이클을 포함한 2 이상의 사이클에서 검출한 2 이상의 변화 위치로부터, 수신 신호의 현 사이클에서의 변화 위치를 보간한다. 검출부(250)는, 변화 위치를 검출할 수 없는 경우, 현 사이클의 전후의 사이클로 검출할 수 있던 2개 이상의 정보에 기초하여 변화 위치를 보간하여 구하여도 된다. 이에 의해, 검출부(250)는, 변화 위치가 변동하는 전후의 과정에 기초하여 보완하므로, 변동의 속도에 관계없이 적절한 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

또한, 선택부(260)는, 미리 정해진 사이클 수만큼 전의 사이클에서 검출된 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택한다. 이에 의해, 선택부(260)는, 장기적인 주파수 변동이 발생하는 경우에, 적절한 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

또한, 선택부(260)는, 복수 사이클에서의 변화 위치의 평균 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택한다. 이에 의해, 선택부(260)는, 현 사이클에는 영향이 없는 순간적인 주파수 변동 등이 생겨도, 그 영향을 완화하여 적절한 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

도 7은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 동작 플로우의 일례를 나타낸다. 시험 신호 공급부(110)는, 피시험 디바이스(10)에 시험 신호를 공급한다(S700). 수신 장치(120)는, 피시험 디바이스가 출력하는 응답 신호를 수신 신호로서 수신한다. 여기서 수신 장치(120)는, 멀티 스트로브 발생부(220)가 발생하는 복수의 스트로브의 각각에 의해 수신 신호를 취득한다(S710).

수신 장치(120)는, 수신 신호의 취득 결과로부터, 수신 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출한다(S720). 여기서 수신 장치(120)는, 변화 위치가 없으면, 변화 위치를 이전의 사이클의 정보 등으로부터 변화 위치를 결정한다(S730). 또한, 수신 장치(120)는, 이후의 사이클의 정보에 기초하여 변화 위치를 결정하는 경우는, 수신 신호의 취득 결과를 유지한 채로 단계 S710로 이동하여 다음의 사이클로 진행하고, 다음의 사이클의 변화 위치에 기초하여 데이터를 유지한 사이클의 변화 위치를 결정하여도 된다. 이 경우, 수신 장치(120)는, 이후의 현 사이클과 다음의 사이클의 처리를 동시에 실행하여도 된다.

수신 장치(120)는, 변화 위치에 대해서 0.5 UI만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택한다(S740). 여기서, 수신 장치(120)는, 지터 등에 의해 수신 신호의 데이터 위상이 빨라졌을 경우는, 적절한 사이클로 2개의 적절한 데이터를 선택함으로써, 사이클 슬립에 의한 데이터의 누락을 방지하여도 된다. 또한, 수신 장치(120)는, 지터 등에 의해 수신 신호의 데이터 위상이 늦어졌을 경우는, 적절한 사이클로 데이터를 선택하지 않는 것에 의해, 데이터의 중복을 방지하여도 된다.

수신 장치(120)는, 선택한 수신 데이터 값을 기대값 비교부(130)에 공급하고, 기대값 비교부(130)는, 수취한 수신 데이터 값과 시험 신호 공급부(110)로부터 공급되는 기대값을 비교한다(S750). 시험 장치(100)는, 수신 데이터 값과 기대값의 비교 결과로부터, 피시험 디바이스의 양부를 판단하여도 된다. 시험 장치(100)는, 시험 신호 공급부(110)가 공급한 시험 신호에 따라 피시험 디바이스(10)가 출력하는 응답 신호가 다른 것이 있다면 시험을 속행시키고, 응답 신호가 다른 것이 없다면 시험을 종료시켜도 된다(S760).

수신 장치(120)는, 시험이 속행하는 경우, 현 사이클에서의 변화 위치가 멀티 스트로브의 2번째의 스트로브 위치인지 여부를 확인한다(S770). 현 사이클에서의 변화 위치가 멀티 스트로브의 2번째의 스트로브 위치인 경우, 수신 장치(120)는, 변화 위치를 1 UI만큼 뒤로 옮긴 후에(S775), 멀티 스트로브로 다음의 사이클의 수신 신호를 취득한다(S710).

수신 장치(120)는, 현 사이클에서의 변화 위치가 멀티 스트로브의 2번째의 스트로브 위치가 아닌 경우, 수신 데이터 값으로서 선택된 스트로브가 16번째의 스트로브 위치인지 여부를 확인한다(S780). 수신 데이터 값으로서 선택된 스트로브가 16번째의 스트로브 위치인 경우, 변화 위치를 1 UI만큼 전으로 옮긴 후에(S785), 멀티 스트로브로 다음의 사이클의 수신 신호를 취득한다(S710).

시험 장치(100)는, 이와 같이, 1개의 시험에 대하여 피시험 디바이스로부터의 응답 신호가 없거나, 정해진 시간의 경과, 또는 정해진 수신 데이터 값을 수신 할 때까지, 단계 S710 이후의 처리를 반복하여 시험을 실행하여도 된다. 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)에 의하면, 복잡한 동기 회로 등을 이용하지 않고 , 지터 등을 포함한 피시험 디바이스의 응답 신호를 적절히 수신하여, 피시험 디바이스의 시험을 실행할 수 있다.

본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 동작 플로우는, 현 사이클에서의 변화 위치가 멀티 스트로브의 어디에 있는지에 기초하여, 변화 위치를 늦추는지 여부를 판단하는 예를 설명했다. 이에 바꾸어, 시험 장치(100)는, 2 이상의 변화 위치에 기초하는 수신 데이터 값을 사이클마다 취득하고, 사이클 마다의 변화 위치의 스트로브 위치를 각각 비교하여, 수신 데이터 값을 시계열로 배열하여도 된다. 예를 들면, 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스의 응답 신호에 지터가 없는 경우는, 1 사이클에 취득하는 2 이상의 데이터로부터, 동일한 변화 위치에 기초하는 1개의 데이터를 선택하여, 취득한 순서로 배열하는 것으로, 수신 데이터 값을 얻을 수 있다.

또한, 예를 들면, 시험 장치(100)는, 사이클 마다의 변화 위치의 스트로브 위치를 각각 비교하고, 피시험 디바이스의 응답 신호의 데이터 위상이 빨라졌다고 판단했을 경우, 1 사이클에 취득하는 2 이상의 데이터로부터, 2개의 데이터를 선택하여, 취득한 순서로 배열하는 것으로, 수신 데이터 값을 얻을 수 있다. 또한, 예를 들면, 시험 장치(100)는, 사이클 마다의 변화 위치의 스트로브 위치를 각각 비교하여, 피시험 디바이스의 응답 신호의 데이터 위상이 늦어졌다고 판단했을 경우, 1 사이클에 취득하는 2 이상의 데이터로부터, 데이터 선택을 중지하고, 다음의 사이클로부터 데이터 선택을 개시하여, 취득한 순서로 배열하는 것으로, 수신 데이터 값을 얻을 수 있다.

도 8은, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 제1 변형예를 나타낸다. 본 변형예에 관한 수신 장치(120)는, 도 2에 도시된 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)와 동일한 구성 및 기능을 채용하므로, 도 2에 도시된 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 동작과 실질적으로 동일한 동작에는 동일한 부호를 부여하고 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다.

도 8에서, 피시험 디바이스(10)는, 예를 들면 DDR-SDRAM(Double-Data-Rate Synchronous Dynamic Random Access Memory) 등의 디바이스이어도 된다. 이 경우, 피시험 디바이스(10)는, 병렬 전송 신호로서 데이터 신호를 출력함과 동시에, 수신 신호로서 데이터 신호를 취입하는 타이밍을 나타내는 클록 신호를 송신한다.

피시험 디바이스(10)는, 클록 신호 및 데이터 신호를 싱글엔드 신호로 수신 장치(120)에 공급한다. 이에 대신하여, 피시험 디바이스(10)는, 클록 신호 및/또는 데이터 신호를 차동 신호로 수신 장치(120)에 공급하여도 된다. 기준 클록 발생부(210)는, 복수의 멀티 스트로브 발생부(220a ~ d)에 각각 멀티 스트로브를 발생시키는 기준 클록을 공급한다.

레벨 컴퍼레이터(230a ~ d)는, 입력된 클록 신호 및 데이터 신호를 임계값과 각각 레벨 비교하고, 논리값을 나타내는 수신 신호로서 취득부(240a ~ d)에 각각 출력한다. 예를 들면, 레벨 컴퍼레이터(230a 및 230c)는, 입력 신호의 상승 엣지를 검출하는 목적으로, 임계값 VOH를 설정하여도 되고, 또한, 레벨 컴퍼레이터(230b 및 230d)는, 입력 신호의 하강 엣지를 검출하는 목적으로, 임계값 VOL을 설정하여도 된다.

취득부(240a ~ d)는, 멀티 스트로브 발생부(220a ~ d)에 의해 각각 발생된 복수의 스트로브의 각각의 타이밍에서, 레벨 컴퍼레이터(230a ~ d)로부터 각각 출력된 수신 신호의 값을 각각 취득한다. 클록 신호를 취득하는 취득부(240a) 및 취득부(240b)에 접속된 검출부(250)는, 클록 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출한다.

즉, 검출부(250)는, 시계열로 배열된 클록 신호의 값에서의 변화 위치로부터, 복수의 스트로브 중 어느 스트로브에 의해 클록 신호의 엣지 위치가 검출되었는지를 판단한다. 그리고, 검출부(250)는, 클록 신호의 변화 위치를, 선택부(260a) 및 선택부(260b)에 출력한다.

선택부(260a)는, 변화 위치에 대해서 0.5 UI만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 클록 신호의 값을, 수신 클록 데이터 값으로서 선택하고, 선택한 수신 클럭 데이터 값을 FIFO 메모리(270a)에 송신한다. 즉, 수신 클록 데이터 값에 관해서는, 수신 장치(120)는, 이상의 본 실시 형태와 같은 방법으로 취득한다.

한편, 데이터 신호에 관해서, 선택부(260b)는, 클록 신호의 변화 위치에 대해서 0.5 UI만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 데이터 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택하고, 선택한 수신 데이터 값을 FIFO 메모리(270b)에 송신한다. 즉, 수신 장치(120)는, 클록 신호의 변화 위치를 기준으로 하여 데이터 신호의 값을 선택하므로, 클록 신호에 동기한 데이터 신호의 데이터값을 적절히 선택할 수 있다.

또한, 수신 장치(120)는, 피시험 디바이스(10)가 출력하는 클록 신호에 동기시키는 복잡한 회로 등을 이용하지 않고 , 수신 클록 데이터 값 및 수신 데이터 값을 적절히 선택하여 취득할 수 있다. 여기서, 피시험 디바이스(10)는, 항상 하이 레벨과 로우 레벨이 교대로 변화하는 클록 신호를 공급하여도 되기 때문에, 이 경우 수신 장치(120)는, 클록 신호의 변화 위치를 클록 주기에 항상 검출할 수 있다. 따라서, 수신 장치(120)는, 데이터 신호에 대해서 항상 적절한 수신 데이터 값을 선택할 수 있다.

도 9는, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 제2 변형예를 나타낸다. 본 변형예에 관한 수신 장치(120)는, 도 2에 도시된 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)와 동일한 구성 및 기능을 채용하므로, 도 2에 도시된 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 동작과 실질적으로 동일한 동작에는 동일한 부호를 부여하고 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다. 피시험 디바이스(10)는, 데이터 신호를 싱글엔드 신호로 수신 장치(120)에 공급한다. 이에 대신해, 피시험 디바이스(10)는, 데이터 신호를 차동 신호로 수신 장치(120)에 공급하여도 된다.

수신 장치(120)는, 복수의 스트로브의 각각에 의해, 수신 신호가 제1 임계값 VT를 넘는지 여부에 따라 수신 신호의 논리값을 취득하여, 검출부(250)에게 주는 제1 취득부(240a)와, 복수의 스트로브의 각각에 의해, 수신 신호가 제2 임계값 VOL을 넘는지 여부에 따라 수신 신호의 논리값을 취득하는 제2 취득부(240b)를 구비한다. 수신 장치(120)는, 수신 신호가 제1 임계값 VT를 넘는 변화 위치를 검출부(250)가 검출하고, 선택부(260a)는, 변화 위치에 대해서 0.5 UI만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택하여, 선택한 수신 클록 데이터 값을 FIFO 메모리(270a)에 송신한다.

한편, 선택부(260b)는, 복수의 스트로브에 의해 취득한 복수의 수신 신호의 값을, 변화 위치에 대한 상대 위치의 정보와 함께 수신 데이터 값으로서 FIFO 메모리(270b)에 송신한다. 즉, 수신 장치(120)는, 복수의 스트로브가 취득한 수신 신호가 제2 임계값 VOL을 넘는지 여부의 복수의 수신 데이터 값을, 수신 신호가 제1 임계값 VT를 넘는 변화 위치에 대한 시간적인 상대 위치의 정보와 함께 FIFO 메모리(270b)에 송신한다.

도 10은, 본 실시 형태에 관한 수신 장치(120)의 제2 변형예가 취득하는 수신 신호의 복수의 논리값의 일례를 나타낸다. 제1 취득부(240a)는, 멀티 스트로브 발생부(220a)가 발생한 복수의 스트로브의 각각에 의해, 수신 신호가 제1 임계값 VT를 넘는지 여부에 따른 수신 신호의 논리값을, 예를 들면 도면 중의 취득부(240a)의 데이터로 나타낸 바와 같이 취득하여도 된다. 검출부(250)는, 제1 임계값 VT를 넘는 스트로브의 위치가 5번째의 위치인 것으로부터, 변화 위치를 4번째의 스트로브 위치로서 선택부(260a) 및 선택부(260b)에 송신하여도 된다.

한편, 제2 취득부(240b)는, 멀티 스트로브 발생부(220b)가 발생한 복수의 스트로브의 각각에 의해, 수신 신호가 제2 임계값 VOL을 넘는지 여부에 따른 수신 신호의 논리값을, 예를 들면 도면 중의 취득부(240b)의 데이터로 나타낸 바와 같이 취득하여도 된다. 이와 같이 하여, 수신 장치(120)의 제2 변형예는, 수신 신호가 제1 임계값 VT를 넘는지 여부에 따른 변화 위치를 기준으로, 시간적으로 등간격의 복수의 스트로브가 취득한 수신 신호가 제2 임계값 VOL을 넘는지 여부의 복수의 수신 데이터 값을 취득할 수 있다.

도 11은, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 변형예를 나타낸다. 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 변형예는, 시험 신호 공급부(110)와, 상술의 수신 장치(120)의 제2 변형예와, 기대값 비교부(130)와, 아이 개구 측정부(810)와, 패턴 검출부(820)를 구비한다.

아이 개구 측정부(810)는, 기대값 비교부(130)가 제2 취득부(240b)에 의해 복수의 스트로브의 각각에 대하여 취득한 복수의 수신 신호의 논리값과 비교하고, 복수의 제2 임계값의 각각에 대한 기대값 비교부(130)에 의한 비교 결과로부터, 수신 신호의 아이 개구를 측정한다. 패턴 검출부(820)는, 수신 데이터 값의 시컨스가 미리 정해진 기대 패턴과 일치한 것을 검출한다.

시험 장치(100)는, 수신 장치(120)가 출력하는 제2 취득부(240b)의 복수의 수신 신호의 논리값과 시험 신호 공급부(110)가 생성하는 기대값을 비교한다. 예를 들면, 시험 신호 공급부(110)는, 도 10의 기대값에 나타낸 데이터열을 생성하여도 되고, 기대값 비교부(130)는, 도 10의 기대값과의 비교 결과에 나타난 바와 같이, 비교 결과를 Pass/Fail로 표현하여도 된다. 아이 개구 측정부(810)는, 복수의 제2 임계값의 각각에 대한 기대값 비교부(130)에 의한 비교 결과로부터, 수신 신호의 아이 개구를 측정한다.

도 12는, 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 변형예가 출력하는 아이 패턴의 일례를 나타낸다. 아이 개구 측정부(810)는, 기대값 비교부(130)에 의한 비교 결과를, 횡축을 변화 위치로부터의 상대적인 시간, 종축을 제2 임계값으로 한 쉬무 플롯(shmoo plot)이라 하는 패턴을 생성하고, Pass 영역이 나타내는 아이 개구를 측정하여도 된다. 예를 들면, 아이 개구 측정부(810)는, 비교 위치로부터 등간격의 시간마다 관측된 기대값과의 비교 결과로서, 도 10의 스트로브의 6번째에서 13번째의 데이터인 「F, P, P, P, P, P, P, F, F」를 취득한다.

여기서, 스트로브 간격이 20 ps인 한편 제2 임계값 VOL이 0.4 V인 경우, 아이 개구 측정부(810)는, 이 데이터의 목록을 도 12의 0.3 ~ 0.4 V의 행에 나타내어도 된다. 이와 같이 하여, 아이 개구 측정부(810)는, 복수의 제2 임계값마다 취득하는 기대값과의 비교 결과를, 횡축을 변화 위치로부터의 상대적인 시간, 종축을 제2 임계값으로 하는 것으로, 수신 신호의 아이 개구를 측정할 수 있다. 이로부터, 시험 장치(100)는, 시간축 방향의 Pass/Fail 정보를, 멀티 스트로브에 의한 1 사이클의 측정으로 취득할 수 있으므로, 제2 임계값을 파라미터로서 스위프 측정하는 것으로 쉬무 플롯에 의한 아이 개구 측정을 단시간에 실행할 수 있다.

여기서 검출부(250)는, 제1 취득부(240a)의 검출 결과로부터, 수신 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출하고, 제1 선택부(260a)는, 제1 취득부(240a)가 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 논리값을, 수신 데이터 값으로서 선택하고, 아이 개구 측정부(810)는, 수신 데이터 값의 시컨스가 기대 패턴과 일치한 것을 조건으로 하여 비교 결과로부터 아이 개구를 측정한다. 시험 장치(100)는, 사이클마다 제2 임계값을 각각 설정하여, 기대값과의 비교 결과를 순차적으로 취득하지만, 수신 데이터에 사이클 차이가 있는 경우, 쉬무 플롯에 사이클 차이가 반영되어 올바른 아이 개구 측정을 실행하지 못하는 경우가 있다.

여기에서, 패턴 검출부(820)는, 제1 선택부(260a)가 송신하는 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 수신 신호의 논리값과, 수신 데이터 값의 시컨스가 미리 정해진 기대 패턴과 일치한 것을 검출한다. 아이 개구 측정부(810)는, 수신 데이터 값의 시컨스가 기대 패턴과 일치한 것을 조건으로 하여 비교 결과를 취득하는 것으로, 사이클 차이를 보정할 수 있다. 이에 의해, 시험 장치(100)는, 양호한 정밀도로 아이 개구 측정을 실행할 수 있다.

이상의 본 실시 형태에 관한 시험 장치(100)의 변형예는, 아이 개구 측정으로서 도 12와 같이 Pass/Fail 정보를 표시하는 예를 설명했지만, 이에 대신하여, 시험 장치(100)는, Pass/Fail의 카운트 수를 표시하여도 된다. 즉, 시험 장치(100)는, 동일 측정 조건의 사이클을 여러 차례 반복하고, 동일 측정 조건의 스트로브 마다 Pass 및 Fail의 정보를 계수하여, 계수 결과를 표시하는 것으로, 아이 개구의 통계 정보를 표시할 수 있다.

이상, 본 발명을 실시 형태를 이용하여 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태에 기재의 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시의 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 더하는 것이 가능하다라고 하는 것이 당업자에게 분명하다. 그 같은 변경 또는 개량을 더한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것이, 청구의 범위의 기재로부터 분명하다.

청구의 범위, 명세서, 및 도면 중에서 나타낸 장치, 시스템, 프로그램, 및 방법에서의 동작, 순서, 스텝, 및 단계 등의 각 처리의 실행 순서는, 특별히 「보다 전에」, 「앞서며」등으로 명시하고 있지 않고, 또한, 전의 처리의 출력을 후의 처리로 이용하므로 없는 한, 임의의 순서로 실현할 수 있다는 것에 유의해야 한다. 청구의 범위, 명세서, 및 도면 중의 동작 플로우에 관해서, 편의상 「우선,」, 「다음에,」등을 이용해 설명했다고 하여도, 이 순서로 실시하는 것이 필수인 것을 의미하는 것은 아니다.

10 피시험 디바이스
100 시험 장치
110 시험 신호 공급부
120 수신 장치
130 기대값 비교부
210 기준 클록 발생부
220 멀티 스트로브 발생부
230 레벨 컴퍼레이터
240 취득부
250 검출부
260 선택부
270 FIFO 메모리
810 아이 개구 측정부
820 패턴 검출부

Claims

수신 신호에 대해서 서로 위상이 다른 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생하는 멀티 스트로브 발생부;
상기 복수의 스트로브의 각각에 의해 상기 수신 신호를 취득하는 취득부;
상기 취득부의 취득 결과로부터, 상기 수신 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출하는 검출부; 및
상기 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 상기 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택하는 선택부
를 포함하는,
수신 장치.
제1항에 있어서,
미리 설정된 주기의 기준 클록을 발생하는 기준 클록 발생부를 더 포함하고,
상기 멀티 스트로브 발생부는, 상기 기준 클록의 펄스마다, 상기 멀티 스트로브를 발생하는,
수신 장치.
제2항에 있어서,
상기 기준 클록 발생부는, 상기 수신 신호의 주기와 동일 주기로 설정된 상기 기준 클록을 발생하는,
수신 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 스트로브에 의해 취득한 상기 취득 결과로부터 2 이상의 상기 변화 위치가 검출되었던 것에 따라, 상기 선택부는, 상기 취득 결과로부터 연속하는 2 이상의 상기 수신 데이터 값을 선택하는,
수신 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치에 대응하는 스트로브가 존재하지 않는 경우, 상기 선택부는, 현 사이클에서의 상기 취득 결과로부터 상기 수신 데이터 값을 선택하는데 대신하여, 전 사이클 또는 다음 사이클에서 해당 위치에 대응하는 스트로브에 의해 취득한 상기 수신 신호의 값을 상기 수신 데이터 값으로서 선택하는,
수신 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 선택부가 순차적으로 선택하는 복수의 상기 수신 데이터 값을 선입선출에 의해 버퍼링하여 사이클마다 출력하는 FIFO 메모리를 더 포함하는,
수신 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 멀티 스트로브 발생부는, 상기 수신 신호의 1.5 주기 이상의 시간폭으로 분산된 상기 복수의 스트로브를 포함하는 상기 멀티 스트로브를 발생하는,
수신 장치.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 멀티 스트로브 발생부는, 실질적으로 동일한 시간 간격으로, 상기 수신 신호의 1.5 주기에 상기 시간 간격의 2배를 더한 시간폭 이상의 시간폭으로 분산된 상기 복수의 스트로브를 포함하는 상기 멀티 스트로브를 발생하는,
수신 장치.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검출부는, 상기 취득부의 취득 결과로부터 상기 변화 위치를 검출할 수 없는 경우에, 상기 수신 신호에서의 이전의 수신 데이터에 대응하여 검출한 상기 변화 위치를, 상기 수신 신호의 현 수신 데이터에 대응하는 상기 변화 위치로 하는,
수신 장치.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검출부는, 상기 취득부의 취득 결과로부터 상기 변화 위치를 검출할 수 없는 경우에, 상기 수신 신호의 현 수신 데이터 이외의 2 이상의 수신 데이터에 대해서 검출한 2 이상의 상기 변화 위치로부터, 상기 수신 신호의 현 수신 데이터에 대응하는 상기 변화 위치를 보간하는,
수신 장치.
제10항에 있어서,
상기 검출부는, 상기 수신 신호에서의 이전의 2 이상의 수신 데이터에 대응하여 검출한 2 이상의 상기 변화 위치로부터, 상기 수신 신호의 현 수신 데이터에 대응하는 상기 변화 위치를 보간하는,
수신 장치.
제10항에 있어서,
상기 검출부는, 상기 수신 신호의 현 사이클 이전의 사이클 및 현 사이클 이후의 사이클을 포함한 2 이상의 사이클에서 검출한 2 이상의 상기 변화 위치로부터, 상기 수신 신호의 현 사이클에서의 상기 변화 위치를 보간하는,
수신 장치.
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 선택부는, 미리 정해진 사이클 수만큼 전의 사이클에서 검출된 상기 변화 위치에 대해서 상기 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 상기 수신 신호의 값을, 상기 수신 데이터 값으로서 선택하는,
수신 장치.
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 선택부는, 복수 사이클에서의 상기 변화 위치의 평균 위치에 대해서 상기 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 상기 수신 신호의 값을, 상기 수신 데이터 값으로서 선택하는,
수신 장치.
피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서,
상기 피시험 디바이스에 대해서 시험 신호를 공급하는 시험 신호 공급부;
상기 피시험 디바이스가 출력하는 응답 신호를 수신 신호로서 수신하는 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 수신 장치; 및
상기 수신 장치가 수신한 상기 수신 데이터 값을 기대값과 비교하는 기대값 비교부
를 포함하는,
시험 장치.
제15항에 있어서,
상기 수신 장치는,
상기 복수의 스트로브의 각각에 의해, 상기 수신 신호가 제1 임계값을 넘는지 여부에 따라 상기 수신 신호의 논리값을 취득하여 상기 검출부에게 주는 제1 상기 취득부; 및
상기 복수의 스트로브의 각각에 의해, 상기 수신 신호가 제2 임계값을 넘는지 여부에 따라 상기 수신 신호의 논리값을 취득하는 제2 상기 취득부
를 포함하고,
상기 기대값 비교부는, 상기 제2 취득부가 상기 복수의 스트로브의 각각에 대하여 취득한 복수의 상기 수신 신호의 논리값을 기대값과 비교하고,
해당 시험 장치는, 복수의 상기 제2 임계값의 각각에 대한 상기 비교부에 의한 비교 결과로부터, 상기 수신 신호의 아이 개구를 측정하는 아이 개구 측정부를 더 포함하는,
시험 장치.
제16항에 있어서,
상기 검출부는, 상기 제1 취득부의 취득 결과로부터, 상기 수신 신호의 값이 변화한 상기 변화 위치를 검출하고,
상기 선택부는, 상기 제1 취득부가 상기 변화 위치에 대해서 상기 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 상기 수신 신호의 논리값을, 상기 수신 데이터 값으로서 선택하고,
해당 시험 장치는, 상기 수신 데이터 값의 시컨스가 미리 정해진 기대 패턴과 일치한 것을 검출하는 패턴 검출부를 더 포함하고,
상기 아이 개구 측정부는, 상기 수신 데이터 값의 시컨스가 상기 기대 패턴과 일치한 것을 조건으로 하여 상기 비교 결과로부터 상기 아이 개구를 측정하는,
시험 장치.
수신 신호에 대해서 서로 위상이 다른 복수의 스트로브를 포함하는 멀티 스트로브를 발생하는 멀티 스트로브 발생 단계;
상기 복수의 스트로브의 각각에 의해 상기 수신 신호를 취득하는 취득 단계;
상기 취득 단계에서의 취득 결과로부터, 상기 수신 신호의 값이 변화하는 변화 위치를 검출하는 검출 단계; 및
상기 변화 위치에 대해서 미리 정해진 위상만큼 어긋난 위치의 스트로브에 의해 취득한 상기 수신 신호의 값을, 수신 데이터 값으로서 선택하는 선택 단계
를 포함하는,
수신 방법.
피시험 디바이스를 시험하는 시험 방법에 있어서,
상기 피시험 디바이스에 대해서 시험 신호를 공급하는 시험 신호 공급 단계;
상기 피시험 디바이스가 출력하는 응답 신호를 수신 신호로서 수신하는 제18항에 기재된 수신 방법에 의해 수신하는 수신 단계; 및
상기 수신 단계에 의해 수신한 상기 수신 데이터 값을 기대값과 비교하는 기대값 비교 단계
를 포함하는,
시험 방법.