JP5351009B2 - 信号測定装置および試験装置 - Google Patents
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Description
米国仮出願 出願番号 60/893,866 出願日 2007年3月8日
米国特許出願 出願番号 11/941,087 出願日 2007年11月16日
Claims (10)
- 第1入力信号および第2入力信号を測定する信号測定装置であって、
測定サイクルの各サイクル内に複数配置されたストローブタイミングで前記第1入力信号を測定する第1測定部と、
測定サイクルの各サイクル内に複数配置されたストローブタイミングで前記第2入力信号を測定する第2測定部と、
前記第1測定部および前記第2測定部における測定結果に基づいて、各測定サイクルにおける前記第1入力信号および前記第2入力信号の位相差を算出する位相差算出部と、
前記位相差算出部が各測定サイクルにおいて算出した前記位相差の分布情報を生成する分布生成部と
を備え、
前記第1測定部および前記第2測定部のそれぞれは、
基準クロックを順次遅延させる、縦続接続された複数の遅延素子と、
前記複数の遅延素子と一対一に対応して設けられ、対応する遅延素子が出力する前記基準クロックのタイミングで、入力信号の値を検出することにより、前記入力信号の位相を検出する複数の検出器と
を有し、
前記第1測定部および前記第2測定部に与えられる前記基準クロックの位相を調整する基準クロック調整部と、
前記第1測定部を用いて、前記第1入力信号のジッタを予め測定するジッタ測定部と
を更に備え、
前記基準クロック調整部は、前記ジッタ測定部が測定した前記第1入力信号のジッタに基づいて、前記基準クロックの位相を調整する
信号測定装置。 - 前記分布生成部は、前記位相差算出部が算出する前記位相差について、それぞれの値の出現頻度を示すヒストグラムを生成する
請求項1に記載の信号測定装置。 - 前記分布生成部は、前記位相差のそれぞれの値に対応して設けられ、対応する前記位相差の値の出現回数を計数する複数のカウンタを有する
請求項2に記載の信号測定装置。 - 前記第1測定部は、各サイクル内における、何番目の前記ストローブタイミングで、前記第1入力信号の値の遷移を検出したかを示す測定結果を出力し、
前記第2測定部は、各サイクル内における、何番目の前記ストローブタイミングで、前記第2入力信号の値の遷移を検出したかを示す測定結果を出力し、
前記位相差算出部は、前記第1測定部および前記第2測定部が出力する前記測定結果における、ストローブタイミングの番号の差分を、前記位相差として出力する
請求項3に記載の信号測定装置。 - 前記第1測定部における前記ストローブタイミングの間隔と、前記第2測定部における前記ストローブタイミングの間隔とは略同一である
請求項4に記載の信号測定装置。 - 前記分布生成部は、前記測定サイクルの1サイクル内に配置される前記ストローブタイミングの個数に応じた個数のカウンタを有する
請求項5に記載の信号測定装置。 - 前記複数の遅延素子における遅延量を調整するストローブ間隔調整部を更に備える
請求項1から6のいずれか1項に記載の信号測定装置。 - 前記第1入力信号は、差動の信号であり、
前記第1測定部における測定結果に基づいて、前記第1入力信号のクロスポイントのタイミングを算出するクロスポイント算出部を更に備える
請求項4から6のいずれか1項に記載の信号測定装置。 - 測定サイクルの各サイクル内に複数配置されたストローブタイミングで第3入力信号を測定する第3測定部と、
前記位相差算出部は、前記第1測定部、前記第2測定部、および、前記第3測定部における測定結果に基づいて、各測定サイクルにおける前記第1入力信号および前記第2入力信号の位相差と、前記第1入力信号および前記第3入力信号の位相差とを算出する
請求項1から8のいずれか1項に記載の信号測定装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスが出力する第1入力信号および第2入力信号を測定する信号測定装置と、
前記信号測定装置における測定結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記信号測定装置は、
測定サイクルの各サイクル内に複数配置されたストローブタイミングで前記第1入力信号を測定する第1測定部と、
測定サイクルの各サイクル内に複数配置されたストローブタイミングで前記第2入力信号を測定する第2測定部と、
前記第1測定部および前記第2測定部における測定結果に基づいて、各測定サイクルにおける前記第1入力信号および前記第2入力信号の位相差を算出する位相差算出部と、
前記位相差算出部が各測定サイクルにおいて算出した前記位相差の分布情報を生成する分布生成部と
を有し、
前記第1測定部および前記第2測定部のそれぞれは、
基準クロックを順次遅延させる、縦続接続された複数の遅延素子と、
前記複数の遅延素子と一対一に対応して設けられ、対応する遅延素子が出力する前記基準クロックのタイミングで、入力信号の値を検出することにより、前記入力信号の位相を検出する複数の検出器と
を有し、
前記第1測定部および前記第2測定部に与えられる前記基準クロックの位相を調整する基準クロック調整部と、
前記第1測定部を用いて、前記第1入力信号のジッタを予め測定するジッタ測定部と
を更に備え、
前記基準クロック調整部は、前記ジッタ測定部が測定した前記第1入力信号のジッタに基づいて、前記基準クロックの位相を調整する
試験装置。
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