KR20110021659A - 액체 토출 헤드 및 그 제조 방법 - Google Patents

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요시노리 다가와
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Abstract

본 발명의 액체 토출 헤드는 기판, 및 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재를 포함하고, 상기 유로벽 부재는, 상기 유로와 연통되지 않는 공동을 구비하고, 상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 상기 공동은 문자의 형상을 갖고, 상기 문자는 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응한다.

Description

액체 토출 헤드 및 그 제조 방법{LIQUID DISCHARGE HEAD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 액체를 토출하는 액체 토출 헤드의 제조 방법에 관련되고, 특히 기록 매체에 잉크를 토출함으로써 기록하는 잉크젯 기록 헤드의 제조 방법에 관한 것이다.
예를 들어, 액체를 토출하는 액체 토출 헤드는, 기록을 위해 잉크를 기록 매체에 토출하는 잉크젯 기록 방식에 적용된다. 일반적으로, 잉크젯 기록 헤드는, 유로, 유로의 일부에 제공된 토출 에너지 발생 소자, 및 그 소자에서 발생하는 에너지에 의해 잉크를 토출하기 위한 미세한 토출구를 포함한다.
상술된 잉크젯 기록 헤드에 적용할 수 있는 액체 토출 헤드를 반도체 제조 기술에서 채택되는 포토리소그래피법에 의해서 제조하기 위한 방법이 일본공개특허 제2006-82329호에 개시되어 있다. 이 방법에 따르면, 액체를 토출하기 위해서 사용되는 에너지를 발생하는 소자와, 그것에 연관된 토출구, 및 유로를 포함하는 부재를 1장의 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 그 후, 다이싱에 의해 실리콘 웨이퍼를 복수의 칩 단위로 분리함으로써, 개개의 기록 헤드를 제공한다.
한편, 웨이퍼가 다이싱 되기 전에 웨이퍼 상의 칩 단위들 각각에 대한 내력 정보를 각인(marking)하는 방법이, 일본공개특허 평05-74748호에 개시되어 있다. 이 방법에 따르면, 내력 정보 저장 전용의 폴리실리콘의 퓨즈 소자 영역을 반도체 칩 내에 제공하고, 그 후 각인용의 레이저 디바이스에 의해 손상을 줌으로써 내력 정보를 각인한다. 각인 내용으로서는, 웨이퍼 내의 칩 위치 정보, 웨이퍼의 로트 번호, 웨이퍼 일련 번호 등이 개시되어 있다.
그러나, 잉크젯 기록 헤드의 제조에서, 제조 동안의 내력 정보를 기록하고, 사용하는 것을 고려했을 때, 일본공개특허 평05-74748호에 개시된 방법의 채택에 대하여, 하기에 기술된 것과 같은 우려가 생긴다.
잉크젯 기록 헤드 사용 동안에는, 칩 단위의 헤드의 표면에는, 소정의 극성을 갖는 잉크가 부착될 수 있거나, 기록 용지가 접촉할 수 있는 것이 예상된다. 그러한 사건들을 칩이 경험하면서, 장기간 내력 정보를 확실하게 유지하기 위해서는, 내력 정보 기록 패턴이 내용제성(solvent resistance), 내마모성 등의 특성에 관련된 신뢰성을 갖는 것이 필요하다. 또한, 내력 정보 기록 패턴을 보호하기 위한 추가적인 부재를 제공하는 것이 생각될 수 있다. 그러나 내력 정보 패턴의 인식성, 더 구체적으로는 시인성 등의 가독성에의 재료의 영향과, 내력 정보 패턴과 보호 부재 사이의 밀착성, 및 보호 부재의 신뢰성을 고려해서 보호 부재의 재료를 선택하는 것은 어렵다.
그리하여, 본 발명의 목적은 장기간 유지될 수 있는 내력 정보를 가지고, 인식성을 확보하는 액체 토출 헤드를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 그러한 액체 토출 헤드를 간편하게, 공정 부하를 저감하여 액체 토출 헤드의 제조를 가능하게 하는 액체 토출 헤드의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 액체 토출 헤드는 기판 및 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재를 포함하고,
상기 유로벽 부재는, 상기 유로와 연통되지 않는 공동(cavity)을 구비하고, 상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 상기 공동은 문자의 형상을 갖고, 상기 문자는 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응한다.
본 발명의 예에 따르면, 인식성을 확보하고 장기간 유지될 수 있는 내력 정보를 갖는 액체 토출 헤드를 제공하는 것이 가능하다. 이것은 제조 후 장시간 동안 액체 토출 헤드가 사용되거나 보관될 때에도 그 내력 정보에 기초하여 제조 공정에서 액체 토출 헤드의 상태를 인식하는 것을 가능하게 한다. 이것은 또한 공정 부하를 저감하여 단순화된 방식으로 그러한 액체 토출 헤드가 제조되는 것을 가능하게 한다.
본 발명의 다른 특징들은 첨부 도면을 참조하여 이하의 예시적인 실시예들의 상세한 설명으로부터 명백하게 될 것이다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 액체 토출 헤드의 제조 방법의 일례를 나타내는 개략 사시도.
도 2는 본 발명의 액체 토출 헤드의 일례를 나타내는 개략 설명도.
도 3a, 도 3b, 도 3c, 도 3d, 도 3e, 도 3f, 도 3g 및 도 3h는 본 발명의 액체 토출 헤드의 일례를 나타내는 개략 설명도.
도 4는 본 발명의 액체 토출 헤드의 일례를 나타내는 개략 설명도.
도 5는 본 발명의 액체 토출 헤드의 일례를 나타내는 개략 단면도.
도 6a, 도 6b, 도 6c, 도 6d, 도 6e, 도 6f 및 도 6g는 본 발명의 액체 토출 헤드의 제조 방법의 일례를 나타내는 개략 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 제조 단계의 상태의 액체 토출 헤드를 나타내는 개략도.
도 8은 본 발명의 액체 토출 헤드의 일례를 나타내는 개략 설명도.
도 9는 본 발명의 액체 토출 헤드의 일례를 나타내는 개략 설명도.
이제, 본 발명의 바람직한 실시예들이 첨부 도면에 따라 상세하게 설명될 것이다.
이제, 본 발명은 도면을 참조하여 설명된다.
액체 토출 헤드는, 프린터, 복사기, 통신 시스템을 갖는 팩시밀리, 프린터부를 갖는 워드프로세서 등의 장치, 나아가 각종 처리 디바이스와 결합시킨 산업 기록 장치에 탑재가능하다는 것에 유의한다. 예를 들어, 바이오칩 제조, 전자 회로 인쇄, 분무식 약물 토출 등에 헤드를 사용할 수 있다.
이제, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하여 하기에서 설명한다.
도 1a 및 도 1b는, 액체 토출 헤드를 나타내는 개략 사시도이다. 도면은 칩 단위로 절단된 후의 상태의 헤드를 도시한다. 본 실시예의 액체 토출 헤드는, 잉크를 토출하기 위해서 사용되는 에너지를 발생하는 에너지 발생 소자들(2)이 미리 정해진 피치로 2 열로 배열된 실리콘 기판(12)을 포함한다. 기판(12)은, 에너지 발생 소자(2)의 2개의 열의 사이에 개구된 공통 공급구(13)를 구비한다. 기판(12) 상의 유로벽 부재(9)에는, 각 에너지 발생 소자(2)의 상방에 개구된 토출구(11)와, 공통 공급구(13)로부터 각 토출구(11)에 연통되는 유로(14)가 제공된다.
이 헤드는, 공통 공급구(13)가 형성된 표면이 기록 매체의 기록면과 대향하도록 배치된다. 공통 공급구(13)를 통해서 유로 내에 충전된 잉크에, 에너지 발생 소자(2)에 의해 발생하는 압력을 가하는 것에 의해, 토출구(11)로부터 잉크 등의 액적을 토출시켜, 종이 등의 기록 매체에 부착시키는 방식으로 기록을 행한다.
또한, 도 1b에 도시된 구조에서는, 유로벽 부재(9)의 주위를 둘러싸도록 주위 부재(101)가 배치된다. 유로벽 부재(9)가 수지의 경화물로 만들어지면, 주위 부재(101)는 동일한 경화물로 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 유로벽 부재와 동등한 높이의 주위 부재(101)를 제공함으로써, 위핑(wiping) 특성, 기판의 소자면 보호 효과 등이 향상된다.
(제1 실시예)
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 헤드의 상면도이다.
도 2는, 도 1a 및 도 1b의 정보 각인 영역(3)의 상면 확대도이며, 도 3a 내지 도 3h는 도 2와 유사한 확대도이다. 기판(12) 상의 막 구조가 도 5를 참조하여 설명된다. 도 5는, 도 2의 V-V 선을 따라 취해진 단면도이다. 도 2, 도 3a 내지 도 3h, 및 도 5에 도시된 바와 같이, 유로벽 부재(9)의 문자 형상의 공동(4)은 유로벽 부재(9)의 단부, 즉, 유로벽 부재의 외측면(5)에 이르는 문자의 형상으로 정보가 배치되는 것을 가능하게 한다. 유로벽 부재(9)의 토출구(11)를 구비한 면측으로부터 기판(12)을 향하는 방향으로 공동(4)을 보았을 때, 공동(4)은 문자처럼 보인다. 문자처럼 보이는 공동부(4)는 유로벽 부재(9)의 기판(12)을 향하여 대향하는 천정부와 기판(12) 사이의 부분이다. 유로벽 부재(9)는 공동(4)을 형성하는 내벽면을 갖고, 그 내벽면이 내측으로 향하도록 유로벽 부재(9)와 기판(12)이 접합되어 공동(4)을 형성한다. 물론 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않고 측면이 폐쇄될 수도 있다. 또한, 유로벽 부재(9)와 기판(12)간의 밀착성을 향상시키기 위해서, 폴리에테르 아미드로 이루어지는 밀착 향상층(7)이 기판의 표면 상에 제공된다. 본 실시예에서는, 정보 각인 영역(3)의 유로벽 부재 전체의 하부에, 밀착 향상층(7)이 배치된다. 공동(4)은 외기와 연통될 수 있고, 유로벽 부재(9)에 의해 외기로부터 격리될 수 있다. 공동(4)과 유로(14) 사이에 유로벽 부재(9)가 제공되고, 공동(4)과 유로(14)는 유로벽 부재(9)에 의해 서로 이격됨으로써, 유로 내의 액체가 공동에 들어가는 것을 방지한다. 문자 형상의 공동부(4)는, 주위 부재(101) 내에 제공될 수 있다. 이 경우에는, 공동(4)을 형성하는 내벽면을 갖는 주위 부재(101)는, 내벽면이 내측으로 향하도록 기판(12)과 접합되어 공동(4)을 형성한다. 문자 형상의 공동은, 유로벽 부재(9) 또는 주위 부재(101) 중 어느 한쪽에 제공될 수 있거나, 또는 유로벽 부재(9)와 주위 부재(101) 둘 다에 제공될 수도 있다.
도 2의 확대도에서는, 복수개의 개별적으로 독립된(서로 연통되지 않는) 공동들(4)은 각각 "7", "0", 및 "3"의 숫자 형상이며, 3자리의 숫자 "703"이라고 표시된다. 공동들(4)의 개수가 복수 자리수의 숫자를 나타내는 자리수로 사용될 수 있다. 물론 공동들이 서로 연통될 수 있다. 또한, 도 3a 내지 도 3d에 도시한 바와 같이, 문자는 숫자에 한정되지 않고, 도 3a에 도시된 바와 같이, "E", "1", 및 "1"과 같은 숫자와 로마자가 섞인 것 또는 로마자만을 제공하기 위하여 3개의 공동(4)이 채택될 수도 있다. 또한, 숫자는 아라비아 숫자, 그리스어 숫자(도 3b), 한문 숫자(도 3c)에 한정되지 않고 한글 자모, 키릴 문자 등과 같이, 국가들에서 문자로서 사용되는 것들도 수용될 수 있다. 또한, 도 3d에 도시된 바와 같이, 숫자들은 외측면(5)을 상부로 하여 "0" 및 "4"로 판독되도록 형성될 수도 있다. 또한, 도 3e에 도시된 바와 같이, 공동들(4)은 복수의 공동(4)이 한국어로 "2"를 의미하는 문자로서 인식될 수 있는 형상으로 형성될 수 있다.
문자의 판독은, 조작자가 현미경을 사용하여 배율 및 촛점에 대한 제어를 제공함으로써 문자(들)를 시각적으로 식별할 수 있거나, 또는 대안적으로, 기계가 문자(들)를 식별할 수 있다. 조작자에 의한 시각적 식별은 특별한 판독 디바이스를 필요로 하지 않고 문자의 형상에 있어서의 약간의 오차도 문자 식별 시에 극복될 수 있다는 점에서 바람직하다. 한편, 디바이스를 채택하는 것도 가능하고, 가시광 이외의 광을 사용하여 유로벽 부재(9)와 공동(4) 사이의 콘트라스트를 측정함으로써 형상에 관한 정보를 취득할 수 있는 디바이스에 의해 취득된 정보로부터 숫자(들)를 인지하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 유로벽 부재(9)는, 측정에 사용되는 임의의 파장의 광에 대하여, 측정을 방해하지 않는 광흡수 및 광반사 특성을 갖는 것이 바람직하다.
공동(4)에 의해 정보 각인 영역(3)에 문자 정보로서 부여되는 정보는 액체 토출 헤드에 관한 사항에 대응한다. 이러한 사항들은, 유로벽 부재가 제공되기 전, 즉, 유로로서 기능하는 공간이 구비된 유로벽 부재가 웨이퍼 상에 형성되기 전에 미리 정해진다. 예로서, 그 사항들은 내력 정보를 포함한다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 공동이 표현하는 문자는, 기판(12)이 웨이퍼(15)로부터 칩 단위들로 절단되기 전에, 웨이퍼에서 어디에 위치되었는지를 나타내는 숫자를 나타낼 수 있다. 웨이퍼 내의 어느 위치에 각각의 유로벽 부재가 형성되는지에 관한 사항은 유로벽 부재가 형성되기 전에 미리 정해져서, 상기 사항은 액체 토출 헤드에 관한 정보로서 문자의 형태로 저장된다. 그 정보를 개개의 액체 토출 헤드로부터 판독함으로써, 분리 후에 웨이퍼 내의 기판(12)의 위치를 알 수 있다. 이것은 그 정보에 기초하여 제조 공정을 검토하여 향상시키는 것을 가능하게 한다. 예를 들어, 유로벽 부재(9)를 노광해서 제조할 때의 포토마스크의 상태를 검토할 수 있다. 액체 토출 헤드에 관한 정보는, 개개의 액체 토출 헤드 각각을 식별하기 위한 정보, 유로벽 부재 형성을 위한 노광 마스크에 대한 식별 정보, 제조 일시 및 제조 장소에 관한 정보, 생산할 제품의 개수에 관한 정보 등을 포함할 수 있다. 상기 정보는 유로벽 부재를 형성할 때에 정해져서, 이들 정보를 그 정보에 대응하는 형상(들)을 갖는 공동(4)으로 된 문자(들)로 표시할 수 있다.
상기 설명에서, 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하는 정보가 문자 형상을 갖는 공동(4)에 의해 액체 토출 헤드에 문자로서 부여되는 구성이 설명되었다. 그러나, 공동(4)의 형상은 문자 형상에 한정되지 않는다. 공동 형상은 일반적으로 마크로서 인식가능한 형상으로 형성될 수 있고 그 마크는 액체 토출 헤드에 관한 정보(내력 정보 등)에 대응하여 만들어질 수 있다. 예를 들어, 키보드의 "앳 사인(at sign)"의 형태를 갖는 마크(도 3f) 및 "클로버"의 형태를 갖는 마크(도 3g)의 형상으로 공동이 형성될 수 있다. 액체 토출 헤드는, 상술된 바와 같은 문자의 형상과 유사하게, 마크의 형상을 갖는 공동(4)을 구비할 수 있고, 마크는 액체 토출 헤드에 관하여 미리 알려진 정보에 대응하여 만들어질 수 있다. 마크는 수학, 물리 등의 학문적 분야, 및 음악, 미술 등의 예술 분야와 마찬가지로, 건축, 회계, 도로 교통, 상업 등의 분야에서 사용된다. 마크로서, 예를 들어, 문자가 아닌 코드로서 사용되는 것이 예시된다. 또한, 문제와 관련하여 대체로 마크로 사용되거나 마크로 인식되지 않는 형상도 마크의 형상과 액체 토출 헤드에 연관된 정보 사이의 관계를 정의함으로써 마크로서 사용될 수 있다. 예를 들어, 도 3h에 도시된 바와 같이, 3개의 직사각형이 배열된 원의 형상이 예시된다. 상술된 바와 같이, 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하여 문자가 만들어지는 방식과 유사하게, 단일 정보에 대응하여 복수의 마크가 만들어질 수도 있다.
기판으로부터 유로(14)의 높이와 대체로 동등한 높이를 갖는 공동(4)은, 유로벽 부재(9)의 기판(12)측에 배치되고, 구체적으로는, 5μm 이상 20μm 이하이다. 시인성(visual identification) 등의 표면으로부터 깊이 방향으로 관측에 있어서의 인식성을 향상시킨다는 관점으로부터, 공동(4)은 10μm 이상인 것이 바람직할 수 있다. 유로벽 부재(9)는, 수지의 경화물 등으로, 가시광에 대하여 대체로 투명하게 만들어진다. 더 구체적으로는, 시인성을 고려하면, 부재는 550nm의 파장의 광에 대하여 투과율이 바람직하게는 90% 이하이고, 더 바람직하게는 10% 이하, 더욱 바람직하게는 1% 이하이다. 구체적으로는, EHPE-3150(다이셀 화학 산업사제)의 경화물 및 SU-8(가야꾸 마이크로켐사제)가 알려져 있는 노볼락계의 수지의 경화물과 같은 옥시시클로헥산 골격을 갖는 에폭시 수지로 유로벽 부재가 형성된다. 시인성의 관점으로부터는, 가시광에 대하여 높은 흡수 계수를 갖는 첨가물은 사용하지 않는 것이 바람직하다.
본 실시예에서는, 공동(4)을 형성하는 측면들은, 기판의 표면에 대하여, 수직보다 완만한 각도이다. 그리하여, 이 면들은 광을 반사하지 않기 때문에(도시 생략), 유로벽 부재 표면으로부터 보았을 때 공동 주위는 흑색으로 보인다. 이 두 개의 특성의 조합은 정보에 대응하는 숫자 및 마크를 판독하는 것을 매우 용이하게 한다.
내력 정보가 유로벽 부재에 공동(4)으로서 속이 빈 패턴으로서 제공됨으로써 내력 정보 표시 전용의 특수 부재, 내력 정보 전용의 보호 부재 등에 대한 필요가 없어진다. 유로벽 부재는, 잉크 등의 토출 액체와 부재가 장기간 동안 접촉을 유지하는 것 및 기록 매체 등과의 접촉의 가능성을 전제로 해서 선택된 재료로 만들어진다. 그로 인해, 내력 표시부도 유로벽 부재의 내액성과 동등한 내액성을 갖고, 외부로부터의 충격에 대한 내성을 가짐으로써, 장기간 동안 내력 정보를 유지하는 것이 가능해진다.
(제2 실시예)
액체 토출 헤드의 제조 방법의 예를 제2 실시예로서 설명한다.
도 1a의 VI-VI 선을 따라 취해진 도 6a 내지 도 6g는, 본 발명의 액체 토출 헤드의 제조 방법의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
도 6a에 도시된 실리콘 웨이퍼 형상 기판(15)은 결정 방위 <100>면을 갖는다. 본 예에서는, <100>면이 채택되지만, 본 발명은 이 방위에 한정되지 않는다. 기판(15) 상에, 발열 저항체 등의 액체를 토출하기 위해서 사용될 에너지를 발생하는 복수개의 에너지 발생 소자(2)가 배치된다. 도면에는 도시되지 않았지만, 기판(15) 상에, 밀착 향상층(7)이 미리 정해진 형상으로 패터닝된다. 밀착 향상층(7)은 폴리에테르 아미드 수지로 이루어진다. 더 구체적으로, 층(7)은 히타치 케미칼사제의 HIMAL-1200(제품명)으로 만들어질 수 있다. 밀착 향상층(7)은 2μm의 두께를 갖는다.
그 후, 도 6b에 도시한 바와 같이, 기판 상에 포지티브 감광 수지 등으로 이루어지는 수지층(16)을 제공한다. 수지는 폴리케톤계 수지 또는 메타크릴레이트계 수지일 수 있다. 수지층(16)은 12μm의 높이를 갖는다.
도 6c에 도시된 바와 같이, 수지층(16)으로부터 상기 유로의 형상의 제1형(8)과, 상기 공동(4)을 형성하기 위한 제2형(17)을 따로따로 형성한다. 기판의 위로부터 기판의 면을 향하는 방향으로 보았을 때(도 7), 제2형(17)은, 형성될 공동(4)의 형상에 대응하는 문자의 형상을 갖는다. 포지티브 감광 수지의 층(16)에 대하여, 웨이퍼 전체면에 일괄로 근접 노광을 행함으로써, 칩 단위 각각에 대하여, 제1형(8)은 동일 문자 형상을 산출할 수 있고, 제2형(17)은 다른 문자 형상을 제공할 수 있다. 문자는, 웨이퍼 내에서의 각각의 칩 단위의 위치를 나타낸다. 이것은 노광 마스크를 편집함으로써 가능해진다. 계속해서 현상을 행하면, 형이 형성된다. 형은, 웨이퍼를 절단함으로써 제조될 액체 토출 헤드의 개수에 대응하여 복수개가 형성된다.
그 후, 도 6d에 도시된 바와 같이, 제1형(8)과 제2형(17)을 덮도록 유로벽 부재로서 기능하는, 감광성 에폭시 수지 등의 네가티브 감광 수지로 만들어진 코팅층(18)을 상기 기판 상에 제공한다. 코팅층(18)은 스핀 코팅법 등으로 코팅될 수 있다.
그 후, 도 6e에 도시된 바와 같이, 코팅층(18)에 광학적 가공, 즉 노광, 현상 등을 행함으로써, 토출구로서 기능하는 제1 개구(11a)와, 공동을 형성하기 위해서 제2형을 제거하기 위한 제2 개구(19)를 형성한다. 제1 개구(11a)는 제1형 상에 형성되고 제2 개구(19)는 제2형 상에 형성된다. 이와 함께, 코팅층(18)에 외측면(20)을 형성하여, 제2형(17)을 노출시킨다. 유로벽 부재가, 웨이퍼로부터 절단되어서 형성되는 액체 토출 헤드의 개수에 대응하여 복수개 형성되도록, 노광 및 현상을 행한다.
그 후, 도 6f에 도시된 바와 같이, 공급구(13)를 기판(15)에 형성하고, 제1형과 제2형을 일괄해서 용해, 초음파 등에 의해 제거한다. 그리하여, 유로(14), 토출구(11), 및 유로벽 부재(9)가 형성된다. 또한, 유로와 함께 문자 형상의 공동들(4)을 일괄해서 형성한다. 도 8은 기판 위로부터 보았을 때의 공동들을 도시한다. 공동(4)은, 유로벽 부재(9)의 외측면(5) 측에 개구되고, 제2 개구(19)에 의해 토출구(11)가 제공된 측 상에도 개구된다. 그 결과, 웨이퍼 형상 기판(15)을 다이싱 등에 의해, 하나 또는 미리 정해진 개수의 유로벽 부재를 하나의 단위로 하여 분할해서 절단함으로써, 칩 단위의 기판(12) 상에 유로벽 부재 등이 제공된 액체 토출 헤드가 제조된다.
또한, 이후에 행해지는 실행 단계들을 설명한다.
도 6g에 도시된 바와 같이, 알루미나 등으로 만들어진 지지 부재(21)에 액체 토출 헤드를 배치하여, 접착제 등으로 기판(12)과 지지 부재(21)를 접합한다. 그 후, 다이 절단에 의해 만들어지는 기판(12)의 단부면(22)을 밀봉 부재(10)에 의해 밀봉한다. 단부면을 잉크 미스트(mist) 등의 토출 액체의 미스트 등에 대하여 보호하기 위해서 부타디엔계 에폭시 등의 밀봉 재료에 의해 밀봉을 행한다. 더 구체적으로는, 밀봉 재료 제품은 산유렉사제의 NR 200C(제품명)일 수 있다. 그 공정에서, 유로벽 부재(9)의 외측면(5)으로부터 공동(4)으로 밀봉 부재(10)를 모세관 현상에 의해 주입한다. 도 9는 기판의 위로부터 보았을 때의 내력 정보 표시부의 상면도이다. 도시된 바와 같이, 유로벽 부재(9)의 외측면(5)으로부터 내부까지 문자가 투명하도록 밀봉 부재(10)가 허용하면, 콘트라스트를 더욱 향상시키기 위해 흑색의 밀봉 부재(10)를 주입할 수 있어서, 내력 정보의 판독이 크게 용이하게 되는 것을 확보할 수 있다.
본 발명이 예시적인 실시예들을 참조하여 설명되었지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시예들에 한정되지 않는다는 것이 이해되어야 한다. 이하의 청구항들의 범위는 그러한 변형 및 등가의 구조 및 기능 모두를 포괄하도록 최광의의 해석에 따라야 한다.
2: 에너지 발생 소자
3: 정보 각인 영역
9: 유로벽 부재
11: 토출구
12: 기판
13: 공통 공급구
14: 유로
101: 주위 부재

Claims (19)

  1. 액체 토출 헤드이며,
    기판; 및
    상기 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재를 포함하고,
    상기 유로벽 부재는, 상기 유로와 연통되지 않는 공동(cavity) 또는 복수의 공동을 구비하고,
    상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 상기 공동은 문자의 형상을 갖고,
    상기 공동 또는 상기 복수의 공동에 의해 표현되는 상기 문자 또는 복수의 상기 문자는 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하는, 액체 토출 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 문자는 숫자인, 액체 토출 헤드.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 숫자는 아라비아 숫자, 한문 숫자 및 그리스어 숫자로부터 선택되는 숫자인, 액체 토출 헤드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 공동은 상기 유로벽 부재에 복수개 제공되고,
    상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 각각 숫자의 형상을 갖는 상기 복수의 공동은 복수 자리수의 숫자를 나타내는, 액체 토출 헤드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 액체 토출 헤드는, 웨이퍼 기판 상에 상기 유로벽 부재를 복수개 제공한 다음에, 미리 정해진 개수의 상기 유로벽 부재를 하나의 단위로 하여 상기 웨이퍼 기판을 복수개로 분할함으로써 제조되고,
    상기 정보는 상기 웨이퍼 기판의 영역 내에서의 상기 유로벽 부재의 위치에 관계되는 정보인, 액체 토출 헤드.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 유로벽 부재는 상기 공동을 형성하는 내벽면을 갖고,
    상기 내벽면이 내측으로 향하도록 상기 유로벽 부재와 상기 기판이 함께 접합되어 상기 공동을 형성하는, 액체 토출 헤드.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 유로벽 부재는 에폭시 수지의 경화물을 포함하는, 액체 토출 헤드.
  8. 액체 토출 헤드이며,
    기판; 및
    상기 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재를 포함하고,
    상기 기판의 단부면을 밀봉하고 상기 유로벽 부재의 외측면과 접촉하여 제공된 밀봉 부재가 상기 외측면으로부터 상기 유로벽 부재의 내부에 제공되고,
    상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 상기 유로벽 부재 내의 상기 밀봉 부재는 문자의 형상을 갖고,
    상기 문자는 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하는, 액체 토출 헤드.
  9. 액체 토출 헤드이며:
    기판;
    상기 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재; 및
    상기 유로벽 부재를 둘러싸는 주위 부재를 포함하고,
    상기 주위 부재는 상기 유로와 연통되지 않는 공동 또는 복수의 공동을 구비하고, 상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 상기 공동은 문자의 형상을 갖고, 상기 공동 또는 상기 복수의 공동에 의해 표현되는 상기 문자 또는 복수의 상기 문자는 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하는, 액체 토출 헤드.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 문자는 아라비아 숫자, 한문 숫자, 및 그리스어 숫자로부터 선택되는 문자인, 액체 토출 헤드.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 주위 부재는 상기 공동을 형성하는 내벽면을 갖고, 상기 내벽면이 내측으로 향하도록 상기 주위 부재와 상기 기판이 함께 접합되어 상기 공동을 형성하는, 액체 토출 헤드.
  12. 액체 토출 헤드이며,
    기판; 및
    상기 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재를 포함하고,
    상기 유로벽 부재는, 상기 유로와 연통되지 않는 복수의 공동을 구비하고,
    상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 상기 공동은 상기 복수의 공동에 의해 단일 문자의 형상이 인식될 수 있도록 성형되고,
    상기 문자는 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하는, 액체 토출 헤드.
  13. 액체 토출 헤드이며,
    기판; 및
    상기 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재를 포함하고,
    상기 유로벽 부재는, 상기 유로와 연통되지 않는 공동 또는 복수의 공동을 구비하고,
    상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 상기 공동은 마크의 형상을 갖고,
    상기 공동 또는 복수의 상기 공동에 의해 표현되는 상기 마크 또는 복수의 상기 마크는 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하는, 액체 토출 헤드.
  14. 액체 토출 헤드이며,
    기판; 및
    상기 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재를 포함하고,
    상기 유로벽 부재는, 상기 유로와 연통되지 않는 복수의 공동을 구비하고,
    상기 토출구로부터 상기 기판을 향하는 방향으로 보았을 때, 상기 공동은 상기 복수의 공동에 의해 단일 마크의 형상이 인식될 수 있도록 성형되고,
    상기 마크는 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하는, 액체 토출 헤드.
  15. 기판, 및 상기 기판 상에 제공되고, 액체를 토출하는 토출구와 연통되는 유로의 벽을 갖는 유로벽 부재를 갖는 액체 토출 헤드의 제조 방법이며,
    상기 유로의 형상을 갖는 제1형, 및 상기 기판 위에서부터 상기 기판을 향하여 보았을 때 문자의 형상을 가지며 상기 제1형과 이격되는 제2형을 상기 기판 상에 제공하는 단계;
    상기 제1형과 상기 제2형을 덮도록 상기 유로벽 부재로서 기능하는 층을 상기 기판 상에 제공하는 단계; 및
    상기 제1형을 제거하여 상기 유로를 형성하고, 상기 제2형을 제거하여 상기 액체 토출 헤드에 관한 정보에 대응하는 상기 문자의 형태로 공동을 형성하는 단계를 포함하는, 액체 토출 헤드의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1형 및 상기 제2형을 제공하는 단계는, 상기 기판 상에 제공된 포지티브 감광 수지의 층으로부터 상기 제1형 및 상기 제2형을 형성하는 단계를 포함하는, 액체 토출 헤드의 제조 방법.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 기판 상에 상기 층을 제공하는 단계 후에,
    상기 층의 상기 제1형 상에 상기 토출구로서 기능하는 제1 개구를 제공하고, 상기 층의 상기 제2형 상에 제2 개구를 제공하는 단계; 및
    상기 제2 개구로부터 상기 제2형을 제거하여, 상기 유로와 연통되지 않는 상기 공동을 상기 유로벽 부재에 형성하는 단계를 포함하는, 액체 토출 헤드의 제조 방법.
  18. 제15항에 있어서,
    상기 제2형의 일부를 상기 층의 외측면으로부터 노출하고 상기 외측면으로부터 상기 제2형을 제거함으로써 상기 유로벽 부재에 상기 유로와 연통되지 않는 공동을 형성하는 단계; 및
    상기 공동을 채우도록 상기 기판의 단부면을 밀봉하는 밀봉 부재를 제공하는 단계를 더 포함하는, 액체 토출 헤드의 제조 방법.
  19. 제15항에 있어서,
    상기 문자는 아라비아 숫자, 한문 숫자, 및 그리스어 숫자로부터 선택된 문자인, 액체 토출 헤드의 제조 방법.
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