BRPI1003190B1 - cabeça de descarga de líquido e método para fabricar a mesma - Google Patents

cabeça de descarga de líquido e método para fabricar a mesma Download PDF

Info

Publication number
BRPI1003190B1
BRPI1003190B1 BRPI1003190-1A BRPI1003190A BRPI1003190B1 BR PI1003190 B1 BRPI1003190 B1 BR PI1003190B1 BR PI1003190 A BRPI1003190 A BR PI1003190A BR PI1003190 B1 BRPI1003190 B1 BR PI1003190B1
Authority
BR
Brazil
Prior art keywords
flow path
substrate
liquid discharge
mold
discharge head
Prior art date
Application number
BRPI1003190-1A
Other languages
English (en)
Inventor
Asai Kazuhiro
Fujii Kenji
Kubo Kousuke
Watanabe Makoto
Tagawa Yoshinori
Imanaka Yoshiyuki
Tamaru Yuuji
Original Assignee
Canon Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Kk filed Critical Canon Kk
Publication of BRPI1003190A2 publication Critical patent/BRPI1003190A2/pt
Publication of BRPI1003190B1 publication Critical patent/BRPI1003190B1/pt

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1632—Manufacturing processes machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1635—Manufacturing processes dividing the wafer into individual chips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1637—Manufacturing processes molding
    • B41J2/1639—Manufacturing processes molding sacrificial molding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
    • H01L2223/54406—Marks applied to semiconductor devices or parts comprising alphanumeric information
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
    • H01L2223/54433—Marks applied to semiconductor devices or parts containing identification or tracking information
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
    • H01L2223/54473—Marks applied to semiconductor devices or parts for use after dicing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

cabeça de descarga de líquido e método para fabricar a mesma. uma cabeça de descarga de líquido da presente invenção compreende um substrato e um membro de parede de trajeto de fluxo previsto sobre o substrato e tendo uma parede de um trajeto de fluxo comunicada com um orificio de descarga para descarregar líquido, na qual o membro de parede de trajeto de fluxo é munido de uma cavidade não comunicada com o trajeto de fluxo, quando visualizada em uma direção do orificio de descarga no sentido do dito subsirato. a dita cavidade tem a forma de um caractere, e o caractere corresponde à informação relativa à cabeça de descarga de líquido.

Description

“CABEÇA DE DESCARGA DE LÍQUIDO E MÉTODO PARA FABRICAR A MESMA”. FUNDAMENTOS DA INVENÇÃO
Campo da invenção [0001] A presente invenção trata de um método para fabricar uma cabeça de descarga de líquido para descarregar líquido e mais especificamente de um método para fabricar uma cabeça de gravação a jato de tinta para gravar sobre um suporte de gravação.
Descrição da Técnica Correlata [0002] Por exemplo, cabeças de descarga de líquido para descarregar líquido são aplicadas ao método de gravação a jato de tinta no qual a tinta é descarregada sobre um suporte de gravação para gravação sobre o mesmo. De maneira genérica, a cabeça de gravação a jato de tinta inclui um trajeto de fluxo, um elemento gerador de energia de descarga provido em uma parte do trajeto de fluxo, e um orifício de descarga fino para descarregar tinta pela energia gerada no elemento.
[0003] Um método para manufaturar uma cabeça de descarga de líquido aplicável à cabeça de gravação a jato de tinta descrita acima por foto litografia como empregada na tecnologia de fabricação de semicondutores é apresentado no pedido de patente Japonesa n° 2-006-62329. De acordo com este método, um membro é formado sobre uma pastilha de silicone, o membro incluindo um elemento para gerar energia a ser usado para descarregar líquido, um orifício de descarga associado com o mesmo e um trajeto de fluxo. A seguir, a pastilha de silicone é separada em uma pluralidade de unidades de chip por corte em tabletes, dessa maneira proporcionando cabeças de gravação individuais.
[0004] Por outro lado, um método para marcar informações históricas sobre cada uma das unidades de chip sobre a pastilha antes de ser separada em tabletes é exposto no pedido de patente Japonês publicado n° H05-74748. De acordo com este método, uma região de elemento de fusão polisilicone dedicada a armazenar informações históricas é provida dentro do chip semicondutor, e a seguir danificada por um dispositivo laser marcador, dessa forma marcando as informações históricas. Como conteúdos marcados, as informações sobre a posição dos chips dentro da
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 7/24
2/13 pastilha, o número de lote da pastilha, o número serial da pastilha, e semelhantes são expostos.
[0005] Todavia, na fabricação da cabeça de gravação a jato de tinta, ao considerar-se a gravação e uso das informações históricas durante a manufatura, preocupações como descrito abaixo são levantadas acerca do emprego do método exposto no pedido de patente JP H05/74748.
[0006] Durante o uso da cabeça de gravação a jato de tinta, é provido que a superfície da cabeça de unidade de chip possa ter tinta com alguma polaridade aderida à mesma ou possa entrar em contato com as folhas de gravação. Para assegurar que as informações de histórico sejam preservadas por um longo tempo enquanto o chip experimenta tais eventos, é requerido que o padrão de gravação de informações históricas tenha características relacionadas com confiabilidade tais como resistência a solvente, resistência ao desgaste, e semelhantes. Além disso, é concebível o fornecimento de um membro adicional para proteger o padrão de gravação de informações históricas. Todavia, é difícil selecionar o material do membro de proteção levando em conta a identificação do padrão de informações do padrão de informações históricas, mais especificamente, o efeito do material sobre a legibilidade tal como a visibilidade e semelhantes, a propriedade de íntimo contato entre o padrão de informações históricas e o membro de proteção, e a confiabilidade do membro de proteção.
SUMÁRIO DA INVENÇÃO [0007] Por conseguinte, um dos objetivos da presente invenção é proporcionar uma cabeça e descarga líquida tendo informações históricas que podem ser preservadas por um longo tempo e assegurar a identificação. Outro objetivo da invenção é proporcionar um método de manufatura de uma cabeça de descarga de líquido que permite a manufatura de uma cabeça de descarga de líquido deste tipo de uma maneira simplificada com teste de carga de método reduzido.
[0008] Uma cabeça de descarga líquida da presente invenção compreende um substrato e um membro de parede de trajeto de fluxo provido sobre o substrato e tendo uma parede de um trajeto de fluxo comunicante com um orifício de descarga
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 8/24
3/13 para descarregar líquido, na qual o membro de parede de trajeto de fluxo é munido de uma cavidade não comunicada com o trajeto de fluxo, quando visualizada em uma direção do orifício de descarga no sentido do substrato, a cavidade tem a forma de um caractere, e o caractere corresponde a informação relativa à cabeça de descarga.
[0009] De acordo com um exemplo da presente invenção, é possível proporcionar uma cabeça de descarga de líquido munida de informações de histórico que assegura o reconhecimento e pode ser preservada por um longo tempo. Isto possibilita reconhecer o estado da cabeça de descarga de líquido no método de manufatura baseado sobre as informações de histórico mesmo quando a cabeça de descarga de líquido tiver sido usada ou armazenada por um longo tempo após ser manufaturada. É também possível manufaturar uma cabeça de descara de líquido dessa natureza de uma maneira simplificada com carga de método reduzida.
[0010] Demais aspectos característicos da presente invenção se evidenciarão da descrição que se segue de modalidades típicas em conjunção com os desenhos apensos.
DESCRIÇÃO SUCINTA DOS DESENHOS [0011] As figuras 1A e 1B são vistas em perspectiva esquemáticas ilustrando um método para manufaturar uma cabeça de descarga de líquido de acordo com a presente invenção.
[0012] A figura 2 é uma vista explanatória esquemática ilustrando um exemplo de uma cabeça de descarga de liquido da presente invenção.
[0013] As figuras 3A, 4B, 3C, 3D, 3E, 3F, 3G e 3H são vistas explanatórias esquemáticas ilustrando um exemplo da cabeça de descarga de líquido da presente invenção.
[0014] A figura 4 é uma vista explanatória esquemática ilustrando um exemplo da cabeça de descarga de líquido da presente invenção.
[0015] A figura 5 é uma vista em seção transversal esquemática da presente invenção.
[0016] As figuras 6A, 6B, 6C, 6D, 6E, 6F e 6G são vistas em seção transversal
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 9/24
4/13 esquemáticas ilustrando um exemplo de um método para manufaturar uma cabeça de descarga de líquido da presente invenção.
[0017] A figura 7 é uma vista esquemática ilustrando uma cabeça de descarga de líquido em um estágio de suas etapas de manufatura de acordo com a presente invenção.
[0018] A figura 8 é uma vista explanatória esquemática ilustrando um exemplo da cabeça de descarga de líquido da presente invenção.
[0019] A figura 9 é uma vista explanatória esquemática ilustrando um exemplo da cabeça de descarga de liquido da presente invenção.
DESCRIÇÃO DAS MODALIDADES [0020] Modalidades preferenciais da presente invenção passam a ser descritas em detalhe de acordo com os desenhos apensos.
[0021] A seguir, a presente invenção é descrita com referência aos desenhos.
[0022] Observe-se que a cabeça de descarga de líquido pode ser incorporada em aparelhos tais como impressoras, copiadoras, fac-símiles tendo sistemas de comunicação, processadores de termos tendo uma parte impressora, e semelhantes e aparelhos gravadores industriais combinados com vários tipos de processadores. Por exemplo, a cabeça pode ser usada para a manufatura de biochips, circuitos elétricos de impressão, descarga de produtos químicos de maneira pulverizada ou semelhantes.
[0023] As modalidades de realização da presente invenção são descritas abaixo com referência aos desenhos.
[0024] As figs. 1A e 1B são vistas esquemáticas em perspectiva ilustrando uma cabeça de descarga de líquido. Os desenhos mostram a cabeça em um estado após ser cortada e convertida em uma unidade de chip. A cabeça de descarga de líquido da presente modalidade inclui um substrato de silicone 12 sobre o qual elementos geradores de energia 2 para gerar energia a ser usada para descarregar tinta são distribuídos em duas fileiras a intervalos predeterminados. O substrato 12 é munido de um orifício alimentador comum 13 aberto entre as duas fileiras dos elementos geradores de energia 2. Em um membro de parede de trajeto de fluxo 9 sobre o
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 10/24
5/13 substrato 12, um orifício de descarga 11 aberto acima de cada um dos elementos geradores de energia 2 e um trajeto de fluxo 14 comunicado com cada orifício de descarga 11 pelo orifício alimentador 13 é providos.
[0025] Esta cabeça é disposta de forma que a superfície com o orifício de descarga comum 13 formado oposto à superfície de gravação de um suporte de gravação. A gravação é efetuada de tal maneira que a tinta enchida no trajeto de fluxo via o orifício alimentador comum 13 é submetida à pressão gerada pelos elementos geradores de energia 2 dessa forma permitindo uma gotícula de líquido tal como de tinta e similar ser descarregada pelo orifício de descarga 11 e aderida ao suporte de gravação tal como papel e semelhante.
[0026] Além disso, na configuração mostrada na fig. 1B, um membro periférico 101 é disposto de modo a circundar a periferia do membro de parede de trajeto de fluxo 9. Caso o membro de parede de trajeto de fluxo 9 seja produzido de um artigo curado de resina, então o membro periférico 101 de preferência é formado do mesmo artigo curado. O fornecimento do membro periférico 101 rente com o membro de parede de trajeto de fluxo aperfeiçoa, e.g., aperfeiçoa as características deslizantes, os efeitos protetores sobre a superfície elementar do substrato, ou similar.
(Primeira Modalidade) [0027] A fig. 2 é uma vista superior em planta de uma cabeça de acordo com uma primeira modalidade da presente invenção.
[0028] A fig. 2 é uma vista superior em planta ampliada da região de marca de informação 3 nas figs. 1A e 1B, e as figs. 3A à 3H são vistas ampliadas similares à fig. 2. A estrutura de película sobre o substrato 12 é descrita com referência à fig. 5. A fig. 5 é uma vista em seção transversal tomada ao longo da linha V-V da fig. 2. Como mostrado nas figs. 2, 3A à 3H. e 5, uma cavidade em forma de caractere 4 no membro de parede de trajeto de fluxo 9 permite informações a serem dispostas na forma de um caractere atingindo uma extremidade do membro de parede de trajeto de fluxo 9, isto é, uma face lateral externa 5 do membro de parede de trajeto de fluxo. Quando as cavidades 4 são visualizadas em uma direção de um lado de face
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 11/24
6/13 munido do orifício de descarga 11 do membro de parede de trajeto de fluxo 9 no sentido do substrato 12, as cavidades 4 são vistas como um caractere. A parte das cavidades 4 vista como um caractere é uma parte entre uma parte de teto voltada para o substrato 12 do membro de parede do trajeto de fluxo 9 e o substrato 12. O membro de parede de trajeto de fluxo 9 tem uma superfície de parede interna para formar a cavidade 4, e o membro de parede de trajeto de fluxo 9 e o substrato 12 são conjugados de forma que a superfície de parede interna esteja voltada para dentro para formar a cavidade 4. Naturalmente, a invenção não está limitada a esta configuração; a superfície lateral também pode ser fechada. Além disso, para otimizar a propriedade de íntimo contato entre o membro de parede de trajeto de fluxo 9 e o substrato 12, é provida uma camada de otimização de contato íntimo 7 que é produzida de amido de poliéter sobre a superfície do substrato. Na presente modalidade, a camada de otimização do íntimo contato 7 é disposta sob o inteiro membro de parede de trajeto de fluxo da região de marca de informações 3. A cavidade 4 pode ser comunicada com a atmosfera externa ou isolada da atmosfera externa pelo membro de parede de trajeto de fluxo 9. O membro de parede de trajeto de fluxo 9 é provido entre a cavidade 4 e o trajeto de fluxo 14, ao passo que a cavidade 4 e o trajeto de fluxo 14 são mutuamente separados pelo membro de parede de trajeto de fluxo 9, desse modo impedindo que o líquido no trajeto de fluxo ingresse no interior da cavidade. A cavidade em forma de caractere 4 também pode ser provida no membro periférico 101. Neste caso, o membro periférico 101 com uma superfície de parede interna formando a cavidade 4 é ligado com o substrato 12 de forma que a superfície de parede interna esteja voltada para dentro para formar a cavidade 4. A cavidade em forma de caractere também pode ser provida quer no membro de parede de trajeto de fluxo 9 quer no membro periférico 101 ou em ambos no membro de parede de trajeto de fluxo 9 e o membro periférico 101.
[0029] Na vista ampliada da fig. 2, uma pluralidade de cavidades individualmente independentes 4 (não comunicantes) tem forma de numerais ‘7’. Ό’, e ‘3’, respectivamente, e são indicadas como numerais com três dígitos. O número de cavidades 4 pode ser usado como número de algarismos (dígitos) indicando um
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 12/24
7/13 caractere numérico de múltiplos dígitos. Naturalmente, as cavidades podem ser comunicadas entre si Outrossim, como mostrado nas figs. 3A a 3D, o caractere não está limitado a caracteres numéricos 4 também pode ser empregado para prestar uma mistura de números arábicos e números romanos como Έ”, “1”, e Ί” ou somente números romanos. Além disso, os caracteres não estão limitados a números arábicos; números gregos (fig. 3B), números chineses (fig. 3C), que são usados como caracteres em países tais como alfabetos Hangul, alfabetos cirílicos, são também aceitáveis. Além disso, como mostrado na fig. 3D, os caracteres numéricos também podem ser formados de modo que sejam lidos “0” e “4” com a face do lado externo 5 situada sobre o topo. Adicionalmente, como mostrado na fig. 3E, as cavidades 4 podem ser formadas com um formato tal que uma pluralidade de cavidades 4 sejam reconhecíveis com o caractere numérico significando “2” na linguagem coreana.
[0030] Para a leitura de caracteres, um operador pode visualmente identificar o/s caractere/s usando um microscópio proporcionando controle para sua ampliação e foco, ou alternativamente uma máquina pode identificar os caracteres. A identificação visual por um operador tem preferência pelo fato de nenhum dispositivo de leitura especial ser exigido e mesmo alguns erros na forma de caracteres podem ser superados no identificar os caracteres. Por outro lado, é igualmente possível empregar um dispositivo e identificar o numeral a partir de informações obtidas pelo dispositivo que é suscetível de obter informação relativa ao formato medindo o contraste entre o membro de parede de trajeto de fluxo 9 e a cavidade 4 utilizando luz diferente da luz visível. Neste caso, o membro de parede de trajeto de fluxo 9 convenientemente possui tais características de absorção e reflexão de luz que não prejudica as medições com luz a um comprimento de luz arbitrário usado para as medições.
[0031] As informações conferidas como informações de caractere pela cavidade 4 à região de marcação de informações 3 correspondem àqueles componentes envolvidos com a cabeça de descarga de líquido. Aqueles componentes são predeterminados antes do membro de parede de trajeto de fluxo ser provido, isto é,
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 13/24
8/13 o membro de parede de trajeto de fluxo munido de um espaço servindo como o trajeto de fluxo é formado sobre a pastilha.
[0032] A título de exemplo, os componentes incluem informações de histórico. Por exemplo, como mostrado na fig. 4, o caractere expresso pela cavidade pode mostrar um numeral para indicar onde o substrato está localizado 12 estava localizado na pastilha 15 antes de ser cortado da pastilha em unidades de chip. O item relativo a em cuja posição na pastilha os respectivos membros de parede de trajeto de fluxo são formados é predeterminado antes do membro de parede de trajeto de fluxo ser formado, para que o item supra mencionado seja armazenado na forma de caractere como as informação relativa à cabeça de descarga de líquido. Pela leitura das informações de uma cabeça de descarga de líquido individual; a posição do substrato 12 na pastilha após a separação pode ser conhecida. Isto possibilita rever e aperfeiçoar o método de manufatura baseado sobre as informações. Por exemplo, pode se rever a condição da foto máscara quando o membro de parede de trajeto de fluxo 9 é exposto à luz para ser manufaturado. A informação relativa à cabeça de descarga de líquido podem incluir informações para identificar cada cabeça de descarga de liquido, informações de identificação acerca da máscara de exposição para formar o membro de parede de trajeto de fluxo, informação relativa à data e hora e a localização de manufatura, informação relativa ao número de produtos a ser produzido, e semelhantes. As informações supracitadas são determinadas por ocasião da formação do membro de parede, para que estas informações possam ser exibidas nos caracteres da cavidade 4 tendo os formatos correspondentes às informações.
[0033] Na descrição acima, a configuração que informações correspondentes à informação relativa à cabeça de descarga de líquido são impressa como um caractere à cabeça de descarga de líquido pela cavidade 4 tendo a forma de um caractere é explanada. Todavia, a forma da cavidade 4 não está limitada à forma de caractere. A configuração da cavidade pode ser formada com um perfil reconhecível como uma marca em geral e a marca pode ser formada correspondente às informações e semelhantes relativas à cabeça de descarga de liquido. Por exemplo,
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 14/24
9/13 a cavidade pode ser formada na configuração da marca (Fig. 3F) tendo uma forma de “at sign” do teclado e de uma marca (fig. 3G) tendo a forma de um trevo, a cabeça de descarga líquida pode ser provida com a cavidade 4 tendo a forma de marca, similar à forma de caractere como descrita acima, que é produzida correspondente às informações conhecidas em avanço relativas à cabeça de descarga de líquido. A marca é usada no campo de arquitetura, contabilidade, tráfego rodoviário, comércio, e semelhantes; além de no campo escolar de matemática, física, e semelhantes, e no campo da arte de música, belas artes e similares. Como a marca, por exemplo, que é usada como um código além de como um caractere é exemplificado. Outrossim, mesmo um formato que não é geralmente usado e identificado como uma marca associada com uma matéria pode ser usada como uma marca definindo a relação entre a forma de uma marca e informações associadas com a cabeça de descarga de líquido. Por exemplo, como mostrado na fig. 3H, a forma de um círculo no qual três retângulos são dispostos conforme exemplificado. De maneira similar à forma que o caractere é produzido correspondente à informação relativa à cabeça de descarga líquida como descrita acima, uma pluralidade de marcas também pode ser produzida correspondente a uma única peça de informação.
[0034] A cavidade 4, que genericamente tem uma altura equivalente à altura do trajeto de fluxo 14 do substrato, é disposta sobre o lado de substrato 12 do membro de parede de trajeto de fluxo 9, e especificamente 5 pm ou mais alto e 20 pm ou menos. Do ponto de vista de otimizar a identificação tal como a identificação visual e semelhante na observação da superfície na direção de profundidade, a cavidade 4 pode de preferência ser de 10 pm ou mais alta. O membro de parede de trajeto de fluxo 9 é construído de um artigo curado de resina ou semelhante para ser genericamente transparente à luz visível. Mais especificamente, levando em conta a identificação visual, o membro tem de preferência uma transmissibilidade de 90% ou menos para luz a um comprimento de onda de 90% ou menos para luz a um comprimento de onda de 550 nm, preferivelmente de 10% ou menos, e preferencialmente de '% ou menos. Especificamente, o membro de parede de trajeto
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 15/24
10/13 de fluxo é formado de uma resina epóxi tendo o esqueleto de oxiciclo-hexano tal como um artigo curado de EHPE 3150 (manufaturado pela Daicel Chemical Industries, Ltd.) e um artigo curado de resina baseado em novolac no qual SU-8 (manufaturado pela Kayaku MicroChem Corp.) é conhecido. Do ponto de vista de identificação visual, é preferível não fazer uso de um aditivo que tem um alto coeficiente de absorção para a luz visível.
[0035] Na presente modalidade, as faces laterais formadoras da cavidade 4 se apresentam uma ligeira inclinação em relação à perpendicular à superfície do substrato. Assim, as faces não refletem a luz (não mostrado nas figuras) e assim bloqueiam em preto em tomo da cavidade quando visualizada da superfície do membro de parede de trajeto de fluxo. A combinação destes dois aspectos característicos torna muito fácil a leitura de numerais e marcas correspondentes às informações.
[0036] As informações históricas são providas no membro de parede de trajeto de fluxo como o padrão oco como a cavidade 4. Desse modo eliminando a necessidade por um membro especial dedicado à exibição de informações históricas, um membro protetor dedicado as informações históricas, ou semelhantes. O membro de parede de trajeto de fluxo é construído de um material que é selecionado sobre a pré-condição de que o membro seja mantido em contato com um líquido descarregado tal como tinta e semelhante por um longo tempo e possivelmente colocado em contato com o suporte de gravação ou similar. Por estas razões, a parte de display de histórico também tem a mesma resistência líquida daquela do membro de parede de trajeto de fluxo e resistência a impactos externos, desse modo permitindo que as informações históricas sejam mantidas por um longo tempo.
(Segunda Modalidade) [0037] Um exemplo de um método para manufatura de uma cabeça de descarga de líquido é descrito como uma segunda modalidade.
[0038] As figs. 6A a 6G, tomadas ao longo da linha VI-VI da fig. 1A, são vistas em seção transversal esquemática ilustrando um exemplo do método para
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 16/24
11/13 manufatura de uma cabeça de descarga de líquido da presente invenção.
[0039] Um substrato em forma de pastilha de silicone 15 mostrado na fig. 6A tem um plano de orientação de cristal <100>. O plano <100> é empregado no exemplo; todavia, a presente invenção não está limitada a esta orientação. Sobre o substrato 15 é disposta uma pluralidade de elementos geradores de energia 2, tais como resistores geradores de calor e semelhantes, para gerar energia a ser usada para descarregar líquido. Embora não ilustrada nos desenhos, a camada otimizadora de intimo contato 7 é configurada de uma resina de amido de poliéter. Mais especificamente, a camada 7 pode ser produzida de HIMAL-1200 (nome do produto) pela Hitachi Chemical Co., Ltd. A camada otimizadora de contato íntimo 7 tem uma espessura de 2 pm.
[0040] Então, como mostrado na fig. 6B, é provida uma camada de resina 16 composta de uma resina fotossensível positiva ou semelhante sobre o substrato. A resina pode ser uma resina baseada em policetona ou de uma resina a base de metacrilato. A camada de resina 16 tem uma altura de 12 pm.
[0041] Como mostrado na fig. 6C, um primeiro molde 8 na forma do dito trajeto de fluxo e um segundo molde 17 para formar a dita cavidade 4 são separadamente formados da camada de resina 16. Quando visualizada de cima do substrato no sentido da superfície do substrato (fig. 7), o segundo molde 17 tem a forma de um caractere correspondente à forma da cavidade 4 a ser formada. A camada 16 da resina fotossensível positiva é coletivamente submetida à exposição por proximidade à luz sobre a inteira superfície da pastilha para que o primeiro molde 8 possa produzir a mesma forma de caractere e o segundo molde possa proporcionar um caractere diferente por cada uma das unidades de chip. O caractere mostra a posição de cada unidade de chip na pastilha. Isto é possibilitado editando a máscara de exposição. A subsequente revelação permite o molde a ser formado. O molde é múltiplo em número correspondendo ao número de cabeças de descarga de líquido a ser manufaturado pelo recorte da pastilha.
[0042] A seguir, como mostrado na fig. 6D, uma camada de revestimento 18 que é produzida de uma resina fotossensível negativa tal como uma resina epóxi
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 17/24
12/13 fotossensível e similar e atua como um membro de parede de trajeto de fluxo, é produzida sobre o substrato de modo a cobrir o primeiro molde 8 e o segundo molde
17. A camada de revestimento 18 pode ser revestida por revestimento com centrifugação ou semelhante.
[0043] A seguir, como mostrado na fig. E, a camada de revestimento é opticamente processada, isto é, exposta à luz, revelada, desse formando uma primeira abertura 11a desse modo formando uma primeira abertura 11a servindo como um orifício de descarga e uma segunda abertura 19 para remover o segundo molde para formar a cavidade. A primeira abertura 11a é formada sobre o primeiro molde e a segunda abertura 19 é formada sobre o segundo molde. Conjuntamente com isto, o segundo molde 17 é exposto formando uma face lateral externa 20 na camada de revestimento 18. A exposição à luz e a revelação é efetuada de modo que os membros de parede de trajeto de fluxo sejam formados em pluralidade correspondente ao número de cabeças de descarga de líquido a ser formado sendo recortadas da pastilha.
[0044] A seguir, como mostrado na fig. 6F, um orifício alimentador 13 é formado no substrato 15, e o primeiro molde e o segundo molde são coletivamente removidos por dissolução, ultra-som, ou semelhante. Assim, o trajeto de fluxo 14, o orifício de descarga 11, e o membro de parede de trajeto de fluxo 9 são formados. As cavidades em forma de caractere 4 são também coletivamente juntamente com o trajeto de fluxo. A figura 8 mostra as cavidades quando visualizadas da acima do substrato. As cavidades 4 são abertas sobre o lado da face 5 do lado externo do membro de parede de trajeto de fluxo 9 e sobre o lado no qual o orifício de descarga 11 é provido pela segunda abertura 19. Subsequentemente, o substrato em forma de pastilha 15 é recortado em cubos ou semelhantes para ser dividido em um ou em um número predeterminado de membros de parede de trajeto de fluxo como uma unidade, desse modo permitindo uma cabeça de descarga de líquido a ser manufaturada com um membro de parede de trajeto de fluxo e semelhantes provido sobre o substrato 12 como uma unidade de chip.
[0045] Outrossim, as etapas de implementação que se seguem são explanadas.
Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 18/24
13/13 [0046] Como mostrado na fig. 6G, a cabeça de descarga de líquido é colocada sobre um membro de suporte 21 construído de alumina ou semelhante para interligar o substrato 12 e o membro de suporte 21 por um adesivo o semelhante. A seguir, uma face extrema 22 do substrato 13 que produzida por corte em matriz é selada com um membro de vedação 10. A vedação é efetuada por um material vedante tal como epóxi baseado em butadieno e semelhantes para proteger a face extrema contra uma névoa ou semelhante de líquido descarregado tal uma pulverização de tinta e semelhantes. Mais especificamente, um produto do material de vedação pode ser NR 200C (nome do produto) manufaturado pela Sanyu Rec Co., Ltd. Naquele método, o membro de vedação 10 é injetado por capilaridade a partir da face lateral externa 5 do membro de parede de trajeto de fluxo 9 no interior da cavidade 4. A fig. 9 é uma vista superior em planta de uma parte de exibição de informações históricas quando visualizada de acima do substrato. Como ilustrado, se o membro de vedação 10 permite o caractere a ser transparente a partir da face lateral externa 5 para o interior do membro de parede de trajeto de fluxo 9, um membro de vedação preto 10 pode ser injetado para aumentar o contraste; desse modo assegurando maior facilidade na leitura de informações históricas.
[0047] Embora a presente invenção tenha sido descrita com referência a modalidades ilustrativas, deve ser entendido que a invenção não está limitada às modalidades ilustrativas. Ao âmbito das reivindicações a seguir deve ser conferida à interpretação mais ampla de modo a abranger todas as ditas modificações e estruturas e funções equivalentes.

Claims (15)

  1. REIVINDICAÇÕES
    1. Cabeça de descarga de líquido caracterizada pelo fato de que compreende:
    um substrato tendo uma primeira superfície; e um membro de parede de trajeto de fluxo provido sobre a primeira superfície do substrato e tendo uma parede de um trajeto de fluxo comunicada com um orifício de descarga para descarregar líquido:
    em que o dito membro de parede de trajeto de fluxo é provido com uma cavidade ou de uma pluralidade de cavidades não conectadas com o dito trajeto de fluxo;
    quando visualizadas em uma direção para o dito substrato perpendicular à primeira superfície, a dita cavidade ou a pluralidade de ditas cavidades são cobertas pelo membro de parede de trajeto de fluxo e têm uma forma de uma marca, que é visível ou opticamente detectável através de uma parte do dito membro de parede de trajeto de fluxo formando uma parte de teto da dita cavidade ou da pluralidade de ditas cavidades que se volta em direção ao substrato; e a dita marca ou uma pluralidade das ditas marcas corresponde à informação relativa à dita cabeça de descarga de líquido.
  2. 2. Cabeça de descarga de líquido de acordo com a reivindicação 1, caracterizada pelo fato de que a dita marca ou uma da pluralidade de marcas é um caracter.
  3. 3. Cabeça de descarga de líquido de acordo com a reivindicação 2, caracterizada pelo fato de que o dito caractere é um caractere numérico.
  4. 4. Cabeça de descarga de líquido de acordo com a reivindicação 3, caracterizada pelo fato de que o dito caractere numérico é selecionado dentre um numeral arábico, um numeral chinês e/ou um numeral grego.
  5. 5. Cabeça de descarga de líquido de acordo com a reivindicação 1, caracterizada pelo fato de que a dita cavidade é provida na pluralidade em dito membro de parede de trajeto de fluxo; e quando visualizada em uma direção do orifício de descarga no sentido do
    Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 20/24
    2/4 substrato, a dita pluralidade de cavidades cada uma tendo a forma de um caractere numérico indica um caractere numérico de múltiplos dígitos.
  6. 6. Cabeça de descarga de líquido de acordo com a reivindicação 1, caracterizada pelo fato de que o dito membro de parede de trajeto de fluxo tem uma parte adicional formando uma parte de parede interna da dita cavidade; e dito membro de parede de trajeto de fluxo e dito substrato são unidos de modo que uma parte de superfície de parede interna se volte para dentro, para formar a dita cavidade.
  7. 7. Cabeça de descarga de líquido de acordo com a reivindicação 1, caracterizada pelo fato de que o dito membro de parede de trajeto de fluxo compreende um artigo curado de resina epóxi.
  8. 8. Cabeça de descarga de líquido de acordo com a reivindicação 1, caracterizada pelo fato de que a dita cavidade é comunicada com uma face lateral externa do dito membro de parede de trajeto de fluxo.
  9. 9. Cabeça de descarga de líquido de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 8, caracterizada pelo fato de que a dita cavidade compreende uma parede lateral de cavidade que é inclinada em relação a um normal de superfície de substrato.
  10. 10. Método para fabricar uma cabeça de descarga de líquido, a cabeça de descarga de líquido tendo um substrato, e um membro de parede de trajeto de fluxo provido sobre o substrato e tendo um trajeto de fluxo comunicado com um orifício de descarga para descarregar líquido, o método caracterizado pelo fato de que compreende:
    proporcionar, sobre o dito substrato, um primeiro molde tendo a forma do dito trajeto de fluxo e um segundo molde tendo a forma de um caractere quando visualizado a partir de acima do dito substrato em direção ao dito substrato, o dito primeiro molde e o dito segundo molde sendo mutuamente espaçados;
    proporcionar, sobre o dito substrato, uma camada opticamente transparente servindo como o dito membro de parede de trajeto de fluxo de modo a cobrir o dito primeiro molde e o dito segundo molde; e
    Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 21/24
    3/4 remover o dito primeiro molde para formar o dito trajeto de fluxo e remover o dito segundo molde para formar uma cavidade no formato do dito caractere correspondente à informação relativa à dita cabeça de descarga de líquido.
  11. 11. Método de acordo com a reivindicação 10, caracterizado pelo fato de que proporcionar o primeiro molde e o segundo molde compreende formar o primeiro molde e o segundo molde a partir de uma camada de resina fotossensível positiva provida sobre o dito substrato.
  12. 12. Método de acordo com a reivindicação 10, caracterizado pelo fato de que, após proporcionar a camada sobre o substrato, proporcionar uma primeira abertura servindo como o dito orifício de descarga sobre o dito primeiro molde da dita camada e proporcionar uma segunda abertura sobre o dito segundo molde da dita camada; e remover o dito segundo molde da dita segunda abertura para formar a cavidade não conectada ao dito trajeto de fluxo no dito membro de parede de trajeto de fluxo.
  13. 13. Método de acordo com a reivindicação 10, caracterizado pelo fato de que compreende adicionalmente:
    formar uma cavidade não conectada ao dito trajeto de fluxo no membro de parede de trajeto de fluxo pela exposição de uma parte do dito segundo molde a partir de uma face lateral externa da dita camada e remover o dito segundo molde da dita face lateral externa; e proporcionar um membro de vedação para vedar uma face extrema do dito substrato de modo a preencher a dita cavidade.
  14. 14. Método de acordo com a reivindicação 10, caracterizado pelo fato de que o dito caractere é um selecionado dentre um numeral arábico, um numeral chinês e um numeral grego.
  15. 15. Método de acordo com a reivindicação 10, caracterizado pelo fato de que a dita cabeça de descarga de líquido é fabricada proporcionando o dito membro de parede de trajeto de fluxo em pluralidade sobre um substrato de pastilha e então dividindo a dita pastilha em uma pluralidade de números com um número
    Petição 870190042852, de 07/05/2019, pág. 22/24
    4/4 predeterminado de ditos membros de parede de trajeto de fluxo como uma unidade, e a dita informação se refere a uma posição do dito membro de parede de trajeto de fluxo dentro de uma região da dita pastilha.
BRPI1003190-1A 2009-08-25 2010-08-23 cabeça de descarga de líquido e método para fabricar a mesma BRPI1003190B1 (pt)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009194455 2009-08-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
BRPI1003190A2 BRPI1003190A2 (pt) 2012-05-02
BRPI1003190B1 true BRPI1003190B1 (pt) 2019-11-05

Family

ID=43070447

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BRPI1003190-1A BRPI1003190B1 (pt) 2009-08-25 2010-08-23 cabeça de descarga de líquido e método para fabricar a mesma

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8342659B2 (pt)
EP (1) EP2289700B1 (pt)
JP (1) JP5679737B2 (pt)
KR (1) KR101331318B1 (pt)
CN (1) CN101992598B (pt)
BR (1) BRPI1003190B1 (pt)
RU (1) RU2427470C1 (pt)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5393423B2 (ja) * 2009-12-10 2014-01-22 キヤノン株式会社 インク吐出ヘッド及びその製造方法
JP5791368B2 (ja) 2011-05-20 2015-10-07 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP6000715B2 (ja) 2011-09-29 2016-10-05 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP5955082B2 (ja) 2012-04-26 2016-07-20 キヤノン株式会社 記録ヘッド及びインクジェット記録装置
US10040290B2 (en) 2016-01-08 2018-08-07 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection apparatus, and method of supplying liquid
JP6929639B2 (ja) * 2016-01-08 2021-09-01 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体の供給方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0574748A (ja) 1991-09-12 1993-03-26 Hitachi Ltd 来歴情報記録方式、及び半導体集積回路
JP3459703B2 (ja) * 1995-06-20 2003-10-27 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェットヘッド
JP3928681B2 (ja) * 1999-02-18 2007-06-13 富士ゼロックス株式会社 半導体装置およびその製造方法
JP4731763B2 (ja) 2001-09-12 2011-07-27 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法
EP1477316B1 (en) 2002-02-19 2008-05-14 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink jet head and ink jet printer
US7171748B2 (en) * 2002-08-30 2007-02-06 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing a liquid jet recording head
JP2005111976A (ja) 2003-09-18 2005-04-28 Ricoh Co Ltd 消耗部品、部品装着構造、及び画像形成装置
JP2005181560A (ja) 2003-12-18 2005-07-07 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 光導波路デバイス
JP4235820B2 (ja) * 2004-05-07 2009-03-11 ブラザー工業株式会社 インクジェット記録ヘッド、ヘッドユニット及びインクジェット記録ヘッドの製造方法
JP4194580B2 (ja) 2004-06-02 2008-12-10 キヤノン株式会社 ヘッド基板、記録ヘッド、ヘッドカートリッジ、及び記録装置
JP2006082329A (ja) 2004-09-15 2006-03-30 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP2006351772A (ja) * 2005-06-15 2006-12-28 Fujifilm Holdings Corp 半導体チップの識別情報記録方法及び撮像装置
JP4341688B2 (ja) 2006-04-12 2009-10-07 セイコーエプソン株式会社 液体収容容器
FR2906646B1 (fr) 2006-10-03 2009-01-30 Microcomposants De Haute Secur Procede de marquage individuel de circuits integres et circuit integre marque selon ce procede.
US7571970B2 (en) * 2007-07-13 2009-08-11 Xerox Corporation Self-aligned precision datums for array die placement
JP2009274266A (ja) 2008-05-13 2009-11-26 Canon Inc 半導体チップ及び、インクジェット記録ヘッド

Also Published As

Publication number Publication date
BRPI1003190A2 (pt) 2012-05-02
US8342659B2 (en) 2013-01-01
CN101992598B (zh) 2014-05-07
JP2011068129A (ja) 2011-04-07
EP2289700B1 (en) 2013-07-03
US20110050828A1 (en) 2011-03-03
JP5679737B2 (ja) 2015-03-04
KR20110021659A (ko) 2011-03-04
KR101331318B1 (ko) 2013-11-20
EP2289700A8 (en) 2011-04-27
RU2427470C1 (ru) 2011-08-27
EP2289700A1 (en) 2011-03-02
CN101992598A (zh) 2011-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BRPI1003190B1 (pt) cabeça de descarga de líquido e método para fabricar a mesma
US10625506B2 (en) Method for manufacturing liquid discharge head
IT201600079679A1 (it) Scheda di misura di dispositivi elettronici
EP0604118B1 (en) Ink cartridge with ink level indicator
ES2244984T3 (es) Cinta codificadora de la posicion y metodo que utiliza una cinta de codigo de material compuesto.
JP5202373B2 (ja) インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
JP2011042167A (ja) シリコン基板の加工方法および液体吐出ヘッド用基板の製造方法
US8408678B2 (en) Liquid ejection head and method for producing the same
US20190217617A1 (en) Method of producing structure, protective substrate, and method of producing protective substrate
JP2017032315A (ja) 計器装置
JP3928681B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP6972784B2 (ja) インプリント装置
CN112997233B (zh) 介质
CN218232263U (zh) 粘合片
CN114038316B (zh) 具有光学胶层的显示器
JP2004311552A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP6066693B2 (ja) 電子デバイス
JP2004237613A (ja) カード
ES2954377A1 (es) Visualizador
JP2754707B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置
BR202019005931U2 (pt) Anel híbrido de proteção de borda e registro para camisas porta clichê de impressão flexográfica
CA3127421A1 (en) Fluid property sensor
JP2006332507A (ja) 電子部品収納用パッケージ、電子部品搭載用基板および電子装置
JPS61224421A (ja) パタ−ンの目合せ方法
JP2007216631A (ja) インクジェット記録ヘッド用基板及びそれを用いたインクジェット記録ヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
B03A Publication of a patent application or of a certificate of addition of invention [chapter 3.1 patent gazette]
B06F Objections, documents and/or translations needed after an examination request according [chapter 6.6 patent gazette]
B06T Formal requirements before examination [chapter 6.20 patent gazette]
B09A Decision: intention to grant [chapter 9.1 patent gazette]
B16A Patent or certificate of addition of invention granted [chapter 16.1 patent gazette]

Free format text: PRAZO DE VALIDADE: 20 (VINTE) ANOS CONTADOS A PARTIR DE 23/08/2010, OBSERVADAS AS CONDICOES LEGAIS.

B22E Other requirements [chapter 22.5 patent gazette]

Free format text: PARA QUE A PETICAO NO 870200052448 DE 27/04/2020, SEJA CONHECIDA, DEVERA SER APRESENTADO DOCUMENTO DE PROCURACAO OUTORGADO PELO DEPOSITANTE, NO ORIGINAL OU COPIA AUTENTICADA, DANDO-LHE PODERES PARA RENUNCIAR A PATENTE.

B22T Previous entry in chapter 22 of patent gazette cancelled [chapter 22.20 patent gazette]

Free format text: ANULADA A PUBLICACAO CODIGO 22.5 NA RPI NO 2582 DE 30/06/2020 POR TER SIDO INDEVIDA.

B22E Other requirements [chapter 22.5 patent gazette]

Free format text: PARA QUE A PETICAO NO 870200074004 DE 15/06/2020 SEJA CONHECIDA, DEVERA SER APRESENTADO DOCUMENTO DE PROCURACAO OUTORGADO PELO DEPOSITANTE, NO ORIGINAL OU COPIA AUTENTICADA, DANDO-LHE PODERES PARA RENUNCIAR A PATENTE.

B22B Petition not considered [chapter 22.2 patent gazette]

Free format text: NAO DEVE SER CONHECIDA A PETICAO NO 870200074004 DE 15/06/2020, EM VIRTUDE DO DISPOSTO NO ARTIGO 219 INCISO II DA LPI NO9.279/96, UMA VEZ QUE NAO TEVE SUA EXIGENCIA CUMPRIDA.

B21F Lapse acc. art. 78, item iv - on non-payment of the annual fees in time

Free format text: REFERENTE A 11A ANUIDADE.

B24J Lapse because of non-payment of annual fees (definitively: art 78 iv lpi, resolution 113/2013 art. 12)

Free format text: EM VIRTUDE DA EXTINCAO PUBLICADA NA RPI 2634 DE 29-06-2021 E CONSIDERANDO AUSENCIA DE MANIFESTACAO DENTRO DOS PRAZOS LEGAIS, INFORMO QUE CABE SER MANTIDA A EXTINCAO DA PATENTE E SEUS CERTIFICADOS, CONFORME O DISPOSTO NO ARTIGO 12, DA RESOLUCAO 113/2013.