JPH02249648A - インクジェット記録ヘッド用基体及び該基体を用いたインクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、多数の電気熱変換体を支持体上に配列したイ
ンクジェット記録ヘッド用基体及び該基体を用いたイン
クジェット記録ヘッドに関する。

［背景技術］ 多数の電気熱変換体を支持体上に配列したインクジェッ
ト記録ヘッド用基体及び該基体を用いたインクジェット
記録ヘッドの製造工程段階における、あるいは完成後の
品質管理や各種検査後の状態変化の観察等を行なうため
に、各電気熱変換体に固有の認識番号を表示できる手段
を基体に設けることが行なわれている。

例えば、第１０図に示すように一定間隔（図では１６個
）おきに角を欠いたパターン３−１を有する基準番号電
極を配置して、各電気熱変換体の認識番号を表示するこ
とができる。

また、第１１図に示しように、代表的な認識番号（基準
番号）を示す数字自体を所定位置にフォトリソ工程を用
いた方法によって書き込む方法もある。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、第１０図に示したような方法においては
、多数の電気熱変換体を高密度で配列した場合、基準番
号電極が何番の電極であるかを正確かつ短時間に知るこ
とが容易でなく、短時間で正確な検査を行なう上での障
害となっていた。

更に、第１１図に示したような方法では、数字自体の縮
小化に限界があり、電気熱変換体をより高密度化する場
合に対応できない。

例えば、４ＱＯＤＩＰ　　（Ｄｏｔ、Ｐａｒ　Ｉｎｃｈ
）以上の密度で発熱抵抗体を配列した場合に、それに合
せて数字を縮小化すると、拡大のための光学系を介して
の目視による観察やＣＯＤカメラ、光学顕微鏡及びコン
ピューター等を組み合せた自動読み取り装置を利用した
自動検査の際の数字の読み取りが容易でないという問題
があった。

本発明の目的は、形成が容易であり、占有面積の縮小化
が可能であり、かつ拡大のための光学系を介しての目視
による観察や、自動検査の際の読み取りが容易である電
気熱変換体の認識番号を表示するマークを有するインク
ジェット記録ヘッド用基体及び該基体を用いたインクジ
ェット記録ヘッドを提供することにある。

Ｃ課題を解決するための手段〕 本発明のインクジェット記録ヘッド用基体は、支持体と
、該支持体上に設けられ、発熱抵抗体と該発熱抵抗体に
電気的に接続された電極とを有する電気熱変換体の複数
と、ドツトの配置により各電気熱変換体の固有認識番号
を表示する表示マークと、を有することを特徴とする。

本発明における表示マークは所定領域内でのドツトの配
置状態で番号を表わすものであり、微少面積中に容易に
形成可能であり、しかも目視及び自動検査においても読
み取り易い形状を有する。

また該表示マークは、例えば、電気熱変換体を構成する
電極及び発熱抵抗体のフォトリソグラフィーを利用した
パーターンニングの際の露光時の露光パターンに、表示
マークの形成に必要なパターンを付加する等の簡単な工
程変更によって容易に、かつ正確な位置に形成すること
ができる。

しかしながら、表示マーク４の形成用材料及び形成方法
はこれに限定されず、種々の方法が利用できる。

なお、電極層及び発熱抵抗体層を用いて表示マークを形
成する場合には、これらの１形成用材料が具なる反射率
を有する層を形成できるものであればよい。

［実施例］ 以下本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。

実施例１ 第１図及び第２図（ａ）、（ｂ）に示したインクジェッ
ト記録ヘッド用基体は、支持体１上に、発熱抵抗体２ａ
（発熱抵抗層２の電極層間露出部分であり、通電するこ
とにより発熱する発熱部を有する）と発熱抵抗体２ａに
電気的に接続された電極３ａ、３ｂを有する電気熱変換
体の多数が所望の密度で配置され、更に代表的な電気熱
変換体上方（基体端片側）に対応する固有認識番号を表
示する表示マーク４が設けられた構成を有する。

表示マーク４は、第２図（ａ）、（ｂ）に示したように
、発熱抵抗体層からなる下層４−２上に電極層からなる
凸状ドツト４−１を表示する番号に応じて配置した構成
を有する。

なお、発熱抵抗層と電極層とが異なる反射率を有してい
るので、ドツト４−１と下１ｗ４−２の識別が可能であ
る。

第３図に示すように、上方から見た表示マーク４の上段
（■の段）は十位を、下段（■の段）は−位をそれぞれ
表わし、■〜■の列は二進法による数を表示し、■から
■方向に、より上位の桁を表わす。

■〜■の列の各区分内にドツト４−１がある場合は二進
法での「ｌ」を、ドツト４−１がない場合は二進法での
「０」を表わす。

例えば、第３図（ａ）の表示マークは、−位が二進法の
ｒｏｏｏｌＪ、十位が二進法の「０００１」であるので
、十進法における「１１」を表わす。

第３図（ｂ）の表示マークは、−位が二進法のｒｏｏｌ
ｏＪ、十位が二進法の「００１ｏ」であるので、十進法
における「２２」を表わす。

第３図（ｃ）　〜（ｆ）は、同様に４４．８８．３４及
び５１をそれぞれ表わす。

この表示マーク４は、支持体ｌ上に積層された発熱抵抗
１及び電極層をパターニングして、電気熱変換体を形成
する際に、これらの層の一部が所定形状の下層４−２及
び該下層上の所定位置に配されたドツト４−１として支
持体上に残されるようにすることにより形成することが
できる。

発熱抵抗層及び電極層のパターニングにフォトリソ工程
を利用した方法が用いられる場合には、露光マスクに表
示マーク形成用パターンを追加しておくことで、表示マ
ークを電気熱変換体と同時形成できる。

なお、支持体１、発熱抵抗体２ａ、電極３ａ、３ｂの形
成には、通常用いられている材料が利用できる。

表示マーク４の形状は、すなわちドツト４−１及び下層
４−２の形状は、図示した例に限定されず種々の形状と
することができる。

例えば、ドツト４−１は、円形等の種々の形状とするこ
とができる。

以上説明した構成の基体上に、常法に従って、各発熱抵
抗体２ａに対応する液路及び吐出口等を設けることによ
り、例えば第４図（ａ）及び（ｂ）に示す構造のインク
ジェット記録ヘッドを得ることができる。

なお、インクジェット記録ヘッドの各部分の構成材料と
しては通常利用されているものが利用できる。

以上説明した表示マークを設けることによって、基体の
通電試験等の後の検査やインクジェット記録ヘッドの印
字試験後の検査等を行なう場合に、各電気熱変換体の正
確な認識番号を短時間のうちに容易に知ることができる
。

実際に、第４図（ａ）、（ｂ）に示す構成のインクジェ
ット記録ヘッドを以下の操作により作成し、吐出口８の
配列面側から液路９内を金属顕微鏡や実体顕微鏡により
観察して各電気熱変換体の固有認識番号を容易に知るこ
とができた。

熱酸化により形成したＳｉＯｘ層（層厚２゜７５μｍ）
を表面に有する支持体１としてのシリコン板上に、発熱
抵抗層としてのＨｆＢ１層（層厚０．１３μｍ）をバイ
アススパッタにより形成し、更にＨｆ　Ｂ　ｚ層上に電
極層３としてのＡ１層（層厚０．５５μｍ）をバイアス
スパッタにより積層した。

次に、フォトリソグラフィー工程を利用したパターニン
グにより、第１ｒＩ！Ｊ及び第２図（ａ）、（ｂ）に示
す形状でこれらの層が支持体１上に残されるようにして
、電極３ａ、３ｂ（線幅、２６μｍ）、発熱抵抗体２ａ
（１００μｍＸ２０μｍ、配列ピッチ６３．５μｍ）及
び表示マーク４［下Ｎ４−２（１４μｍ×２８μｍ）、
ドツト４−１（７μｍ×７μｍ）］を形成した。

次に、電極３ａ、３ｂ及び発熱抵抗体２ａの少なくとも
液路や液室直下となる部分に、保護層１０（ＳｉＯｘ屡
、層厚　１．９μｍ）をバイアススパッタにより設けた
。

次に、フォトリソ工程を利用した方法により、エポキシ
系樹脂の硬化層からなる液路９及び液室（不図示）の壁
を形成し、更に天板６をこれに接合して、第４図（ａ）
、（ｂ）に示す構成のインクジェット記録ヘッドを得た
。

実施例２ 第５図及び第６ｒＩＩＪ（ａ）　〜（ｆ）　ニ示すヨｌ
に、万位を表わす■の段を更に設けることにより十進法
の３桁の数を表示することができる。

なお、第６図（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ１．６４．１２
８．４４８．８３４及び９０６を表わす。

このように、ドツト４−１を配置できる段の数を増加さ
せることにより、より大きな数を表示することができる
。

実施例３ 第７図及び第８図（ａ）〜（ｄ）に示す表示マークは上
下２段、縦４列の区分からなる表示マークを２つ並列し
て、千位まで表示できるようにしたものである。

すなわち、第８図（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、１．１８
２２．１２８０及び４７３６を表わす。

第７図に示した表示マークを用いる場合、電気熱変換体
の配列密度によっては、第７図に示すように２つの表示
マークが複数の電気熱変換体にわたって形成される場合
があるので、例えば角部を欠くパターン１１を電極に付
与することにより、表示マークがどの電気熱変換体の固
有番号を示すのかを明確とすることができる。

実施例４ 上述の実施例１〜３において、液路内の発熱抵抗体に対
応する位置へ液体が供給される方向と、吐出口から液体
が吐出される方向とがほぼ同一であるインクジェット記
録ヘッドに有用な表示マークの配置態様が示されたが、
これらの方向が例えば直角と異なるタイプのインクジェ
ット記録ヘッドの場合には、例えば第９図に示すような
位置に表示マーク４を配置すれば良い。

［発明の効果］ 本発明においては、読み取りの容易な電気熱変換体の固
有認識番号を表示する表示マークによって、各電気熱変
換体の正確な固有認識番号を、目視の場合にも短時間の
うちに知ることができる。

また、二進法による表示とＣＣＤカメラ、光学顕微鏡及
びコンピューター等を組み合せた自動読み取り装置を用
いた自動検査とを組み合せれば、固有認識番号の認識を
自動的に行なうことができる。

従って、各種検査における電気熱変換体の固有認識番号
の認識の効率化が可能である。

更に、本発明における表示マークは、電気熱変換体と同
一材料で同時形成でき、しかも数字自体を書き込む場合
と比べてその占有面積の縮小化が極めて容易である。従
って、電気熱変換体の高密度化に十分対応できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のインクジェット記録ヘッド用基体の要
部の繰り返し部を省略した平面図、第２図（ａ）は第１
図のＢ−Ｂ線部分断面図、第２図（ｂ）は第１図のＡ−
Ａ線部分断面図、第３図（ａ）〜（ｆ）は表示マークの
一例を示す平面図、第４図（ａ）は第１図に示した基体
を構成の一部とするインクジェット記録ヘッドの繰り返
し部を省略した斜視図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）の
記録ヘッドの液路に沿った部分断面図、第５図及び第７
図は表示マークの他の例の配置を示す繰り返し部を省略
した平面図、第６図（ａ）〜（ｆ）及び第８図（ａ）〜
（ｄ）は表示マークの他の例の構成例を示す図、第９図
は表示マークの配置の他の例を示す繰り返し部を省略し
た平面図、第１０図及び第１１図は従来例を示す繰り返
し部を省略した平面図である。 １：支持体 ２：！！熱抵抗層 ２ａ：発熱抵抗体 ３：電極層 ３ａ、３ｂ：電極 ３−１，１１：角部な欠くパターン ４：表示マーク ４−１＝ドツト ４−２：下層 ５：液体供給口 ６：天板 ７：硬化樹脂Ｍ ８二吐出口 ９：液路 １０：保護暦 第 図 （ａ） 粥 図 （ｂ） （ａ） （ｃ） （ｅ） （ｂ） （ｄ　”） （ｆ） に 第 １゜ 図 ３良 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）支持体と、該支持体上に設けられ、発熱抵抗体と該
   発熱抵抗体に電気的に接続された電極とを有する電気熱
   変換体の複数と、ドットの配置により各電気熱変換体の
   固有認識番号を表示する表示マークと、を有することを
   特徴とするインクジェット記録ヘッド用基体。 ２）前記表示マークが前記電気熱変換体と同一材料で同
   時形成されたものである請求項１に記載のインクジェッ
   ト記録ヘッド用基体。 ３）前記表示マークが二進法による数の表示をドットの
   配置により表わすものである請求項１に記載のインクジ
   ェット記録ヘッド用基体。 ４）前記表示マークのドットが、発熱抵抗体層上に島状
   に配置された電極層である請求項３に記載のインクジェ
   ット記録ヘッド用基体。 ５）請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェット記
   録ヘッド用基体上に、各発熱抵抗体の発熱部に対応させ
   て、該発熱部からの熱エネルギーを用いて液体を吐出す
   る吐出口に連通する液路が形成されていることを特徴と
   するインクジェット記録ヘッド。