KR20110016459A

KR20110016459A - 물체 운반 방법 및 장치

Info

Publication number: KR20110016459A
Application number: KR1020107029617A
Authority: KR
Inventors: 비탈리 포토피베; 디르크 바라이스; 콘라드 칼텐바흐; 프랑크 델라이예
Original assignee: 레나 게엠베하
Priority date: 2008-06-19
Filing date: 2009-06-19
Publication date: 2011-02-17
Also published as: CN102105974B; US9355880B2; CN102105974A; ES2396037T3; KR101225003B1; WO2009153061A1; US20110097160A1; DK2289097T3; EP2289097A1; EP2289097B1

Abstract

본 발명은 대체로 평평하고 자유롭게 이동가능한 물체들을 운반하는 방법들 및 장치들에 관한 것으로서, 적어도 분출 유체를 이용하여 유지 및 가이드된다.
본 발명에 따른 장치는 복수의 관통공들을 갖는 적어도 하나의 유입 구역을 구비한 적어도 하나의 처리 표면, 및 유입된 후의 액체를 배출하는 적어도 하나의 배출 구역을 포함하고, 평평한 물체를 가이드 하기 위해 비유체적인 엣지, 리미터, 또는 다른 기계적인 가이드 보조 기구를 포함하지 않는다.
본 발명에 기초한 운반 기구는 바람직하게는 평평한 물체들 또는 기판들의 처리 시설들 내 그리고 처리 시설들 사이에 사용될 수 있다. 또한, 바람직하게는 운반 액체가 각각 관련 특성들 또는 관련 물질들 또는 관련 활성제들을 갖는 경우, 습식 화학 처리가 동시에 수행될 수 있다.

Description

물체 운반 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR TRANSPORTING OBJECTS}

본 발명은 대체로 평평한 물체들을 운반하기 위한 방법들과 장치들에 관한 것으로서, 상기 운반은 분출되는 유체를 이용하여 이루어진다. 본 발명은 또한 상기한 물체들을 운반하기 위한 방법들과 장치들 뿐만 아니라, 동시에 물체들을 습식 화학 처리(simultaneous wet chemical treatment)하는 것에 관한 것이다.

먼저, 본 발명을 이해하는데 중요하지만 구어로서 분명한 의미를 갖지 않는 몇몇 용어들은 본 발명의 명세서에서 정의되어 있다.

평평한 물체의 "운반(transporting)"은 운반될 물체의 위치를 일부 변경(local change)하는 것 뿐만 아니라, 이후에 "적재(carrying)"라 불리는 물체의 어떠한 동시 이동도 없이 이 위치를 단순히 유지하는 것도 포함한다.

그러므로, "적재(carrying)" 또는 "유지(holding)"는 각각, 평평한 물체가 실질적으로 정지상태에 있는 것, 즉 어떠한 방향으로도 운송 속도를 갖지 않는다는 것을 의미한다. 장치는 유지를 위해 필요한 적재(carrying)력을 제공한다.

물체는 원하는 방향으로 이동되기 위해 "이송(feed)"에 노출되어야 하며, 이에 따른 이송력(feed force)이 물체에 가해진다.

물체가 이송 중에 소정의 코스나 트랙을 유지하기 위해, 물체는 추가적으로 "가이드(guided)"되어야만 하며, 이것이 물체에 가이드 힘(guiding force)이 작용하는 이유이다. "가이 딩(guiding)"을 위해 제공되는 가이드 힘은 운반 동작에 필요한 이송력과는 구별되어야 한다.

이하에서는, "운반(transporting)"이라는 용어는 "유지(holding), 가압(pushing forward), 및/또는 가이드(guiding)" 대신에 총괄적으로 사용될 것이다.

"기계적인 작용(mechanically acting)"은 전술한 힘들의 전달이 기계적인 수단에 의해 일어나는 것을 의미한다. 이것은 예를 들면 플라스틱이나 금속으로 이루어진 수단 뿐만 아니라, 예를 들면 젤과 같은 매우 부드러운 물질로 이루어진 수단 등 모든 비유체적인 방법들을 포함한다. 그러나, 액체 및 가스 물질은 포함하지 않는다.

평평한 물체가 기계적인 작용 수단에 의해 적재, 유지, 또는 가이드되지 않을 때, 평평한 물체는 "자유롭게 이동 가능(freely movable)"하다.

공지의 기술 상태로부터, 예를 들면 그리퍼(grippers), 지지 기구(supports), 카세트(cassettes) 등은 평평한 물체(이하에서 기판들 또는 간략하게 물체들로도 불린다)을 유지하는 기구로 잘 알려져 있다. 이들 중에, 평평한 물체의 유지 기구는 이들 물체를 고정한 상태에서 처리할 때 필요하다. 기판을 중력에 대항하여 지지하거나 그리고/또는 기판의 중심을 잡기 위하여, 즉 기판을 원하는 위치에 유지하기 위하여 기판이 기계적으로 접촉되어야 한다는 사실은 특히 공지된 장치들의 특유한 점이다. 이 접촉은, 기판이 지지 기구 위에 배치된다면, 전형적으로 기판의 밑면과 관련이 있다. 변형예로써 또는 추가적인 예로써, 이 접촉은 일반적으로 기판의 측면 손상이 방지되어야만 하기 때문에, 기판 엣지(들)을 포함할 수 있다. 이는 또한, 예를 들면 기판이 분출되는 처리액에 의해 아래에서부터 상승되어, 액체 쿠션 상에 떠 있는 경우에, 따라서 (기계적으로 작용하는)지지 기구 상에 연속적으로 배치되지 않아야 하는 경우에 있게 된다. 또한, 유지하는 동안 지지 기구와 물체 사이에 모세관 힘들이 발생되면, 이 접촉은 또한 불리하다. 그 이유는 지지 기구의 기계적인 접촉이 발생할때까지, 추가적인 스페이서들 없이 모세관 틈새가 자연스럽게 줄어들기 때문이다.

평평한 물체들의 부드러운 가이드는, 운반 기구들이 바람직하게는 처리 시설들 내에서 그리고 처리 시설들 사이에서 기판들의 운반을 위해 사용되기 때문에, 운반 기구들의 관점에서 중요하다. 또한, 사용되는 액체가 적절한 특성들을 구비하거나 해당 물질들 또는 활성제들을 각각 포함한다면, 바람직하게는 습식 화학 처리가 운반과 동시에 진행될 수 있다.

기술된 각각의 경우들에서, 적용된 운반 기구들은 하나의 처리 시설에서 다음의 처리 시설까지, 또는 예를 들면 처리액 내로 그리고 다시 처리액 밖으로, 하나의 처리 시설 내에서 가능한한 부드럽게 기판들을 이송할 필요가 있다. 운반 기구는 처리될 영역들(예를 들면 기판의 일측면)이 깨끗한 상태로 유지되고, 운반 중에 항상 덮이지 않도록 설계되어야만 한다. 운반 중에 물체들이 항상 소정의 운반 트랙을 따라가도록 해야 한다.

특히 단순한 운반을 넘는 처리의 경우에, 기판들은 정해진 시간 동안 운반 기구 및/또는 처리액, 예를 들면 세정액이나 부식액 또는 코팅액과의 접촉 상태로 매우 자주 되어야져야만 한다. 운반 중에, 처리 기간은 결과에 중요한 영향을 미친다. 특히, 원하는 처리 기간을 만족시키기 위해 공지의 기술에 의해 다음의 두 방법들이 제공된다. 첫번째 방법에 따르면, 기판은 처리 중에 실질적으로 고정되어 있다. 처리 기간은 운반 기구가 기판을 처리액(처리조) 내에 놓아두는 동안의 기간으로 주어진다. 두번째 방법에 따르면, 기판은, 처리 중에 예를 들면 특정 길이(질렬 설비, 직렬 방법)를 갖는 수반 내에 존재하는 처리액의 표면을 따라서 운반 기구에 의해, 실질적으로 추가로 운반되어 진다. 이를 위해, 보통의 얇은 기판들의 부유를 방지해야 하는 다운홀더들(downholders)이 종종 사용되고 있다. 일반적으로, 직렬의 방법은 많은 처리량의 관점에서 바람직하다.

일반적으로 처리에 필요한 처리액의 혼합 및 교환은 처리조 내에서의 기판(들)의 상대적인 운동을 일시 정지시킴으로써 또는 예를 들면 노즐 등을 이용함으로써, 처리조 시설들 안에서 이루어질 수 있다. 인라인(in-line) 시설들에서는, 기판과 처리액 사이의 상대적인 운동이 시스템 내에서 존재하고, 따라서 차후 발생하는 소모된 액체의 교환은 노즐에 의해 또는 보(weirs) 등을 통해 이루어진다.

기판의 운반 중에, 체인, 롤, 롤러, 소재 운반기구나 그리퍼를 통해 기판이 운반되지만, 많은 문제들이 발생된다. 이 문제들은 있을 수 있는 기판 트랙의 손상 뿐만 아니라 운반 중의 기계적인 하중과 종종 관련이 있다.

운반될 기판의 트랙의 손상 원인은 예를 들면 운반 기구의 뒤틀림을 일으킬 수 있는 기계적인 진동과 온도 변화일 수 있다. 또 다른 원인은 주로 이송력들을 확실하게 전달하기에는 불충분한 마찰력을 초래하는 기판들의 대개의 작은 질량이다. 먼저, 트랙의 손상은 운반 중에 다른 기판들과 충돌할 위험, 또는 상기한 시설들에 일반적으로 형성어 있으며 기판들이 원하는 트랙으로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있는 (측면)가이드들과 충돌할 위험을 초래한다. 추가적으로, 추가 처리 단계나 재배치를 위해 운반 물체를 픽업하는 것은 복잡하기 때문에, 픽업이 아마 자동적으로 이루어지지 않았었는지도 모른다.

평평한 기판들을 가이드 또는 운반하는 장치들은 각각, 이 기술분야에 공지된 것이지만, 개시된 해결책들은 운반 및/또는 가이드에 있어서 항상, 운반될 물체와 운반 기구 사이의 기계적인 접촉을 수반한다.

이미 상술한 다운홀더들을 구비한 운반 기구가 예를 들면 문헌 EP 1 354 830 B1에 개시된다.

여기서, 처리 시간은 (정확하게 조절가능한)기판의 운반 속도에 의해, 그리고 처리액을 수용하고 있는 수반의 길이에 의해 결정된다. 그러나, 기판들은 앞에서 언급한 문제들을 초래하는 기계적 수단에 의해 유지된다. 개시된 유사한 시설들의 또 하나의 결점은 샤프트로 인해 발생되는데, 샤프트들의 구동장치들은 일반적으로 처리 수반의 외측에 배치된다. 수반 벽을 관통해 돌출된 샤프트들 때문에 필요하게 된 씰들(seals)은 예를 들면 불산(HF)이나 염산(HCL) 등의 처리 물질의 강한 부식력으로 인해 특히 마모되기 쉽다. 또한, 종종 긴 샤프트들이 약간 휘어지는데, 이것이 기판의 운반 중에 정밀하지 못한 결과를 초래한다.

파손되기 쉬운 평평한 기판들을 운반하는 다른 장치가 문헌 EP 1 350 830 A1 "운반 롤, 다운홀더, 및 운반 시스템"에 개시되어 있다. 개시된 운반 롤은 그의 설계와 재료 선정으로 인해 온도 변화에 대하여 매우 낮은 민감성을 나타내며, 그래서 평평한 기판의 부드러운 운반을 가능하게 한다. 그러나, 위의 발명은 운반될 제품이 놓여지는 (기계적으로 작용하는)롤 이외에, 소위 트랙 키퍼(track keepers)를 더 개시한다. 그러나, 이들은 특히, 평평한 기판들과의 측면 상태에 있으며, 트랙이 손상되는 동안에, 그것은 결과적으로 기계적 노출을 초래하므로 바람직하지 않다.

평평한 기판들의 특히 부드러운 운반을 위한 또 다른 장치가 문헌 DE 40 39 313 A1에 개시되어 있다. 여기서, 운반은, 운반 표면으로서 설계된 표면을 따라 분출되어, 기판을 운반하고 앞으로 밀어내는 분출 액체막(streaming liquid film)을 통해서 이루어진다. 이 액체막의 발생을 위해, 운반 표면은 기울어진 틈새들을 구비하고 있는데, 이 틈새들을 통해 액체가 아래에서 위로 분출되어 기판들의 밑면과 대향하게 된다. 운동 방향은 운반 방향으로 형성된 틈새의 경사에 의해 결정된다. 운반될 기판들이 운반 기구에 지지되고 측방향으로 이탈되지 않도록 하기 위해, 장치는 운반 표면의 양측면들을 따라 배치된 가이드들로서 측면 엣지들을 구비한다. 가이드들과 충돌이 일어나면, 반작용의 가이드 힘이 기판들에 작용하여, 기판이 측방향으로 이동하더라도 기판이 운반 표면 상에서 가이드되어 진다. 그러나, 앞에서 언급한 것처럼, 기계적으로 작용하는 측면의 리미터들은 바람직하지 않은 것이다. 또한, 분출되는 운반 물질의 압력 및/또는 틈새들의 경사각을 변화시켜 운반 속도를 조절하고 유지하는 것은 매우 제한적인 범위만이 가능하다. 앞서 존재하는 운반 속도는 가이드들과의 예측할 수 없는 우발적인 충돌에 의해 감소되며, 이것은 그에 따른 부정확한 운반 시간을 초래하며, 예를 들면 동시에 습식 화학 처리가 진행되는 경우에, 불균일한 처리 결과를 초래한다. 운반 속도에 영향을 미치는 경사각은 플랜트를 건설하는 동안의 설계에 의해 결정되고, 나중에 예를 들면 실제 운반 상황에 의해 변경될 수 없다. 또한, 운반 중에 기판의 일시 정지가 불가능하다, 그 이유는 운반 물질이 부족하여 기판의 밑면이 바닥면과 기계적인 작용, 즉 물리적 접촉을 하기 때문이다. 이것은 원하지 않는 것이다. 이 때문에, 개시된 운반 기구는 운반을 위해서만 제공되고, 기판들의 처리를 위해서 제공되지는 않는다.

또한 운반 수단으로서의 방출된 매질 스트림(stream)에 기초하는 장치가 문헌 DE 693 965 61 T2에 개시되어 있다. 그러나, 이 발명에 따르면, 특히 가요성 밴드들 등의 운반될 물체들은 가스상태의 유체에 의해 떠받쳐져 흐르게 되어, 상승될 뿐만 아니라 부가적으로 운반 방향을 향하는 유체 스트림을 통해 이동된다. 이 문헌은 또한 물체들을 가이드 하는 측면 말단 걸리개(end-stops)를 개시한다. 아주 특정한 압력 조건들이 기구의 정확한 작동을 위해서는 유지되어야만 하고, 이 압력 조건들은 다른 것들 중에서도, 유체 배출구들의 정확한 위치 결정 및 치수 결정에 의해 결정된다.

문헌 DE 693 049 17 T2는 또한 운반 평면과 실질적으로 수직으로 배열된 특별하게 형성된 배출구들에 기초하여 기계적인 접촉없이 물체들을 운반할 수 있는 그러한 시스템을 개시한다. 그러나, 이 문헌은 물체들의 측면 가이드를 위해 관련 말단 걸리개가 제공되기 때문에, 운반 평면과의 기계적인 접촉이 제한된다. 이 장치는 수평 이외의 방향으로 물체들을 운반할 수 있도록 하기 위해 서로 차압(differential pressure)을 제공한다. 이것은, 물체가 운반 표면에 배치된 해당 배출구들에 의해 생성되는 에어 쿠션 상에서 부유되기 때문에, 이와 동시에 운반될 물체가 기계적인 접촉없이 운반 표면을 향하는 방향으로 밀쳐지도록 한다. 또한 차압이 물체들의 표면과 수직하게만 작용하기 때문에, 차압은 물체들을 가이드하는데 사용될 수 없다. 또한, 이 장치는 물체들의 운반만을 위한 것이고, 본 발명에서 말하는 "처리(treatment)"를 위한 것이 아니다.

문헌 US 3,761,002 또는 EP 0 408 021 B1은 추가적인 회전을 가능하게 한다. 문헌 US 3,761,002는 에어 쿠션들을 개시하는 한편, 운반될 물체들의 측방향 이탈을 방지하기 위하여 문헌 EP 0 408 021 B1에 따른 측면 덮개들을 필요로 한다.

이 기술분야에 공지된, 기판들을 들어올리는 힘 만이 아래에서부터 작용하는 해당 유입에 의해 이루어지는, 다른 장치들은 하강을 통해 전방으로의 운반에 필요한 힘 성분을 발생시킨다. 그러나, 기판의 측방향 이탈을 방지하는 기계적으로 작용하는 가이드들의 문제는 여기에서 해결되지 않았다. 또한, 자연 하강을 이용하기 때문에 운반 속도의 정확한 조절성을 충분하게 얻을 수 없다. 특히, 특정한 운동 프로파일들을 제공하는 것이 거의 불가능하므로, 주어진 처리 시간 동안을 충분히 정확하게 유지할 수 없다. 또한, 운반될 기판들을 일시적으로 정지시키는 것도 다른 보조 기구들 없이는 불가능하다.

따라서, 본 발명의 목적은 평평한 기판들을 제어된 속도로, 바람직하게는 일정한 속도로 부드럽게 운반하는 방법과 장치를 제공하는 것이며, 여기서 특히, 가이드 보조 기구들로서의 측방향 엣지, 말단 걸리개 등이 생략될 수 있어, 기판의 표면 또는 기판의 엣지가 가이드를 위한 기계적인 작용 요소들과 어떠한 접촉도 발생되지 않는다. 이 방법 및 장치는 개개의 기판들 뿐만 아니라, 연속적으로 그리고/또는 인접하게 위치된 다수의 기판들을 운반하기에 적합할 것이다. 바람직하게는, 기판들의 습식 화학 처리가 운반과 동시에도 수행될 수 있다. 장치에서의 체류 시간은 원하는 처리 시간을 유지하기 위해 정확하게 조절될 수 있다. 더 바람직하게는, 운반 방향으로 기판들을 전달할 수 있을 뿐만 아니라, 기판들을 일시적으로 정지시킬 수 있으며, 여기서 기판들은 주변과 기계적으로 작용하는 접촉이 발생되지 않거나 단지 미미하게 접촉된다.

이러한 목적은 청구항1에 제시된 방법과 청구항6에 제시된 장치의 제공을 통해 달성된다. 따라서, 예를 들면 기판과 같은 대체로 평평하고 자유롭게 이동가능한 물체의 운반을 포함하는 유지 및 가이드는 장치를 이용하여 액체 상에서 이루어진다. 여기서, 장치는 적어도 하나의 유입 구역을 구비한 적어도 하나의 처리 표면, 및 적어도 하나의 배출 구역을 포함하고, 운반에 필요한 액체는, 적어도 하나의 배출 구역으로 배출되기 전에 평평한 물체를 향하여 분출되는 방식으로, 적어도 하나의 처리 표면의 적어도 하나의 유입 구역으로부터 분출되어, 액체막이 제공하는 접착력이 처리 표면과 평평한 물체 사이에 형성되고, 물체는 기계적인 가이드 보조 기구들로서의 측방향 엣지, 리미터 또는 말단 걸리개 등이 없이 처리 표면 상에서 지지되고 트랙에 밀착되도록 가이드될 수 있다.

바람직한 실시예에 따르면, 기계적인 수단들은 각각 적어도 하나의 평평한 물체의 액체 분출로 인해 발생하는 이송 또는 이송을 지지하기 위해 사용되고, 이들은 운반 방향으로 이동하거나 정지될 수 있고, 특히 이송 속도를 정확하게 제어할 뿐만 아니라, 선택적으로, 예를 들면 습식 화학 처리의 수행을 위해 원하는 정지 시간을 유지하는 역할을 한다. 본 발명에 따르면, 기판들의 측방향 가이드는, 특히 처리 표면의 테두리 영역들과 평평한 물체 사이의 힘들(중력, 양력, 액체막을 통해 부여된 접착력)로부터, 그리고 사용된 액체의 표면 장력(응집력)으로부터 초래되는 힘들의 평형으로만 이루어진다.

본 발명에 따른 방법과 본 발명에 따라 제시된 장치는 바람직하게는 고정된 처리뿐만 아니라 기판들의 운반 모두에 적합하고, 선택적으로 운반 속도로 수행되는 동시 처리에 적합하다. 운반은 하나뿐만 아니라 다수의 처리 시설들 내에서 수행될 수 있다. 또한, 본 발명이 교시하는 적용예가 상기한 처리 시설들 내에 있다는 점이 특히 바람직하며, 물체들이나 기판들은 물, 특히 고순도의 물이나 약액들을 이용하여 고순도의 습식 처리과정들을 거쳐야 한다. 기판들의 표면 순도가 제한될 수 있기 때문에, 기판 표면들을 항상 건조하지 않게 하는 것이 일반적으로 이 적용예들에서 중요하다.

또한, 바람직한 실시예들은 각각의 종속항들과 이하의 상세한 설명 및 도면들로부터 얻어진다.

본 발명은 실질적으로 자유롭게 이동가능한 평평한 물체들이, 물체들을 가이드하기 위해 해당 장치의 구성 요소들로서 필요한 측방향 리미터, 엣지, 또는 다른 기계적인 가이드 보조 기구 없이, 특히 분출되는 액체 또는 액체막 등의 액체 상에서 유지되고 트랙에 밀착되도록 운반될 수 있다는 점에 기초한다.

본 발명에 관하여 수행된 실험들을 통해, 놀랍게도 기판들의 운반을 위해 사용되고 분출되는 액체에 의해 형성된 액체막이, 운반될 대체로 평평한 물체를 유지 기구나 운반 기구 상에서 자동으로 유지하고 가이드하도록 제공될 수 있다는 사실이 발견되었다.

원한다면, 운반 과정에서 동시 처리가 이루어질 수 있기 때문에, 통합적인 용어 "처리 표면"이 여기서부터 사용되고, 여기서 본 발명에 따른 "처리"는 또한 "운반"을 포함하거나 "운반"에만 관련된다.

본 발명의 본질적인 형태는, 예를 들면 처리 표면으로부터 물체를 이격시키는 것뿐만 아니라 예를 들면 수반 또는 홈 형상의 장치를 통해 소정의 위치나 소정의 트랙을 유지하는 것과 같은, 처리 표면 상에서 처리 표면을 따라 물체를 확실하게 고정하고, 특히 트랙에 밀착되도록 물체를 가이드하는 힘들을 제공하는 것이다.

제1실시예에 따르면, 상기한 정의들의 맥락에서 본 발명에 따른 방법은 평평한 물체의 확실한 유지 및 가이드를 위해 필요한 유지 및 가이드 힘들을 제공하는 역할만을 한다.

제2실시예에 따르면, 본 발명에 따른 방법은 추가적으로 이송에 필요한 이송력을 발생시키는 역할을 한다.

위의 두 실시예들에 따르면, 유지 및 트랙에 밀착되도록 가이드하는 것은 바람직하게 분출되는 액체를 이용하여 이루어지며, 따라서 물체들을 유지하고 가이드하기 위해 기계적으로, 즉 비유체적으로 작용하는 측방향 엣지, 리미터 또는 다른 수단이 생략될 수 있다. 이러한 방식으로, 특히 평평한 물체들의 측방향 엣지들의 기계적 손상을 쉽게 방지할 수 있다. 또한, 유지 및 가이드는, 예를 들면 유지 기구들, 그리퍼들, 진공 척들 등과 같이, 평평한 물체의 상부 및/또는 하부에 배치된 기계적으로 작용하는 리미터, 가이드 보조 기구, 홀더 등이 없이도 이루어진다. 이러한 방식으로, 일반적으로 접촉에 매우 민감한 물체의 2차원 측면들의 기계적인 손상이 거의 방지된다.

본 발명에 따르면, 물체들의 가이드는 서로 다른 형태의 두 유체들, 즉 액체 및 가스의 상호 작용에 의해 이루어지고, 가스는 처리 표면으로부터 분출되지 않지만 주변 공기와 결부된다. 이러한 상태에서, 유지 및 가이드에 필요한 접착력이 평평한 물체의 표면들과 처리 표면 사이에서 발생된다. 이것은 예를 들면 물체가 하나 및 동일한 액체에 의해 전체적으로 둘러싸이지 않은 경우이다. 여기서, 한 형태의 유체의 작은 양, 예를 들면 액체 안의 가스 거품들이 다른 형태의 유체안에 포함되어 있는지 아닌지는 중요하지 않다.

본 발명에 따르면, 적어도 하나의 처리 표면에 형성된 적어도 하나의 유입 구역으로부터 분출 액체가 배출된다. 분출되는 액체는 평평한 물체에 대항하여 분출되는 방향을 갖는다. 액체는 처리 표면으로부터 실질적으로 수직하게 배출되는 것이 가능하여, 처리 표면과 평행하게 배열된 평평한 물체 상에 수직방향으로 영향을 준다. 따라서, 물체를 들어올리기만 한다. 바람직하게는 액체막의 두께는 0.1 ~ 3mm의 범위를 갖는다. 바람직하게는, 액체는 처리 표면으로부터 기울어져 배출되어, 추가적인 운동 요소가 물체에 작용한다.

이어서, 액체는 적어도 하나의 배출 구역으로 분출된다. 이 배출 구역은 예를 들면 처리 표면의 테두리 영역에서의 범람 엣지(overflow edge) 또는 처리 표면 위의 해당 개구들로도 특징지어질 수 있다.

본 발명에 따르면, 기판의 가이드 및 유지는 기계적인 수단들과의 어떠한 접촉없이 이루어진다. 비록 하나 또는 복수의 캐치들(catches)이 이송을 위해 기판의 엣지를 접촉할 수 있지만, 이 캐치들은 기판을 가이드 및/또는 유지하기 위한 기계적인 수단이 아니다. 기판 전체가 처리 표면 상부에 배치되고 분출된 액체에 의해 운반되는 한, 기판은 자유롭게 이동 가능하다. 이것은 예를 들면 기판이 처리 표면의 폭보다 좁은 경우이다. 기판이 배출 구역에 도달하거나 처리 표면과 이 배출 구역 사이의 테두리를 통과할 때, 본 발명에 따르면, 평평한 물체와 적어도 하나의 배출 구역 사이에서 힘들의 평형이 이루어진다. 특히 표면과 배출 구역의 테두리 사이에서의 접착력들의 형성을 기초로하는 이 힘들의 평형은 평평한 물체가 자동으로, 즉 기계적인 기구들의 상호 작용없이 바람직한 위치에 위치되도록 하고, 본 발명에 따르면, 이 바람직한 위치는 각각 원하는 고정 위치, 또는 운반 트랙을 따르는 소정의 위치와 대응된다. 또한, 예를 들면 힘들의 외부 적용에 의해 물체가 바람직한 위치로부터 벗어나는 경우, 물체는 이 바람직한 위치에 자동으로 복귀하기도 한다. 특히 운반 중에 이러한 힘들은 물체에 작용하여, 자동적인 복귀 운동없이 물체가 소정의 운반 트랙에 남아있도록 할 수 있다.

배출 구역은 유입 구역에서 분출되는 액체의 양을 최소한으로 배출하는 것이 가능하도록 규격화될 필요가 있다.

본 발명에 따른 효과는 또한 배출 구역에 배열된 노즐들 또는 이와 동일하게 작용하는 수단들에 의해 선택적으로, 추가적으로, 또는 단독으로 달성될 수도 있고, 배출 구역에서의 액체 수위가 상승되도록 배출 구역으로부터 직접적인 흐름이 배출되며, 따라서 유체적인 경계를 나타내는 "액체 보(liquid weir)"를 형성하고, 평평한 물체는 중요한 외부 영향들의 작용 하에서만 유체적인 경계를 넘어 활공할 수 있다. 액체, 가스, 또는 액체-가스 혼합물은 이 노즐들을 통해 배출될 수 있다. 배출은 연속적으로 또는 주기적으로 일어날 수 있어서, 첫번째 경우의 연속적인 흐름과 두번째 경우 예를 들면 개별적인 액체 파동들 또는 액체 안에 포함된 가스 거품들은 특히 효과적으로 수위를 상승시키고, 추가적으로 액체 표면에서 부서지는 동안 다수의 작은 물결들을 발생시키며, 평평한 물체는 다수의 작은 물결들에 의해 액체 보로부터 처리 표면으로 가압된다. 바람직하게는 기판 표면의 습윤(濕潤)이 허용되는 경우에 이러한 형태의 운반이 이용된다.

측면 배열 이외에, 상기한 보들은 선택적으로 또는 추가적으로 운반 방향과 수직하게 배열될 수 있고, 운반 물체들을 정지시키기 위한 작동 중에 사용될 수 있다. 가장 간단한 경우에, 상기한 보들은 일렬의 고정 노즐들에 의해 형성되고, 고정 노즐들은 실질적으로 기판 표면 방향으로 고정 노즐들과 수직한 처리 표면의 전체 폭을 따라 배출한다.

본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예에 따르면, 평평한 물체를 유지 및 가이드하는 액체는 처리액이다. 이러한 방식으로, 평평한 물체의 처리는 유지 및 가이드를 통해 동시에 수행될 수 있다. 특히, 처리 단계들로서 세정, 코팅, 또는 부식 단계들이 채용될 수 있다.

특히 바람직한 실시예에 따르면, 힘들의 평형을 일으키는 개별적인 힘들은 평평한 물체에 대칭적으로 작용한다. 이것은 유입 및/또는 배출 구역(들)이 각각 처리 표면 위 또는 옆에 대칭으로 배치된다는 것을 의미하고, 따라서 물체가 유지되거나 가이드된다. 예를 들면, 평평한 물체가 4각 또는 둥근 형상이면, 둘레가 또한 4각 또는 둥근 형상의 물체를 유지하는 경우나, 매우 규칙적으로 단절된 형상의 배출 구역이 제공된 경우에 특히 바람직하다. 가이드에 관해서는, 사용되는 장치는 처리 표면의 옆에 실질적으로 동일한 형상으로 대향되도록 배치된 2개의 배출 구역들을 포함하고, 바람직하게는 또한 대칭으로 배치된 적어도 하나의 유입 구역을 구비한 적어도 하나의 처리 표면은 2개의 배출 구역들로 측면이 둘러싸여서, 가이드될 평평한 물체는 배출 구역들 방향으로 향해 있는 해당 엣지들에서 실질적으로 동일한 힘들을 받는다.

다른 실시예에 따르면, 힘들의 평형은 평평한 물체에 대칭으로 작용하지 않는다. 이것은 예를 들면 배출 구역(들)이 평평한 물체에 대칭으로 배열되지 않은 경우, 또는 예를 들면 해당 홈 형상 장치의 일측 테두리에 단독으로 배열된 편심 배출 구역만이 구비된 상황에서 가이드하는 경우(이송 방향에서 볼때)가 될 수 있다. 실험들은 본 발명에 따른 힘들의 평형이 배출 구역과 평평한 물체의 간격이 실질적으로 일정하게 유지되도록 형성된 경우도 입증하였고, 따라서 본 발명에 따른 물체의 가이드가 가능하다. 선택적으로, 처리 표면의 유입 구역에 있는 배출 노즐들은 범람 엣지를 향해 위치될 필요가 있고, 따라서 기판들은 원하는 방향으로 가이드되고, 처리 표면의 대향하는 테두리에서 통제되지 않는 방식으로 이탈될 수 없으며, 이 경우 배출 구역이 형성되지 않는다.

본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예에 따르면, 전술한 힘들의 평형에 더하여, 평평한 물체를 이동시키기 위해 평평한 물체 상에 가해지는 이송력이 제공된다.

특히 바람직한 실시예에 따르면, 이송력은 분출되는 액체에 의해 평평한 물체 상에 가해진다. 이 이송력은 유지 및 가이드에 필요한 힘들과는 독립적으로 제공되고, 원하는 운동 방향으로 분출되는 액체에 의해 달성된다. 바람직하게는, 유지 및 가이드를 위해 동일한 액체가 사용된다. 특히 바람직하게는. 액체는 배출 구역(들)의 동일한 배출구들 밖으로 분출된다. 여기서, 운동을 정지시키는 액체는 각각의 평평한 물체를 유체적으로 고정하는 역할을 한다. 액체의 직접적인 분출에 의한 바람직한 이송력의 제공은 일반적으로 파손되기 쉬운 평평한 물체들의 기계적인 손상을 방지하기 위해 특히 효과적인 수단을 제시한다.

특히 분출되는 액체에 의한 이송이 제공되는 경우에, 본 발명에 따른 장치의 영역으로 전달되는 것이 더욱 바람직하고, 기판들은 특히 본 발명에 따른 장치 내부에 제공되는 이송 속도로 이미 실제 운반 기구로 전달된다. 이러한 방식으로, 전달에 관한 문제점들이 대체로 해결될 수 있다. 이것은, 기판들이 각각의 동일한 이송 스트림에 노출되어 서로 다르게 가속되기 때문에, 서로 다른 무게의 기판들이 장치로 이송되는 경우에 특히 바람직하다. 최악의 경우, 결과적으로 서로 다른 속도들은 인접한 기판들의 충돌을 일으킨다.

일련의 시설들에서 기판들이 처리되는 경우, 실험들은 처리 결과가 특히 처리 시간을 정확하게 유지하는 것에 달려 있다는 것을 입증하였다. 동시에 처리 액체이기도 한 운반 액체만을 통한 부드러운 운반은 일반적으로 처리 시간을 충분히 정확하게 유지하지 못한다. 동일한 물질을 이용하여 기판들을 동시에 운반하고 처리하는 것은 "처리" 및 "운반"의 두 기능이 독립적인 특별한 경우에만 가능하다. 이러한 방식으로만, 운반 속도를 미리 정하거나 유지하는 것은 각각, 액체막의 발생에 의해 부여되는 기판들의 기본 속도와는 실질적으로 다르다.

그러므로, 본 발명에 따른 방법의 또 다른 실시예에 따르면, 이송력은 기계적으로 작용하는 이송 기구에 의해 단독으로 또는 추가적으로, 예를 들면 보조적으로 제공되고, 액체 스트림에 의해 발생된 이송이 상쇄된다면, 이 기구는 당연히 정지 또는 제동 장치로서 사용될 수도 있다. 이 기구는 바람직하게는 이송 방향과 반대 방향 및/또는 같은 방향을 향하는 엣지에서 각각의 평평한 물체를 접촉한다. 둥근 기판들의 경우, 이 주변 엣지의 이 부분들은 각각, 바람직하게는 이송 방향과 직접적으로 일직선상으로 접촉되거나 이송 방향과 바로 대향하는 방향으로 접촉된다. 바람직하게는, 기판과 접촉하는 이송 기구의 상기한 부분들의 형상은 평평한 물체의 외형선에 맞추어진다. 이러한 방식으로, 이송 기구는 각각의 물체를 감속 또는 가속시킬 수 있고, 이것은 분출되는 액체막에 의해 발생되는 임의의 현재 이송 속도와는 실질적으로 독립적으로 이루어진다. 이러한 방식으로, 처리 시설에의 체류 시간을, 분출되는 액체에 의해 발생되는 임의의 현재 기본 흐름과는 독립적으로 조절하는 것도 가능하다.

특히 바람직한 이송 기구들이 본 발명에 따른 장치의 맥락에서 상세하게 설명된다. 예를 들면 특히, 이송 기구의 첫 부분에서 다음 부분으로 기판이 전달되는 두 부분으로 이루어진 다수의 이송 기구의 경우에 대해서, 해당 처리는 이하에 기술되는 것처럼 나타나고, 상세한 설명은 자체적인 예시로 하나의 세그먼트(segment)를 따르는 운반에 기초한다. 다른 종방향 섹션들이 상기한 이송 기구와도 연결될 수 있다는 것이 분명하다. 그러므로, 처리 시설 내에서 상기한 이송 기구를 이용하는 것이 특히 바람직하고, 따라서, 비슷하게 "세그먼트"라는 용어는 "처리 시설"이라는 용어와 교체 사용이 가능하다.

먼저 기판은, 예를 들면 밑면을 구비한 기판이 처리 표면과 기계적으로 접촉하지 않고 적어도 유체 쿠션의 유체막에 의해 지지될 때까지, 충분히 이격되어 세그먼트의 입구로 도입된다. 그러므로, 도입 자체는 또한 본 발명에 따라 제공된 수단 이외의 수단에 의해 영향을 받을 수 있다. 그러나, 바람직하게는 또한 본 발명에 따른 장치에 구비되는 처리 기구의 상류 부분의 장치들은 특별히 부드럽고 통제 가능한 본 발명에 따른 기판의 운반을 허용하는데 사용된다. 전달 속도를 원하는 이송 속도에 맞추는 것이 더욱 바람직하다. 기판의 가장 넓은 부분 후방의 기판의 테이퍼(taper)가 세그먼트 영역에 조금이라도 위치된다면, 도입은 충분히 이격되어 진행된다. 즉, 예를 들면, 원형 기판의 중심이 세그먼트의 테두리를 넘어 조금이라도 세그먼트 영역으로 진입할 것이다. 이 때에만, 본 발명에 따른 이송 기구를 구비한 세그먼트의 영역으로 기판이 계속 이동하는 것이 가능하다.

그러면, 기판의 엣지에 위치된 후방 영역의 뒤 또는 안에서 접촉이 일어나도록, 바람직하게는 여러 부분으로 이루어진 이송 기구의 제1부분의 캐치들이 제어된다. 전술한 것처럼, 이것은 기판이 충분히 이격되어 세그먼트 영역으로 도입되는 경우에만 가능하다.

그러면, 여러 부분으로 이루어진 이송 기구의 제1부분의 캐치들에 의한 기판의 운반이 세그먼트 영역 내에서 이루어진다. 본 발명에 따르면, 기판의 처리는 이 경로 상에서 수행될 수 있다. 물론 예를 들면 세그먼트 영역에서의 기판의 더 긴 체류 시간을 위하여 운반을 방해하는 것도 가능하다. 그러나, 본 발명에 따르면, 캐치들과 기판 사이의 지속적인 접촉이 전체 시간 동안 유지되는 것이 바람직하다.

이어서, 바람직하게는 여러 부분으로 이루어진 이송 기구의 적어도 하나의 다른 부분으로 기판을 전달할 수 있다. 이를 위해, 기판의 엣지가 또한 캐치(들)에 의해 접촉될 때까지, 제1부분의 캐치(들)이 기판의 엣지와 접촉하도록, 모든 부분들의 캐치들이 제어되어야 한다. 그러므로, 전달하는 캐치(들) 뿐만 아니라 전달받는 캐치(들) 모두는 적어도 짧은 순간 동안 기판과 접촉되고, 따라서 항상 기판의 제어되지 않은 이동이 발생되지 않도록 할 수 있다. 그러나, 본 발명에 따른 전술한 교시가 사용되기 때문에, 캐치들에 의한 기판의 가이드가 필요하지 않고, 따라서 기판의 측방향 이탈이 방지된다. 하나 이상의 각각의 전달하는 캐치 및 전달받는 캐치가 구비되면, 이들은 바람직하게는 본 발명에 따라 측방향으로 각각 서로 다른 간격으로 이격되도록 배치되어, 기판을 전달하는 동안 이송 기구의 서로 다른 부분들의 캐치들의 충돌이 방지된다.

전달이 완료된 후에, 여러 부분으로 이루어진 이송 기구의 다른 부분의 캐치들을 통해 세그먼트 내에서 기판의 추가적인 이동이 이루어진다. 물론, 이 추가적인 이동 중에 기판의 처리가 수행될 수도 있다. 원한다면, 이송의 중지도 가능하다.

마지막으로, 기판은 세그먼트의 출구 밖으로 충분히 이송된다. 기판의 가장 넓은 부분 후방의 기판의 테이퍼가 조금이라도 세그먼트 영역의 외측에 위치하게 되면, 이 배출 이송이 충분히 이루어진다. 그러므로, 이 단계는 전술한 세그먼트 영역으로의 기판의 충분한 이송과 유사하게 보인다. 본 발명에 따른 형태의 추가적인 세그먼트가 상기한 세그먼트에 이어지는 경우, 전술한 것처럼, 기판이 충분히 이격되어 다른 세그먼트로 이송된다면, 다른 세그먼트는 기판을 전달받을 수만 있고, 이는 이전의 세그먼트로부터 기판을 충분히 배출 이송하는 것과 동일하다.

다른 실시예에 따르면, 여러 부분으로 이루어진 이송 기구의 제1부분의 캐치들이 세그먼트 영역으로 제2기판을 이송하는 동안, 여러 부분으로 이루어진 이송 기구의 다른 부분의 캐치들은 세그먼트 영역으로부터 출구를 통해 제1기판을 배출 이송한다. 이러한 방식으로, 여러 기판들이 동시에 세그먼트를 통해 이송될 수 있고, 따라서 더욱 생산성을 향상시킬 수 있다. 이송 기구의 부분들의 개별적인 제어성을 통해, 제2기판이 이 세그먼트 영역에서 일시적으로 유지되고 있는 동안, 앞서서 기판을 세그먼트 영역으로 운반하는 것도 가능하다. 이 경우, 전달을 위해 해당 캐치들을 제시간에 이용가능하도록 하는 것만이 필요하다. 이것은 처리된 기판을 세그먼트 영역으로부터 시기적절하게 배출 이송하는 것, 또는 복수의 부분들로 이루어진 이송 기구의 부가 또는 추가적인 부분들에 의해서도 달성된다.

본 발명에 따른 방법의 특히 바람직한 실시예에 따르면, 가능하다면, 각각의 기판들에 작용하는 전달 속도들과 이송 속도들, 더 가능하다면, 복수의 연속적인 세그먼트들의 유동 속도들은 최소한 서로 동일해야 한다. 이러한 방식으로, 상류측에 배치된 세그먼트로부터 배출 이송되는 기판들은 연속적으로 배치된 세그먼트에 안전하게 그리고 제어되어 전달될 수 있다. 특히, 기판들이 쌓이거나 캐치들이 바람직하지 않은 위치에 위치되는 것으로 인한 충돌들이 발생되지 않을 수 있다.

본 발명에 따라 제공된 분출 액체는 하나 또는 2개의 측면을 갖는 평평한 물체에 대항하여 분출될 수 있다. 하나의 측면을 갖는 구성의 경우에, 액체막은 평평한 물체 아래에 위치되어, 물체가 마치 액체 쿠션 상에 매달린 것처럼 된다.

2개의 측면을 갖는 구성인 경우에, 유지되고 가이드될 평평한 물체는 분출 액체에 의해 양 측면들이 대항하여 이동되고, 각각의 처리 표면들과 유입 구역들은 물체의 상부 및 하부 모두에 배치된다. 따라서, 평평한 물체의 샌드위치 형상의 구성이 가능하다.

따라서, 물체의 이송이 분출 액체 자체뿐만 아니라 하나 또는 복수의 추가적인 이송 기구들을 통해 이루어지는 것이 가능하다. 첫번째 경우에, 이송을 발생시키는 액체의 분출은 추가적인, 바람직하게는 예를 들면 노즐들과 같이 측방향으로 배열된 개구들에 의해 제공될 수 있다. 또한 바람직하게는 두번째 경우에, 액체로 채워진 영역과 측방향으로 연결된 이송 기구들이 제공되고, 특히 긴 슬롯들과 같은 개구들이 두 처리 표면들 중 적어도 하나에 선택적으로 또는 추가적으로 제공되며, 이송 기구들의 캐치들은 자체적으로 그곳에 전체적으로 또는 두드러지게 배치될 필요없이 연장되어 물체에 작용될 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 방법은 평평한 물체의 울트라소닉(ultrasonic) 및/또는 메가소닉(megasonic) 처리를 위한 하나의 단계를 포함한다. 이 단계는 선택적으로 발생되는 평평한 물체의 운동 전이나 운동 중에 또는 운동 이후에 수행될 수 있고, 바람직하게는 울트라소닉 또는 메가소닉 처리는 평평한 물체의 운동 중에 수행된다.

본 발명은, 본 발명에 따른 방법을 수행하는 장치를 더 포함한다.

따라서, 본 발명은 대체로 평평하고 액체 위에서 자유롭게 이동가능한 물체의 운반용 장치를 개시하고 있으며, 본 발명에 따르면 복수의 기판들이 나란히 및/또는 물론 당연히 연속적으로도 운반될 수 있다. 이 장치는 평평한 물체를 향하여 액체를 분출하는 다수의 관통공들을 갖는 적어도 하나의 유입 구역을 구비한 적어도 하나의 처리 표면, 및 유입물의 공급후에 액체가 배출되는 적어도 하나의 배출 구역을 포함한다.

본 발명에 따르면, 이 장치는 비유체적인 엣지, 리미터, 또는 평평한 물체를 가이드하기 위한 다른 기계적인 가이드 보조기구 중 어느 것도 포함하지 않으며, 그 이유는 평평한 물체가 오직 액체의 스트림에 의해서만 유지되고 가이드되기 때문이다.

본 발명에 따른 장치의 특별한 형태에 대해서는 본 발명에 따른 방법의 설명 및 수행에 관한 전술한 설명들을 참조한다.

본 발명에 따르면, 적어도 하나의 처리 표면에 구비된 적어도 하나의 유입 구역은 평평한 물체에 대향하여 액체를 분출시키며, (아래쪽에서 분출되는 경우에) 기계적 작동 수단들의 도움없이 물체를 들어올린다. 이를 위해, 유입 구역은 해당 관통공들, 특히 바람직하게는 다수의 관통공들을 포함한다. 이들 관통공들로부터 액체가 소정 압력 및 소정 유속으로 배출된다. 관통공들은 바람직하게는 원형 또는 직사각형, 특히 바람직하게는 틈새 또는 슬릿 형상의 단면들을 가질 수 있다. 관통공들은 통계적으로 분포되거나 균일하게 배열될 수 있다. 예를 들어, 관통공들의 수는 하부 들림 또는 하부 이송이 요구되는 영역들에서 줄어들 수 있다. 더욱이, 소결 재료들과 같은 다공성 물질들도 관통공으로 가능하다. 이를 위해, 바람직하게는 플라스틱에 기반한 물질들은 물론 금속도 사용가능하다. 이들은 하단면을 구비한 특히 다수의 통계적으로 분포된 관통공들을 제공하며, 따라서 그럼에도 불구하고 모든 관통공들을 통해 전체적으로 많은 유량이 배출될 수 있다. 상기 물질들의 다른 이점은 처리 표면이 관통공들이 시작되는 반대 표면에 공급해서는 안되지만, 예들 들어 상기 면들로부터 나온 액체가 처리 표면에서 배출되기 전에 다공성 물질 내부에 분포하는 다공성 블록 안으로 압송될 수 있다는 것이다. 또한, 처리 표면을 포함하는 구성요소는 반드시 이송 채널들을 반송하는 여러 개의 층들로 구성되는 것은 아니고, 하나는 단일층으로 구성된다.

배출 구역은 먼저 평평한 물체에 대항하여 액체가 분출된 후에 액체를 수용하는 역할을 한다. 본 발명에 따른 방법의 배경에서 이미 설명된 바와 같이, 배출 구역은 예를 들어 범람 엣지나, 또한 해당 배출구들에 특징이 있을 수 있으며, 바람직한 실시예에 따르면 배출구들은 또한 처리 표면 내부에 부분적으로 배열될 수 있다. 배출 구역은 처리 표면상으로 배출되는 액체의 최소량을 배출할 수 있도록 규격화되는 것이 특히 중요하므로, 바람직하지 않은 액체 축적분은 배출될 수 있다.

범람 엣지는 바람직하게는 90°(직각) 이하의 엣지각을 갖도록 설계되며, 여기서는 보다 날카로운 엣지로 된 작은 각들이 바람직하다. 물론, 범람 엣지는 범람 엣지의 다른 실시예들을 포함할 수 있으며, 또는 범람 엣지는 비연속적으로 설계될 수 있다.

다른 실시예들은 바람직하게는 처리 표면에 형성되고 처리 표면의 중앙에서 시작되는 슬롯들을 제공하며, 슬롯들은 처리 표면에 측방향으로 배열되는 배출 구역(들) 안으로 처리 표면의 측면들을 향하여 평면도에서 V형상으로 연장된다. 개별 채널들의 단면은 바람직하게는 직사각형일 수 있다. 특히 바람직하게는 서로 평행하게 배열되고 이격된 수 개의 슬롯들이 있다. "V"의 끝단은 운반 방향 및 운반 방향의 역방향으로 향할 수 있다. 따라서, 관통공들이 각각 처리 표면 상에 또는 내부에 위치되면, 특히 빠른 매질 교환이 보장된다.

대안적으로 또는 추가적으로, 슬롯들은 또한 각지게 설계될 수 있으며, 슬롯들은 전체 폭 이상으로 연장될 수 있다.

물론, 배출 구역에 대한 전술된 실시예들의 조합은 하나의 처리 표면 내에, 또한 하나의 유입 구역 내에서도 가능하다.

고정된 시설의 맥락에서, 평평한 물체는 고정된 시설에 유지되고 가이드될 수 있지만, 그러나 이송될 수는 없으며, 배출 구역은 바람직하게는 범람 엣지로 형성될 수 있고, 범람 엣지는 주변을 둘러싸고, 연속적으로 또는 비연속적으로 설계되고, 범람 엣지는 부가적으로 수위 표시들(notches)을 포함할 수 있다. 그러나, 본 발명에 따른 장치의 작동 중에 항상 충분히 많은 양의 액체가 확보되어, 유지되고 가이드될 물체가 특히 처리 표면과 같은 장치의 다른 구성 요소들과 기계적으로 접촉되지 않도록 할 수 있다. 그러나, 이러한 맥락에서 장치는 기계적으로 중심을 잡는 보조 기구들 또는 이와 유사하게 작동하는 구성 요소들을 포함하고, 물체는 실제 처리 전에 상기 보조 기구들이나 구성 요소들 상에 배치되거나, 또는 물체는 상기 보조 기구들이나 구성 요소들에 의해 본 발명에 따른 전술한 처리 과정까지 유지 및 가이드될 수 있다. 물체는 본 발명에 따른 장치의 처리 표면에서 이미 분출된 적당한 수단에 의해 배치되고, 이어서 본 발명에 따라 처리되거나 운반된다.

또한, 평평한 물체의 이송이 추가적으로 요구되는 경우에, 적어도 하나의 배출 구역은 범람 엣지나 보로 설계될 수 있다. 바람직하게는, 이 영역은 처리 표면의 옆에 측방향으로 배열되고, 평평한 물체는 바람직한 소정의 운반 트랙을 따라 중간 영역, 즉 처리 표면의 양측 테두리들 사이를 이동한다. 여기서, 연속적으로 또는 비연속적으로 설계된 배출 구역을 갖는 하나의 개별적인 구성이 가능하며, 특히 바람직하게 대칭적으로 배열된 배출 구역들을 갖는 복수의 구성도 가능하다.

앞에서 언급한 것처럼, 본 발명에 따른 장치는 평평한 물체를 유지 및 가이드 하기 위해 비유체적인 엣지, 리미터, 또는 다른 기계적인 가이드 보조기구를 포함하지 않으며, 본 발명에 따른 방법의 맥락에서 평평한 물체는 액체의 스트림에 의해서만 유지되고 가이드된다.

운반 수단으로서 가스 상태의 액체막을 이용하는 본 발명의 바람직한 실시예의 맥락에서, 액체는 각각, 처리 표면에서 아래로부터 연속적으로 분출될 뿐만 아니라 선택적으로 추가적으로 위로부터 분출되거나, 관통공들을 통해 처리 표면을 관통하여 분출된다.

유입 구역의 액체 배출과 유사하게, 연속적으로 제어된 액체의 측방향 배출을 통해 평평한 물체와 적어도 하나의 배출 구역 사이에서 효과가 확실해지고, 물체의 기판은 배출 구역에 의해 처리 표면에서 측방향으로 이탈되지 않고 처리 표면에 위치 될 수 있다. 이 효과는 고정된 처리의 경우에, 물체가 소정의 위치에 머물도록 하고, 물체가 이동하는 경우에, 물체가 처리 표면에서 트랙에 밀착되도록 소정의 운반 방향으로 소정의 운반 트랙에 가이드되거나 소정의 운반 트랙을 따라가도록 한다. 따라서, 이 효과는 물체에 작용하는 다른 힘들과 겹쳐질 때, 바람직한 위치에 물체를 가이드하는 힘들의 평형을 초래한다. 이외의 것은, 전술한 본 발명에 따른 방법의 맥락에서의 해당 설명들을 참조한다.

바람직한 실시예에 따르면, 평평한 처리 표면의 일부로서 본 발명에 따른 장치의 유입 구역은 강체 또는 가요성 재료로 형성된다. 이 표면은 예를 들어 플라스틱, 금속, 세라믹, 목재, 석재, 및 합성물 뿐만 아니라 이들이 조합된 것으로 이루어질 수 있다.

일 실시예에 따르면, 처리 표면은 고정되도록 설계된다. 다른 실시예에 따르면, 처리 표면은 이동 가능하게, 즉 하강 또는 상승가능하게 설계되거나, 기울어질 수 있게 설계된다. 이러한 방식으로, 필요에 따라, 해당 작업, 기판들의 규격, 기판 질량 등에 가장 적합한 위치가 찾아진다. 마찬가지로, 액체 스트림은 처리 표면의 해당 경사에 영향을 받을 수 있다. 더욱이, 처리 표면의 일시적인 하강 및 상승은 일련의 시설들의 맥락에서 일시적인 정지, 또는 기판들의 감속이나 가속을 위해 사용될 수 있다. 또한, 예를 들어 손상되거나 파손된 물체는 그에 맞추어 구성된 "2방향 운반"을 통해 선별될 수 있다.

156mm의 직경을 갖는 기판에 관하여, 소비량이 200 l/h의 액체량으로 분출되는 450m 길이의 처리 표면이 바람직하다. 특히 바람직하게, 이러한 방식으로 인해 운반 중 병행 처리에 대해서도, 그리고 특히 전술한 배출 구역 슬롯들의 V형상 구성의 특별한 이점을 이용하는 것에 의해서도, 400 l/h의 양으로 양호한 액체 교환이 이루어진다.

본 발명에 따른 점착 효과의 특히 효과적인 발생을 위해, 처리 표면이 물체의 폭을 둘러싸도록 하는 배출 구역의 위치를 결정하는 것은 매우 중요하다. 예를 들어 직선으로 배열된 처리 표면의 경우, 따라서 처리 표면의 트랙 폭은 운반될 기판들의 폭과 맞아야 한다. 그렇지 않으면, 예를 들어 물체가 처리 표면보다 상당히 좁은 경우, 물체는 처리 표면 폭의 경계들 내에서 측방향으로 자유롭게 이동될 수 있지만, 이는 처리될 기판의 표면 아래에서 처리액의 양호한 교환이 이루어지기 때문에, 동시 습식 화학 처리에 관해서 특히 바람직할 것이다. 처리 표면의 테두리에 도달하는 경우에만, 기판의 추가 이탈을 방지하는 본 발명에 따른 효과가 얻어진다.

바람직한 실시예에 따르면, 처리 표면은 평평한 물체보다 4mm를 초과하는 폭을 갖지 않도록 설계된다. 바람직하게는, 처리 표면은 3mm 조차도 초과하지 않도록 설계된다. 그러나, 처리 표면이 물체보다 좁은 경우, 이는 상술한 것처럼 처리 표면의 폭의 경계들 내에서 물체가 측방향으로 자유롭게 이동되도록 한다. 그러면, 처리 표면의 테두리에 도달하는 경우에만 본 발명에 따른 효과가 얻어진다.

다른 형태에 따르면, 본 발명은 범람 용기 내에서 이송되는 분출 유체의 표면 상에서 평평한 물체를 운반하는 방법에 관련된다. 측방향 용기 벽들에 구비된 적어도 하나의 범람 엣지를 넘어서 적어도 하나의 배출 구역으로 유입되는 구조로 인해 유체가 상기 용기로부터 빠져나오고, 이 때문에 바람직하게는 이 특별한 적용예에서도 본 발명에 따른 위치결정 효과가 얻어진다. 따라서, 액체 상에서 물체를 유지하고 트랙에 밀착되도록 가이드하기 위하여 관련된 기계적인 수단을 필요로하지 않는다.

일반적으로 운반에 포함되는 이송은 원한다면, 용기에서 이송되는 액체의 유동 방향으로만 제공되며, 바람직한 유동 특성을 발생시키기 위한 많은 적당한 수단들이 이 기술분야의 당업자에 의해 사용될 수 있다. 선택적으로 또는 부가적으로, 이송력은 본 발명에 따른 적어도 하나의 이송 기구를 통해 제공될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 효과뿐만 아니라 본 발명에 따라 얻어지는 이점들은 각각, 액체로 채워진 수반을 통과하는 대체로 평평한 물체의 운반을 위해서도 활용되거나 제공될 수 있다. 운반 방향과 수직한 수반의 폭은 운반될 물체의 폭과 실질적으로 대응된다. 처리 표면으로서의 수반의 규격에 관한 더 상세한 설명은, 앞의 단락을 참조한다.

선택적으로 또는 추가적으로 전술한 범람 영역(범람 엣지)은, 보어홀(boreholes), 다공성 스트립, 격자 모양의 개구 등으로 구성되거나, 또는 액체가 처리 표면으로부터 빠져나오게도 할 수 있는 상기한 수단들을 포함할 수 있다. 또한, 배출 구역은 유입 구역을 경계짓는 배출구들에 의해 형성될 수도 있다. 본 발명에 따르면, 모든 경우에, 배출 구역은 범람되지 않지만, 이 기능적인 영역들에서 액체가 범람 엣지를 형성하는 것이 중요하다.

본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 이 장치는 배출 구역으로부터 나오는 액체를 흡입하는 능동 흡입부를 포함한다. 이런 식으로, 충분한 양의 액체가 특히 꽉 찬 상태로 배출될 수 있다. 또한, 상기 액체의 양은 능동 흡입부의 동력 변화에 의해 조절될 수 있다. 예를 들면, 바람직하게는, 축적을 위해 액체의 양을 일시적으로 제한할 수 있고, 따라서, 액체의 수위 상승, 또는 반대로 아주 많은 양의 액체를 흡입하여 본 발명에 따른 기판의 추가적인 운반이 일시적으로 중지되는 것이 가능하다.

유지 및 가이드 이외에도 이송이 이루어져야 하는 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 장치는 평평한 물체에 작용하는 이송력의 발생을 위한 관련 수단들을 포함한다. 이 수단들은 물체의 유지 및 가이드 이외에 또는 이 대신에 물체의 이동(능력)이 요구될 때 항상 필요하다.

바람직한 실시예에 따르면, 이송은 처리 표면의 관통공들로부터 분출되는 액체에 의해 이루어진다. 이 관통공들은 바람직하게는 구멍들이나 슬릿들로 형성되고, 특히 바람직한 실시예에 따른 운반 방향과 나란하게 배열될 수 있다. 또한, 구멍들이나 슬릿들은 운반 방향과 반대로 배열될 수 있다. 따라서, 이 기술분야의 당업자에게, 처리 표면의 전체 또는 처리 표면의 개별 영역들에도 반대 방향의 구멍들 및/또는 슬릿들이 구비될 수 있다는 것은 자명하다. 또한 본 발명에 따르면, 구멍들이나 슬릿들은 개별적으로, 무리지어 또는 전체가 분출되는 액체를 장전할 수 있다. 여기서, 작동중에 무리들의 조합이 변경될 수 있어, 이런 식으로 이송력의 간단한 제어가 가능하다는 것이 특히 바람직하다.

더 바람직하게는, 관통공들은 경사 및/또는 단면이 변경가능하도록 설계된다. 이런 식으로뿐만 아니라, 스트림은 복수의 물체들을 위해 또는 형상이나 질량을 맞추기 위해, 또는 원하는 운반 속도를 위해 의도적으로 영향 받을 수 있다. 처리 표면과 수직하게 배열된 관통공들의 방향 이외에도, 관통공들은 바람직하게는 운반 방향으로 또는 운반 방향과는 반대로 액체가 분출되도록 경사지게 배열될 수도 있다. 물체들의 해당 이송을 초래하는 45°의 경사각이 특히 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 보어홀의 경사각은 처리 표면의 측면 방향으로, 수직면으로부터 측정된 30 - 45°가 더욱 바람직하다.

그러나 유체 스트림에 의해 이동되는 기판이 회전되도록 하는 관통공들의 구성이 제공될 수도 있다. 이를 위해, 관통공들은 원형 경로상에 배열되고, 원형 경로와 접선 방향의 경사를 갖는다. 회전 속도는 액체의 양 및/또는 경사각에 의해 영향을 받을 수 있다.

기판을 정지시키거나 적어도 감속시키는 것은 운반 방향과 반대로 향해 있는 관통공들의 배열 및 제어를 통해 수행될 수 있다. 이런 식으로, 특정 위치에서의 기판의 체류 시간이 양호하게 조절될 수 있도록 일시적인 장애물들이 형성된다. 그러면 해당 관통공들을 작동 중지시키거나 관통공들을 운반방향으로 회전시킴으로써, 기판이 방출된다.

다른 실시예에 따르면, 이송력은 이송 기구에 의해 추가적으로 또는 단독으로만 제공된다. 이는 물체에 작용하는 이송력이 스트림 및 진행되는 액체에 의해 제공되는 것이 아니거나, 적어도 단독으로 제공되는 것이 아니라는 것을 의미한다. 분출되는 유체로부터 나오는 이송력의 적어도 부분적인 결합이 이런 식으로 발생되고, 이는 특히 해당 운반 속도의 더욱 정확한 제어를 가능하게 한다. 처리 결과는 종종 정확하게 유지되어야 하는 처리 시간에 영향을 받기 때문에, 이것은 특히 일련의 처리 시설들의 맥락에서 매우 중요하다.

따라서 본 발명에 따라, 이송은 분출되는 액체뿐만 아니라 추가적인 이송 기구(들)을 통해 단독으로 제공되고, 또한 이 둘의 변형물들의 조합을 통해서도 단독으로 제공되는 것이 가능하다.

특히 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 장치의 이송 기구는 구동 벨트들, 캠들, 슬라이드 스트립들, 연결 체인들, 공압 실린더들 및 유체 펌프들로 구성된 그룹 중에서 선택된 구동 수단을 포함한다. 또한, 이송 기구는 기계적인 말단 걸리개, 캠, 립, 핀 및 스크래퍼 플로어 레일(scraper floor rails)로 구성된 그룹 중에서 선택된 적어도 하나의 이송 수단을 포함한다. 바람직하게는, 이송 수단은 각각 평평한 물체의 엣지(들), 특히 후방 엣지 상에서 작동하고, 이 엣지(들)은 운반 방향과 수직하게 위치된다. 더 바람직하게는, 이송 수단은 이송력들이 가장 바람직하게 분배되도록 평평한 물체의 해당 엣지들과 그 형상이 대응된다.

이송 기구는 운반 방향으로 구동 가능하도록, 그리고 선택적으로 추가적으로 정지 가능하도록 설계되는 것이 또한 가능하다. 따라서, 운반 방향으로 또는 운반 방향과 반대 방향으로 배열된 에어 노즐들과 같은 다른 수단들 및 기구들, 또는 운반 방향으로 구동 가능하고 정지 가능한 다른 캐치들은, 전술한 이송 수단들에 선택적으로 또는 추가적으로 형성될 수 있다. 또한 이런 식으로, 액체와 운반될 물체들 사이의 상대적인 운동이 언제라도 필요에 따라 조절될 수 있다.

이하에, 적어도 하나의 캐치를 구비한 이송 기구의 특히 바람직한 여러가지 실시예들이 상세하게 기술된다.

제1실시예에 따르면, 적어도 하나의 캐치를 포함하는 이송 기구는 처리 평면 위에 배열되고, 캐치(들)은 처리될 기판의 엣지가 캐치(들) 각각의 단부(들)에 접촉될 수 있도록 설계된다. 이 실시예의 맥락에서, 이송 기구는 분리된 구조적 요소로서, 또는 상부 유체 쿠션의 형성을 위해 처리 표면 위에 형성되는 선택적인 추가 처리 표면의 일체적인 요소로서 설계된다. 이송 기구가 분리된 구조적 요소로서 설계되면, 추가 처리 표면은 바람직하게는 적어도 하나의 캐치를 위한 틈새들을 구비하여, 세그먼트를 통하여 운반되는 동안 캐치가 지속적으로 기판을 접촉할 수 있다.

제2실시예에 따르면, 적어도 하나의 캐치를 포함하는 이송 기구는 처리 표면의 일체적인 요소로서 하부 유체 쿠션의 형성을 위해 처리 평면 아래에 배열된다.

제3실시예에 따르면, 적어도 하나의 캐치를 포함하는 이송 기구는 존재 가능한 처리 챔버의 측벽의 일체적인 요소로서, 이송 방향과 평행하게 처리 표면의 측방향으로 배열된다.

이 기술분야의 당업자에게, 이 기본적인 실시예들이 실제 적용 분야에 따라, 본 발명에 따라서 서로 결합될 수 있다는 것은 자명하다.

또한, 본 발명에 따르면, 각각의 상기 실시예들은 하나뿐만 아니라, 바람직하게는 2개의 이송 기구들, 가장 바람직하게는 동일하게 설계된 2개의 이송 기구들로 실현될 수 있다.

상기 제1실시예의 맥락에서, 따라서 이송 기구는 분리된 구조적 요소, 바람직하게는 두 부분으로 설계되고, 각각의 부분들은 적어도 하나의 캐치를 구비한다. 복수의 부분들로 이루어진 설계는 복수의 세그먼트들이 연속적으로 작동되고 세그먼트들이 특정한 최소 길이를 초과하는 경우에 특히 필요하거나 바람직하다. 복수의 특히, 두 부분으로 이루어진 이송 기구는 또한 선행 기판이 여전히 부분적으로 상기 세그먼트에 위치되는 동안 다음의 기판이 세그먼트의 영역으로 이송될 경우에 필요하다. 이송 기구의 복수의 부분들로 이루어진 설계는 실질적으로 동일한 작업을 수행하는 적어도 2개의 어셈블리로 구성된다는 것을 의미하고, 따라서 실질적으로 동일한 구성을 갖는다. 상기 부분들 사이의 가장 중요한 차이는 세그먼트 내부에서의 위치 결정이다. 일반적으로, 복수의 부분들로 이루어진 이송 기구의 한 부분은 세그먼트 영역의 입구에 배열되고, 다른 부분은 세그먼트 영역의 출구에 배열된다. 따라서, 한 부분은 주로 입구 영역에서의 기판의 이송을 위해 사용되고, 다른 부분은 배출 영역에서의 이송을 위해 사용된다. 세그먼트가 복수의 처리 평면들이나 처리 트랙들을 포함하는 경우, 하나 또는 복수의 개별 이송 기구들은 이 처리 트랙들 각각에 구비된다. 그러나, 가능한한 이송 기구들의 부분들을 결합시키는 것이 바람직하고, 그러면 이는 평행한 트랙 상에서 동일한 처리 및 운반이 요구되는 경우를 항상 쉽게 실현시킬 수 있다.

바람직하게는, 상기 제1실시예는 분리된 구조적 요소로서 한 부분으로 이루어진 이송 기구를 구비하고, 이는 바람직하게는 세그먼트의 처리 표면 길이에 대해 대략 처리 표면의 중심에 배열된다. 캐치(들)이 기판 엣지에 연속적으로 접촉되도록 하기 위해, 캐치들은 바람직하게는 신축가능하게 설계된다. 따라서 캐치들은 처리 평면의 높이에서 기판 엣지를 항상 접촉할 수 있다.

본 발명에 따르면, 복수의 부분들로 이루어진 이송 기구의 각 부분은 캐치들을 포함한다. 여기서, 본 발명에 따르면, 캐치들은 기판과 직접적으로만 접촉된다.

상기 제1,2실시예의 맥락에서, 이송 기구는 바람직하게는 하부 또는 상부 처리 표면의 일체적인 요소로서, 복수의 특히 두 부분으로 설계되고, 각각의 부분은 서로 평행하게, 바람직하게는 서로 특정 간격으로 배열된 2개의 캐치들을 구비한다. 또한 여기서, 한 부분은 상당히 입구측에 배열되고, 다른 부분은 상당히 세그먼트의 출구측에 배열된다. 이 부분들의 각각의 캐치들은 처리 표면으로부터 연장될 수 있고, 따라서 바람직하게는 동일한 방식으로 기판 엣지와 접촉된다. 캐치들은 의도된 이송 후에 각각의 처리 표면으로 후퇴할 수 있다.

전술한 제3실시예의 맥락에서, 이송 기구는 존재 가능한 처리 챔버의 측벽의 일체적인 요소로서 설계되고, 따라서 (양측면 상에)두 부분으로 설계된다. 전술한 것처럼, 캐치들은 각각의 벽으로부터 측방향으로 연장될 수 있어서, 바람직하게는 동일한 방식으로 기판 엣지와 접촉한다.

본 발명에 따르면, 각각의 이송 방향을 향하는 이송 속도는 유체 쿠션의 유속과 합쳐지도록 조절될 수 있고, 이는 기판이 이송 기구의 캐치(들)에 의해 지속적으로 가압되도록 하며, 따라서 기판이 캐치 또는 캐치들로부터 비제어적인 방식으로 이탈되는 것을 방지한다.

상부 유체 쿠션이 제공되는 경우, 이송 기구의 구체적인 실시예에 따라, 바람직하게는 상부 유체 쿠션을 생성하는 추가 표면은 적어도 하나의 캐치를 위한 틈새들을 구비할 수 있다. 이 틈새들은 유체 배출구들로부터 기능적으로 분리되고, 이송 방향으로의 경로 상에서 위로부터 작동하는 캐치들이 항상 확실하게 기판의 엣지를 접촉할 수 있도록 한다. 예를 들어 두 부분으로 이루어진 이송 기구와 같은 복수의 이송 기구가 존재하는 경우, 상부 처리 표면은 그에 맞춰 예를 들어 2개의 틈새들과 같은 복수의 틈새들을 구비한다.

처리 표면(들)의 틈새들의 수는 일반적으로 본 발명에 따른 이송 기구의 부분들의 수 뿐만 아니라, 각각의 캐치들의 수와 대응된다. 틈새들은 캐치(들)이 수행해야 하는 움직임들을 따라 배열되고, 각각의 부분에 적어도 2개의 캐치들이 구비된 경우, 캐치들은 실질적으로 서로 평행하게 배열된다. 본 발명에 따르면, 물체의 확실한 가이드 및 유지가 전술한 방법에 의해 이미 달성되기 때문에, 각각의 부분에 하나의 캐치가 형성되는 것만으로도 충분하다. 바람직한 실시예에 따르면, 각각의 부분에 하나 이상의 캐치가 구비된 경우, 복수의 예를 들어, 특히 적어도 2개의 캐치들을 구비한 두 부분의 이송 기구의 하나의 개별 부분을 위한 틈새들은 운반 방향과 수직한 방향으로 다른 틈새들로부터 이격되고, 두 부분의 이송 기구인 경우, 각각의 간격은 서로 다른 부분들의 캐치들의 접촉이 일어나지 않도록 서로 다른 것이 특히 바람직하다. 특히, 이는 복수의 예를 들어 특히 두 부분으로 이루어진 이송 기구의 제1부분에 구비된 캐치들로부터 제2부분에 구비된 캐치들로 기판이 전달될 경우에 필요하다. 따라서, 두 부분으로 이루어진 이송 기구는 특히 부분들이 합쳐져 있지만 서로 다른 캐치들의 접촉이 일어나지 않도록 처리 표면(들)에 배열된다.

캐치 배열로 인해, 각각의 부분은 따라서 바람직하게는 엣지가 위치된 기판의 후방 또는 기판의 뒤쪽 영역에서 기판에 접촉하고, 이송 방향으로 이동되기에 적합하다. 특히 바람직하게는, 이 접촉은 기판과 대칭으로 결합되지만, 이송은 또한 힘의 비대칭적인 적용을 통해 실현될 수 있고, 비대칭으로 인한 회전 성분이 너무 크게 생성되지 않으면 본 발명에 따른 위치결정 효과가 급격히 퍼진다. 따라서, 기판의 관점에서는, 바람직하게는 가압력이 항상 기판에 작용되고, 반면 복수의 부분들로 이루어진 이송 기구의 개별 부분들의 관점에서는, 다시 말해 특히, 출구 영역에 배열된 이송 기구의 한 부분이 세그먼트의 중간에 여전히 위치된 기판의 후방에서 기판을 접촉하는 경우에는, 당기는 운동도 가능하다. 그러나, 기판에 작용하는 힘들은 압축력들일 뿐이다.

특히 바람직하게는, 캐치들은 막대 형상으로 설계되고, 접촉부들과 같은 볼 또는 구형 세그먼트를 구비한다. 따라서, 가능한한 캐치와 기판 엣지 사이에는 면 접촉이 아닌 점 또는 선 접촉만이 발생된다. 또한, 한 부분의 캐치들은 일반적인 운동기구에 배열되고, 이에 따라 기판이 접촉하는 동안, 기판 엣지에 관한 접촉부들의 위치결정이 처리 중에 항상 확실하게 조절될 수 있다. 즉, 상기 운동기구는 처리 평면에 대한 접촉부들의 높이를 항상 적절히 조절하기에 적합해야 한다. 바람직하게는 이를 위해, 이 기술분야에 공지된 연결 또는 결합 운동들이 사용될 수 있다. 이 작업은 평행사변형 형상의 운동기구를 통해 특히 효과적으로 해결될 수 있다. 그러나, 선형 가이드들이나 로봇 가이드 기구들은 주로 상기한 목적에는 적합하지만, 비용 및 복잡성으로 인해 바람직하지 않다.

전술한 것처럼 본 명세서는 세그먼트를 따르는 운반에 기초하는 예시적인 것이다. 다른 종방향 섹션들이 상기한 이송 기구와 연결될 수도 있다는 것은 자명하다. 특히 바람직하게는, 상기한 이송 기구는 처리 시설들 내에서 사용된다.

더 바람직한 실시예에서, 물체들은 별개의 섹션들이나 세그먼트들 내에서 운반되고, 평평한 물체를 정지 또는 감속하기 위한 기구들은 세그먼트 테두리들에 배열된다. 예를 들면, 이 섹션들은 각각, 하강 가능한 범람 엣지들 또는 하강 및/또는 폐쇄 가능한 다공성 스트립들처럼, 선택적으로 폐쇄 가능한 기구들, 예를 들어 폐쇄 가능한 배출 홈들에 의해 다른 섹션들로부터 분리된다. 적어도 하나의 처리 표면, 또는 적어도 하나의 배출 구역, 또는 이들 두 영역들은 세그먼트 테두리들을 따라 개별 세그먼트들로 나뉠 수 있다.

물체가 서로 분리되어 있어야 하는 서로 다른 액체들을 구비한 복수의 분리된 습식 영역을 통과하면, 또한 상기한 세그먼트 테두리들은 가스상태의 유체에 의해 형성될 수 있다. 이런 식으로, 하나의 세그먼트로부터 다른 세그먼트로 액체 매질이 범람하는 것을 방지할 수 있고, 운반될 물체는 액체 쿠션 상에서 상기 매질의 보를 통과할 수 있다. 바람직하게는, 이 가스상태의 유체 쿠션들은 운반 방향으로 기판 길이보다 작은 길이를 갖기 때문에, 액체에 의한 가이드가 확실히 유지된다.

따라서, 유지 및 가이드에 대한 상기한 효과는 운반될 물체의 간격을 제어하는데 이용될 수도 있다. 복수의 기판들이 하나의 트랙에서 또는 복수의 시설들 사이에서 가능한한 가장 작은 간격으로 연속적으로 이송될 경우, 효율 때문에, 기판들이 서로 충돌하지 않도록 하여 서로 손상되지 않도록 하는 것이 중요하다.

또한 상기 구성은 고정된 처리 시간을 위해 단계적인 운반에 이용될 수도 있다. 이를 위해, 장치는, 꼬리를 문 기판들 사이의 간격을 기록하고, 적당한 제어 장치에 기록값들을 제공하며, 이어서 정지를 위한 장치들 및/또는 이송 기구의 구동 수단을 적당한 방법으로 제어하는 관련 센서들을 포함하는 것이 바람직하다.

이 실시예에 따르면, 스트림의 영향은 예를 들어 선택적으로 형성된 배출 홈들을 일시적으로 범람함에 따라, 예를 들어 전달량의 증가에 따라, 또는 해당 홈의 배출구를 감소시키거나 폐쇄함에 따라 발생할 수 있다. 이런 식으로, 운반 방향으로의 기판의 저항이 사라지고, 운반 제품이 다시 가속된다.

또한, 바람직하게는 kHz 또는 MHz 영역의 초음파가 처리 표면을 통해 액체에 결합될 수 있다. 이를 위해, 본 발명에 따른 장치는 선택적으로 관련 울트라소닉 및/또는 메가소닉 변환기들을 포함한다. 이들은 음파가 직접 평평한 물체들에 도달하도록 배열되거나, 또는 예를 들면 선택적으로 형성된 액체 수반의 측벽들의 자극 또는 반사에 의해 평평한 물체들로 간접적인 조사가 일어나도록 배열된다.

다른 실시예에 따르면, 또한 본 발명에 따라 분출 유체는 평평한 물체의 아래 뿐만 아니라 물체의 위에도 제공되어, 장치는 샌드위치 형태를 갖는다. 따라서, 본 발명에 따른 장치는 또한 2개의 처리 표면들을 구비하고, 이 장치는 바닥의 중력으로 인해 하나의 배출 구역이 구비되는 것만으로도 충분하다.

마지막으로, 바람직하게는 장치는 운반 또는 처리 액체의 유속을 통해 유량을 제어하는 적어도 하나의 기구를 더 포함하고, 적어도 하나의 기구는 각각 유입 체적 및/또는 유입 속도 및/또는 유출 체적 및/또는 유출 속도 및/또는 흡입 및/또는 액체막의 수위에 대한 국소 및/또는 전체 변화에 의해 영향을 받을 수 있다.

본 발명은 첨부된 도면들을 통해 상세히 설명된다.

본 발명은 바람직하게 분출되는 유체만을 이용하여, 예를 들면 물체를 유지하거나 가이드하기 위한 기계적인 작용, 비유체적인 측면 엣지, 리미터(limiters) 또는 다른 기계적인 가이드 보조 기구의 도움 없이, 본질적으로 평평한 물체들을 유지하고 가이드할 수 있다. 이러한 방식으로, 평평한 측면들 뿐만 아니라 특히 평평한 물체의 측방향 주변 엣지들의 기계적인 손상을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 본 발명은 예를 들면 운반 중에 물체의 습식 화학적 처리를 동시에 할 수 있다. 이송을 위해, 바람직하게는 본 발명은 또한 분출되는 유체를 통해 이송력을 제공할 수 있다. 바람직하게는, 특히 처리 시간이 정확하게 유지되어야 한다는 점에서, 특히 물체들을 동시 처리하는 경우에, 정확한 처리 시간을 유지하는 역할을 하도록 이송력이 제공될 수 있다. 본 발명은 또한 운반 방향으로 기판들을 이동시키는 것 뿐만 아니라, 일시적으로 기판들을 정지시킬 수 있고, 기판들은 예를 들면 기계적인 스토퍼들을 구비한 것과 같이, 주변과 기계적으로 접촉되지 않거나 미미하게 접촉된다.

도 1은 본 발명에 따른 장치의 처리 표면의 바람직한 실시예를 도시한 평면도,
도 2는 본 발명에 따라 제공된 이송 기구의 제1실시예를 구비한 본 발명에 따른 장치를 도시한 도면,
도 3은 본 발명에 따라 제공된 이송 기구의 제2실시예를 구비한 본 발명에 따른 장치를 도시한 도면,
도 4는 본 발명에 따라 제공된 이송 기구의 다른 실시예들을 구비한 본 발명에 따른 장치를 도시한 정면도,
도 5는 기판들이 적재된 본 발명에 따른 장치의 평행하게 배치된 2개의 처리 표면들을 도시한 사시도,
도 6은 기판들이 적재되고, 일측이 분할된 본 발명에 따른 장치의 평행하게 배치된 2개의 처리 표면들을 도시한 사시도,
도 7은 기판들이 적재된 본 발명에 따른 장치의 평행하게 배치된 2개의 처리 표면들의 다른 실시예를 도시한 사시도,
도 8a는 본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시예의 평면도이고, 도 8b는 본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시예를 도시한 단면도,
도 9는 본 발명에 따른 장치의 다른 실시예를 도시한 단면도,
도 10은 기판을 정지시키기 위한 기구의 바람직한 실시예를 도시한 도면,
도 11a 및 도 11b는 각각 처리 표면의 가장자리 영역의 위치를 개략적으로 도시한 도면 및 이의 상세도,
도 12는 하나는 아래에 배치되고 다른 하나는 기판(1) 위에 배치되는, 액체(F)를 분출하는 2개의 처리 표면들(7)을 구비한 본 발명에 따른 장치의 일 실시예를 도시한 단면도.

도 1은 테두리에 배출 구역들을 구비한 본 발명에 따른 장치의 처리 표면의 바람직한 실시예를 도시한 평면도이다. 처리 표면(7)은 도시된 실시예에서 처리 표면(7) 상의 중심에 배열된 유입 구역(2)을 포함하고, 양측면들에 배열된 2개의 배출 부들(3)로 둘러싸인다. 유입 구역(2)은 도시된 실시예에서 규칙적으로 배열된 다수의 관통공들(6)을 포함한다. 또한, 작은 보어홀들이 유입구로서 도시된다.

도 1은 또한 도 1에 도시된 것처럼 각각 설계되고, 차례대로 배치된 개별 세그먼트들로 구성될 수 있는 본 발명에 따른 장치를 나타낸다. 따라서, 오버랩 영역(8)은 세그먼트의 일단과 이어지는 세그먼트의 시작점이 단지 겹쳐지도록 설계되어 제공되는 것이 바람직하다. 이를 위해, 오버랩 영역은 타단의 오버랩의 반대편 일단에 형성된다.

도 2에서, 본 발명에 따른 장치의 일 실시예는 본 발명에 따라 제공된 이송 기구(4)의 제1실시예를 포함하는 것으로 도시된다. 이송 기구는 롤들(rolls)과 밴드들(bands)들로 구성된 구동 수단들(4') 및 구동 수단들(4')에 부착되고 작은 판들로 구성된 캐치들(catshes) 형태의 이송 기구들(4")을 포함한다. 작은 판들은 운반 방향으로부터 먼 방향의 후방 엣지에서만 기판들(1)과 접촉된다.

도 3은 스크래퍼 플로어 레일(scraper floor rails)을 구비한 본 발명에 따라 제공된 이송 기구의 제2실시예를 도시한다. 캐치들과 같은 스트립은 연속적으로 설계되어 각각의 기판들(1)의 후방 엣지 전체와 접촉된다. 스트립들의 밑면은 처리 표면 위를 문지른다. 개별 스크래퍼 플로어 레일은 서로 이격되어 있고, 양측면들이 해당 구동 벨트들과 각각 연결된다.

도 4는 각각 본 발명에 따라 제공된 이송 기구의 다른 실시예들을 구비한 본 발명에 따른 장치를 도시한 정면도이다.

"I"로 표시된 부분은 유입 구역(2)과 기판(1) 위에 배치된 이송 기구들(4")을 나타낸다. 따라서, 캐치들은 캐치들이 기판(1)의 후방 엣지와 접촉하고 도면에 도시된 기판(1)에 이송력(V)을 가하는 하방을 향한다.

"II"로 표시된 부분은 기판(1) 아래에 배치된 이송 기구들(4")을 나타낸다. 도시된 도면에서, 구동 수단(4')은 운반 방향(T)을 따라 유입 구역에 걸쳐서 도시된 홈들에 삽입되어 배열된다. 이송 기구(4")는 기판의 운반 영역에서 상방으로 연장되고 기판의 후방 엣지와 접촉하도록 구동 수단에 부착된다.

"III"로 표시된 부분은 캐치들로 구성된 이송 기구들(4")을 나타내고, 캐치들은 기울어지도록 설계되어 각각 기판(1)의 후방 모서리들 및 후방 엣지의 일부와 접촉된다.

도 5는 기판들(1)이 적재된 본 발명에 따른 장치의 평행하게 배치된 2개의 처리 표면들(7)을 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 액체 물결은 유입 구역(2) 상에 형성되고, 배출 구역(3), 더 정확히는 여러개의 배출 홈들(3')로 배출되는 액체(F)를 나타낸다. 바람직하게는, 중심에 배치된 배출 홈(3')은 두 처리 표면들(7)을 위한 동시 배출 홈으로서의 역할을 한다. 배출 홈들에 모여있고 배출 홈들로부터 액체를 배출하는 보어홀들은 도시되어 있지 않다.

도 6에서, 기판들이 적재되고, 일측이 분할된 본 발명에 따른 장치의 평행하게 배치된 두 표면들(7)이 사시도로 도시된다. 우측에 도시된 처리 표면의 세그먼트들은 분할 테두리들(9)에 의해 서로 분리된다. 이들 분할 테두리들(9)은 도시된 실시예에 따른 배출 홈들(3')과 같은 형태로 설계된다. 관통공들(6)로부터 흘러나오는 액체(F)의 양이 너무 적게 제공되면, 기판들(1)은 분할 테두리들(9)을 넘어갈 수 없다. 액체의 양이 적당하게 증가되어 액체 수위가 증가되면, 기판들(1)은 분할 테두리들(9)을 넘어갈 수 있다. 바람직하게는, 분할 테두리들은 폐쇄되면 배출 홈들(3')이 채워지도록 하는 폐쇄가능한 배출 개구들을 구비할 수 있어, 기판들(1)이 분할 테두리들(9)을 통과할 수 있다.

도 7은 기판들이 적재된 본 발명에 따른 장치의 평행하게 배열된 2개의 처리 표면들(7)의 다른 실시예를 도시한 사시도이다. 여기에 도시된 실시예는 도 1에 평면도로서 도시된 실시예와 거의 유사하고, 도면에서 좌측에 도시된 처리 표면이 V 형상 슬롯들을 구비한 바람직한 실시예를 나타낸다.

도 8은 기판(1)을 구비한 본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시예의 평면도(8a)를 나타낸다. 복수열의 관통공들(6)은 처리 표면(7) 상에 존재하고, 아래에 배치열 도시되지 않은 이송 및 배출 시스템과 연결된다. 또한 도 8b에 도시된 측면도와 관련된 절단선이 도시된다. 운반 방향(T)으로 부분적으로 기울어지고, 우측을 향하고, 부분적으로 서로 대향하는 경사진 관통공들(6)을 잘 볼 수 있다. 또한 정확하게 같은 열, 즉 처리 표면(7)의 일측에 각각 동일한 간격으로, 서로 다른 경사를 갖는 관통공들(6)이 구비된 것을 볼 수 있다. 따라서, 이들 관통공들(6)은, 무리지어 제어될 수 있다면, 선택적으로 기판을 가속시키거나 감속시키기 위해 사용될 수 있다. 또한, 원한다면 경사 방향에 따라, 기판에 추가적인 가속력 또는 감속력을 가하기 위해 장치 전체가 10°의 각도로 기울어질 수 있다.

도 9는 본 발명에 따른 장치를 운반 방향(T)과 수직으로 위치한 평면을 따라 절개한 단면도이다. 기판(1)은 처리 표면(7) 상에 배치된다. 액체(F)는 처리 표면(7) 상에서 관통공들(6)을 통해 배출되고, 기판(1)을 지지하는 액체막을 형성한다. 개별적인 관통공들(6)에 액체를 공급하는 흡입구(13)를 구비한 공동(12)은 관통공들(6) 아래에 위치된다. 액체는 처리 표면(7)을 떠나 해당 배출 홈들(3')로 유입된다.

도 10에, 기판을 정지시키기 위한 기구의 바람직한 실시예가 도시된다. 도면은 운반 방향(T)와 평행하게 위치되고 처리 표면(7)의 표면과 수직한 평면을 따라 배치된 또 다른 단면도로서 도시된다. 또한, 도면의 왼쪽 부분에서, 기판(1)은 꼬리를 문 두 세그먼트들의 분할 테두리(9)와 바로 인접하게 위치된 것으로 도시된다. 공동(12)을 통해 관통공들(6)로 분출되고, 계속해서 처리 표면(7) 상에 분출되는 액체는 운반 방향(T)으로 경사진 관통공들(6)로 인해, 기판에 이송력(V)을 가한다. 그러나, 액체가 배출되는 배출 홈(3') 형태의 홈이 분할 테두리(9)에 위치되어, 기판(1)은 이 홈을 통과하지 않는다. 그러나, 수직으로 이동가능한 스트립(14)이, 예를 들면 스트립(14)의 밑면에서의 과도한 압력에 의해 처리 표면(7)의 높이까지 상승하면, 배출 홈(3')이 폐쇄되어 기판(1)이 통과될 수 있다.

도 11a 및 도 11b는 각각, 처리 표면의 테두리 영역의 위치를 개략적으로 도시한 도면 및 Y부분의 상세도이다. 기판(1)은 각각, 처리 표면(7)에 위치되고, 처리 표면(7)의 테두리를 지나 배출 홈(3')의 영역으로 약간 연장되어 위치된 것으로 도시된다. 이어서 기판은 아래로부터 기판에 대향하여 분출되는 액체에 의해 상승된다. 테두리 영역에서, 액체는 주로 배출 홈(3')으로 흐르지만, 또한 기판(1)의 밑면을 적신다. 밑면을 적시는 이 얇은 액체막의 표면 장력은 자유 표면을 감소시켜, 에너지적으로 더 양호한 상태에 도달한다. 기판 엣지(1')가 처리 표면(7)의 테두리를 지나 너무 멀리 연장되지 않는 한, 상기 액체막은 기판 엣지(1')까지 도달하지만, 기판(1)의 상측 방향으로는 지나갈 수 없다. 통상 뾰족한 엣지에 형성되고, 기판의 엣지에 액체막의 테두리를 고정하는 모세관 효과에 의해, 액체막은 처리 표면(7)의 방향으로 기판(1)을 잡아당기는 것에 의해서만 그 표면을 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에서 원하는 자동 위치결정의 효과를 얻을 수 있다.

처리액을 구비한 운반의 경우에, 형상 및 유동 파라미터들이 정확하게 조절된다면, 기판의 한 측면만을 처리할 수 있고, 원한다면, 엣지들이 적셔질 수도 있다.

도 12에서, 액체(F)를 분출하는 2개의 처리 표면들(7)을 구비하는 본 발명에 따른 장치의 일 실시예의 단면도가 도시되고, 2개의 처리 표면들 중 하나는 기판(1) 아래에 배치되고, 다른 하나는 기판(1) 위에 배치된다. 다시, 공동들(12)을 통해 관통공들(6)이 집합적으로 액체(F)를 공급하고, 액체는 기판(1)의 양측면들에 대향하여 분출되어, 기판의 양측면들이 지지된다. 처리 표면(7)에 인접하여, 양측면들에 배치되고 액체가 유입되는 배출 구역들(3)은 운반 공백이 생긴 이후에 배출된다.

1 기판, 평평한 물체
1' 기판 엣지
2 유입 구역
3 배출 구역
3' 배출 홈
4 이송 기구
4' 구동 수단
4" 이송 수단
5 울트라- / 메가소닉 처리부
6 관통공들
7 처리 표면
8 오버랩 영역
9 분할 테두리
10 각도
11 노즐 보어홀
12 공동
13 흡입구
14 스트립
F 운반액 또는 처리액, 액체
V 이송력
K 가이드 힘
T 운반 방향

Claims

장치를 이용하여 액체 상에서 대체로 평평하고 자유롭게 이동 가능한 적어도 하나의 물체(1)를 운반하는 방법으로서,
상기 장치는 적어도 하나의 유입 구역(2)을 구비한 적어도 하나의 처리 표면 및 적어도 하나의 배출 구역(3)을 포함하며,
운반에 필요한 액체(F)는 적어도 하나의 배출 구역(3)으로 배출되기 전에 평평한 물체(1)를 향하여 분출되는 방식으로 적어도 하나의 처리 표면의 적어도 하나의 유입 구역(2)으로부터 분출되어, 액체(F) 막을 제공하는 접착력이 처리 표면과 평평한 물체(1) 사이에 형성됨으로써, 물체(1)는 기계적인 안내 보조기구 없이 액체 필름 상에서 유지되고 트랙에 밀착되도록 가이드될 수 있는 것을 특징으로 하는 방법.
제1항에 있어서,
액체(F)는 처리액인 것을 특징으로 하는 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
평평한 물체를 이동시키기 위해 평평한 물체(1)에 추가적으로 이송력(V)이 가해지는 것을 특징으로 하는 방법.
제3항에 있어서,
이송력(V)은 유체적으로 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
제3항 또는 제4항에 있어서,
이송력(V)은 이송 기구(4)에 의해 추가적으로 또는 단독으로 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
액체 상에서 대체로 평평하고 자유롭게 이동 가능한 물체(1)를 운반하는 장치로서,
- 복수의 관통공들(6)을 갖는 적어도 하나의 유입 구역(2)을 구비한 적어도 하나의 처리 표면,
- 유입된 액체를 배출하는 적어도 하나의 배출 구역(3)을 포함하고,
평평한 물체(1)는 복수의 관통공들(6)로부터 분출되는 액체(F)에 지지되어 이동될 수 있으며,
상기 장치는 평평한 물체(1)를 유지하고 가이드하기 위한 어떠한 비유체적인 엣지, 리미터, 또는 다른 기계적인 가이드 보조 기구를 포함하지 않고, 평평한 물체(1)는 분출되는 유체(F)에 의해서만 유지되고 가이드되는 것을 특징으로 하는 장치.
제6항에 있어서,
유입 구역(2)은 평평한 처리 표면(7)의 일부로서 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
제6항 또는 제7항에 있어서,
처리 표면(7)은 고정되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
처리 표면(7)은 평평한 물체(1)보다 4mm를 초과하지 않는 폭을 가지며, 바람직하게는 평평한 물체(1)보다 3mm를 초과하지 않는 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
배출 구역(3)은 보어홀들로 구성되거나 배출 홈, 다공성 스트립, 또는 격자 형상 개구로 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 장치는 배출 구역(3)로부터 액체(F)를 흡입하는 능동 흡입부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
제6항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
평평한 물체(1)에 작용하는 이송력(V)을 발생시키는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
제12항에 있어서,
이송력(V)은 처리 표면(7)의 유입 구역(2)의 경사진 관통공들(6)에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
제13항에 있어서,
관통공들(6)은 그 경사각 및/또는 그 단면이 변경가능하게 설계되는 것을 특징으로 하는 장치.
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
이송력(V)은 이송 기구(4)에 의해 추가적으로 또는 단독으로 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
제15항에 있어서,
이송 기구(4)는 구동 벨트, 연결 체인, 공압 실린더, 및 유체 펌프로 구성된 그룹으로부터 선택된 구동 수단(4') 및 기계적인 말단 걸리개, 캠, 립, 핀, 및 스크래퍼 플로어 레일로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 이송 수단(4")을 포함하고, 바람직하게는, 이송 수단(4")은 각각 운반 방향(T)과 수직하게 위치한 평평한 물체(1)의 엣지에만 작용하는 것을 특징으로 하는 장치.
제15항 또는 제16항에 있어서,
이송 기구(4)는 운반 방향(T)으로 구동 가능하도록, 그리고 선택적으로 추가적으로 정지 가능하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 장치.
제6항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 하나의 처리 표면(7) 및/또는 적어도 하나의 배출 구역(3)는 세그먼트 테두리들(9)을 구비한 단일 세그먼트들로 분리될 수 있으며, 평평한 물체(1)를 정지시키기 위한 기구들이 세그먼트 테두리들(9)에 배열된 것을 특징으로 하는 장치.
제18항에 있어서,
정지 기구들은 폐쇄 가능한 배출 홈들, 하강 가능한 범람 엣지들, 또는 하강 및/또는 폐쇄 가능한 다공성 스트립들로 설계되는 것을 특징으로 하는 장치.
제6항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
추가적으로, 적어도 하나의 처리 표면(7)이 평평한 물체(1) 위에 배열된 것을 특징으로 하는 장치.