KR20100105447A - 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

처리조(1)는, 상면에 제1 기준면(18)이 형성된 복수의 연결 부재(9)를 가지고, 이들 연결 부재가 미리 정해진 간격으로 가설된 직사각 형상의 하부 프레임(2)과, 하부 프레임의 4코너부에 하단부가 연결되어 세워 설치된 지주 부재(4)와, 지주 부재의 상단부에 4코너부가 연결되어 마련된 상부 프레임(3)과, 지주 부재의 높이 치수에 대응하는 간격으로 상하 방향으로 이격한 하부 프레임과 상부 프레임이 이루는 4개의 측면에 마련되며 미리 정해진 방향으로 위치하는 한쌍의 측면 중 한쪽에 기판의 반입구가 형성되고 다른쪽에 상기 기판의 반출구가 형성된 측벽 부재(11)와, 제1 기준면을 기준으로 하여 부착되며 반입구를 통하여 내부에 반입된 기판을 반출구를 향하여 반송하는 반송 유닛(29)과, 하부 프레임의 개구 부분을 폐색하는 바닥 부재(21a, 21b)와, 상부 프레임의 개구 부분을 폐색하는 천장 부재(25)에 의해 구성되어 있다.

Description

기판 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE}

본 발명은 처리조 내에서 반송되는 기판을 예컨대 약액 등의 처리액으로 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치나 반도체 장치의 제조 공정에서는, 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 기판을 에칭 처리하거나, 에칭 처리 후에 마스크로서 사용된 레지스트를 박리 처리하거나, 에칭 처리나 박리 처리가 행해진 기판을 세정 처리하는 공정이 있다. 이러한 기판의 처리 공정에서는, 기판을 1장씩 반송하면서 처리하는 매엽 방식이 채용되고 있다.

매엽 방식에 의해 기판을 처리하는 경우, 기판을 반송하면서 그 상하면 혹은 상면에 샤워 노즐로부터 처리액을 분사하여 처리하는 처리 장치가 알려져 있다. 이러한 방식의 처리 장치는 박스형의 처리조를 갖는다.

상기 처리조 내에는 반송 롤러를 갖는 복수의 반송축이, 축선이 상기 기판의 반송 방향에 직교하고, 또한 기판의 반송 방향에 대하여 미리 정해진 간격으로 이격하여 회전 구동 가능하게 배치되어 있다. 따라서, 상기 기판은 회전 구동되는 반송축에 마련된 반송 롤러에 의해 하면이 지지되어 처리조 내에서 미리 정해진 방향으로 반송되도록 되어 있다.

종래, 상기 처리조는 내약품성을 구비한 재료, 예컨대 염화비닐 등의 합성 수지제의 판재에 의해 박스형으로 형성되어 있다. 그리고, 처리조는 그 크기에 따라 판재의 두께를 바꿈으로써, 그 판재가 예컨대 처리조 내에서 생기는 분위기의 흐름에 의해 부가되는 풍압 등에 의해 변형되거나, 손상되는 일이 없는 강성을 갖도록 하고 있었다. 즉, 처리조는 단체(單體)로서 사용에 견딜 수 있는 강성을 구비하도록 하고 있었다.

그런데, 최근에서는 상기 기판의 대형화가 현저하고, 액정 표시 장치에 이용되는 기판의 경우, 한 변이 2 m(2 m×2 m) 이상의 크기가 되는 경우가 있다. 기판이 대형화하면, 그에 따라 처리조도 대형화시키지 않으면 안 된다. 처리조를 대형화하는 경우, 이 처리조에 단체로서 사용에 견딜 수 있는 강성을 구비하기 위해서는 판재의 두께를 수십 ㎜의 두께로 하지 않으면 안 된다.

그러나, 처리조를 구성하는 판재를 두껍게 하여 강성을 구비하도록 하면, 처리조의 고중량화를 초래하게 되기 때문에, 공장으로부터의 출하 시 등에 있어서 취급이 곤란하게 되는 경우가 있다. 더구나, 처리조를 형성하는 판재의 면적이 커지기 때문에, 그 판재를 두껍게 하여도, 충분한 강성을 얻기 어렵고, 처리조 내에 생기는 기류 등의 영향을 받아 변형이 반복되어, 판재 상호의 접속 부분이 손상될 우려가 있다.

그래서, 특허문헌 1에서는, 처리조를 형성하는 판재를 보강용의 프레임에 의해 보강함으로써, 처리조를 대형화하여도, 상기 판재를 두껍게 하는 일 없이 강성을 구비할 수 있도록 한 처리 장치가 제안되어 있다.

일본 특허 공개 제2006-93339호 공보

처리조를 특허문헌 1에 나타내는 구성으로 함으로써, 처리조를 구성하는 판재를 두껍게 하는 일 없이, 처리조의 강성을 높이는 것이 가능해진다.

그런데, 기판이 대형화하면, 기판의 대형화에 따라 처리조가 대형화하기 때문에, 그에 따라 처리조 내에 마련되는 반송축이 길어진다. 즉, 처리조 내에 마련되는, 기판을 반송하기 위한 반송 유닛이 대형화하는 것을 피할 수 없다.

반송 유닛이 대형화하면, 그 반송 유닛을 처리조 내에 미리 정해진 범위 내의 정밀도로 수평으로 설치하는 것이 매우 어렵게 된다고 하는 문제가 있을 뿐만 아니라, 그 설치에 많은 시간이 걸린다고 하는 문제가 있다.

본 발명은 판재를 두껍게 하는 일 없이, 처리조의 강성을 높이고, 기판을 반송하는 반송 유닛을 처리조 내에 정밀도 좋게, 아울러 용이하게 설치할 수 있도록 한 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 처리조를 가지며, 이 처리조 내에서 반송되는 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서,

상기 처리조는,

상면에 제1 기준면이 형성된 복수의 연결 부재를 가지고, 이들 연결 부재가 미리 정해진 간격으로 가설된 직사각 형상의 하부 프레임과,

이 하부 프레임의 4코너부에 하단부가 연결되어 세워 설치된 지주 부재와,

상기 하부 프레임과 거의 동일한 크기의 직사각 형상으로 형성되며 상기 지주 부재의 상단부에 4코너부가 연결되어 마련된 상부 프레임과,

상기 지주 부재의 높이 치수에 대응하는 간격으로 상하 방향으로 이격한 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임이 이루는 4개의 측면에 마련되고 미리 정해진 방향으로 위치하는 한쌍의 측면 중 한쪽에 상기 기판의 반입구가 형성되며 다른쪽에 상기 기판의 반출구가 형성된 측벽 부재와,

상기 하부 프레임에 미리 정해진 간격으로 가설되며 각각의 상면에 제1 기준면이 형성된 복수의 연결 부재와,

상기 연결 부재의 제1 기준면을 기준으로 하여 부착되고 상기 반입구로부터 내부에 반입된 기판을 상기 반출구를 향하여 반송하는 반송 유닛과,

상기 하부 프레임의 개구 부분을 폐색하는 바닥 부재와,

상기 상부 프레임의 개구 부분을 폐색하는 천장 부재

에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 따르면, 처리조를 하부 프레임 및 상부 프레임에 의해 보강할 수 있으며, 하부 프레임에 가설된 복수의 연결 부재의 상면을 제1 기준면으로 하고, 이 제1 기준면을 기준으로 하여 반송 유닛을 설치하도록 하였기 때문에, 반송 유닛을 처리조 내에 고정밀도로, 아울러 용이하게 설치하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 일실시형태를 나타내는 처리 장치의 종단면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 처리 장치의 횡단면도이다.
도 3은 처리조의 분해 사시도이다.
도 4는 처리조의 조립 상태를 일부 생략한 사시도이다.
도 5는 반송 유닛의 폭 방향 일단부를 확대하여 나타내는 정면도이다.
도 6은 반송 유닛의 폭 방향 중앙 부분을 확대하여 나타내는 정면도이다.

이하, 본 발명의 일실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 본 발명의 처리 장치의 종단면도로서, 이 처리 장치는 처리조(1)를 구비하고 있다. 이 처리조(1)는 도 3에 나타내는 바와 같이 직사각 형상의 하부 프레임(2)과, 이 하부 프레임(2)과 거의 동일한 크기의 직사각 형상의 상부 프레임(3), 그리고 상기 하부 프레임(2)의 4코너부의 상면에 설치되고 상단이 상기 상부 프레임(3)의 4코너부의 하면에 연결된 지주 부재(4)에 의해 구성된 프레임체(5)를 갖는다.

이 프레임체(5)를 구성하는 상기 하부 프레임(2)은, 미리 정해진 방향으로 미리 정해진 간격으로 이격된 한쌍의 가로 부재(2a)의 중도부 및 양단부를 3개의 중실인 각주형의 연결 부재(9)로 연결하여 형성되어 있다. 상기 하부 프레임(2)의 한쌍의 가로 부재(2a), 상기 상부 프레임(3)의 각 부재 및 지주 부재(4)는 각각 염화비닐 등의 내약품성을 구비한 합성 수지로 이루어지는 통형의 부재에 의해 형성되어 있다. 또한, 상기 가로 부재(2a)의 양단 개구는 폐색되어 있다.

상기 하부 프레임(2)의 가로 부재(2a)의 내부 공간과, 상기 상부 프레임(3)을 형성하는 4개의 부재(3a)의 내부 공간은, 상기 지주 부재(4)의 내부 공간을 통해 연통하고 있다. 즉, 프레임체(5)를 형성하는 부재 중, 상기 연결 부재(9)를 제외한 부재의 내부 공간은 서로 연통하고 있다.

상기 상부 프레임(3)의 미리 정해진 방향 일단부의 외면에는, 상기 내부 공간에 연통하는 배기구체(6)(도 1에 나타냄)가 마련되어 있다. 이 배기구체(6)에는 배기 수단을 구성하는 배기 블로워(blower)(도시하지 않음)가 접속된다. 도 3과 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 하부 프레임(2)과 상부 프레임(3)의 내주면에는 배기구(8)가 개구 형성되어 있다.

따라서, 상기 배기 블로워가 작동하면, 상기 처리조(1) 내의 분위기가 상기 배기구(8)를 통하여 프레임체(5)를 형성하는 부재의 내부 공간에 흡인되고, 상기 배기구체(6)에 접속된 배기 블로워에 의해 외부로 배출되도록 되어 있다.

또한, 프레임체(5)의 배기구체(6)가 마련된 방향을 처리조(1)의 폭 방향으로 한다.

상기 프레임체(5)의 4개의 외주면, 즉 하부 프레임(2)과 상부 프레임(3) 사이의 개구부는, 각각 염화비닐 등의 내약품성을 구비한 합성 수지에 의해 형성된 판형의 측벽 부재(11)에 의해 폐색되어 있다.

상기 프레임체(5)의 상부 프레임(3)에서의 상기 배기구체(6)가 마련된, 상기 미리 정해진 방향의 측면을 덮는 한쌍의 측벽 부재(11)에는 한쌍의 개구(13)가 형성되고, 이 개구(13)는 처리조(1)의 내부를 들여다 볼 수 있는 투명한 창 부재(12)에 의해 폐색되어 있다.

상기 처리조(1)의 폭 방향과 교차하는 방향에 마련된 한쌍의 측벽 부재(11) 중 한쪽에는 슬릿형의 반입구(14)가 형성되고, 다른쪽에는 마찬가지로 슬릿형의 반출구(15)가 형성되어 있다. 상기 반입구(14)로부터 상기 처리조(1) 내로는 예컨대 액정 패널에 이용되는 유리제의 기판(W)(도 6에 나타냄)이 반입된다. 처리조(1)에 반입된 기판(W)은, 후술하는 바와 같이 처리조(1) 내에 마련된 반송 유닛(29)에 의해 상기 반출구(15)를 향하여 반송된다. 기판(W)의 반송 방향을 도 2에 화살표 F로 나타낸다.

도 5와 도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 하부 프레임(2)의 3개의 연결 부재(9) 중, 폭 방향 양단에 위치하는 2개의 연결 부재(9)의 상면과, 중앙에 위치하는 연결 부재(9)의 상면에 마련된 기준판(10)의 상면은 각각 동일 평면을 이루는 제1 기준면(18)에 형성되고, 3개의 연결 부재(9)의 하면은 각각 동일 평면을 이루는 제2 기준면(19)에 형성되어 있다.

또한, 폭 방향 중앙에 위치하는 연결 부재(9)의 상면에 기준판(10)을 부착하여 제1 기준면(18)으로 하였지만, 연결 부재(9)의 상면을 직접, 다른 연결 부재(9)의 상면의 제1 기준면(18)과 동일한 높이의 제1 기준면(18)으로 하여도 지장은 없다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 상기 하부 프레임(2)을 구성하는 3개의 연결 부재(9) 사이에 형성된 2개의 개구부는, 각각 바닥 부재(21a, 21b)에 의해 폐색되어 있다. 3개의 연결 부재(9)의 하면인 제2 기준면(19)은 바닥 부재(21a, 21b)로부터 하방으로 돌출하고 있다.

상기 바닥 부재(21a, 21b)는 염화비닐 등의 합성 수지에 의해 형성되어 있고, 한쪽의 바닥 부재(21a)에는 배액구(22)가 형성되어 있다. 이 배액구(22)는 배관에 의해 배액 탱크(함께 도시하지 않음)에 접속되고, 처리조(1) 내에서 반송되는 기판(W)에 공급된 처리액을 배출하도록 되어 있다.

상기 상부 프레임(3)의 상기 폭 방향과 교차하는 방향의 중도부에는 제1 지지 부재(23)가 상기 폭 방향을 따라 착탈 가능하게 가설되어 있다. 제1 지지 부재(23)와 상기 상부 프레임(3)의 한쌍의 측변부 사이에는, 도 1과 도 3에 나타내는 바와 같이 각각 3개, 합계 6개의 제2 지지 부재(24)가 가설되어 있다.

상기 상부 프레임(3)과, 상기 제1, 제2 지지 부재(23, 24)에 의해 구획된 8개의 개구부에는, 이들 개구부를 각각 폐색하는 판형의 천장 부재(25)가 착탈 가능하게 마련되어 있다. 그에 의해, 프레임체(5)의 외주면, 바닥면 및 상면의 개구는 각각 측벽 부재(11), 바닥 부재(21a, 21b) 및 천장 부재(25)에 의해 폐색되어 있다.

이와 같이 구성된 처리조(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 상기 연결 부재(9)의 제2 기준면(19)을 기준으로 하여 피설치 부재로서의 설치 프레임(26)의 상면에 설치된다. 3개의 연결 부재(9)의 제2 기준면(19)은 동일 평면에 위치하도록 설정되어 있다. 따라서, 상기 처리조(1), 즉 프레임체(5)를 상기 설치 프레임(26)의 상면에 높은 수평 정밀도로 설치할 수 있다.

또한, 상기 설치 프레임(26)은, 도 1에 나타내는 바와 같이 폭 방향의 일단이 힌지(27)에 의해 가대(架臺; 28)에 피봇 부착된다. 상기 설치 프레임(26)의 폭 방향의 타단은 도시하지 않는 실린더 등의 구동원에 연결되어 있다.

이에 의해, 상기 설치 프레임(26)은 힌지(27)를 지점(支點)으로 하여 도시하지 않는 구동원에 의해 회동 가능하기 때문에, 상기 처리조(1)를 폭 방향에 대하여 임의의 각도로 경사지게 할 수 있다. 즉, 기판(W)을 후술하는 바와 같이 처리조(1) 내에 마련되는 반송 유닛(29)에 의해 수평인 상태로 반송하거나, 미리 정해진 각도로 경사지게 반송할 수 있도록 되어 있다.

상기 처리조(1)의 내부에는 상기 반송 유닛(29)이 설치된다. 이 반송 유닛(29)은, 도 2에 나타내는 바와 같이 상기 처리조(1)의 기판(W)의 반송 방향과 교차하는 폭 방향의 중앙부에서 제1 유닛부(29a)와 제2 유닛부(29b)로 분할되어 있다. 각 유닛부(29a, 29b)는 처리조(1)의 폭 방향에 대하여 미리 정해진 간격으로 평행하게 이격 대향한 단면 L자형의 한쌍의 부착 부재(32)를 갖는다.

도 5와 도 6에 나타내는 바와 같이, 한쌍의 부착 부재(32)의 수직인 한변에는 각각 띠판형의 지지 부재(33)의 하단부가 부착 고정되어 있다. 각 유닛부(29a, 29b)의 한쌍의 지지 부재(33)에는 각각 상기 폭 방향과 교차하는 방향으로 대응하는 위치에 베어링 부재로서의 하부 베어링(34)이 마련되고, 폭 방향 외방에 위치하는 지지 부재(33)에는 하부 베어링(34)의 상방에 상부 베어링(35)이 마련되어 있다.

각 유닛부(29a, 29b)의 한쌍의 지지 부재(33)에 마련된 대응하는 한쌍의 하부 베어링(34)에는, 반송축(37)을 축 방향 중도부에서 2개로 분단한 축부(37a)의 양단부가 각각 회전 가능하게 지지되어 있다. 각 축부(37a)에는 복수의 반송 롤러(38)가 미리 정해진 간격으로 마련되어 있다. 각 반송 롤러(38)는 상기 반입구(14)를 통해 처리조(1) 내에 공급된 기판(W)의 하면을 지지하도록 되어 있다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 상기 지지 부재(33)에 마련된 상부 베어링(35)에는 상기 축부(37a)에 비해서 충분히 짧은 압박축(39)의 일단부가 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 압박축(39)의 타단부에는 상기 반송 롤러(38)에 의해 반송되는 기판(W)의 폭 방향 양단부의 상면을 압박하여 기판(W)이 부상하는 것을 방지하는 압박 롤러(41)가 마련되어 있다.

상기 한쌍의 유닛부(29a, 29b)를 구성하는 각 한쌍의 부착 부재(32) 중, 상기 처리조(1)의 폭 방향 양단부에 위치하는 한쪽의 부착 부재(32)는, 도 5에 나타내는 바와 같이 상기 하부 프레임(2)의 폭 방향 양단에 위치하는 한쌍의 연결 부재(9)의 상면인 제1 기준면(18)을 기준으로 하여 배치된다.

한쌍의 유닛부(29a, 29b)의 각 다른쪽의 부착 부재(32)는, 도 6에 나타내는 바와 같이 상기 하부 프레임(2)의 폭 방향 중앙에 위치하는 연결 부재(9)의 상면에 마련된 상기 기준판(10)의 상면의 제1 기준면(18)을 기준으로 하여 그 폭 방향 일단부와 타단부에 각각 배치되어 있다.

상기 한쌍의 유닛부(29a, 29b)의 각 한쌍의 부착 부재(32)에 회전 가능하게 지지되어 상기 폭 방향 중앙에서 단부가 대향하는 각 한쌍의 축부(37a)는, 이들의 단부가 이음매(42)에 의해 분해 가능하게 연결된다.

즉, 단부가 이음매(42)에 의해 연결된 한쌍의 축부(37a)가 상기 반송축(37)을 구성하고 있다. 따라서, 반송 유닛(29)은, 이음매(42)에 의해 연결된 반송축(37)을 분해하면, 2개의 유닛부(29a, 29b)로 분할하여 취급할 수 있다.

상기 유닛부(29a, 29b)의 부착 부재(32)의 다른 변에는, 도 5와 도 6에 나타내는 바와 같이, 이 부착 부재(32)의 다른 변을 제1 기준면(18)에 부착 고정하기 위한 고정 나사(44)와, 이 고정 나사(44)에 의해 부착 부재(32)를 제1 기준면(18)에 부착하기 전에 각 유닛부(29a, 29b)의 수평도를 조정하기 위한 조정 나사(45)가 마련되어 있다.

이에 의해, 각 유닛부(29a, 29b)를 상기 제1 기준면(18)을 기준으로 하여 처리조(1) 내에, 수평도를 고정밀도로 설정하여 설치할 수 있도록 되어 있다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 각 유닛부(29a, 29b)의 축부(37a)의 폭 방향 외방의 지지 부재(33)에 마련된 상하의 베어링(34, 35)은 차폐판(46)에 의해 덮여진다. 이에 의해, 각 베어링(34, 35)에서 진애가 발생하여도, 그 진애가 처리조(1) 내에서 반송되는 기판(W)에 부착되는 것을 방지하고 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이 처리조(1)의 폭 방향 일단부의 외측에는 구동원(43)이 마련되어 있다. 이 구동원(43)은, 상기 처리조(1) 내에 마련된 반송 유닛(29)의 복수의 반송축(37)을 미리 정해진 방향으로 회전 구동한다. 이에 의해, 처리조(1)의 반입구(14)를 통하여 내부에 공급된 기판(W)은 반출구(15)를 향하여 수평 반송되도록 되어 있다.

또한, 구동원(43)의 회전 동력은 톱니바퀴나 체인 등의 도시하지 않는 동력 전달 부재를 통해 상기 반송축(37)에 전달하도록 되어 있다.

또한, 처리조(1) 내에는 이 내부에서 반송되는 기판(W)의 상면에 세정액이나 약액 등의 처리액을 분사 공급하는 샤워 파이프(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 그에 의해, 기판(W)은 처리조(1) 내에서 반송되는 동안에 처리액에 의해 처리되도록 되어 있다.

이러한 구성의 처리 장치에 의하면, 처리조(1)의 상부 프레임(3)에 마련된 천장 부재(25) 및 제1, 제2 지지 부재(23, 24)를 제거한 상태로, 그 내부에 반송 유닛(29)을 설치한다. 반송 유닛(29)은, 이음매(42)를 떼어 반송축(37)을 2개의 축부(37a)로 분단하면, 2개의 유닛부(29a, 29b)로 분할하여 취급할 수 있다. 즉, 반송 유닛(29)을, 이 반송 유닛(29)의 전체 크기의 절반의 크기의 유닛부(29a, 29b)로서 취급할 수 있다.

따라서, 2개의 유닛부(29a, 29b)의 취급이 용이해지기 때문에, 반송 유닛(29)을 비교적 용이하게 처리조(1) 내에 취입할 수 있다.

처리조(1) 내에 취입된 각 유닛부(29a, 29b)는, 하부 프레임(2)에 마련된 3개의 연결 부재(9)의 상면에 형성된 제1 기준면(18)을 기준으로 하여 설치된다. 3개의 연결 부재(9)의 상면에 형성된 3개의 제1 기준면(18)은 동일 평면을 이루고 있다. 이 때문에, 제1 기준면(18)을 기준으로 하여 각 유닛부(29a, 29b)를 처리조(1) 내에 설치하면, 이들 유닛부(29a, 29b)를 높은 수평 정밀도로 설치할 수 있다.

아울러, 상기 하부 프레임(2)에 마련된 3개의 연결 부재(9)의 상면을 제1 기준면(18)으로 함으로써, 처리조(1) 내에 취입된 한쌍의 유닛부(29a, 29b)의 설치를 신속하게 행하는 것이 가능해지기 때문에, 작업 능률을 향상시킬 수 있다.

상기 하부 프레임(2)의 3개의 연결 부재(9)의 하면은 제2 기준면(19)에 형성되고, 처리조(1)는 제2 기준면(19)을 기준으로 하여 설치 프레임(26)에 설치된다. 따라서, 처리조(1)의 설치 프레임에 대한 설치를 높은 수평도로, 아울러 용이하게 설치하는 것이 가능해진다.

처리조(1)의 하부 프레임(2)의 가로 부재(2a)와 처리조(1)의 상부 프레임(3)을 구성하는 부재를 통형으로 하고, 이들의 내부 공간을 지주 부재(4)의 내부 공간을 통해 연통시켰다. 또한, 가로 부재(2a)의 내측면과, 상부 프레임(3)을 구성하는 부재의 내측면에 배기구(8)를 형성하고, 상부 프레임(3)의 폭 방향 일측의 외측면에는 배기 블로워가 접속되는 배기구체(6)를 마련하도록 하였다.

이 때문에, 처리조(1)의 프레임체(5)를 구성하는 부재를 이용하여 처리조(1) 내의 분위기를 외부에 배출할 수 있다. 즉, 처리조(1) 내의 분위기를 배출하기 위해, 전용의 배기 덕트 등을 이용하지 않아도 되기 때문에, 그 만큼, 처리조(1)의 구성을 간략화할 수 있다.

상기 일실시형태에서는 처리조 내의 분위기를 배출하기 위한 배기구를 하부 프레임과 상부 프레임의 양방에 형성하였지만, 기판의 상면측의 분위기를 효율 좋게 배출하고자 하는 경우에는 상부 프레임에만 배기구를 형성하여도 좋다.

1…처리조, 2…하부 프레임, 3…상부 프레임, 6…배기구체, 11…측벽 부재, 14…반입구, 15…반출구, 18…제1 기준면, 19…제2 기준면, 21a, 21b…바닥 부재, 25…천장 부재, 26…설치 프레임(피설치 부재), 29…반송 유닛, 29a, 29b…제1, 제2 유닛부, 37…반송축, 37a…축부, 42…이음매

Claims (5)

1. 처리조를 가지며, 이 처리조 내에서 반송되는 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서,
   상기 처리조는,
   상면에 제1 기준면이 형성된 복수의 연결 부재를 가지고, 이들 연결 부재가 미리 정해진 간격으로 가설된 직사각 형상의 하부 프레임과,
   이 하부 프레임의 4코너부에 하단부가 연결되어 세워 설치된 지주 부재와,
   상기 하부 프레임과 동일한 크기의 직사각 형상으로 형성되며 상기 지주 부재의 상단부에 4코너부가 연결되어 마련된 상부 프레임과,
   상기 지주 부재의 높이 치수에 대응하는 간격으로 상하 방향으로 이격된 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임이 이루는 4개의 측면에 마련되고 미리 정해진 방향으로 위치하는 한쌍의 측면 중 한쪽에 상기 기판의 반입구가 형성되며 다른쪽에 상기 기판의 반출구가 형성된 측벽 부재와,
   상기 연결 부재의 제1 기준면을 기준으로 하여 부착되며 상기 반입구를 통하여 내부에 반입된 기판을 상기 반출구를 향하여 반송하는 반송 유닛과,
   상기 하부 프레임의 개구 부분을 폐색하는 바닥 부재와,
   상기 상부 프레임의 개구 부분을 폐색하는 천장 부재
   에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 연결 부재의 하면은 상기 바닥 부재로부터 하방으로 돌출한 제2 기준면에 형성되고,
   상기 처리조는 상기 제2 기준면을 기준으로 하여 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 하부 프레임, 상부 프레임 및 지주 부재는 통형 부재에 의해 형성되어 있으며, 각각의 내부 공간이 연통하도록 조립되어 있고,
   상기 하부 프레임과 상부 프레임 중 어느 한쪽 또는 양쪽의 내주면에는 상기 처리조 내의 분위기를 상기 내부 공간에 유입시키는 배기구가 개구 형성되며, 상기 내부 공간에는 상기 처리조 내의 분위기를 상기 배기구로부터 상기 내부 공간을 통하여 배출하는 배기 수단이 접속되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 반송 유닛은 상기 기판의 반송 방향을 따라 미리 정해진 간격으로 배치된 복수의 반송축을 가지고, 각 반송축은 축 방향의 중도부에서 이음매에 의해 분해 가능하게 연결된 2개의 축부로 분할됨으로써, 상기 반송 유닛은 분해 가능한 2개의 유닛부에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
5. 제4항에 있어서,
   분할된 한쌍의 축부의 각각의 양단부는, 상기 연결 부재의 제1 기준면을 기준으로 하여 부착되는 베어링 부재에 회전 가능하게 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.

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