CN101840848A - 基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板处理装置，其处理槽(1)由以下部分构成：矩形下部框体(2)，具有在上表面上形成了第1基准面(18)的多个连接构件(9)，并以预定的间隔架设这些连接构件；支柱部件(4)，下端被连接、立设在下部框体的4个拐角部；上部框体(3)，4个拐角部被连接、设置在支柱部件上端部上；侧壁部件(11)，设置在以与支柱部件的高度尺寸相对应的间隔沿上下方向分离的下部框体和上部框体所构成的4个侧面上，在位于预定方向上的一对侧面中的一方形成有基板的送入口，在另一方上形成有上述基板的送出口；输送单元(29)，以第1基准面为基准而被安装，向着送出口输送从送入口送入到内部的基板；底部件(21a、21b)，堵塞下部框体的开口部分；顶板部件(25)，堵塞上部框体的开口部分。

Description

基板处理装置

技术领域

本发明涉及用例如药液等处理液处理在处理槽内输送的基板的基板处理装置。

背景技术

在液晶显示装置或半导体装置的制造工序中，具有蚀刻处理玻璃基板或半导体晶片等基板、在蚀刻处理后剥离处理作为掩模而使用的抗蚀剂、洗净处理进行过蚀刻处理和剥离处理后的基板的这样的工序。这样的基板处理工序中采用一张张地输送基板并进行处理的单张方式(枚葉方式)。

在用单张方式处理基板的情况下，我们知道一边输送基板一边从淋浴喷嘴往基板的上下表面或者上表面喷射处理液来进行处理的处理装置。这种方式的处理装置具有箱型处理槽。

具有输送辊的多个输送轴使其轴线与上述基板的输送方向正交、并且沿基板的输送方向隔开预定的间隔、能够被旋转驱动地配置在上述处理槽内。因此，上述基板的下表面用被旋转驱动的输送轴上设置的输送辊支承，在处理槽内沿预定的方向被输送。

以往，上述处理槽用具有耐化学性的材料——例如聚氯乙烯等合成树脂制的板材形成为箱型。并且，处理槽根据其大小改变板材的厚度，用该板材使处理槽具有不会因例如处理槽内产生的环境气体的流动产生的风压等引起变形或者损伤的刚性。即，使处理槽具有单体能耐用的刚性。

但是最近，上述基板的大型化显著，用于液晶显示装置的基板有时大至2m见方(2×2m)以上的尺寸。如果基板大型化，相应地处理槽也必须大型化。在使处理槽大型化的情况下，为了使处理槽具备单体能耐用的刚性，必须使板材的厚度达数十mm厚度。

但是，如果增加构成处理槽的板材的厚度使处理槽具备刚性的话，则有可能招致处理槽的重量增加，有可能使从工厂出货等时的处理变得困难。而且，由于形成处理槽的板材的面积变大，因此即使增加该板材的厚度也难以获得足够的刚性，存在受处理槽内产生的气流等的影响反复变形、板材互相连接的部分受损的危险。

因此，在专利文献1中提出了用加强用的框加强形成处理槽的板材，通过这样，即使处理槽变大，也不用增加上述板材的厚度就能够具备刚性的处理装置的方案。

[专利文献1]日本特开2006-93339号公报

通过使处理槽采用专利文献1所记载的结构，不用增加构成处理槽的板材的厚度，也能够提高处理槽的刚性。

但是，如果基板大型化，处理槽随着基板的大型化而大型化，因而与此相对应，设置在处理槽内的输送轴也变长。即，设置在处理槽内的用来输送基板的输送单元不可避免地大型化。

如果输送单元大型化，则不仅以预定范围内的精度将该输送单元水平地设置在处理槽内变得非常困难，而且进行这种设置有可能要花费很大的功夫。

发明内容

本发明就是要提供一种不用增加板材的厚度就能提高处理槽的刚性，同时能够精度良好、并且容易地将输送基板的输送单元设置在处理槽内的基板处理装置。

为了解决上述问题，本发明为具有处理槽，用来处理在该处理槽内输送的基板的基板处理装置，其特征在于，上述处理槽具有：矩形的下部框体，具有在上表面上形成了第1基准面的多个连接构件，并以预定的间隔架设这些连接构件；支柱部件，下端部被连接、立设在该下部框体的4个拐角部；上部框体，被形成为大小与上述下部框体大致相同的矩形，4个拐角部被连接、设置在上述支柱部件的上端部上；侧壁部件，设置在以与上述支柱部件的高度尺寸相对应的间隔沿上下方向分离的上述下部框体和上述上部框体所构成的4个侧面上，在位于预定方向上的一对侧面中的一方形成有上述基板的送入口，在另一方形成有上述基板的送出口；多个连接构件，以预定的间隔被架设在上述下部框体上、在各自的上表面形成有第1基准面；输送单元，以上述连接构件的第1基准面为基准而被安装，向着上述送出口输送从上述送入口送入到内部的基板；底部件，堵塞上述下部框体的开口部分；以及顶板部件，堵塞上述上部框体的开口部分。

发明的效果：如果采用本发明，不仅能够用下部框体和上部框体加强处理槽，而且以架设在下部框体上的多根连接构件的上表面作为第1基准面，以该第1基准面为基准设置输送单元，因此能够以高精度、并且容易地将输送单元设置到处理槽内。

附图说明

图1为表示本发明一个实施形态的处理装置的纵剖视图；

图2为图1所示处理装置的横剖视图；

图3为处理槽的分解透视图；

图4为部分省略了的处理槽的组装状态的透视图；

图5为放大表示输送单元的宽度方向的一端部的主视图；

图6为放大表示输送单元的宽度方向的中央部分的主视图。

标记说明

1.处理槽；2.下部框体；3.上部框体；6.排气口体；11.侧壁部件；14.送入口；15.送出口；16.输送单元；18.第1基准面；19.第2基准面；21a、21b.底部件；25.顶板部件；26.设置框(被设置部件)；29.输送单元；29a、29b.第1、第2单元部分；37.输送轴；37a.轴部；42.联轴器

具体实施方式

下面参照附图说明本发明的一个实施形态。

图1为本发明的处理装置的纵剖视图，该处理装置具备处理槽1。该处理槽1如图3所示具有框体5，所述框体5由矩形下部框体2、大小与该下部框体2大致相同的矩形上部框体3，以及竖设在上述下部框体2的4个拐角部的上面、上端与上述上部框体3的4个拐角的下面连接的支柱部件4构成。

构成该框体5的上述下部框体2用3根实心的棱柱形连接构件9连接沿预定方向以预定的间隔隔开的一对横梁2a的中间部和两端部而形成。上述下部框体2的一对横梁2a、上述上部框体3的各构件以及支柱部件4分别用由聚氯乙烯等耐化学性的合成树脂构成的筒状部件形成。另外，上述横梁2a的两端开口被堵住。

上述下部框体2的横梁2a的内部空间与形成上述上部框体3的4个部件3a的内部空间通过上述支柱部件4的内部空间而连通。即，形成框体5的部件中的除上述连接构件9以外部件的内部空间互相连通着。

在上述上部框体3的预定方向一端部的外面，设置有与上述内部空间连通的排气口体6(表示在图1中)。构成排气单元的排气鼓风机(图中没有表示)被连接在该排气口体6上。如图3和图4所示，在上述下部框体2和上部框体3的内周面上，开口形成有排气口8。

因此，当上述排气鼓风机工作时，上述处理槽1内的环境气体从上述排气口8被吸引到形成框体5的部件的内部空间中，通过与上述排气口体6连接的排气鼓风机排出到外部。

另外，将框体5的设置了排气口体6的方向作为处理槽1的宽度方向。

上述框体5的4个外周面——即下部框体2与上部框体3之间的开口部分别用由聚氯乙烯等耐化学性的合成树脂形成的板状侧壁部件11堵塞。

在覆盖上述框体5的上部框体3的设置了上述排气口体6的上述预定方向的侧面的一对侧壁部件11上，形成有一对开口13，该开口13用能够观察处理槽1内部的透明的窗部件12堵塞。

在与上述处理槽1的宽度方向交叉的方向上设置的一对侧壁部件11的一个上，形成缝隙状的送入口14，在另一个上形成同样为缝隙状的送出口15。例如液晶面板中使用的玻璃制的基板W(表示在图6中)从上述送入口14送入上述处理槽1内。送入到处理槽1内的基板W像后述那样用设置在处理槽1内的输送单元29输送往上述送出口15。基板W的输送方向用箭头F表示在图2中。

如图5和图6所示，上述下部框体2的3根连接构件9中的位于宽度方向两端的2根连接构件9的上表面和设置在位于中央的连接构件9的上表面上的基准板10的上表面分别形成呈同一个平面的第1基准面18，3根连接构件9的下表面分别形成呈同一个平面的第2基准面19。

另外，虽然在位于宽度方向中央的连接构件9的上表面上安装基准板10作为第1基准面18，但也可以直接使连接构件9的上表面的高度与其他的连接构件9上面的第1基准面18的高度相同作为第1基准面18。

如图1所示，上述下部框体2的3根连接构件9之间形成的2个开口部分别用底部件21a、21b堵塞。3根连接构件9下面的第2基准面19从底部件21a、21b向下方突出。

上述底部件21a、21b用聚氯乙烯等合成树脂形成，在一个底部件21a上形成排液口22。该排液口22用管道与排液容器(图中都没有表示)连接，排出提供给在处理槽1内输送的基板W的处理液。

在上述上部框体3的与上述宽度方向交叉的方向的中途部位，能够沿上述宽度方向装卸地架设有第1承载部件23。在第1承载部件23与上述上部框体3的一对侧边之间，如图1和图3所示分别架设各3个、合计6个的第2承载部件24。

在由上述上部框体3和上述第1、第2承载部件23、24划分出的8个开口部上，能够装卸地设置有分别堵塞这些开口部的板状顶板部件25。由此，框体5的外周面、底面及上面的开口分别用侧壁部件11、底部件21a、21b和顶板部件25堵塞。

这种结构的处理槽1如图1所示以上述连接构件9的第2基准面19为基准被设置到作为被设置部件的设置框26的上面。使3根连接构件9的第2基准面19位于同一个平面地设置。因此，能够以高的水平精度将上述处理槽1即框体5设置到上述设置框26的上面。

另外，如图1所示，上述设置框26的宽度方向的一端用铰链27枢支承在台架28上。上述设置框26的宽度方向的另一端上连接有图中没有表示的汽缸等驱动源。

由此，上述设置框26能够在图中没有表示的驱动源的驱动下以铰链27为支点转动，因此能够使上述处理槽1以任意角度相对于宽度方向倾斜。即，能够像后述那样用处理槽1内设置的输送单元29在水平状态下对基板W进行输送，或者以预定的角度使基板W倾斜地进行输送。

上述输送单元29设置在上述处理槽1的内部。该输送单元29如图2所示在上述处理槽1的与基板W输送方向交叉的宽度方向的中央部位被分割成第1单元部分29a和第2单元部分29b。各单元部分29a、29b具有与处理槽1的宽度方向平行、隔开预定的间隔相向的截面为L字形状的一对安装部件32。

如图5和图6所示，系板状的支承部件33的下端部分别安装固定在一对安装部件32的垂直边上。在各单元部分29a、29b的一对支承部件33的与上述宽度方向交叉的方向上的相对应的位置上，分别设置作为轴承部件的下部轴承34；在位于宽度方向靠外侧的支承部件33上设置位于下部轴承34上方的上部轴承35。

在轴向的中途部位将输送轴37断开为2部分的轴部37a的两端部分别能够旋转地支承在各单元部分29a、29b的一对支承部件33上设置的一对相对应的下部轴承34上。在各轴部37a上隔开预定的间隔设置有多个输送辊38。各输送辊38支承从上述送入口14提供到处理槽1内的基板W的下表面。

如图5所示，与上述轴部37a相比非常短的按压轴39的一端旋转自由地支承在述支承部件33上设置的上部轴承35上。在该按压轴39的另一端上，设置有压住由上述输送辊38输送来的基板W的宽度方向两端部的上表面、防止基板W抬起的按压辊41。

构成上述一对单元部分29a、29b的各一对安装部件32中的位于上述处理槽1宽度方向两端部的一方的安装部件32，如图5所示以位于上述下部框体2的宽度方向两端的一对连接构件9的上表面即第1基准面18为基准而被载置。

一对单元部分29a、29b的各另一方的安装部件32如图6所示，以位于上述下部框体2宽度方向中央的连接构件9上面设置的基准板10的上表面即第1基准面18为基准分别载置在其宽度方向的一端部和另一端部上。

能够旋转地支承在上述一对单元部分29a、29b的各一对安装部件32上、在上述宽度方向的中央使端部相对的各一对轴部37a的端部，用联轴器42能够分解地连接。

即，用联轴器42连接端部的一对轴部37a构成上述输送轴37。因此，输送单元29如果将用联轴器42连接的输送轴37分解开的话，则能够分开处理2个单元部分29a、29b。

在上述单元部分29a、29b的安装部件32的另一边上，如图5和图6所示设置有用来将部件32的另一边安装固定在第1基准面18上的固定螺栓44，以及用来在用该固定螺栓44将安装部件32安装到第1基准面18上之前调整各单元部分29a、29b的水平度的调整螺钉45。

由此，能够以上述第1基准面18为基准、高精度的设定水平度地将各单元部分29a、29b设置到处理槽1内。

如图5所示，设置在各单元部分29a、29b的轴部37a的宽度方向靠外侧的支承部件33上的上下轴承34、35用遮挡板46覆盖。由此，即使各轴承34、35上产生尘埃，也防止该尘埃附着在于处理槽1内输送的基板W上。

如图1所示，在处理槽1的宽度方向一端部的外侧，设置有驱动源43。该驱动源43沿预定方向旋转驱动设置在上述处理槽1内的输送单元29的多个输送轴37。因此，处理槽1的从送入口14提供到内部的基板W被向送出口15水平输送。

另外，驱动源43的旋转驱动力通过齿轮或链条等图中没有表示的动力传动部件被传递给上述输送轴37。

并且，在处理槽1内设置有往在其内部输送的基板W的上表面喷射供给洗净液或药液等处理液的喷淋管(图中没有表示)。由此，基板W在于处理槽1内输送的过程中被用处理液处理。

如果采用这种结构的处理装置，在将设置在处理槽1的上部框体3上的顶板部件25和第1、第2承载部件23、24拆下的状态下将输送单元29设置到处理槽1的内部。如果拆下联轴器42将输送轴37分开成2个轴部37a的话，则输送单元29能够分开成2个单元部分29a、29b进行处理。即，能够将输送单元29作为大小为整个该输送单元29的一半尺寸的单元部分29a、29b进行处理。

因此，2个单元部分29a、29b的处理变得容易，能够比较容易地将输送单元29装入处理槽1内。

安装到处理槽1内的各单元部分29a、29b以设置在下部框体2上的3根连接构件9的上表面形成的第1基准面18为基准而进行设置。3根连接构件9的上表面形成的3个第1基准面18成同一个平面。因此，如果以第1基准面18为基准将各单元部分29a、29b设置到处理槽1内的话，则能够以高的水平精度设置这些单元部分29a、29b。

而且，通过以设置在上述下部框体2上的3根连接构件9的上表面作为第1基准面18，能够迅速地进行安装到处理槽1内的一对单元部分29a、29b的设置，因此能够提高工作效率。

上述下部框体2的3根连接构件9的下表面形成第2基准面19，处理槽1以第2基准面19为基准被设置在设置框26上。因此，能够以高的水平度并且容易地将处理槽1设置在设置框上。

使处理槽1的下部框体2的横梁2a和构成上部框体3的部件为筒形，通过支柱部件4的内部空间使这些内部空间连通。而且，在横梁2a的内侧面和构成上部框体3的部件的内侧面上形成排气口8，在上部框体3的宽度方向一侧的外侧面上设置了连接排气鼓风机的排气口体6。

因此，能够利用构成处理槽1的框体5的部件将处理槽1内的环境气体排出到外部。即，不用为了排出处理槽1内的环境气体而使用专用的排气管道等即可，相应地能够简化处理槽1的结构。

虽然上述一实施形态中将用来排出处理槽内环境气体的排气口设置在下部框体和上部框体两者上，但在想要高效地排出基板上面一侧的环境气体的情况下，也可以仅在上部框体上形成排气口。

Claims (5)

1.一种基板处理装置，具有处理槽，用来处理在该处理槽内输送的基板，其特征在于，上述处理槽具有：

矩形的下部框体，具有在上表面上形成了第1基准面的多个连接构件，并以预定的间隔架设这些连接构件；

支柱部件，下端部被连接、立设在该下部框体的4个拐角部；

上部框体，被形成为大小与上述下部框体大致相同的矩形，4个拐角部被连接、设置在上述支柱部件的上端部上；

侧壁部件，设置在以与上述支柱部件的高度尺寸相对应的间隔沿上下方向分离的上述下部框体和上述上部框体所构成的4个侧面上，在位于预定方向上的一对侧面中的一方形成有上述基板的送入口，在另一方形成有上述基板的送出口；

输送单元，以上述连接构件的第1基准面为基准而被安装，向着上述送出口输送从上述送入口送入到内部的基板；

底部件，堵塞上述下部框体的开口部分；以及

顶板部件，堵塞上述上部框体的开口部分。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述连接构件的下表面形成从上述底部件向下方突出的第2基准面；

上述处理槽以上述第2基准面为基准而被设置。

3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述下部框体、上部框体和支柱部件由筒状部件形成，并且被组装成各自的内部空间相连通；

在上述下部框体和上部框体中的至少一方的内周面上开口形成有使上述处理槽内的环境气体流入上述内部空间的排气口，上述内部空间上连接有将上述处理槽内的环境气体从上述排气口、经过上述内部空间而排出的排气机构。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，上述输送单元具有以预定的间隔沿上述基板的输送方向配置的多个输送轴；各输送轴在轴向的中途部位被分割成用联轴器能够分解地连接着的2个轴部，由此，上述输送单元由能够分解的2个单元部分构成。

5.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，被分割的一对轴部各自的两端部能够旋转地被支承在以上述连接构件的第1基准面为基准安装的轴承部件上。

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