KR20100084676A - 향상된 연료 회로를 사용하는 스마트 저감을 위한 방법 및 장치 - Google Patents

향상된 연료 회로를 사용하는 스마트 저감을 위한 방법 및 장치 Download PDF

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KR20100084676A
KR20100084676A KR1020107011571A KR20107011571A KR20100084676A KR 20100084676 A KR20100084676 A KR 20100084676A KR 1020107011571 A KR1020107011571 A KR 1020107011571A KR 20107011571 A KR20107011571 A KR 20107011571A KR 20100084676 A KR20100084676 A KR 20100084676A
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abatement
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KR1020107011571A
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호-만 로드니 치우
다니엘 오. 클락
샤운 더블유. 크래포드
제이 제이. 정
유스셀프 에이. 롤디즈
로베르트 버메울렌
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물을 저감시키는 방법이 제공되는데, 저감된 유출물을 형성하기 위해서 열적 저감 툴에서 유출물을 저감시키는 단계; 상기 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 결정하는 단계; 그리고 상기 결정에 기초하여 상기 열적 저감 툴의 하나 이상의 동작 파라미터를 변경하는 단계를 포함한다. 다수의 다른 실시예들이 제공된다.

Description

향상된 연료 회로를 사용하는 스마트 저감을 위한 방법 및 장치{METHODS AND APPARATUS FOR SMART ABATEMENT USING AN IMPROVED FUEL CIRCUIT}
본 출원은 다음의 미국 가 특허출원 번호 60/983,143 (출원일: 2007년 10월 26일, 발명의 명칭: "METHODS AND APPARATUS FOR SMART ABATEMENT USING AN IMPROVED FUEL CIRCUIT", Attorney Docket No. 11618/L) - 이 출원은 모든 목적을 위하여 인용에 의하여 본 명세서에 온전히 병합된다 - 및 미국 가 특허출원 번호 61/020,925 (출원일: 2008년 1월 14일, 발명의 명칭: "METHODS AND APPARATUS FOR SMART ABATEMENT USING AN IMPROVED FUEL CIRCUIT", Attorney Docket No. 11618/L2), - 이 출원은 모든 목적을 위하여 인용에 의하여 본 명세서에 온전히 병합된다 - 로부터의 우선권을 주장한다.
관련 출원들에의 상호 참조( CROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATIONS )
공동으로 양수된(co-assigned) 미국 특허 출원 번호 11/673,542 (출원일: 2007년 2월 9일, 발명의 명칭: "METHODS AND APPARATUS FOR PFC ABATEMENT USING A CDO CHAMBER", Attorney Docket No. 10910)은 모든 목적을 위하여 인용에 의하여 본 명세서에 온전히 병합된다.
공동으로 양수된 미국 특허 출원 번호 10/987,921 (출원일: 2004년 11월 12일, 발명의 명칭: "REACTOR DESIGN TO REDUCE PARTICLE DEPOSITION DURING PROCESS ABATEMENT", Attorney Docket No. 9985)은 모든 목적을 위하여 인용에 의하여 본 명세서에 온전히 병합된다.
기술분야
본 발명은 전자 장비 제조에 관한 것으로서 보다 상세하게는 향상된 연료 회로 및 전자 장치 제조 유출물의 저감을 위해서 그를 이용하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
전자 재료 및 전자 제조 프로세스로부터의 가스상 유출물은 광범위한 화합물을 포함할 수 있고 이들은 이러한 프로세스 동안 사용되거나 및/또는 생성된다. 프로세스(즉, 증착, 확산(diffusion), 식각, 세정, 에픽택시(epitaxy) 등) 동안, 몇몇 프로세스는 예를 들어 PFCs(perfluorocompounds)을 포함하는 원치않는 부산물이나 또는 PFCs를 형성하도록 분해할 수 있는 부산물을 생성할 수 있다. PFCs는 지구 온난화에 강하게 기여하고 있는 것으로 여겨진다. 이러한 화합물 및 또한 인류 및/또는 환경에게 해로울 수 있는 다른 것들을 이하 "유해 화학 종들(harmful chemical species)"이라고 지칭할 수 있으며, 어구 "관심 화학 종들(chemical species of interest)"에 포함될 수 있다. 가스상 유출물로터의 유해 화학 종들을 제거하거나 또는 대기 중으로 가스상 유출물이 벤팅되기 전에 덜 해롭거나 유해하지 않은 화학 종들로 유해 화학 종들을 변환하는 것이 바람직하다.
발명의 요약
몇몇 양태들에 있어서, 전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물을 저감시키는 방법이 제공되는데, 이것은 저감된 유출물을 형성하기 위해서 열적 저감 툴에서 유출물을 저감시키는 것과; 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 결정하는 것과; 그리고 상기 결정에 기초하여 상기 열적 저감 툴의 하나 이상의 동작 파라미터를 변경하는 것을 포함한다.
몇몇 양태들에 있어서, 전자 장치 제조 프로세스로부터의 유출물을 저감시키는 시스템이 제공되는데, 이것은 유출물을 저감시키고 저감된 유출물을 형성하도록 구성된 열적 저감 툴과; 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 결정하도록 구성된 센서와; 그리고 상기 센서로부터 신호를 받도록 구성된 제어기를 포함하는데, 여기서 상기 신호는 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 가리키고; 그리고 상기 제어기는 상기 신호에 기초하여 상기 열적 저감 툴의 하나 이상의 동작 파라미터를 변경하도록 추가적으로 구성된다.
몇몇 양태들에 있어서, 전자 장치 제조 유출물 열적 저감 툴의 연료 효율을 높이는 방법이 제공되는데, 상기 열적 저감 툴로 제1 비율로 연료를 공급하는 것과; 저감된 유출물을 형성하기 위해서 상기 열적 저감 툴에서 유출물을 저감시키는 것과; 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 결정하는 것과; 그리고 상기 결정에 기초하여 상기 열적 저감 툴로 제2 비율로 연료를 공급하는 것을 포함한다.
본 발명의 다른 특징 및 양태가 후술할 상세한 설명, 첨부된 청구항 및 첨부된 도면으로부터 보다 완전하게 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연료 유량 최적화를 위한 시스템의 개략적인 다이어그램이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연료 유량 최적화를 위한 예시적인 방법을 나타내는 순서도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 연료 유량 최적화를 위한 예시적인 방법을 나타내는 순서도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 연료 유량 최적화를 위한 예시적인 방법을 나타내는 순서도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 산화제 유량 최적화를 위한 예시적인 방법을 나타내는 순서도이다.
유해 화학 종들은 전자 재료 및 장치 제조 프로세스 배출물로부터 제거될 수 있거나, 저감으로 알려져 있는 프로세스에 의해 무해하거나 덜 해로운 화학 종으로 변환될 수 있다. 저감 프로세스 중에, 전자 장치 제조 프로세스에 의해 사용되고/사용되거나 산출되는 유해 화학 종들은 추가로 처리되거나 대기로 방출될 수 있는 해가 적거나 해가 되지 않는 (저감된) 화학종으로 중화되거나 변환될 수 있다. 산업상 본 명세서에서 사용되는 바와 같이 "유출물 내의 유해 화학 종들을 저감"시키고 "유출물을 저감"시키는 것에 관련될 때 "유출물을 저감"시키는 것에 관한 것은 "유출물 내의 유해 화학 종들을 저감시키는 것"을 포함하고자 하는 것이 일반적이다.
유출물은 유출물을 가열하고/가열하거나 산화시킬 수 있음으로써 유해 화학 종들을 해가 적거나 해가 되지 않는 화학종으로 변환시킬 수 있는 열적 저감 반응기 내에서 저감될 수 있음이 공지되어 있다. 열적 반응기는 파일럿 장치(pilot device), 연료 공급원, 산화제 공급원(oxidant supply), 버너 제트 및 유출물 유입구를 포함할 수 있다. 파일럿은 버너 제트 플레임(burner jet flames)을 형성하도록 버너 제트를 점화시키는데 사용될 수 있다. 버너 제트 플레임은 유출물을 저감시키는데 필요한 고온을 발생시킬 수 있다.
유출물을 저감시키는데 요구되는 (열적 반응기의 온도로서 측정될 수 있는) 열의 양은 유출물의 특성에 좌우될 수 있다. 열적 저감 반응기에 미치는 유출물의 특성은 시간이 지남에 따라 변화할 수 있는데, 이는 열적 저감 툴이 하나 또는 그보다 많은 프로세스 챔버 및/또는 프로세스 툴에 연결될 수 있기 때문이다(그리고 하나 또는 그보다 많은 프로세스 챔버 및/또는 프로세스 툴로부터 유출물의 혼합물을 수용할 수 있기 때문이다). 프로세스 챔버 및 프로세스 툴은 서로 독립적으로 작동할 수 있으며, 상이한 스케쥴에 따라 상이한 프로세스들을 가동 중일 수 있다. 이로 인해 자주 변화하는 특성을 갖는 유출물 혼합물이 초래될 수 있다. 따라서, 임의의 특정한 시간에 저감 툴 또는 열적 반응기로 들어갈 것인 유출물의 특성을 예측하는 것이 어려울 수 있다. 이러한 예측 불가능성의 결과로 임의의 특정한 시간에 열적 저감 반응기로 들어가는 중인 유출물 혼합물을 저감시키는데 요구되는 열(및 그에 따른 연료)의 양을 예측하는 것이 어려울 수도 있다.
가변적인 유출물 혼합물을 저감시키는데 요구되는 열/연료의 예측 불가능성을 다루는 한가지 공지된 방법은 최악의 경우의 유출물(예를 들면, 대부분의 열/연료를 저감시키도록 요구할 수 있는 가능한 유출물 또는 유출물 혼합물) 및 열/연료의 양의 사용을 결정하는 것이며, 이는 최악의 경우의 유출물을 저감시키는 동안 및 모든 유출물을 저감시키는 동안 충분할 것이다. 효과적이지만, 이러한 방법은 비효율적일 수 있는데, 이는 많은 유출물 또는 유출물 혼합물이 효과적인 저감을 위해 더 적은 양의 열/연료를 필요로 할 수 있기 때문이다.
따라서, 열/연료의 임의의 낭비를 줄이기 위해 연료 유동 및/또는 산화제 유동의 동적인 최적화를 제공하는 방법 및 장치에 대한 필요성이 존재한다. 저감 유닛에 공급되는 연료의 양은 본 명세서에서 때때로 "연료 연소율(fuel burn rate)" 또는 "연료 비율(fuel rate)"로 지칭될 수 있다.
본 발명은 저감 반응 챔버에서의 연료 연소율의 동적인 최적화를 위한 방법 및 장치를 제공한다. 본 명세서에서 사용되는 바와 같이, 연료 연소율을 최적화하는 것은 임의의 특정한 시간에 열적 반응기로 들어가고 있는 유출물 혼합물을 계속해서 효과적으로 저감시키면서, 사용되는 연료의 양을 줄이기 위해 연료 연소율을 조정하는 것을 의미할 수 있다. 연료 연소율을 최적화하는 것은 하기에 보다 상세히 설명되는 바와 같이, 연료 연소율을 증가시키는 단계 및 연료 연소율을 저감시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예에서, 센서는 저감된 유출물(예를 들면 열 저감 반응기 내에서 저감된 유출물)이 관심 있는 화학종을 포함하는지 여부(예를 들면, 관심 있는 화학종의 한계 농도보다 많이 포함하는지 여부)를 결정하는데 사용될 수 있다. 관심 있는 화학종은 열적으로 저감시킬 수 있는 화학종, 연료 및/또는 산화체 중 하나 또는 그 이상일 수 있다.
본 발명의 일부 실시예에서, 저감된 유출물이 한계 농도의 열적으로 저감시킬 수 있는 화학종을 포함하는지를 센서가 결정하는 경우, 제어기는 연료 및/또는 산화체의 유동을 증가시킬 수 있으며, 그에 따라 반응 챔버의 온도를 증가시킬 수 있다. 제어기는, 저감된 유출물이 한계 농도의 열적으로 저감시킬 수 있는 화학종을 포함하지 않는 것을 센서가 제어기에 신호하는 것과 같은 시간까지 온도를 계속해서 증가시킬 수 있다. 한계 농도는 0, "탐지 불가" 또는 선택된 탐지 가능한 농도일 수 있다. 당업자는 한계 농도를 선택하는 방법을 이해할 것이다. 본 명세서에서 사용되는 바와 같이, 한계 농도는 한계량 및/또는 한계 유동과 교환가능하게 사용될 수 있다.
일부 실시예에서, 저감된 유출물이 한계 농도보다 적은 열적으로 저감 가능한 화학종을 포함하는 것을 센서가 결정하는 경우, 제어기는 저감된 유출물이 한계 농도보다 많은 열적으로 저감 가능한 화학종을 포함하는 것을 센서가 탐지하고 보호할 때까지 연료 유동을 저감시키며 그에 따라 반응 챔버의 온도를 저감시킬 수 있다. 저감된 유출물 내의 열적으로 저감 가능한 화학종의 농도가 한계 농도를 초과하여 상승했을 때, 제어기는 저감된 유출물 내의 열적으로 저감 가능한 화학종의 농도가 한계 농도 미만으로 떨어진 것을 센서가 보고할 때까지 연료 유동 및 반응 챔버의 온도를 상승시킬 수 있다. 이는 유출물을 효과적으로 저감시키는 것을 계속하면서 사용되는 연료의 양을 줄이는 한가지 방법이다.
다른 실시예에서, 관심 있는 화학종이 연료이고, 저감된 유출물이 한계 농도보다 많은 연료를 포함하는 것을 센서가 결정하는 경우, 저감된 유출물 내에 존재하는 연료의 농도가 한계 농도 미만으로 떨어진 것을 센서가 제어기에 보고할 때까지, 제어기는 산화체 유속을 증가시킬 수 있거나, 연료 유속을 적절하게 감소시킬 수 있다.
도 1을 다시 참조하면, 본 발명의 열적 감소(thermal abatement) 시스템(100)은 제 2 스크러버(106)와 유체 연통할 수 있는 열적 반응기(104)와 유체 연통하는 제 1 스크러버(102)를 포함할 수 있을 것이다. 피드백 제어 시스템(107)은 제 2 스크러버(106)의 유동배출부(outflow)에 위치될 수 있는 하나 이상의 센서(108) 그리고 제어부(110)를 포함할 수 있을 것이다. 센서(108)는 열적 반응기(104)의 유동배출부와 같은 다른 위치에 배치될 수도 있을 것이다. 센서(108)는 유출물(effluent)이 관심의 대상이 되는 하나 또는 둘 이상의 화학 종을 포함하는지의 여부를 탐지하도록 또는 그 농도를 탐지하도록 구성될 수 있을 것이다. 전술한 바와 같이, 관심의 대상이 되는 화학 종은 임의의 유해한 화학 종, 열적으로 감소가 가능한(thermally abatable) 화학 종, 연료, 산화제, 또는 불완전한 감소의 부산물 또는 불완전한 연소의 부산물 등 일 수 있다. 센서(108)는 이러한 정보를 제어부(110)(시스템 제어부일 수 있다)로 제공할 수 있으며 또는 제어 대상이 되고 그리고 유출물 감소에 영향을 미칠 수 있는 임의의 다른 파라미터(들)로 제공할 수 있으며, 상기 제어부는 예를 들어 연료 유동, 연료 조성, 반응제(reagent) 유동, 반응제 조성, 냉매 유동, 저감 반응 챔버 온도 및 산화제 유동과 같은 감소 프로세스 작업 파라미터를 변화시키도록 구성될 수 있을 것이다.
전술한 바와 같이, 감소 시스템(100)이 제 1 스크러버(102)를 포함할 수 있다. 하나 또는 둘 이상의 프로세스 챔버(144)로부터의 하나 이상의 기체 유출물 증기(112)가 제 1 스크러버(102) 내로 지향되고(예를 들어, 배출되고), 상기 제 1 스크러버는 SiF4 및 기타 화합물을 유출물 증기로부터 제거하도록 구성될 수 있을 것이다. 제 1 스크러버(102)가 임의 수의 프로세스 툴(도시되지 않음) 및/또는 프로세스 챔버(114)(예를 들어, 1, 2, 3, 4, 5, 6, 등)로부터 기체 유출물 증기(112)를 수용할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
기체 유출물 증기로부터 하나 또는 둘 이상의 오염물질(예를 들어, SiF4)의 존재량을 감소 또는 제거하기 위해서 제 1 스크러버(102)가 물 안개(water mist)를 채용할 수 있을 것이다. 제 1 스크러버(102)에서 기체 유출물 증기(112)로부터 분리되고 SiF4 를 포함하는 오염물질 또는 미립자들이 섬프(sump; 도시되지 않음) 내로 지향될 수 있을 것이다. 제 1 스크러버(102)는 선택적(optional)이다.
제 1 스크러버(102)로부터의 유출물이 도관(116)을 통해서 열적 반응 챔버(104) 내로 지향될 수 있다. 유출물에 더하여, 연료가 연료 공급부(118)로부터 도관(120)을 통해서 반응 챔버로 공급될 수 있을 것이고 그리고 산화제가 산화제 공급부(122)로부터 도관(123)을 통해서 반응 챔버(104)로 공급될 수 있을 것이다. 도관(116)을 통해서 전달되는 유출물과 별도로 도관(120)이 반응 챔버로 도입되는 것으로 도시되어 있지만, 일부 실시예들에서, 연료가 도관 내에서 유출물과 혼합되고 그리고 혼합물로서 챔버로 도입될 수 있을 것이다(도시되지 않음). 또한, 연료가 소정량의 산화제(도시되지 않음)와 미리 혼합될(premixed) 수 있을 것이다.
작업 중에, 연료 및 산화제가 반응 챔버 내에서 혼합될 수 있고 그리고 점화되어(ignited) 불꽃(flame)을 생성할 수 있을 것이다. 유출물은 산화제의 존재하에서 고온에 노출될 것이고 그리고 연소되거나 또는 산화되어 덜 유해한 또는 무해한(non-harmful) 화학 종을 포함하는 유출물을 형성할 수 있을 것이다. 유출물은 도관(124)을 통해서 반응 챔버(104)로부터 제 2 스크러버(106)로 지향될 수 있을 것이다.
하나 또는 둘 이상의 오염물질(반응 챔버 내에서 생성되는 것일 수도 있다)의 존재량을 감소 또는 제거하기 위해서 제 2 스크러버(106)가 팩킹형 베드 워터 스크러버(packed bed water scrubber)를 채용할 수 있을 것이다. 제 2 스크러버(106)에 의해서 기체 유출물 증기로부터 분리되는 오염물질 또는 미립자가 섬프(도시되지 않음)로 지향될 수 있을 것이다. 제 2 스크러버(106)를 빠져나가는 유출물 증기가 도관(126)을 통해서, 예를 들어, 하우스 배출부(house exhaust; 도시되지 않음) 또는 하우스 스크러버(도시되지 않음)로 지향되거나, 또는 대기중으로 환기될 수 있을 것이다. 제 2 스크러버(106)는 선택적이다.
센서(108)가 도관(126)을 통해서 제 2 스크러버(106)로부터 배출되는 유출물 증기를 샘플링하도록 위치되고 구성될 수 있을 것이다. 센서(108)는 관심 대상이 되는 하나 또는 둘 이상의 화학 종, 예를 들어, 도관(112)을 통해서 감소 시스템으로 유입되고 그리고 반응 챔버 내에서 감소되었어야 하는 타입의 화학 종의 존재를 탐지하도록 추가적으로 구성될 수 있을 것이다. 그 대신에, 관심 대상이 되는 화학 종은 도관(112)을 통해서 열적 반응기로 유입되지는 않으나 열적 반응기 내에서 생성되는 화학 종일 수 있다. 만약 열적 반응기가 충분히 높은 온도에서 작동되지 않는다면, 그러한 관심 대상이 되는 화학 종이 열적 반응기 내에서 생성될 수 있을 것이다. 일부 실시예들에서, 센서(108)가 관심 대상이 되는 그러한 화학 종의 농도를 탐지하도록 추가적으로 구성될 수 있을 것이다. 또 다른 실시예들에서, 센서(108)가 유출물 유량(flow rate); 연료의 존재; 연료의 농도; 산화제의 존재; 그리고 산화제의 농도 중 하나 또는 둘 이상을 탐지하도록 추가적으로 구성될 수 있을 것이다. 연료 및 산화제는 관심의 대상이 되는 화학 종들일 수 있다.
제어부(110)는 신호 라인(128)을 통해서 센서(108)로부터 신호를 수신할 수 있을 것이며, 그러한 신호는: 1) 관심의 대상이 되는 하나 또는 둘 이상의 감소 가능 화학 종의 존재 또는 부재; 2) 관심의 대상이 되는 하나 또는 둘 이상의 감소 가능 화학 종의 농도; 3) 유출물 증기의 유량; 4) 연료의 존재; 5) 연료의 농도; 6) 산화제의 존재; 그리고 7) 산화제의 농도 등 중에서 하나 또는 그 조합을 나타낼 수 있을 것이다. 신호 라인(128)은 와이어(유선) 또는 무선 연결부일 수 있고, 또는 센서(108)로부터 제어부(110)로 신호를 전달할 수 있는 기타 임의 장치일 수 있을 것이다. 제어부(110)는 센서(108)로부터 수신될 수 있는 신호들에 응답하여 감소 프로세스 작업 파라미터들을 변화시키도록 또는 그러한 파라미터들을 변화시키기 위한 명령을 내리도록 구성될 수 있을 것이다. 예를 들어, 제어부(110)는 연료 유량; 산화제 유량; 산화제 조성; 이동가능한 배플(baffle); 유출물 유동, 공급원 및/또는 유량; 반응제 유동; 반응제 조성; 냉매 유동; 그리고 저감 반응 챔버 온도 중 하나 또는 그 임의 조합에 대한 또는 유출물의 감소에 영향을 미칠 수 있고 제어될 수 있는 다른 임의 파라미터(들)에 대한 변화를 실행하도록 구성될 수 있을 것이다. 제어부(110)는 신호 라인(130)을 통해서 연료 공급부(118)로 및/또는 신호 라인(132)을 통해서 산화제 공급부(122)로 연결될 수 있을 것이다.
저감 처리 작동 파라미터는 이 기술분야에서 알려진 것처럼 무엇보다 밸브(미도시), 펌프(미도시), 및 조절장치(미도시)의 작동을 통해 변경될 수 있다.
각각의 처리 툴(미도시)은 하나 이상의 처리 챔버(114)를 포함할 수 있다. 이 처리 툴은 예를 들어 화학 기상 증착 챔버, 물리 기상 증착 챔버, 화학 기계적 폴리싱 챔버 등을 포함할 수 있다. 처리 챔버에서 수행될 수 있는 처리는 예를 들어 증착, 확산, 에칭, 세정 및 에피택시 등을 포함할 수 있다. 이러한 처리로부터 저감되는 부산물 화학물질은 예를 들어 안티몬의 수소화물, 비소, 붕소, 게르마늄, 질소, 인, 실리콘, 셀레늄, 실란, 포스핀을 구비한 실란 화합물, 아르곤, 수소, 유기실란, 할로실란, 할로겐, 유기금속물질 및 다른 유기 화합물을 포함할 수 있다. 저감을 필요로 하는 다양한 화합물 중에, 예를 들어 플루오르(F2) 및 다른 플루오르화 화합물과 같은 할로겐이 특히 문제가 될 수 있다. 전자 산업은 빈번하게 증착 단계로부터의 잔여물을 제거하고 박막을 에칭하기 위해 기판 처리 툴에서 퍼플루오르화된 화합물(perfluorinated compounds; PFCs)이라고 일컬어지는 이러한 플루오르화 화합물을 이용할 수 있다. 가장 공통적으로 이용된 PFCs의 일부의 예는 CF4, C2F6, SF6, C3F8, NF3, CHF3, CH3F, 및 CH2F2를 포함한다.
상기 언급된 것처럼, 제 1 스크러버(102)는 처리 챔버(들)(114)에 의해 배출되는 가스상 유출물 흐름(들)로부터 오염 물질을 제거하기 위해 물안개(water mist)를 이용하도록 이루어질 수 있다. 예를 들면, 다수의 고압 노즐이 제 1 스크러버(106) 내에서 안개를 생성하도록 이용될 수 있다. 다른 적절한 스크러버가 이용될 수 있다. 예시적인 스크러버는 "CDO 챔버를 이용하여 PFC 저감을 위한 방법 및 장치"(Attoney Docket No. 10910)라는 명칭으로 2007년 2월 9일 출원된 공동-소유의 미국 특허출원 제 11/673,542호에서 설명된다.
본 발명은 예를 들어 "저감 처리 동안 입자 증착을 감소시키기 위한 반응기 설계"(Attoney Docket No. 9985)라는 명칭으로 2004년 11월 12일 출원된 공동-양도된 미국 특허출원 제 10/987,921호에서 개시된 열 반응 챔버와 같은 적절한 열 반응 챔버로 이용될 수 있다. 연료 소성(燒成)된 열적 저감 챔버에 부가하여, 본 발명은 전기적으로 가열된 및/또는 플라즈마 저감 챔버로 이용될 수 있다. 전기적으로 가열된 그리고 플라즈마 저감 챔버의 경우에, 제어기는 유출물을 저감시키는데 이용된 연료의 양을 변경시키는 것보다 유출물을 저감시키는데 이용되는 에너지의 양을 변경시킬 수 있다.
일정한 실시예에서, 반응 챔버의 벽은 다공성 물질(예를 들어 세라믹)로 만들어질 수 있고, 이러한 물질은 예를 들어 산화체(예를 들어 깨끗한 건조 공기, 산소)가 반응 챔버 안으로 유동하거나 또는 확산하는 것을 가능하게 할 수 있다. 대안적으로, 산화체는 다른 수단에 의해 반응 챔버 안으로 유동될 수 있다. 연료 소스는 연료(들)(예를 들어 천연 가스, 메탄, 수소)를 반응 챔버로 공급할 수 있다. 일정한 실시예에서, 저감 시스템(100)은 단일 소스로부터의 연료의 혼합 또는 단일 연료 소스보다 다수를 포함할 수 있고, 이에 의해 다수의 연료 소스가 상이한 연료 또는 연료의 조합을 제공할 수 있으며, 이러한 연료는 상이한 유출물을 저감시키는데 더욱 효과적일 수 있다. 예를 들어 점화용 불씨(미도시) 또는 다른 점화 수단이 반응 챔버에서 연료 및 산화체 혼합물을 점화시키는데 이용될 수 있고, 이는 이 기술 분야에서 알려져 있는 것처럼 유출물을 저감시키는데 필요한 반응 챔버의 온도를 생성할 수 있다.
센서(108)는 전자화학적 셀, 써모파일(thermopile) 및 FTIR 센서와 같은 광학 센서, 또는 질량 분광기 등을 포함할 수 있다. 연료, 산화체, 열적으로 저감 가능한 화학종, 불완전 연소의 부산물, 및 관심 대상의 다른 화학종 중 하나 이상의 존재 및/또는 농도를 감지하도록 이루어진 다른 적절한 센서도 있다.
제어기(110)는 마이크로컴퓨터, 마이크로프로세서, 논리 회로, 하드웨어 및 소프트웨어의 조합, 또는 이와 유사한 것일 수 있다. 제어기(110)는 피드백 제어 시스템(107)에 기여할 수 있고 또는 저감 유닛을 위한 시스템 제어기로서도 수행할 수 있다.
제어기(110)는 또한, 처리 툴의 처리 챔버(114)에서 출구(inlet)(미도시)에, 연료 소스에, 산화제 공급에, 그리고 하나 또는 그 초과의 저감 시스템(100)에 하나 또는 그 초과의 처리 툴을 커플링시키는 도관(112)의 반응 챔버 단부에 커플링될 수 있는 하나 또는 그 초과의 펌프, 밸브 및/또는 조절기(regulator)(미도시)에 커플링될 수 있다. 이 펌프, 밸브 및/또는 조절기는 제어기(110)는 유출물, 연료 및/또는 산화체의 다양한 흐름을 조정하거나 바꿀 수 있다. 예를 들어, 센서(108)로부터 보내진 신호에 기초하여, 밸브, 펌프 및/또는 조절기의 작동을 통해, 제어기(110)는, 처리 툴, 연료 소스(118) 및 반응 챔버(104)를 선택적으로 조작하여 다양한 유동을 허용하고/정지시키고/제한하고/감소시키거나 또는 증가시키며 저감 유닛 작동 파라미터를 변경시킬 수 있고, 이는 아래에 제공된 실시예에서 추가로 기재될 것이다. 제어기(110)는 밸브, 펌프, 및/또는 조절기에 고정되게 커플링되거나 무선으로 커플링될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제어기(110)는, 뒤에서 더 설명하는 바와 같이, 저감 시스템(110) 및 프로세스 툴에 커플링되거나 및/또는 그렇지 않으면 통신하거나 저감 시스템(110) 및 프로세스 툴의 동작을 제어할 수 있다.
작동시, 하나 또는 그 초과의 전자 소자 처리 챔버로부터의 유출물 흐름은 도관(112)을 통해 제 1 스크러버(102)로 향할 수 있다. 제 1 스크러버(102)는 미립자 물질 및 수용성 화합물을 유출물 흐름으로부터 제거할 수 있다.
제 1 스크러버(102)로부터, 이 유출물 흐름은 도관(116)을 통해 열적 반응기(104)로 향할 수 있으며, 여기서 연료 및 산화제는 점화되어 약 500℃ 내지 약 2000℃ 정도의 고온을 생성할 수 있는 버너 화염(burner flame)을 만들 수 있다. 이러한 유출물 흐름에 함유된 유해한 화학종은 열적 반응기(104)에서 산화되어, 덜 유해하거나 유해하지 않은 화학종을 형성할 수 있다. 이러한 덜 유해하거나 유해하지 않은 화학종의 일부 또는 전부는 수용성일 수 있다.
이 유출물 흐름은 열적 반응기(104)로부터 도관(124)을 통해 제 2 스크러버(106)로 향할 수 있으며, 여기서 미립자 및 수용성 화합물이 유출물 흐름으로부터 제거될 수 있다. 제 2 스크러버(106)로부터 배출된 저감된 유출물은 이후 센서(108)로 테스트될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 센서는 열적으로 감소될 수 있는, 하나 또는 그보다 많은 유해한 화학 종의 존재 및/또는 시편에 대한 농도를 검출하는데 적합할 수 있다. 열적으로 감소될 수 있는 유해한 화학 종들은 흥미 있는 화학 종의 한 형태일 수 있다. 하나 또는 그보다 많은 열적으로 경감될 수 있는 화학 종의 농도가 임계 농도 위에 있는 것으로 결정되면, 상기 센서(108)는 그와 같은 상태를 나타내는 신호를 제어기(110)로 송신한다. 상기 신호의 수신시, 상기 제어기(110)는 열 반응로(104) 내의 온도를 증가시킬 수 있는 공정 변수를 변화시키도록 명령할 수 있다. 몇몇 실시예에서 상기 제어기(110)는 하나 또는 그보다 많은 열적으로 감소될 수 있는 화학 종의 농도가 임계 농도 미만으로 떨어졌음을 센서(108)가 보고하는 그 시간까지 열 반응로의 온도를 점진적으로 증가시킬 수 있다. 그와 같은 공정 변수의 변경에는 열 반응 챔버로의 연료 및/또는 산화제 유동 양을 변경시키는 것을 포함할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 센서는 열적으로 감소될 수 있는 하나 또는 그보다 많은 유해한 화학 종의 존재를 검출하는데 적합할 수 있다. 열적으로 감소될 수 있는 화합물이 유출 스트림에서 검출되지 않거나, 임계 농도 미만의 농도에서 검출되면, 상기 센서(108)는 그와 같은 상태를 표시하는 신호를 제어기(110)로 송신할 수 있다. 이러한 상태는 너무 많은 연료가 열 반응로(104)에서 사용되고 있음을 표시할 수 있다. 그와 같은 표시를 수신시, 상기 제어기(110)는 열 반응로(104) 내의 온도를 감소시킬 수 있는 공정 변수의 변경을 명령할 수 있다. 그와 같은 공정 변수의 변경에는 열 반응로로의 연료 및/또는 산화제 유동 양을 감소시키는 것을 포함할 수 있다. 상기 제어기(110)는 상기 제 2 스크러버(106)로부터 유출물 내에 있는 열적으로 감소될 수 있는 화합물이 임계 농도를 초과하는 농도를 가졌음을 보고하는 그 시간까지 열 반응로(104) 내부의 점진적인 온도 감소를 계속해서 명령할 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 센서(108)는 유출물을 완전히 감소시키는데 필요한 것보다 많은 연료가 버너 제트로 유동되는 지를 결정하는데 선택적 또는 추가적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 유출물의 조성에 유해 또는 열적으로 감소될 수 있는 화학 종이 포함되어 있지 않다고 상기 제어기(110)가 결정하면, 상기 제어기(110)는 사전 결정된 양만큼 버너 제트로의 연료 유속을 감소시키기 위한 신호를 밸브로 송신함으로써, 반응 챔버 내의 온도를 낮출 수 있다. 상기 제어기(110)가 유출물의 조성에 유해한 화학 종이 여전히 포함되어 있지 않음을 표시하는 신호를 상기 센서(108)로부터 수신하면, 상기 제어기(110)는 사전 설정된 양만큼 버너 제트로의 연료 유속을 감소시키기 위한 신호를 밸브로 송신할 수 있다. 상기 버너 제트 내측으로의 연료 유속을 점진적으로 감소시키는 사이클은 예를 들어, 유해한 화합물이 검출될 때까지 계속될 수 있다. 이러한 방식으로, 상기 연료 유속도 필요한 것보다 더 많은 연료를 버너 제트, 및 그에 따른 반응 챔버로 공급함이 없이 최적화될 수 있다. 다른 실시예에서, 연료의 점진적인 감소로 유출물 내의 유해한 화합물의 검출이 초래되면, 상기 제어기는 유해한 화합물이 더 이상 검출되지 않을 때까지 연료를 증가시킬 것을 명령할 수 있다.
동일한 또는 상이한 실시예에서, 상기 센서(108)는 상기 제 2 스크러버(106)로부터의 유출물 내에 연료의 존재를 검출하는데 적합할 수 있다. 어떤 연료, 또는 예정된 양이나 농도보다 많은 연료가 유출물 스트림에서 검출되면, 상기 센서(108)는 그러한 상태를 표시하는 신호를 상기 제어기(110)로 송신할 수 있다. 그와 같은 신호의 수신시, 제어기(110)는 열 반응로(104) 내의 연료 산화의 효율을 증가시킬 수 있는 공정 변수의 변경을 명령할 수 있다. 상기 공정 변수의 변경에는 예를 들어, 열 반응로(104) 내측으로의 산화제 유동을 증가, 또는 연료의 유동을 감소시키는 것을 포함할 수 있다. 그와 같은 공정 변수의 변경은 제 2 스크러버(106)로부터의 유출물 내의 연료 농도가 임계 농도 미만으로 떨어졌음을 상기 센서(108)가 보고하는 그 시간까지 상기 제어기(110)에 의해 계속해서 명령할 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 센서는 상기 제 2 스크러버(106)로부터 배출되는 유출물 내에 산화제의 존재를 검출하는데 적합할 수 있다. 산화제의 임계 농도보다 많은 농도가 유출물 스트림에서 검출되면, 상기 센서(108)는 그와 같은 상태를 표시하는 신호를 제어기(110)로 송신할 수 있다. 그와 같은 신호의 수신시, 상기 제어기(110)는 예를 들어, 열 반응로(104) 내측으로의 연료 유동을 증가 또는 산화제의 유동을 감소시키는 것과 같은, 열 반응로(104) 내에서의 산화제 사용량의 효율을 증가시킬 수 있는 공정 변수의 변경을 명령할 수 있다. 그와 같은 공정 변수의 변경은 상기 제 2 스크러버(106)로부터의 유출물 내의 산화제의 양 또는 농도가 임계 농도 미만으로 떨어졌음을 상기 센서(108)가 보고하는 그 시간까지 상기 제어기(110)에 의해 계속해서 명령할 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 유출물이 제 2 스크러버(106)를 이탈할 때, 상기 유출물은 상기 제 2 스크러버(106)의 하류에(예를 들어, 도관(126) 내에) 위치된 센서(108)를 지나도록 유동될 수 있다. 상기 센서(108)는 상기 유출물을 테스트하며 유출물 조성을 표시하는 신호를 상기 제어기(110)로 송신할 수 있다. 그 후 상기 제어기(110)는 상기 유출물이 미리 규정된 레벨로 감소되었는 지를 결정할 수 있다. 상기 유출물이 미리 규정된 레벨로 감소되었다고 상기 제어기(110)가 결정하면, 상기 연료 유속은 반응 챔버 내에서 감소될 유출물에 대해 유지될 수 있다. 상기 유출물이 충분히 감소되지 않았다고 상기 제어기(110)가 결정하면, 상기 제어기(110)는 밸브를 더욱 개방시킬 수 있는 신호를 밸브로 송신하여, 상기 밸브가 버너 제트(도시 않음)로의 연료 유속을 증가시킴으로써, 산화제와 추가 연료의 혼합 및 추가 연료 점화를 가능하게 하며, 차례로 더 많은 유출물을 감소시키는데 필요한 보다 높은 온도를 발생시킬 수 있게 한다.
몇몇 실시예에서, 상기 제어기(110)는 유해한 화합물, 연료, 산화제 등의 검출에 기초하여 공정 변수에 대한 표준화된 사전 선택된 점진적인 조절을 수행할 수 있다. 몇몇 다른 실시예에서, 상기 제어기(110)는 유해한 화학 종, 연료 및/또는 산화제의 농도에 기초하여 공정 변수에 대한 표준화되지 않은 점진적인 조절을 수행할 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 제어기(110)는 연료 및/또는 산화제 유속의 효과적인 변경을 통해서 이용가능한 공정 제어의 범위가 불충분한가, 그리고 상기 감소 시스템에 대한 유출물 입력을 대신 변경할 것인가에 대한 결정을 수행할 수 있다.
도 2는 본 발명의 연료 연소율을 최적화하기 위한 전형적인 방법을 도시하는 흐름도이다. 선택적인 단계(202)에서, 유출 스트림은 제 1 스크러버에서 제거된다. 단계(204)에서, 유출물은 열 반응 챔버에서 저감된다. 단계(202 및 204)는 소정의 순서로 수행될 수 있다. 단계(204)에서 열 반응 챔버에서의 유출물의 감소에 후속하여, 산화 유출물은 제 2 스크러버에서 선택적인 단계(206)로 제거된다. 하나 또는 둘 이상의 열적으로 감소되는 화학물 종의 존재는 단계(210)에서 결정된다. 유출물 스트림이 열적으로 감소되는 화학물 종을 포함하지 않는 것이 단계(210)에서 결정되는 경우, 이어서 열적 반응기로의 연료 유동이 단계(212)에서 유지된다. 방법은 단계(212)에서 유출물이 열적 감소 툴에서 감소되는 단계(204)로 루핑되고, 상술된 바와 같이 진행된다. 유출물 스트림이 열적으로 감소가능한 화합물을 포함하는 것이 단계(210)에서 결정되는 경우, 이어서, 열적 반응기로의 연료 유동이 단계(214)에서 증가된다. 연료 유동에서의 증가는 통상적으로 열적 반응기의 온도를 증가시킬 수 있다. 단계(214)에서의 열적 반응기로의 열 유동의 증가는 예정된 크기의 증분 증가일 수 있다. 연료 유동에서의 증가는 또한 하나 또는 둘 이상의 열적으로 감소가능한 화학물 종의 농도에 반응하여 제어기에 의해 결정되는 양일 수 있다. 단계(214)에서 열적 반응기로의 연료 유동의 증가에 후속하여, 방법은 유출물이 열적 저감 툴에서 감소되는 단계(204)로 루핑되고, 상술된 바와 같이 진행된다. 방법(200)은 전자 장치 제조 시스템의 작동 동안 연속적으로 적용될 수 있다.
도 3은 본 발명의 연료 연소율 또는 효율을 최적화하기 위한 또 다른 전형적인 방법(300)을 도시하는 흐름도이다. 방법(300)은 단계(312)를 제외하고 방법(200)과 유사한데, 단계(312)는 단계(212)를 대체하고, 이러한 다른 단계만이 설명될 것이다. 단계(312)(열적으로 감소가능한 화학물 종이 유출 스트림에 존재하지 않는 것이 단계(210)에서 결정된 경우, 이 단계로 방법(300)이 진행된다)에서, 반응기로의 연료 유동은 단계(212)에서와 같이 유지되지 않고 증분 양만큼 저감된다. 방법(300)은 이어서 유출물이 열적 저감 툴 내에서 감소되는 단계(204)로 진행되고 도 2에 대해 상술된 바와 같이 진행된다.
도 4는 본 발명의 연료 연소율을 최적화하기 위한 또 다른 전형적인 방법(400)을 도시하는 흐름도이다. 방법(400)은 각각 유사한 단계(210, 212 및 214)를 대체하는 단계(410, 412 및 414)를 제외하고 방법(200)과 유사하다. 방법(400)은 상이한 단계에 대해서만 설명될 것이다. 따라서, 단계(410)에서, 유출물 스트림이 감소되지 않은 유출물을 포함하는지를 결정하는 대신, 방법(400)은 유출물 스트림이 비 산화 연료를 포함하는지를 결정한다. 저감된 유출물에서의 비 산화 연료의 존재는 너무 많은 연료가 열적 반응기로 공급되거나 충분한 산화물이 반응물이 공급된 것의 표시일 수 있다. 유출물이 비 산화 연료를 포함하는 것이 결정된 경우, 방법은 열적 반응기로의 연료 유동이 감소(예를 들면, 예정된 증분 만큼)되거나 열적 반응기로의 산화물 유동이 증가(예를 들면, 예정된 증분 만큼)되는, 단계(414)로 진행된다. 단계(414)에 후속하여, 방법(400)은 도 2에 대해 상술된 단계(204)로 루핑된다.
유출물 스트림이 단계(410)에서 비 산화 연료를 포함하지 않는 것이 결정된 경우, 저감된 유출물 내에 미연소 연료의 부존재는 충분한 양의 연료가 열적 반응기로 제공된 것을 나타낼 수 있다. 소정의 실시예에서, 방법(400)은 연료 유동이 유지되는 단계(412)로 진행된다. 단계(412)에 후속하여, 방법(400)은 도 2에 대해 상술된 단계(204)로 루핑된다.
저감된 유출물 내의 미연소 연료의 부존재는 또한 충분한 양의 연료가 열적 반응기로 제공되는 것을 표시할 수 있다. 따라서, 소정의 실시예에서, 연료 유동은 간단히 유지되지 않고 단계(412)에서 증가될 수 있다. 단계(412)로부터, 방법(400)은 상술된 바와 같이 단계(204)로 루핑된다.
도 5는 본 발명의 산화제 유량을 최적화하기 위한 전형적인 방법(500)을 도시하는 흐름도이다. 방법(500)은 각각 유사한 단계(410, 412 및 414)를 대체하는, 단계(510, 512 및 514)를 제외하고 방법(400)과 유사하다. 방법(500)은 상이한 단계에 대해서만 설명할 것이다. 따라서, 단계(510)에서, 유출물 스트림이 산화 연료를 포함하는지를 결정하는 대신, 방법(500)은 유출물 스트림이 미반응 산화제를 포함하는지를 결정한다. 저감된 유출물 내에 미반응 산화제의 존재는 너무 많은 산화제가 열적 반응기로 공급되거나 충분한 연료가 반응기로 공급된 것의 표시일 수 있다. 유출물이 미반응 산화제를 포함하는 것이 결정된 경우, 방법은 열적 반응기로의 산화제 유동이 감소(예를 들면, 예정된 증분 만큼)되거나 열적 반응기로의 연료 유동이 증가(예를 들면, 예정된 증분 만큼)되는 단계(514)로 진행된다. 단계(514)에 후속하여, 방법(500)이 도 2에 대해 상술되는 단계(204)로 루핑되며, 상술된 바와 같이 단계(204)로부터 진행된다.
저감된 유출물에서의 미반응 산화제의 부존재는 충분한 양의 산화제가 열 반응 챔버로 공급되는 것을 표시할 수 있다. 소정의 실시예에서, 유출물 스트림이 미반응 산화제를 포함하지 않는 것이 단계(510)에서 결정되는 경우, 방법(500)은 산화제 유동이 유지되는 단계(512)로 진행된다. 단계(512)로부터, 방법(500)은 도 2에 대해 상술된 단계(204)로 루핑된다.
저감된 유출물에서의 미반응 산화제의 부존재는 또한 충분한 양의 산화제가 열적 반응기로 제공되는 것을 표시할 수 있다. 따라서, 소정의 실시예에서, 산화제 유동은 간단히 유지되지 않고 단계(512)에서 증가될 수 있다. 단계(512)로부터, 방법(500)은 상술된 바와 같이 단계(204)로 루핑된다.
따라서, 본 발명은 전형적인 실시예들과 관련하여 공개되었지만, 다른 실시예들이 다음의 청구범위에 의해 한정되는 바와 같이, 본 발명의 사상 및 범위 내에서 있음을 이해하여야 한다.

Claims (16)

  1. 저감된 유출물을 형성하기 위해서 열적 저감 툴에서 유출물을 저감(abate)시키는 단계;
    상기 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 결정하는 단계; 그리고
    상기 결정에 기초하여 상기 열적 저감 툴(abatement tool)의 하나 이상의 동작 파라미터를 변경하는 단계를 포함하는,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물을 저감시키는 방법.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 결정하는 단계는,
    상기 하나 이상의 관심 화학 종들의 농도를 결정하는 것을 더 포함하는,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물을 저감시키는 방법.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 동작 파라미터는,
    연료 유동(fuel flow), 연료 조성, 시약 유동(reagent flow), 시약 조성, 냉각제 유동, 산화제 유동 및 저감 반응 온도 중 하나 이상을 포함하는,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물을 저감시키는 방법.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 관심 화학 종들은
    유해 화학 종들, 열적으로 저감가능한 화학 종들, 연료, 및 산화제 중 하나 이상을 포함하는,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물을 저감시키는 방법.
  5. 유출물을 저감시키고 저감된 유출물을 형성하도록 구성된 열적 저감 툴;
    상기 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 결정하도록 구성된 센서; 그리고
    상기 센서로부터의 신호를 받도록 구성된 제어기;를 포함하되,
    상기 신호는 상기 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 가리키고 그리고 상기 제어기가 상기 신호에 기초하여 상기 열적 저감 툴의 하나 이상의 동작 파라미터를 변경하도록 추가적으로 구성된,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물 저감 시스템.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 센서는,
    상기 하나 이상의 관심 화학 종들의 농도를 결정하도록 추가적으로 구성된,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물 저감 시스템.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 하나 이상의 동작 파라미터는,
    연료 유동, 연료 조성, 시약 유동, 시약 조성, 냉각제 유동, 산화제 유동 및 저감 반응 온도 중 하나 이상을 포함하는,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물 저감 시스템.
  8. 제5 항에 있어서, 상기 관심 화학 종들은
    유해 화학 종들, 열적으로 저감가능한 화학 종들, 연료, 및 산화제 중 하나 이상을 포함하는,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물 저감 시스템.
  9. 열적 저감 툴로 제1 비율로 연료를 공급하는 단계;
    저감된 유출물을 형성하기 위해서 상기 열적 저감 툴에서 유출물을 저감시키는 단계;
    상기 저감된 유출물이 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지를 결정하는 단계; 그리고
    상기 결정에 기초하여 상기 열적 저감 툴로 제2 비율로 연료를 공급하는 단계를 포함하는,
    전자 장치 제조 유출물 열적 저감 툴의 연료 효율을 높이는 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 결정은 상기 저감된 유출물이 상기 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하는지와 상기 제2 비율이 상기 제1 비율보다 더 큰 지인 것인,
    전자 장치 제조 유출물 열적 저감 툴의 연료 효율을 높이는 방법.
  11. 제9 항에 있어서, 상기 결정은,
    상기 결정은 상기 저감된 유출물이 상기 하나 이상의 관심 화학 종들을 포함하지 않는지와 상기 제2 비율이 상기 제1 비율보다 더 작은 지인 것인,
    전자 장치 제조 유출물 열적 저감 툴의 연료 효율을 높이는 방법.
  12. 제9 항에 있어서, 상기 결정 단계는,
    상기 하나 이상의 관심 화학 종들의 농도를 결정하는 것을 더 포함하는,
    전자 장치 제조 유출물 열적 저감 툴의 연료 효율을 높이는 방법.
  13. 제12 항에 있어서, 상기 결정은,
    상기 저감된 유출물이 상기 하나 이상의 관심 화학 종들을 임계 농도보다 더 큰 농도로 포함하는지와 상기 제2 비율이 상기 제1 비율보다 더 큰 지인 것인,
    전자 장치 제조 유출물 열적 저감 툴의 연료 효율을 높이는 방법.
  14. 제12 항에 있어서, 상기 결정은,
    상기 저감된 유출물이 상기 하나 이상의 관심 화학 종들을 임계 농도보다 더 큰 농도로 포함하지 않는지와 상기 제2 비율이 상기 제1 비율보다 더 작은 지인 것인,
    전자 장치 제조 유출물 열적 저감 툴의 연료 효율을 높이는 방법.
  15. 제12 항에 있어서, 상기 결정은,
    상기 저감된 유출물이 상기 하나 이상의 관심 화학 종들을 임계 농도와 같은 농도로 포함하는지와 상기 제2 비율이 상기 제1 비율과 같은 지인 것인,
    전자 장치 제조 유출물 열적 저감 툴의 연료 효율을 높이는 방법.
  16. 제9 항에 있어서, 상기 관심 화학 종들은
    유해 화학 종들, 열적으로 저감가능한 화학 종들, 연료, 및 산화제 중 하나 이상을 포함하는,
    전자 장치 제조 프로세스로부터 유출물 저감 시스템.
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