CN101835521A - 利用改进燃料线路的用于智能减废的方法与设备 - Google Patents

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优瑟夫·A·罗勒迪
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Abstract

本发明提供一种减少来自电子组件处理中的废液的方法，包括在一热减量工具中减量该废液以产生已减量的废液；判断该已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及根据判断结果来改变热减量工具的一个或多个操作参数。本发明提供多种其它实施例。

Description

利用改进燃料线路的用于智能减废的方法与设备
本发明主张一下美国临时专利申请的优先权：
2007年10月26日申请的美国专利申请号60/983,143、名称为“METHODS AND APPARATUS FOR SMART ABATEMENT USING ANIMPROVED FUEL CIRCUIT”(代理人编号11618/L)，其全文以引用方式并入本文中以供各方面上的参考。
2008年1月14日申请的美国专利申请号61/020,925，名称为“METHODS AND APPARATUS FOR SMART ABATEMENT USING ANIMPROVED FUEL CIRCUIT”(代理人编号11618/L2)，其全文以引用方式并入本文中以供各方面上的参考。
相关申请
2007年2月9日申请且共同受让的美国专利申请号11/673,542、名称为“METHODS AND APPARATUS FOR PFC ABATEMENT USING ACDO CHAMBER”(代理人编号10910)，其全文以引用方式并入本文中以供各方面上的参考。
2004年11月12日申请且共同受让的美国专利申请号10/987,921、名称为“REACTOR DESIGN TO REDUCE PARTICLE DEPOSITIONDURING PROCESS ABATEMENT”(代理人编号9985)，其全文以引用方式并入本文中以供各方面上的参考。
技术领域
本发明有关于电子组件制造，更具体而言是关于改进燃料线路以及使用该改进燃料线路来减少电子组件处理废液的方法和设备。
背景技术
来自电子材料与组件制造处理中的气态废液可能包含在处理中使用及/或产生的多种化学化合物。在处理中(例如，沉积、扩散、蚀刻、清洁、外延生长等)，某些处理可能产生不想要的副产物，例如包含全氟化合物(perfluorocompounds，PFCs)，或是产生可能会分解而形成PFC的副产物。PFC被认为是地球暖化的主力原因。以下，将这些化合物和也可能伤害人体或环境的其它化合物称为“有害化学物质”，并且可能以“目标化学物质(chemical species of interest)”这类用语来概括。并且希望在将气态废液排放至大气中以前，能先将气态废液中的有害化学物质移除，或者将有害化学物质转换成伤害性较小或无害的化学物质。
发明内容
在某些方面中，提供一种减少来自电子组件制造处理中的废液的方法，该方法包括在热减量工具中减少该废液以产生已减量废液、判断已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质，以及根据判断结果来改变热减量工具的一个或多个操作参数。
在某些方面中，提供一种减少来自电子组件制造处理中的废液的系统，该系统包括：热减量工具、传感器以及控制器；该热减量工具用以减量废液并且形成已减量的废液；该传感器用以判断已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及，该控制器用以接收来自该传感器的信号；其中，该信号指示已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及该控制器更可依据信号来改变热减量工具的一个或多个操作参数。
在某些方面中，提供一种提高电子组件制造废液热减量工具的燃料效率的方法，该方法包括：以第一流率供应燃料至热减量工具、在热减量工具中减少废液以形成已减量的废液、判断已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质，以及根据判断结果使用第二流率供应燃料至热减量工具。
由下述详细说明、附图以及后附权利要求可更加了解本发明的其它特征与方面。
附图说明
图1是根据本发明实施例，使燃料流率优化的系统示意图。
图2是根据本发明实施例，使燃料流率优化的示例方法的流程图。
图3是根据本发明另一实施例，使燃料流率优化的示例方法的流程图。
图4是根据本发明又一实施例，使燃料流率优化的示例方法的流程图。
图5是根据本发明又一实施例，使氧化剂流率优化的示例方法的流程图。
具体实施方式
可利用减量(abatement)处理从电子材料与组件制造处理的废液(effluent)中移除有害化学物质，或者将有害化学物质转换成无害或伤害性较小的化学物质。在减量过程中，电子组件制造处理中所使用或产生的有害化学物质可能会被消灭或转换成无害或伤害性较小的化学物质，经过减量后的废液可接受进一步处理或是排放到大气中。本文中所使用“减少废液中的有害化学物质”和“减量废液”等用语，在工业上通常所称“减少废液(abating effluent)”，其意包含“减少废液中的有害化学物质”。
已知，在热减量反应器中(thermal abatement reactor)可能会加热及/或氧化该废液，进而将有害化学物质转换成无害或是伤害性较小的化学物质，来减少废液。热反应器可能包含引导装置(pilot device)、燃料供应装置、氧化剂供应装置、燃烧器喷嘴(burner jet)以及废液入口。引导装置可用来点燃燃烧器喷嘴，以产生燃烧器喷射火焰。燃烧器喷射火焰可产生用来减量废液所需要的高温。
用来减量废液所需要的热能量取决于废液的性质，并且可以热反应器的温度来估量热量。由于热减量工具可能连接到一个或多个处理室及/或处理工具，或是接收来自一个或多个处理室及/或处理工具的废液混合物，因此，抵达热减量反应器的废液的性质可能会随着时间改变。该些处理室和处理工具可能彼此独立运作，并且依照不同行程规划来执行不同处理。这可能造成废液混合物的性质频繁地改变。因此，难以预测在任何特定时间进入减量工具或热反应器中的废液性质。此种不可预测性，造成在任何不同时间点上用来减量进入热减量反应器中的废液所需要的热量也难以预估。
其中一种解决减少变化性废液混合物所需热量/燃料的不可预测性的已知方法是，判断出所有废液减量过程中最糟糕的废液情况(例如，可能需要最多热量和燃料来进行减量的废液或废液混合物)，并且使用足够用于最糟糕废液减量过程中的热量/燃料量。然而实际上，此种方法可能效果不佳，因为很多种废液或废液混合物可能需要较少量的热或燃料就能达到有效减量。
因此，需要一种能提供燃料及/或氧化剂流量的动态优化方法和设备，以降低热能/燃料的浪费。供应至减量单元中的燃料量在本文中有时称为“燃料燃烧率(fuel burn rate)”或“燃料流率(fuel rate)”。
本发明提供用于减量反应室中的燃料燃烧率的动态优化方法和设备。如本文中所使用者，燃料燃烧率的优化是指，调整燃料燃烧率以降低燃料的使用量，同时持续有效减少在任何特定时间点进入热反应器中的废液混合物。燃料燃烧率的优化可能包括提高燃料燃烧率以及降低燃料燃烧率的步骤，其将进一步详述如下。
在本发明的一些实施例中，传感器可用来判断已减量的废液(例如，已在热减量反应器中减量)是否含有目标化学物质(例如，含有浓度高于临界浓度的目标化学物质)。目标化学物质可能是热减量性(thermallyabatable)化学物质、燃料及/或氧化剂中的其中一者或多者。
在本发明的一些实施例中，如果传感器判断出该已减量的废液含有临界浓度的热减量性化学物质时，控制器可提高燃料及/或氧化剂的流量，进而提高反应室的温度。控制器可持续提高该温度，直到传感器将已减量废液中不含临界浓度的热减量性化学物质的信号传送给控制器为止。临界浓度(threshold concentration，或称阈限浓度)可为零、“无法测得(undetectable)”或是选定的可侦测浓度。本领域中一般技术人员将理解如何选择临界浓度。如本文中所使用者，临界浓度和临界含量(thresholdamount)及/或流量(flow)等用语可互换使用。
在一些实施例中，如果传感器判断出该已减量废液中含有低于临界浓度的热减量性化学物质时，控制器可降低流至反应器室的燃料流量，进而降低反应室的温度，直到传感器侦测且发送出已减量废液含有高于临界浓度的热减量性化学物质的信号为止。当已减量废液中的热减量性化学物质的浓度升高至高于临界浓度时，控制器接着可提高流至反应室的燃料流量，以及提高反应室的温度，直到传感器报告该已减量废液中的热减量性化学物质浓度已降至低于临界浓度为止。此为一种能降低燃料用量同时持续有效减量废液的方法。
在另一实施例中，如果目标化学物质是燃料，并且传感器判断出已减量废液中含有高于临界浓度的燃料时，控制器可适当地提高氧化剂流率或降低燃料流率，直到传感器将已减量废液中的燃料浓度已降至低于临界浓度的信号报告给控制器为止。
回到图1，本发明的热减量系统100可包含第一洗涤器102，第一洗涤器102与热反应器104流体连通，而热反应器104可与第二洗涤器106流体连通。反馈控制系统107可包含至少一个传感器108，传感器108可设置在第二洗涤器106和控制器的流出处。其它位置也可能设置传感器108，例如，热反应器104的流出处。传感器108可用来侦测该废液是否含有一种或多种目标化学物质或其浓度。如上所述，目标化学物质可能是任何有害的化学物质、热减量性化学物质、燃料、氧化剂或不完全减量或燃料不完全燃烧所产生的副产物等等。传感器108可将这类信息提供给控制器110(可能是系统控制器)，控制器可用来改变减量处理操作参数，例如，燃料流量、燃料成分、试剂流量、试剂成分、冷却剂流量、减量反应室温度以及氧化剂流量，或是任何可受控制且能影响废液的减量作用的其它参数。
如上所述，减量系统100可包含第一洗涤器102。可将来自一个或多个处理室114的至少气态废液流体(effluent stream)112引导到第一洗涤器102中，以移除该废液流体中的SiF4和其它化合物。可了解到，第一洗涤器102可接收来自任意数目(例如，1、2、3、4、5、6个等等)的处理工具(未显示)及/或处理室114的气态废液流体112。
第一洗涤器102可采用水雾来移除或减少气态废液流体中出现的一种或多种污染物，例如SiF4。从气态废液流体112分离出来的污染物或微粒(包括SiF4)可引导至污物槽(sump，未显示)。第一洗涤器102是可选的。
来自第一洗涤器102的废液可经由管道116引入热反应室104中。除了废液之外，可从燃料供应装置118经由管道120供应燃料和从氧化剂供应装置122经由管道123供应氧化剂至反应室104。虽然显示出管道120与透过管道116所输送的废液是分开的，但在一些实施例中，可在管道中混合燃料与废液，并且燃料与废液的混合物引入室中。此外，可使燃料与一定量的氧化剂先行混合(未显示)。
操作时，可在反应室中混合燃料和氧化剂，并且将其点燃以产生火焰。随后，在氧化剂存在的情况下，使废液受到高温，并且燃烧或氧化而形成含有伤害性较低或无害化学物质的废液。从该反应室104引导该废液通过管道124而进入第二洗涤器106中。
第二洗涤器106可采用填充床式水洗涤器，以移除或减少气态废液流体中所出现的一种或多种污染物，这些污染物可能是在反应室中产生的。利用第二洗涤器106从气态废液流体中分离出来的污染物和微粒可引导至污物槽(未显示)中。随后透过管道126将离开第二洗涤器106的废液流体引导至例如废液收容装置(house exhaust，未显示)或收容洗涤器(house scrubber，未显示)，或者排放至大气中。第二洗涤器106可为可选的。
可设置传感器108并且透过管道126从第二洗涤器106所排放的废液流体中取样。传感器108更可用来侦测一种或多种目标化学物质的存在，例如透过管道112进入减量系统且需要在反应室中进行减量的化学物质。或者，目标化学物质可能是没有透过管道126进入热反应器中，但却是在热反应器中所产生的化学物质。如果热化学反应器未在足够高的温度下操作，则可能会在该热反应器中产生这类目标化学物质。在一些实施例中，传感器108更可用来侦测此类目标化学物质的浓度。在又一实施例中，传感器108更可用来侦测下列一种或多种情况：废液流率、燃料的存在、燃料浓度、氧化剂的存在以及氧化剂浓度。燃料和氧化剂也可能是目标化学物质。
控制器110可透过信号线128接收来自传感器108的信号，该信号可能指示下列情况的其中一种或其任意组合：1)是否出现一种或多种欲减量的目标化学物质；2)一种或多种欲减量的目标化学物质的浓度；3)废液的流率(flow rate)；4)燃料的存在；5)燃料浓度；6)氧化剂的存在；以及7)氧化剂浓度等等。信号线128可能是有线或无线连接，或是任何能从传感器108携带信号至控制器110的其它装置。控制器110可响应从传感器108所接收到的信号来改变或命令改变减量处理操作参数。例如，控制器110可改变下列参数其中一者或下列任意组合：燃料流率、氧化剂流率、氧化剂组成、可移动的档板(movable baffle)、废液的流量、来源及/或流率、试剂流量、试剂成分、冷却剂流量及减量反应室的温度，或是改变任何可控制且能影响废液的减量的其它参数。控制器110可透过信号线130连接至燃料供应装置118、及/或透过信号线132连接至氧化剂供应装置122。
可透过操作阀(未显示)、泵(未显示)和调节器(未显示)等如该领域中所知悉的其它装置来改变减量处理的操作参数。
每个处理工具(未显示)可能包含一个或多个处理室114。处理工具可能包括，例如，化学气相沉积室、物理气相沉积室、化学机械研磨室等等。可在这些处理室中执行的处理可包括，例如，沉积、扩散、蚀刻、清洁和外延生长等等。欲从这些处理中除去的化学副产物可包括，例如，锑、砷、硼、锗、氮、磷、硅、硒(selenium)的氢化物、硅烷(silane)、硅烷与磷化氢(phosphine)、氩、氢的混合物、有机硅烷、卤化硅烷、卤素、有机金属化合物和其它有机化合物。需要减量的各种成分中，卤素(例如，氟(F2))与其它氟化物的问题特别大。电子工业经常在基板处理工具中使用被称为全氟化物(PFC)的这类氟化物来移除沉积步骤的残留物以及蚀刻薄膜。一些最常用的PFC范例包括CF4、C2F6、SF6、C3F8、NF3、CHF3、CH3F和CH2F2。
如上所述，第一洗涤器102适于使用水雾来移除从处理室114所排出的气态废液流体中的污染物。例如，可使用多个高压喷嘴在第一洗涤器106中创造出喷雾。任合适当的湿式洗涤器都可使用。洗涤器的范例详述于2007年2月9日申请且名称为“METHODS AND APPARATUS FORPFC ABATEMENT USING A CDO CHEMBER”(代理人编号10910)的美国专利申请号11/673,542中。
本发明可与任合适当的热反应器室并用，例如，2004年11月12号申请且名称为“REACTOR DESIGN TO REDUCE PARTICLE DEPOSITIONDURING PROCESS ABATEMENT”(代理人编号9985)的共同受让美国专利申请号10/987,921中所揭露的热反应室。除了燃料燃烧式热减量室，本发明也可与电加热式及/或电浆式减量室并用。在电加热式及/或电浆式减量室的情况中，控制器可改变用来减量废液的能量，而不是改变用来减量废液的燃料量。
在一些实施例中，反应室的室壁可能由多孔性材料制成(例如，陶瓷材料)，举例而言，以允许氧化剂(如，洁净干空气、氧气)扩散进入或流入该反应室中。或者，可利用其它方式将氧化剂流入反应室中。燃料源可供应燃料(例如，天然气、甲烷、氢气)至反应室中。在一些实施例中，减量系统100可能包含一个以上的燃料源，或是来自单个燃料源的燃料混合物，其中，多个燃料源可提供不同的燃料，或多个燃料的组合，以更有效地减少不同废液。例如，可如本技术领域中所熟知般，使用引导光线(pilot light)或其它点燃方法来点燃反应室中的燃料和氧化剂的混合物，以在反应室中创造出减量废液所需要的温度。
传感器108可能包括电化学电池(electrochemical cells)、光学传感器(例如，热电堆与FTIR传感器)或是质谱仪等等。任何可感测燃料、氧化剂、热减量性化学物质、不完全燃烧的副产物以及其它目标化学物质其中一种或多种的存在或浓度的适当传感器都可能使用。
控制器110可能是微电脑、微处理器、逻辑电路、硬件及软件的组合，或类似物。控制器110可专用于反馈控制系统107，也可作为减量单元的系统控制器。
控制器110亦可耦合至一个或多个帮浦、阀及/或调节器(regulators，未显示)，该些帮浦、阀及/或调节器可能耦接至处理工具的处理室114的多个入口、耦接至燃料源、耦接至氧化剂供应装置以及耦接至管道112的反应室端，管道112将一个或多个工具连接至一个或多个减量系统100。这些帮浦、阀及/或调节器让控制器110能够操控和改变废液、燃料及/或氧化剂的各种流量。依据传感器108传来的信号，例如，控制器110可透过操作该些阀、帮浦及/或调节器来允许/中止/限制/降低或提高各种流量，以调整减量单元的操作参数，而来选择性地操控该些处理工具、燃料源118以及反应室104，此类范例将进一步详述于下文中。控制器110可以有线或无线的方式连接至该些帮浦、阀及/或调节器。在一些实施例中，控制器110亦可与处理工具和减量系统100连接及/或通讯，及/或控制处理工具和减量系统100的运作，此将进一步详述如下。
操作时，经由管道112将来自一个或多个电子组件处理室的废液流体引导至第一洗涤器102中。第一洗涤器102可从废液流体中移除微粒材料以及水溶性化合物。
可透过管道116将来自第一洗涤器102的废液流体引导至热反应器104中，在热反应器104中点燃(ignite)燃料和氧化物以产生燃烧火焰，该燃烧火焰可产生约500℃至约2000℃的高温。在热反应器104中，废液流体中的有害化学物质可被氧化，而形成伤害性较低或无害的化学物质。一些或所有的低伤害性或无害性化学物质可能是水溶性的。
可经由管道124从热反应器104引导该废液流体进入第二洗涤器106，在第二洗涤器106中，移除废液流体中的微粒物质和水溶性化合物。随后，可利用传感器108来分析从第二洗涤器106排放出来的已减量废液。
在一些实施例中，传感器可用来侦测一种或多种热减量性有害化学物质的存在及/或浓度。热减量性有害化学物质可能是目标化学物质(chemical species of interest)的其中一种型式。如果侦测出一种或多种热减量性化学物质的浓度高于临界浓度，传感器108可传送一指示此种情况的信号给控制器110。当控制器110接收到这种指示时，控制器110可能命令处理参数变化，而处理参数的变化可能提高热反应器104中的温度。在某些实施例中，控制器110可造成热反应器的温度逐渐提高，直到传感器108回报该一种或多种热减量性化学物质的浓度已降至低于临界浓度的时候为止。此种处理参数变化可能包括提高流入热反应室中的燃料量及/或氧化剂流量。
在一些实施例中，传感器可用来侦测热减量性的一种或多种有害化学物质。如果废液流体中侦测不到热减量性化合物，或者所侦测到的浓度低于临界浓度，传感器108可传送一指示此种情况的信号给控制器110。此种情况可能表示在热反应器104中使用过多的燃料。当控制器110接收到这种指示时，控制器110可能命令处理参数变化，而处理参数的变化可能降低热反应器104中的温度。处理参数变化可能包括降低进入热反应器中的燃料量或氧化剂流量。控制器110可持续命令热反应器104中的温度逐渐下降，直到传感器108回报来自第二洗涤器106的废液中的热减量性化合物浓度已回升至高于临界浓度的时候为止。
在另一实施例中，可替代或额外地使用传感器108来判断是否要将比完全减量该废液所需燃料要更多的燃料流至燃烧器喷嘴。例如，如果控制器110判断该废液组成中不含有害或热减量性化学物质时，控制器110可传送一信号至该些阀，以使流入燃烧器喷嘴中的燃料流率减少一预定量，从而降低该反应室中的温度。如果，控制器110之后接收到来自传感器108的信号，指示该废液组成中仍然不含有害化学物质时，控制器110可传送一信号至该些阀，以使流入燃烧器喷嘴中的燃料流率减少一预设量。逐渐降低流入燃烧器喷嘴中的燃料流率的循环可持续进行，例如，直到侦测到有害化合物为止。以此种方式，可避免把比必要燃料要多的燃料供应至燃烧器喷嘴(进而供应至反应室)，也使燃料流率优化。在另一实施例中，如果逐渐减少燃料所产生的结果是在废液中的侦测到有害化合物，则控制器可下令提高燃料流量，直到不再侦测到有害化合物为止。
在相同或其它实施例中，传感器108可用来侦测从第二洗涤器106中排放的废液中是否存在燃料。如果侦测到该废液流体中的存在有燃料，或是燃料的量或浓度高于预定量时，传感器108可将指示此种状况的信号传送至控制器110。当控制器110接收到此信号时，控制器110可命令处理参数改变，这些处理参数改变可能提高该热反应器104中的燃料氧化效率。处理参数变化可能包括，例如，提高氧化剂流量或减少燃料流量进入热反应器104中。控制器110可命令持续此种处理参数变化，直到传感器108回报来自第二洗涤器106的废液中的燃料浓度已降至低于临界浓度的时候为止。
在又一实施例中，传感器可用来侦测从第二洗涤器106中排放的废液中是否存在氧化剂。如果侦测到该废液流体中的氧化剂浓度高于临界浓度，传感器108可将指示此种状况的信号传送至控制器110。当控制器110接收到此信号时，控制器110可命令处理参数改变，以提高热反应器104中的氧化剂使用效率，例如，提高燃料流量或减少氧化剂流量进入热反应器104中。控制器110可命令持续此种处理参数变化，直到传感器108回报来自第二洗涤器106的废液中的氧化剂浓度已降至低于临界浓度的时候为止。
在又另一实施例中，当废液离开第二洗涤器106时，该废液可能流经位于第二洗涤器106下游处的传感器108(例如，位在管道126中)。传感器108可分析该废液，并且将表示废液组成的信号传送至控制器110。控制器110随后可判断该废液是否已被减量至一预定程度。如果控制器110判断该废液已减量至预定程度，则保持该用于反应室中减量该废液的燃料流率。如果控制器110判断该废液尚未充分减量，则控制器可能将一信号传送至多个阀，以进一步开启阀门，以提高进入燃烧器喷嘴(未显示)中的燃料流率，从而使额外燃料与氧化剂混合并且点燃额外的燃料，而产生减量更多废液所需的更高温度。
在一些实施例中，控制器110可能依据有害化合物、燃料、氧化剂等物质的侦测结果，而对处理参数做出经过标准化的预选渐进调整(incremental adjustments)。在一些其它实施例中，控制器100可能依据有害化学物质、燃料及/或氧化剂的浓度，而做出未经过标准化(non-standardized)的渐进处理参数调整。
在又另一实施例中，控制器110可能做出透过改变燃料及/或氧化剂流率所能造成的处理控制范围不足以应付需求的判断，并且取而代之的是，改变该供应至减量系统的废液输入量(effluent input)。
第2图是流程图，其显示根据本发明使燃料燃烧率优化的示例方法200。在选用性步骤202中，在第一洗涤器中洗涤一废液流体。在步骤204，在一热反应室中减少废液。可使用任何顺序来执行步骤202和204。在热反应室内减量该废液的步骤204之后，在选用步骤206中，在第二洗涤器内洗涤该已被氧化的废液。在步骤210中判断是否出现一种或多种热减量性化学物质。如果在步骤210中判断出该废液流体不含热减量性化学物质，则在步骤212中保持供应至热反应器的燃料流量。并且该方法从步骤212回到步骤204，而在步骤204中在热减量工具内减少该废液，并且如上述般接续执行该方法。如果在步骤210中判断出该废液流体含有热减量性化合物，则在步骤214中增加供应至热反应器的燃料流量。提高燃料流量通常可能会提高热反应器的温度。在步骤214中提高供应至热反应器的燃料流量，可能是增加一预定量的渐增量。也可能是由控制器响应该一种或多种热减量性化学物质的浓度，而决定该燃料流量的增加量。接续在增加供应至热反应器的燃料流量的步骤214之后，该方法回到步骤204，而在步骤204中在热减量工具内减少该废液，并且如上述般执行该方法。可能在操作电子组件处理系统的过程中持续实施方法200
第3图是流程图，其显示根据本发明使燃料燃烧率或燃料效率优化的另一个示例方法300。方法300类似方法200，只除了用步骤312来取代步骤212，并且仅针对此一不同步骤进行说明。如果在步骤210判断出该废液流体中不含热减量性化学物质，则方法300进行步骤312，在步骤312中，将供应至反应器的燃料流量减少渐进量(incremental amount)，而不是如步骤212般保持该燃料流量。随后，方法300执行步骤204，并且如上参照图2所示般在步骤204中在热减量工具内减少该废液的减量。
图4是流程图，其显示根据本发明使燃料燃烧率优化的另一个示例方法400。方法400类似方法200，只除了用步骤410、412和414来分别取代类似步骤210、212和214。以下仅针对方法400的不同步骤进行说明。因此，方法400在其步骤410中，改为判断该废液流体是否含有未被氧化的燃料，来取代判断该废液流体是否含有未减量的废液的步骤。在已减量的废液中出现未被氧化的燃料可能表示供应过多燃料至热反应器，或是供应给反应器的氧化剂不足。如果判断出该废液中含有未被氧化的燃料，则方法500进行步骤414，减少供应至热反应器的燃料流量(例如，减少预定量)，或是提高供应至热反应器的氧化剂流量(例如，增加预定量)。接续在步骤414之后，方法400回到参照图2所述的步骤204。
如果在步骤410中判断出已减量的废液流体中不含未被氧化的燃料，在已减量的废液中不含未燃烧的燃料可能表示供应足够量的燃料到热反应器中。在一些实施例中，方法400前进至步骤412，在步骤412中保持该燃料的流量。接续在步骤412之后，方法400回到如上参照图2所述的步骤204。
已减量的废液中不含未燃烧的燃料，也可能代表供应到热反应器中的燃料量不足。因此，在一些实施例中，在步骤412增加燃料流量，而非简单地保持燃料流量。方法400，可如上述般，从步骤412回到步骤204。
图5是流程图，其显示根据本发明使氧化剂流率优化的示例方法500。方法500类似方法400，只除了用步骤510、512和514来分别取代类似步骤410、412和414。以下仅针对方法500的不同步骤进行说明。因此，方法500在其步骤510中，改判断该废液流体是否含有未反应的氧化剂，来取代判断该废液流体是否含有已被氧化的燃料的步骤。在已减量的废液中出现未反应的氧化剂可能代表供应过多氧化剂至热反应器，或是供应给反应器的燃料不足。如果判断出该废液中含有未反应的氧化剂，则方法500进行步骤514，减少供应至热反应器的氧化剂流量(例如，减少预定量)，或是提高供应至热反应器的燃料流量(例如，增加预定量)。接续在步骤514之后，方法500回到参照图2所述的步骤204，并且如上所述般，从步骤204继续执行方法500。
在已减量的废液中不含未反应的氧化剂，可能代表供应足够量的氧化剂到热反应器中。在一些实施例中，如果在步骤510判断出该废液中不含未反应的氧化剂，则方法500前进至步骤512，在步骤512中保持该氧化剂的流量。并且，方法500从步骤512回到如参照图2所示的步骤204。
已减量的废液中不含未反应的氧化剂，也可能代表供应到热反应器中的氧化剂用量不足。因此，在一些实施例中，在步骤512增加氧化剂的流量，而非简单地保持氧化剂流量。方法500可从步骤512回到如上述的步骤204。
虽然已参照多个示范性实施例来揭示本发明，但应了解到，尚有其它实施例可能落在后附权利要求所界定的本发明精神与范围中。

Claims (16)

1.一种减少来自电子组件制造处理中的废液废液的方法，包括：
在热减量工具中减少所述废液，以形成已减量的所述废液；
判断已减量的所述废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及
根据判断结果来改变所述热减量工具的一个或多个操作参数。
2.如权利要求1所述的方法，其中判断已减量的所述废液是否含有所述一种或多种目标化学物质的步骤还包括：判断所述一种或多种目标化学物质的浓度。
3.如权利要求第1项所述的方法，其中所述一个或多个操作参数包括下列至少一者：燃料流量、燃料成分、试剂流量、试剂成分、冷却剂流量、氧化剂流量以及减量反应温度。
4.如权利要求第1项所述的方法，其中所述目标化学物质包括下列一者或多者：有害化学物质、热减量性化学物质、燃料以及氧化剂。
5.一种减少来自电子组件制造处理中的废液的系统，包括：
热减量工具，用以减量所述废液并形成已减量的所述废液；
传感器，用以判断已减量的所述废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及
控制器，用以接收来自所述传感器的信号；
其中，所述信号指示已减量的所述废液是否含有所述一种或多种目标化学物质；以及
其中，所述控制器更用以依据所述信号来改变所述热减量工具的一个或多个操作参数。
6.如权利要求第5项所述的系统，其中所述传感器还用以判断所述一种或多种目标化学物质的浓度。
7.如权利要求第6项所述的系统，其中所述一个或多个操作参数包括下列至少一者：燃料流量、燃料成分、试剂流量、试剂成分、冷却剂流量、氧化剂流量和减量反应温度。
8.如权利要求第5项所述的系统，其中所述目标化学物质包括下列一者或多者：有害化学物质、热减量性化学物质、燃料以及氧化剂。
9.一种提高电子组件制造废液热减量工具的燃料效率的方法，包括：
以第一流率将燃料提供至所述热减量工具；
在所述热减量工具中减少所述废液，以形成已减量的所述废液；
判断已减量的所述废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及
根据判断结果，以第二流率将燃料提供至所述热减量工具。
10.如权利要求第9项所述的方法，其中所述判断结果是已减量的所述废液含有所述一种或多种目标化学物质，并且所述第二流率大于所述第一流率。
11.如权利要求第9项所述的方法，其中所述判断结果是已减量的所述废液不含所述一种或多种目标化学物质，并且所述第二流率小于所述第一流率。
12.如权利要求第9项所述的方法，其中所述判断步骤还包括：判断所述一种或多种目标化学物质的浓度。
13.如权利要求第12项所述的方法，其中所述判断结果是已减量的所述废液含有浓度高于临界浓度的所述一种或多种目标化学物质，并且所述第二流率大于所述第一流率。
14.如权利要求第12项所述的方法，其中所述判断结果是已减量的所述废液不含有浓度高于临界浓度的所述一种或多种目标化学物质，并且所述第二流率小于所述第一流率。
15.如权利要求第12项所述的方法，其中所述判断结果是已减量的所述废液含有浓度等于临界浓度的所述一种或多种目标化学物质，并且所述第二流率等于所述第一流率。
16.如权利要求第9项所述的方法，其中所述目标化学物质包括下列一者或多者：有害化学物质、热减量性化学物质、燃料以及氧化剂。
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