KR20100084475A

KR20100084475A - 진공 장치 및 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR20100084475A
Application number: KR1020100003281A
Authority: KR
Inventors: 유키 나베야마
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2009-01-16
Filing date: 2010-01-14
Publication date: 2010-07-26
Also published as: TWI499733B; CN101794709B; TW201040426A; KR101137138B1; JP5190387B2; CN101794709A; JP2010165920A

Abstract

본 발명은 보수 유지비의 증대를 억제하는 것이 가능한 진공 장치를 제공하기 위해, 피처리 기판 G를 진공 상태로 두는 것이 가능한, 기밀하게 구성된 용기 본체(50)와, 용기 본체(50)에 마련된, 피처리 기판 G를 출납하는 개구부(51)와, 개구부(51)를 개폐하는 밸브체(61)와, 개구부(51)를 둘러싸도록 프레임 형상으로 형성되어, 용기 본체측 표면(71a), 및 이 용기 본체측 표면(71a)과 마주 보는 밸브체측 표면(71b)의 쌍방에 프레임 형상 밀봉 부재(72a, 72b)를 구비한, 개구부(51)의 주위에 착탈가능하게 장착되는 밀봉판(70)을 구비한다.

Description

진공 장치 및 기판 처리 장치{VACUUM DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE}

본 발명은 진공 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것으로, 특히, 진공 장치의 내부를 기밀하게 밀봉(seal)하는 밀봉부에 관한 것이다.

액정 디스플레이(LCD)로 대표되는 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조 과정에서는, FPD용 기판에 에칭, 또는 성막 등의 소정의 처리를 실시한다. 이러한 처리를 실시하는 기판 처리 장치로서는, 복수의 처리실을 구비한 멀티 챔버 타입의 기판 처리 장치가 알려져 있다(예컨대, 특허 문헌 1).

멀티 챔버 타입의 기판 처리 장치는, FPD용 기판(피처리 기판)을 반송하는 반송 장치가 마련된 반송실을 갖고, 이 반송실의 주위에, 처리실이나, 미처리된 기판과 처리 완료된 기판을 교환하는 로드록실(기판 교환실) 등을 구비하고 있다. 이들 반송실, 처리실, 및 로드록실은 진공 장치이며, 이들 진공 장치는 배기 기구를 이용하여 배기함으로써 내부가 소정의 감압 상태로 된다.

진공 장치는 기밀하게 구성된 용기 본체를 구비하고, 이 용기 본체에는, 피처리 기판을 출납하기 위한 개구부가 마련되어 있다. 개구부는 게이트 밸브를 이용하여 개폐된다. 개구부가 게이트 밸브에 의해 닫히면, 용기 본체의 내부는 기밀하게 밀봉되어, 용기 본체의 내부의 압력을 소정의 압력까지 감압하거나, 대기 상태와 감압 상태의 상호간에서 변환하거나 하는 것이 가능하게 되어 있다. 게이트 밸브의 구조예는, 상기 특허 문헌 1에 기재되어 있다.

특허 문헌 1에도 기재되는 바와 같이, 게이트 밸브는 밸브체를 갖고, 밸브체가 용기 본체의 개구부 주위에 밀착됨으로써, 개구부 주위가 밀봉된다. 밀봉 부재로서는 O링이 이용된다. O링은 용기 본체의 개구부 주위에 형성된 O링 홈에 끼워넣어져 있다.

특허 문헌 1: 일본 특허 공개 평성5-196150호 공보

밸브체는 게이트 밸브를 개폐할 때마다 용기 본체의 개구부 주위에 접촉한다.

또한, 밸브체에는, 용기 본체의 내부의 압력을 대기 상태와 감압 상태의 상호간에서 변환할 때마다, 대기압에 의한 응력이 반복해서 걸리기 때문에, 다소의 변형을 반복한다. 이 때문에, 개구부 주위는, 대기 상태와 진공 상태를 반복할 때마다 밸브체와 스쳐서, 개구부 주위나 밸브체에 스크래치가 발생할 가능성이 있다.

스크래치가 개구부 주위에 발생해 버리면, 용기 본체 자체를 교환할 필요가 생긴다. 이 때문에, 진공 장치를 이용한 기판 처리 장치의 보수 유지비가 증대하기 쉽다고 하는 사정이 있다. 또한, 스크래치의 발생은 파티클의 발생의 요인으로도 될 수 있다.

본 발명은 보수 유지비의 증대를 억제하는 것이 가능한 진공 장치 및 그것을 이용한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제 1 형태에 따른 진공 장치는, 피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 기밀하게 구성된 용기 본체와, 상기 용기 본체에 마련된, 상기 피처리 기판을 출납하는 개구부와, 상기 개구부를 개폐하는 밸브체와, 상기 개구부를 둘러싸도록 프레임 형상으로 형성되어, 용기 본체측 표면, 및 상기 용기 본체측 표면과 마주 보는 밸브체측 표면의 쌍방에 프레임 형상 밀봉 부재를 구비한, 상기 개구부의 주위에 착탈가능하게 장착되는 밀봉판을 구비한다.

본 발명의 제 2 형태에 따른 기판 처리 장치는, 피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 상기 피처리 기판에 처리를 실시하는 처리실과, 상기 피처리 기판을 대기 상태 및 진공 상태의 쌍방에 두는 것이 가능한, 처리전 및 처리 완료된 피처리 기판을 교환하는 로드록실과, 상기 피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 상기 로드록실과 상기 처리실 사이에서 상기 피처리 기판을 반송하는 반송실을 구비한 기판 처리 장치로서, 상기 처리실, 상기 로드록실, 및 상기 반송실 중 적어도 어느 하나가, 상기 제 1 형태에 따른 진공 장치를 이용하여 구성되어 있다.

본 발명의 제 3 형태에 따른 진공 장치는, 피처리 기판을 진공 상태로 두기 위해서 기밀하게 구성된 용기 본체와, 상기 용기 본체에 마련된 상기 피처리 기판을 출납하는 개구부와, 상기 개구부를 개폐하는 밸브체와, 상기 개구부의 상기 밸브체측 표면에 구비된, 상기 개구부를 둘러싸도록 형성된 프레임 형상 밀봉 부재를 구비하고, 상기 용기 본체의 상기 밸브체측 표면 중, 상기 밸브체측 표면에 구비된 프레임 형상 밀봉 부재보다 안쪽의 표면이, 상기 프레임 형상 밀봉 부재보다 바깥쪽의 표면보다 낮게 되어 있다.

본 발명의 제 4 형태에 따른 진공 장치는, 피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 상기 피처리 기판에 처리를 실시하는 처리실과, 상기 피처리 기판을 대기 상태 및 진공 상태의 쌍방에 두는 것이 가능한, 처리전 및 처리 완료된 피처리 기판을 교환하는 로드록실과, 상기 피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 상기 로드록실과 상기 처리실 사이에서 상기 피처리 기판을 반송하는 반송실을 구비한 기판 처리 장치로서, 상기 처리실, 상기 로드록실, 및 상기 반송실 중 적어도 어느 하나가, 상기 제 3 형태에 따른 진공 장치에 기재된 진공 장치를 이용하여 구성되어 있다.

본 발명에 의하면, 보수 유지비의 증대를 억제하는 것이 가능한 진공 장치 및 그것을 이용한 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 진공 장치가 이용된 기판 처리 장치의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도,
도 2는 도 1 중의 2-2선을 따르는 개략적인 단면도,
도 3은 게이트 밸브가 열린 상태를 나타내는 단면도,
도 4는 밀봉판의 사시도,
도 5는 밀봉판을 분리시킨 상태를 나타내는 단면도,
도 6은 제 1 실시형태에 따른 진공 장치가 구비하는 밀봉판의 변형예를 나타내는 단면도,
도 7은 밸브체(61)의 형상 변형을 나타내는 도면,
도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 밀봉판의 일례를 나타내는 단면도,
도 9는 밸브체와 밀봉판의 접촉을 나타내는 도면,
도 10은 제 2 실시형태에 따른 밀봉판의 변형예를 나타내는 단면도,
도 11은 제 2 실시형태에 따른 밀봉판의 변형예를 나타내는 단면도,
도 12는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 진공 장치를 개략적으로 나타내는 단면도,
도 13은 피처리 기판을 복수매 동시에 수용가능한 진공 장치를 개략적으로 나타내는 단면도.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조해서 설명한다. 참조하는 도면 전체에 걸쳐서, 동일한 부분에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙인다.

본 설명에서는 피처리 기판의 일례로서 FPD용 기판을 들고, 이 FPD 기판에 대하여 소정의 처리, 예컨대, 에칭, 또는 성막 등을 실시하는 처리 장치를 예시하면서 설명한다.

(제 1 실시형태)

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 진공 장치가 이용된 처리 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 실시형태에 따른 처리 장치(1)는, 피처리 기판 G에 처리를 실시하는 처리실, 본 예에서는 복수의 처리실(10a, 10b)과, 처리전 및 처리 완료된 피처리 기판 G를 교환하는 로드록실(20)과, 로드록실(20)과 처리실(10a 또는 10b), 및 처리실(10a)과 처리실(10b) 사이에서 피처리 기판 G를 반송하는 반송실(30)과, 반송실(30)에 마련된, 피처리 기판 G를 반송하는 반송 장치(40)를 구비하고 있다.

본 예에서는, 처리실(10a, 10b), 로드록실(20), 및 반송실(30)은 진공 장치이며, 각각 피처리 기판 G를 소정의 감압 상태로 두는 것이 가능한, 기밀하게 구성된 용기 본체(50)를 구비하고 있다. 용기 본체(50)에는, 피처리 기판 G를 출납하는 개구부(51)가 마련되어 있다.

처리실(10a, 10b)의 용기 본체(50)에 마련된 개구부(51)는, 게이트 밸브실(60)을 통해서 반송실(30)의 용기 본체(50)에 마련된 개구부(51)에 접속된다. 마찬가지로, 로드록실(20)의 용기 본체(50)에 마련된 개구부(51)는, 게이트 밸브실(60)을 통해서 반송실(30)의 용기 본체(50)에 마련된 개구부(51)에 접속되어 있다. 게이트 밸브실(60)의 내부에는 게이트 밸브의 밸브체(61)가 수용되어 있고, 개구부(51)는 밸브체(61)에 의해 개폐된다. 본 예에서는, 밸브체(61)는 처리실(10a, 10b)의 용기 본체(50), 및 로드록실(20)의 용기 본체(50)에 밀착되도록 구성되어 있어, 밸브체(61)는 각각의 개구부(51)의 주위에 밀착함으로써, 용기 본체(50)를 기밀하게 밀봉한다.

또한, 로드록실(20)은, 대기측, 즉, 기판 처리 장치(1)의 외부에 개방되는 개구부(51)를 갖고 있다. 외부에 개방되는 개구부(51)는, 처리전의 피처리 기판 G의 외부로부터의 반입, 처리 완료된 피처리 기판 G의 외부로의 반출에 사용되고, 대기 상태 하에 개방된 밸브체(61)에 의해 개폐된다.

도 2는 도 1 중의 2-2선을 따르는 개략적인 단면도이다. 도 2에는, 로드록실(20)의 단면 및 반송실(30)의 부분 단면이 나타내어져 있다. 또한, 도 2는 게이트 밸브가 닫혀진 상태에서의 단면도이고, 도 3에 게이트 밸브가 열린 상태를 나타내는 단면을 나타낸다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 본 예에서의 밸브체(61)는, 로드록실(20)의 용기 본체(50)에 마련된 개구부(51)에 밀착된다. 도 2 및 도 3에서는, 편의상, 로드록실(20)의 용기 본체(50)에 마련된 대기측의 개구부(51)에 참조 부호 51a를 붙이고, 감압측(반송실(30)측)의 개구부(51)에 참조 부호 51b를 붙인다.

대기측의 개구부(51a)는 대기에 개방되지만, 감압측(반송실(30)측)의 개구부(51b)는 게이트 밸브실(60)에 연결된다. 게이트 밸브실(60)은, 로드록실(20)의 용기 본체(50)에, 프레임 형상의 밀봉 부재(62), 예컨대, O링을 통해서 접속되어 있어, 게이트 밸브실(60)은 로드록실(20)의 용기 본체(50)에 기밀하게 접속된다.

또한, 게이트 밸브실(60)은 반송실(30)의 용기 본체(50)에 마련된 개구부(51)에도 연결된다. 게이트 밸브실(60)은, 반송실(30)의 용기 본체(50)에, 프레임 형상의 밀봉 부재(63), 예컨대, O링을 통해서 접속된다. 이에 의해, 게이트 밸브실(60)은 반송실(30)의 용기 본체(50)에 기밀하게 접속된다.

또한, 제 1 실시형태에 있어서는, 용기 본체(50)의 개구부(51a 및 51b)를 둘러싸도록 프레임 형상으로 형성된 밀봉판(70)을, 개구부(51)의 주위에 구비하고 있다. 프레임 형상의 밀봉판(70)의 사시도를 도 4에 나타내어 놓는다.

밀봉판(70)은, 용기 본체측 표면(71a), 및 이 용기 본체측 표면(71a)과 마주보는 밸브체측 표면(71b)의 쌍방에 프레임 형상 밀봉 부재(72a, 72b)를 갖고 있다. 프레임 형상 밀봉 부재(72a, 72b)는, 용기 본체측 표면(71a) 및 밸브체측 표면(71b) 각각에 형성된 밀봉 부재용 홈(73a, 73b)의 내부에 끼워 넣어져 있다. 밀봉판(70)은 프레임 형상 밀봉 부재(72a)를 통해서 용기 본체(50)에 접속됨으로써 밀봉판(70)은 용기 본체(50)에 기밀하게 접속된다. 밸브체(61)는 용기 본체(50)에 접촉하지 않고, 밀봉판(70)의 밸브체측 표면(71b)에 접촉된다. 밸브체(61)는 프레임 형상 밀봉 부재(72b)를 통해서 밀봉판(70)에 밀착함으로써, 용기 본체(50)를 기밀하게 밀봉한다. 프레임 형상 밀봉 부재(72b)의 일례는, 바이톤(등록상표), 플로로플러스 등의 불소 고무 O링이다.

밀봉판(70)은 용기 본체(50)에 마련된 개구부(51)의 주위에 착탈가능하게 장착된다. 이 때문에, 예컨대, 도 5에 나타내는 바와 같이, 밀봉판(70)은 용기 본체(50)로부터 분리될 수 있다.

밀봉판(70)은 게이트 밸브를 개폐할 때마다 밸브체(61)에 접촉한다. 또한, 밸브체(61)는, 용기 본체(50)의 내부의 압력이 대기 상태로부터 감압 상태, 감압 상태로부터 대기 상태로 변환될 때마다 변형한다. 이 때문에, 밀봉판(70)은 밸브체(61)와 서로 스친다.

이와 같이 밀봉판(70)은 밸브체(61)와 접촉 및 서로 스치기 때문에, 스크래치가 발생할 가능성이 있다. 밀봉판(70)에 스크래치가 발생한 경우에는 교환해야 하지만, 밀봉판(70)은 용기 본체(50)로부터 분리될 수 있기 때문에, 교환이 용이하다.

게다가, 밸브체가 용기 본체에 직접에 접촉하는 방식의 경우에는, 개구부의 주위에 스크래치가 발생해 버린 경우에는 용기 본체마다 교환해야 한다.

이 점, 제 1 실시형태에 있어서는 밀봉판(70)만을 교환하면 되기 때문에, 용기 본체(50)는 교환할 필요가 없다. 용기 본체(50)는 비싸지만, 밀봉판(70)은 용기 본체(50)와 비교해서 현저히 저렴하다.

따라서, 제 1 실시형태에 의하면, 처리실, 로드록실, 및 반송실 등으로 대표되는 진공 장치의 보수 유지비의 증대를 억제하는 것이 가능하다. 또한, 보수 유지비의 증대를 억제하는 것이 가능한 진공 장치를 이용한 기판 처리 장치를 얻을 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에 있어서, 밀봉판(70)에 스크래치가 발생할 가능성이나, 스크래치의 발생에 따르는 파티클의 발생을 더욱 억제하고자 하는 경우에는, 다음과 같은 고안을 실시하면 좋다.

밀봉판(70)의 표면, 적어도 밸브체(61)나 용기 본체(50)와 마찰되는 밸브체측 표면(71b), 용기 본체측 표면(71a)에 경질 알루마이트를 씌우거나, 경질 알루마이트 상에 표면 처리, 예컨대, 불소 수지 함침 처리를 실시하거나 한다. 이에 의해, 밀봉판(70)의 표면을, 밀봉판(70)을 구성하는 재료, 예컨대, 알루미늄의 표면을 그대로 노출시켜 놓은 경우와 비교하여, 밀봉판(70)의 표면의 미끄러짐을 양호하게 할 수 있어, 밀봉판(70)에 스크래치가 발생할 가능성을 억제할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에 있어서, 밀봉판(70)에 의한 밀봉성을 향상시키고자 하는 경우에는, 다음과 같은 고안을 실시하면 좋다.

예컨대, 밀봉판(70)의 용기 본체측 표면(71a)에 구비된 밀봉 부재(72a)와, 밸브체측 표면(71b)에 구비된 밀봉 부재(72b)를, 밸브체(61)의 가압 방향 A와 평행하게 일직선 상에 배치한다. 구체적으로는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 프레임 형상 밀봉 부재(72a)의 중심(74a)과, 프레임 형상 밀봉 부재(72b)의 중심(74b)을 밸브체(61)의 가압 방향 A와 평행하게 일직선 상에 배치한다. 이에 의해, 프레임 형상 밀봉 부재(72a)와 프레임 형상 밀봉 부재(72b)를 서로 어긋나게 배치하는 경우와 비교하여, 밸브체(61)와 용기 본체(50) 사이에 밀봉판(70)을 보다 강하게 끼울 수 있어, 밀봉판(70)에 의한 밀봉성을 향상시킬 수 있다.

(제 2 실시형태)

제 2 실시형태는 밸브체(61)와 밀봉판(70)의 스침을 보다 저감하는 예에 관한 것이다.

밸브체(61)는, 용기 본체(50)의 내부가 감압 상태에 있을 때, 용기 본체(50)의 내부 압력과 외부 압력의 압력차를 받는다. 가장 현저한 경우는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(50)가 감압 상태에서, 밸브체(61)에 대기압이 걸려 있는 경우이다. 이러한 상황은 로드록실(20)의 대기측 개구부(51a)의 주위를 기밀하게 밀봉하는 밸브체에서 볼 수 있다.

밸브체(61)의 안쪽과 바깥쪽 사이에 큰 압력차가 있으면, 밸브체(61)는 변형한다. 예컨대, 밸브체(61)의 바깥쪽이 대기 상태이고, 안쪽이 감압 상태일 때에는, 밸브체(61)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 밀봉판(70)측을 향해서 오목하게 되도록 변형한다.

도 7에서는, 밸브체의 수직 단면에서의 변형을 나타내고 있지만, 로드록실(20)의 개구부(51a)는 수평 방향으로 넓은 개구이기 때문에, 밸브체의 변형도 수평 단면에서의 변형이 크다.

이러한 변형을 억제하기 위해서, 예컨대, 밸브체의 바깥쪽(대기측) 표면에 리브 등의 보강 부재를 장착하는 등의 고안을 행하지만, 완전히 변형을 억제하는 것은 불가능하다. 따라서, 밀봉판(70)의 밸브체측 표면(71b) 중, 밀봉 부재(72b)보다 안쪽 표면(도면 중 점선 원(75) 내에 나타냄)이 밸브체(61)와 강하게 스친다. 이 때문에, 점선 원(75)으로 나타내는 부분에 있어서 스크래치가 발생하기 쉽게 된다.

도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 밀봉판의 일례를 나타내는 단면도이다.

그래서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제 2 실시형태에 따른 밀봉판(70A)에서는, 밸브체측 표면(71b) 중, 이 밸브체측 표면(71b)에 구비된 밀봉 부재(72b)보다 안쪽의 표면이, 이 밀봉 부재(72b)보다 바깥쪽의 표면보다 낮게 한다. 이에 의해, 밸브체(61)가 밀봉판(70)측을 향해서 오목하게 되도록 변형했다고 하더라도, 밸브체측 표면(71b)의 밀봉 부재(72b)보다 안쪽의 표면은, 밸브체(61)와 접촉하지 않거나, 또는 거의 접촉하지 않는 구성으로 할 수 있다.

이와 같이 제 2 실시형태에 의하면, 밀봉 부재(72b)보다 안쪽의 표면이, 밸브체(61)와 접촉하지 않거나, 또는 거의 접촉하지 않는 구성으로 할 수 있기 때문에, 밸브체(61)와 밀봉판(70)의 스침을 보다 저감시킬 수 있다.

또한, 스침이 저감되는 결과, 스크래치가 발생하지 않거나, 또는 보다 발생하기 어렵게 할 수 있고, 스크래치의 발생에 따른 파티클의 발생도 억제할 수 있다. 파티클의 발생이 억제되면, 피처리 기판 G를 보다 청정한 환경 하에서 처리할 수 있기 때문에, 품질이 좋은 FPD 등의 생산에도 유리하다.

또한, 제 2 실시형태는, 상기 제 1 실시형태에서 설명한 고안, 즉, 밀봉판(70)의 표면, 적어도 밸브체(61)나 용기 본체(50)와 마찰되는 밸브체측 표면(71b), 용기 본체측(71a)에 경질 알루마이트를 씌우거나, 경질 알루마이트 상에 표면 처리를 하거나 하는 고안, 및 밀봉 부재(72a)와 밀봉 부재(72b)를 밸브체(61)의 가압 방향 A와 평행하게 일직선 상에 배치하는 고안과 조합해서 실시할 수 있다.

또한, 제 2 실시형태의 구성, 즉, 밀봉 부재(72b)보다 안쪽의 표면을, 밀봉 부재(72b)보다 바깥쪽의 표면보다 낮게 하는 구성은, 용기 본체(50)의 개구부(51)의 주위에 밀봉 부재용 홈을 마련한 진공 장치에도 적용할 수 있다.

또한, 제 2 실시형태에 있어서, 파티클의 발생을 보다 억제하고자 하는 경우에는, 다음과 같은 고안을 하면 좋다.

밸브체(61)는, 밀봉판(70)에 밀착해 있을 때, 밀봉판(70)의 밸브체측 표면(71b)에 접촉한다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 가령, 제 2 실시형태에 따른 밀봉판(70)의 경우이더라도, 밀봉판(70)의 밸브체측 표면(71b) 중, 밀봉 부재(72b)보다 바깥쪽 표면(도면 중 점선 원(76) 내에 나타냄)이 밸브체(61)와 접촉한다. 밸브체(61), 및 밀봉판(70)의 쌍방이 금속인 경우에는, 접촉에 의해 스크래치가 나서, 파티클이 발생할 가능성이 있다.

그래서, 도 10에 나타내는 바와 같이, 밸브체측 표면(71b) 중, 밀봉 부재(72b)보다 바깥쪽의 표면 상에 내마모성 부재(77)를 마련한다. 내마모성 부재(77)의 일례는 수지재이다. 수지재의 예로서는, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)이나 폴리아세탈(POM) 등을 들 수 있다.

이와 같이, 밸브체(61)가 밀봉판(70)과 밀착했을 때, 밸브체(61)와 밀봉판(70)이 접촉하는 면, 본 예에서는, 밸브체측 표면(71b) 중, 밀봉 부재(72b)보다 바깥쪽의 표면 상에 내마모성 부재(77)를 마련함으로써, 밸브체(61), 및 밀봉판(70)의 쌍방이 금속인 경우에도 금속끼리의 접촉을 방지할 수 있어, 파티클의 발생을 보다 억제할 수 있다. ·

또한, 밸브체(61)와 내마모성 부재(77)의 접촉 면적을 보다 작게 하고자 하는 경우에는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 밸브체측 표면(71b)에 구비된 밀봉 부재(72b)의 선직경 db를, 용기 본체측 표면(71a)에 구비된 밀봉 부재(72a)의 선직경 da보다 크게 하면 좋다.

이와 같이, 밀봉 부재(72b)의 선직경 db를, 밀봉 부재(72a)의 선직경 da보다 크게 함으로써, 밸브체측 표면(71b) 중, 밀봉 부재(72b)보다 바깥쪽의 표면의 면적을 작게 할 수 있어, 내마모성 부재(77)의 면적을 작게 할 수 있다. 내마모성 부재(77)의 면적이 작아짐으로써, 밸브체(61)와 내마모성 부재(77)의 접촉 면적을 보다 작게 할 수 있다. 밸브체(61)와 내마모성 부재(77)의 접촉 면적이 작아지면, 예컨대, 밸브체(61)에 스크래치가 나는 것에 의해 발생하는, 밸브체(61) 자체에 기인한 파티클의 발생을 보다 억제하는 것이 가능해진다.

또한, 밀봉 부재(72b)의 선직경 db를 밀봉 부재(72a)의 선직경 da보다 크게 한 경우에 있어서도, 밀봉 부재(72b)의 중심(74b)과, 밀봉 부재(72a)의 중심(74a)을 밸브체(61)의 가압 방향 A와 평행하게 일직선 상에 배치하는 것이 좋다. 이와 같이 함으로써, 밀봉판(70)에 의한 밀봉성을 향상시킬 수 있다.

(제 3 실시형태)

제 3 실시형태는 진공 장치를 소형화하는 예에 관한 것이다.

제 1, 제 2 실시형태에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시형태에서는, 밀봉판(70, 70A)을 새롭게 마련한다. 이 때문에, 밀봉판(70, 70A)만큼 진공 장치가 커져 버린다.

도 12는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 진공 장치의 일례를 나타내는 단면도이다.

그래서, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제 3 실시형태에 있어서는, 용기 본체(50)의 개구부(51)의 주위에 밀봉판(70)(또는 70A)을 매설하는 매설부(80)를 마련하도록 하였다.

이와 같이 제 3 실시형태에 의하면, 밀봉판(70)(또는 70A)을, 개구부(51)의 주위에 마련된 매설부(80)에 매설하도록 했기 때문에, 밀봉 부재(70)(또는 70A)가 용기 본체(50)로부터 돌출하지 않거나, 또는 돌출량을 줄일 수 있어, 밀봉판(70)(또는 70A)을 구비한 진공 장치의 소형화를 촉진할 수 있다.

또한, 제 3 실시형태는 상기 제 1 실시형태에서 설명한 고안이나, 제 2 실시형태, 또는 제 2 실시형태에서 설명한 고안과 조합해서 실시할 수 있다.

또한, 도 12에서는, 매설부(80)를 대기측의 개구부(51a)의 주위에 마련하는 예를 나타내고 있지만, 반대로 감압측(반송실(30)측)의 개구부(51b)의 주위에 마련하도록 해도 좋고, 개구부(51a, 및 51b)의 쌍방에 마련하도록 해도 좋다.

이상, 본 발명을 제 1 내지 제 3 실시형태에 따라서 설명했지만, 본 발명은 상기 제 1 내지 제 3 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지의 변형이 가능하다.

예컨대, 제 1 내지 제 3 실시형태에서는, 용기 본체 내에, 피처리 기판을 1장 수용하는 진공 장치를 예시했지만, 예컨대, 도 13에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(50)가 피처리 기판 G를 복수매 동시에 수용가능한 진공 장치에도 적용할 수 있다.

게다가, 피처리 기판을 복수매 동시에 수용가능한 용기 본체는, 피처리 기판을 1장 수용하는 용기 본체와 비교해서 대형으로 되는 것이 통상이며, 가격도 높다. 이 때문에, 본 발명은, 피처리 기판을 복수매 동시에 수용가능한 용기 본체는 진공 장치에 있어서 보다 유효하게 적용할 수 있다.

또한, 상기 제 1 내지 제 3 실시형태에서는, 피처리 기판으로서 FPD용 기판을 나타내었지만, 피처리 기판은 FPD용 기판에 한정되지 않고, 태양 전지용 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 다른 기판이어도 좋다.

1: 기판 처리 장치, 10a, 10b: 처리부, 20: 로드록실, 30: 반송실, 50: 용기 본체, 51: 개구부, 60: 게이트 밸브실, 61: 밸브체, 70: 밀봉판, 71a: 용기측 표면, 71b: 밸브체측 표면, 72a, 72b: 프레임 형상 밀봉 부재, 80: 매설부

Claims

피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 기밀하게 구성된 용기 본체와,
상기 용기 본체에 마련된, 상기 피처리 기판을 출납하는 개구부와,
상기 개구부를 개폐하는 밸브체와,
상기 개구부를 둘러싸도록 프레임 형상으로 형성되어, 용기 본체측 표면, 및 이 용기 본체측 표면과 마주 보는 밸브체측 표면의 쌍방에 프레임 형상 밀봉(seal) 부재를 구비한, 상기 개구부의 주위에 착탈가능하게 장착되는 밀봉판
을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 밀봉판의 상기 용기 본체측 표면에 구비된 프레임 형상 밀봉 부재의 중심과, 상기 밸브체측 표면에 구비된 프레임 형상 밀봉 부재의 중심이, 상기 밸브체의 가압 방향과 평행하게 일직선 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 밸브체측 표면 중, 상기 밸브체측 표면에 구비된 프레임 형상 밀봉 부재보다 안쪽의 표면이, 상기 프레임 형상 밀봉 부재보다 바깥쪽의 표면보다 낮게 되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 밸브체측 표면 중, 상기 밸브체측 표면에 구비된 프레임 형상 밀봉 부재보다 바깥쪽의 표면 상에 내마모성 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 밸브체측 표면에 구비된 프레임 형상 밀봉 부재의 폭이, 상기 용기 본체측 표면에 구비된 프레임 형상 밀봉 부재의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 진공 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 용기 본체의 개구부 주위에, 상기 밀봉판이 매설되는 매설부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 용기 본체는, 상기 피처리 기판을 복수매 동시에 수용가능한 것을 특징으로 하는 진공 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 밸브체의 상기 밀봉판측 표면과 반대의 표면에는, 밸브체의 변형을 억제하기 위한 보강 부재가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 상기 피처리 기판에 처리를 실시하는 처리실과,
상기 피처리 기판을 대기 상태 및 진공 상태의 쌍방에 두는 것이 가능한, 처리전 및 처리 완료된 피처리 기판을 교환하는 로드록실과,
상기 피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 상기 로드록실과 상기 처리실 사이에서 상기 피처리 기판을 반송하는 반송실
을 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 처리실, 상기 로드록실, 및 상기 반송실 중 적어도 어느 하나는, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 진공 장치를 이용하여 구성되어 있는 것
을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
피처리 기판을 진공 상태로 두기 위해서 기밀하게 구성된 용기 본체와,
상기 용기 본체에 마련된 상기 피처리 기판을 출납하는 개구부와,
상기 개구부를 개폐하는 밸브체와,
상기 개구부의 상기 밸브체측 표면에 구비된, 상기 개구부를 둘러싸도록 형성된 프레임 형상 밀봉 부재
를 구비하고,
상기 용기 본체의 상기 밸브체측 표면 중, 상기 밸브체측 표면에 구비된 프레임 형상 밀봉 부재보다 안쪽의 표면이, 상기 프레임 형상 밀봉 부재보다 바깥쪽의 표면보다 낮게 되어 있는 것
을 특징으로 하는 진공 장치.
피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 상기 피처리 기판에 처리를 실시하는 처리실과,
상기 피처리 기판을 대기 상태 및 진공 상태의 쌍방에 두는 것이 가능한, 처리전 및 처리 완료된 피처리 기판을 교환하는 로드록실과,
상기 피처리 기판을 진공 상태로 두는 것이 가능한, 상기 로드록실과 상기 처리실 사이에서 상기 피처리 기판을 반송하는 반송실
을 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 처리실, 상기 로드록실, 및 상기 반송실 중 적어도 어느 하나는, 청구항 10에 기재된 진공 장치를 이용하여 구성되어 있는 것
을 특징으로 하는 기판 처리 장치.