KR102179394B1 - 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어, 진공 프로세싱 시스템, 및 도어를 동작시키기 위한 방법 - Google Patents

진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어, 진공 프로세싱 시스템, 및 도어를 동작시키기 위한 방법 Download PDF

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Abstract

진공 프로세싱 시스템(200)에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어(100)가 제공된다. 도어(100)는 이동가능 부재(110); 및 개방 포지션으로부터 폐쇄 포지션으로 이동가능하도록 구성된 가요성 폐쇄부(120)를 포함하며, 여기서, 가요성 폐쇄부(120)는 폐쇄 포지션에서 진공-밀폐 밀봉을 제공하도록 구성된다.

Description

진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어, 진공 프로세싱 시스템, 및 도어를 동작시키기 위한 방법
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어들, 진공 프로세싱 시스템들, 및 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어를 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다. 본 개시내용의 실시예들은 특히, 가요성 폐쇄부를 갖는 도어, 그러한 도어를 갖는 진공 프로세싱 시스템들, 및 그러한 도어를 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다.
[0002] 전형적으로, 진공 프로세싱 챔버는 밀봉가능 개구를 통해 이송 챔버 또는 다른 프로세싱 챔버와 연통하며, 그 밀봉가능 개구는 수평-배향된 또는 수직-배향된 기판들의 삽입 및 제거를 수용하기 위해 넓고 비교적 짧다. 일반적으로, 그러한 개구를 밀봉하기 위해 슬릿 밸브가 사용된다. 예컨대, 슬릿 밸브의 밀봉 폐쇄부는 개구를 밀봉하기 위해 연장될 수 있고, 개구를 통한 기판들의 통과를 가능하게 하기 위해 리트랙트(retract)될 수 있다. (1) 러빙 마찰(rubbing friction)을 통한 입자 생성, 및 (2) 탄성 밀봉 엘리먼트들의 불균등한 압축의 문제들을 방지하는 슬릿 밸브 설계들이 바람직하다.
[0003] 특정한 타입들의 기판 프로세싱 동작들 동안에, 진공 프로세싱 챔버와 이송 챔버 사이, 또는 진공 프로세싱 챔버와 다른 프로세싱 챔버 사이에 압력차가 존재할 수 있고, 그에 따라, 이송 챔버 또는 다른 프로세싱 챔버 내의 높은 압력이 슬릿 밸브의 밀봉 폐쇄부에 압력을 가한다. 진공 프로세싱 챔버는 또한, 압력차로 인한 변형들을 겪을 수 있다. 즉, 그와 같은 압력 챔버는 변형을 겪을 수 있고, 이는 밀봉될 개구의 형상의 변경을 초래할 수 있다. 따라서, 슬릿 밸브는 응력들 및 피로를 받을 수 있고, 응력들 및 피로의 양들은 압력차에 따라 증가된다. 큰 기판들, 이를테면 플랫 클로저 디스플레이(flat closure display)들을 위해 채용되는 큰 기판들이 수반되는 경우에, 압력차 영향들은 한층 더 악화될 수 있다(예컨대, 이는 더 큰 기판에는 더 큰 개구, 및 그러한 개구를 밀봉하기 위한 더 큰 밀봉 폐쇄부가 제공될 수 있기 때문임). 전형적으로, 종래의 슬릿 밸브들은 개방 및 폐쇄 동작들 동안에 입자들을 생성하거나 또는 큰 압력차들을 수용하도록 설계되지 않는다.
[0004] 상기된 바를 고려하면, 본 기술분야의 문제들 중 적어도 일부를 극복하는, 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어, 진공 프로세싱 시스템, 및 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어를 동작시키기 위한 방법을 제공하는 것이 유익하다.
[0005] 상기된 바를 고려하면, 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어, 진공 프로세싱 시스템, 및 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어를 동작시키기 위한 방법이 제공된다. 본 개시내용의 추가적인 양상들, 이익들, 및 특징들은 청구항들, 상세한 설명, 및 첨부 도면들로부터 분명하다.
[0006] 본 개시내용의 일 양상에 따르면, 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어가 제공된다. 도어는 이동가능 부재; 및 이동가능 부재에 부착되고, 개방 포지션으로부터 폐쇄 포지션으로 이동가능하도록 구성된 가요성 폐쇄부를 포함하며, 여기서, 폐쇄부는 폐쇄 포지션에서 진공-밀폐 밀봉을 제공하도록 구성된다.
[0007] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 진공 프로세싱 시스템이 제공된다. 진공 프로세싱 시스템은 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어를 포함한다. 도어는 이동가능 부재; 및 이동가능 부재에 부착되고, 개방 포지션으로부터 폐쇄 포지션으로 이동가능하도록 구성된 가요성 폐쇄부를 포함하며, 여기서, 폐쇄부는 폐쇄 포지션에서 진공-밀폐 밀봉을 제공하도록 구성된다. 진공 프로세싱 시스템은 진공 챔버를 더 포함하며, 여기서, 도어는 진공 챔버로의 접근(access)을 제공하도록 구성된다.
[0008] 본 개시내용의 더 추가적인 양상에 따르면, 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어를 동작시키기 위한 방법이 제공된다. 방법은 도어를 통해 기판을 진공 챔버 내로/로부터 로딩 및/또는 언로딩하는 단계를 포함한다.
[0011] 본 개시내용의 추가적인 양상들, 이점들, 및 특징들은 종속 청구항들, 상세한 설명, 및 첨부 도면들로부터 분명하다.
[0012] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들과 관련되고, 아래에서 설명된다. 전형적인 실시예들이 도면들에서 도시되고, 다음의 설명에서 상세히 설명된다.
[0013] 도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 프로세싱 챔버의 개략도를 도시한다.
[0014] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 프로세싱 시스템의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0015] 도 3은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 프로세싱 시스템의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0016] 도 4는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 도어의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0017] 도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 도어의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0018] 도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 도어의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0019] 도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 도어를 동작시키기 위한 방법의 흐름도를 도시한다.
[0020] 이제, 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세히 참조될 것이고, 그 다양한 실시예들의 하나 또는 그 초과의 예들이 도면들에 예시된다. 도면들의 아래의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로서 제공되고, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 추가로, 일 실시예의 부분으로서 예시 또는 설명되는 특징들은 더 추가적인 실시예를 생성하기 위해 다른 실시예들과 함께 또는 다른 실시예들에 대해 사용될 수 있다. 본 설명이 그러한 변형들 및 변화들을 포함하는 것으로 의도된다.
[0021] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 진공 프로세싱 시스템에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어 또는 슬릿 밸브가 제공된다. 도어는 이동가능 부재 및 가요성 폐쇄부를 포함할 수 있다. 가요성 폐쇄부는 이동가능 부재에 부착될 수 있다. 가요성 폐쇄부는 개방 포지션으로부터 폐쇄 포지션으로 이동가능하도록 구성될 수 있다. 가요성 폐쇄부는 폐쇄 포지션에서 진공-밀폐 밀봉을 제공하도록 구성될 수 있다. 구체적으로, 가요성 폐쇄부는 가요성 패널일 수 있다. 추가로, 가요성 폐쇄부는 가요성 밀봉부라고 지칭될 수 있다.
[0022] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어는 개방 포지션에서, 기판이 도어를 통해 통과될 수 있게 하도록 구성될 수 있다. 특히, 도어는 개방 포지션에서, 대면적 기판이 도어를 통해 통과될 수 있게 하도록 구성될 수 있다.
[0023] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 대면적 기판은 적어도 0.174 m2의 사이즈를 가질 수 있다. 사이즈는 약 1.375 m2 내지 약 10 m2, 더 전형적으로는 약 2 m2 내지 약 11 m2, 또는 심지어 최대 12 m2일 수 있다. 전형적으로, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 도어들, 진공 프로세싱 챔버들, 시스템들, 및 방법들이 제공되는 기판들은 본원에서 설명되는 바와 같은 대면적 기판들이다. 예컨대, 대면적 기판은, 약 1.4 m2 기판들(1.1 m x 1.3 m)에 대응하는 GEN 5, 약 4.39 m2 기판들(1.95 m x 2.25 m)에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.5 m2 기판들(2.2 m x 2.5 m)에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어, 약 8.7 m2 기판들(2.85 m x 3.05 m)에 대응하는 GEN 10일 수 있다. GEN 11 및 GEN 12와 같은 한층 더 큰 세대들 및 대응하는 기판 면적들이 유사하게 구현될 수 있다. 그러나, 홀더들이 임의의 기판 사이즈, 즉 위에서 약술된 기판 사이즈보다 한층 더 작거나 또는 더 큰 기판 사이즈를 위해 사용될 수 있다는 것을 당업자는 이해할 수 있다.
[0024] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어는 폭 및 높이를 갖는 개구를 밀봉하도록 구성될 수 있다. 폭은 0.2 m와 동일하거나 또는 그 초과, 특히 0.5 m와 동일하거나 또는 그 초과, 그리고/또는 1 m와 동일하거나 또는 그 미만, 특히 0.8 m와 동일하거나 또는 그 미만일 수 있다. 높이는 20 cm와 동일하거나 또는 그 초과, 특히 30 cm와 동일하거나 또는 그 초과, 그리고/또는 500 cm와 동일하거나 또는 그 미만, 특히 100 cm와 동일하거나 또는 그 미만일 수 있다.
[0025] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어는 기판이 수직 배향 또는 실질적인 수직 배향으로 도어를 통해 통과될 수 있게 하도록 구성될 수 있다. 대안적으로, 도어는 기판이 수평 배향 또는 실질적인 수평 배향으로 도어를 통해 통과될 수 있게 하도록 구성될 수 있다.
[0026] "수직 방향" 또는 "수직 배향"이라는 용어는 "수평 방향" 또는 "수평 배향"과 구별하기 위한 것으로 이해될 수 있다. 즉, "수직 방향" 또는 "수직 배향"은, 예컨대 기판의 실질적인 수직 배향에 관련될 수 있고, 여기서, 정확한 수직 방향 또는 수직 배향으로부터의 수 도, 예컨대 최대 +/-10° 또는 심지어 최대 +/-15°의 편차가 여전히 "실질적인 수직 방향" 또는 "실질적인 수직 배향"으로서 고려될 수 있다. 수직 방향은 중력에 실질적으로 평행할 수 있다.
[0027] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 실질적인 수직은, 특히 기판 배향을 나타내는 경우에, 수직 방향으로부터의 +/-20° 또는 그 미만, 예컨대 +/-10° 또는 그 미만의 편차를 허용하는 것으로 이해될 수 있다. 이러한 편차는, 예컨대, 수직 배향으로부터 약간의 편차를 갖는 기판 지지부가 더 안정적인 기판 포지션을 발생시킬 수 있기 때문에 제공될 수 있다. 그럼에도, 예컨대 증착 동안의 기판 배향은 실질적으로 수직인 것으로 고려될 수 있는데, 이는 수평 기판 배향과 상이한 것으로 고려될 수 있다.
[0028] "수평 방향" 또는 "수평 배향"이라는 용어는 "수직 방향" 또는 "수직 배향"과 구별하기 위한 것으로 이해될 수 있다. 즉, "수평 방향" 또는 "수평 배향"은, 예컨대 기판의 실질적인 수평 배향에 관련될 수 있고, 여기서, 정확한 수평 방향 또는 수평 배향으로부터의 수 도, 예컨대 최대 +/-10° 또는 심지어 최대 +/-15°의 편차가 여전히 "실질적인 수평 방향" 또는 "실질적인 수평 배향"으로서 고려될 수 있다. 수평 방향은 중력과 실질적으로 직각을 이룰 수 있다(perpendicular).
[0029] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, “실질적인 수평”은, 특히 기판 배향을 나타내는 경우에, 수평 방향으로부터의 +/-20° 또는 그 미만, 예컨대 +/-10° 또는 그 미만의 편차를 허용하는 것으로 이해될 수 있다. 이러한 편차는, 예컨대, 수평 배향으로부터 약간의 편차를 갖는 기판 지지부가 더 안정적인 기판 포지션을 발생시킬 수 있기 때문에 제공될 수 있다. 그럼에도, 예컨대 증착 동안의 기판 배향은 실질적으로 수평인 것으로 고려될 수 있는데, 이는 수직 기판 배향과 상이한 것으로 고려될 수 있다.
[0030] “실질적으로 직각을 이루는”이라는 용어는, 특히 중력에 관련해, 예컨대 수평 배향 및 수직 배향의 실질적으로 직각을 이루는 배향에 관련될 수 있고, 여기서, 정확한 직각을 이루는 배향으로부터의 수 도, 예컨대 최대 +/-10° 또는 심지어 최대 +/-15°의 편차가 여전히 “실질적으로 직각을 이루는” 것으로 고려될 수 있다.
[0031] 전형적으로, 기판은 재료 증착에 적합한 임의의 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 기판은, 유리(예컨대, 소다-석회 유리, 붕규산염 유리 등), 금속, 폴리머, 세라믹, 화합물 재료들, 탄소 섬유 재료들, 또는 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 조합으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 재료로 제조될 수 있다.
[0032] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 진공 프로세싱 챔버가 제공될 수 있다. 진공 프로세싱 챔버는 기판을 프로세싱하기 위해 진공 프로세싱 시스템에 포함될 수 있다. 프로세싱 시스템은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 진공 프로세싱 챔버를 포함할 수 있다. 프로세싱 시스템은 진공 프로세싱 챔버에서 하나 또는 그 초과의 층들, 예컨대 금속 층들, 유전체 층들, 및/또는 반도체 층들로 기판을 코팅하도록 구성될 수 있다. 구체적으로, “프로세싱”은, 예컨대 PVD 프로세스들, 이를테면 스퍼터링 또는 CVD 프로세스들에 의해 기판 상에 막을 증착하는 것, 진공 프로세싱 챔버를 통해 기판을 운송하는 것, 하나의 진공 프로세싱 챔버로부터 이송 챔버 또는 다른 진공 프로세싱 챔버로 기판을 이송하는 것 등으로 이해될 수 있거나 또는 이들을 포함할 수 있다.
[0033] 본원에서 언급되는 바와 같이, 기판들은 프로세스, 이를테면 증착 프로세스를 수행하기 위해 진공 프로세싱 시스템을 통해 또는 진공 프로세싱 시스템에서 운송될 수 있다. 예컨대, 증착 프로세스는 정적 PVD 스퍼터 프로세스일 수 있다. 실시예들에 따르면, 진공 프로세싱 시스템은 PVD 증착 프로세스를 위해 구성될 수 있다. 여러 프로세스들에 대해, 진공 프로세싱 챔버는, 제1 압력 측, 예컨대 진공 프로세싱 챔버 내부의 내부 압력 측과 제2 압력 측, 예컨대 진공 프로세싱 챔버 외부의 외부 압력 측 사이의 압력차 또는 차압을 겪을 수 있다. 예컨대, 제1 압력 측은 제2 압력 측의 압력, 예컨대 외부 압력보다 더 작거나 또는 훨씬 더 작은 압력, 예컨대 내부 압력을 가질 수 있다. 따라서, 진공 프로세싱 챔버는 차압으로부터 기인하는 변형을 겪을 수 있다. 변형은 진공 프로세싱 챔버의 파트들의 상대적인 이동, 또는 진공 프로세싱 챔버에 대한, 진공 프로세싱 챔버에 연결된 파트들의 상대적인 이동을 초래할 수 있다. 이동은 차례로, 이동 파트들 사이의 계면에서의 입자들의 마모(abrasion)를 초래할 수 있고, 그에 따라, 진공 프로세싱 챔버의 오염을 초래할 수 있다.
[0034] 도 1은, 제1 압력 측, 예컨대 진공 프로세싱 챔버(210) 내부의 내부 압력 측과 제2 압력 측, 예컨대 진공 프로세싱 챔버(210) 외부의 외부 압력 측 사이의 압력차 또는 차압에 의해 유발되는 변형을 겪는 진공 프로세싱 챔버(210)를 도시한다. 예컨대, 제1 압력 측은 진공 압력 레벨의 압력, 예컨대 내부 압력을 가질 수 있는 한편, 제2 압력 측은 대기압 레벨의 압력, 예컨대 외부 압력을 가질 수 있다. 진공 압력 레벨은 10 mbar 또는 그 미만, 특히 1 mbar 또는 그 미만, 또는 심지어 1x10-4 및 1x10-2 mbar 또는 그 미만의 압력 레벨에 대응할 수 있다. 대기압 레벨은 1 bar의 압력 레벨에 대응할 수 있다. 일반적으로, 차압들이 더 높은 경우에, 이는 더 큰 변형들을 초래할 수 있다.
[0035] 도 1에 도시된 바와 같이, 변형들은 진공 프로세싱 챔버(210)의 인클로저(212), 이를테면, 진공 프로세싱 챔버(210)의 외부로부터 진공 프로세싱 챔버(210)의 내부를 한정하는, 진공 프로세싱 챔버(210)의 벽들에서 특히 클 수 있다. 도 1에서, 차압으로부터 기인하고 진공 프로세싱 챔버(210) 상에 작용하는 힘이 화살표들에 의해 예시된다. 특히, 힘은 진공 프로세싱 챔버(210)의 외부로부터 진공 프로세싱 챔버(210)의 내부로 작용할 수 있다. 결과적인 변형들은 얇은 검은색 선들로 도시된 변형된 직사각형에 의해 도 1에 예시된다. 특히, 진공 프로세싱 챔버(210), 구체적으로는 진공 프로세싱 챔버(210)의 인클로저(212)는, 진공 프로세싱 챔버(210)가 진공배기되는 경우에, 도 1에서 두꺼운 회색 선들로 도시된 정상 상태로부터 도 1에서 얇은 검은색 선들로 도시된 진공 상태로 변형될 수 있다.
[0036] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 증착 동안에, 진공 프로세싱 챔버(210)는 폐쇄 포지션에 있는 도어(100)에 의해 진공-밀폐 인클로저를 형성할 수 있는데, 즉, 10 mbar 또는 그 미만, 특히 1 mbar 또는 그 미만, 또는 심지어 1x10-4 내지 1x10-2 mbar 또는 그 미만의 압력까지의 진공 압력 레벨을 갖는 진공으로 진공배기될 수 있다. 10-3-mbar 범위에서 실시될 수 있는 PVD 프로세스들, 이를테면 스퍼터링, 및 mbar-범위에서 전형적으로 실시되는 CVD 프로세스들에 대해, 상이한 압력 범위들이 특별히 고려될 것이다. 추가로, 진공 챔버들은 1x10-6 mbar 또는 그 미만의 압력을 갖는 배경 진공(background vacuum)으로 진공배기될 수 있다. 배경 압력은 어떠한 매체들의 어떠한 유입도 없이 챔버의 진공배기에 의해 도달되는 압력으로서 이해될 수 있다.
[0037] 도 2는 도어(100)를 도시한다. 도어(100)는 진공 프로세싱 챔버(210) 내의 개구를 밀봉하도록 구성될 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어(100)는 이동가능 부재(110) 및 가요성 폐쇄부(120)를 포함할 수 있다. 가요성 폐쇄부(120)는 이동가능 부재(110)에 부착될 수 있다. 예컨대, 가요성 폐쇄부(120)는 픽스처(fixture)(115)에 의해 이동가능 부재(110)에 고정될 수 있다. 가요성 폐쇄부(120)는 개방 포지션으로부터 폐쇄 포지션으로 이동가능하도록 구성될 수 있다. 가요성 폐쇄부(120)는 폐쇄 포지션에서 진공-밀폐 밀봉을 제공하도록 구성될 수 있다. 구체적으로, 가요성 폐쇄부(120)는 가요성 패널일 수 있다.
[0038] 추가로, 가요성 폐쇄부는 가요성 밀봉부라고 지칭될 수 있다. 게다가, 도면들에서 이동가능 부재(110)로서 이동가능 암(110)이 도시될 수 있지만, 이동가능 부재(110)는 또한, 다른 종류의 링크 또는 고정 엘리먼트 또는 조인트로서 제공될 수 있다. 특히, 이동가능 암(110)은 특정 타입의 링크, 고정 엘리먼트, 또는 조인트로서 고려될 수 있으며, 본 개시내용은 또한, 이동가능 부재(110)가 임의의 종류의 형상의 링크, 픽스처, 또는 조인트인 실시예들을 포함할 수 있다. 실시예들에 따르면, 이동가능 부재(110)는 이동가능 암(110)이다. 구체적으로, 이동가능 암(110)은, 예컨대, 이동가능 암(110)의 다른 치수 측정치(dimensional measurement)들보다 더 큰 하나의 치수 측정치를 가짐으로써 암-형 형상을 가질 수 있다. 더 큰 하나의 치수 측정치는 힌지(130)로부터 가요성 폐쇄부(120)로 연장되는 이동가능 암(110)의 치수 측정치일 수 있다. 더욱이, 가요성 폐쇄부의 이동은 임의의 종류의 이동, 이를테면 회전형, 만곡형, 선형, 및 이들의 조합들일 수 있다.
[0039] 특히, 도 2는 2개의 진공 프로세싱 챔버들(210) 사이에 배열될 도어(100)를 도시한다. 이 어레인지먼트에서, 도어(100)는 하나의 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 다른 진공 프로세싱 챔버(210)로의 기판의 이송을 가능하게 하도록 구성될 수 있다. 대안적으로, 도어(100)는 또한, 하나의 진공 프로세싱 챔버(210)에 배열될 수 있다. 도어(100)는 개방 포지션에서 기판이 도어(100)를 통해 통과될 수 있게 하도록 구성될 수 있다. 구체적으로, 도어(100)는 로딩 동작 및/또는 언로딩 동작을 가능하게 하도록 구성될 수 있으며, 그 로딩 동작 및/또는 언로딩 동작에서, 각각, 기판이 진공 프로세싱 챔버(210)에 로딩되고, 그리고/또는 기판이 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 언로딩된다.
[0040] 도 2에 도시된 바와 같이, 도어(100)는 도어 하우징(150)에 제공될 수 있다. 도어 하우징(150)은 진공 프로세싱 챔버(210)에 부착될 수 있다. 추가로, 도어 하우징(150)은 2개의 진공 프로세싱 챔버들(210) 사이에 연통하는 방식으로 제공될 수 있다. 즉, 도어 하우징(150)은 진공 프로세싱 챔버(210)와 다른 진공 프로세싱 챔버(210) 사이, 또는 진공 프로세싱 챔버(210)와 이송 챔버 사이에 제공될 수 있고, 그에 따라, 도어 하우징(150)은 진공 프로세싱 챔버(210)와 다른 진공 프로세싱 챔버(210) 사이, 또는 진공 프로세싱 챔버(210)와 이송 챔버 사이의 연통을 가능하게 한다. 예컨대, 기판은 도어 하우징(150)을 통해, 진공 프로세싱 챔버(210)와 다른 진공 프로세싱 챔버(210) 사이, 또는 진공 프로세싱 챔버(210)와 이송 챔버 사이에 이송될 수 있다.
[0041] 그러나, 또한, 도어 하우징(150)이 도어(100)에 제공되지 않을 수 있다. 예컨대, 도어 하우징(150)의 파트들은 진공 프로세싱 챔버(210)의 일체형 파트들 또는 진공 프로세싱 챔버에 연결된 다른 부재의 일체형 파트들일 수 있다. 예컨대, 진공 프로세싱 챔버(210)는 다른 진공 프로세싱 챔버(210) 또는 이송 챔버와의 연통을 제공하기 위해, 다른 진공 프로세싱 챔버(210) 또는 이송 챔버까지 이르는 돌출 파트를 가질 수 있다.
[0042] 실시예들에 따르면, 도어 프레임(220)이 제공될 수 있다. 예컨대, 도어 프레임(220)은 도어 하우징(150)의 파트로서 제공될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 도어 프레임(220)은 진공 프로세싱 챔버(210)의 파트일 수 있다. 도어 프레임(220)은 표면 또는 프레임을 제공할 수 있는데, 폐쇄 포지션에서, 도어(100), 구체적으로는 가요성 폐쇄부(120)가 그 표면 또는 프레임에 대하여 접할 수 있다. 특히, 도어(100), 구체적으로는 가요성 폐쇄부(120)는 폐쇄 포지션에서 도어 프레임(220)과 진공-밀폐 밀봉을 제공하도록 구성될 수 있다.
[0043] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어(100)는 힌지(130)를 포함할 수 있다. 힌지(130)는 이동가능 부재(110)에 연결될 수 있다. 따라서, 이동가능 부재(110)는 가요성 폐쇄부(120)와 힌지(130)를 연결할 수 있다. 힌지(130)를 중심으로 하는 이동가능 부재(110)의 회전에 의해, 가요성 폐쇄부(120)는 개방 포지션으로부터 폐쇄 포지션으로 그리고/또는 그 반대로 이동될 수 있다.
[0044] 도어(100)에는 잠금 메커니즘(160)이 더 제공될 수 있다. 잠금 메커니즘(160)은 가요성 폐쇄부(120)의 폐쇄 포지션에서 도어(100) 상에, 구체적으로는 이동가능 부재(110) 상에 작용하는 폐쇄력을 제공하도록 구성될 수 있다. 따라서, 잠금 메커니즘(160)은 가요성 폐쇄부(120)를 폐쇄 포지션으로 유지하는 폐쇄력을 제공할 수 있다. 예컨대, 폐쇄력은, 가요성 폐쇄부(120)를 폐쇄 포지션으로 유지하거나 또는 고정시키기 위해 힌지(130)에 의해 제공되는 힘을 지원할 수 있다.
[0045] 예컨대, 잠금 메커니즘(160)에는 이동가능 파트가 제공될 수 있는데, 그 이동가능 파트는, 구체적으로는 가요성 폐쇄부(120)가 폐쇄 포지션에 있는 경우에, 이동가능 부재(110)와 접하는 포지션으로 이동될 수 있다. 잠금 메커니즘(160)은 도어 하우징(150)에 연결될 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 잠금 메커니즘(160)은 진공 프로세싱 챔버(210)에 연결될 수 있다.
[0046] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 기판은, 가요성 폐쇄부(120)가 개방 포지션에 있는 경우에, 도어(100)를 통해 로딩될 수 있다. 도어(100)를 통해 기판을 로딩한 후에, 도어(100)는 폐쇄될 수 있다. 즉, 가요성 폐쇄부(120)는 폐쇄 포지션으로 이동될 수 있다. 도어(100)를 폐쇄한 후에, 진공 프로세싱 챔버(210)는 진공배기될 수 있다. 본원에서 약술된 바와 같이, 진공 프로세싱 챔버(210)의 진공배기는 진공 프로세싱 챔버(210)의 내부와 진공 프로세싱 챔버(210)의 외부 사이에 차압을 초래할 수 있다. 이 차압은 진공 프로세싱 챔버(210)의 변형을 초래할 수 있다.
[0047] 변형은 진공 프로세싱 챔버의 파트들의 서로에 대한 상대적인 이동을 초래할 수 있다. 도시된 화살표들에 의해 도 2에 표시된 바와 같이, 도어(100)에 의해 밀봉된 개구의 형상의 변경을 초래할 수 있는 상대적인 이동이 발생할 수 있다. 추가로, 도 2에 도시된 포인트들(1, 2, 3, 및 4)의 사용에 의해 예시된 바와 같이, 표시된 화살표들과 직각을 이루는 방향으로 변형이 또한 발생할 수 있다. 예컨대, 포인트들(1 및 2) 사이의 상대적인 이동은 대략 0 mm일 수 있는 반면에, 포인트들(3 및 4) 사이의 상대적인 이동은 약 1.5 mm일 수 있다. 특히, 포인트들(1 및 2)은 포인트들(3 및 4)보다 힌지(130)에 더 근접할 수 있다. 따라서, 힌지(130)로부터 먼 곳에서 더 큰 상대적인 이동이 발생할 수 있다. 즉, 도어 프레임(220)과 가요성 폐쇄부(120) 사이의 상대적인 이동이 변형들에 의해 유발될 수 있다. 상대적인 이동은 개구의 형상의 대칭적 및/또는 비대칭적 변경을 초래할 수 있다.
[0048] 추가로, 이 상대적인 이동은 도어 프레임(220)과 가요성 폐쇄부(120) 사이의 접촉 구역에서 상대적인 이동을 초래할 수 있다. 접촉 구역에서의 이 상대적인 이동은 가요성 폐쇄부(120) 및/또는 도어 프레임(220)을 구성하는 재료, 및/또는 가요성 폐쇄부(120)와 도어 프레임(220) 사이의 임의의 재료로부터의 입자들의 마모를 초래할 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어(100)는, 폐쇄 포지션에서, 제1 압력 측, 예컨대 내부 압력 측과 제2 압력 측, 예컨대 외부 압력 측 사이의 차압에 의해 야기되는 변형들을 보상하도록 구성될 수 있다.
[0049] 도 3에 도시된 바와 같이, 가요성 폐쇄부(120)와 도어 프레임(220) 사이의 접촉 구역에서 이동이 전혀 발생하지 않거나 또는 이동이 실질적으로 발생하지 않도록 하는 가요성이 가요성 폐쇄부(120)에 제공될 수 있다. 특히, 가요성 폐쇄부(120)는 변형들, 구체적으로는 도어 프레임(220)의 이동을 따르도록 구성될 수 있다. 실시예들을 실시하는 경우에, 입자들의 마모가 감소될 수 있고, 진공 프로세싱 챔버(210)의 오염이 방지될 수 있다.
[0050] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어 프레임(220)은 접촉 구역에 적어도 하나의 밀봉 엘리먼트(222)를 포함할 수 있고, 그 접촉 구역에서는, 폐쇄 포지션에서, 제1 측벽 및/또는 제2 측벽이 도어 프레임(220)과 접촉한다. 실시예들을 실시하는 경우에, 도어(100)에 의해 획득되는 밀봉 효과가 향상될 수 있다.
[0051] 전형적으로, 밀봉 엘리먼트들(222)이 러빙 마찰로 인한 입자 생성에 취약하기 때문에, 적어도 하나의 밀봉 엘리먼트(222)가 접촉 구역에 제공되는 경우, 진공 프로세싱 챔버(210)의 오염이 특히 방지될 수 있다. 구체적으로, 가요성 폐쇄부(120)는 도어 프레임(220) 및 적어도 하나의 밀봉 엘리먼트(222)의 이동을 보상하도록 구성될 수 있고, 그에 따라, 적어도 하나의 밀봉 엘리먼트(222)와 가요성 폐쇄부(120) 사이의 이동이 전혀 발생하지 않게 되거나 또는 실질적으로 발생하지 않게 된다.
[0052] 도 4는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 도어(100)의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0053] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 가요성 폐쇄부(120)는 플레이트(122)를 포함할 수 있다. 플레이트(122)는 제1 플레이트 측, 및 제1 플레이트 측 반대편의 제2 플레이트 측을 가질 수 있다. 제1 측벽(124)이 제1 플레이트 측에 연결될 수 있다. 제2 측벽(126)이 제2 플레이트 측에 연결될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 특히 픽스처(115)의 관점에서, 제1 측은 힌지(130)로부터 멀리 있을 수 있고, 그리고/또는 제2 측은 제1 측보다 힌지(130)에 더 근접할 수 있다. 추가로, 제1 측벽(124) 및/또는 제2 측벽(126)은 폐쇄 포지션에서 도어 프레임(220)과 접촉할 수 있다.
[0054] 추가로, 제1 측벽(124)은 제1 측벽(124)으로부터 돌출된 제1 돌출부(124a)를 포함할 수 있다. 제1 돌출부(124a)는 플레이트(122) 반대편에 있는 제1 측벽(124)의 측에 배열될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 제2 측벽(126)은 제2 측벽(126)으로부터 돌출된 제2 돌출부(126a)를 포함할 수 있다. 제2 돌출부(126a)는 플레이트(122) 반대편에 있는 제2 측벽(126)의 측에 배열될 수 있다. 제1 돌출부(124a) 및 제2 돌출부(126a)는 도어 프레임(220)과 대면하도록 구성될 수 있다. 특히, 제1 돌출부(124a) 및 제2 돌출부(126a)는 도어 프레임(220)과 접촉하도록 구성된 접촉 표면을 제공할 수 있다. 추가로, 제1 돌출부(124a) 및 제2 돌출부(126a)는 서로로부터 멀어지는 방향으로 연장될 수 있다.
[0055] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 플레이트(122)는 가요성이도록 구성될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 제1 측벽(124)은 가요성이도록 구성될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 제2 측벽(126)은 가요성이도록 구성될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 제1 돌출부(124a)는 가요성이도록 구성될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 제2 돌출부(126a)는 가요성이도록 구성될 수 있다. 유익한 실시예들에 따르면, 제1 측벽(124)과 제2 측벽(126) 중 적어도 하나는 가요성이도록 구성될 수 있다. 특히, 이들 파트들 중 일부 또는 모두는, 가요성 폐쇄부(120)가 가요성이도록 구성되는 한, 가요성이도록 구성될 수 있다. 즉, 이들 파트들 중 일부가 가요성이도록 구성될 수 있지만, 가요성 폐쇄부(120)를 제공하는 데 있어서 이들 파트들 모두가 반드시 가요성일 필요는 없다.
[0056] 특히 유익한 실시예에서, 적어도 제1 측벽(124) 및 제2 측벽(126)이 가요성이도록 구성된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 차압에 의해 유발되는 변형은 개구의 형상을 변경할 수 있는 (도 4에서 도어 프레임(220)에 도시된 화살표에 의해 표시된) 상대적인 이동을 초래할 수 있다. 제1 측벽(124) 및 제2 측벽(126)이 가요성이도록 구성되는 경우에, 제1 측벽(124) 및 제2 측벽(126)은 개구의 변경을 따를 수 있다. 따라서, 한편의 제1 돌출부(124a) 및 제2 돌출부(126a)와 다른 한편의 도어 프레임(220) 사이의 상대적인 이동이 방지될 수 있다. 실시예들을 실시하는 경우에, 입자들의 마모, 그리고 그에 따른 진공 프로세싱 챔버(210)의 오염이 방지될 수 있다.
[0057] 특히, 도 4는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 도어(100)의 측면도 또는 단면도를 도시한다. 따라서, 제1 측벽(124) 및 제2 측벽(126)은 플레이트(122)로부터 연장되는 특히 공통인 원주 측벽(circumferential sidewall)의 부분들일 수 있다. 결과적으로, 제1 돌출부(124a) 및 제2 돌출부(126a)는 원주 측벽으로부터 연장되는 원주 플랜지일 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 가요성 폐쇄부(120)는 터브-형(tub-like) 형상을 가질 수 있다.
[0058] 도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 도어(100)의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0059] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어(100)는 적어도 하나의 다이어프램(diaphragm)(140)을 포함할 수 있다. 다이어프램(140)은 가요성 폐쇄부(120)에 연결될 수 있다. 추가로, 다이어프램(140)은 가요성 폐쇄부(120)에 의해 형성된 공간(S)을 밀봉하도록 구성될 수 있다. 특히, 공간(S)은 공간(S) 내에서 일정한 압력이 유지될 수 있도록 하는 방식으로 밀봉될 수 있다. 실제로, 가요성 폐쇄부는 가압 차이가 존재하는 경우에 변형 및/또는 팽창되지 않을 수 있는데, 이는 특히, 다이어프램이 외부 압력과 가요성 폐쇄부 내부의 볼륨을 분리할 수 있기 때문이다. 실시예들을 실시하는 경우에, 도어는, 차압으로 인해 챔버 플랜지가 팽창될 수 있는 방향과 반대인 방향으로 팽창되지 않을 수 있다. 게다가, 밀봉 표면의 상대적인 이동이 더 최소화될 수 있다.
[0060] 공간(S)은 플레이트(122), 제1 측벽(124), 제2 측벽(126), 및 다이어프램(140)에 의해 정의 및/또는 한정될 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 다이어프램(140)은 제1 돌출부(124a) 및 제2 돌출부(126a)와 동일한 또는 실질적으로 동일한 레벨로 배열될 수 있다. 즉, 다이어프램(140)은 도어 프레임(220)에 대하여 진공 프로세싱 챔버(210) 외부에 배열될 수 있다. 추가로, 다이어프램(140)은 픽스처(115)에 연결될 수 있다.
[0061] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 다이어프램(140)은 가요성이도록 구성될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 가요성이도록 구성된 개스킷(142)이 다이어프램(140)에 제공될 수 있다. 구체적으로, 다이어프램(140)은 가요성 폐쇄부(120)의 이동 또는 변형을 따르도록 구성될 수 있다.
[0062] 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 가요성 폐쇄부(120)는 진공 프로세싱 챔버(210) 쪽으로 그리고/또는 진공 프로세싱 챔버(210) 내로 연장되도록 배열될 수 있다. 구체적으로, 가요성 폐쇄부(120)는 도어 프레임(220)에 대하여, 진공 프로세싱 챔버(210) 쪽으로 그리고/또는 진공 프로세싱 챔버(210) 내로 연장되도록 배열될 수 있다. 즉, 제1 돌출부(124a) 및 제2 돌출부(126a)는 진공 프로세싱 챔버(210) 반대편에 있는 도어 프레임의 표면으로부터 도어 프레임(220)과 접촉할 수 있다. 추가로, 제1 측벽(124) 및 제2 측벽(126)은 외측 표면으로부터 진공 프로세싱 챔버(210) 쪽으로 그리고/또는 진공 프로세싱 챔버(210) 내로 연장될 수 있다. 따라서, 제1 측벽(124)과 제2 측벽(126) 사이에 배열되어 있는 플레이트(122)는 진공 프로세싱 챔버(210) 쪽에 그리고/또는 진공 프로세싱 챔버(210) 내에 배열될 수 있다. 실제로, 특히, 가요성 인클로저들의, 얇고 가요성이도록 형성될 수 있는 가요성 측벽들로 인해, 가요성 인클로저들은 챔버 플랜지의 이동들에 적응할 수 있다. 실시예들을 실시하는 경우에, 밀봉 표면과 밀봉부 사이의 상대적인 이동이 최소화될 수 있다.
[0063] 대안적으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 가요성 폐쇄부(120)는 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 멀어지는 방향으로 연장되도록 배열될 수 있다. 구체적으로, 가요성 폐쇄부(120)는 도어 프레임(220)에 대하여, 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 멀어지는 방향으로 연장되도록 배열될 수 있다. 즉, 제1 돌출부(124a) 및 제2 돌출부(126a)는 진공 프로세싱 챔버(210) 반대편에 있는 도어 프레임의 표면으로부터 도어 프레임(220)과 접촉할 수 있다. 추가로, 제1 측벽(124) 및 제2 측벽(126)은 외측 표면으로부터 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 멀어지는 방향으로 연장될 수 있다. 따라서, 제1 측벽(124)과 제2 측벽(126) 사이에 배열되어 있는 플레이트(122)는 진공 프로세싱 챔버(210) 외부에 배열될 수 있다. 실제로, 가요성 인클로저의 변형은 챔버 변형과 동일한 방향으로 작용할 수 있다.
[0064] 도어(100)가 2개의 진공 프로세싱 챔버들(210) 사이에 배열되는 경우에, 진공 프로세싱 챔버(210)를 향하는 방향 또는 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 멀어지는 방향은, 도어 프레임(220)에 더 근접한 또는 도어 프레임(220)을 포함하는 진공 프로세싱 챔버(210)의 방향 또는 그 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 멀어지는 방향인 것으로서 이해될 수 있다. 특히, “가요성 폐쇄부(120)는 진공 프로세싱 챔버(210) 쪽으로 그리고/또는 진공 프로세싱 챔버(210) 내로 연장되도록 배열될 수 있다”라는 설명은, 가요성 폐쇄부(120) 또는 가요성 폐쇄부(120)의 적어도 일부들이 도어 프레임(220)을 횡단하는 어레인지먼트로서 이해될 수 있는 반면, “가요성 폐쇄부(120)는 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 멀어지는 방향으로 연장되도록 배열될 수 있다”라는 설명은, 가요성 폐쇄부(120)가 도어 프레임(220)으로부터 멀어지는 방향으로 연장되고 그리고/또는 도어 프레임(220)을 횡단하지 않는 어레인지먼트로서 이해될 수 있다.
[0065] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 가요성 폐쇄부(120)는 알루미늄을 포함할 수 있고 그리고/또는 알루미늄으로 제조될 수 있다. 구체적으로, 알루미늄은 가요성에 대하여 원하는 특성들을 갖도록 제조될 수 있다. 따라서, 의도되는 용도에 특히 적응될 수 있는 재료로 제조되어 있는 가요성 폐쇄부(120)가 제공될 수 있다.
[0066] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 진공 프로세싱 시스템(200)은 도어(100) 및 진공 챔버(210)를 포함하고, 여기서, 도어(100)는 진공 챔버(210)로의 접근을 제공하도록 구성된다.
[0067] 추가로, 도어(100)를 동작시키기 위한 방법(900)이 본원에서 설명된다. 특히, 도 7에 도시된 바와 같이, 방법(900)은 블록(910)을 포함할 수 있다. 블록(910)에서, 기판이 도어(100)를 통해 진공 프로세싱 챔버(210) 내에 로딩될 수 있고 그리고/또는 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 언로딩될 수 있다. 예컨대, 기판은 다른 진공 프로세싱 챔버로부터 로딩될 수 있고 그리고/또는 다른 진공 프로세싱 챔버 내에 로딩될 수 있다. 추가로, 기판은 이송 챔버로부터 로딩될 수 있고 그리고/또는 이송 챔버 내에 로딩될 수 있다. 특히, 로딩 및/또는 언로딩 동작 후에, 도어(100)는 진공 프로세싱 챔버(210) 내의 개구를 밀봉하기 위해 폐쇄될 수 있다(블록(920) 참조). 도어(100)를 폐쇄한 후에, 진공 프로세싱 챔버(210)는 진공배기될 수 있다. 따라서, 진공 프로세싱 챔버(210)의 내부와 진공 프로세싱 챔버(210)의 외부 사이의 차압이 생성될 수 있다. 차압은 진공 프로세싱 챔버(210)의 변형을 초래할 수 있고, 그 변형은 차례로, 진공 프로세싱 챔버(210)에 대한 도어(100)의 상대적인 이동을 초래할 수 있다. 상대적인 이동은 진공 프로세싱 챔버(210)와 도어(100) 사이의 접촉 구역에서 입자들의 마모를 유발할 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 도어(100)에는 가요성 폐쇄부(120)가 제공될 수 있고, 그 가요성 폐쇄부(120)는 진공 프로세싱 챔버(210)의 변형들을 따르도록 구성될 수 있다. 따라서, 진공 프로세싱 챔버(210)와 도어(100) 사이의 상대적인 이동이 억제될 수 있다. 실시예들을 실시하는 경우에, 입자들의 마모, 그리고 그에 따른 진공 프로세싱 챔버(210)의 오염이 방지될 수 있다.

Claims (16)

  1. 진공 프로세싱 시스템(200)에서 개구를 밀봉하도록 구성된 도어(100)로서,
    - 이동가능 부재(110); 및
    - 상기 이동가능 부재(110)에 부착되고, 개방 포지션으로부터 폐쇄 포지션으로 이동가능하도록 구성된 가요성 폐쇄부(120)
    를 포함하며,
    상기 가요성 폐쇄부(120)는 상기 폐쇄 포지션에서 진공-밀폐 밀봉을 제공하도록 구성되고,
    상기 가요성 폐쇄부(120)는 플레이트(122) 및 측벽(124, 126)을 포함하는,
    도어.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 도어(100)는 상기 폐쇄 포지션에서, 제1 압력 측과 제2 압력 측 사이의 차압(differential pressure)에 의해 야기되는 변형들을 보상하도록 구성되는,
    도어.
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 도어(100)는 상기 개방 포지션에서, 기판이 상기 도어(100)를 통해 통과될 수 있게 하도록 구성되는,
    도어.
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 측벽(124, 126)은 가요성이도록 구성되는,
    도어.
  6. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    - 힌지(130)를 더 포함하며,
    상기 이동가능 부재(110)는 상기 가요성 폐쇄부(120)와 상기 힌지(130)를 연결하는,
    도어.
  7. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 가요성 폐쇄부(120)는 터브-형(tub-like) 형상을 갖는,
    도어.
  8. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    - 상기 가요성 폐쇄부(120)에 연결되고, 그리고 상기 가요성 폐쇄부(120)에 의해 형성된 공간(S)을 밀봉하도록 구성된 적어도 하나의 다이어프램(diaphragm)(140)을 더 포함하는,
    도어.
  9. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 이동가능 부재(110)는 이동가능 암(arm)인,
    도어.
  10. 진공 프로세싱 시스템(200)으로서,
    - 제1 항 또는 제2 항에 기재된 도어(100); 및
    - 진공 챔버(210)
    를 포함하며,
    상기 도어(100)는 상기 진공 챔버(210)로의 접근(access)을 제공하도록 구성되는,
    진공 프로세싱 시스템.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 도어(100)는 상기 개방 포지션에서 기판(S)이 상기 진공 챔버(210) 내에 로딩되는 것과 상기 개방 포지션에서 기판(S)이 상기 진공 챔버(210)로부터 언로딩되는 것으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나를 가능하게 하는,
    진공 프로세싱 시스템.
  12. 제10 항에 있어서,
    - 도어 프레임(220)을 더 포함하며,
    상기 플레이트(122)는 제1 플레이트 측 및 상기 제1 플레이트 측 반대편의 제2 플레이트 측을 가지고, 상기 제1 플레이트 측에 제1 측벽(124)이 연결되고, 상기 제2 플레이트 측에 제2 측벽(126)이 연결되고, 상기 제1 측벽(124)과 상기 제2 측벽(126)으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나는 상기 폐쇄 포지션에서 상기 도어 프레임(220)과 접촉하는,
    진공 프로세싱 시스템.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 도어 프레임(220)은, 상기 폐쇄 포지션에서 상기 제1 측벽과 상기 제2 측벽으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나가 상기 도어 프레임(220)과 접촉하는 접촉 구역에 적어도 하나의 밀봉 엘리먼트(222)를 포함하는,
    진공 프로세싱 시스템.
  14. 제1 항 또는 제2 항에 기재된 도어(100)를 동작시키기 위한 방법(900)으로서,
    - 상기 도어(100)를 통해 진공 프로세싱 챔버(210) 내에 기판을 로딩하는 단계; 및
    - 상기 진공 프로세싱 챔버(210) 내의 개구를 밀봉하기 위해 상기 도어(100)를 폐쇄하는 단계
    를 포함하는,
    방법.
  15. 제1 항 또는 제2 항에 기재된 도어(100)를 동작시키기 위한 방법(900)으로서,
    - 상기 도어(100)를 통해 진공 프로세싱 챔버(210)로부터 기판을 언로딩하는 단계; 및
    - 상기 진공 프로세싱 챔버(210) 내의 개구를 밀봉하기 위해 상기 도어(100)를 폐쇄하는 단계
    를 포함하는,
    방법.
  16. 삭제
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